JP4649762B2 - インクジェットヘッド - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、応答性および印字品質を共に改善可能なインク流路を備えたインクジェットヘッドに関するものである。更に、詳しくは、共通インク室からインク圧力室にインクを供給するインク供給口を改良して、インク流路のイナータンスおよび音響抵抗の設定の容易化を図ったインクジェットヘッドに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
インクジェットヘッドとしては圧電式、静電駆動式などのように、インクを貯留しているインク圧力室の容積の変動により、当該インク圧力室に連通しているインクノズルからインク液滴を吐出させる形式のものが知られている。圧電式のものでは、振動板と圧電素子からなる振動系を備え、この振動系の振動によってインク室の容積変化を起こし、インク液滴をインクノズルから吐出するようになっている。静電駆動式では対向電極間に発生する静電気力により振動する振動板が備わっている。
【0003】
このような振動系を備えたインクジェットヘッドの特性は、そのイナータンスm、音響容量C、および音響抵抗rを用いて電気的等価回路として表わすことができる。例えば、特開昭58−5269号公報、同61−141566号公報には、圧電式のインクジェットヘッドの電気的等価回路が開示されている。
【0004】
この等価回路において、インクジェットヘッドの音響抵抗rおよびイナータンスmは、インク粘度をη(Pas)、長さをL、周長をL`、断面積をS、比重をγとすると、次式により表わすことができる。
【0005】
r=(2ηL・L'2)/S3 (Ns/m5) (1)
m=γL/S (kg/m4) (2)
従って、長さおよび断面形状が同一の場合には、そのインク流路の音響抵抗およびイナータンスは一義的に決まる。また、音響抵抗を小さくすると、イナータンスも小さくなる。
【0006】
ここで、インクジェットヘッドは一般に多数のインクノズルを備えており、各インクノズルがそれぞれ連通している個別のインク圧力室にインクを供給するために、各インク圧力室はそれぞれインク供給口を介して共通インク室に連通している。共通インク室に対しては外部からインクチューブ等を介してインクが供給される。
【0007】
また、インクノズルに目詰まりを起こすような異物の通過を防止するために、インク供給口はインクノズルの断面積よりも小さな断面積とされる。さらに、所望のインク流路特性を得るために、複数本の独立した小断面積のインク供給口によってインク圧力室を共通インク室に連通した構成が採用される場合もある。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このようなインクジェットヘッドにおいては、インクジェットヘッドの応答性の改善と、印字品位の改善を両立させることが一般に困難である。
【0009】
すなわち、インクがインクノズルに到るまでのインク流路の音響抵抗が大きいと、メニスカスの復帰速度が低下してしまうので、インクジェットヘッドの応答周波数が向上しない。この観点からは音響抵抗を小さくすることが望ましい。
【0010】
一方、インク流路、特にインク供給口のイナータンスが小さいと、インク吐出後の共通インク室の圧力振動が吐出インクのインクスピードに影響を及ぼし、所望の印字品質を満足するインクスピードを得ることができない。この観点からはインク供給口のイナータンスを大きくすることが望ましい。
【0011】
このように、インクジェットヘッドの応答性を改善するためには音響抵抗を小さくすることが望ましいが、音響抵抗を小さくすると、イナータンスも小さくなるので、印字品質の向上を図ることができない。
【0012】
次に、インク供給口の断面積を小さくすると、インク充填時に、インク流路内に気泡が滞留しやすくなる。気泡が滞留すると、各インク圧力室に連通している各インクノズルから吐出するインク液滴が均一で安定したインク液滴にならないという弊害が発生する。
【0013】
本発明の課題は、このような点に鑑みて、各インク圧力室と共通インク室を連通しているインク供給口の構造を工夫することにより、応答性の改善および印字品質の向上を同時に達成可能なインクジェットヘッドを提案することにある。
【0014】
また、本発明の課題は、インク供給口の構造を工夫することにあり、インク流路内での気泡の滞留を抑制し、均一で安定したインク液滴の吐出を行なわせることのできるインクジェットヘッドを提案することにある。
