JP2002292868A - 液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ及びインクジェット記録装置 - Google Patents

液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ及びインクジェット記録装置

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JP2002292868A
JP2002292868A JP2001093574A JP2001093574A JP2002292868A JP 2002292868 A JP2002292868 A JP 2002292868A JP 2001093574 A JP2001093574 A JP 2001093574A JP 2001093574 A JP2001093574 A JP 2001093574A JP 2002292868 A JP2002292868 A JP 2002292868A
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Kenichiro Hashimoto
憲一郎 橋本
Mitsuyoshi Fujii
光美 藤井
Tomoki Kato
知己 加藤
Tsuneo Maki
恒雄 牧
Kiyoshi Yamaguchi
清 山口
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    • B41J2002/14419Manifold

Abstract

(57)【要約】 【課題】 気泡排出性が悪く吐出不良が生じ易い。 【解決手段】 共通液室8は平面形状でインク供給口1
9から離れるに従って幅が狭い形状である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は液滴吐出ヘッド及びイン
クジェット記録装置に関する。
【0002】
【従来の技術】プリンタ、ファクシミリ、複写装置等の
画像記録装置或いは画像形成装置として用いるインクジ
ェット記録装置において使用する液滴吐出ヘッドである
インクジェットヘッドとしては、インク滴を吐出するノ
ズルと、このノズルが連通する液室(加圧液室、圧力
室、吐出室、インク流路等とも称される。)と、液室内
のインクを加圧する圧力を発生する圧力発生手段とを備
えて、圧力発生手段で発生した圧力で液室内インクを加
圧することによってノズルからインク滴を吐出させる。
【0003】このようなインクジェットヘッドとして
は、圧力発生手段として圧電素子などの電気機械変換素
子を用いて液室の壁面を形成している振動板を変形変位
させることでインク滴を吐出させるピエゾ型のもの、液
室内に配設した発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用い
てインクの膜沸騰でバブルを発生させてインク滴を吐出
させるバブル型(サーマル型)のもの、液室の壁面を形
成する振動板(又はこれと一体の電極)とこれに対向す
る電極を用いて静電力で振動板を変形させることでイン
ク滴を吐出させる静電型のものなどがある。
【0004】ところで、従来のインクジェットヘッドに
おいては、液室や各液室に連通する共通液室などを感光
性樹脂、樹脂モールド、金属、ガラスなどの材料で形成
していた。しかしながら、樹脂の液室は剛性が小さいの
で、近傍の液室間でクロストークが発生し易く、良好な
画像品質が得られないという問題を生じていた。また、
金属やガラスなどは、剛性が大きくクロストークの問題
は小さいが、他方、加工が難しく、特に近年のインクジ
ェットヘッドは高画質化のために高密度化の要求が高ま
ってきており、このような要求に応えるのは困難になっ
てきている。
【0005】そこで、例えば特開平7−132595号
公報、特開平7−276626号公報などには、液室や
共通液室をシリコン基板(シリコンウエハ)の異方性エ
ッチングで形成することが提案されている。シリコン
は、剛性が高く、しかも異方性エッチングを用いること
によって微細な加工が可能であり、特に、(110)面
方位のシリコンウェハを用いることによって、垂直な壁
面を形成することができるので、液室を高密度に配置す
ることができる。
【0006】このような(110)面方位のシリコン基
板の異方性エッチングを用いた従来の液室構造は、図2
2に示すように、平面形状で平行四辺形状の複数の平行
四辺形状の液室201を形成するとともに、これらの液
室201に図示しない流体抵抗部(インク供給路)を介
して連通する平面形状で平行四辺形を重ね合わせた多角
形状の共通液室202を形成したもので、この共通液室
202にインクを外部から供給するインク供給口203
が配置される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】このように、シリコン
基板を異方性エッチングして液室や共通液室を形成した
場合、シリコンの異方性のために結晶方向に沿った方向
にしか形状が形成できない。そのため、液室は結晶方向
に沿った方向の辺で形成することができるが、液室より
も大きな面積を要する共通液室については、液室の並び
方向に平行四辺形状を隙間なく重ね合わせた形状にな
り、図22に示すように共通液室202の液室の並び方
向に沿う壁面202a、202bが鋸状に形成される。
【0008】ところで、インクジェットヘッドでは、イ
ンクタンク交換時或いは外的振動によって、しばしば気
泡が液室や共通液室に巻き込まれることがある。そのた
め、インクジェット記録装置においては、ノズルや気泡
排出口からインクの吸引を行うことで、インクと一緒に
気泡を取り除くといった気泡排出の方法(信頼性回復動
作)が取られている。
【0009】しかしながら、上述したように共通液室の
壁面が平面形状で鋸状に形成されているため、この壁に
よってインク供給口から供給されたインクの流速が低下
し、図22に示すように、共通液室202の角の部分や
鋸状の壁面に気泡Bが付着して排出されずに、信頼性回
復動作を行っても気泡が取り残されることがある。
【0010】この場合、共通液室の角の部分を斜めに落
とすことによって気泡排出性は改善することができるも
のの、やはり気泡排出動作時、インク供給口から離れた
領域において特に鋸状の壁によって流速が低下するた
め、十分に気泡を排出できないことがあるという課題が
ある。
【0011】また、インク吐出動作時にもインク供給口
から離れた液室には十分にインクが供給されず吐出不良
を起こすことがあるという課題もある。
【0012】さらに、一般的に複数の液室に連通する共
通液室は、開口面積が大きくなるが、特に高密度化、高
速記録化を図るためにノズル数を増加するに従って更に
開口面積が大きくなり、インクジェットヘッドの強度が
低下し、作製中の破損などにより歩留まりが低下すると
いう課題もある。
【0013】さらにまた、共通液室が大きく開口してい
ることから、ノズル板を接合する際に、共通液室部分で
ノズル板が撓んでしまったり、破損したり、あるいは全
体に接合のための荷重が均一にかからなく接合不良を起
こすなどという課題もある。
【0014】本発明は上記の課題に鑑みてなされたもの
であり、共通液室に滞留した気泡をスムーズに排出し、
液滴吐出動作時にはすべての液室に十分に液体を供給で
きて、安定した液滴吐出を行うことのできる液滴吐出ヘ
ッド、この液滴吐出ヘッドを一体化したインクカートリ
ッジ、及びこの液滴吐出ヘッドを搭載したインクジェッ
ト記録装置を提供することを目的とする。
【0015】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、共通液室は平面
形状で供給口から離れるに従って幅が狭くなる形状であ
る構成としたものである。
【0016】ここで、共通液室の幅が略連続的に狭くな
る形状、或いは共通液室の幅が略段階的に狭くなる形状
とすることができる。
【0017】また、共通液室は平面形状が片翼形状とす
ることができる。この場合、供給口は共通液室の液室と
は反対側の壁面側又はこの壁面よりも外側若しくは液室
の並び方向で対応する液室より外側に設けられているこ
とが好ましい。
【0018】さらに、共通液室は平面形状が両翼形状と
することができる。この場合、共通液室の液室と反対側
の壁面が液室の並び方向で略円弧状又は半円状である形
状とすることができる。ここで、供給口は共通液室の液
室と反対側の壁面側又はこの壁面よりも外側に設けられ
ていることが好ましい。
【0019】また、記共通液室が液室の並び方向で独立
して2以上設けられていることが好ましい。同様に、共
通液室を液室の並び方向で独立して2以上設け、各共通
液室は平行移動で略重なる位置で配置することができ、
或いは、共通液室が液室の並び方向で独立して2以上設
け、各共通液室は対称移動で略重なる位置で配置するこ
とができる。
【0020】略独立した共通液室を2以上設ける場合、
1つの共通液室に連通する液室の数が2個以上32個以
下の範囲内であることが好ましい。さらに、隣接する2
つの共通液室間の隔壁幅が液室間の隔壁幅と略同じであ
ることが好ましい。
【0021】さらに、複数列の液室を有し、各列の液室
間に各列毎の略独立した共通液室を有することが好まし
い。この場合、各列毎の共通液室に共通の供給口から液
体を供給することが好ましい。
【0022】また、共通液室はシリコン基板の異方性エ
ッチングで形成されていることが好ましい。この場合、
共通液室の液室側壁面は平面形状で鋭角部分を有しない
ことが好ましい。
【0023】さらに、供給口は液室の壁面を形成するノ
ズル板又は蓋部材と反対側の面に設けられていることが
好ましい。この場合、供給口は機械的加工或いは異方性
エッチングで形成されていることが好ましい。
【0024】また、圧力発生手段は、液室の壁面を形成
する振動板と、これに対向する電極とを有し、振動板を
