JPH08174820A

JPH08174820A - インクジェットヘッド

Info

Publication number: JPH08174820A
Application number: JP32070394A
Authority: JP
Inventors: Osamu Naruse; 修成瀬; Yoichiro Miyaguchi; 耀一郎宮口; Shinichi Tsunoda; 慎一角田
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 1994-12-22
Filing date: 1994-12-22
Publication date: 1996-07-09

Abstract

(57)【要約】【目的】インクジェットヘッドにおける液室へのゴミ
等の混入を確実に防止して画像品質を向上する。【構成】インク供給口２６を覆う感光性樹脂からなる
下側液室形成部材２０及び中間液室形成部材２１には、
フォトリソプロセスでインク供給口２６に対応する部分
に多数の微細孔３０、３１をそれぞれ形成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、インクジェットヘッド
に関し、特にオンデマンド型マルチノズルインクジェッ
トヘッドに関する。

【０００２】

【従来の技術】インクジェット記録方式は、ヘッドを記
録紙上に接触することなく記録することができると共
に、記録プロセスが非常に単純であることやカラー記録
にも適することなどから注目されている。従前、このイ
ンクジェット記録方式として種々の方式が提案されてい
るが、現在では、記録信号が入力されたときにのみイン
クを吐出する所謂ドロップオンデマンド（ＤＯＤ）方式
が主流になっている。そして、ＤＯＤ方式の中には、所
謂バブルジェット方式とピエゾアクチュエータ方式があ
る。

【０００３】ところで、インクジェット記録装置におい
ては、インク滴を吐出するノズルが詰るとインク滴を噴
射できなくなるが、この目詰りの原因としては、第１に
ノズル周辺に付着したインクの染料が乾燥して詰ること
と、第２にインク供給系の構成部品に付着しているゴミ
や、インク中のゴミが液室へのインク供給口から液室、
ノズルに流入して詰ることの２つが推定されている。

【０００４】そこで、第１の原因に対しては、インクが
乾燥し難いようにインクの成分の湿潤剤の成分比を高く
したり、機械的に乾燥防止のためにノズル面にキャップ
を装着するなどの対策が講じられている。また、第２の
原因に対しては、インク供給系の一部にフィルタを装着
して外部からのゴミの侵入を遮断する方策が講じられて
いるが、ヘッドへのインク供給系にフィルタを配設する
と、構成部品が増えたり、小型化が難しくなるし、ヘッ
ドの脱着の際にフィルタと分離されると分離箇所からゴ
ミが侵入するなどの不都合がある。

【０００５】そのため、第２の原因対策として、インク
ジェットヘッドにフィルタを設けることが知られてい
る。例えば、特開平５−１９３１３４号公報に記載され
ているように、シリコンによって共通液室を形成して、
共通液室の壁面の一部にフィルタを形成したもの、ある
いは、特開平５−２５４１２０号公報に記載されている
ように、高分子樹脂を用いて液室を形成して、エキシマ
レーザーで微細な孔加工を施してフィルタを形成したも
のがある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た前者のインクジェットヘッドにあっては、シリコンを
用いてフィルタを形成するために、シリコンにマスキン
グ、露光、エッチングを数回にわたって繰返さなければ
ならないため、加工プロセスが複雑で、しかも材料、製
作コストが高くなって量産性が乏しい。また、後者のイ
ンクジェットヘッドにあっては、エキシマレーザーによ
って液室形成後フィルタを加工する後加工であるため
に、加工環境からのゴミの侵入やレーザー加工による材
料からの塵埃発生によってゴミが液室に混入するという
課題がある。

【０００７】本発明は、上記の点に鑑みてなされたもの
であり、マルチノズルインクジェットヘッドにおける液
室へのゴミ等の混入を確実に防止して画像品質を向上す
ることを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、請求項１のインクジェットヘッドは、複数のノズル
が臨む複数の液室を形成する液室形成部材が感光性樹脂
からなるインクジェットヘッドにおいて、前記液室にイ
ンクを供給するインク供給口を感光性樹脂で覆い、この
感光性樹脂にはフォトリソプロセスで複数の微細孔を形
成した。