【0015】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明は、共通インク室と、インク圧力室と、このインク圧力室に連通しているインクノズルと、前記共通インク室から前記インク圧力室にインクを供給するためのインク供給口とを有し、前記インク圧力室の容積変動により前記インクノズルからインク液滴を吐出させるインクジェットヘッドにおいて、前記インク供給部は、少なくとも第1のインク供給口および第2のインク供給口を備え、前記第1のインク供給口の断面積は前記第2のインク供給口の断面積よりも大きいことを特徴としている。
【0016】
この構造のインク供給口を用いれば、その音響抵抗およびイナータンスを個別に調整できる。すなわち、断面積の小さな第2のインク供給口で音響抵抗を支配的に調整でき、第1および第2のインク供給口によりイナータンスを調整できる。よって、応答性が良く、しかも印字品質のよいインクジェットヘッドを実現できる。
【0017】
また、インク供給口を断面積の異なる少なくとも第1および第2のインク供給口を備えた少なくとも二段階の構造としてあるので、当該インク供給口によって規定されるインク流路部分の断面積の急激な変化を緩和できる。この結果、インクが滞留することなく流れるので、気泡排出性の良い流路を形成でき、気泡滞留に起因するインク液滴の不均一化、吐出不安定化を防止できる。
【0018】
特に、大断面積の前記第1のインク供給口を前記インク圧力室の側に位置させ、小断面積の前記第2のインク供給口を前記共通インク室の側に位置させた場合には、圧力室側においてインク供給口によって規定されるインク流路部分の断面積の急激な変化を緩和できるので好ましい。
【0019】
ここで、複数本の前記第2のインク供給口を備え、これら複数本の前記第2のインク供給口が、並列状態で前記第1のインク供給口に連通した構成を採用することができる。
【0020】
この場合、前記第1のインク供給口の断面積は、前記第2のインク供給口の合計断面積よりも大きいことが望ましい。
【0021】
このように複数本の第2のインク供給口を設けた場合には、上記の作用効果に加えて、1本の第2のインク供給口が異物が詰って目詰まりを起こしても、インク圧力室に対してインクの供給を継続できるという作用効果が得られる。
【0022】
この場合、複数本の前記第2のインク供給口を、前記インクノズルからの距離が遠い側から近い側に向けて配列すると共に、これら第2のインク供給口の断面積を、前記インクノズルからの距離が最も遠い側に位置している前記第2のインク供給口の断面積が最大で、前記インクノズルに接近するに伴って徐々に小さくなるように設定することが望ましい。
【0023】
この構成によれば、インクノズルから各第2のインク供給口までの音響抵抗をそれぞれ等しくなるように調整することができるので、各第2のインク供給口のインクノズルに対する寄与率を等しくできる。この結果、異物等によりいずれの第2のインク供給口に目詰まりが起きても、インクノズルに対するインク供給特性の変動を平準化できる。これにより、第2のインク供給口の目詰まりに起因する印字品質の悪化を最小限に抑えることができる。
【0024】
次に、供給されるインクに含まれている異物によってインクノズルに目詰まりが発生することの無いように、前記第2のインク供給口の断面積は、前記インクノズルの断面積よりも小さいことが望ましい。
【0025】
また、前記第2のインク供給口の断面形状は正多角形であることが望ましい。
特に、円形であることが望ましい。供給されるインクに含まれている異物を供給口で捕らえるためには、断面形状は、最長弦が断面内で一定となる円形状が最も適している。更に加工性の面でも断面が円形状の場合は加工し易いなどの利点がある。この場合において、前記第1のインク供給口の断面形状を長円形あるいは楕円形とすればよい。
【0026】
一方、インクジェットヘッドは、複数枚の半導体基板等の基板に貫通孔、凹部、溝などを形成し、これらを積層することにより、インクノズル、インク圧力室、共通インク室、およびインク供給口が形成された構成とすることができる。この場合において、前記共通インク室と前記インク圧力室を、一つの基板に形成された仕切壁部分によって仕切られた構成とし、当該仕切壁部分に形成した貫通孔を、前記第1および第2のインク供給口を備えた前記インク供給口とすることが望ましい。複数枚の基板を重ねあわせてインク供給口を構成する場合に比べて、構造が簡単になり、製作が容易になり、また、コスト低減化にも有利になる。
【0027】
