JPH04179552A - インクジェットヘッド - Google Patents
インクジェットヘッドInfo
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- JPH04179552A JPH04179552A JP30785990A JP30785990A JPH04179552A JP H04179552 A JPH04179552 A JP H04179552A JP 30785990 A JP30785990 A JP 30785990A JP 30785990 A JP30785990 A JP 30785990A JP H04179552 A JPH04179552 A JP H04179552A
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- dry film
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Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はインクジェットヘッド、詳しくは、インクジェ
ット記録方式に用いる記録用インク小滴を発生するため
の、イぞり吐出発生部構造に関する。
ット記録方式に用いる記録用インク小滴を発生するため
の、イぞり吐出発生部構造に関する。
インクジェット記録方式に適用されるインクジェットヘ
ッドは、一般に、微細のインク吐出口（オリフィス）、
インク通路及びこのインク通路の一部に設けられるイン
ク吐出圧発生部を備えている。従来、このようなインク
ジェットヘッドを作成する方法として、例えば、ガラス
や金属の仮に切削やエツチングまたはプラスチック成形
等によリ、微細な溝を形成した後、この溝を形成した板
を他の適当な板と接合して、インク通路を形成し、且つ
、上記インク通路に対応して閉溝面にインク吐出圧発生
部を備えている。
ッドは、一般に、微細のインク吐出口（オリフィス）、
インク通路及びこのインク通路の一部に設けられるイン
ク吐出圧発生部を備えている。従来、このようなインク
ジェットヘッドを作成する方法として、例えば、ガラス
や金属の仮に切削やエツチングまたはプラスチック成形
等によリ、微細な溝を形成した後、この溝を形成した板
を他の適当な板と接合して、インク通路を形成し、且つ
、上記インク通路に対応して閉溝面にインク吐出圧発生
部を備えている。
しかし、かかる、従来の構造で構成されるヘッドにおい
ては、切削加工されたヘッド基板に覆い（以下、振動ｆ
）を接合する方法として接着剤を用いたり、溶解または
融着工程が必要となり、接着剤のはみ出しや、溶着、融
着の際の流路部のつぶれにより、インク流路に歪が生じ
たりして、精度の良いインク流路が得難く、製作後のイ
ンクジェットヘッドのインク吐出特性にバラツキがでや
すい。また、上記で記したインク通路に対応した、イン
ク吐出圧発生部材の接合においても、上記部材、各々を
接着剤ではりつける為、製造工程が多（、製造コストの
上昇を招くという問題点を有していた。
ては、切削加工されたヘッド基板に覆い（以下、振動ｆ
）を接合する方法として接着剤を用いたり、溶解または
融着工程が必要となり、接着剤のはみ出しや、溶着、融
着の際の流路部のつぶれにより、インク流路に歪が生じ
たりして、精度の良いインク流路が得難く、製作後のイ
ンクジェットヘッドのインク吐出特性にバラツキがでや
すい。また、上記で記したインク通路に対応した、イン
ク吐出圧発生部材の接合においても、上記部材、各々を
接着剤ではりつける為、製造工程が多（、製造コストの
上昇を招くという問題点を有していた。
そこで、本発明はこのような問題点を解決するもので、
上記インク流路形成されたヘッド基板と振動板を接合す
る際、流路部のりぶれが小さく精度のよいインク流路が
形成された信頼性の高いインクジェットヘッド構成を提
供することを目的とする。また、上記、各部材インク流
路形成基板、振動板、インク吐出圧発生部材の接合工程
を簡略化することにより製造工程を合理化することも不
発ＢＡの他の目的とする。
上記インク流路形成されたヘッド基板と振動板を接合す
る際、流路部のりぶれが小さく精度のよいインク流路が
形成された信頼性の高いインクジェットヘッド構成を提
供することを目的とする。また、上記、各部材インク流
路形成基板、振動板、インク吐出圧発生部材の接合工程
を簡略化することにより製造工程を合理化することも不
発ＢＡの他の目的とする。
このような諸目的を達成した本発明は、前記、振動板に
、粘着作用のある感光性フィルムを用いて、前記インク
流路形成基板に、加圧、加温下でラミネートし、且つ、
前記インク吐出圧発生部材を圧着させ、そののち、ＵＶ