静電力で変形させるもの、液室の壁面を形成する振動板
と、この振動板を変形させる電気機械変換素子とを有す
るもの、液室内に配置した電気熱変換素子を有するもの
とすることができる。
【0025】本発明に係るインクカートリッジは、イン
ク滴を吐出するインクジェットヘッドとこのインクジェ
ットヘッドにインクを供給するインクタンクを一体化し
たものであって、インクジェットヘッドが本発明に係る
いずれかの液滴吐出ヘッドであるものである。
【0026】本発明に係るインクジェット記録装置は、
インク滴を吐出するインクジェットヘッドを搭載したも
のであって、インクジェットヘッドが本発明に係るいず
れかの液滴吐出ヘッドであるものである。
【0027】
【実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付図面を
参照して説明する。先ず、本発明に係る液滴吐出ヘッド
としてのインクジェットヘッドの第1実施形態について
図1乃至図5を参照して説明する。なお、図1は同ヘッ
ドの分解斜視説明図、図2は同ヘッドのノズル板を透過
状態で示す平面説明図、図3は同ヘッドの振動板長手方
向に沿う模式的断面説明図、図4は同ヘッドの振動板短
手方向に沿う模式的断面説明図、図5は同ヘッドの液室
形状を説明する平面説明図である。
【0028】このインクジェットヘッドは、第1基板で
ある流路基板1と、この流路基板1の下側に設けた第2
基板である電極基板3と、流路基板1の上側に設けた第
三基板であるノズル板4とを重ねて接合した積層構造体
であり、これらにより、複数のノズル5が連通するイン
ク流路でもある液室6、液室6に流体抵抗部7を介して
連通する共通液室8などを形成している。
【0029】流路基板1には、液室6及びこの液室6の
底部となる壁面を形成する振動板10、各液室6を隔て
る隔壁11を形成する凹部、共通液室8を形成する凹部
などを形成している。
【0030】この流路基板1は、(110)面方位の単
結晶シリコン基板(シリコンウエハ)に振動板となる厚
み(深さ)に高濃度不純物であるボロンを拡散し、この
高濃度ボロンドープ層をエッチングストップ層として異
方性エッチングを行うことにより、液室6となる凹部等
を形成するときに所望の厚さの振動板10を得たもので
ある。なお、高濃度P型不純物としては、ボロンの他、
ガリウム、アルミニウム等も用いることができる。ま
た、高濃度ボロンドープ層にはボロン以外にシリコンよ
りも格子定数の大きな原子、たとえばゲルマニウム(G
e)を含むこともできる。
【0031】また、流路基板1としては、ベース基板と
活性層基板とを酸化膜を介して接合したSOI(Silic
on On Insulator)基板を用いることも可能である。
この場合には、活性層基板を振動板10として用い、ベ
ース基板に液室6や共通液室10となる凹部を彫り込
む。
【0032】電極基板3には、凹部14を形成して、こ
の凹部14の底面に振動板10に所定のギャップ16を
置いて対向する電極15を形成し、この電極15と振動
板10によって、振動板10を静電力で変形させて液室
6の内容積を変化させるアクチュエータ部を構成してい
る。この電極基板3の電極15上には振動板10との接
触によって電極15が破損するのを防止するため、例え
ば0.1μm厚のSiO2などの絶縁層17を成膜してい
る。なお、電極15を電極基板3の端部付近まで延設し
て外部駆動回路と接続手段を介して接続するための電極
パッド部15aを形成している。
【0033】この電極基板3は、ガラス基板、又は表面
に熱酸化膜3aを形成した単結晶シリコン基板上に、H
F水溶液などでエッチングにより凹部14を形成し、こ
の凹部14に窒化チタンなどの高耐熱性を有する電極材
料をスパッタ、CVD、蒸着などの成膜技術で所望の厚
さに成膜し、その後、フォトレジストを形成してエッチ
ングすることにより、凹部14にのみ電極15を形成し
たものである。この電極基板3と流路基板1とは陽極接
合、直接接合などのプロセスで接合している。
【0034】ここで、電極15は、例えばタングステン
シリサイド膜とポリシリコン膜の2層構造、或いは、
金、通常半導体素子の形成プロセスで一般的に用いられ
るAl、Cr、Ni等の金属材料や、Ti、TiN等の
高融点金属、不純物をドープした多結晶シリコン膜など
も用いることができる。
【0035】この例では、電極15は、シリコン基板に
エッチングで形成した深さ0.4μmの凹部14内に窒
化チタンを0.1μmの厚さにスパッタし形成し、その
上にSiOスパッタ膜を0.1μm厚みで絶縁層17
として形成している。したがって、このヘッドにおいて
は、電極基板3と流路基板1とを接合した後のエアギャ
ップ16の長さ(振動板10と絶縁層17表面との間
隔)は、0.2μmとなっている。
【0036】また、ノズル板4にはノズル5、液体抵抗
部7となる溝、共通液室8へ外部からインクを供給する
ためのインク供給口19を形成し、吐出面には撥水処理
を施している。このノズル板4としては、例えば、Ni
電鋳工法で製作しためっき膜、シリコン基板、SUSな
どの金属、樹脂とジルコニアなどの金属層の複層構造の
ものなども用いることができる。このノズル板4は流路
基板1に接着剤にて接合している。
【0037】そこで、このインクジェットヘッドにおけ
る液室形状について図5を参照して詳細に説明する。流
路基板1には、上述したように(110)面方位の単結
晶シリコン基板(シリコンウエハ)を異方性エッチング
して、図5に示すように、複数の液室6を形成するとと
もに、所定数の液室6に連通する複数個の共通液室8、
8…を形成している。すなわち、液室6の並び方向で2
以上の独立した共通液室8を形成し、各共通液室8に対
して外部からインクを供給するインク供給口19を設け
ている。
【0038】このように、複数の液室6にインクを供給
する共通液室を液室6の並び方向で複数個の共通液室8
に分割して設け、各共通液室8にインク供給口19を設
けることで、インク供給口19から液室6までの距離が
短くなり、共通液室8を異方性エッチング形成すること
によって生じる鋸状の壁面でインクの流れが妨げられて
流速が低下することが低減し、気泡排出性が向上する。
しかも、共通液室8の開口面積も小さくなることから、
強度を確保できて作製中の破損などが低減するととも
に、ノズル板4の破損や接合不良などを低減することが
できる。
【0039】また、1つの共通液室8は、対応する液室
6の並び領域Aにおいて、液室6の並び方向と交差(直
交)する方向の幅がインク供給口19から離れるに従っ
て略連続的に狭くなる形状に形成している。つまり、こ
こでは共通液室8を片翼形状に形成し、この片翼形状の
共通液室8の基部(翼の根元部分)にインク供給口19
を配置している。
【0040】このように、共通液室8に幅がインク供給
口19から離れるに従って狭くなることで、インク供給
口19から離れることで供給されるインク流量が少なく
なってもインク流速が低下することが防止され、気泡排
出性が向上する。
【0041】そして、液室6の並び方向で複数の共通液
室8に分割して、かつ、共通液室8に幅がインク供給口
19から離れるに従って狭くなるように形成すること
で、ノズル数が増えても、気泡排出性を確保できる。す
なわち、共通液室を分割せずにインク供給口から離れる
に従い共通液室の幅を小さくしただけでは、吐出室数
(ノズル数 )が少ないものについて気泡排出を良好に
行えるが、高速記録を実現するために吐出室数を増やす
と、気泡が排出できなくなる現象が生じる。
【0042】ここで、インク供給口19は共通液室8の
液室6側と反対側の壁面8a側に寄った位置に配置して
いるので、インクのスムーズな流れが得られて、気泡排
出効率が高くなる。
【0043】また、この共通液室8の液室6側の壁面8
bは異方性エッチングによって生じる平面形状で鋸状に
形成しているが、液室6側と反対側の壁面8aは平面形
状で鈍角に、すなわち、鋭角部分を有しない形状に形成
している。これにより、インク供給口19からのインク
の流れが壁面8bによって阻害されないので流速の低下
が低減し、スムーズなインクの流れが得られ、インクの
停滞が少なくなる。
【0044】なお、共通液室8の液室6側の壁面8bが
鋸状に形成されることで液室6側と反対側の壁面8aの
傾斜の程度によるが、微視的に見れば共通液室8に幅が
インク供給口19から離れるに従って狭くならず、部分
的には広くなることもあるが、本発明はこのように部分
的に広くなる箇所があっても含まれるものである。つま
り、巨視的に見ればこのように部分的に広くなる箇所が
あっても全体として共通液室8はインク供給口19から
離れるに従って幅が狭くっているのであって、本明細書
において「インク供給口から離れるに従って幅が狭くな
る」とは「部分的に広くなる箇所がある場合を含む」意
味である。
【0045】さらに、各共通液室8間の隔壁21の幅L
2は液室6間の隔壁11の幅L1と略同じにしている。
これにより、各共通液室8間の隔壁21の強度が十分得
られ、近接して隣り合う液室間で共通液室を仕切ること
ができるようになる。
【0046】次に、このような共通液室形状の製造方法
について図6を参照して説明する。例えば(110)面
方位のシリコン基板(流路基板1となる)に、シリコン
窒化膜或いはシリコン酸化膜のような耐アルカリ性エッ
チング液のマスク層(マスクパターン)31を形成す
る。このマスク層31には液室6に対応する開口部32
及び共通液室8に対応する開口部33を形成している。
この場合、共通液室8に対応する開口部33には補償パ
ターン34を形成している。
【0047】その後、水酸化カリウム水溶液、TMA
H、EDPなどのようなアルカリ液によってシリコン基
板の異方性エッチングを行うと、エッチレートの遅い
(111)面で囲まれたところ以外は横方向にもエッチ
ングが進行し、結果として、補償パターン34の部分も
エッチング進み、他方、共通液室8の壁面8a側のエッ
チングが進むことから、図5に示すように壁面8b側が
