CN102896899A - 液体排出头及其制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及液体排出头及其制造方法。一种液体排出头，其包括用于排出液体的液体排出口和具有与所述液体排出口相连通的液体流路的喷嘴层，其中所述喷嘴层具有两层，所述两层中为在所述液体流路侧的层的第一层具有用酸成膜的树脂，并且与作为另一层的第二层相比具有较小的水的静态接触角。

Description

液体排出头及其制造方法

技术领域

本发明涉及要安装在喷墨打印机等中的液体排出头(liquidejecting head)及其制造方法。

背景技术

在生产液体排出头的过程中的液体(例如，墨)的注入和排出液滴后夹带的气泡的排出，对于促进所述头生产和使液滴排出稳定是重要因素。作为有利地进行这些因素的方法，日本专利申请特开H09-239992描述了用于使喷墨喷嘴的流路部亲水化的方法。

近年来，由于单位时间墨滴的排出数因喷墨打印机的打印处理量的改进而增加，使用中喷墨记录头的温度趋于升高。日本专利申请特开H09-239992描述了在流路的内壁面具有包括全氢聚氮硅烷(perhydropolysilazane)的烧制层(fired layer)的亲水化层(hydrophilized layer)的喷墨记录头，其中亲水化层由无机材料形成，而其它的流路壁部分由有机材料形成。无机材料的线性膨胀系数可与有机材料的线性膨胀系数差4倍以上，并且已存在使用中所述头的温度升高而亲水化层剥离的情况。因此，需要由作为有机材料的树脂形成亲水化层，即需要用树脂使流路的内壁面亲水化。

作为用树脂使流路的内壁面亲水化的方法，例如，考虑如下方法：其中，具有排出口和液体流路的喷嘴层形成于两层构造中，并将两层中在流路侧的第一层形成为亲水化层。作为具有此构造的喷墨记录头的制造方法，考虑如下方法：在通过图案化生产的并且用其填充随后要形成为流路部分的模具材料上重复施涂用于第一层和第二层的材料，由此形成所述层。在该制造方法中，排出口的壁面形成于第二层与第一层的层压结构中。

要求液体流路壁中的亲水化层薄且在喷嘴之间无变化。在亲水化层为无机膜的情况下，用于各层的材料可通过CVD法等在模具材料上均匀形成为膜(成膜)(即使模具材料存在不均匀)。然而，在亲水化层为有机膜如树脂材料膜的情况下，不能采取上述方法，并且通常通过使用旋转来施涂该材料，从而在某些情况下使得非常难以控制液体流路的壁中亲水化层(第一层)的厚度以及在模具材料端部上的涂布性。例如，如果将亲水化层制得较薄，则模具材料端部的涂布性会劣化，并且流路的内壁面未亲水化。另一方面，如果膜厚度增加以增强模具材料端部上亲水化层的涂布性，则在喷嘴阵列中液体流路的壁中亲水化层的膜厚度会不均匀，从而在某些情况下引起喷嘴间排出特性的变化。

因此，本发明的目的是提供亲水化层在使用中不剥离且易于用液体(例如，墨)填充和除去夹带的气泡的液体排出头。本发明的另一目的是提供喷嘴间的排出特性不具有变化并且可形成薄且均匀的亲水化层的液体排出头的制造方法。

发明内容

本发明提供一种液体排出头，所述液体排出头包括用于排出液体的液体排出口和具有与该液体排出口相连通的液体流路的喷嘴层，其中所述喷嘴层具有两层，所述两层为第一层和第二层，所述第一层为在液体流路侧的层，并具有用酸成膜的树脂，并且进一步具有比作为另一层的第二层小的水的静态接触角(static contact angle)。

本发明还提供一种液体排出头的制造方法，该方法包括在基板上形成含有光酸产生剂(photoacid generator)并充当液体流路的模具的模具材料；使所述模具材料的要在表面上形成所述第一层的区域曝光，从而产生酸；在产生酸的所述模具材料的表面上形成所述第一层；形成所述第二层，以致覆盖所述第一层；形成贯通所述第一层和所述第二层的液体排出口；以及除去所述模具材料以形成液体流路。