Ｉ光処理し、硬化させて、前記感光性フィルム自体を振
動板として用い、且つ、上記部材の一着工程を簡略化し
たことを特徴とする。
、粘着作用のある感光性フィルムを用いて、前記インク
流路形成基板に、加圧、加温下でラミネートし、且つ、
前記インク吐出圧発生部材を圧着させ、そののち、ＵＶ
Ｉ光処理し、硬化させて、前記感光性フィルム自体を振
動板として用い、且つ、上記部材の一着工程を簡略化し
たことを特徴とする。
以下、図面を用いて本発明の実施例を詳細に説明する。
第１図から第５図は、本発明インクジェットヘッドの構
成とその製作手順を説明するための模式図でああ。まず
、第１図は、ガラス、セラミック、プラスチック、ある
いは、金属など、適当な基板に、インク流路となるべく
溝が切削やエツチング、成形などによって、形成されて
いる。
成とその製作手順を説明するための模式図でああ。まず
、第１図は、ガラス、セラミック、プラスチック、ある
いは、金属など、適当な基板に、インク流路となるべく
溝が切削やエツチング、成形などによって、形成されて
いる。
次に第２図で示すように、上記流路形成基板１上に、８
０℃から１５０℃程度に加温された感光性樹脂のフィル
ムであるドライフィルムレジスト２（膜厚、約２５μか
ら２００μ）を０．５〜０．４ ｆ／分の速度、１〜５
ｆｊ／ｃｄの加圧条件下でラミネートを行ない、インク
流路となる閉溝３を形成する。このとき、ドライフィル
ムレジスト２は基板面１人に圧着して固定され、以後、
多少の外圧が゛加わった場合でも基板面１人から剥離す
ることはない。次に、１ｇ５図に示すように、基板面１
人に設けたドライフィルムレジスト２上に所定のパター
ン４Ｐを有するフォトマスク４を重ね合わせた後、この
フォトマスク４Ｐの上部から光源６によって露光（図中
、矢印）を行なう。このとき、上記パターン４Ｐは、基
板１上のインク流路の領域を十分に覆うもので、このパ
ターン４Ｐは光を透過しない。従って、パターン４Ｐで
覆われている領域のドライフィルムレジスト２は露光さ
れない。また、このとき、流路の設置位置と上記パター
ン４Ｐの位置合わせを周知の手法で行なっておく必要が
ある。つまり、４Ｆのパターンはインク流路の溝が閉溝
となるように考慮されている。
０℃から１５０℃程度に加温された感光性樹脂のフィル
ムであるドライフィルムレジスト２（膜厚、約２５μか
ら２００μ）を０．５〜０．４ ｆ／分の速度、１〜５
ｆｊ／ｃｄの加圧条件下でラミネートを行ない、インク
流路となる閉溝３を形成する。このとき、ドライフィル
ムレジスト２は基板面１人に圧着して固定され、以後、
多少の外圧が゛加わった場合でも基板面１人から剥離す
ることはない。次に、１ｇ５図に示すように、基板面１
人に設けたドライフィルムレジスト２上に所定のパター
ン４Ｐを有するフォトマスク４を重ね合わせた後、この
フォトマスク４Ｐの上部から光源６によって露光（図中
、矢印）を行なう。このとき、上記パターン４Ｐは、基
板１上のインク流路の領域を十分に覆うもので、このパ
ターン４Ｐは光を透過しない。従って、パターン４Ｐで
覆われている領域のドライフィルムレジスト２は露光さ
れない。また、このとき、流路の設置位置と上記パター
ン４Ｐの位置合わせを周知の手法で行なっておく必要が
ある。つまり、４Ｆのパターンはインク流路の溝が閉溝
となるように考慮されている。
以上のごとく露光を行なうと、パターン４７外のドライ
フィルムレジスト２が重合反応を起して硬化し、溶剤不
溶性になる。他方、露光されなかったドライフィルムレ
ジスト２は硬化せず、溶解可溶性のまま残る。露光操作
を経たのち、ドライフィルムレジスト２を揮発性有機溶
剤、例えば、トリクロルエタン中に浸漬して、未重合（
未硬化）のレジストを溶解除去すると、第４図に示され
るように、基板１上には硬化レジスト膜２Ｈがインク流
路溝を覆うように形成される。
フィルムレジスト２が重合反応を起して硬化し、溶剤不
溶性になる。他方、露光されなかったドライフィルムレ
ジスト２は硬化せず、溶解可溶性のまま残る。露光操作
を経たのち、ドライフィルムレジスト２を揮発性有機溶
剤、例えば、トリクロルエタン中に浸漬して、未重合（
未硬化）のレジストを溶解除去すると、第４図に示され
るように、基板１上には硬化レジスト膜２Ｈがインク流
路溝を覆うように形成される。
次に、第５図において、前記インク流路上に対応した硬
化レジスト膜２Ｈに、圧電素子等の飛翔液滴形成のため
のエネルギーを発生するエネルギー発生素子５（エネル
ギー発生体）を圧着する。
化レジスト膜２Ｈに、圧電素子等の飛翔液滴形成のため
のエネルギーを発生するエネルギー発生素子５（エネル
ギー発生体）を圧着する。
このとき硬化レジスト膜２Ｈには、自己接着性が残って
いるため、接着剤等を用いる必要はない。