鋸状で、壁面8a側が鈍角な共通液室8が得られる。な
お、このマスクパターンは一例であり、エッチング液、
エッチング深さなどにより適宜形成する。
【0048】次に、本発明の第2実施形態に係るインク
ジェットヘッドついて図7を参照して説明する。なお、
同図は同ヘッドの液室形状を説明する平面説明図であ
る。この実施形態では、上記第1実施形態の共通液室8
の液室6の並び方向で対応する液室6より外側に共通液
室8へのインク流入路22を形成し、このインク流入路
22にインク供給口19を配置したものである。
【0049】このように、インク供給口19を配置する
インク流入路22を隣接する共通液室8の幅の狭くなっ
た部分の外側に形成することで、スペースの増加を招く
ことなく、しかも第1実施形態の共通液室8よりも共通
液室容積を大きくすることができ、液室6へのインク供
給をより確実に確保することができる。
【0050】次に、本発明の第3実施形態に係るインク
ジェットヘッドついて図8を参照して説明する。なお、
同図も同ヘッドの液室形状を説明する平面説明図であ
る。この実施形態では、上記第1実施形態の隣接する2
つの共通液室8、8を対称移動で略重なる位置に配置し
たものである。
【0051】このように共通液室8を配置した場合でも
前記第1実施形態と同様な作用効果が得られ、また、隣
接する共通液室8、8へのインク供給口9、9を近づけ
ることができるので、共通液室8の独立性を確保しつつ
インク供給口の形状を2つの共通液室にまたがる形状に
することが可能になる。
【0052】次に、本発明の第4実施形態に係るインク
ジェットヘッドついて図9を参照して説明する。なお、
同図も同ヘッドの液室形状を説明する平面説明図であ
る。この実施形態では、液室6の列を2列(したがって
ノズル5を2列になる)千鳥状に配置し、各液室列6
A、6B間に上記第1実施形態の共通液室8をそれぞれ
液室6の並び方向に配置し、かつ、各液室列6A、6B
で隣り合う共通液室8、8を通じるインク流入路23を
形成して、このインク流入路23にインク供給口19を
配置したものである。
【0053】このように構成することでノズル数を増加
した場合であっても、1つのインク供給口から左右の共
通液室にインクを供給することができ、構成が簡単にな
る。
【0054】次に、本発明の第5実施形態に係るインク
ジェットヘッドついて図10を参照して説明する。な
お、同図も同ヘッドの液室形状を説明する平面説明図で
ある。この実施形態では、上記第1実施形態の共通液室
8の液室6側の壁面6bについて平面形状で鈍角に、す
なわち鋭角部分を有しない形状に形成している。
【0055】このような共通液室8の壁面の鋸状の角度
を鈍角にしたものを形成するには、前述した図6に示す
ような異方性エッチング用のマスク層(マスクパター
ン)31を用いて、エッチングを図5に示した第1実施
形態の形状で終了せずに、更に5〜10分程度進める。
このようにエッチングをオーバーにすることによって、
鋭角が徐々にエッチングされ壁面が滑らかになってい
く。ただし、この場合、共通液室8の液室と反対側の壁
面8aも外側にエッチングが進行するので、共通液室8
の幅は図5に示したものよりも広くなる。したがって、
図5に示したものと同じ共通液室幅としたい場合には、
エッチング進行分を考慮に入れて設計したエッチング用
マスク層(マスクパターン)を用いればよい。
【0056】これにより、シリコン基板の異方性エッチ
ングで形成した共通液室8であっても、異方性エッチン
グに伴なう鋸状壁面がないので、第1実施形態の場合よ
りもインクの流れの妨げや渦の発生が減少し、よりスム
ーズなインクの流れが得られるので、さらに気泡の滞留
が少なくなり、インク吐出時のインク供給も十分に確保
され、高周波数駆動での高速記録にも対応することがで
きる。
【0057】次に、本発明の第6実施形態に係るインク
ジェットヘッドついて図11を参照して説明する。な
お、同図も同ヘッドの液室形状を説明する平面説明図で
ある。この実施形態は、上記第1実施形態の共通液室8
の液室6と反対側の壁面6aを平面形状でよりリニアな
形状に形成したものであり、第1実施形態の場合よりも
よりスムーズなインクの流れが確保できて気泡排出性が
向上する。
【0058】次に、本発明の第7実施形態に係るインク
ジェットヘッドついて図12を参照して説明する。な
お、同図も同ヘッドの液室形状を説明する平面説明図で
ある。この実施形態も液室6の並び方向に複数の共通液
室28を配置したものであり、1つの共通液室28は、
対応する液室6の並び領域Aにおいて、液室6の並び方
向と交差(直交)する方向の幅がインク供給口29から
両サイドに離れるに従って略連続的に狭くなる形状、つ
まり、ここでは共通液室8を両翼形状に形成し、この両
翼形状の共通液室8の基部(翼の根元部分)にインク供
給口19を配置している。
【0059】ここでは、1つの共通液室28の液室6側
と反対側の壁面28aは平面形状で略円弧状に形成して
いるが、半円状などに形成することもできる。ただし、
異方性エッチングのために壁面28aには第1実施形態
の共通液室8と同様に多少の角が生じている。
【0060】このように、複数の液室6にインクを供給
する共通液室を液室6の並び方向で複数個の共通液室2
8に分割して設け、各共通液室28にインク供給口29
を設けることで、インク供給口29から液室6までの距
離が短くなり、共通液室28を異方性エッチング形成す
ることによって生じる鋸状の壁面でインクの流れが妨げ
られて流速が低下することが低減し、気泡排出性が向上
する。しかも、共通液室8の開口面積も小さくなること
から、強度を確保できて作製中の破損などが低減すると
ともに、ノズル板4の破損や接合不良などを低減するこ
とができる。
【0061】また、1つの共通液室28は、対応する液
室6の並び領域Aにおいて、液室6の並び方向と交差
(直交)する方向の幅がインク供給口29から離れるに
従って略連続的に狭くなる形状に形成しているので、イ
ンク供給口29から離れることで供給されるインク流量
が少なくなってもインク流速が低下することが防止さ
れ、気泡排出性が向上する。
【0062】この場合、インク供給口29を液室6の並
び方向で共通液室28の略中央部分に設けているので、
インク供給口29から共通液室28両端部の液室6、6
に対して略対称にインクの流れが形成され、安定したイ
ンク滴吐出が可能になる。また、液室6の並び方向で複
数の共通液室28に分割して、かつ、共通液室28に幅
がインク供給口29から離れるに従って狭くなるように
形成することで、インク供給口29からの各液室6まで
の距離の差も小さくなってのノズル5間でのインク吐出
量や飛翔速度のバラツキも小さくなる。
【0063】ここで、インク供給口29は共通液室28
の液室6側と反対側の壁面28a側に寄った位置、すな
わち壁面28aに近い位置に配置することで、よりスム
ーズなインクの流れが確保できる。したがって、インク
供給口29は共通液室8の幅方向の中心よりも壁面28
a側(円弧側)に設けることが好ましい。インク流入口
29が円弧側より遠ざかった場合には、円弧(壁面28
a)近傍でインクの滞留が発生し易くなり、気泡がスム
ーズに排出されないことが生じる。
【0064】次に、本発明の第8実施形態に係るインク
ジェットヘッドついて図13を参照して説明する。な
お、同図も同ヘッドの液室形状を説明する平面説明図で
ある。この実施形態では、上記第7実施形態の共通液室
28の液室6側と反対側の壁面をインク供給口29付近
で液室6側の壁面6bと略平行に形成した壁面6cとこ
れに連続して液室6の並び方向で液室6側に近づく壁面
6aを形成したものである。
【0065】これにより、共通液室28は壁面6cの部
分では幅が広くなるので上記第7実施形態よりも共通液
室容量を大きくすることができ、より多くのインク供給
を確保することができる。
【0066】次に、本発明の第9実施形態に係るインク
ジェットヘッドついて図14を参照して説明する。な
お、同図も同ヘッドの液室形状を説明する平面説明図で
ある。この実施形態では、液室6の列を2列(したがっ
てノズル5を2列になる)千鳥状に配置し、各液室列6
A、6B間に上記第7実施形態の共通液室28をそれぞ
れ液室6の並び方向に配置し、かつ、各液室列6A、6
Bで隣り合う共通液室28、28を通じるインク流入路
30を形成して、このインク流入路30にインク供給口
29を配置したものである。
【0067】このように構成することでノズル数を増加
した場合であっても、1つのインク供給口から左右の共
通液室にインクを供給することができ、構成が簡単にな
る。
【0068】次に、本発明の第10実施形態に係るイン
クジェットヘッドついて図15を参照して説明する。な
お、同図も同ヘッドの液室形状を説明する平面説明図で
ある。この実施形態は、上述した流路基板にパイレック
ス(登録商標)ガラスやセラミックスなどを用いてエッ
チング或いはサンドブラスト工法で略四角形状の液室3
6を形成するとともに、共通液室は前記各実施形態と同
様に液室36の並び方向で複数の独立したに共通液室3
8に分割し、かつ、共通液室38の液室36側と反対側
の壁面38aを段階的にインク供給口39から離れるに
従って幅が狭くなる形状に形成したものである。
【0069】このように流路基板にパイレックスガラス
やセラミックスなどを用いてエッチング或いはサンドブ
ラスト工法でインク流路(液室や共通液室)を形成する
場合には、シリコンの異方性エッチングによる場合のよ
うに壁面が鋸状にならないが、本発明を実施すること
で、より確実に気泡を排出し、共通液室端部におけるイ
ンク流速の低下を防止して十分なインク供給を行うこと
ができるようになる。なお、共通液室38の液室36側
と反対側の壁面38aは図11に示したと同様にリニア
に液室36側に近づく形状であっても良い。
【0070】次に、上述したように共通液室を液室の並
び方向で複数に分割した場合における1つの共通液室が
対応する液室の数について検討した。具体的には、共通
