CN1096952C - 一种制造喷墨头的方法和一种喷墨头 - Google Patents

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Abstract

制造喷墨头的方法包括：第一步，在基板上配置一通道成型材料以构造与用来排墨的排放口通连的墨道；第二步，在基板上的通道成型材料附近配置一边缘部分成型材料；第三步，在基板上配置一壁结构材料，以覆盖通道成型材料和边缘成型材料；第四步，通过从基板上去除通道成型材料，以构造包含壁结构材料的通道。用这种方法可以制造出具有一个墨腔和多个喷嘴的喷墨头，其构形大体上与模制部件相同，不会产生裂纹和其它缺陷。

Description

一种制造喷墨头的方法和一种喷墨头
技术领域
本发明涉及一种制造喷墨头的方法，和一种用该方法制造的喷墨头。
背景技术
喷墨头用来从其喷嘴中排放微细的墨滴，实现对文字、图像等的记录。高精度的输出图像和高的打印速度是其最显著的优点。尤其是采用由电热转换元件等(下面称之为加热器产生的气泡所施加的压力的方法，也就是所谓的热喷墨记录方法，该方法在USP4,723,129，日本专利公布号NOS.61-59911至59914中均有披露，其特征在于：这种方法可使制造的设备小型化，而且其特征还在于：这种设备在保持其它优点的同时，更容易实现高密度的图像记录。
图14表示了以上所描述的一种热喷墨头的一个实例。图14为表示所谓侧射式热喷墨头的立体示意图。图15为表示用来构成图14代表的加热器的加热板的立体示意图。
图14所示喷墨头是通过把包含多个喷孔101的一个喷嘴板部件102同一块基板103粘接在一起而构成的。在基板103上开有供墨入口104(如图15所示)。在基板103的与喷嘴板部件102粘接的表面上配置有多个和喷孔101位置相对应的加热器。
同样，图16为表示沿图14中线16-16剖开的横截面图。如图16所示，在基板103和喷嘴板部件102之间，有一个液腔106和一个喷嘴107，其中，液腔106使供墨入口104与位于加热器105上方的喷孔101通连。墨液经由液腔106从供墨入口104输送到喷嘴107，然后，在由加热器105产生的气泡所施加的压力的作用下，墨滴从喷孔101中排出。上述喷墨头的特殊结构在于：液腔和喷嘴的所需空间是通过把基板103和喷嘴板部件102粘在一起而构成的。
这种喷墨头的制造可由图17A至17G中所示的步骤来完成。以下将参照这些附图，对上述喷墨头的制造方法进行说明。
首先备置一块具有预置供墨入口104和加热器105的基板(见图17A)。然后，在其上面覆盖一层光致正性抗蚀材料107(见图17B)，如一种干膜ODUR(产品名称—由Tokgo ohka Kabushiki Kaisha生产)。利用光刻工艺把包含喷嘴和液腔的一个模制部件构造在基板103上(见图17C)。图18示出了这种模制部件109的表面结构。在图18中，标号B和C标明的部分即分别为构造喷嘴和液腔的部分。
然后，把下列混合物溶入二甲苯/环己烷＝8/2(按50重量百分率)，可得到树脂材料；这种树脂材料层覆在基板103和模制部件109上，利用光或热对这种树脂材料进行硬化，从而获得喷嘴板部件102(见图7D)：喷嘴板材料：
Epicoat 1002(产品名称—Yuka Shall Epoxykk生产)，100份，Epowrite 3002(产品名称—由Kgonei Kabushiki Kaisha生产)，20份，Irgacure 261(产品名称—由CIBA GEIGY生产)，3份。
此后，在喷嘴板部件102上涂上薄的抗氧化光硬化等离子材料层110，接着利用光刻工艺在预定位置上构造喷孔形状的去除部分，而该预定位置均一一对应着每个加热器(见图17E)。这样，利用等离子照射法即在喷嘴板部件102上得到喷孔101(见图17F)。模制材料109被溶化并经由喷孔和供墨入口排出，从而得到喷嘴107和液腔106(见图17G)。
按照上述制造方法生产的喷墨头的排墨性能主要取决于加热器表面和喷孔构形表面间的间隙。不过，由于喷嘴板部件是由树脂涂层构成的，因此很容易控制加热器表面和喷孔构形表面间的间隙。在制造喷墨头时，该间隙显著影响排墨特性。这样，会使喷墨头的制造成本更低。此外，还能够提供小于10Pl的微滴，而获得高精度的图像尤其需要这种微滴。另一方面，由于喷孔是利用光刻工艺得到的，所以对加热器和喷孔进行定位。对于这种通过在包含模制部件基板上涂覆树脂材料来制造喷嘴板部件的方法，下面称之为树脂板注模法。”
但是，如果采用图3所示制造工艺构造100μm或更小的极薄型喷嘴板部件(事实上，加热器表面和喷孔构形表面间的间隙越窄，排墨性能就越好)，那么，在基板上凸出成型部件的拐角附近处，喷嘴板部件上的树脂材料涂层往往会变得不均匀。
下面将参照图18和图19，对于这种不匀性发生时遇到的问题进行说明。图19为表示利用树脂板注模法构造超细喷嘴板部件时的喷墨头的局部横截面图。
换句话说，问题就发生在图19中参考标号E标明的部分，这部分与图18中D部分相对应。层覆在基板上的树脂材料厚度在构造液腔的模制部件的凸出拐角附近局部变得更薄。结果，应力集中在这一较薄部分，而在喷嘴板部件上产生裂纹112。更严重地会造成液腔下陷，导致喷墨头生产时的低效率。
为了避免这种缺陷，应当使喷嘴和液腔部分的膜厚H与不包括喷嘴和液腔的那部分的膜厚h之间的差值尽可能小：厚度H最好应近似等于厚度h，即喷嘴板部件的表面应大体上平坦。但是，仅仅通过设想出涂覆树脂的某种方法很难在这方面有所改进。同样，如果重复多次涂覆过程以获得平坦表面，那么整个过程会变得十分复杂，而且不可避免地会增加喷墨头的制造成本。此外，为了改进模制部件相对于基板的凸出拐角处的树脂涂覆状况，可以想见的方法是计入模制部件的厚度而涂覆足够厚度的喷嘴板部件。但是这样的话，加热器表面和喷孔构形表面间的间隙会变大，从而很难设计出具有特殊排放性能的喷嘴。
本发明是针对上述一般技术中所遇到的问题提出的。本发明的目的是提供一种喷墨头的制造方法，当采用树脂板注模法制造喷墨头时，该方法可以很容易地防止相对于基板的模制部件的凸出拐角附近处的树脂膜厚度变得更薄。
