JP4548716B2 - 液体噴射記録ヘッドとその製造方法 - Google Patents
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Description
1.インクジェット記録ヘッドの製造過程でゴミ、異物が進入する。
2.インクジェット記録ヘッドの製造後、外部よりゴミ、異物が進入する。
前記基板は、該基板の前記一方の面と反対の他方の面から前記一方の面に液体を流通させる液体供給口を有し、
該液体供給口は、該基板の一方の面から他方の面に向かって延在する複数の第一の穴と、該第一の穴とずれた位置で、前記他方の面から前記一方の面に向かって延在する複数の第二の穴とが、前記基板の内部で夫々連通する複数の貫通穴からなるフィルター構造を備え、前記連通する部分の各々の径は前記第一の穴の径および前記第二の穴の径よりも小さく、前記貫通穴は前記連通する部分において屈曲構造を有することを特徴とする。
1.オリフィスプレート5の、インクとの接液によって、オリフィスプレート5の材料から不純物がインク液に溶出しないこと。
2.オリフィスプレート5とSi基板1との密着性が良く、経時的変化による剥がれが起こりにくいこと。
2 インク吐出エネルギー発生素子(液体吐出エネルギー発生素子)
6 インク供給口(液体供給口)
6a フィルター構造
Claims (6)
- 液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子が一方の面に形成された基板を有する液体噴射記録ヘッドにおいて、
前記基板は、該基板の前記一方の面と反対の他方の面から前記一方の面に液体を流通させる液体供給口を有し、
該液体供給口は、該基板の一方の面から他方の面に向かって延在する複数の第一の穴と、該第一の穴とずれた位置で、前記他方の面から前記一方の面に向かって延在する複数の第二の穴とが、前記基板の内部で夫々連通する複数の貫通穴からなるフィルター構造を備え、前記連通する部分の各々の径は前記第一の穴の径および前記第二の穴の径よりも小さく、前記貫通穴は前記連通する部分において屈曲構造を有することを特徴とする液体噴射記録ヘッド。 - 前記基板は、前記フィルター構造を構成する前記貫通穴が配置された部位全体に亘って前記基板の他方の面側から掘り込まれた構造を有する、請求項1に記載の液体噴射記録ヘッド。
- 前記基板は、前記フィルター構造を構成する前記貫通穴が配置された部位全体に亘って前記基板の一方の面側から掘り込まれた構造を有する、請求項1または2に記載の液体噴射記録ヘッド。
- 前記基板はSi基板であり、前記液体吐出エネルギー発生素子が形成される面のSi結晶方位が<110>である、請求項1から3のいずれか1項に記載の液体噴射記録ヘッド。
- 液体を吐出する液体噴射記録ヘッドの製造方法において、
液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子が一方の面に形成された基板を用意する工程と、
前記基板に該基板の一方の面から該一方の面と反対の他方の面に向かって複数の第一の穴を形成し、かつ、前記第一の穴とはずれた位置で、前記他方の面から前記一方の面に向かって複数の第二の穴を形成し、前記複数の第一の穴と前記複数の第二の穴とが前記基板の内部で夫々連通する複数の貫通穴からなるフィルター構造を形成する工程と、
を有し、前記連通する部分の各々の径は前記第一の穴の径および前記第二の穴の径よりも小さく、前記貫通穴は前記連通する部分において屈曲構造を有することを特徴とする、液体噴射記録ヘッドの製造方法。 - 前記基板としてSi基板を用い、Siエッチング技術によって前記貫通穴を形成する、請求項5に記載の、液体噴射記録ヘッドの製造方法。
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