液室を区切る大きさを変えて、気泡排出の結果を比較し
た。ここで用いたインクジェットヘッドは、150dp
i(169μmピッチ)で液室6が並んだ図12に示す
実施形態のもので、共通液室28の高さを100μmと
し、共通液室28の長さ(液室6の並び方向に沿う長
さ)を変えて実験を行った。
【0071】この場合、気泡を取り込んだものをノズル
からの吸引による気泡の排出動作を行った後、共通液室
28に気泡が残っているかどうかを評価した。この結果
を表1に示している。なお、各条件で10個のサンプル
を用いた。共通液室区切りは何チャンネル分(何個)の
液室で区切ったかのチャンネル数で表す。
【0072】
【表1】
【0073】この評価結果から、共通液室の区切りは3
2CH(チャンネル)以下、好ましくは24CH以下が
良いことが分かる。すなわち、1つの共通液室28が対
応する液室6の数は2個以上32個以下とすることが好
ましい。
【0074】次に、本発明に係るインクジェットヘッド
の第11実施形態について図16を参照して説明する。
このインクジェットヘッドは、インク供給口9を電極基
板3に形成したものであり、ノズル板3と反対側の面か
ら共通液室8(その他の共通液室28、38でもよ
い。)にインクを供給するようにしている。
【0075】電極基板3としてシリコン基板を用いた場
合には、前述した液室6や共通液室8を形成したのと同
様に、異方性エッチングでインク供給口9を形成するこ
とができる。電極基板3として(100)面方位のシリ
コン基板を用いた場合は、長方形あるいは正方形のエッ
チング開口が得られる。この異方性エッチングでは、エ
ッチングマスク層パターンをフォトリソで作製しておけ
ば、多数の開口(インク供給口)を同時に形成すること
ができ、コストダウンが可能となる。
【0076】また、電極基板3としてシリコン基板に代
えてパイレックスガラス基板を用いた場合にはエッチン
グやサンドブラスト法でインク供給口9を形成すること
ができる。この他、基板に貫通穴を形成する方法として
は、上述したものを含めて、例えばサンドブラスト法、
ドリル加工、超音波加工、レーザー加工などの加工法
(これらを本明細書では「機械的加工」と称してい
る。)やエッチングがあり、要は、電極基板を形成する
材料によって適宜選択すればよい。
【0077】このように電極基板側にインク供給口を設
けることによって、インクジェットヘッドのチップの裏
面からインクを供給できるようになり、ノズル板側にイ
ンク供給管などの配管が不要となって、インクジェット
ヘッドの大きさを小型にすることができる。
【0078】次に、本発明を適用するインクジェットヘ
ッドの他の例について図17を参照して説明する。な
お、同図は同ヘッドの液室長手方向に沿う断面説明図で
ある。このインクジェットヘッドは、圧力発生手段とし
て圧電素子を用いるピエゾ型ヘッドであり、かつ、イン
ク滴の吐出方向が液室の長手方向に沿う方向であるエッ
ジシュータ方式のヘッドである。これを簡単に説明する
と、流路基板41と蓋部材44とを接合して、ノズル4
5、ノズル45が連通する振動板50を有する液室4
6、液室46に流体抵抗部47を介して連通する共通液
室48を形成し、蓋部材44に形成したインク供給口4
9から共通液室48にインクを供給する。
【0079】ここで、流路基板41にはシリコン基板を
用いて、これを異方性エッチングすることでノズル45
を形成する溝、液室46及び振動板50を形成する凹
部、流体抵抗部47を形成する溝、共通液室48を形成
する凹部を形成している。そして、この流路基板41の
振動板50の面外側に振動板50を変形させる圧電素子
51を設けたものである。この圧電素子51としては電
極間に圧電層を挟んだ単層ないし2層構造のもの、或い
は積層型圧電素子(内部電極と圧電層を交互に積層した
もの)が用いられる。また、圧電素子51を蓋部材44
側に設けても良い。
【0080】このようなピエゾ型インクジェットヘッド
において、共通液室48の形状を前述した各実施形態で
説明したような共通液室8、28、38などの形状に形
成することによって気泡排出性が向上し、インク供給を
十分に行うことができるようになる。なお、前述した静
電型インクジェットヘッドにおいてもインク滴吐出方向
を液室長手方向に沿う方向にしたエッジシュータ方式
(前述した各実施形態はサイドシュータ方式である。)
とすることもできる。
【0081】次に、本発明に係るインクジェットヘッド
の第13実施形態について図18を参照して説明する。
このインクジェットヘッドは、圧力発生手段として発熱
抵抗体(電気熱変換素子)を用いるサーマル型ヘッドで
あり、これを簡単に説明すると、第12実施形態と同様
に、流路基板61と蓋部材64とを接合して、ノズル6
5、ノズル65が連通する液室66、液室66に流体抵
抗部67を介して連通する共通液室68を形成し、蓋部
材64に形成したインク供給口69から共通液室68に
インクを供給する。
【0082】ここで、流路基板41にはシリコン基板を
用いて、これを異方性エッチングすることでノズル65
を形成する溝、液室66を形成する凹部、流体抵抗部6
7を形成する溝、共通液室68を形成する凹部を形成し
ている。そして、この流路基板61の液室66内にイン
クの膜沸騰をさせる発熱抵抗体71を設けたものであ
る。また、発熱抵抗体71を蓋部材44側に設けても良
い。
【0083】このようなサーマル型インクジェットヘッ
ドにおいて、共通液室68の形状を前述した各実施形態
で説明したような共通液室8、28、38などの形状に
形成することによって気泡排出性が向上し、インク供給
を十分に行うことができるようになる。
【0084】これらのピエゾ型或いはサーマル型のイン
クジェットヘッドにおいても、前記第11実施形態と同
様に蓋部材と反対側の面から共通液室にインクを供給す
るインク供給口を設けることができる。
【0085】なお、流路基板をシリコン基板で形成した
場合、インクの種類によってはシリコンが侵される場合
がある。この場合には、液室や共通液室の壁面などイン
クと接する内壁表面に耐インク性の膜、例えば、シリコ
ン酸化膜、窒化チタン膜、ポリイミド膜を形成すること
もできる。
【0086】次に、本発明に係るインクカートリッジに
ついて図19を参照して説明する。このインクカートリ
ッジは、ノズル80等を有する上記各実施形態のいずれ
かのインクジェットヘッド81と、このインクジェット
ヘッド81に対してインクを供給するインクタンク82
とを一体化したものである。
【0087】このようにインクタンク一体型のヘッドの
場合、ヘッドの歩留まり不良は直ちにインクカートリッ
ジ全体の不良につながるので、上述したように気泡残留
によるインク滴吐出不良が低減することで、インクカー
トリッジの歩留まりが向上し、ヘッド一体型インクカー
トリッジの低コスト化を図れる。
【0088】次に、本発明に係るインクジェットヘッド
を搭載したインクジェット記録装置の一例について図2
0及び図21を参照して説明する。なお、図20は同記
録装置の斜視説明図、図21は同記録装置の機構部の側
面説明図である。このインクジェット記録装置は、記録
装置本体81の内部に主走査方向に移動可能なキャリッ
ジ、キャリッジに搭載した本発明を実施したインクジェ
ットヘッドからなる記録ヘッド、記録ヘッドへインクを
供給するインクカートリッジ等で構成される印字機構部
82等を収納し、装置本体81の下方部には前方側から
多数枚の用紙83を積載可能な給紙カセット(或いは給
紙トレイでもよい。)84を抜き差し自在に装着するこ
とができ、また、用紙83を手差しで給紙するための手
差しトレイ85を開倒することができ、給紙カセット8
4或いは手差しトレイ85から給送される用紙83を取
り込み、印字機構部82によって所要の画像を記録した
後、後面側に装着された排紙トレイ86に排紙する。
【0089】印字機構部82は、図示しない左右の側板
に横架したガイド部材である主ガイドロッド91と従ガ
イドロッド92とでキャリッジ93を主走査方向(図2
1で紙面垂直方向)に摺動自在に保持し、このキャリッ
ジ93にはイエロー(Y)、シアン(C)、マゼンタ
(M)、ブラック(Bk)の各色のインク滴を吐出する
本発明に係るインクジェットヘッドからなるヘッド94
を複数のインク吐出口(ノズル)を主走査方向と交差す
る方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着
している。またキャリッジ93にはヘッド94に各色の
インクを供給するための各インクカートリッジ95を交
換可能に装着している。
【0090】インクカートリッジ65は上方に大気と連
通する大気口、下方にはインクジェットヘッドへインク
を供給する供給口を、内部にはインクが充填された多孔
質体を有しており、多孔質体の毛管力によりインクジェ
ットヘッドへ供給されるインクをわずかな負圧に維持し
ている。また、記録ヘッドとしてここでは各色のヘッド
64を用いているが、各色のインク滴を吐出するノズル
を有する1個のヘッドでもよい。
【0091】ここで、キャリッジ63は後方側(用紙搬
送方向下流側)を主ガイドロッド61に摺動自在に嵌装
し、前方側(用紙搬送方向上流側)を従ガイドロッド6
2に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ
63を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ6
7で回転駆動される駆動プーリ68と従動プーリ69と
の間にタイミングベルト70を張装し、このタイミング
ベルト70をキャリッジ63に固定しており、主走査モ
ーター67の正逆回転によりキャリッジ63が往復駆動
される。
【0092】一方、給紙カセット84にセットした用紙
83をヘッド94の下方側に搬送するために、給紙カセ
ット84から用紙83を分離給装する給紙ローラ101
及びフリクションパッド102と、用紙83を案内する
ガイド部材103と、給紙された用紙83を反転させて