从以下参考附图的示例性实施方案的描述中，本发明的进一步的特征将变得明显。

附图说明

图1为本发明的液体排出头的示意性透视图。

图2为沿图1的线A-A所取的本发明液体排出头的示意性截面图。

图3A、3B、3C、3D、3E、3F、3G、3H、3I和3J为解释本发明的制造方法的各步骤的示意性截面图。

图4为解释图3C中使整个表面曝光的情况的示意性截面图。

图5A和5B为图3D的俯视图和截面图的两个图。

具体实施方式

现在将根据附图详细描述本发明的实施方案。

注意，本发明的液体排出头可用作墨、化学液体、粘合剂和焊膏等的排出头。下文中，将描述实施方案，同时着重于在液体排出头中要安装在喷墨记录设备如喷墨打印机中的喷墨记录头。

首先，图1示出喷墨记录头的一个实例的示意性透视图。该喷墨记录头具有喷嘴层3、硅基板6以及设置在基板6和喷嘴层3之间的喷嘴粘合改进层(图2中的附图标记4)。图2为沿图1的线A-A切断的喷墨记录头的示意性截面图。

图1中示出的硅基板6具有墨排出能量产生元件(ink ejectingenergy generating elements)5和共用墨供给口(common inksupply port)11，所述墨排出能量产生元件5为用于产生用于排出液体(具体地，墨)的能量的液体排出能量产生元件，所述共用墨供给口11为与下述液体流路相连通的液体供给口。在基板6中，墨排出能量产生元件5以预定的间距排成两行而形成(图1仅示出一行)，而供给口11在两行墨排出能量产生元件5之间是开口的。

形成于硅基板6的喷嘴层3具有用于排出墨的墨排出口(液体排出口)1和与共用墨供给口11和各墨排出口1相连通的独立的墨流路(液体流路：图2中的附图标记2)。如图2所示，各墨排出口1在各墨排出能量产生元件5的上方开口(如图中所示的上方)，粘合改进层4形成于基板6和喷嘴层3的液体流路壁之间。喷嘴层3具有两层，更具体地，具有为两层中在液体流路侧的层的第一层3a和为另一层的第二层3b。如图2所示，墨流路2的壁面可由第一层3a和喷嘴粘合改进层4所形成，排出口1的壁面可由第一层3a和第二层3b的层压结构所形成。

在图2中，第一层3a可作为涂布墨流路2壁面的涂布层沿着墨流路2的壁面薄且均匀地形成，第二层3b形成于除该第一层以外的喷嘴层的区域(墨流路的壁和排出口的壁)上。对于彼此相邻的两个墨流路之间的壁内(液体流路的壁之间)的喷嘴层3，沿着与基板6平行的方向(如图2所示沿水平方向)在薄且均匀的两个第一层之间形成第二层。

注意，本发明中，与第二层3b相比，第一层3a可配置为更接近墨流路2。例如，如图2所示，第一层可作为墨流路壁面上的涂布层而形成，或可选地，喷嘴层中的墨流路壁部分可仅由第一层形成。

第一层具有用酸成膜的树脂作为基材。第一层可优选具有含羟基的树脂(第一层形成用材料)作为亲水化剂。第一层还可通过固化用酸成膜的树脂和具有羟基的树脂的混合物来形成。

用酸成膜的树脂的实例可包括环氧树脂和酚醛树脂，这些树脂可单独使用，或可两种或多种树脂组合使用。注意，用酸成膜的树脂意指通过酸引起发生聚合反应来生产聚合材料(固化产物)。

具有羟基的树脂的实例可包括多羟基苯乙烯、线型酚醛清漆和聚乙烯醇，这些材料可单独使用，或可两种或多种材料组合使用。

从膜稳定性(膜耐剥离性)的观点，上述用酸成膜的树脂在第一层形成用材料中的含量可为80质量%以上。

从膜稳定性的观点，上述具有羟基的树脂在第一层形成用材料中的含量可为20质量%以下。

除这些树脂以外，第一层形成用材料可进一步包含固化剂，以便增强膜稳定性。通过在溶剂中溶解第一层形成用材料所获得的溶液可用于形成第一层。

一种树脂既可用作用酸成膜的树脂，也可用作具有羟基的树脂，此类树脂可包括例如线型酚醛清漆(novolac)。

在第一层形成用材料含有例如具有羟基的树脂的情况下，该材料可形成具有30°以下的水的静态接触角的亲水化层作为第一层。例如，如果第二层由感光性树脂形成，水的静态接触角通常为60°，因而水对第一层3a的静态接触角小于水对第二层3b的静态接触角。在本发明中，水对第一层的静态接触角可小于对第二层的角，并且水对各层的静态接触角可依据要使用的墨的性质(如，水溶性或油性)而适当地调整。水对各层的静态接触角可用接触角仪来测量。第二层可为感光性树脂的固化产物，作为感光性树脂，可使用液体排出头领域已知的任何感光性树脂，进一步，其中也可共混各种添加剂如光聚合引发剂。作为感光性树脂，例如，可使用共混了光聚合引发剂的环氧树脂。

