JP3178042B2 - インクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェットヘッドの製造方法Info
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- JP3178042B2 JP3178042B2 JP32179191A JP32179191A JP3178042B2 JP 3178042 B2 JP3178042 B2 JP 3178042B2 JP 32179191 A JP32179191 A JP 32179191A JP 32179191 A JP32179191 A JP 32179191A JP 3178042 B2 JP3178042 B2 JP 3178042B2
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- nozzle plate
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はインクジェットプリンタ
に使用されるインクジェットヘッドに関する。
に使用されるインクジェットヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の技術は、ノズルプレートと基板の
接合について弾性接着剤単体での接着を行っていた。
接合について弾性接着剤単体での接着を行っていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし従来の接着方法
では、ノズルプレートと基板を接着させるにあたり接着
剤がノズル穴を塞いでしまうという問題を有していた。
では、ノズルプレートと基板を接着させるにあたり接着
剤がノズル穴を塞いでしまうという問題を有していた。
【０００４】弾性接着剤でプレートと基板を接着すると
弾性接着剤が液体のためノズル穴をふさいでしまうこと
が多く、感光性接着剤のみでの接着ではノズル穴を塞ぐ
ことはないが接着強度がないため十分な接着が出来な
い。
弾性接着剤が液体のためノズル穴をふさいでしまうこと
が多く、感光性接着剤のみでの接着ではノズル穴を塞ぐ
ことはないが接着強度がないため十分な接着が出来な
い。
【０００５】本発明はこれらの問題点を解決すべくなさ
れた接着方法で、その目的とするところは、接着にあた
りノズル穴を塞ぐ事なくさらに接着強度を増した製品を
製造することにある。
れた接着方法で、その目的とするところは、接着にあた
りノズル穴を塞ぐ事なくさらに接着強度を増した製品を
製造することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明のインクジェット
ヘッドの製造方法は、少なくともキャビティーを有する
基板と、ノズル穴を有するノズルプレートとを接合した
インクジェットヘッドの製造方法において、ノズルプレ
ート上に感光性樹脂を塗布またはラミネートする工程
と、感光性樹脂の少なくともノズル穴周囲の領域を選択
的に露光して硬化させる工程と、感光性樹脂の未露光の
領域を除去する工程と、感光性樹脂の外方領域に液状接
着剤を配置させる工程とを有することを特徴とする。ま
た、係るインクジェットヘッドの製造方法において、液
状接着剤の配置させる工程は、基板とノズル穴周囲の領
域に感光性樹脂が配置されたノズルプレートとを積層し
た後に、感光性樹脂の外方領域に液状接着剤を浸透させ
る工程であることを特徴とする。また、係るインクジェ
ットヘッドの製造方法において、液状接着剤の配置させ
る工程の後に、該液状接着剤を硬化させる工程を有して
いることを特徴とする。
ヘッドの製造方法は、少なくともキャビティーを有する
基板と、ノズル穴を有するノズルプレートとを接合した
インクジェットヘッドの製造方法において、ノズルプレ
ート上に感光性樹脂を塗布またはラミネートする工程
と、感光性樹脂の少なくともノズル穴周囲の領域を選択
的に露光して硬化させる工程と、感光性樹脂の未露光の
領域を除去する工程と、感光性樹脂の外方領域に液状接
着剤を配置させる工程とを有することを特徴とする。ま
た、係るインクジェットヘッドの製造方法において、液
状接着剤の配置させる工程は、基板とノズル穴周囲の領
域に感光性樹脂が配置されたノズルプレートとを積層し
た後に、感光性樹脂の外方領域に液状接着剤を浸透させ
る工程であることを特徴とする。また、係るインクジェ
ットヘッドの製造方法において、液状接着剤の配置させ
る工程の後に、該液状接着剤を硬化させる工程を有して
いることを特徴とする。
【０００７】
【作用】ノズル近傍部分の感光接着剤層により、弾性接
着剤のノズル穴への流れ込みを防止できる。