搬送する搬送ローラ104と、この搬送ローラ104の
周面に押し付けられる搬送コロ105及び搬送ローラ1
04からの用紙83の送り出し角度を規定する先端コロ
106とを設けている。搬送ローラ104は副走査モー
タ107によってギヤ列を介して回転駆動される。
【0093】そして、キャリッジ93の主走査方向の移
動範囲に対応して搬送ローラ104から送り出された用
紙83を記録ヘッド94の下方側で案内する用紙ガイド
部材である印写受け部材109を設けている。この印写
受け部材109の用紙搬送方向下流側には、用紙83を
排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ11
1、拍車112を設け、さらに用紙83を排紙トレイ8
6に送り出す排紙ローラ113及び拍車114と、排紙
経路を形成するガイド部材115,116とを配設して
いる。
【0094】記録時には、キャリッジ93を移動させな
がら画像信号に応じて記録ヘッド94を駆動することに
より、停止している用紙83にインクを吐出して1行分
を記録し、用紙83を所定量搬送後次の行の記録を行
う。記録終了信号または、用紙83の後端が記録領域に
到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ
用紙83を排紙する。
【0095】また、キャリッジ93の移動方向右端側の
記録領域を外れた位置には、ヘッド94の吐出不良を回
復するための回復装置117を配置している。回復装置
117はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段を
有している。キャリッジ93は印字待機中にはこの回復
装置117側に移動されてキャッピング手段でヘッド9
4をキャッピングされ、吐出口部を湿潤状態に保つこと
によりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記
録途中などに記録と関係しないインクを吐出することに
より、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した
吐出性能を維持する。
【0096】吐出不良が発生した場合等には、キャッピ
ング手段でヘッド94の吐出口(ノズル)を密封し、チ
ューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともに気
泡等を吸い出し、吐出口面に付着したインクやゴミ等は
クリーニング手段により除去され吐出不良が回復され
る。また、吸引されたインクは、本体下部に設置された
廃インク溜(不図示)に排出され、廃インク溜内部のイ
ンク吸収体に吸収保持される。
【0097】このように、このインクジェット記録装置
においては本発明を実施したインクジェットヘッドを搭
載しているので、気泡溜まりによるインク滴吐出不良が
なく、安定したインク滴吐出特性が得られて、画像品質
が向上する。
【0098】なお、上記実施形態においては、本発明を
インクジェットヘッドに適用したが、インク以外の液
滴、例えば、パターニング用の液体レジストを吐出する
液滴吐出ヘッドにも適用することできる。
【0099】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る液滴
吐出ヘッドによれば、共通液室は平面形状で供給口から
離れるに従って幅が狭くなる形状であるので、液体流速
の低下が防止されて気泡をスムーズに排出でき、滴吐出
不良を防止できる。
【0100】ここで、共通液室の幅が略連続的に狭くな
る形状、或いは共通液室の幅が略段階的に狭くなる形状
とすることで、液体のスムーズな流れが得られて液体流
速の低下が防止され、気泡をスムーズに排出できる。
【0101】また、共通液室は平面形状が片翼形状とす
ることで、液体のスムーズな流れが得られて流速の低下
が防止され、気泡をスムーズに排出できる。この場合、
供給口は共通液室の液室とは反対側の壁面側又はこの壁
面よりも外側若しくは液室の並び方向で対応する液室よ
り外側に設けられていることで、供給口と壁面との間で
の気泡溜まりを防止できる。
【0102】さらに、共通液室は平面形状が両翼形状と
することで、1つの供給口から供給される液体を型翼形
状の場合よりも広い範囲でスムーズに流れ、安定した吐
出が可能になる。この場合、共通液室の液室と反対側の
壁面が液室の並び方向で略円弧状又は半円状である形状
とすることで、液体を供給口から略対称に流すことがで
き、安定した滴吐出が得られる。ここで、供給口は共通
液室の液室と反対側の壁面側又はこの壁面よりも外側に
設けられていることで、供給口と壁面との間での気泡溜
まりを防止できる。
【0103】また、共通液室が液室の並び方向で独立し
て2以上設けられていることで、供給口から液室までの
距離も短くなるので、液体流速の低下が少なくなってス
ムーズな気泡排出と吐出時の十分な液体供給を行うこと
ができるとともに、1つの共通液室の開口面積が更に狭
くなることで製作時の破損や接合不良が減少し、歩留ま
りが向上する。
【0104】同様に、共通液室を液室の並び方向で独立
して2以上設け、各共通液室は平行移動で略重なる位置
で配置することができ、この場合には供給口を隣接する
共通液室の幅狭部分の外方に配置することができ、省ス
ペースで共通液室容量を大きくすることができる。或い
は、共通液室が液室の並び方向で独立して2以上設け、
各共通液室は対称移動で略重なる位置で配置すること
で、独立した共通液室に対して1つ供給口からの液体供
給が可能な構成を採用することができるようになり、ま
たノズル列を複数列有する場合に各列の共通液室に1つ
の供給口からの供給ができるようになる。
【0105】略独立した共通液室を2以上設ける場合、
1つの共通液室に連通する液室の数が2個以上32個以
下の範囲内であることで、確実に気泡を排出することが
できる。さらに、隣接する2つの共通液室間の隔壁幅を
液室間の隔壁幅と略同じにすることで、隔壁強度を確保
することができ、隣接する液室間で共通液室を仕切るこ
とができる。
【0106】さらに、複数列の液室を有し、各列の液室
間に各列毎の略独立した共通液室を有することで、ノズ
ル密度を高くすることができ、より高品質の記録が可能
になる。この場合、各列毎の共通液室に共通の供給口か
ら液体を供給することで、構成が簡単になる。
【0107】また、共通液室はシリコン基板の異方性エ
ッチングで形成されていることで、クロストークが少な
く、液室の高密度配置が可能になり、高密度記録が行え
る。この場合、共通液室の液室側壁面は平面形状で鋭角
部分を有しないことで、液体の流れがよりスムーズにな
り、気泡排出性が向上する。
【0108】さらに、供給口は液室の壁面を形成するノ
ズル板又は蓋部材と反対側の面に設けられていること
で、ノズルに近い面側の構成が簡単になり、小型化を図
ることができる。この場合、供給口を機械的加工で形成
することで、供給口形状の選択範囲が広がり、供給口を
エッチングで形成することで、複数の供給口を同時に形
成できて低コスト化を図れる。
【0109】また、圧力発生手段として液室の壁面を形
成する振動板及びこれに対向する電極とを有して振動板
を静電力で変形させるものを用いることで、高密度化が
容易で、液体の性質に左右されないヘッドを得ることが
できる。また、液室の壁面を形成する振動板及びこの振
動板を変形させる電気機械変換素子とを有するものを用
いることで、液体の性質に左右されないヘッドを得るこ
とができる。さらに、液室内に配置した電気熱変換素子
を有するものを用いることで、高密度化が容易なヘッド
が得られる。
【0110】本発明に係るインクカートリッジによれ
ば、本発明に係るいずれかの液滴吐出ヘッドであるイン
クジェットヘッドとこのインクジェットヘッドにインク
を供給するインクタンクを一体化したので、気泡溜まり
による吐出不良が減少し、低コスト化を図ることができ
る。
【0111】本発明に係るインクジェット記録装置によ
れば、本発明に係るいずれかの液滴吐出ヘッドであるイ
ンクジェットヘッドを搭載したので、吐出不良のない安
定したインク滴吐出特性が得られ、画像品質が向上する
とともに、気泡排出のためのインク吸引量も少なくて済
み、インクの無駄な消費が少なくなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態に係る液滴吐出ヘッドと
してインクジェットヘッドの分解斜視説明図、
【図2】同ヘッドのノズル板を透過状態で示す平面説明
【図3】同ヘッドの液室長手方向に沿う模式的断面説明
【図4】同ヘッドの液室短手方向に沿う模式的断面説明
【図5】同ヘッドの液室形状を説明する平面説明図
【図6】同じく同液室形状の製作方法の説明に供する平
面説明図
【図7】本発明の第2実施形態に係るインクジェットヘ
ッドの液室形状を説明する平面説明図
【図8】本発明の第3実施形態に係るインクジェットヘ
ッドの液室形状を説明する平面説明図
【図9】本発明の第4実施形態に係るインクジェットヘ
ッドの液室形状を説明する平面説明図
【図10】本発明の第5実施形態に係るインクジェット
ヘッドの液室形状を説明する平面説明図
【図11】本発明の第6実施形態に係るインクジェット
ヘッドの液室形状を説明する平面説明図
【図12】本発明の第7実施形態に係るインクジェット
ヘッドの液室形状を説明する平面説明図
【図13】本発明の第8実施形態に係るインクジェット
ヘッドの液室形状を説明する平面説明図
【図14】本発明の第9実施形態に係るインクジェット
ヘッドの液室形状を説明する平面説明図
【図15】本発明の第10実施形態に係るインクジェッ
トヘッドの液室形状を説明する平面説明図
【図16】本発明の第11実施形態に係るインクジェッ
トヘッドの液室長手方向に沿う断面説明図
【図17】本発明を適用する他のインクジェットヘッド
の液室長手方向に沿う断面説明図
【図18】本発明を適用する更に他のインクジェットヘ
ッドの液室長手方向に沿う断面説明図