发明内容
为了实现上述目的，本发明注意到了在一般制造方法中所观察到的现象：即在喷嘴以大于一给定值的密度下与液腔相连的表面上，没有裂纹等产生，这一表面即为图19中的参考标号F所标明的部分；以及当按照前述方法制造喷墨头时，喷嘴板部件在F部分上大体是平坦的。
因此，换句话说，按照本发明的一种喷墨头的制造方法是这样组成的，它包括：第一步，在基板上配置一通道成型材料，以构造与用来排墨的排放口通连的墨水通道；第二步，在基板上的通道成型材料附近配置一边缘部分成型材料；第三步，在基板上配置一壁构形材料，以覆盖通道成型材料和边缘部分成型材料；以及第四步，从基板上去除通道成型材料，以构造包含壁构形材料的通道。
这样，可能采用的一种方法，其特征在于：配置一种部件，当涂覆上述树脂材料时，该部件用来减缓模制部件边缘部分附近的树脂材料表面的倾斜度。
或者，可能采用的一种方法，其特征在于：提供一种辅助部件成型材料，它的构造形式能够使其从液腔成型材料的至少一个与喷嘴部件成型材料相连的区域内排出(液腔成型材料的周边部分除外)。
或者，可能采用的一种方法，其特征在于：提供一种隔离部件，该部件与至少一个连着喷嘴部件成型材料的区域相隔一预定间距或与该区域(液腔成型材料的周边部分除外)触接。
并且，在任一个上述制造方法，词“涂覆材料”意指方法中的一个涂覆步骤
此外，为了实现本发明的目的，由上述方法制造的喷墨头包括：一个具有能量产生元件的基板，产生能量，用来从排放口排墨；一个与该基板通连的壁构形材料，包含用于构造墨水通道壁的凹槽，该凹槽与排放口通连，其特征在于：在通道的边缘部分附近为壁构形材料配置了不同于上述凹槽的边缘凹槽，而通道处在可与上述基板通连的区域里。
按照本发明，首先在含有压力机构的基板上配置一模制部件，该部件包括：一个液腔成型材料，用来构造共用液腔；一个喷嘴部件成型材料，用来构造喷嘴；以及一个辅助部件成型材料，它的构形使其可以从侧面区域排出，在该侧面区域内，上述喷嘴部件成型材料与液腔成型部件没有连接。然后，再层覆上树脂材料。结果，覆盖模制部件凸出拐角的树脂膜厚相对于基板而言不会变得更薄。而且，当树脂材料被硬化且模制部件被去除时，在喷嘴板部件上不会产生任何局部厚度变薄的部分。在喷嘴板部件也不会产生任何裂纹，从而提高了喷墨头的制造效率。同样，在配置隔离部件后，也可以把树脂材料(而不是前述的辅助部件成型材料)层覆在和一侧面区域相隔一预定间距或相触接的位置上，而在该侧面区域内，喷嘴部件成型材料配置在液腔成型材料的周边上。这样也能得到和上述配置相同的效果。
对于本领域技术人员来说，从下面的本发明优选实施例的说明中可以明确地发现本发明的除上述之外的其它目的和优点。在说明中参照了附图，这些附图构成了本发明的一部分并说明了本发明的一个实例。但是，这样的例子不能详尽地包容本发明的各种实施例，因此还须参照说明后的权利要求以确定本发明的范围。
附图说明
图1为表示模制部件结构的平面示意图，该模制部件说明了按照本发明第一实施例的喷墨头的制造方法。
图2A至图2C为表示按照本发明第一实施例的制造方法所获得的液腔的结构示意图。
图3为表示模制部件周向构形的局部平面示意图，该模制部件说明了按照本发明第二实施例的喷墨头的制造方法。
图4为表示模制部件构形的平面示意图，该模制部件说明了按照本发明第三实施例的喷墨头的制造方法。
图5为表示模制部件构形的平面示意图，该模制部件说明了按照本发明第四实施例的喷墨头的制造方法。
图6A至图6F为表示按照本发明第五实施例制造喷墨头方法中实施步骤的示意图。
图7为表示关于模制部件配置状态的平面示意图，该模制部件包括：喷嘴、液腔和隔离元件。
图8A至图8F为表示按照本发明第六实施例制造喷墨头方法中实施步骤的示意图。
图9A至图9E为表示按照本发明第七实施例制造喷墨头方法中实施步骤的示意图。
图10为表示隔离元件另一种实例的平面示意图。
图11也为表示隔离元件另一种实例的平面示意图。
图12为表示模制部件构形的平面示意图，该模制部件说明了按照本发明第八实施例的喷墨头的制造方法。
图13A和图13B为表示喷嘴和喷孔的防护位置与基板间关系的示意图，喷嘴和喷孔由大体上沿三向环绕加热器周边的喷嘴壁构造而成。
图14为表示所谓侧射型热喷墨头的立体示意图。
图15为表示图14代表的喷墨头的组件之一—加热器板的立体示意图。
图16为表示沿图14中16-16线剖开的喷墨头的横截面图。
图17A至图17G为表示喷墨头一般制造方法的示意图。
图18为表示喷墨头一般制造方法中使用的模制部件的平面构形示意图。
图19为表示利用树脂板注模方法构成超细喷嘴板部件时的喷墨头的局部横截面图。
具体实施方式
下面将参照附图对按照本发明的实施例进行说明。
Figure C9610837600101
(第一实施例)
图1为表示模制部件构形的平面示意图，该模制部件说明了按照本发明第一实施例的喷墨头的制造方法。
本实施例是这样的，即当利用上述树脂板注模法制造喷墨头的喷嘴和液腔时，相当于喷嘴的多个凸出部分须按一定间距配置基板上的模制部件的周边上。
换句话说，如图1所示，一种干膜光致正性抗蚀材料，如ODUR(产品名称—由Tokyo Ohka Kabushiki Kaisha生产)层覆在含有预置供墨入口(未示出)和预置加热器1的基板2上。然后，通过光刻工艺即可制成模制部件。该模制部件包括：一喷嘴部件成型材料4，用来覆盖基板2上的每个加热器1以便在图1所示的B6部分中构成喷嘴；一液腔成型材料3，与每个喷嘴部件成型材料4的末端相连以便构成液腔；辅助成型材料5，每一辅助成形部件5均从液腔成型材料的周边向外伸出，其位置处于不与喷嘴部件成型材料4的每个末端相连的那一部分上。其后，加工步骤与图17D至图17G中的步骤相同。因此在此省去了相应的说明。
按照本实施例，与图19中所示的喷嘴板部件厚度H相当的间距规定为0.025(mm)；模制部件的厚度t等于0.015(mm)；喷嘴的连接部分到液腔的距离L为0.12(mm)；喷嘴节距等于0.0635(mm)；喷嘴宽度等于0.045(mm)；同样，一个辅助部件成形材料611配置在液腔成形材料的周边上，该部件成形材料与液腔连接处到其前端的距离Ld为0.1(mm)，其宽度Wd为0.03(mm)，节距Pd为0.127(mm)。