【０００９】請求項２のインクジェットヘッドは、上記
請求項１のインクジェットヘッドにおいて、前記インク
供給口を覆う感光性樹脂を複数の積層し、各層に前記複
数の微細孔を形成した。

【００１０】請求項３のインクジェットヘッドは、上記
請求項２のインクジェットヘッドにおいて、前記各層の
感光性樹脂は前記液室に近い層の感光性樹脂ほど前記微
細孔の開口径を小径に形成した。

【００１１】請求項４のインクジェットヘッドは、複数
のノズルが臨む複数の液室を形成する液室形成部材が感
光性樹脂からなるインクジェットヘッドにおいて、前記
液室にインクを供給するインク供給口から前記液室への
流路中に、複数の微細な間隙を形成するフォトリソプロ
セスで形成した感光性樹脂からなるパターンを配置し
た。

【００１２】請求項５のインクジェットヘッドは、上記
請求項４のインクジェットヘッドにおいて、前記複数の
微細な間隙を前記インク供給口から前記液室への流路の
高さ方向に形成した。

【００１３】請求項６のインクジェットヘッドは、上記
請求項４又は５のインクジェットヘッドにおいて、前記
パターンで形成する複数の微細な間隙は前記液室に近い
ほど小さく形成した。

【００１４】請求項７のインクジェットヘッドは、上記
請求項４又は５のインクジェットヘッドにおいて、前記
パターンを前記インク供給口から前記液室に至る流路中
に複数配置し、各パターンで形成する複数の微細な間隙
は前記液室に近いほど小さく形成した。

【００１５】請求項８のインクジェットヘッドは、複数
のノズルが臨む複数の液室を形成する液室形成部材が感
光性樹脂からなるインクジェットヘッドにおいて、前記
液室にインクを供給するインク供給口を形成する部材に
複数の微細孔を形成した。

【００１６】請求項９のインクジェットヘッドは、上記
請求項１、４及び５のいずれかのインクジェットヘッド
において、前記液室にインクを供給するインク供給口を
形成する部材に複数の微細孔を形成した。

【００１７】

【作用】請求項１のインクジェットヘッドは、液室にイ
ンクを供給するインク供給口を感光性樹脂で覆い、この
感光性樹脂にはフォトリソプロセスで複数の微細孔を形
成したので、液室へのゴミ等の混入を確実に防止して画
像品質を向上できると共に、微細孔の形成プロセスが容
易で、微細孔形成時のゴミ等の混入も防止できる。

【００１８】請求項２のインクジェットヘッドは、上記
請求項１のインクジェットヘッドにおいてインク供給口
を覆う感光性樹脂を複数積層して各層に複数の微細孔を
形成したので、フィルタ面積を大きく確保できてフィル
タとしての寿命が向上する。

【００１９】請求項３のインクジェットヘッドは、上記
請求項２のインクジェットヘッドにおいて各層の感光性
樹脂は液室に近い層の感光性樹脂ほど微細孔の開口径を
小径に形成したので、上流側で大きなゴミを捕獲し、下
流側で小さなゴミを捕獲することができて、フィルタと
して機能が向上すると共に寿命が長くなる。

【００２０】請求項４のインクジェットヘッドは、液室
にインクを供給するインク供給口から液室への流路中
に、複数の微細な間隙を形成するフォトリソプロセスで
形成した感光性樹脂からなるパターンを配置したので、
液室へのゴミ等の混入を確実に防止して画像品質を向上
することができると共に、微細孔の加工プロセスが容易
で、微細孔形成時のゴミ等の混入も防止できる。

【００２１】請求項５のインクジェットヘッドは、上記
請求項４のインクジェットヘッドにおいて流路の高さ方
向に微細な間隙を形成したので、フィルタとして立体的
な構成ができて、フィルタとしての寿命が向上する。

