JPH0911467A - 液体噴射記録ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
液体噴射記録ヘッドおよびその製造方法Info
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- JPH0911467A JPH0911467A JP16400695A JP16400695A JPH0911467A JP H0911467 A JPH0911467 A JP H0911467A JP 16400695 A JP16400695 A JP 16400695A JP 16400695 A JP16400695 A JP 16400695A JP H0911467 A JPH0911467 A JP H0911467A
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- jet recording
- liquid jet
- manufacturing
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ノズル吐出口部分の障害発生を防いで製造す
る。 【構成】 第一の基板１１の上のネガ型フォトレジスト
１２にパターン露光してレジストパターン１４を形成
し、この上に光硬化型材料１５を塗布して天井部分とな
る第二の基板１６を張り合わせて、光硬化型材料１５を
平坦化しレジストパターン１４に合致させてパターン露
光してから切断分離し、光硬化型材料１５の未硬化部分
を溶解除去する。
る。 【構成】 第一の基板１１の上のネガ型フォトレジスト
１２にパターン露光してレジストパターン１４を形成
し、この上に光硬化型材料１５を塗布して天井部分とな
る第二の基板１６を張り合わせて、光硬化型材料１５を
平坦化しレジストパターン１４に合致させてパターン露
光してから切断分離し、光硬化型材料１５の未硬化部分
を溶解除去する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェット記録装
置に用いる記録液小滴を発生するための液体噴射記録ヘ
ッドおよびその製造方法、および液体噴射記録装置に関
し、特にエッジシュータタイプの液体噴射記録ヘッドお
よびその製造方法に関するものである。
置に用いる記録液小滴を発生するための液体噴射記録ヘ
ッドおよびその製造方法、および液体噴射記録装置に関
し、特にエッジシュータタイプの液体噴射記録ヘッドお
よびその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】液体噴射記録装置（インクジェット記録
方式）に使用される液体噴射記録ヘッドは、一般に微細
な記録液吐出口（オリフィス）、液流路および液流路の
一部に設けられる液体吐出エネルギー発生部を備えてい
る。このような液体噴射記録ヘッドを製造する方法とし
ては、図３に示す以下のような方法が公知である。
方式）に使用される液体噴射記録ヘッドは、一般に微細
な記録液吐出口（オリフィス）、液流路および液流路の
一部に設けられる液体吐出エネルギー発生部を備えてい
る。このような液体噴射記録ヘッドを製造する方法とし
ては、図３に示す以下のような方法が公知である。
【０００３】まず、第一の基板１上に感光性樹脂層（ネ
ガ型フォトレジスト）２を形成し（図３（ａ））、これ
をマスク３を介して露光（図３（ｂ））し、現像処理を
施して感光性樹脂層２をパターニングし、被処理基板上
にインク流路壁となる型材を形成する（図３（ｃ））。
次に、パターニングされた型材上に接着層６を介して第
二の基板５を張り合わせる（図３（ｄ））。さらに切断
分離を行って個々のヘッドに分割した後、必要に応じて
切断面の研磨を行うことにより吐出口７を形成する（図
３（ｅ））。
ガ型フォトレジスト）２を形成し（図３（ａ））、これ
をマスク３を介して露光（図３（ｂ））し、現像処理を
施して感光性樹脂層２をパターニングし、被処理基板上