现在，通过使用图1所示结构的模制部件的树脂板注模法制造出了喷墨头，在喷墨头中有液腔和喷嘴，其构形基本上与图1所示模制部件相同。同样，例如对于本实施例的喷墨头而言，其上与图19中E部分相对应的喷嘴板部件在相对于基板的模制部件的凸出拐角附近处并不是制造得更薄一些。结果，却能够消除大部分缺陷，如裂纹等。作为一个比较的例子，除了不使用辅助部件成型材料5，在其它与上述相同的条件下制造普通喷墨头，结果，当在模制部件的溶蚀过程中进行超声波清洗时，喷嘴板上即会产生裂纹。
如上所述，按照本实施例，每个辅助部件成型材料5按一定间距配置在液体成形部件3的周边上，并从周边向外伸出，其位置处于不与喷嘴部件成型材料4相连的那一部分上。这样，即可以避免裂纹及其它缺陷等的产生，而这些缺陷在通过树脂板注模法制造喷墨头的过程中是经常发生的。
按照上述实施例，辅助部件成型材料5具有喷嘴部件成型材料类似的外凸形状，但是，如果模制部件的厚度t为0.05(mm)或更小，且喷嘴板部件在喷孔周边上的厚度为0.2×t到2.0×t，那么就应设法通过把抗蚀材料层覆在模制部件上的模制过程获得辅助部件成型材料，从而该辅助部件具有这样的构形，即与液腔连接处到其前端的距离等于或大于0.01(mm)，其宽度Wd与厚度t的比值等于或小于4.0，且其宽度Wd与每个辅助部件成型材料的配置间隔的比值约为0.01到0.95。
图2A至图2C为表示按照本发明第一实施例的制造方法所获得的液腔的构形示意图。
如图2A所示，当在上述构形中使用具有辅助部件成型材料5的模制部件时，如果生产过程按预定方式进行，那么该生产过程完成后就可以得到图2B所示的液腔。可是，在某些情况下，当模制部件被溶蚀和去除时，在辅助部件成型材料前端部分中的模制部件却没有被彻底清除掉。其结果，液腔6的周边不具有图2C所示的凸出形状。尽管如此，这种情况仍可以看成是本发明完成模式中的一种。这时，可以想见，通过在辅助部件成型材料5正上方的喷嘴板部件上开孔即可以容易地除去模制材料。这里，开孔应与辅助部件成型材料5导连。
同样，按照本实施例，仅在图1所示的一个位置上配置了辅助部件成型材料。但本发明并不局限于这种配置，可以在把该成型材料配置在不会产生局部缺陷的部位(当该成型材料成为喷墨头的一部分时)，或者配置在液腔成型材料的整个周边上(但液腔成型材料与喷嘴部件成型材料相连的部分除外)。
此外，只要辅助部件成型材料配置在能够消除局部缺陷的范围内，就没有必要等间距配置每个辅助部件成型材料。
(第二实施例)
图3为表示模制部件周向构形的局部平面示意图，该模制部件说明了按照本发明第二实施例的喷墨头制造方法的局部特点。
本实施例中使用的模制部件由多种类型的辅助部件成型材料5a，5b所构成，这些辅助部件成型材料与一个和图3所示相同的液腔成型材料3相连。在这种情况下，同样能够获得与第一实施例相同的效果。
(第三实施例)
图4为表示模制部件构形的平面示意图，该模制部件说明了按照本发明第二实施例的喷墨头的制造方法。
当通过在液腔中配置与液腔周边隔离的喷嘴分离壁部件来制造喷墨头时，本实施例即为采用本发明制造方法的一个例证。
换句话说，如图4所示，一种干膜光致正性抗蚀材料，如ODUR(产品名称—由Tokyo Ohka Kabushki Kaisha生产)层覆在含有采用普通技术预置的加热器11和供墨入口16的基板12上。然后，通过光刻工艺即可在基板12上制成模制部件，该模制部件包括：一喷嘴部件成型材料14，用来覆盖基板12上的每个加热器11以便构成喷嘴；一液腔成型材料13，与每个喷嘴部件成型材料14的两端相连以便构成喷墨头的液腔，其中喷嘴分离壁部件与液腔周边相隔开；辅助成型部件15，每一辅助成型部件15均沿液腔成型材料13的周边按一定间距配置并向外伸出。其后，加工步骤与图17D至图17G中的步骤相同。因此在此省去了相应的说明。
对于按照上述方法所得到的、含有模制部件的基板而言，喷嘴板部件在模制部件的凸出拐角附近处并不是制造得更薄些(如同第一实施例)。结果，却能够消除如裂纹等大部分缺陷。
(第四实施例)
图5为表示模制部件构形的平面示意图，该模制部件说明了按照本发明第四实施例的喷墨头的制造方法。
换句话说，如图5所示，本实施例中使用的模制部件包括：一喷嘴部件成型材料24，用来覆盖基板22上的每个加热器21以便构成喷嘴；一液腔成型材料23以构成液腔；辅助部件成型材料25，每一辅助部件成型材料25均沿液腔部件成型材料23周边按一定间距配置并向外伸出，其位置处于不与喷嘴部件成型材料24的每个末端相连的那一部分上；一模制材料型板26，该型板配置在基板22上，并与液腔成型材料23的辅助部件成型材料25相隔一预定间距。
按照本实施例，正如同第一实施例一样，亦能够消除裂纹和其它缺陷。
下面将介绍几种制造方法，如同本实施例一样，这些方法通过在基板上与模制部件周边相隔一预定间距处配置一成型材料模板(下文中称为隔离板)，从而能够防止喷嘴部件在相对于基板的模制部件的凸出拐角附近变薄。
(第五实施例)
图6A至图6F是说明按照本发明第五实施例的喷墨头制造方法的每一加工步骤的示意图。
按照本实施例，当利用图17A至图17G中所示的树脂板注模法构造喷墨头的液腔时，通过使用构造喷嘴板部件的树脂材料即可在与喷嘴部件成型材料或液腔成型材料相隔一预定间距的位置处配置一隔离部件。
换句话说，光致正性抗蚀材料被层覆在含有预置加热器和供墨入口的基板32上，利用光刻工艺即可制成模制部件36，以提供喷嘴和液腔(见图6A)。
此外，在基板32和模制部件36上覆盖第一层树脂材料37以构造喷嘴板部件(见图6B)。这里，要求基板上第一层树脂材料37的厚度h6大体等于模制部件36的厚度。可以利用光对树脂材料37进行局部硬化。对本实施例而言，隔离部件35是通过树脂模板构造在与模制部件36的侧面相隔一预定间距L6的位置上(见图6C)的。