【００２２】請求項６のインクジェットヘッドは、上記
請求項４又は５のインクジェットヘッドにおいて、複数
の微細な間隙を液室に近いほど小さく形成したので、上
流側で粗いゴミ等を捕獲し、下流側で細かいゴミ等を捕
獲することができて、フィルタとして機能が向上すると
共に寿命が長くなる。

【００２３】請求項７のインクジェットヘッドは、上記
請求項４又は５のインクジェットヘッドにおいて、パタ
ーンをインク供給口から液室に至る流路中に複数配置
し、各パターンで形成する複数の微細な間隙は液室に近
いほど小さく形成したので、上流側で粗いゴミ等を捕獲
し、下流側で細かいゴミ等を捕獲することができて、フ
ィルタとして機能が向上すると共に寿命が長くなる。

【００２４】請求項８のインクジェットヘッドは、液室
にインクを供給するインク供給口を形成する部材に複数
の微細孔を形成したので、インク供給口を形成する部材
に液室形成部材の基板、ゴミ等捕獲用のフィルタなどの
複数の機能を効果的にもたせることができる。

【００２５】請求項９のインクジェットヘッドは、上記
請求項１、４及び５のいずれかのインクジェットヘッド
において、前記液室にインクを供給するインク供給口を
形成する部材に複数の微細孔を形成したので、微細孔を
多層化することができて、微細孔の開口径の漸次的小径
化が容易になり、フィルタとしての機能及び耐久性も向
上し、しかもインク供給口を形成する部材が感光性樹脂
に微細孔を形成するときの受圧面となって微細孔を精度
良く形成することができる。

【００２６】

【実施例】以下、本発明の実施例を添付図面を参照して
説明する。図１は本発明の一実施例を示すインクジェッ
トヘッドの外観斜視図、図２は図１の分解斜視図、図３
は図１のＡ−Ａ線に沿う断面図、図４は図１のＢ−Ｂ線
に沿う断面図である。

【００２７】このインクジェットヘッドは、アクチュエ
ータユニット１と、このアクチュエータユニット１上に
接合された液室ユニット２とからなる。アクチュエータ
ユニット１は、基板３上に複数の積層型圧電素子を列状
に配置（列設）してなる２列の圧電素子列４，４及びこ
れら２列の圧電素子列４，４の周囲を取り囲むフレーム
部材５を接合している。圧電素子列４は、インクを液滴
化して飛翔させるための駆動パルスが与えられる複数の
圧電素子（これを「駆動部圧電素子」という。）７，７
…と、駆動部圧電素子７，７間に位置し、駆動パルスが
与えられずに単に液室ユニット固定部材となる複数の圧
電素子（これを「固定部圧電素子」という。）８，８…
とを交互に配置したバイピッチ構造としている。

【００２８】液室ユニット２は、ダイアフラム部１１を
形成した振動板１２上に、加圧液室、共通流路及び微細
孔等を形成する感光性樹脂からなる液室形成部材１３を
接着し、この液室形成部材１３上にノズル１５を形成し
たノズルプレート１６を接着してなる。これら振動板１
２、液室形成部材１３及びノズルプレート１６によっ
て、圧電素子列４の各駆動部圧電素子７，７…に対向す
るダイヤフラム部１１を有するそれぞれ略独立した複数
の加圧液室１７，１７…からなる２列の加圧液室列１７
Ａ，１７Ｂを形成し、ノズルプレート１６には各加圧液
室列１７Ａ，１７Ｂの各加圧液室１７に臨む複数のノズ
ル１５を列設した２列のノズル列１５Ａ，１５Ｂを設け
ている。

