JP2021094774A - 液体吐出ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】階調性に優れた高品位な画像を記録する液体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】液体吐出ヘッド２０は、基板１と、基板１に設けられ、液体を吐出するための複数の吐出口９が形成された吐出口面１２ａを有するとともに、基板１との間に複数の吐出口９に連通する流路６を形成する吐出口形成部材１２と、を有している。吐出口形成部材１２は、吐出口面１２ａが平坦になるように、かつ複数の吐出口９に対応する位置で流路６の高さが互いに異なるように形成されている。【選択図】図１

Description

本発明は、液体吐出ヘッドおよびその製造方法に関する。

吐出口からインクなどの液体を吐出して記録媒体に画像を記録する液体吐出ヘッドでは、階調性に優れた画像を得るために、吐出口ごとに異なるサイズの液滴を吐出する方法が知られている。特許文献１には、同一基板上に厚みの異なる吐出口形成部材を複数形成することで、吐出口形成部材ごとに異なるサイズの液滴を吐出する液体吐出ヘッドが記載されている。

特開２０１１−１６１７６１号公報

ところで、液体吐出ヘッドでは、吐出口形成部材の吐出口面（吐出口が形成された面）に液体が付着することで吐出不良が発生することがあるため、それを抑制するために、ゴム製のブレードで吐出口面を払拭するワイピング動作を行うことが好ましい。しかしながら、特許文献１に記載の液体吐出ヘッドでは、吐出口形成部材ごとにその厚みが異なるため、隣接する吐出口形成部材間に段差が生じてしまう。そのため、ワイピング時に段差部分に拭き残りが発生したり、ワイピングにより段差部分が破損したりすることで、結果的に、液体の吐出不良が発生して画像品位の低下を招くおそれがある。
そこで、本発明の目的は、階調性に優れた高品位な画像を記録する液体吐出ヘッドおよびその製造方法を提供することである。

上述した目的を達成するために、本発明の液体吐出ヘッドは、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子を有する基板と、基板の複数のエネルギー発生素子が設けられた面に設けられ、液体を吐出する複数の吐出口が形成された吐出口面を有し、基板との間に複数の吐出口に連通する流路を形成する吐出口形成部材と、を有し、吐出口形成部材は、吐出口面が平坦になるように、かつ複数の吐出口に対向する位置で流路の高さが互いに異なるように形成されている。
また、本発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子を有する基板と、基板の複数のエネルギー発生素子が設けられた面に設けられ、液体を吐出するための複数の吐出口が形成された吐出口面を有するとともに、基板との間に複数の吐出口に連通する流路を形成する吐出口形成部材と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、基板上に、複数のエネルギー発生素子を覆うように流路を形成するための型材を形成する工程と、型材を覆うように吐出口形成部材を形成する工程と、型材を除去する工程と、を含み、型材は、複数のエネルギー発生素子を覆う位置での厚みが互いに異なるように形成され、吐出口形成部材は、表面が平坦になるように形成される。

本発明によれば、階調性に優れた高品位な画像を記録することができる。

一実施形態に係る液体吐出ヘッドの斜視図および断面図である。 一実施形態に係る液体吐出ヘッドの変形例を示す断面図である。 一実施形態に係る液体吐出ヘッドの製造方法を示す断面図である。 一実施形態に係る液体吐出ヘッドの製造方法を示す断面図である。 実施例１における樹脂の塗布膜厚の位置依存性を示すグラフである。

以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。なお、以下の説明では、同一の機能を有する構成には図面中に同一の符号を付与し、その説明を省略する場合がある。

図１（ａ）は、本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッドの斜視図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ線に沿った断面図である。
液体吐出ヘッド２０は、インクなどの液体を吐出して記録媒体に画像を記録するものであり、基板１と、基板１の表面（以下、「基板表面」ともいう）１ａに設けられた吐出口形成部材１２とを有している。基板１は、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子３を有している。吐出口形成部材１２は、液体を吐出するための複数の吐出口９が形成された吐出口面１２ａを有し、複数の吐出口９は、複数のエネルギー発生素子３に対向する位置に配置されている。複数のエネルギー発生素子３は、複数（図示した例では８つ）の素子列を形成するように配列され、それに応じて、複数の吐出口９も、複数の吐出口列を形成するように配列されている。