これに加えて、インク供給口が形成されている同一の基板に、前記インクノズル形成用の貫通孔あるいは溝を形成することが望ましい。インク供給口およびインクノズルを多数枚の基板を積層あるいは接合して構成する場合に比べて、構造を単純化できるので、製作が容易になり、コストも低減できる。
【0028】
本発明によるインク供給口を適用可能な典型的なインクジェットヘッドとしては、前記インク圧力室の容積変動を静電気力により発生させる静電アクチュエータを備えた静電駆動式のものを挙げることができる。
【0029】
【発明の実施の形態】
以下に、図面を参照して本発明を適用した静電駆動式のインクジェットヘッドの実施例を説明する。
【0030】
(全体構成)
図1は本例の静電駆動式のインクジェットヘッドを示す概略平面図であり、図2はそのII−II線で切断した部分の概略断面図であり、図3はその主要部分を示す分解斜視図である。これらの図を参照して説明すると、本例のインクジェットヘッド1は、その前端面2においてヘッド幅方向Xに向けて一列に配列された複数個のインクノズル3を有し、各インクノズル3はそれぞれ、ヘッド長さ方向Yの後ろ側に形成されているインク圧力室4に連通している。
【0031】
インク圧力室4はヘッド幅方向Xに向けて相互に隔壁部分4aを介して平面方向に配列されている。各インク圧力室4はそれぞれインク供給口5を介して、共通インク室6に連通している。共通インク室6は各インク圧力室4に対してヘッド厚さ方向Zの上側に積層配置されている。共通インク室6の上側にはインク取入口9が形成されている。外部のインク供給源(図示せず)から供給されるインクは、インク供給パイプ7およびフィルタ8を経由して、当該インク取入口9から共通インク室6に取り込まれる。
【0032】
各インク圧力室4は後述する静電アクチュエータによって個別に容積変動が可能となっている。各インク圧力室4の容積変動に起因して発生する圧力変動を利用して、各インクノズル3からインク液滴10を吐出させることができる。
【0033】
ここで、本例のインクジェットヘッド1は、電極ガラス基板11と、この表面に貼り合わせたシリコン単結晶基板からなるキャビティ基板12と、この表面に貼り合わせた同じくシリコン単結晶基板からなるノズル基板13を有しており、これらの3枚の基板がヘッド厚さ方向Zに積層された構造となっている。
【0034】
電極ガラス基板11とノズル基板13の間に挟まれているキャビティ基板12には、その上面12aに、複数のインク圧力室形成用の凹部21が形成されている。このキャビティ基板上面12aに積層されているノズル基板13の下面13bには、その前端側部分に、ヘッド長さ方向Yに延びるインクノズル形成用のインク溝22が形成され、その後端側部分にはノズル基板13をヘッド厚さ方向Zに貫通して延びるインク供給口5が形成されている。
【0035】
キャビティ基板12とノズル基板13を貼り合わせることにより、これらの間に、インクノズル3および各インク圧力室4が区画形成され、各インクノズル3が対応する各インク圧力室4に連通した状態になる。また、各インク圧力室4の後端側の部分がインク供給口5に連通した状態になる。
【0036】
ノズル基板13の上面13aには、ヘッド幅方向Xに長い共通インク室形成用の凹部24が形成されており、この凹部24の上側開口が、当該表面13aに貼り付けたフィルム25によって封鎖されて、共通インク室6が区画形成されている。このフィルム25には、インク取入口9が形成されており、ここに、インク供給パイプ7の端が接着固定されている。
【0037】
次に、各インクノズル3からインク液滴を吐出させるための静電アクチュエータを説明する。まず、キャビティ基板12に形成されているインク圧力室形成用の凹部21の底壁部分には面外方向(ヘッド厚さ方向Z)に弾性変位可能な振動板26が形成されている。キャビティ基板12の下面12bに貼り付けられている電極ガラス基板11の上面11aには、各振動板26に対峙している部分に一定深さの凹部27が形成され、各凹部底面にはITO膜等からなる個別電極28が形成されている。各個別電極28と、これに対応する各振動板26とは、一定の間隔で対峙しており、この隙間は封止材35によって気密封止されている。
【0038】
キャビティ基板12の上面12aの後端部分に形成した共通電極29と、各個別電極28の間に、駆動制御回路30により駆動電圧を印加すると、対峙している振動板26と個別電極28の間に静電吸引力が発生する。この静電吸引力によって振動板26が個別電極28の側に弾性変位する。駆動電圧の印加を止めると、静電吸引力が消失するので、振動板26はその弾性力によって元の位置に向けて移動する。この結果、インク圧力室4に圧力変動が発生し、これにより、対応するインクノズル3からインク液滴が吐出する。静電アクチュエータの動作原理自体は公知であるので、これ以上の説明は省略する。