其中形成亲水性第一层的具有上述构造的喷嘴层3，可使单独的墨流路2的内壁面亲水。因此，喷嘴材料的亲水化可通过向作为喷嘴层的基材的用酸成膜的树脂添加具有羟基的树脂来实现。这里，此亲水性意指使与水的静态接触角为30°以下。

配置喷墨记录头以使喷嘴层3的形成排出口1的表面朝向记录介质的记录面。然后，通过向经由共用墨供给口11填充于墨流路2的墨(液体)施加来自墨排出能量产生元件5的压力，从墨排出口1排出墨滴并使其粘附于记录介质，由此能够进行记录操作。

通过下述本发明的制造方法生产喷墨记录头，从而能够生产模具材料的周围即液体流路的内壁面选择性地亲水化的喷嘴层，并且还能够在排出口的壁内和在液体流路的壁内形成具有薄且均匀厚度的亲水化层的喷嘴层。通过本发明的制造方法生产的喷墨记录头在喷嘴间的排出特性无变化，并具有亲水性高的流路，从而使得易于填充墨和除去夹带的气泡。

接下来，将参照图3A至3J详细描述本发明的制造方法。这里，图3A至3J为各步骤中沿图1的线B-B所取的喷墨记录头的截面图。

首先，如图3A所述，在设置有墨排出能量产生元件5的硅基板上形成喷嘴粘合改进层4(粘合层形成步骤)。硅基板6的晶体取向为(100)面。该图示出使用具有(100)面晶体取向的基板的情况，但并不限制面取向。

喷嘴粘合改进层4可直接形成于硅基板6的表面，或其它层可存在于喷嘴粘合改进层4和基板6之间。图3A中，热氧化膜13存在于基板6上，作为绝缘层的氧化硅膜14存在于热氧化膜上(如图所示的上方)，多个墨排出能量产生元件5(图3A至3J中的一个元件)如发热电阻器置于如图所示的上方。作为保护膜的氮化硅膜15存在于其上。附图标记16意指在形成贯通基板的供给口时的牺牲层。热氧化膜12进一步形成于基板6的背面(与其上形成基板的喷嘴层的面即前面相对的面)。

喷嘴粘合改进层4可使用聚醚酰胺树脂或聚酰胺形成。设置喷嘴粘合改进层4，从而能够增强喷嘴层3(如，第二层3b)与基板的表面(当上述其它层存在时，其是指该其它层的表面)的粘合性。在图3A中，示出了粘附至氮化硅膜15的喷嘴粘合改进层4。粘合改进层4可通过如下来形成：在基板6上通过例如旋涂法施涂用于形成层4的材料(如聚醚酰胺树脂)以形成材料层，并通过图案化和蚀刻适当地除去不必要的层部分，即除粘合改进层4以外的层部分。

接下来，如图3B所示，含有光酸产生剂并充当墨流路2模具的模具材料7形成于其上形成墨排出能量产生元件5的基板6上(模具材料形成步骤)。模具材料可直接形成于硅基板6的表面上，或者其它层(如，粘合改进层4和氮化硅膜15)可存在于模具材料7和基板6之间。在本发明的制造方法中，由于除去模具材料7从而形成墨流路，因此通过向溶剂可溶的树脂添加光酸产生剂所获得的材料可用作模具材料7的材料。

作为光酸产生剂，例如，可使用在i射线(波长：365nm)曝光时产生酸的光酸产生剂。模具材料7，即墨流路图案可通过如下形成：在基板上通过例如旋涂法施涂用于模具材料的材料，然后使用例如远(Deep)UV光(波长：240至300nm)使材料曝光和显影。更具体地，模具材料7可通过如下形成：在基板上施涂例如添加光酸产生剂的正型感光性材料，将除模具材料7以外的施涂材料的部分暴露于远UV光以增加材料对显影剂的溶解度，并除去曝光的部分。