【図19】本発明に係るインクカートリッジの斜視説明
【図20】本発明に係るインクジェット記録装置の機構
部の概要を説明する斜視説明図
【図21】同記録装置の側断面説明図
【図22】従来のインクジェットヘッドの液室形状を説
明する平面説明図
【符号の説明】
1…流路基板、3…電極基板、4…ノズル板、5…ノズ
ル、6…液室、6A、6B…液室列、7…流体抵抗部、
8、28、38、48、68…共通液室、10…振動
板、15…電極、19、29、39、49、69…イン
ク供給口。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 加藤 知己 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 (72)発明者 牧 恒雄 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 (72)発明者 山口 清 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 Fターム(参考) 2C057 AF65 AF78 AF80 AF93 AG54 AG68 AG72 AP34 AQ02 BA04 BA14 BA15

Claims (25)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 液滴を吐出するノズルと、ノズルが連通
    する液室と、液室に連通する共通液室と、この共通液室
    に液体を供給する供給口と、前記液室内の液体を加圧す
    る圧力を発生する圧力発生手段とを備えた液滴吐出ヘッ
    ドにおいて、前記共通液室は平面形状で前記供給口から
    離れるに従って幅が狭くなる形状であることを特徴とす
    る液滴吐出ヘッド。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の液滴吐出ヘッドにおい
    て、前記共通液室の幅が略連続的に狭くなることを特徴
    とする液滴吐出ヘッド。
  3. 【請求項3】 請求項1に記載の液滴吐出ヘッドにおい
    て、前記共通液室の幅が略段階的に狭くなることを特徴
    とする液滴吐出ヘッド。
  4. 【請求項4】 請求項1乃至3のいずれかに記載の液滴
    吐出ヘッドにおいて、前記共通液室は平面形状が片翼形
    状であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
  5. 【請求項5】 請求項4に記載の液滴吐出ヘッドにおい
    て、前記供給口は前記共通液室の液室とは反対側の壁面
    側又はこの壁面よりも外側若しくは液室の並び方向で対
    応する液室より外側に設けられていることを特徴とする
    液滴吐出ヘッド。
  6. 【請求項6】 請求項1乃至3のいずれかに記載の液滴
    吐出ヘッドにおいて、前記共通液室は平面形状が両翼形
    状であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
  7. 【請求項7】 請求項6に記載の液滴吐出ヘッドにおい
    て、前記共通液室の液室と反対側の壁面が前記液室の並
    び方向で略円弧状又は半円状であることを特徴とする液
    滴吐出ヘッド。
  8. 【請求項8】 請求項6又は7に記載の液滴吐出ヘッド
    において、前記供給口は前記共通液室の液室と反対側の
    壁面側又はこの壁面よりも外側に設けられていることを
    特徴とする液滴吐出ヘッド。
  9. 【請求項9】 請求項1乃至8のいずれかに記載の液滴
    吐出ヘッドにおいて、前記共通液室が液室の並び方向で
    独立して2以上設けられていることを特徴とする液滴吐
    出ヘッド。
  10. 【請求項10】 請求項4又は5に記載の液滴吐出ヘッ
    ドにおいて、前記共通液室が液室の並び方向で独立して
    2以上設けられ、各共通液室は平行移動で略重なる位置
    で配置されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
  11. 【請求項11】 請求項4又は5に記載の液滴吐出ヘッ
    ドにおいて、前記共通液室が液室の並び方向で独立して
    2以上設けられ、各共通液室は対称移動で略重なる位置
    で配置されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
  12. 【請求項12】 請求項9乃至11のいずれかに記載の
    液滴吐出ヘッドにおいて、1つの共通液室に連通する液
    室の数が2個以上32個以下の範囲内であることを特徴
    とする液滴吐出ヘッド。
  13. 【請求項13】 請求項9乃至12のいずれかに記載の
    液滴吐出ヘッドにおいて、隣接する2つの共通液室間の
    隔壁幅が液室間の隔壁幅と略同じであることを特徴とす
    る液滴吐出ヘッド。
  14. 【請求項14】 請求項1乃至13のいずれかに記載の
    液滴吐出ヘッドにおいて、複数列の液室を有し、各列の
    液室間に各列毎の略独立した共通液室を有することを特
    徴とする液滴吐出ヘッド。
  15. 【請求項15】 請求項14に記載の液滴吐出ヘッドに
    おいて、各列毎の共通液室に共通の供給口から液体を供
    給することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
  16. 【請求項16】 請求項1乃至15のいずれかに記載の
    液滴吐出ヘッドにおいて、前記共通液室はシリコン基板
    の異方性エッチングで形成されていることを特徴とする
    液滴吐出ヘッド。
  17. 【請求項17】 請求項16に記載の液滴吐出ヘッドに
    おいて、前記共通液室の液室側壁面は平面形状で鋭角部
    分を有しないことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
  18. 【請求項18】 請求項1乃至17のいずれかに記載の
    液滴吐出ヘッドにおいて、前記供給口は前記液室の壁面
    を形成するノズル板又は蓋部材と反対側の面に設けられ
    ていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
  19. 【請求項19】 請求項18に記載の液滴吐出ヘッドに
    おいて、前記供給口は機械的加工で形成されていること
    を特徴とする液滴吐出ヘッド。
  20. 【請求項20】 請求項18に記載の液滴吐出ヘッドに
    おいて、前記供給口は異方性エッチングで形成されてい
    ることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
  21. 【請求項21】 請求項1乃至20のいずれかに記載の
    液滴吐出ヘッドにおいて、前記圧力発生手段は前記液室
    の壁面を形成する振動板と、これに対向する電極とを有
    し、前記振動板を静電力で変形させることを特徴とする
    液滴吐出ヘッド。
  22. 【請求項22】 請求項1乃至20のいずれかに記載の
    液滴吐出ヘッドにおいて、前記圧力発生手段は前記液室
    の壁面を形成する振動板と、この振動板を変形させる電
    気機械変換素子とを有することを特徴とする液滴吐出ヘ
    ッド。
  23. 【請求項23】 請求項1乃至20のいずれかに記載の
    液滴吐出ヘッドにおいて、前記圧力発生手段は前記液室
    内に配置した電気熱変換素子を有することを特徴とする
    液滴吐出ヘッド。
  24. 【請求項24】 インク滴を吐出するインクジェットヘ
    ッドとこのインクジェットヘッドにインクを供給するイ
    ンクタンクを一体化したインクカートリッジにおいて、
    前記インクジェットヘッドが請求項1乃至24のいずれ
    かに記載の液滴吐出ヘッドであることを特徴とする液滴
    吐出ヘッド。
  25. 【請求項25】 インク滴を吐出するインクジェットヘ
    ッドを搭載したインクジェット記録装置において、前記
    インクジェットヘッドが請求項1乃至24のいずれかに
    記載の液滴吐出ヘッドであることを特徴とするインクジ
    ェット記録装置。
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US10/102,464 US6682185B2 (en) 2001-03-28 2002-03-20 Liquid drop jet head, ink cartridge and ink jet recording apparatus
US10/721,209 US6913348B2 (en) 2001-03-28 2003-11-25 Liquid drop jet head, ink cartridge and ink jet recording apparatus
US11/135,260 US7364253B2 (en) 2001-03-28 2005-05-23 Liquid drop jet head, ink cartridge and ink jet recording apparatus

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Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005059393A (ja) * 2003-08-12 2005-03-10 Seiko Epson Corp 液体噴射ヘッドの製造方法およびそれによって得られた液体噴射ヘッド
JP2007098812A (ja) * 2005-10-05 2007-04-19 Seiko Epson Corp 液体噴射ヘッドの製造方法