【００２９】ここで、液室ユニット２の液室形成部材１
３は、上記のように振動板１２上面とノズルプレート１
６との間に位置して加圧液室１７や流路等を形成するも
のであるが、その製造工程上、振動板１２上面にドライ
フィルムレジスト（感光性樹脂フィルム）を用いて液室
パターンを形成した下側液室形成部材２０と、ドライフ
ィルムレジストを用いて液室パターンを形成した下側液
室形成部材２１と、ノズルプレート１６下面に同じくド
ライフィルムレジストを用いて液室パターンを形成した
上側液室形成部材２２とを接合した３層構造としてい
る。

【００３０】この液室ユニット２の液室構成及びインク
供給部について図５乃至図８をも参照して説明する。こ
こで、図５は液室構成の平面図、図６は図５のＣ−Ｃ線
に沿うインク供給口部の断面図、図７は図６のインク供
給口部の詳細平面図、図８は図７のＦ部の拡大図であ
る。

【００３１】この液室ユニット２では、各加圧液室列１
７Ａ，１７Ｂの各加圧液室１７に両側からインクを供給
する流体抵抗部２３，２３を設け、更に流体抵抗部２
３，２３の両側、即ち加圧液室列１７Ａ，１７Ｂの列方
向と直交する方向の両側には流体抵抗部２３，２３に連
通する共通流路である外側共通液室２４ａ及び内側共通
液室２４ｂをそれぞれ設け、各列の内側共通液室２４
ｂ，２４ｂは隔壁部２５にて独立させている。

【００３２】そして、振動板１２に形成したインク供給
口２６から供給されるインクを各加圧液室列１７Ａ，１
７Ｂに分配する分配路２７を設け、この分配路２７の分
配部２７ａを各加圧液室列１７Ａ，１７Ｂの外側共通液
室２４ａ及び内側共通液室２４ｂの一端側に連通させて
いる。そのインク供給口２６には、図６に示すように基
板３のインク供給孔３ａ、フレーム部材５のインク供給
孔５ａに挿入されたインク供給パイプ２９を通じてイン
クが供給される。

【００３３】そこで、この振動板１２のインク供給口２
６を覆う感光性樹脂からなる下側液室形成部材２０及び
中間液室形成部材２１には、インク供給口２６に対応す
る部分に複数（多数）の微細孔３０、３１をそれぞれ形
成している。この微細孔３０、３１の形成は、フォトリ
ソプロセスによって各下側液室形成部材２０及び中間液
室形成部材２１による所定の液室パターンを形成すると
きに同時に形成する。

【００３４】例えば、振動板１２のフラットな面上に下
側液室形成部材２０を形成するための感光性樹脂である
所定の厚さのドライフィルムレジストを熱及び加圧によ
ってラミネートし、微細孔パターンに応じたマスクを用
いて紫外線露光をして、露光部分を硬化させ、未露光部
分を除去できる溶剤を用いて現像して、多数の微細孔３
０を形成し、水洗い、乾燥の後、再度紫外線露光と熱に
よって本硬化する。更に、下側液室形成部材２０上に中
間液室形成部材２１を形成するための感光性樹脂である
所定の厚さのドライフィルムレジストを熱及び加圧によ
ってラミネートし、微細孔パターン及び液室パターンに
応じたマスクを用いて紫外線露光をして、露光部分を硬
化させ、未露光部分を除去できる溶剤を用いて現像し
て、多数の微細孔３１及び所定の液室パターンを形成
し、水洗い、乾燥の後、再度紫外線露光と熱によって本
硬化する。

【００３５】ここで、下側液室形成部材２０の微細孔３
０の径φＤ１及び中間液室形成部材２１の微細孔３１の
径φＤ２は、図８にも示すように、加圧液室１７に近い
（インクが流入する下流側）中間液室形成部材２１の微
細孔３１の径φＤ２をインク供給口２６に近い（インク
が流入する上流側）下側液室形成部材２０の微細孔３０
の径φＤ１よりも小径（φＤ２＜φＤ１）に形成してい
る。また、中間液室形成部材２１の微細孔３１の径φＤ
２はノズル１５の径よりも小径に形成している。例え
ば、ノズル１５の径がφ３０μｍとすると、微細孔３１
の径φＤ２は約２５μｍに形成することが好ましい。