【0039】
(インク供給路の構造)
図4は、本例のインクジェットヘッド1におけるインク供給口5の内部構造を示す説明図である。図2および図4を参照してインク供給口5の構造を説明する。
【0040】
まず、本例のインク供給口5はノズル基板13に形成されている。すなわち、共通インク室6と各インク圧力室4の間を上下に仕切っている共通インク室6の底壁部分(仕切壁部分)36に形成した貫通孔であり、インク圧力室4の側に位置する第1のインク供給口50と、共通インク室6の側に位置する複数本の第2のインク供給口60から構成されている。本例の第2のインク供給口60には4本のインク供給口60(1)ないし60(4)が含まれている。この本数は3本以下であってもよいし、5本以上であってもよい。
【0041】
第1のインク供給口50は、当該インク供給口からインクノズル3に向けて長い(ヘッド長さ方向Yに長い)長円形の断面形状をしており、ノズル基板13の下面13bに形成された長円形の連通口51と、ここから下面13bに垂直に延びている内周側面52と、長円形の端面53によって規定されている。
【0042】
第2のインク供給口60に含まれている各第2のインク供給口60(1)ないし60(4)は、第1のインク供給口50における長円形の端面53の中心線50aに沿って所定の間隔で配列されていると共に、当該第1のインク供給口50の長円形の断面内に納まる状態で配列されている。従って、これらの第2のインク供給口60(1)ないし60(4)は、インクノズル3に遠い側から近い側に向けて配列されている。本例では、これらの第2のインク供給口60(1)ないし60(4)は円形孔であり、その一端側が共通インク室4の底壁部分に開口した円形連通口61とされ、他端側が、第1のインク供給口50の長円形の端面53に連通した円形連通口62とされている。
【0043】
ここで、図4から分かるように、第1のインク供給口50の断面積は、第2のインク供給口60の断面積、すなわち4本の第2のインク供給口60(1)ないし60(4)の合計断面積よりも大きな値となっている。また、本例では、4本の第2のインク供給口60(1)ないし60(4)の断面積は、等しく設定しているが、各々の断面積が異なるように設定してもよい。さらに、本例では、第2のインク供給口60(1)ないし60(4)はそれぞれ、インクノズル3の断面積よりも小さい値となるように設定されている。
【0044】
(実施例の作用効果)
このように構成した本例のインクジェットヘッド1では、インク供給口5が第1および第2のインク供給口50、60からなる二段構造となっている。従って、第1および第2のインク供給口50、60のインク流路特性を個別に調整することができる。すなわち、第2のインク供給口60を構成している4本の第2のインク供給口60(1)ないし60(4)は小断面であるので、この部分がインク流路の音響抵抗に支配的に寄与する。この理由は、前述した(1)式に示すように、音響提供は、断面積に対して感度が大きいので、断面積が大きな第1のインク供給口50の音響抵抗は、第2のインク供給口60(1)ないし60(4)の音響抵抗に比べて実質的に無視できるからである。よって、第2のインク供給口60(1)ないし60(4)の長さおよび断面形状を調整することにより、所望の音響抵抗を備えたインク供給口を形成できる。
【0045】
これに対して、イナータンスは、大きな断面積の第1のインク供給口50と断面積の小さな4本の第2のインク供給口60(1)ないし6(4)の双方によって影響を受けるので、これら双方の長さおよび断面形状を調整することによりイナータンスを所望の値に調整できる。
【0046】
このように、本例のインク供給口5を用いれば、応答性が良く、しかも、印字品質のよいインクジェットヘッドを実現できる。
【0047】
ここで、本例のインク供給口5によれば、第2のインク供給口60と第1のインク供給口50との音響抵抗の寄与率の比率を、1:0.1以下となるように、これらインク供給部を形成できる。同時に、第2のインク供給口60と第1のインク供給口50とのイナータンスの寄与率を、1:0.5以上となるようにできることが確認された。このような範囲内となるように各インク供給口50、60を設計したところ、応答性および印字品質のよいインクジェットヘッドが得られた。
【0048】