にインク流路壁となる型材を形成する（図３（ｃ））。
次に、パターニングされた型材上に接着層６を介して第
二の基板５を張り合わせる（図３（ｄ））。さらに切断
分離を行って個々のヘッドに分割した後、必要に応じて
切断面の研磨を行うことにより吐出口７を形成する（図
３（ｅ））。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記の製造方法によっ
て液体噴射記録ヘッドを製造する場合、吐出口は基板の
切断分離および研磨によって形成される。このため、切
断あるいは研磨の際に発生したゴミによる目詰まり、バ
リによるインクのヨレといった問題が発生する。
て液体噴射記録ヘッドを製造する場合、吐出口は基板の
切断分離および研磨によって形成される。このため、切
断あるいは研磨の際に発生したゴミによる目詰まり、バ
リによるインクのヨレといった問題が発生する。
【０００５】本発明は、上記従来の問題点を解消するた
めに成されたもので、前記のような吐出口の障害を発生
しない信頼性の高い液体噴射記録ヘッドおよびその製造
方法、そして記録装置の提供を目的とするものである。
めに成されたもので、前記のような吐出口の障害を発生
しない信頼性の高い液体噴射記録ヘッドおよびその製造
方法、そして記録装置の提供を目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の液体噴射記録ヘ
ッドの製造方法は、次の構成によって前記目的を達成し
ようとするものである、（１）液体吐出エネルギー発生
部を有する基板上に、光硬化型の感光性樹脂材料をパタ
ーニングしてインク流路壁を形成した後、インク流路の
天井部分となる基材を張り合わせ切断分離することによ
り吐出口を形成するエッジシュータタイプの液体噴射記
録ヘッドの製造方法であって、前記パターニングされた
インク流路壁形成用の感光性樹脂材料上に光硬化型材料
を塗布して前記天井部分となる基材を張り合わせ、前記
光硬化型材料を平坦化しパターン露光してから切断分離
し、光硬化型材料の未硬化部分を溶解除去することを特
徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方法、（２）前記パ
ターニングされた感光性樹脂上に塗布された光硬化型材
料の平坦化は、溶融平坦化により行うことを特徴とする
請求項１記載の液体噴射記録ヘッドの製造方法、（３）
前記パターニングされた感光性樹脂上に塗布された光硬
化型材料の溶融平坦化は、減圧下で行うことを特徴とす
る請求項２記載の液体噴射記録ヘッドの製造方法、
（４）前記パターニングされた感光性樹脂上に塗布され
た光硬化型材料の平坦化は、エッチバックにより行うこ
とを特徴とする請求項１記載の液体噴射記録ヘッドの製
造方法。
ッドの製造方法は、次の構成によって前記目的を達成し
ようとするものである、（１）液体吐出エネルギー発生
部を有する基板上に、光硬化型の感光性樹脂材料をパタ
ーニングしてインク流路壁を形成した後、インク流路の
天井部分となる基材を張り合わせ切断分離することによ
り吐出口を形成するエッジシュータタイプの液体噴射記
録ヘッドの製造方法であって、前記パターニングされた
インク流路壁形成用の感光性樹脂材料上に光硬化型材料
を塗布して前記天井部分となる基材を張り合わせ、前記
光硬化型材料を平坦化しパターン露光してから切断分離
し、光硬化型材料の未硬化部分を溶解除去することを特
徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方法、（２）前記パ
ターニングされた感光性樹脂上に塗布された光硬化型材
料の平坦化は、溶融平坦化により行うことを特徴とする
請求項１記載の液体噴射記録ヘッドの製造方法、（３）
前記パターニングされた感光性樹脂上に塗布された光硬
化型材料の溶融平坦化は、減圧下で行うことを特徴とす
る請求項２記載の液体噴射記録ヘッドの製造方法、
（４）前記パターニングされた感光性樹脂上に塗布され
た光硬化型材料の平坦化は、エッチバックにより行うこ