基板１と吐出口形成部材１２との間には複数の流路６が形成されている。複数の流路６のそれぞれは、１つの素子列を構成する複数のエネルギー発生素子３を内部に備え、１つの吐出口列を構成する複数の吐出口９に連通している。エネルギー発生素子３が発生するエネルギーを利用することで、流路６内の液体を吐出口９から吐出させることができる。エネルギー発生素子３としては、液体を加熱して発泡させることで吐出させる発熱素子（ヒータ）や、変形することで圧力を発生させて液体を吐出させる圧電素子（ピエゾ素子）などが挙げられる。吐出口形成部材１２の吐出口面１２ａには、液体の付着を抑制して吐出性能を良好に維持するための撥水層８が形成されている。
基板１には、複数の吐出口９に液体を供給するための供給路１１が形成されている。供給路１１は、基板１を貫通して２つの素子列の間で基板表面１ａに開口し、それぞれが各素子列を内包する２つの流路６に連通している。基板１の裏面（以下、「基板裏面」ともいう）１ｂには、後述する工程において異方性エッチングにより基板１に供給路１１を形成する際にエッチングマスクとして機能する保護層２が形成されている。また、基板１と吐出口形成部材１２との間には、両者の密着性を向上させる密着層４が設けられている。

図１（ｂ）から明らかなように、本実施形態では、吐出口形成部材１２は、吐出口面１２ａが平坦になるように、かつ複数の流路６の高さが互いに異なるように形成されている。換言すると、吐出口形成部材１２は、基板表面１ａとの間隔が一定の吐出口面１２ａを有し、かつ吐出口列ごとに高さが異なる流路６を有している。そのため、吐出口９と流路６とを連通する筒状の吐出口部の高さ（液体の吐出方向における長さ）が吐出口列ごとに異なり、したがって、吐出される液滴のサイズが吐出口列ごとに異なる。その結果、階調性に優れた高品位な画像を記録することが可能になる。また、吐出口面１２ａは、上述のように平坦であり、したがって、その上に形成された撥水層８の表面も平坦である。そのため、ゴム製のブレードなどで撥水層８の表面を払拭するワイピング動作を行う際にも、拭き残りが発生したり、構造体が破損したりすることが抑制され、液体の吐出不良による画像品位の低下を抑制することができる。

なお、本実施形態では、複数の流路６が互いに異なる高さを有することに加え、あるいはその代わりに、１つの流路６内でも吐出口９ごとにその高さが異なっていてもよい。すなわち、１つの吐出口列内の複数の吐出口９に対向する位置で流路６の高さが互いに異なっていてもよい。これにより、さらに様々なサイズの液滴を吐出することが可能になり、さらに階調性に優れた高品位な画像を記録することが可能になる。図２は、図１（ａ）のＢ−Ｂ線に沿った断面図であり、１つの吐出口列内の複数の吐出口に連通する流路のいくつかの構成例を示す図である。
例えば、吐出口列の中央部における流路６の高さは、図２（ａ）および図２（ｃ）に示すように、吐出口列の端部における流路６の高さよりも高くてもよく、図２（ｂ）および図２（ｄ）に示すように、吐出口列の端部における流路６の高さよりも低くてもよい。また、流路６の高さは、図２（ａ）および図２（ｂ）に示すように、吐出口列に沿って不連続的に変化してもよく、図２（ｃ）および図２（ｄ）に示すように、吐出口列に沿って連続的に変化してもよい。

次に、図３および図４を参照して、本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法について説明する。図３（ａ）から図４（ｄ）は、本実施形態の製造方法の各工程における液体吐出ヘッドの断面図であり、図１（ｂ）に対応する図である。

まず、基板表面１ａにエネルギー発生素子３を有するとともに、基板裏面１ｂに保護層２を有する基板１を用意する。
次に、基板表面１ａに樹脂を塗布した後、パターニングを行い、図３（ａ）に示すように、所望のパターンの密着層４を形成する。樹脂の塗布方法としては、スピンコート法、ダイレクトコート法、スプレー法などを用いることができる。パターニングは、基板表面１ａに塗布した樹脂上に、通常のフォトリソグラフィー技術によりレジストパターンを形成し、それをマスクとしたドライエッチングにより行われる。なお、感光性樹脂を用いて直接パターニングを行うことで、所望のパターンを形成してもよい。