JP2007098813A (ja) * 2005-10-05 2007-04-19 Seiko Epson Corp 液体噴射ヘッドの製造方法
US7370940B2 (en) 2004-02-09 2008-05-13 Ricoh Company, Ltd. Liquid ejection head having improved durability against liquid, liquid cartridge having such a liquid ejection head, liquid ejection apparatus having such a liquid cartridge, image forming apparatus having such a liquid ejection apparatus, and manufacturing method of liquid ejecting head
US7686432B2 (en) 2006-01-20 2010-03-30 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Inkjet printer head and fabricating method thereof
WO2011052691A1 (ja) * 2009-10-28 2011-05-05 京セラ株式会社 液体吐出ヘッド、およびそれを用いた液体吐出装置、ならびに記録装置
JP2011093131A (ja) * 2009-10-28 2011-05-12 Kyocera Corp 液体吐出ヘッド、およびそれを用いた液体吐出装置、ならびに記録装置
JP2011110730A (ja) * 2009-11-25 2011-06-09 Kyocera Corp 液体吐出ヘッド、およびそれを用いた液体吐出装置、ならびに記録装置
US8011765B2 (en) 2007-02-14 2011-09-06 Ricoh Company, Ltd. Liquid feeding member for liquid ejection head, liquid ejection device, and image forming apparatus
US8628172B2 (en) 2012-01-16 2014-01-14 Ricoh Company, Ltd. Liquid ejecting head and image forming apparatus
JP2015178208A (ja) * 2014-03-19 2015-10-08 セイコーエプソン株式会社 流路形成部材、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
JPWO2015198594A1 (ja) * 2014-06-27 2017-05-18 パナソニックIpマネジメント株式会社 インクジェットヘッドとそれを用いた塗布装置

Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002292868A (ja) * 2001-03-28 2002-10-09 Ricoh Co Ltd 液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ及びインクジェット記録装置
US7031040B2 (en) 2003-05-16 2006-04-18 Ricoh Company, Ltd. Optical scanning apparatus, optical writing apparatus, image forming apparatus, and method of driving vibration mirror
JP2005246656A (ja) * 2004-03-02 2005-09-15 Ricoh Co Ltd 液滴吐出ヘッド、液体吐出装置及び画像形成装置
JP4260066B2 (ja) * 2004-05-31 2009-04-30 株式会社リコー ベルト搬送装置及び画像形成装置
JP4595418B2 (ja) * 2004-07-16 2010-12-08 ブラザー工業株式会社 インクジェットヘッド
JP2006175845A (ja) * 2004-11-29 2006-07-06 Ricoh Co Ltd 液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び画像形成装置
JP2006264308A (ja) * 2005-02-23 2006-10-05 Ricoh Co Ltd 画像形成装置
JP4726159B2 (ja) * 2006-03-14 2011-07-20 株式会社リコー 液体吐出ヘッド、液体吐出装置、画像形成装置
US8197048B2 (en) * 2006-04-26 2012-06-12 Ricoh Company, Ltd. Image forming apparatus
JP4183006B2 (ja) * 2006-06-12 2008-11-19 セイコーエプソン株式会社 静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及びそれらの製造方法並びに液滴吐出装置
JP4999486B2 (ja) * 2006-07-19 2012-08-15 株式会社リコー 廃液収容容器、液体吐出装置及び画像形成装置
JP4949972B2 (ja) * 2007-08-22 2012-06-13 株式会社リコー ヘッドアレイユニット及び画像形成装置
JP4966829B2 (ja) * 2007-11-16 2012-07-04 株式会社リコー 液体吐出ヘッド、インクカートリッジ及び画像形成装置
JP5282417B2 (ja) * 2008-03-07 2013-09-04 株式会社リコー 画像形成装置
JP5163286B2 (ja) * 2008-05-26 2013-03-13 株式会社リコー 液体吐出装置及び画像投射装置
JP5332375B2 (ja) * 2008-07-25 2013-11-06 株式会社リコー 液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドの製造方法、画像形成装置
JP5387096B2 (ja) * 2008-08-27 2014-01-15 株式会社リコー 液体吐出ヘッド及び画像形成装置並びに液体吐出ヘッドの製造方法
JP5015200B2 (ja) * 2008-09-02 2012-08-29 株式会社リコー 画像形成装置
JP5257139B2 (ja) 2009-02-26 2013-08-07 株式会社リコー 画像形成装置
JP6098099B2 (ja) 2011-12-13 2017-03-22 株式会社リコー 液体吐出ヘッド及び画像形成装置
JP5943292B2 (ja) 2012-03-19 2016-07-05 株式会社リコー 液体吐出ヘッド、画像形成装置、液体吐出ヘッドの製造方法
CN103660572B (zh) * 2012-09-07 2016-05-25 大连理工大学 液体喷头
US9809024B2 (en) 2015-06-11 2017-11-07 Ricoh Company, Ltd. Image forming apparatus

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06270413A (ja) * 1993-03-18 1994-09-27 Canon Inc インクジェット記録装置
JPH07156396A (ja) * 1993-12-08 1995-06-20 Seiko Epson Corp インクジェット記録ヘッド及びその製造方法
JPH07178909A (ja) * 1993-12-24 1995-07-18 Seiko Epson Corp インクジェット式記録ヘッド
JPH07178908A (ja) * 1993-12-24 1995-07-18 Seiko Epson Corp インクジェット式記録ヘッド
JPH08174820A (ja) * 1994-12-22 1996-07-09 Ricoh Co Ltd インクジェットヘッド
JPH09226112A (ja) * 1996-02-22 1997-09-02 Seiko Epson Corp インクジェット式記録ヘッド
JPH09262980A (ja) * 1996-03-29 1997-10-07 Citizen Watch Co Ltd インクジェットヘッド
JP2000043253A (ja) * 1998-07-29 2000-02-15 Nec Corp インクジェット記録ヘッド
JP2000043267A (ja) * 1998-05-29 2000-02-15 Seiko Epson Corp インクジェット式記録ヘッド
JP2000062167A (ja) * 1998-08-19 2000-02-29 Ricoh Co Ltd インクジェットヘッドとその製造方法
EP1024003A2 (en) * 1999-01-29 2000-08-02 Seiko Epson Corporation Ink jet recording head with improved ink supply channels

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5912684A (en) * 1990-09-21 1999-06-15 Seiko Epson Corporation Inkjet recording apparatus
US5204149A (en) * 1991-01-04 1993-04-20 Case Designers Corporation Method and apparatus for making double wall containers