とを特徴とする請求項１記載の液体噴射記録ヘッドの製
造方法。
【０００７】本発明の液体噴射記録ヘッドは、次の構成
によって前記目的を達成しようとするものである、
（１）前記の製造方法により製造されたことを特徴とす
る液体噴射記録ヘッド、（２）前記吐出口は多色用の吐
出口が一体成形されたものであることを特徴とする請求
項５記載の液体噴射記録ヘッド。
によって前記目的を達成しようとするものである、
（１）前記の製造方法により製造されたことを特徴とす
る液体噴射記録ヘッド、（２）前記吐出口は多色用の吐
出口が一体成形されたものであることを特徴とする請求
項５記載の液体噴射記録ヘッド。
【０００８】さらに本発明は、記録媒体の被記録面に対
向してインクを吐出する吐出口が設けられている前記の
液体噴射記録ヘッドおよび該液体噴射記録ヘッドを載置
する部材と、インク吐出エネルギー発生部を画像情報に
基づいて駆動する駆動手段とを備えたことを特徴とする
液体噴射記録装置によって、前記目的を達成しようとす
るものである。
向してインクを吐出する吐出口が設けられている前記の
液体噴射記録ヘッドおよび該液体噴射記録ヘッドを載置
する部材と、インク吐出エネルギー発生部を画像情報に
基づいて駆動する駆動手段とを備えたことを特徴とする
液体噴射記録装置によって、前記目的を達成しようとす
るものである。
【０００９】
【作用】上記の製造方法は、パターニングされたインク
流路壁形成用の感光性樹脂材料上に光硬化型材料を塗布
し天井部分となる基材を張り合わせ、光硬化型材料を平
坦化しパターニングしてから切断分離後に光硬化型材料
の未硬化部分を溶解除去することにより、ゴミによる目
詰まりやバリによるインクのヨレといった障害の発生し
ない信頼性の高い液体噴射記録ヘッドを製造することが
できる。
流路壁形成用の感光性樹脂材料上に光硬化型材料を塗布
し天井部分となる基材を張り合わせ、光硬化型材料を平
坦化しパターニングしてから切断分離後に光硬化型材料
の未硬化部分を溶解除去することにより、ゴミによる目
詰まりやバリによるインクのヨレといった障害の発生し
ない信頼性の高い液体噴射記録ヘッドを製造することが
できる。
【００１０】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。
に説明する。
【００１１】図１，図２に示す（ａ）〜（ｉ）は、本発
明の液体噴射記録ヘッドの製造方法の実施例を模式的に
示した説明図であり、本発明にかかる液体噴射記録ヘッ
ドの要部の構成の一例を示した説明図でもある。
明の液体噴射記録ヘッドの製造方法の実施例を模式的に
示した説明図であり、本発明にかかる液体噴射記録ヘッ
ドの要部の構成の一例を示した説明図でもある。
【００１２】まず、第一の基板１１上にネガ型フォトレ
ジスト１２を形成する（図１の（ａ））。本実施例にお
いては第一の基板１１として、例えばガラス，セラミッ
クス，プラスチック，金属等からなる基板が用いられ
る。この基板は液流路構成材料の一部として機能し、ま
た後記の流路壁等の支持体として機能させるものであ
り、その形状，材質等特に限定されることなく使用する
ことができる。
ジスト１２を形成する（図１の（ａ））。本実施例にお
いては第一の基板１１として、例えばガラス，セラミッ
クス，プラスチック，金属等からなる基板が用いられ
る。この基板は液流路構成材料の一部として機能し、ま
た後記の流路壁等の支持体として機能させるものであ
り、その形状，材質等特に限定されることなく使用する
ことができる。
【００１３】上記の基板１１上には、電気熱変換体ある
いは圧電素子等の液体吐出エネルギー発生素子が所望の
個数配置される（不図示）。このような液体吐出エネル
ギー発生素子によって記録液小滴を吐出させるための吐
出エネルギーが記録液に与えられ、記録が行われる。上
記液体吐出エネルギー発生素子として電気熱変換体が用
いられる場合には、この素子が近傍の記録液を加熱する
ことにより吐出エネルギーを発生する。また、上記液体
吐出エネルギー発生素子として圧電素子が用いられる場