次に、本例のインク供給口5では、小断面の第2のインク供給口60を4本(複数本)のインク供給口60(1)ないし60(4)から構成しているので、そのうちの1本が詰ったとしても、インク圧力室4に対するインクの供給を継続できる。
【0049】
ここで、本例のインク供給口5では、その第2のインク供給口60(1)ないし60(4)をインクノズル3に遠い側から近い側に向けて配列してある。この構成に加えて、4本の第2のインクの供給口60(1)ないし60(4)の断面積を、インクノズル3から最も遠い側に位置している第2のインク供給口60(1)の断面積が最大で、最もインクノズル3に近い第2のインク供給口60(4)に向けて断面積が徐々に小さくなるようにすれば、各インク供給口60(1)ないし60(4)の配置位置、および断面積を適切に調整することにより、インクノズル3から各インク供給口60(1)ないし60(4)までの音響抵抗を等しくすることができる。このように設定すると、各インク供給口60(1)ないし60(4)による音響抵抗の寄与率を等しくできる。
【0050】
この結果、異物によりインク供給口60(1)ないし60(4)のいずれかが閉塞した場合においても、インクノズルに対するインク供給特性の変動率を平準化できる。従って、異物によりインク供給口60(1)ないし60(4)が詰った場合における印字品質の変動あるいは悪化を最小限に抑えることができる。
【0051】
なお、各インク供給口60(1)ないし60(4)がインクノズル3から同一の距離にある場合には、各インク供給口60(1)ないし60(4)の断面積を同一にすることができる。
【0052】
次に、本例では、第2のインク供給口60(1)ないし60(4)の断面形状を円形としてある。円形断面とすることにより、断面形状に対するインクの流路抵抗を最も小さくできるので、インクの流れをスムーズできる。円形以外の望ましい断面形状としては、各対角線の長さが等しい正多角形断面を挙げることができる。
【0053】
一方、本例では、インク供給口5を断面積が異なる二段階構造としてあるので、共通インク室6からインク圧力室4にインクが流れるにあたり、断面積の小さい複数の第2のインク供給口60(1)ないし60(4)から断面積の大きな第1のインク供給口50を経てインク圧力室に流れていく。従って、当該インク供給口5において、断面積の急激な変化を緩和することができる。このため、インクはインク供給口5からスムーズにインク圧力室4に流れ、流路の途中でインクが滞留しにくくなる。このため、気泡がたまりにくく、気泡排出性が良好なインク流路を実現できる。
【0054】
次に、本例のインクジェットヘッドでは、3枚の基板を積層配置した構造からなっていると共に、共通インク室6とインク圧力室4を、ノズル基板13に形成された底壁部分36(仕切壁部分)によって仕切られた構成とし、当該底壁部分36に形成した貫通孔を、第1および第2のインク供給口50、60を備えたインク供給口5としている。この構成は、複数枚の基板を重ねあわせてインク供給口を構成する場合に比べて、構造が簡単になり、製作が容易になり、また、コスト低減化にも有利になる。
【0055】
これに加えて、インク供給口5は、インクノズル3が形成されているノズル基板13に形成されているので、インク供給口およびインクノズルを多数枚の基板を積層あるいは接合して構成する場合に比べて、構造を単純化できるので、製作が容易になり、コストも低減できる。
【0056】
(製造方法)
次に、図5および図6を参照して、本例のインクジェットヘッド1のノズル基板13の製造方法を説明する。
【0057】
まず、図6の工程Aに示すように、所定の厚さのシリコンウェハ100を用意し、このシリコンウェハ100を熱酸化させて、その全面にレジスト膜としてのSiO2膜110を形成する。次に、スピンコーティングによりレジスト(感光性樹脂)を塗布した後に、レジストを露光し、現像して、第2のインク供給口60の形成位置に対応する位置に開口部600を形成する。しかる後に、SiO2膜110をBHF(フッ化アンモニウム)でパターニングし、次に感光性樹脂からなるレジストを剥離する。
【0058】
この結果、図5(A)に示すように、シリコンウェハ100の表面を覆うSiO2膜110には、第2のインク供給口60の形成位置に対応する部分に開口部600がパターニングされる。
【0059】
次に、図6の工程Bに示すように、スピンコーティングによりレジスト(感光性樹脂)を塗布した後に、レジストを露光し、現像して、第1のインク供給口50の形成位置に対応する位置にハーフエッチされた凹部500と、インクノズル形成用のノズル溝22の形成位置に対応する位置にハーフエッチされた凹部220を形成する。しかる後に、SiO2膜110をBHF(フッ化アンモニウム)でパターニングし、次に感光性樹脂レジストを剥離する。