图7为表示已成为喷嘴、液腔以及隔离部件的模制部件配置平面示意图。如图7所示，模制部件包括：一喷嘴部件成型材料34，覆盖着在基板32上的每个加热器31以构成喷嘴；一液腔成型材料33以构成液腔；一直线形隔离部件35，配置在与液腔成型材料33一个侧面相隔一预定间距的位置上，该侧面位于连接喷嘴部件成型材料部分的对面。
然后，利用光硬化或热硬化树脂材料在基板32、模制部件及隔离部件35上覆盖第二层树脂材料(与隔离部件35的材料相同)。该层树脂材料经过光或热在基板的整个表面上硬化，从而构成喷嘴板部件38(见图6D)。
其后，再涂上一层光硬化型抗氧化等离子材料39，在喷嘴板部件38上形成一层薄膜，并利用光刻工艺在特定位置上形成去除段40，而这些特定位置是与每个加热器相对应的(见图6E)。接着，利用等离子照射，在喷嘴板部件38上制成喷孔41。溶解和去除模制部件36即可得到喷嘴和液腔(见图6F)。
这时，可以根据模制部件36上的喷嘴板部件38的膜厚H6合理选择模制部件36的一个侧面与隔离部件35(图6E所示)之间的间距L6，从而使喷嘴板部件38的表面大体上与基板601相平行。例如，按照本实施例，如果H6＝0.1(mm)，那么该间距约为L6＜20×H6。
按照本实施例，隔离部件35的作用就像堤坝一样，以防止喷嘴板部件树脂材料沿模制部件36周边流出。结果，相对于基板的模制部件凸出拐角附近的树脂材料厚度并非局部更薄一些，这样可以防止裂纹和其它缺陷的产生。
同样，由于隔离部件35和喷嘴板部件38是用相同材料制成的，所以这些部件之间具有非常好的粘附性，而且使生产过程中的工艺控制更加容易。
(第六实施例)
图8A至图8F为表示按照本发明第六实施例的喷墨头制造方法中实施步骤的示意图。
如图8A至图8F所示，本实施例是一种制造方法，其中，隔离部件54和第五实施例中一样(见图7)，配置在与模制部件52的一个侧面相隔一预定间距的位置处。不过，该隔离部件54的构成材料55与模制部件52的抗蚀材料和喷嘴板部件55的材料是不同的，这是第六实施例中方法与本方法间的唯一不同点。
作为隔离部件54的材料53，可以想见的是使用光致负性抗蚀材料ORDYL SY300(产品名称—由Tokyo Ohka Kabushiki Kaisha生产)。
如果模制部件52由正性抗蚀材料构成，那么最好对模制部件52进行防护，以避免在模制隔离部件54时对模制部件52产生光致效应。
同样，对于本实施例中使用的模制部件52的材料选择而言，必须保证在模制材料53时，作用在材料53上的显影剂不会溶解所选用的材料。此外，按照本实施例，隔离部件54在喷嘴板部件55的构造完成后仍然存留在喷嘴板部件55上。因此，所选择的隔离部件材料的化学和机械特性最好与喷嘴板部件材料的相应特性相近。
(第七实施例)
图9A至图9E为表示按照本发明第七实施例的喷墨头制造方法中实施步骤的示意图。
如图9A至图9E所示，本实施例也是一种制造方法，其中，隔离部件64和第五、第六实施例中一样(见图7)，配置在与模制部件63的一个侧面相隔一预定间距的位置处。不过，与第五、第六实施例的不同之处在于：该隔离部件64是由和模制部件63相同的抗蚀材料构成的。
换句话说，抗蚀材料62层覆在含有预置(见图9A)加热器和供墨入口(未示出)的基板61上，然后，采用光刻工艺构成模制部件63，以制造喷嘴和液腔，且隔离部件64与模制部件63相隔一预定间距(见图9B)。然后，在基板61，模制部件63和隔离部件64上覆盖光凝性或热凝性树脂层以构成喷嘴板部件65(见图9C)。
其后，再涂上一层光硬化型抗氧化等离子材料66，在喷嘴部件102上形成一层薄膜，并利用光刻工艺在特定位置上形成喷孔形去除段67，而这些特定位置是与各个加热器相对应的(见图9D)。利用等离子照射，在喷嘴板部件65上制成喷孔。溶解和去除模制部件63即可得到喷嘴和液腔(见图9E)。
不过，如果在上述制造方法中所使用的抗蚀材料62会由于光等因素引起的反应而产生气体，(如材料ODUR，产品名称—由Tokgo OhkaKabushiki Kaisha生产)，那么可以想见，当对构造在喷嘴板部件65上的抗氧化等离子体材料66配置去除段67的同时，须构造孔形去除段68以排除感应硬化隔离部件64时产生的气体(见图9D)。此后，利用等离子照射，在喷嘴板部件65上便构成与去除段68贯通的除气孔70(见图9E)。
这里，构造除气孔70的工艺步骤适用于图5所示的第四实施例或图8A至图8F所示的第六实施例。
第七实施例
第五和第六实施例中使用的隔离部件的结构不应局限于图7所示的一种。可以想见，图10和图11中所示的结构也是适用的。
图10和图11分别为表示隔离部件其它结构实例的平面示意图。
换句话说，图10中所示的隔离部件73构造在基板72上并相隔一定间距整体环绕模制部件71。这里，模制部件包括：喷嘴部件成型材料，覆盖着基板72上的每个加热器以构成喷嘴；液腔成型材料，与每个喷嘴部件成型材料的一端相连。
同样，图11中所示的隔离部件81a和81b构造在基板84上并分别相隔一定间距整体环绕模制部件82。模制部件包括：喷嘴部件成型材料，覆盖着基板84上的每个加热器83以构成喷嘴；液腔成型材料，与每个喷嘴部件成型材料的两端相连以构成液腔，且通过配置与液腔周边相隔开的喷嘴分离壁部件而在液腔中设置喷墨头。
按照使用由上述任何一种方式所构造的隔离部件的方法，能够防止裂纹和其它缺陷的产生，其原因在于：如同第一到第六实施例一样，相对于基板的模制部件凸出拐角附近的树脂材料厚度并非制造得更薄些。这里，本发明不应局限于图7、图10和图11中所示的模制结构。只要模制结构是这样的，即所制造的喷嘴板部件厚度在喷墨头的制造完成后不会在相对于基板的模制部件的凸出拐角处产生裂纹或其它缺陷，那么就没有必要使喷嘴板部件的表面在模制部件和隔离部件之间相对于基板表面保持平滑。
(第八实施例)
此外，没有必要把第五至第七实施例中的每个隔离部件均与喷嘴部件和液腔成型材料隔离开来。
图12为表示模制部件结构的平面示意图，该模制部件说明了按照本发明第八实施例的喷墨头的制造方法。
按照本实施例，如图12所示，模制部件93与构造在基板91上的模制部件92的液腔成型材料密接，然后，在基板91上层覆喷嘴板部件成型材料。可以想见，模制部件93的材料通过光或热加以硬化后，仍可以作为喷墨头液腔壁的一部分保留下来，而不会和模制部件92一起被去除掉。