合は、この素子の機械的振動によって吐出エネルギーが
発生される。
いは圧電素子等の液体吐出エネルギー発生素子が所望の
個数配置される（不図示）。このような液体吐出エネル
ギー発生素子によって記録液小滴を吐出させるための吐
出エネルギーが記録液に与えられ、記録が行われる。上
記液体吐出エネルギー発生素子として電気熱変換体が用
いられる場合には、この素子が近傍の記録液を加熱する
ことにより吐出エネルギーを発生する。また、上記液体
吐出エネルギー発生素子として圧電素子が用いられる場
合は、この素子の機械的振動によって吐出エネルギーが
発生される。
【００１４】なお、これらの液体吐出エネルギー発生素
子には、これらの素子を作動させるための制御信号入力
用電極が接続されている（不図示）。また、一般にこれ
ら液体吐出エネルギー発生素子の耐用性の向上等を目的
として、保護層等の各種の機能層が設けられるが、本実
施例においてもこのような機能層を設けることは差し支
えない。
子には、これらの素子を作動させるための制御信号入力
用電極が接続されている（不図示）。また、一般にこれ
ら液体吐出エネルギー発生素子の耐用性の向上等を目的
として、保護層等の各種の機能層が設けられるが、本実
施例においてもこのような機能層を設けることは差し支
えない。
【００１５】次いで、第一のマスク１３を介してパター
ン露光を行った後（図１の（ｂ））、現像処理を行って
流路壁の一部となるレジストパターン１４を形成する
（ｃ）。ネガ型レジストとしては市販のものを使用する
ことができ、インクに対する耐性，密着性等の要求特性
を満足する光硬化型の材料であれば使用可能である。ま
た、一般にパターニング後に、乾燥あるいは熱キュア等
の目的で加熱処理が施されるが、本実施例においてもパ
ターニング後に加熱処理を行うことは何ら問題ない。ま
た、上記レジストパターンの大きさは所望のものとする
ことが可能であり、そのパターン間隔も液流路の大きさ
に応じたものとすることができる。
ン露光を行った後（図１の（ｂ））、現像処理を行って
流路壁の一部となるレジストパターン１４を形成する
（ｃ）。ネガ型レジストとしては市販のものを使用する
ことができ、インクに対する耐性，密着性等の要求特性
を満足する光硬化型の材料であれば使用可能である。ま
た、一般にパターニング後に、乾燥あるいは熱キュア等
の目的で加熱処理が施されるが、本実施例においてもパ
ターニング後に加熱処理を行うことは何ら問題ない。ま
た、上記レジストパターンの大きさは所望のものとする
ことが可能であり、そのパターン間隔も液流路の大きさ
に応じたものとすることができる。
【００１６】次いで、レジストパターン上に光硬化型材
料１５を塗布する（ｄ）。光硬化型材料１５は、レジス
トパターンを完全に被覆するよう塗布することが好まし
く、その塗布方法としてはスピンコート，ロールコー
ト，バーコート，ディップコート，スプレーコート等の
手段を用いることができ、特に限定されるものではな
い。
料１５を塗布する（ｄ）。光硬化型材料１５は、レジス
トパターンを完全に被覆するよう塗布することが好まし
く、その塗布方法としてはスピンコート，ロールコー
ト，バーコート，ディップコート，スプレーコート等の
手段を用いることができ、特に限定されるものではな
い。
【００１７】次に、接着層１７を介して第二の基板１６
を載置し（ｅ）、加熱することにより光硬化型材料１５
の段差を平坦化する（図２の（ｆ））。
を載置し（ｅ）、加熱することにより光硬化型材料１５
の段差を平坦化する（図２の（ｆ））。
【００１８】この際用いられる第二の基板１６として
は、光硬化型材料１５を硬化させるために必要な波長の
光を透過することが必要であり、ガラスあるいはプラス
ティック等が用いられる。また、接着層１７は光硬化型
材料１５と第二の基板１６との密着性を向上させるため
に用いるものであり、光硬化型材料１５と第二の基板１
６との密着性が十分に得られる場合には用いる必要はな
い。また、接着層１７を用いる場合に、流路壁の形状に
