JP5288828B2 - 液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents
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吐出用液体の吐出口と、該吐出口に吐出用液体を供給するための吐出用液流路と、前記吐出用液流路と発泡用液流路との隣接部においてこれらを分離する分離膜と、該分離膜の少なくとも一部に設けられ、前記吐出用液流路と前記発泡用液流路とを前記分離膜のみによって仕切る可動部と、前記発泡用液流路中の発泡用液体を加熱して発泡させるための発熱素子と、を有し、前記発泡用液流路中での発泡による前記発泡用液体の圧力変動に伴い前記可動部が変位することによって前記吐出用液流路中の前記吐出用液体を前記吐出口から吐出する液体吐出ヘッドであって、
前記発泡用液流路と前記発熱素子とを有する基板の表面に、前記吐出用液流路と前記吐出口とが設けられ、
前記分離膜により前記発泡用液流路の天井の少なくとも一部を形成して前記基板の表面に露出させ、前記吐出用液流路を該基板の表面に露出した分離膜の有する可動部をその底面の一部として設けることにより前記吐出用液流路と前記発泡用液流路との隣接部が設けられており、
前記発熱素子は前記発泡用液流路の天井側に設けられており、
前記発熱素子を、間隔をもって2つ配置し、これらの発熱素子間に前記可動部を設けた
ことを特徴とする液体吐出ヘッドである。
基体の表面に、発泡用液流路となる領域を占める犠牲膜を形成する工程と、
該犠牲膜を被覆する保護膜を形成する工程と、
犠牲膜上の保護膜の上に発熱素子を形成する工程と、
発熱素子を蓄熱層で被覆する工程と、
犠牲膜の、分離膜の可動部となる領域を露出させる工程と、
少なくとも犠牲膜の露出した部分を、分離膜となる膜により被覆する工程と、
犠牲膜に達する貫通穴を基体の裏面から形成する工程と、
貫通穴を介して犠牲膜を基体上から除去して空隙を形成し、該空隙を該空隙に面する基体の表面部分を削りとることで更に拡張して発泡用液流路を形成することにより基板を得る工程と、
基板の表面の可動部を底部の一部として吐出用液流路を設ける工程と、
吐出用液流路に連通する吐出口を形成する工程と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法である。
・基体の表面に、発泡用液流路となる領域を占める犠牲膜を形成する工程。
・犠牲膜を被覆する保護膜を形成する工程。
・犠牲膜上の保護膜の上に発熱素子を形成する工程。
・発熱素子を蓄熱層で被覆する工程(以上、図1(a)参照)。
・犠牲膜の、分離膜の可動部となる領域を露出させる工程。
・少なくとも犠牲膜の露出した部分を、分離膜となる膜により被覆する工程(以上、図1(e)参照)と、
・犠牲膜に達する貫通穴を基体の裏面から形成する工程(図1(b)〜(d)参照)。
・貫通穴を介して犠牲膜を基体上から除去して空隙を形成し、該空隙を該空隙に面する基体の表面部分を削りとることで更に拡張して発泡用液流路を形成することにより基板を得る工程(図1(f)参照)。
・基板の表面に露出する可動部を底部の一部として吐出用液流路を設ける工程。
・吐出用液流路に連通する吐出口を形成する工程。
・基板の表面に吐出用液流路となる領域を占める樹脂パターンを設ける工程(図2(b)参照)。
・樹脂パターンを覆う型材を形成する工程。
・樹脂パターンを基板の表面から除去して吐出用液流路を形成する工程(以上、図2(c)〜(e)参照)。
・基板の表面に第1のポジ型レジストの層を形成する工程。
・第1のポジ型レジストの層の上に、第1のポジ型レジストと感光波長の異なる第2のポジ型レジストの層を設ける工程。
・第2のポジ型レジストのみが感光する波長での第2のポジ型レジストの層へのパターン露光と現像により、第1のポジ型レジストの層の表面から突出した接続部となる領域を占める第2のポジ型レジストのパターンを得る工程。
・第1のポジ型レジストのみが感光する波長での第1のポジ型レジストの層へのパターン露光と現像により、吐出用液流路の基板の表面に沿って伸びる液流路部となる領域を占める第1のポジ型レジストのパターンを得る工程(以上、図3(a)参照)。
以下に、本発明実施例について詳述する。
図1は、実施例1の製造方法を示す工程断面図である。膜厚625μmのシリコン基板からなる基体10上に、犠牲膜2となる、膜厚300nmのアルミニウム(以下、ALと略す)からなる膜を、通常のスパッタ法を用いて形成した。その後、フォトリソグラフィ法とドライエッチッング法を用い、所望のパターン形状の犠牲膜2を形成した。
1.第1の液流路を介して純水/ジエチレングリコール/イソプロピルアルコール/酢酸リチウム/黒色染料フードブラック2からなる色材インク(粘度:4〜10cps)供給し、