同样，按照上述第五至第七实施例，可以把隔离部件局部配置在裂纹和其它缺陷易于产生的地方。此外，也可以配置多种结构形式的隔离部件，且这些隔离部件可以与同一个液腔成型材料的周边相隔一定间距，也可以与之密接。
(第九实施例)
此外，如果喷嘴构形是利用树脂板注模法构造而成的，那么最好选用图13A和图13B中所示出的模式，从而当喷墨头的喷嘴构形从模制构形中去除时，凸向基板的喷嘴壁构形大体上沿三个方向环绕加热器周边(如图4和图11所示)。
图13A和图13B为表示喷嘴的外凸部分和喷孔与基板间位置关系的示意图，而喷嘴的外凸部分和喷孔由大体上沿三向环绕加热器周边的喷嘴壁构造而成。
如果喷嘴95的结构形如图13A中所示，那么只要模制部件上的喷嘴板部件的膜厚H6≤0.1(mm)(见图6D)，则最好设置喷孔94和喷嘴壁间的间隙X0和Y0的值为0.05×H6或更大，该值包含了两者的定位误差。更优先地，应设置该值为0.1×H6或更大。
同样，可以想见，为了提高每一喷嘴中模制部件的溶解和去除效率，可以在喷嘴95的前端附近设置一穿过喷嘴板表面至喷嘴95的小孔96(如图13B所示)，应该注意的是，该小孔不是用来排放熔滴的。
本发明并不局限于上述实施例中所特指的模制部件和喷嘴板部件成型材料，同样，只要按照本发明的思想而采用树脂板注射的制造方法，那么本发明亦不局限于特定构形喷墨头的制造方法。而且如果喷嘴板部件并不是局部做得更薄一些，使其能保持一定大小的强度值，这样在采用本发明的制造方法时不会产生缺陷，那么喷嘴板部件的平滑性便不再被认为是一个必要因素。
这样，如果模制部件由光敏树脂构成，那么在模制过程完成后，凸入基板的构形就会在抗蚀侧表面上产生波状图形，这主要取决于曝光时的光照能量和受曝光图形的聚焦状况。如果这种状态可以保证，那么那种构形就没有必要包含在本发明的方法中，其原因在于：这种尺寸的不规则性(可在抗蚀侧表面上自然形成，取决于曝光条件)通常会超过控制范围，使得当喷嘴部件成型材料层覆在模制部件上时，模制部件上的凸出拐角处可能会变得更薄。
按照上述构想的本发明显示出以下特点。
模制部件包括：一个液腔成型材料，用来构造一个共用液腔；一个用来构造喷嘴的喷嘴部件成型材料；以及一个辅助部件成型材料，它的构形使其可从喷嘴部件成型材料的侧面区域中排出，在该侧面区域里，液腔成型材料周边上的喷嘴部件成型材料与模制部件不相连接。当这个模制部件配置在包含压力产生机构的基板上之后，再涂覆树脂材料，从而能够保持平滑性且不致于使涂覆在模制部件凸出拐角附近的树脂材料膜厚相对于基板变得更薄。结果，在通过硬化和去除树脂材料所构造而成的喷嘴板部件上不会产生裂纹，因而提高了喷墨头的制造效率。
同样，取代辅助部件成型材料的一个隔离部件被配置在与一侧面区域相隔一给定间距或相触接的位置上，在该侧面区域里，液腔成型部件周边上的喷嘴部件成型材料与模制部件不相连接。其后，涂覆上树脂材料，从而能够获得和上述相同的结果。

Claims (21)

1.一种制造喷墨头的方法，包括：
在一基板上配置一通道成型材料的步骤，以形成一墨水通道，所述墨水通道包括一组分别与多个排放口相连通的喷嘴部分，和一个共用的墨腔，该墨腔与所述多个喷嘴部分连通而可以共用，和一边缘部分成形材料；
在所述基板上配置一壁构形材料以覆盖上述通道成形材料和所述边缘部分成形材料的步骤，从而根据所述通道成形材料和所述边缘部分成形材料的位置，形成所述壁构形材料的高度差；
从所述基板上去除至少所述通道成形材料的步骤，以构造包含所述壁构形材料的所述墨水通道。
2.按照权利要求1的一种制造喷墨头的方法，其特征在于：上述边缘部分成型材料配置在上述通道成型材料部分的端部附近，以构造上述共用墨腔。
3.按照权利要求1的一种制造喷墨头的方法，其特征在于：上述第一制造步骤和上述第二制造步骤同时进行。
4.按照权利要求1的一种制造喷墨头的方法，其特征在于：上述第一制造步骤和上述第二制造步骤按着所述的顺序进行。
5.按照权利要求1的一种制造喷墨头的方法，其特征在于：上述边缘部分成型材料在上述基板上与上述通道成型材料连接，并从上述通道成型材料中排出。
6.按照权利要求1的一种制造喷墨头的方法，其特征在于：除了上述通道成型材料之外，在基板上还配置有上述边缘部分成型材料。
7.按照权利要求1的一种制造喷墨头的方法，其特征在于：上述通道成型材料由正性光敏树脂构成。
8.按照权利要求1的一种制造喷墨头的方法，其特征在于：上述通道成型材料由一种和上述通道成型材料相同的材料构成。
9.按照权利要求1的一种制造喷墨头的方法，其特征在于：上述边缘部分成型材料由和上述通道成型材料不同的材料构成。
10.按照权利要求1的一种制造喷墨头的方法，其特征在于：上述边缘部分成型材料由正性光敏树脂构成。
11.按照权利要求1的一种制造喷墨头的方法，其特征在于：上述边缘部分成型材料由负性光敏树脂构成。
12.按照权利要求1的一种制造喷墨头的方法，其特征在于：上述边缘部分成型材料由可用光除气的材料构成。
13.按照权利要求1的一种制造喷墨头的方法，其特征在于：上述壁结构材料由负性光敏树脂构成。
14.按照权利要求1的一种制造喷墨头的方法，其特征在于：上述排放口是在上述第三制造步骤和上述第四制造步骤之间形成的。
15.喷墨头，包括：
一组用于排放墨水的排放口；
一个具有能量产生元件的基板，所述元件布置在基板上用于产生能量，用来从排放口排墨；
一个与所述基板连通的壁构形材料，包括用于形成墨水通道壁的凹槽，所述墨水通道包括一组分别与所述一组排放口连通的喷嘴部分，和一与所述一组喷嘴部分连接的可共用的共用墨腔；
其特征在于：在所述壁构形材料还配置了不同于所述凹槽的边缘凹槽；所述壁构形材料根据所述墨水通道的位置有高度差。
16.按照权利要求15的一种喷墨头，其特征在于：上述边缘凹槽与上述基板上的上述通道通连，并用于从上述通道中排出。
17.按照权利要求15的一种喷墨头，其特征在于：除了上述通道之外，在上述基板上还配置着上述边缘凹槽。
18.按照权利要求15的一种喷墨头，其特征在于：上述边缘凹槽构成一个间距。
19.按照权利要求15的一种喷墨头，其特征在于：用于构造上述边缘凹槽的边缘部分成型材料留在上述边缘凹槽中。
20.按照权利要求15的一种喷墨头，其特征在于：在上述基板上配置有供墨入口，用来为上述通道提供墨。
21.按照权利要求15的一种喷墨头，其特征在于：上述能量产生元件是电热型转换元件，用来产生如同上述能量的热能。
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Families Citing this family (37)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR0120217Y1 (ko) * 1995-01-09 1998-07-15 박의식 다목적 작업칼
US6193347B1 (en) 1997-02-06 2001-02-27 Hewlett-Packard Company Hybrid multi-drop/multi-pass printing system
US6259463B1 (en) 1997-10-30 2001-07-10 Hewlett-Packard Company Multi-drop merge on media printing system
CN1073509C (zh) * 1997-10-21 2001-10-24 研能科技股份有限公司 打印机喷墨头的制造方法
CN1074358C (zh) * 1997-10-21 2001-11-07 研能科技股份有限公司 喷墨头的制程与结构
US6234613B1 (en) 1997-10-30 2001-05-22 Hewlett-Packard Company Apparatus for generating small volume, high velocity ink droplets in an inkjet printer
US6193345B1 (en) 1997-10-30 2001-02-27 Hewlett-Packard Company Apparatus for generating high frequency ink ejection and ink chamber refill
CN1073017C (zh) * 1998-04-14 2001-10-17 财团法人工业技术研究院 高密度喷墨印头装置及其制造方法
KR100325521B1 (ko) * 1998-12-10 2002-04-17 윤종용 유체 분사 장치의 제조 방법 및 그에 의해 제조되는 유체 분사장치
US6310641B1 (en) 1999-06-11 2001-10-30 Lexmark International, Inc. Integrated nozzle plate for an inkjet print head formed using a photolithographic method
CN1111117C (zh) * 2000-01-12 2003-06-11 威硕科技股份有限公司 用于打印装置的喷墨头的制造方法
US6560871B1 (en) * 2000-03-21 2003-05-13 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Semiconductor substrate having increased facture strength and method of forming the same
US7410241B2 (en) 2004-09-13 2008-08-12 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet head, ink jet printer and method for manufacturing ink jet head
US7254890B2 (en) * 2004-12-30 2007-08-14 Lexmark International, Inc. Method of making a microfluid ejection head structure
JP4881081B2 (ja) * 2005-07-25 2012-02-22 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッドの製造方法
KR100921017B1 (ko) 2007-05-29 2009-10-09 삼성전기주식회사 잉크젯 헤드
US8137573B2 (en) * 2008-06-19 2012-03-20 Canon Kabushiki Kaisha Liquid ejection head, method for manufacturing liquid ejection head, and method for manufacturing structure
US8286350B2 (en) 2009-02-25 2012-10-16 Canon Kabushiki Kaisha Method of manufacturing a liquid discharge head
US8342659B2 (en) * 2009-08-25 2013-01-01 Canon Kabushiki Kaisha Liquid discharge head and method for manufacturing the same
KR101376402B1 (ko) * 2010-03-31 2014-03-27 캐논 가부시끼가이샤 액체 토출 헤드의 제조 방법
JP5679688B2 (ja) * 2010-03-31 2015-03-04 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッド及びその製造方法