併せてパターニングしておくこと、あるいは光硬化型材
料１５のパターニング時に同時にパターニングすること
も可能である。また、光硬化型材料１５としては市販の
ネガ型レジスト材料を使用することが可能であり、特に
限定されるものではない。
は、光硬化型材料１５を硬化させるために必要な波長の
光を透過することが必要であり、ガラスあるいはプラス
ティック等が用いられる。また、接着層１７は光硬化型
材料１５と第二の基板１６との密着性を向上させるため
に用いるものであり、光硬化型材料１５と第二の基板１
６との密着性が十分に得られる場合には用いる必要はな
い。また、接着層１７を用いる場合に、流路壁の形状に
併せてパターニングしておくこと、あるいは光硬化型材
料１５のパターニング時に同時にパターニングすること
も可能である。また、光硬化型材料１５としては市販の
ネガ型レジスト材料を使用することが可能であり、特に
限定されるものではない。
【００１９】本実施例においては、第二の基板１６を光
硬化型材料１５の上に設置した後、加熱することにより
光硬化型材料１５を平坦化する例を示すが、これはあら
かじめメルトフロー，エッチバック等の手段により光硬
化型材料１５を平坦化した後に第二の基板１６を設置す
るものであっても特に問題はない。また、第二の基板１
６を設置後加熱により平坦化を行う場合には、第二の基
板１６と光硬化型材料１５の間に残留する空気を除去す
る目的で、減圧条件下での加熱、あるいは第二の基板１
６の上面から荷重を加えた状態での加熱を行うことが好
ましい。また、加熱を行う際の熱処理条件としては、光
硬化型材料１５が十分に溶融し、かつ熱硬化反応が進行
しない程度の条件を選択する必要があり、光硬化型材料
１５としてこれらの特性を満足するものを用いることが
好ましい。
硬化型材料１５の上に設置した後、加熱することにより
光硬化型材料１５を平坦化する例を示すが、これはあら
かじめメルトフロー，エッチバック等の手段により光硬
化型材料１５を平坦化した後に第二の基板１６を設置す
るものであっても特に問題はない。また、第二の基板１
６を設置後加熱により平坦化を行う場合には、第二の基
板１６と光硬化型材料１５の間に残留する空気を除去す
る目的で、減圧条件下での加熱、あるいは第二の基板１
６の上面から荷重を加えた状態での加熱を行うことが好
ましい。また、加熱を行う際の熱処理条件としては、光
硬化型材料１５が十分に溶融し、かつ熱硬化反応が進行
しない程度の条件を選択する必要があり、光硬化型材料
１５としてこれらの特性を満足するものを用いることが
好ましい。
【００２０】次いで、第二のマスク１８を介して光硬化
型材料１５にパターン露光を行い（ｇ）、切断分離する
ことにより個々のヘッドとし、必要に応じて切断面の研
磨を行う（ｈ）。また、パターン露光後、あるいは分離
切断後に光硬化型材料１５と第二の基板１６との密着性
向上を目的として熱処理を施すことも可能である。
型材料１５にパターン露光を行い（ｇ）、切断分離する
ことにより個々のヘッドとし、必要に応じて切断面の研
磨を行う（ｈ）。また、パターン露光後、あるいは分離
切断後に光硬化型材料１５と第二の基板１６との密着性
向上を目的として熱処理を施すことも可能である。
【００２１】引き続き、未硬化の光硬化型材料１５を溶
解除去することにより吐出口１９を形成する（ｉ）。未
硬化の光硬化型材料１５を溶解除去する際の溶剤として
は、アセトン，アルコール等の有機溶剤、あるいはアル
カリ現像タイプの光硬化型材料であればアルカリ水溶液
等が使用でき、未硬化の光硬化型材料１５を溶解するも
のであれば特に限定されるものではない。
解除去することにより吐出口１９を形成する（ｉ）。未
硬化の光硬化型材料１５を溶解除去する際の溶剤として
は、アセトン，アルコール等の有機溶剤、あるいはアル
カリ現像タイプの光硬化型材料であればアルカリ水溶液
等が使用でき、未硬化の光硬化型材料１５を溶解するも
のであれば特に限定されるものではない。
【００２２】上記の本発明実施例を、より具体的に説明
する。