【００３６】以上のように構成したインクジェットヘッ
ドにおいては、記録信号に応じて選択的に圧電素子列
４，４の駆動部圧電素子７，７…に２０〜５０Ｖの駆動
パルス電圧を印加することによって、パルス電圧が印加
された駆動部圧電素子７が積層方向に伸びて振動板１２
の対応するダイアフラム部１１をノズル１５方向に変形
させ、これにともなって加圧液室１７の容積が縮小して
加圧液室１７内のインクが加圧され、インクがノズルプ
レート１６のノズル１５から液滴となって噴射され、記
録を行うことができる。

【００３７】そして、インク滴の吐出に伴って加圧液室
１７内のインク圧力が低下し、このときのインク流れの
慣性によって加圧液室１７内には若干の負圧が発生す
る。この状態の下において、駆動部圧電素子７への電圧
の印加をオフ状態にすることによって、振動板１２のダ
イアフラム部１１が元の位置に戻って加圧液室１７が元
の形状になるため、さらに負圧が発生する。

【００３８】このとき、図示しないインクタンクに通じ
るインク供給パイプ２９から入ったインクは、振動板１
２インク供給口２６から下側液室形成部材２０の微細孔
３０を通り、更に中間液室形成部材２１の微細孔３１を
通って分配路２７を経て外側共通液室２４ａ，２４ｂに
供給されているので、これら外側共通液室２４ａ，２４
ｂから流体抵抗部２３，２３を通って加圧液室１７内に
両側から充填される。そこで、ノズル１５のインクメニ
スカス面の振動が減衰して安定した後、次のインク滴吐
出のために駆動部圧電素子７にパルス電圧を印加する。
この動作を繰返すことで所要の画像を記録することがで
きる。

【００３９】このインク供給口２６から外側共通液室２
４ａ，２４ｂにインクが供給されるとき、インクが下側
液室形成部材２０の微細孔３０及び中間液室形成部材２
１の微細孔３１を通過することによって、インクに含ま
れているゴミ等が捕獲されるので、加圧液室１７にゴミ
等が混入することが防止される。その上、微細孔３０，
３１を感光性樹脂を用いたフォトリソプロセスで形成す
るので、その加工プロセスが容易で、微細孔形成時にゴ
ミ等が混入することも防止できる。

【００４０】しかも、微細孔を形成する感光性樹脂を下
側液室形成部材２０及び中間液室形成部材２１の２層構
造としているので、フィルタとしての面積を大きくとる
ことができて寿命が向上する。

【００４１】また、上流側の下側液室形成部材２０の微
細孔３０の開口径よりも下流側の中間液室形成部材２１
の微細孔３１の開口径を小径に形成しているので、粗い
ゴミ等は下側液室形成部材２０の微細孔３０を通過でき
ず、微細孔３０を通過した細かいゴミ等は中間液室形成
部材２１の微細孔３１を通過できずに捕獲されるため、
フィルタとしての機能が向上すると共に長寿命化を図る
ことができる。

【００４２】次に、図９及び図１０を参照して他の実施
例について説明する。これらの各実施例は、インク供給
口２６から加圧液室１７に至るインク流路中（各図では
図５の分配路２７の部分を示している。）に、インクの
流れる方向に複数の微細の間隙３３、３５を形成する平
面クランク形状（図８）或いは幾何学形状の感光性樹脂
からなるパターン３４、３６を配置したものである。各
パターン３４，３６は前述した微細孔の形成と同様に液
室パターンの形成時に同時にフォトリソプロセスによっ
て形成している。

【００４３】このように、インク流路中に複数の微細な
間隙３３、３５を形成するパターン３４、３６を配置す
ることによっても、インクがインク供給口２６から加圧
液室１７に供給される間にゴミ等が微細な間隙３３，３
５を通過できずに捕獲され、加圧液室１７にゴミ等が混
入することが防止され、しかもパターン３４，３６をフ
ォトリソプロセスで形成するので、その加工プロセスが
容易で、微細孔形成時にゴミ等が混入することも防止で
きる。