US8408678B2 (en) * 2010-07-27 2013-04-02 Canon Kabushiki Kaisha Liquid ejection head and method for producing the same
JP5824955B2 (ja) * 2011-08-12 2015-12-02 ソニー株式会社 造形物の製造方法
JP6000715B2 (ja) 2011-09-29 2016-10-05 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッドの製造方法
JP5980020B2 (ja) 2012-07-10 2016-08-31 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッド用基板の製造方法
US10029467B2 (en) 2013-02-28 2018-07-24 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Molded printhead
KR101827070B1 (ko) 2013-02-28 2018-02-07 휴렛-팩커드 디벨롭먼트 컴퍼니, 엘.피. 유체 유동 구조체 성형
KR20150112029A (ko) 2013-02-28 2015-10-06 휴렛-팩커드 디벨롭먼트 컴퍼니, 엘.피. 성형된 프린트 바
KR20180086281A (ko) 2013-02-28 2018-07-30 휴렛-팩커드 디벨롭먼트 컴퍼니, 엘.피. 성형된 유체 유동 구조체
US10821729B2 (en) 2013-02-28 2020-11-03 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Transfer molded fluid flow structure
US9539814B2 (en) 2013-02-28 2017-01-10 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Molded printhead
US10632752B2 (en) 2013-02-28 2020-04-28 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Printed circuit board fluid flow structure and method for making a printed circuit board fluid flow structure
US9724920B2 (en) 2013-03-20 2017-08-08 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Molded die slivers with exposed front and back surfaces
JP6590528B2 (ja) 2015-05-25 2019-10-16 キヤノン株式会社 液体供給部材の製造方法
JP6708392B2 (ja) * 2015-10-28 2020-06-10 キヤノン株式会社 記録ヘッド
US11148942B2 (en) 2015-11-05 2021-10-19 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Three-dimensional features formed in molded panel
IT201600083000A1 (it) * 2016-08-05 2018-02-05 St Microelectronics Srl Dispositivo microfluidico per la spruzzatura termica di un liquido contenente pigmenti e/o aromi con tendenza all'aggregazione o al deposito

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4723129A (en) * 1977-10-03 1988-02-02 Canon Kabushiki Kaisha Bubble jet recording method and apparatus in which a heating element generates bubbles in a liquid flow path to project droplets
US5017947A (en) * 1984-03-31 1991-05-21 Canon Kabushiki Kaisha Liquid ejection recording head having a substrate supporting a wall portion which includes support walls to form open channels that securely bond a lid member to the wall portion
EP0540047A2 (en) * 1991-10-31 1993-05-05 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet head and method for fabricating the same
EP0573014A2 (en) * 1992-06-04 1993-12-08 Canon Kabushiki Kaisha Method for manufacturing ink jet head, ink jet head manufactured by such a method, and ink jet apparatus provided with such a head