【0060】
この結果、図5(B)に示すように、シリコンウェハ100の表面を覆うSiO2膜110には、第1のインク供給口50の形成位置に対応する位置に凹部500が、また、ノズル溝22の形成位置に対応する位置にを凹部220がパターニングされる。
【0061】
次に、図6の工程Cおよび図5(C)に示すように、ICP放電によるトレンチエッチングをシリコンウェハ100に施す。これにより、SiO2膜110のパターンに対応した形状で、シリコンウェハ100の表面が垂直にエッチングされて、第2のインク供給口60の形成位置に対応するシリコンウエハ表面に、4個の所定の深さの盲孔601が形成される。
【0062】
次に、図6の工程Dおよび図5(D)に示すように、第1のインク供給口50の形成位置に対応する部分およびノズル溝22の形成位置に対応するシリコンウェハ100の表面部分230、510が露出するまで、SiO2膜110を全体に所定の厚さだけ除去する。
【0063】
次に、図6の工程E、および図5(E)に示すように、再び、ICP放電によるトレンチエッチングをシリコンウェハ100に施す。これにより、SiO2膜110のパターンに対応した形状で、シリコンウェハ100の表面が垂直にエッチングされて、第1のインク供給口50を形成するための凹部520と、この凹部520の底面から延びる第2のインク供給口60(1)ないし60(4)を形成するための4個の凹部620が形成される。同時に、ノズル溝22を形成するための溝部分240が形成される。エッチング後は、SiO2膜110を除去する。
【0064】
この後は、図6の工程Fに示すように、再度、シリコンウェハ100を熱酸化させて、その全面にレジスト膜としてのSiO2膜111を形成する。次に、スピンコーティングによりレジスト(感光性樹脂)を塗布した後に、レジストを露光し、現像して、共通インク室形成用の開口250を開ける。しかる後に、SiO2膜111をBHF(フッ化アンモニウム)でパターニングし、次に感光性樹脂からなるレジストを剥離する。
【0065】
この結果、図5(F)に示すように、シリコンウェハ100の表面を覆うSiO2膜111に、共通インク室形成用の凹部24を形成するための開口250がパターニングされる。
【0066】
次に、図6の工程Gに示すように、シリコンウェハ100をエッチング液(KOH等)に漬けて、当該シリコンウェハ100の露出部分(開口250)に対して異方性ウエットエッチングを施す。シリコンウェハ100の表面は(100)結晶方位面であり、(111)結晶方位面に沿ってエッチングが進行して、所定の深さの凹部24が形成される。
【0067】
この結果、図5(G)に示すように、共通インク室形成用の凹部24には、前述したようにトレンチエッチングにより反対側から所定の深さの盲孔620がすでに形成されているので、凹部24の深さをこれらに到達する寸法に調整することにより、盲孔620が貫通して、第1および第2のインク供給口を備えたインク供給口5となる。このようにして異方性ウエットエッチングを行った後は、SiO2膜111を除去する。
【0068】
最後に、図6の工程Hに示すように、シリコンウェハの耐インク性とノズル面の撥水処理の密着性を確保するために、再度、シリコンウェハを熱酸化して、SiO2膜を形成する。以上により、ノズル基板13が得られる。
【0069】
(その他の実施の形態)
上記の例では、インク供給口5を断面積が異なる第1のインク供給口50および第2のインク供給口60からなる二段階構造としてある。インク供給口5は三段階以上の多段構造とすることも可能である。
【0070】
図7、図8には三段階構造のインク供給口の例を示してある。図7に示すインク供給口5Aでは、インク圧力室4の側に位置している第1のインク供給口50Aは上記の実施例と同様な長円形断面のものとしてあるが、上記の実施例における第2のインク供給口60に対応するインク供給口の部分が、それぞれ同軸状態に形成された大断面の第3のインク供給口61Aと小断面の第2のインク供給口60Aから構成されており、小断面の各第2のインク供給口60Aが共通インク室6に連通している。
【0071】
図8に示すインク供給口5Bでは、長円形断面のインク供給口が二段階構造となっており、長円形断面の第1のインク供給口50Bと、これよりも一回り小さい長円形断面の第3のインク供給口51Bと、これに連通している円形断面の第2のインク供給口60Bから構成されている。