这里，期望模具材料7由不用由光酸产生剂产生的酸形成膜(成膜)的材料所形成。进一步期望模具材料7可通过，除了由光酸产生剂介导的反应(reaction me diated by the photoacidgenerator)，即通过由光酸产生剂所产生的酸的聚合反应以外的方法(如通过使用上述远UV光曝光并显影)来图案化。作为形成此类模具材料7的材料，例如，可使用通过向ODUR(商品名，由Tokyo Ohka Kogyo Co.,Ltd.生产)添加光酸产生剂所获得的材料。

另一方面，下述亲水化喷嘴材料层10可通过用源自模具材料的由光酸产生剂所产生的酸成膜来形成，并可利用与酸的聚合反应来图案化从而形成第一层3a。

接下来，如图3C所示，使模具材料7的表面上用于生产第一层的区域(region)(区域(area))曝光，以产生酸(酸产生步骤)。

使上述区域曝光以在该区域上产生酸，其后将第一层用材料施涂于该区域并烘焙，从而能够在预定位置上，具体在产生酸的部分的模具材料的表面上形成具有期望厚度的第一层。在图3C中，模具材料的在表面上要形成第一层的区域，具体地，除了随后在其上要形成排出口的部分以外的区域，使用掩膜8a用光8照射。由此，在未用光8照射的部分(避光部分)的模具材料的表面上不形成亲水化层(第一层)。

对于产生酸，曝光波长、曝光量、烘焙温度和烘焙时间可依据所使用的光酸产生剂和所形成的第一层的厚度而适当地选择。

图3D以及图5A和5B示出了曝光后的状态。图5A和5B示出了图3D的俯视图和截面图之间的关系。如这些图所示，不用光照射其上要形成排出口的区域，从而不产生酸，由此仍保留为模具材料7。另一方面，在由附图标记9所表示的部分产生酸，第一层可形成于该部分的表面上。尽管除模具材料以外的区域已用光照射，但因为该区域不包括光酸产生剂，所以该区域不存在(产生)酸。因此，在本发明中，期望除模具材料以外的各层和膜不包含光酸产生剂。

随后，如图3E至3G所示，第一层3a形成于其上产生酸的模具材料9上，更具体地，形成于模具材料9的表面上(第一层形成步骤)。具体地，首先，如图3E所示，通过例如旋涂法将第一层用原料施涂至露出基板6的前面侧的表面的区域(图3E中，模具材料7和9的表面、粘合改进层4的表面和氮化硅膜15的表面)，从而形成亲水化喷嘴材料层10。

亲水化喷嘴材料层10(第一层用原料)具有用酸形成膜(成膜)的树脂。层10可优选具有含羟基的树脂。作为用酸成膜的树脂，例如可使用环氧树脂和酚醛树脂中的至少一种。

作为具有羟基的树脂，可使用例如多羟基苯乙烯、线型酚醛清漆和聚乙烯醇中的至少一种。

第一层3a为亲水化喷嘴材料层的固化产物，该第一层可具体地为通过用来自光酸产生剂的酸来固化亲水化喷嘴材料层并烘焙而获得的产物。

其后，如图3F所示，烘焙其上形成层10的基板，从而将酸从模具材料9的表面扩散至亲水化喷嘴材料层10的内部，以在层10与模具材料9接触的位置形成亲水性第一层3a。以该方式，可烘焙亲水化喷嘴材料层(第一层用原料)，从而使材料与来自模具材料中的光酸产生剂的酸反应，并由此固化。

其后，如图3G所示，通过用显影剂显影来除去亲水喷嘴材料层10的不必要部分，即除第一层以外的亲水喷嘴材料层部分。由此，第一层3a可仅在模具材料9表面的期望区域上选择性地形成。

从使墨流路附近的排出口的形状稳定的观点，第一层3a从模具材料表面的厚度可优选1μm以下。

图3C中，在选择性地曝光模具材料的除要形成排出口的部分以外的区域的同时，还可如图4所示曝光基板前面侧的整个表面以在模具材料7的整个表面上形成第一层。在该情况下，当除去流路中的模具材料9时，可优选同时除去与排出口相接触的第一层部分(要形成为排出口1的第一层部分)，从而形成墨流路2和排出口1。例如，在通过以2,000J的量曝光模具材料7并在80℃的温度下烘焙2分钟来形成厚度0.2μm的第一层的情况下，可易于同时除去流路中的模具材料9和与排出口相接触的第一层部分。