US5331344A (en) * 1990-12-19 1994-07-19 Canon Kabushiki Kaisha Method for producing liquid-discharging recording head, liquid-discharging recording head produced by said method, and recording apparatus utilizing said recording head

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
ES2082145T3 (es) * 1990-08-03 1996-03-16 Canon Kk Metodo para la fabricacion de un cabezal para la impresion por chorros de tinta.
JP2960608B2 (ja) * 1992-06-04 1999-10-12 キヤノン株式会社 液体噴射記録ヘッドの製造方法
EP0591989B1 (en) * 1992-10-09 2000-01-26 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet printing head and printing apparatus using same
EP0594110B1 (en) * 1992-10-20 2000-02-02 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet head, method of producing the ink jet head and ink jet apparatus operable using the ink jet head
JP3143307B2 (ja) * 1993-02-03 2001-03-07 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッドの製造方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4723129A (en) * 1977-10-03 1988-02-02 Canon Kabushiki Kaisha Bubble jet recording method and apparatus in which a heating element generates bubbles in a liquid flow path to project droplets
US5017947A (en) * 1984-03-31 1991-05-21 Canon Kabushiki Kaisha Liquid ejection recording head having a substrate supporting a wall portion which includes support walls to form open channels that securely bond a lid member to the wall portion
US5331344A (en) * 1990-12-19 1994-07-19 Canon Kabushiki Kaisha Method for producing liquid-discharging recording head, liquid-discharging recording head produced by said method, and recording apparatus utilizing said recording head
EP0540047A2 (en) * 1991-10-31 1993-05-05 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet head and method for fabricating the same
EP0573014A2 (en) * 1992-06-04 1993-12-08 Canon Kabushiki Kaisha Method for manufacturing ink jet head, ink jet head manufactured by such a method, and ink jet apparatus provided with such a head

Also Published As

Publication number Publication date
US6145965A (en) 2000-11-14
SG54344A1 (en) 1998-11-16
KR970000573A (ko) 1997-01-21
CN1142439A (zh) 1997-02-12
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ATE197780T1 (de) 2000-12-15
KR100202729B1 (ko) 1999-06-15
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JP3459703B2 (ja) 2003-10-27
CA2179239A1 (en) 1996-12-21
DE69611059D1 (de) 2001-01-04
CA2179239C (en) 2003-11-18
DE69611059T2 (de) 2001-05-10
EP0749835A2 (en) 1996-12-27
EP0749835A3 (en) 1997-07-30
AU5602296A (en) 1997-01-09
ES2153515T3 (es) 2001-03-01
MX9602379A (es) 1998-10-31

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