【００４４】この場合、前記微細孔と同様に、各パター
ン３４，３６は加圧液室１７に近いほど、即ちインクの
流れの下流側ほど微細な間隙３３，３５を小さく（流れ
と直交する方向の開口面積を小さく）形成することがで
き、このようにすればフィルタとしての機能向上及び長
寿命化を図ることができる。

【００４５】また、微細な間隙３３，３５を形成するパ
ターン３４，３６の配置箇所は１ヶ所に限られるもので
はなく、例えば図５で分配路２７、分配路２７と共通液
室２４ａ，２４ｂとの分配部２７ａ及び共通液室２４
ａ，２４ｂのいずれか２ヶ所以上に配置することもでき
る。このとき、加圧液室１７に近い位置に配置した各パ
ターン３４，３６ほど微細な間隙３３，３５を小さく形
成することで、上述したと同様にフィルタとしての機能
向上及び長寿命化を図ることができる。

【００４６】次に、図１１を参照して更に他の実施例に
ついて説明する。この実施例では、インク供給口２６か
ら加圧液室１７に至るまでのインクの流路中に、この流
路の高さ方向に複数の微細な間隙４０を形成するフォト
リソプロセスで形成した感光性樹脂からなるパターン４
１，４２を配置したものである。

【００４７】この微細な間隙４０の形成方法は、例えば
前記実施例の中間液室形成部材２１によって複数の隙間
４３を形成するパターン４１を振動板１２側に形成配置
すると共に、上側液室形成部材２２によってパターン４
１と交互に複数の間隙４３を形成するパターン４２をノ
ズルプレート１６側に形成配置し、これらを前記実施例
と同様に接合してユニット化することによって、パター
ン４１とパターン４２とで流路の高さ方向に微細な間隙
４０を形成することができる。

【００４８】このようにすれば、フィルタとして立体的
な構成となってインクの流れが複雑になり、フィルタと
しての機能が向上すると共に、長寿命化をはかることが
できる。

【００４９】次に、図１２を参照して更にまた他の実施
例について説明する。この実施例では、感光性樹脂から
なる液室形成部材を接合する振動板１２のインク供給口
２６となる部分に複数の微細孔４６を形成したものであ
る。振動板１２に微細孔４６を形成する方法は、例えば
エレクトロフォーミング法によってＮi（ニッケル）の
金属プレートで振動板１２を形成する場合には、レジス
トワーキングで微細孔４６を同時に形成することができ
る。また、エッチング工法によっても微細孔４６を同時
に形成することができる。この場合、微細孔４６からな
るインク供給口の径は、ノズル数やノズル径によっても
異なるが、ここでは約φ１〜φ１０μｍかそれに相当す
る面積としている。

【００５０】このように振動板１２に微細孔４６を形成
することによって、振動板１２に液室形成部材の基板、
ゴミ等捕獲用のフィルタなどの複数の機能を持たせるこ
とができる。

【００５１】また、このようにインク供給口２６となる
複数の微細孔４６を形成した振動板１２上に、前記実施
例で述べたような液室形成部材１３による微細孔や微細
な間隙を組合わせることもできる。そして、この場合、
振動板１２の微細孔４６を例えばφ５０μｍとして、感
光性樹脂からなる液室形成部材１３で形成する微細孔や
微細な間隙を前述したように加圧液室１７に近いほど、
より小さい開口径或いは開口面積とする。