する。
【００２３】（実施例１）液体吐出エネルギー発生素子
である電気熱変換体を形成したシリコン基板上にネガ型
フォトレジストＯＭＲ−８３（東京応化製）を膜厚１５
μｍとなるようスピンコートし、オーブン中９０℃で２
０分間のプリベークを行う。次いで、フォトマスクを介
してパターン露光を行った後、現像しレジストパターン
を得る。
である電気熱変換体を形成したシリコン基板上にネガ型
フォトレジストＯＭＲ−８３（東京応化製）を膜厚１５
μｍとなるようスピンコートし、オーブン中９０℃で２
０分間のプリベークを行う。次いで、フォトマスクを介
してパターン露光を行った後、現像しレジストパターン
を得る。
【００２４】次いで、レジストパターン上にＯＭＲ−８
３を平板上１５μｍの条件でスピンコートし、オーブン
中９０℃で２０分間のプリベークを行う。この上に、イ
ンク供給用の貫通口を有するガラス製の基板を設置し、
１０mmＨｇの減圧条件下、１２０℃で１０分間の熱処理
を施しＯＭＲ−８３を平坦化する。
３を平板上１５μｍの条件でスピンコートし、オーブン
中９０℃で２０分間のプリベークを行う。この上に、イ
ンク供給用の貫通口を有するガラス製の基板を設置し、
１０mmＨｇの減圧条件下、１２０℃で１０分間の熱処理
を施しＯＭＲ−８３を平坦化する。
【００２５】さらに、最初に用いたものと同様のフォト
マスクを介してパターン露光を行った後、１５０℃で１
０分間の熱処理を施し、分離切断して個々のヘッドとす
る。引き続きアセトン中で超音波処理を行って未硬化の
ＯＭＲ−８３を溶解除去する。
マスクを介してパターン露光を行った後、１５０℃で１
０分間の熱処理を施し、分離切断して個々のヘッドとす
る。引き続きアセトン中で超音波処理を行って未硬化の
ＯＭＲ−８３を溶解除去する。
【００２６】上記のようにして作成されたノズルを光学
顕微鏡により観察したところ、ノズル中にゴミ，切断バ
リは全く観察されなかった。さらに、このようにして作
成された液体噴射記録ヘッドは安定な印字が可能であっ
た。
顕微鏡により観察したところ、ノズル中にゴミ，切断バ
リは全く観察されなかった。さらに、このようにして作
成された液体噴射記録ヘッドは安定な印字が可能であっ
た。
【００２７】（実施例２）液体吐出エネルギー発生素子
である電気熱変換体を形成したシリコン基板上に光硬化
型材料ＪＳＲ−ＴＨＬ（日本合成ゴム製）を膜厚１５μ
ｍとなるようスピンコートし、オーブン中９０℃で２０
分間のプリベークを行う。次いで、フォトマスクを介し
てパターン露光を行った後、現像しレジストパターンを
得る。
である電気熱変換体を形成したシリコン基板上に光硬化
型材料ＪＳＲ−ＴＨＬ（日本合成ゴム製）を膜厚１５μ
ｍとなるようスピンコートし、オーブン中９０℃で２０
分間のプリベークを行う。次いで、フォトマスクを介し
てパターン露光を行った後、現像しレジストパターンを
得る。
【００２８】次いで、レジストパターン上にＪＳＲ−Ｔ
ＨＬを平板上１５μｍの条件でスピンコートし、オーブ
ン中９０℃で２０分間のプリベークを行う。さらに、ポ
ジ型フォトレジストＰＭＥＲ−ＡＲ９００（東京応化
製）を膜厚３０μｍとなるようスピンコートし、オーブ
ン中９０℃で２０分間のプリベークを行う。引き続き酸
素プラズマにより３５μｍのエッチバックを行って、Ｊ
ＳＲ−ＴＨＬを平坦化する。
ＨＬを平板上１５μｍの条件でスピンコートし、オーブ
ン中９０℃で２０分間のプリベークを行う。さらに、ポ
ジ型フォトレジストＰＭＥＲ−ＡＲ９００（東京応化
製）を膜厚３０μｍとなるようスピンコートし、オーブ
ン中９０℃で２０分間のプリベークを行う。引き続き酸
素プラズマにより３５μｍのエッチバックを行って、Ｊ
ＳＲ−ＴＨＬを平坦化する。
【００２９】この上に、接着層として５μｍのＪＳＴ−
ＴＨＬを形成したインク供給用の貫通口を有するガラス
製の基板を設置し、最初に用いたものと同様のフォトマ
スクを介してパターン露光を行う。さらに、１５０℃で
３０分間の熱処理を施し、分離切断して個々のヘッドと
する。引き続き３ｗｔ％の水酸化ナトリウム水溶液中で