【0072】
このような多段階構造のインク供給口5A、5Bの場合には、断面積が最も小さなインク供給口の部分とその他のインク供給口の部分の和において、音響抵抗の寄与率が1:0.1以下となるように、また、イナータンスの寄与率の比が1:0.5以上となるようにすればよい。
【0073】
次に、上記の各例のインク供給口5、5A、5Bでは、断面積の大きな第1のインク供給口50、50A、50Bをインク圧力室の側に配置してあるが、逆に、断面積の大きな第1のインク供給口を共通インク室の側に配置した構造とすることも可能である。
【0074】
一方、本例のインクジェットヘッド1は、インクジェットヘッド前端面にインクノズルが開口しているエッジノズルタイプのものであるが、本発明は、インクジェットヘッドの表面にインクノズルが開口しているフェイスノズルタイプのものにも適用可能である。
【0075】
また、本発明は、静電駆動式以外の方式、例えば圧電方式のインクジェットヘッドにも適用可能である。
【0076】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のインクジェットヘッドでは、共通インク室とインク圧力室を連通しているインク供給口を、第1のインク供給口と、これに連通した第2のインク供給口から構成し、第2のインク供給口の断面積を小さくして、当該部分がインク供給口部分の音響抵抗を実質的に左右するようにしている。従って、第2のインク供給口によりインク供給部全体の音響抵抗を調整し、第1および第2のインク供給口によりインク供給部全体のイナータンスを調整することができる。よって、応答性が良く、しかも、印字品質の優れたインクジェットヘッドを実現できる。
【0077】
また、断面積の異なる第1および第2のインク供給口を備えているので、当該インク供給口での断面積の急激な変化を抑制できる。よって、インクの滞留に起因する気泡の滞留を抑制でき、滞留した気泡に起因する吐出されるインク液滴の不均一化および吐出の不安定化を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を適用した静電駆動式インクジェットヘッドの平面図である。
【図2】図1のII−II線で切断した部分の断面図である。
【図3】図1のインクジェットヘッドの主要部分を示す分解斜視図である。
【図4】図1のインクジェットヘッドのインク供給口の構造を示す説明図である。
【図5】図1のインクジェットヘッドのノズル基板の製造方法を説明するための説明図である。
【図6】図1のインクジェトヘッドのノズル基板の製造方法を示すフローチャートである。
【図7】本発明を適用したインク供給口の別の例を示す説明図である。
【図8】本発明を適用したインク供給口の更に別の例を示す説明図である。
【符号の説明】
1 インクジェットヘッド
3 インクノズル
4 インク圧力室
5、5A、5B インク供給口
11 電極ガラス基板
12 キャビティ基板
13 ノズル基板
50、50A、50B 第1のインク供給口
60(60(1)ないし60(4))、60A、60B 第2のインク供給口
51B、61B 第3のインク供給口
6 共通インク室
28 個別電極
29 共通電極
Claims (2)
- 共通インク室と、インク圧力室と、このインク圧力室に連通しているインクノズルと、前記共通インク室から前記インク圧力室にインクを供給するためのインク供給口とを有し、前記インク圧力室の容積変動により前記インクノズルからインク液滴を吐出させるインクジェットヘッドにおいて、
前記インク供給口と対向する前記インク圧力室の部位は、前記インク供給口の径中心軸に対して傾斜する傾斜面を成し、
前記インク供給口は、前記インク圧力室に連通する第1のインク供給口と、前記第1のインク供給口に連通する第3のインク供給口と、前記第3のインク供給口に連通する第2のインク供給口と、を備え、
前記第2のインク供給口は、複数本が並列に配置されて前記第3のインク供給口に連通し、
前記第1のインク供給口及び前記第3のインク供給口の断面形状は、長円形あるいは楕円形であり、
前記第1のインク供給口の断面積は、前記第3のインク供給口の断面積よりも大きいことを特徴とするインクジェットヘッド。 - 請求項1において、
前記インク圧力室の容積変動を静電気力により発生させる静電アクチュエータを備えていることを特徴とするインクジェットヘッド。
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