【００５２】このようにすれば、振動板１２の比較的大
きな微細孔４６で粗いゴミ等を捕獲し、液室形成部材１
３で形成する微細孔や微細な間隙で細かいゴミ等を捕獲
することができる。そして、このようにろ過機構を多層
化することで、ろ過部での流体圧力損失がなくなり、耐
久性のあるフィルタが得られる。それと共に、振動板上
にドライフィルムレジストをラミネートする場合に、振
動板のインク供給孔が単なる開口円であるとドライフィ
ルムレジストの食い込みが生じて微細孔を形成できない
ことがあるのに対して、振動板のインク供給口を多数の
微細孔で形成することによってドライフィルムレジスト
の受圧面ができてラミネート時の食い込みを防止するこ
とができ、感光性樹脂による微細孔を精度よく形成する
ことができる。

【００５３】なお、本発明は、圧電素子の電界方向と直
角方向の変位（ｄ３３方向の変位）を用いるインクジェ
ットヘッドに限らず、電界方向と同方向の変位（ｄ３１
方向の変位）を用いるインクジェットヘッドにも適用す
ることができる。また、上記実施例では、ノズルの開口
方向を圧電素子の変位方向と同軸上にしたサイドシュー
タ方式のインクジェットヘッドに適用した例で説明した
が、ノズルの開口方向を圧電素子の変位方向と直交する
方向にしたエッジシュータ方式のインクジェットヘッド
にも適用することができる。

【００５４】

【発明の効果】以上説明したように請求項１のインクジ
ェットヘッドによれば、液室にインクを供給するインク
供給口を感光性樹脂で覆い、この感光性樹脂にはフォト
リソプロセスで複数の微細孔を形成したので、液室への
ゴミ等の混入を確実に防止して画像品質を向上できると
共に、微細孔の形成プロセスが容易で、微細孔形成時の
ゴミ等の混入も防止できる。

【００５５】請求項２のインクジェットヘッドによれ
ば、インク供給口を覆う感光性樹脂を複数積層して各層
に複数の微細孔を形成したので、フィルタ面積を大きく
確保できてフィルタとしての寿命が向上する。

【００５６】請求項３のインクジェットヘッドによれ
ば、複数層の感光性樹脂のうちの液室に近い層の感光性
樹脂ほど微細孔の開口径を小径に形成したので、フィル
タとして機能が向上すると共に寿命が長くなる。

【００５７】請求項４のインクジェットヘッドによれ
ば、液室にインクを供給するインク供給口から液室への
流路中に、複数の微細な間隙を形成するフォトリソプロ
セスで形成した感光性樹脂からなるパターンを配置した
ので、液室へのゴミ等の混入を確実に防止して画像品質
を向上することができると共に、微細孔の形成プロセス
が容易で、微細孔形成時のゴミ等の混入も防止できる。

【００５８】請求項５のインクジェットヘッドによれ
ば、液室にインクを供給するインク供給口から液室への
流路の高さ方向に複数の微細な間隙を形成したので、フ
ィルタとして立体的な構成ができて効率が向上すると共
に、フィルタとしての寿命も向上する。

【００５９】請求項６のインクジェットヘッドによれ
ば、複数の微細な間隙は液室に近いほど小さく形成した
ので、フィルタとして機能が向上すると共に寿命が長く
なる。

【００６０】請求項７のインクジェットヘッドによれ
ば、複数の微細な間隙を形成するパターンをインク供給
口から液室に至る流路中に複数配置し、各パターンは液
室に近いほど微細な間隙を小さく形成したので、フィル
タとして機能が向上すると共に寿命が長くなる。

【００６１】請求項８のインクジェットヘッドによれ
ば、液室にインクを供給するインク供給口を形成する部
材に複数の微細孔を形成したので、インク供給口を形成
する部材に液室形成部材の基板、ゴミ等捕獲用のフィル
タなどの複数の機能を効果的に持たせることができる。

【００６２】請求項９のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１、４及び５のいずれかのインクジェッ
トヘッドにおいて、液室にインクを供給するインク供給
口を形成する部材に複数の微細孔を形成したので、微細
孔を多層化することができて、微細孔の開口径の漸次的
小径化が容易になり、フィルタとしての機能及び耐久性
も向上し、しかも感光性樹脂の微細孔を精度良く形成す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示すインクジェットヘッド
の外観斜視図