次に、同じく図３（ａ）に示すように、基板表面１ａに、型材形成用の樹脂層５を形成する。具体的には、基板表面１ａに設けられた複数の素子列をそれぞれ覆うように、ディスペンスノズル１５を用いたディスペンス法により感光性樹脂をベタ状に塗布し、型材形成用の樹脂層５を形成する。
ディスペンス法により樹脂をベタ状に塗布する方法としては、ディスペンスノズル１５を一定のピッチで相対移動させながら、直線、矩形、円形、渦形などが繰り返し配置された幾何学模様を描くように樹脂を塗布する方法が挙げられる。このとき、時間的に前後して塗布された樹脂が互いに隣接して重なり合うことで、ベタ状のパターンが形成される。感光性樹脂の塗布には、例えば、内径が２０μｍ以上５００μｍ以下のディスペンスノズル１５が用いられるが、本実施形態の製造方法のようにミクロンオーダーの精度が要求される場合、樹脂層５の表面を滑らかにするためには、樹脂の蒸気圧が重要になる。すなわち、樹脂の乾燥が早いと、ディスペンサの吐出条件によっては、重なり合った樹脂同士が混ざらずに、樹脂層５の表面が波打ってしまうことがある。そのため、樹脂に含まれる溶媒としては、２０℃での蒸気圧が水（約２．３３ｋＰａ）と同等のものを用いることもあるが、２０℃での蒸気圧が約０．００３９ｋＰａであるＮ−メチルピロリドン（ＮＭＰ）のように、蒸気圧が低いものを用いることが好ましい。こうして、最適な蒸気圧の樹脂を用いることで、前に塗布された樹脂が乾燥する前にその樹脂に対して後から塗布される樹脂を隣接して重ねることが可能になり、樹脂層５の表面を滑らかにすることができる。

また、型材形成用の樹脂層５は、その厚みが部分的に異なるように形成される。すなわち、樹脂層５は、上述したように、基板表面１ａに設けられた複数の素子列をそれぞれ覆う複数の領域を含んでいるが、この工程では、その複数の領域が互いに異なる厚みを有するように形成される。あるいはそれに加えて、樹脂層５は、１つの素子列内の複数のエネルギー発生素子３を覆う位置での厚みが互いに異なるように形成される。ディスペンス法により樹脂層５の厚みを部分的に変化させる方法としては、ディスペンサの吐出圧力を時間的に変化させる方法や、塗布対象物である基板１を載置するステージの移動速度を時間的に変化させる方法を用いることができる。
なお、型材形成用の樹脂層５は、単一層として一度に形成されてもよく、全体の厚みを厚くするために２層以上に分けて形成されてもよい。樹脂層５を２層以上に分けて形成する場合、樹脂層５の一部、すなわち、最上層（第１の層）を形成するためにディスペンス法が用いられる限り、その下の層（第２の層）を含む他の層の形成方法に特に制限はない。他の層の形成方法としては、例えば、スピンコート法、ダイレクトコート法、スプレー法などを用いることができる。なお、樹脂層５を２層以上に分けて形成する場合、これらの層は、同じ溶媒に溶解可能なものであれば、同じ種類の感光性樹脂であってもよく、異なる種類の感光性樹脂であってもよい。

次に、樹脂層５をパターニングし、流路６を形成するための型材５ａを形成する。具体的には、図３（ｂ）に示すように、マスク１３を用いて樹脂層５を露光し、現像して不要な部分を除去することにより、図３（ｃ）に示すように、所望のパターンを有する型材５ａを形成する。型材５ａは、後述する工程において複数の流路６を形成するために複数の領域からなるが、上述した樹脂層５の厚みに対応して、領域ごとに厚みが異なるか、あるいはそれに加えて、１つの領域内で厚みが部分的に異なる。
次に、図３（ｄ）に示すように、型材５ａを完全に覆うように感光性樹脂を塗布することで、吐出口形成部材１２となる樹脂層７を形成するとともに、樹脂層７の表面に撥水剤を塗布することで、撥水層８を形成する。樹脂および撥水剤の塗布方法としては、それぞれ、スピンコート法、ダイレクトコート法、スプレー法などを用いることができる。