いるため、接着剤等を用いる必要はない。
その後、治具等で上記エネルギー発生素子を押さえつけ
、接着力を高める、且つ、基板１に残された、硬化レジ
スト膜２Ｈの耐溶剤性を向上させる目的で、これをさら
に硬化させる。この方法としては、熱重合（１５０℃〜
１６０℃で１０分〜６０分程度、加熱）させるか、紫外
線照射を行なうか、これを等両者を併用するのがよい。
、接着力を高める、且つ、基板１に残された、硬化レジ
スト膜２Ｈの耐溶剤性を向上させる目的で、これをさら
に硬化させる。この方法としては、熱重合（１５０℃〜
１６０℃で１０分〜６０分程度、加熱）させるか、紫外
線照射を行なうか、これを等両者を併用するのがよい。
以上のようにして、光硬化ドライフィルムによりインク
流路溝を閉溝とし、且つ、上記フィルムをエネルギー発
生体が設置された振動板としたヘッド駆動部が形成され
る。
流路溝を閉溝とし、且つ、上記フィルムをエネルギー発
生体が設置された振動板としたヘッド駆動部が形成され
る。
第６図は、本発明における別の実施例である。
前実施例と同様、インク流路となる溝が形成されたヘッ
ド基板上に前記の方法で、ドライフィルムレジスト２を
ラミネートし、インク流路となる閉溝３を形成する。そ
の後、露光工程を行なう前に、エネルギー発生素子５を
前記インク流路上に対応した、ドライフィルムレジスト
２上に、圧着する。これにより、露光前のドライフィル
ムレジスト２は、自己接着性が強いため、前記実施例に
比べて、より、圧電素子の密着性が強く、多少の外圧が
加わっても、ドライフィルムレジスト２から剥離するこ
とはない。その次に、熱重合（１５０℃〜１６０℃で１
０分〜６０分程度の加熱）及び紫外線照射の両者を併用
して、前記ドライフィルムレジスト２を硬化させる。以
上のようにして、インク流路を閉溝とし、且つ、前記圧
電素子５の接着を容易に行なうことが出来る。
ド基板上に前記の方法で、ドライフィルムレジスト２を
ラミネートし、インク流路となる閉溝３を形成する。そ
の後、露光工程を行なう前に、エネルギー発生素子５を
前記インク流路上に対応した、ドライフィルムレジスト
２上に、圧着する。これにより、露光前のドライフィル
ムレジスト２は、自己接着性が強いため、前記実施例に
比べて、より、圧電素子の密着性が強く、多少の外圧が
加わっても、ドライフィルムレジスト２から剥離するこ
とはない。その次に、熱重合（１５０℃〜１６０℃で１
０分〜６０分程度の加熱）及び紫外線照射の両者を併用
して、前記ドライフィルムレジスト２を硬化させる。以
上のようにして、インク流路を閉溝とし、且つ、前記圧
電素子５の接着を容易に行なうことが出来る。
第７図は、本発明の実施例における圧電素子の導通の取
り方である。上記の実施例においては、圧電素子５は振
動板である硬化レジスト膜２Ｈの自己接着性により、直
接、上記硬化レジスト膜２Ｈに圧着される。このため、
接合面の電極部５Ｂを接合面から誘導する必要がある。
り方である。上記の実施例においては、圧電素子５は振
動板である硬化レジスト膜２Ｈの自己接着性により、直
接、上記硬化レジスト膜２Ｈに圧着される。このため、
接合面の電極部５Ｂを接合面から誘導する必要がある。
その方法として、第７図は、圧電素子の上部の電極部５
３Ｌｌｉ９−部を剥離して、その部分に接合面の電極部
５Ｂを電極５Ａに接触しないように誘導し、圧電素子５
の上部の同一面上で導通を取る方法である。このとき、
電極部５Ａによりおおわれた部分に上記流路の所定の圧
力室５Ａが位置する必要がある。
３Ｌｌｉ９−部を剥離して、その部分に接合面の電極部
５Ｂを電極５Ａに接触しないように誘導し、圧電素子５
の上部の同一面上で導通を取る方法である。このとき、
電極部５Ａによりおおわれた部分に上記流路の所定の圧
力室５Ａが位置する必要がある。
以上に説明した本発明の効果としては次の通り、列挙す
ることが出来る。
ることが出来る。
（１）主要構成部の位置合わせを容易にして、寸法精度
の高いヘッドを、歩留りよく得られる。
の高いヘッドを、歩留りよく得られる。
（２）接着剤を使用する必要がないので、接着層が流動
してインク流路溝を塞いだりして、ヘッド機能低下を引
き起こすことがない。
してインク流路溝を塞いだりして、ヘッド機能低下を引
き起こすことがない。
（５）振動板及び圧電素子の接着が容易で製作工程が比
較的少ないので、生産性が良好である。
較的少ないので、生産性が良好である。
（４）各インク流路の振動板が分離できるため、隣接流
路間の相互作用の影響を小さくすることができる。
路間の相互作用の影響を小さくすることができる。
第１図から第５図は、本発明の実施例における、インク
ジェットヘッドを製作する工程を説明する模式図である
。 第６図は、本発明の別の実施例を示す模式図である。 第７図は、本発明における圧電素子の導通方法を示す図