【図２】図１の分解斜視図

【図３】図１のＡ−Ａ線に沿う断面図

【図４】図１のＢ−Ｂ線に沿う断面図

【図５】液室構成を示す平面図

【図６】図５のＣ−Ｃ線に沿うインク供給口部の断面図

【図７】図５のインク供給口部の詳細平面図

【図８】図７のＦ部の拡大図

【図９】他の実施例を示す平面図

【図１０】他の異なる実施例を示す平面図

【図１１】更に他の実施例を示す図５のＥ−Ｅ線に相当
する断面図

【図１２】更にまた他の実施例を示す図５のＣ−Ｃ線に
相当する断面図

【符号の説明】

１…アクチュエータユニット、２…液室ユニット、３…
基板、４…圧電素子列、５…フレーム、７…駆動部圧電
素子、８…固定部圧電素子、１１…ダイアフラム部、１
２…振動板、１３…液室形成部材、１５…ノズル、１６
…ノズルプレート、１７…加圧液室、２０…下側液室形
成部材、２１…中間液室形成部材、２２…上側液室形成
部材、２３…流体抵抗部、２４ａ…外側共通液室（共通
流路）、２４ｂ…内側共通液室（共通流路）、２５…隔
壁部、２６…インク供給口、２７…分配路、２７ａ…分
配部、２９…インク供給パイプ、３０，３１，４６…微
細孔、３３，３５，４０…微細な間隙、３４，３６…微
細な間隙のパターン、４１，４２…間隙のパターン。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｂ４１Ｊ 3/04 １０３Ｈ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数のノズルが臨む複数の液室を形成す
る液室形成部材が感光性樹脂からなるインクジェットヘ
ッドにおいて、前記液室にインクを供給するインク供給
口を感光性樹脂で覆い、この感光性樹脂にはフォトリソ
プロセスで複数の微細孔を形成したことを特徴とするイ
ンクジェットヘッド。
【請求項２】請求項１に記載のインクジェットヘッド
において、前記インク供給口を覆う感光性樹脂を複数積
層し、各層に前記複数の微細孔を形成したことを特徴と
するインクジェットヘッド。
【請求項３】請求項２に記載のインクジェットヘッド
において、前記各層の感光性樹脂は前記液室に近い層の
感光性樹脂ほど前記微細孔の開口径を小径に形成したこ
とを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項４】複数のノズルが臨む複数の液室を形成す
る液室形成部材が感光性樹脂からなるインクジェットヘ
ッドにおいて、前記液室にインクを供給するインク供給
口から前記液室への流路中に、複数の微細な間隙を形成
するフォトリソプロセスで形成した感光性樹脂からなる
パターンを配置したことを特徴とするインクジェットヘ
ッド。
【請求項５】請求項４に記載のインクジェットヘッド
において、前記複数の微細な間隙を前記インク供給口か
ら前記液室への流路の高さ方向に形成したことを特徴と
するインクジェットヘッド。
【請求項６】請求項４又は５に記載のインクジェット
ヘッドにおいて、前記パターンで形成する複数の微細な
間隙は前記液室に近いほど小さく形成したことを特徴と
するインクジェットヘッド。
【請求項７】請求項４又は５に記載のインクジェット
ヘッドにおいて、前記パターンを前記インク供給口から
前記液室に至る流路中に複数配置し、各パターンで形成
する複数の微細な間隙は前記液室に近いほど小さく形成
したことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項８】複数のノズルが臨む複数の液室を形成す
る液室形成部材が感光性樹脂からなるインクジェットヘ
ッドにおいて、前記液室にインクを供給するインク供給
口を形成する部材に複数の微細孔を形成したことを特徴
とするインクジェットヘッド。
【請求項９】請求項１、４及び５のいずれかに記載の
インクジェットヘッドにおいて、前記液室にインクを供
給するインク供給口を形成する部材に複数の微細孔を形
成したことを特徴とするインクジェットヘッド。