次に、図４（ａ）に示すように、マスク１４を用いて樹脂層７を露光し、現像して複数の貫通孔を形成することにより、図４（ｂ）に示すように、樹脂層７の表面に複数の吐出口９を形成する。
次に、図４（ｃ）に示すように、耐アルカリ性に優れた材料で樹脂層７と撥水層８を被膜し、保護膜１０を形成する。そして、図４（ｄ）に示すように、基板裏面１ｂの保護層２をエッチングマスクとして異方性エッチングを行うことで、基板１に供給路１１を形成する。なお、このときのエッチングは、所望のアルカリ性を示す溶液を用いたウェットエッチングでもよく、所望の比率からなるガスを用いたドライエッチングでもよい。その後、基板表面１ａ側の保護膜１０を除去した後、型材５ａを構成する樹脂を溶解可能な溶剤に基板１を浸漬させ、型材５ａを除去することにより、図１に示す液体吐出ヘッド２０が完成する。なお、保護膜１０の除去方法としては、専用の溶液に浸漬させるウェット方式やエッチングガスを用いたドライ方式を用いることができる。

このように、本実施形態の製造方法によれば、領域ごとに厚みが異なる型材５ａを形成するためにディスペンス法を用いて感光性樹脂を塗布することで、例えば、スピンコート法を用いた場合に比べて、製造コストの上昇を抑制することができる。すなわち、スピンコート法を用いた場合、型材５ａの厚みの違いに応じて、フォトリソグラフィー技術によるパターニングを繰り返し行う必要があるため、樹脂の使用量や工程数が増加し、コストアップにつながってしまう。それに比べて、ディスペンス法を用いた場合、一度のパターニングで所望の型材５ａを形成することができるため、樹脂の使用量も最小限に抑えられ、製造コストの上昇を抑制することができる。

以下、具体的な実施例を挙げて、本発明をより詳細に説明する。

（実施例１）
本実施例では、図３および図４に示す製造方法により、図１（ｂ）および図２（ａ）に示す液体吐出ヘッド２０を作製した。

まず、図３（ａ）に示す工程では、基板１として、主面が（１００）面である単結晶シリコン基板を用意し、その表面１ａに、エネルギー発生素子３を形成するとともに、スピンコート法により樹脂を塗布することで密着層４を形成した。さらに、基板１の裏面１ｂに、シリコン酸化膜からなる保護層２を形成した。
次に、同じく図３（ａ）に示す工程では、ディスペンス法により、基板表面１ａに感光性樹脂を一度に塗布することで、部分的に厚みが異なる型材形成用の樹脂層５を形成した。感光性樹脂としては、東京応化工業株式会社製のＯＤＵＲ１０１０Ａ（商品名）を用いた。ディスペンスノズル１５としては、内径が７０μｍのものを用い、０．０５〜０．５ｍｍの送りピッチでディスペンスノズル１５を移動させながら、感光性樹脂を繰り返し直線状に塗布した。このような条件で樹脂を塗布した理由は、使用した感光性樹脂の蒸気圧が０．１ｋＰａであったことから、内径が２０μｍのディスペンスノズル１５では、吐出された直後に樹脂が乾燥し、基板１への樹脂層５の形成が困難であったためである。こうして、本実施例では、ディスペンス法を用いることで、図５に示すように、感光性樹脂の塗布厚みのばらつきをレンジで２μｍ以内に抑えることができ、スピンコート法を用いた場合と同等の精度で樹脂を塗布することができた。図５は、上述のような条件で樹脂を塗布した場合の膜厚を、ウエハとしての基板上での位置に対してプロットしたグラフである。なお、例えば、スピンコート法を用いて３種類の厚みを有する樹脂層を形成する場合、厚みの違いに応じてパターニングを繰り返し行うため、ウエハ当たり３×１０ｃｃの樹脂が必要になる。これに対し、ディスペンス法では、同様の構成を得るために、樹脂の使用量をウエハ当たり３ｃｃで済ますことができた。