である。 １・・・・・・・・・基 板 １人・・・・・・フィルムラミネート面２・・・・・・
・・・ドライフィルムレジスト２Ｈ・・・・・・硬化レ
ジスト膜 ３・・・・・・・・・イぞり流路となる閉溝３Ａ・・・
・・・インク流路内の圧力室４・・・・・・・・・フォ
トマスク ４Ｐ・・・・・・マスクパターン ５・・・・・・・・・エネルギー発生素子以上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 鈴木喜１７０部（他１名）Ａ 第２図
ジェットヘッドを製作する工程を説明する模式図である
。 第６図は、本発明の別の実施例を示す模式図である。 第７図は、本発明における圧電素子の導通方法を示す図
である。 １・・・・・・・・・基 板 １人・・・・・・フィルムラミネート面２・・・・・・
・・・ドライフィルムレジスト２Ｈ・・・・・・硬化レ
ジスト膜 ３・・・・・・・・・イぞり流路となる閉溝３Ａ・・・
・・・インク流路内の圧力室４・・・・・・・・・フォ
トマスク ４Ｐ・・・・・・マスクパターン ５・・・・・・・・・エネルギー発生素子以上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 鈴木喜１７０部（他１名）Ａ 第２図
Claims (3)
- （１）基板内にインク通路となる溝が形成され、この通
路に覆いを積層して、閉溝を形成し、且つ、該覆い上面
に、上記インク通路に対応してインク吐出圧発生素子を
設置したインクジェットヘッドにおいて、その覆いの部
材に感光性フィルムを用いて、そのフィルムを光硬化さ
せることにより、フィルム自体を振動板として用いたこ
とを特徴とするインクジェットヘッド。 - （２）請求項１記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記感光性ドライフィルムに、直接、インク通路形成基
板およびインク吐出圧発生素子が接着されたことを特徴
とするインクジェットヘッド。 - （３）請求項１または請求項２記載のインクジェットヘ
ッドにおいて、前記感光性ドライフィルムに、流路間に
対応した位置にスリットをいれ、積層された覆いを各イ
ンク通路に分離して設けたことを特徴とするインクジェ
ットヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30785990A JPH04179552A (ja) | 1990-11-14 | 1990-11-14 | インクジェットヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30785990A JPH04179552A (ja) | 1990-11-14 | 1990-11-14 | インクジェットヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04179552A true JPH04179552A (ja) | 1992-06-26 |
Family
ID=17974032
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30785990A Pending JPH04179552A (ja) | 1990-11-14 | 1990-11-14 | インクジェットヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04179552A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5764257A (en) * | 1991-12-26 | 1998-06-09 | Seiko Epson Corporation | Ink jet recording head |
-
1990
- 1990-11-14 JP JP30785990A patent/JPH04179552A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5764257A (en) * | 1991-12-26 | 1998-06-09 | Seiko Epson Corporation | Ink jet recording head |
| US6286942B1 (en) | 1991-12-26 | 2001-09-11 | Seiko Epson Corporation | Ink jet recording head with mechanism for positioning head components |
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