JP2980444B2 (ja) * 1991-01-19 1999-11-22 キヤノン株式会社 液室内気泡導入機構を備えた液体噴射器およびこれを用いた記録装置および記録方法
AT144197T (de) * 1991-02-20 1996-11-15 Canon Kk Tintenstrahlaufzeichnungskopf, tintenstrahlaufzeichnungsvorrichtung diesen verwendend und verfahren zu seiner herstellung
JP3141652B2 (ja) 1993-11-09 2001-03-05 セイコーエプソン株式会社 インクジェットヘッドおよびインクジェットヘッドの製造方法
JP3221474B2 (ja) 1994-04-05 2001-10-22 セイコーエプソン株式会社 インクジェット式印字ヘッド
DE69527246T2 (de) * 1994-10-31 2002-11-14 Canon Kk Verfahren zur Herstellung eines Tintenstrahlkopfes, mit diesem Verfahren hergestellter Tintenstrahldruckkopf und Tintenstrahlvorrichtung mit diesem Druckkopf
US5828394A (en) * 1995-09-20 1998-10-27 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Fluid drop ejector and method
TW371862U (en) * 1998-11-09 1999-10-11 Hsien-Dar You Structure of advanced brushes
JP2001253076A (ja) * 2000-03-08 2001-09-18 Fuji Xerox Co Ltd 液体噴射記録ヘッドおよびその作製方法、並びに液体噴射記録装置
US6324796B1 (en) * 2000-04-10 2001-12-04 Homeland Vinyl Products, Inc. Modular decking planks
US6729097B2 (en) * 2000-10-12 2004-05-04 Armstrong World Industries, Inc. Hollow building panel having an angled support member and method of making same
JP2002292868A (ja) * 2001-03-28 2002-10-09 Ricoh Co Ltd 液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ及びインクジェット記録装置
US6739106B2 (en) * 2002-09-12 2004-05-25 Royal Group Technologies Limited Reversible plastic building board with different colored sides
USD492797S1 (en) * 2003-01-17 2004-07-06 Composite Building Products International, Inc. Construction member for fencing, decking and the like

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06270413A (ja) * 1993-03-18 1994-09-27 Canon Inc インクジェット記録装置
JPH07156396A (ja) * 1993-12-08 1995-06-20 Seiko Epson Corp インクジェット記録ヘッド及びその製造方法
JPH07178909A (ja) * 1993-12-24 1995-07-18 Seiko Epson Corp インクジェット式記録ヘッド
JPH07178908A (ja) * 1993-12-24 1995-07-18 Seiko Epson Corp インクジェット式記録ヘッド
JPH08174820A (ja) * 1994-12-22 1996-07-09 Ricoh Co Ltd インクジェットヘッド
JPH09226112A (ja) * 1996-02-22 1997-09-02 Seiko Epson Corp インクジェット式記録ヘッド
JPH09262980A (ja) * 1996-03-29 1997-10-07 Citizen Watch Co Ltd インクジェットヘッド
JP2000043267A (ja) * 1998-05-29 2000-02-15 Seiko Epson Corp インクジェット式記録ヘッド
JP2000043253A (ja) * 1998-07-29 2000-02-15 Nec Corp インクジェット記録ヘッド
JP2000062167A (ja) * 1998-08-19 2000-02-29 Ricoh Co Ltd インクジェットヘッドとその製造方法
EP1024003A2 (en) * 1999-01-29 2000-08-02 Seiko Epson Corporation Ink jet recording head with improved ink supply channels

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005059393A (ja) * 2003-08-12 2005-03-10 Seiko Epson Corp 液体噴射ヘッドの製造方法およびそれによって得られた液体噴射ヘッド
US7370940B2 (en) 2004-02-09 2008-05-13 Ricoh Company, Ltd. Liquid ejection head having improved durability against liquid, liquid cartridge having such a liquid ejection head, liquid ejection apparatus having such a liquid cartridge, image forming apparatus having such a liquid ejection apparatus, and manufacturing method of liquid ejecting head
JP2007098812A (ja) * 2005-10-05 2007-04-19 Seiko Epson Corp 液体噴射ヘッドの製造方法
JP2007098813A (ja) * 2005-10-05 2007-04-19 Seiko Epson Corp 液体噴射ヘッドの製造方法
US7686432B2 (en) 2006-01-20 2010-03-30 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Inkjet printer head and fabricating method thereof
US8011765B2 (en) 2007-02-14 2011-09-06 Ricoh Company, Ltd. Liquid feeding member for liquid ejection head, liquid ejection device, and image forming apparatus
JP2011093131A (ja) * 2009-10-28 2011-05-12 Kyocera Corp 液体吐出ヘッド、およびそれを用いた液体吐出装置、ならびに記録装置
WO2011052691A1 (ja) * 2009-10-28 2011-05-05 京セラ株式会社 液体吐出ヘッド、およびそれを用いた液体吐出装置、ならびに記録装置
CN102548764A (zh) * 2009-10-28 2012-07-04 京瓷株式会社 液体喷头、使用该液体喷头的液体喷出装置及记录装置
EP2495101A1 (en) * 2009-10-28 2012-09-05 Kyocera Corporation Liquid discharge head, liquid discharge apparatus employing the same, and recording device
EP2495101A4 (en) * 2009-10-28 2013-06-26 Kyocera Corp LIQUID DISPENSING HEAD, LIQUID DISPENSER AND RECORDING DEVICE
US8888257B2 (en) 2009-10-28 2014-11-18 Kyocera Corporation Liquid discharge head, liquid discharge device using the same, and recording apparatus
JP2011110730A (ja) * 2009-11-25 2011-06-09 Kyocera Corp 液体吐出ヘッド、およびそれを用いた液体吐出装置、ならびに記録装置
US8628172B2 (en) 2012-01-16 2014-01-14 Ricoh Company, Ltd. Liquid ejecting head and image forming apparatus
JP2015178208A (ja) * 2014-03-19 2015-10-08 セイコーエプソン株式会社 流路形成部材、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
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