随后，如图3H所示，将作为第二层3b用材料的感光性树脂施涂于第一层和喷嘴粘合改进层(实际上，模具材料7、第一层3a、喷嘴粘合改进层4和氮化硅膜15)的各表面以形成感光性树脂层。其后，经由掩膜(未示出)曝光并显影感光性树脂层以形成具有排出口1的第二层3b(第二层和排出口形成步骤)。排出口沿图的垂直方向贯通第一层3a和第二层3b。

然后，如图3I所示，通过例如各向异性蚀刻除去牺牲层16以在基板6上形成墨供给口11(墨供给口形成步骤)。具体地，使基板6的背面上的热氧化膜12图案化以露出充当各向异性蚀刻的初始面的硅表面，然后进行硅各向异性蚀刻。通过基板6的化学蚀刻，例如用强碱溶液如TMAH(四甲基氢氧化铵)或KOH(氢氧化钾)的各向异性蚀刻，来形成墨供给口11。

然后，如图3J所示，除去模具材料以形成墨流路2(模具材料除去步骤)。具体地，通过使用例如氢氟酸溶液的湿法蚀刻除去氧化硅膜14。其后，通过干法蚀刻等除去氮化硅膜15。然后，用溶剂从墨排出口1和墨供给口11洗脱模具材料7和9，从而形成墨流路2(如，发泡室)。当除去模具材料(如图4中，在整个表面曝光的情况下为模具材料和第一层)时，根据需要同时使用超声浸渍能够易于除去材料。这里，在除去前将模具材料暴露于依据模具材料所选取的波长的光(如，远UV光)，因而可将其溶解，并可用上述溶剂除去。

随后，可将通过前述步骤获得的其上形成有喷嘴部分(排出口、墨流路和墨供给口)的基板6用切割锯等分离和切断，并芯片化。此外，电连接所获得的芯片以驱动墨排出能量产生元件5，然后可形成与用于供给墨的芯片罐构件(chip tank member)连接的喷墨记录头。

尽管在上述步骤中喷嘴层由两层形成，但喷嘴层可仅由上述第一层形成。即，在图3G的阶段，也可使第一层3a充当喷嘴层以在第一层3a中形成排出口。

(实施例)

下文中，将示出本发明的液体排出头中的喷墨记录头的实施例。

(实施例1)

如图3A所示，使用具有(100)面晶体取向的硅基板6。硅基板6在前面上具有热氧化膜13、氧化硅膜14、墨排出能量产生元件5、氮化硅膜15和牺牲层16，在后面上具有热氧化膜12。

在硅基板6的表面上，即在氮化硅膜的表面上，形成包括聚醚酰胺树脂(商品名：HIMAL-1200，由Hitachi Chemical Co.,Ltd.生产)的喷嘴粘合改进层4。具体地，通过旋涂法将上述聚醚酰胺树脂施涂于基板6的表面以形成树脂层，通过使粘合改进层4图案化和蚀刻来除去除粘合改进层4以外的树脂层部分。这里，使得粘合改进层4的厚度为2μm。

然后，如图3B所示，通过旋涂法将可溶性树脂(通过向ODUR(商品名，由Tokyo Ohka Kogyo Co.,Ltd.生产)添加光酸产生剂所获得的树脂)施涂至基板6，其后，将树脂暴露于远UV光并显影以形成墨流路图案(模具材料7)。作为光酸产生剂，使用在暴露于i射线时产生酸的光酸产生剂。

然后，如图3C和3D所示，使模具材料的在表面上要形成第一层的区域，即，除其上要形成排出口的部分以外的区域以3,000J的曝光量暴露于具有365nm波长的光8，从而在曝光的模具材料部分上由光酸产生剂产生酸。这里，由于除模具材料以外的部分不包含光酸产生剂，因此在此部分上不产生酸。

其后，如图3E所示，通过向900质量份作为通过用酸成膜的树脂的环氧树脂(商品名：EHPE3150，由Daicel Corporation生产)添加100质量份作为具有羟基的树脂的聚乙烯醇，并将所得物溶解于溶剂(二甘醇二甲醚)来制备溶液。然后，通过旋涂将溶液施涂于基板6的前面侧以形成亲水化喷嘴材料层10。

然后，进行90℃下的烘焙4分钟，由此使酸从模具材料9扩散至亲水化喷嘴材料层10的内部，从而如图3F所示在模具材料上形成亲水性第一层3a。这里，由此形成的第一层3a具有约1μm的厚度，此水平的厚度能够易于确保粘合改进层与第一层3a之间令人满意的粘合力。