2.第2の液流路を介して発砲液(純水/ジエチレングリコール/イソプロピルアルコール:粘度:1.2〜2.0cps)を供給し、
記録を行ったところ、本実施例では安定な印字が可能であり、得られた印字物は高品位なものであった。
実施例1の図2(a)までは同一の製造工程であるので、製造方法の詳細は省略する。
材料名 商品名 製造会社名 重量部
エポキシ樹脂 EHPE−3158 ダイセル化学工業(株)製 100
シランカップリング材 A−187 日本ユニカー(株)製 1
開始材 SP−170 旭電化工業(株)製 1.5
その後、ネガ型のレジストを用い、フォトリソグラフィ法を用い、インクの吐出口24の開口部のレジスト及びノズル材23を同時に露光した。その後、露光後ベーク(以下、PEBと略す)およびレジストの現像を行い、レジストにφ15μmのインク吐出口パターンとなる開口を形成した(図3(b)参照)。
1.第1の液流路を介して、純水/ジエチレングリコール/イソプロピルアルコール/酢酸リチウム/黒色染料フードブラック2からなる色材インク(粘度:4〜10cps)と、
2.第2の液流路を介して、発砲液(純水/ジエチレングリコール/イソプロピルアルコール:粘度:1.2〜2.0cps)を供給し、
記録を行ったところ、本実施例では安定な印字が可能であり、得られた印字物は高品位なものであった。
実施例3では、実施例1で示した第2の液流路と分離膜の形成工程において、第2の液流路に充填する発泡用液体を循環させて、残留気泡などによる弊害を取り除くための液体吐出ヘッドを形成する工程を示している。
1.第1の液流路を介して純水/ジエチレングリコール/イソプロピルアルコール/酢酸リチウム/黒色染料フードブラック2からなる色材インク(粘度:4〜10cps)供給し、
2.第2の液流路を介して発砲液(純水/ジエチレングリコール/イソプロピルアルコール:粘度:1.2〜2.0cps)を供給し、
記録を行ったところ、本実施例では安定な印字が可能であり、得られた印字物は高品位なものであった。
3 ヒータ
4 保護膜
5 蓄熱層
10 基体
11 発泡用液体の供給口
12 側壁保護膜
13 分離膜
14 第2の液流路
15 密着層
16 ポジ型レジスト
17 ノズル材(型材)
18 吐出用液体(インク)供給口
19 吐出口
20 第1の液流路
21 下層樹脂層
22 上層樹脂層
23 ノズル材
24 吐出口
25 インク供給口
26 接続部
27 液流路部
Claims (14)
- 吐出用液体の吐出口と、該吐出口に吐出用液体を供給するための吐出用液流路と、前記吐出用液流路と発泡用液流路との隣接部においてこれらを分離する分離膜と、該分離膜の少なくとも一部に設けられ、前記吐出用液流路と前記発泡用液流路とを前記分離膜のみによって仕切る可動部と、前記発泡用液流路中の発泡用液体を加熱して発泡させるための発熱素子と、を有し、前記発泡用液流路中での発泡による前記発泡用液体の圧力変動に伴い前記可動部が変位することによって前記吐出用液流路中の前記吐出用液体を前記吐出口から吐出する液体吐出ヘッドであって、
前記発泡用液流路と前記発熱素子とを有する基板の表面に、前記吐出用液流路と前記吐出口とが設けられ、
前記分離膜により前記発泡用液流路の天井の少なくとも一部を形成して前記基板の表面に露出させ、前記吐出用液流路を該基板の表面に露出した分離膜の有する可動部をその底面の一部として設けることにより前記吐出用液流路と前記発泡用液流路との隣接部が設けられており、
前記発熱素子は前記発泡用液流路の天井側に設けられており、
前記発熱素子を、間隔をもって2つ配置し、これらの発熱素子間に前記可動部を設けた
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 前記発熱素子が、2以上設けられていることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記発熱素子が、前記分離膜の前記発泡用液流路側に設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記分離膜が、化学気相反応もしくはプラズマ重合反応により形成された有機物膜である、請求項1から3のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記有機物膜が、パラキシリレン系樹脂からなることを特徴とする請求項4に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記発泡用液流路に、前記発泡用液体を供給するための供給口が2個所に設けられていることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記吐出口は前記基板の表面に対向して設けられ、前記吐出用液流路は、前記基板の表面に沿って伸びる液流路部と、前記基板の表面から該基板の表面に対向する前記吐出口までの領域を形成する前記吐出口との接続部とを有し、該接続部の天井が、該液流路部の天井よりも高く設けられていることを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記接続部の幅が、その天井部分へ向かって減少する部分を有する請求項7に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記吐出口、前記吐出用液流路、前記発泡用液流路、前記発熱素子、及び、前記分離膜を有する単位が複数設けられていることを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
- 吐出用液体の吐出口と、該吐出口に吐出用液体を供給するための吐出用液流路と、前記吐出用液流路と発泡用液流路との隣接部においてこれらを分離する分離膜と、該分離膜の少なくとも一部に設けられ、前記吐出用液流路と前記発泡用液流路とを前記分離膜のみによって仕切る可動部と、前記発泡用液流路中の発泡用液体を加熱して発泡させるための発熱素子と、を有し、前記発泡用液流路中での発泡による前記発泡用液体の圧力変動に伴い前記可動部が変位することによって前記吐出用液流路中の前記吐出用液体を前記吐出口から吐出する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
基体の表面に、前記発泡用液流路となる領域を占める犠牲膜を形成する工程と、
該犠牲膜を被覆する保護膜を形成する工程と、
前記犠牲膜上の前記保護膜の上に前記発熱素子を形成する工程と、
前記発熱素子を蓄熱層で被覆する工程と、
前記犠牲膜の、前記分離膜の可動部となる領域を露出させる工程と、
少なくとも前記犠牲膜の露出した部分を、前記分離膜となる膜により被覆する工程と、
前記犠牲膜に達する貫通穴を前記基体の裏面から形成する工程と、
前記貫通穴を介して前記犠牲膜を前記基体上から除去して空隙を形成し、該空隙を該空隙に面する基体の表面部分を削りとることで更に拡張して前記発泡用液流路を形成することにより基板を得る工程と、
前記基板の表面に露出する前記分離膜の可動部を底部の一部として前記吐出用液流路を設ける工程と、
前記吐出用液流路に連通する前記吐出口を形成する工程と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 間隔をもって2つの発熱素子を前記保護膜上に配置し、これらの発熱素子の間に前記犠牲膜を露出させることにより、これらの発熱素子の間に前記可動部を設けることを特徴とする請求項10に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記基板に吐出用液流路を形成する工程が、
前記基板の表面に前記吐出用液流路となる領域を占める樹脂パターンを設ける工程と、
前記樹脂パターンを覆う型材を形成する工程と、
前記樹脂パターンを前記基板の表面から除去して前記吐出用液流路を形成する工程と、
を有する
ことを特徴とする請求項10または11に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記液体吐出ヘッドが、前記吐出口は前記基板の表面に対向して設けられ、前記吐出用液流路は、前記基板の表面に沿って伸びる液流路部と、前記吐出口との接続部とを有し、
該接続部の天井が、該液流路部の天井よりも高い構造を有するものであり、
前記樹脂パターンの形成工程が、
前記基板の表面に第1のポジ型レジストの層を形成する工程と、
前記第1のポジ型レジストの層の上に、前記第1のポジ型レジストと感光波長の異なる第2のポジ型レジストの層を設ける工程と、
前記第2のポジ型レジストのみが感光する波長での前記第2のポジ型レジストの層へのパターン露光と現像により、前記第1のポジ型レジストの層の表面から突出した前記接続部となる領域を占める第2のポジ型レジストのパターンを得る工程と、
前記第1のポジ型レジストのみが感光する波長での前記第1のポジ型レジストの層へのパターン露光と現像により、前記吐出用液流路の前記基板の表面に沿って伸びる液流路部となる領域を占める第1のポジ型レジストのパターンを得る工程と、
を有することを特徴とする請求項12に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記接続部の幅が、その天井部分へ向かって減少する部分を有する請求項13に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
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