次に、図３（ｂ）に示す工程では、露光装置として、ウシオ電機株式会社製のＵＸ−３０００（商品名）を用い、マスク１３を介して、型材形成用の樹脂層５に２３Ｊ／ｃｍ^２以上の露光量で遠紫外線を照射した。その後、図３（ｃ）に示す工程では、基板１を現像液に所定時間浸漬させることで型材５ａを形成した。現像液としては、林純薬工業株式会社製のＭＰ５０５０（商品名）を用いた。なお、スピンコート法を用いて同様の型材５ａを形成する場合に比べて、露光用マスク材料および現像液の使用量はそれぞれ１／３になり、基板裏面１ｂを洗浄するバックリンス液の使用も行わなかった。
次に、図３（ｄ）に示す工程では、エポキシ樹脂を主成分とする感光性樹脂をスピンコート法により所定の厚みで塗布することで、吐出口形成部材１２となる樹脂層７を形成した後、ダイレクトコート法により撥水剤を塗布することで、撥水層８を形成した。

次に、図４（ａ）に示す工程では、露光装置として、キヤノン株式会社製のＦＰＡ―３０００ｉ５＋（商品名）を用い、マスク１４を介して、樹脂層７に２５００Ｊ／ｍ^２以上の露光量でｉ線を照射した。その後、図４（ｂ）に示す工程では、現像液として、東京応化工業株式会社製のＯＤＵＲ１０１０Ｃ（商品名）を用いて、樹脂層７の不要な部分を除去し、樹脂層７の表面に複数の吐出口９として開口する複数の貫通孔を形成した。
次に、図４（ｃ）に示す工程では、環化ゴムで樹脂層７と撥水層８を被膜し、保護膜１０を形成した。その後、図４（ｄ）に示す工程では、基板１を水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）水溶液（温度８３℃、濃度２２％）に８時間浸漬させて異方性エッチングを行い、基板１に供給路１１を形成した。そして、基板表面１ａ側の保護膜１０を専用の除去液で除去し、型材５ａを同様に専用の溶剤で除去することで、図１（ｂ）および図２（ａ）に示す液体吐出ヘッド２０を作製した。
こうして作製した液体吐出ヘッド２０を用いて、シアン、マゼンタ、イエロー、ブラックの４色のインクでテストパターンの記録を行ったところ、階調性に優れた高品位の画像を得ることができた。

（実施例２）
樹脂層５を２層に分けて形成し、下層となる樹脂の塗布にスピンコート法を用い、上層となる樹脂の塗布にディスペンス法を用いた以外、実施例１と同様の手順で液体吐出ヘッド２０を作製した。こうして作製した液体吐出ヘッド２０を用いて、シアン、マゼンタ、イエロー、ブラックの４色のインクでテストパターンの記録を行ったところ、階調性に優れた高品位の画像を得ることができた。

（実施例３）
樹脂層５を２層に分けて形成し、下層と上層で異なる樹脂を用いた以外、実施例１と同様の手順で液体吐出ヘッド２０を作製した。こうして作製した液体吐出ヘッド２０を用いて、シアン、マゼンタ、イエロー、ブラックの４色のインクでテストパターンの記録を行ったところ、階調性に優れた高品位の画像を得ることができた。

１ 基板
６ 流路
１２ 吐出口形成部材
２０ 液体吐出ヘッド

Claims (25)