超音波処理を行って未硬化のＪＳＲ−ＴＨＬを溶解除去
する。
ＴＨＬを形成したインク供給用の貫通口を有するガラス
製の基板を設置し、最初に用いたものと同様のフォトマ
スクを介してパターン露光を行う。さらに、１５０℃で
３０分間の熱処理を施し、分離切断して個々のヘッドと
する。引き続き３ｗｔ％の水酸化ナトリウム水溶液中で
超音波処理を行って未硬化のＪＳＲ−ＴＨＬを溶解除去
する。
【００３０】上記のようにして作成されたノズルを光学
顕微鏡により観察したところ、ノズル中にゴミ，切断バ
リは全く観察されなかった。さらに、このようにして作
成された液体噴射記録ヘッドは安定な印字が可能であっ
た。
顕微鏡により観察したところ、ノズル中にゴミ，切断バ
リは全く観察されなかった。さらに、このようにして作
成された液体噴射記録ヘッドは安定な印字が可能であっ
た。
【００３１】（比較例）液体吐出エネルギー発生素子と
しての電気熱変換体を形成したシリコン基板上にネガ型
フォトレジストＯＭＲ−８３（東京応化製）を膜厚２０
μｍとなるようスピンコートし、オーブン中９０℃で２
０分間のプリベークを行った。次いで、フォトマスクを
介してパターン露光を行った後、現像しレジストパター
ンを得た。
しての電気熱変換体を形成したシリコン基板上にネガ型
フォトレジストＯＭＲ−８３（東京応化製）を膜厚２０
μｍとなるようスピンコートし、オーブン中９０℃で２
０分間のプリベークを行った。次いで、フォトマスクを
介してパターン露光を行った後、現像しレジストパター
ンを得た。
【００３２】この上に接着層として５μｍのＯＭＲ−８
３を形成したインク供給用の貫通口を有するガラス製の
基板を設置し、全面露光を行って接着した。次いで、１
５０℃で３０分間の熱処理を施し、分離切断して個々の
ヘッドとした。
３を形成したインク供給用の貫通口を有するガラス製の
基板を設置し、全面露光を行って接着した。次いで、１
５０℃で３０分間の熱処理を施し、分離切断して個々の
ヘッドとした。
【００３３】このようにして作成されたノズルを光学顕
微鏡により観察したところ、ノズル中に多数のゴミが観
察された。さらに、このようにして作成された液体噴射
記録ヘッドを用いて印字検査を行ったところ１０００ノ
ズル中１９ノズルが不吐出であった。
微鏡により観察したところ、ノズル中に多数のゴミが観
察された。さらに、このようにして作成された液体噴射
記録ヘッドを用いて印字検査を行ったところ１０００ノ
ズル中１９ノズルが不吐出であった。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明による液体
噴射記録ヘッドの製造方法を採用することにより、信頼
性の高い液体噴射記録ヘッドを製造することができる。
そして、この液体噴射記録ヘッドを備えることにより、
液体噴射記録装置は安定して高品位な記録を実施するこ
とができる。
噴射記録ヘッドの製造方法を採用することにより、信頼
性の高い液体噴射記録ヘッドを製造することができる。
そして、この液体噴射記録ヘッドを備えることにより、
液体噴射記録装置は安定して高品位な記録を実施するこ
とができる。
【図１】 実施例の製造工程説明図である。
【図２】 実施例の製造工程説明図である。
【図３】 従来のノズル形成方法の説明図である。
１ 第一の基板 ２ ネガ型フォトレジスト ３ マスク ４ インク流路壁 ５ 第二の基板 ６ 接着層 ７ 吐出口 １１ 第一の基板 １２ ネガ型フォトレジスト １３ 第一のマスク １４ レジストパターン １５ 光硬化型材料 １６ 第二の基板 １７ 接着層 １８ 第二のマスク １９ 吐出口
Claims (7)
- 【請求項１】 液体吐出エネルギー発生部を有する基板
上に、光硬化型の感光性樹脂材料をパターニングしてイ
ンク流路壁を形成した後、インク流路の天井部分となる
基材を張り合わせ切断分離することにより吐出口を形成
するエッジシュータタイプの液体噴射記録ヘッドの製造
方法であって、 前記パターニングされたインク流路壁形成用の感光性樹