其后，如图3G所示，通过用显影剂(MIBK(甲基异丁基甲酮))显影来除去不必要的亲水化喷嘴材料层10。

然后，如图3H所示，将作为第二层用材料的感光性树脂(通过向EHPE3150(商品名，Daicel Corporation)添加光引发剂所获得的树脂)施涂于基板6的前面侧，以形成感光性树脂层。然后，将树脂层曝光并显影以形成排出口1和第二层3b。

这里，当用接触角仪测量时，水对第一层3a的静态接触角为30°，水对第二层3b的静态接触角为60°。因此，水对第一层的静态接触角小于水对第二层的角。

其后，如图3I所示，将基板6背面上的热氧化膜12图案化以露出充当各向异性蚀刻的初始面的硅表面，然后进行硅各向异性蚀刻以形成墨供给口11。

随后，如图3J所示，通过使用氢氟酸溶液的湿法蚀刻除去氧化硅膜14，通过干法蚀刻除去氮化硅膜15。然后，使用溶剂从墨排出口1和墨供给口11洗脱模具材料7和9，从而形成墨流路2。这里，在除去模具材料前已用远UV光对其照射而使其变得可溶。

将通过前述步骤所获得的基板6用切割锯分离并切断并且芯片化，然后电连接芯片以驱动墨排出能量产生元件5，从而获得连接用于供给墨的芯片罐构件的喷墨记录头。

(比较例1)

除了不形成亲水化层(第一层3a)以外，以与实施例1相同的方式生产喷墨记录头。具体地，第二层直接形成于模具材料上而不向可溶性树脂添加光酸产生剂，并且不进行图3C至3G中的酸产生步骤和第一层形成步骤。

将实施例1中生产的喷墨记录头与不具有亲水化层的比较例1中的喷墨记录头相比较，以评价。证实实施例1中生产的喷墨记录头在喷嘴间的排出特性无变化，从而相对于比较例1易于填充墨和除去夹带的气泡。

本发明可提供亲水化层在使用中不剥离并易于填充液体(如，墨)和除去夹带的气泡的液体排出头。本发明可进一步提供在喷嘴间的排出特性几乎无变化且能够形成薄且均匀的亲水化层的液体排出头的制造方法。

尽管已参考示例性实施方案描述本发明，但应理解本发明不受限于所公开的示例性实施方案。以下权利要求的范围符合最宽泛的解释，从而包含所有的此类改进和等同结构及功能。

Claims (8)

1.一种液体排出头，其包括用于排出液体的液体排出口和具有与所述液体排出口相连通的液体流路的喷嘴层，其中

所述喷嘴层具有两层，所述两层为第一层和第二层，和

所述第一层为在所述液体流路侧的层，并具有用酸成膜的树脂，并且进一步具有比作为另一层的所述第二层小的水的静态接触角。

2.根据权利要求1所述的液体排出头，其中所述用酸成膜的树脂为环氧树脂和酚醛树脂中的至少一种树脂。

3.根据权利要求1所述的液体排出头，其中所述第一层具有含羟基的树脂。

4.根据权利要求3所述的液体排出头，其中所述含羟基的树脂为选自由多羟基苯乙烯、线型酚醛清漆和聚乙烯醇组成的组中的至少一种树脂。

5.一种液体排出头，其包括用于排出液体的液体排出口和具有与所述液体排出口相连通的液体流路的喷嘴层，其中

所述喷嘴层具有用酸成膜的树脂，所述酸源自充当液体流路的模具的模具材料。

6.一种根据权利要求1所述的液体排出头的制造方法，其包括：

在基板上形成含有光酸产生剂并充当液体流路的模具的模具材料；

使所述模具材料的要在表面上形成所述第一层的区域曝光，从而产生酸；

在产生酸的所述模具材料表面上形成所述第一层；

形成所述第二层，以致覆盖所述第一层，

形成贯通所述第一层和所述第二层的液体排出口；和

除去所述模具材料以形成液体流路。

7.根据权利要求6所述的液体排出头的制造方法，其中所述模具材料能够通过除由光酸产生剂介导的反应以外的方法图案化。

8.根据权利要求6所述的液体排出头的制造方法，其中

在基板上形成含有光酸产生剂并充当液体流路的模具的模具材料；

使所述模具材料的要在表面上形成喷嘴层的区域曝光，从而产生酸；

形成所述喷嘴层以致覆盖产生酸的所述模具材料；

形成贯穿所述喷嘴层的液体排出口；和

除去所述模具材料以形成所述液体流路。

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