1. 液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子を有する基板と、前記基板の前記複数のエネルギー発生素子が設けられた面に設けられ、液体を吐出する複数の吐出口が形成された吐出口面を有し、前記基板との間に前記複数の吐出口に連通する流路を形成する吐出口形成部材と、を有する液体吐出ヘッドであって、
   前記吐出口形成部材は、前記吐出口面が平坦になるように、かつ前記複数の吐出口に対向する位置で前記流路の高さが互いに異なるように形成されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記複数の吐出口は、吐出口列を形成するように配列されている、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子を有する基板と、前記基板の前記複数のエネルギー発生素子が設けられた面に設けられ、液体を吐出するための複数の吐出口が形成された吐出口面を有するとともに、前記基板との間に前記複数の吐出口に連通する複数の流路を形成する吐出口形成部材と、を有する液体吐出ヘッドであって、
   前記吐出口形成部材は、前記吐出口面が平坦になるように、かつ前記複数の流路の高さが互いに異なるように形成されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
4. 前記複数の吐出口は、前記複数の流路にそれぞれ連通する複数の吐出口列を形成するように配列されている、請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記吐出口列内の複数の吐出口に対向する位置で前記流路の高さが互いに異なる、請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記吐出口列の中央部における前記流路の高さは、前記吐出口列の端部における前記流路の高さよりも高い、請求項２または５に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記吐出口列の中央部における前記流路の高さは、前記吐出口列の端部における前記流路の高さよりも低い、請求項２または５に記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記流路の高さは、前記吐出口列に沿って不連続的に変化する、請求項６または７に記載の液体吐出ヘッド。
9. 前記流路の高さは、前記吐出口列に沿って連続的に変化する、請求項６または７に記載の液体吐出ヘッド。
10. 前記吐出口形成部材は、それぞれが前記吐出口と前記流路とを連通する複数の吐出口部を有し、
    液体の吐出方向における前記複数の吐出口部の長さが互いに異なる、請求項１から９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
11. 前記吐出口形成部材の前記吐出口面は、前記基板の前記吐出口形成部材が設けられた面との間隔が一定である、請求項１から１０のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
12. 液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子を有する基板と、前記基板の前記複数のエネルギー発生素子が設けられた面に設けられ、液体を吐出するための複数の吐出口が形成された吐出口面を有するとともに、前記基板との間に前記複数の吐出口に連通する流路を形成する吐出口形成部材と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
    前記基板上に、前記複数のエネルギー発生素子を覆うように前記流路を形成するための型材を形成する工程と、
    前記型材を覆うように前記吐出口形成部材を形成する工程と、
    前記型材を除去する工程と、を含み、
    前記型材は、前記複数のエネルギー発生素子を覆う位置での厚みが互いに異なるように形成され、前記吐出口形成部材は、表面が平坦になるように形成されることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
13. 液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子を有する基板と、前記基板の前記複数のエネルギー発生素子が設けられた面に設けられ、液体を吐出するための複数の吐出口が形成された吐出口面を有するとともに、前記基板との間に前記複数の吐出口に連通する複数の流路を形成する吐出口形成部材と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
    前記基板上に、前記複数のエネルギー発生素子をそれぞれ覆うように前記複数の流路を形成するための複数の領域からなる型材を形成する工程と、
    前記型材を覆うように前記吐出口形成部材を形成する工程と、
    前記型材を除去する工程と、を含み、
    前記型材は、前記複数の領域での厚みが互いに異なるように形成され、前記吐出口形成部材は、表面が平坦になるように形成されることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
14. 前記型材を形成する工程が、前記基板上に樹脂層を形成した後、前記樹脂層をパターニングすることで前記型材を形成することを含み、
    前記樹脂層は、少なくとも一部がディスペンス法により形成される、請求項１２または１３に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
15. 前記樹脂層が、最上層である第１の層と該第１の層の下の第２の層とを含む複数の層からなり、前記第１の層が、ディスペンス法により塗布された樹脂からなる、請求項１４に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
16. 前記第１の層は、前記第２の層の上に幾何学模様を描くように樹脂を塗布することで形成される、請求項１５に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
17. 前記第１の層は、時間的に前後して塗布された樹脂が互いに隣接して重なり合うことで形成される、請求項１６に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
18. 前記第１の層は、前に塗布された樹脂が乾燥する前に該樹脂に対して後から塗布される樹脂が隣接して重なることで形成される、請求項１７に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
19. 前記幾何学模様は、直線、矩形、円形、および渦形の少なくとも１つが繰り返し配置された模様である、請求項１６から１８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
20. 前記第１および第２の層が、同じ溶剤に溶解可能であって互いに異なる種類の樹脂からなる、請求項１５から１９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
21. 前記樹脂層が、ディスペンス法により塗布された樹脂からなる、請求項１４に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
22. 前記樹脂層は、前記基板上に幾何学模様を描くように樹脂を塗布することで形成される、請求項２１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
23. 前記樹脂層は、時間的に前後して塗布された樹脂が互いに隣接して重なり合うことで形成される、請求項２２に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
24. 前記樹脂層は、前に塗布された樹脂が乾燥する前に、該樹脂に対して後から塗布される樹脂が隣接して重なることで形成される、請求項２３に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
25. 前記幾何学模様は、直線、矩形、円形、および渦形の少なくとも１つが繰り返し配置された模様である、請求項２２から２４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。

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