脂材料上に光硬化型材料を塗布して前記天井部分となる
基材を張り合わせ、前記光硬化型材料を平坦化しパター
ン露光してから切断分離し、光硬化型材料の未硬化部分
を溶解除去することを特徴とする液体噴射記録ヘッドの
製造方法。 - 【請求項２】 前記パターニングされた感光性樹脂上に
塗布された光硬化型材料の平坦化は、溶融平坦化により
行うことを特徴とする請求項１記載の液体噴射記録ヘッ
ドの製造方法。 - 【請求項３】 前記パターニングされた感光性樹脂上に
塗布された光硬化型材料の溶融平坦化は、減圧下で行う
ことを特徴とする請求項２記載の液体噴射記録ヘッドの
製造方法。 - 【請求項４】 前記パターニングされた感光性樹脂上に
塗布された光硬化型材料の平坦化は、エッチバックによ
り行うことを特徴とする請求項１記載の液体噴射記録ヘ
ッドの製造方法。 - 【請求項５】 請求項１記載の製造方法により製造され
たことを特徴とする液体噴射記録ヘッド。 - 【請求項６】 前記吐出口は多色用の吐出口が一体成形
されたものであることを特徴とする請求項５記載の液体
噴射記録ヘッド。 - 【請求項７】 記録媒体の被記録面に対向してインクを
吐出する吐出口が設けられている請求項５または６記載
の液体噴射記録ヘッドおよび該液体噴射記録ヘッドを載
置する部材と、インク吐出エネルギー発生部を画像情報
に基づいて駆動する駆動手段とを備えたことを特徴とす
る液体噴射記録装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16400695A JPH0911467A (ja) | 1995-06-29 | 1995-06-29 | 液体噴射記録ヘッドおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16400695A JPH0911467A (ja) | 1995-06-29 | 1995-06-29 | 液体噴射記録ヘッドおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0911467A true JPH0911467A (ja) | 1997-01-14 |
Family
ID=15784980
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16400695A Withdrawn JPH0911467A (ja) | 1995-06-29 | 1995-06-29 | 液体噴射記録ヘッドおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0911467A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100396559B1 (ko) * | 2001-11-05 | 2003-09-02 | 삼성전자주식회사 | 일체형 잉크젯 프린트헤드의 제조 방법 |
| JP2008026247A (ja) * | 2006-07-25 | 2008-02-07 | Seiko Epson Corp | 外観検査装置および外観検査方法 |
-
1995
- 1995-06-29 JP JP16400695A patent/JPH0911467A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100396559B1 (ko) * | 2001-11-05 | 2003-09-02 | 삼성전자주식회사 | 일체형 잉크젯 프린트헤드의 제조 방법 |
| JP2008026247A (ja) * | 2006-07-25 | 2008-02-07 | Seiko Epson Corp | 外観検査装置および外観検査方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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