着剤のノズル穴への流れ込みを防止できる。
【０００８】
【実施例】図１は、本発明のインクジェットヘッドの構
造である。１はポリカーボネイト性の基板、２はノズル
プレート、３はキャビティー、４はノズル、５はピエゾ
素子、６は感光性接着剤、７は弾性接着剤（これは、弾
性ＵＶ接着剤と弾性シリコン接着剤の両方を包含す
る。）である。
造である。１はポリカーボネイト性の基板、２はノズル
プレート、３はキャビティー、４はノズル、５はピエゾ
素子、６は感光性接着剤、７は弾性接着剤（これは、弾
性ＵＶ接着剤と弾性シリコン接着剤の両方を包含す
る。）である。
【０００９】（実施例１）図２〜図４は、図１のインク
ジェットヘッドを形成するまでの過程をしめした図であ
る。感光性接着剤（または感光ドライフィルム）６と弾
性接着剤７によるノズルプレート２と基板１の接着方法
である。
ジェットヘッドを形成するまでの過程をしめした図であ
る。感光性接着剤（または感光ドライフィルム）６と弾
性接着剤７によるノズルプレート２と基板１の接着方法
である。
【００１０】まず、エキシマレーザで穴開けしたノズル
プレート２の上に、感光性接着剤６を塗布した後、弗素
フィルム８をはさみ、マスキング治具９をのせマスキン
グ冶具９の方向から紫外線を照射し感光性接着剤６を硬
化させる。この方法により紫外線の当たる部分のみが硬
化される。（図２）マスキング治具を取り外した後、ア
セトンで未硬化の感光性接着剤６を洗浄する。
プレート２の上に、感光性接着剤６を塗布した後、弗素
フィルム８をはさみ、マスキング治具９をのせマスキン
グ冶具９の方向から紫外線を照射し感光性接着剤６を硬
化させる。この方法により紫外線の当たる部分のみが硬
化される。（図２）マスキング治具を取り外した後、ア
セトンで未硬化の感光性接着剤６を洗浄する。
【００１１】洗浄すると第３図のように硬化した感光性
接着剤６のみが残る。
接着剤６のみが残る。
【００１２】感光性接着材の代わりに感光性ドライフィ
ルムを使用する場合は、ノズルプレート上に感光性ドラ
イフィルムをラミネ−トし、感光性接着剤の場合と同様
に、紫外線を照射して硬化させたのち、未硬化部分をア
セトンで洗浄する。
ルムを使用する場合は、ノズルプレート上に感光性ドラ
イフィルムをラミネ−トし、感光性接着剤の場合と同様
に、紫外線を照射して硬化させたのち、未硬化部分をア
セトンで洗浄する。
【００１３】このノズルプレート２を基板１上に置き毛
細管現象を利用して弾性ＵＶ接着剤７をノズルプレート
２と基板１の間に浸透させる。浸透後基板側から、紫外
線を照射させ基板１とノズルプレート２の接着を完了さ
せる。（図４）接着強度と接着性を確認するために評価
の方法として、接着完了したインクジェットヘッドをイ
ンク中に投入し（耐インク試験）、７０℃恒温槽中に１
０日間放置した。その結果、基板に何の変化もみられ
ず、プレート２と基板１間がインクの影響を受けてはが
れてしまうような現象は生じなかった。従来は一種類の
接着剤しか使用できなかったため接着強度は確保しても
ノズル内に接着剤が入ってしまう。
細管現象を利用して弾性ＵＶ接着剤７をノズルプレート
２と基板１の間に浸透させる。浸透後基板側から、紫外
線を照射させ基板１とノズルプレート２の接着を完了さ
せる。（図４）接着強度と接着性を確認するために評価
の方法として、接着完了したインクジェットヘッドをイ
ンク中に投入し（耐インク試験）、７０℃恒温槽中に１
０日間放置した。その結果、基板に何の変化もみられ
ず、プレート２と基板１間がインクの影響を受けてはが
れてしまうような現象は生じなかった。従来は一種類の
接着剤しか使用できなかったため接着強度は確保しても
ノズル内に接着剤が入ってしまう。
【００１４】さらに、ヒートサイクル試験（７０℃ ５
サイクル、３０℃ ５サイクルを交互に実施する）を行
った結果、従来みられたようなインクによるはがれの様
な現象は起きなっかった。
サイクル、３０℃ ５サイクルを交互に実施する）を行
った結果、従来みられたようなインクによるはがれの様
な現象は起きなっかった。
【００１５】（実施例２）感光性レジスト剤と感光性ド
ライフィルムのノズルプレート接着については上記、実
施例１と同様。
ライフィルムのノズルプレート接着については上記、実
施例１と同様。
【００１６】感光性樹脂の接着し終わったノズルプレー
トを基板上にのせ毛細管現象を利用して実施例１とは違
い遅乾性の弾性シリコン接着剤を浸透させる。このヘッ
ドを１日放置して、接着を完了させる。
トを基板上にのせ毛細管現象を利用して実施例１とは違
い遅乾性の弾性シリコン接着剤を浸透させる。このヘッ
ドを１日放置して、接着を完了させる。
【００１７】評価の方法は、評価１と同様。
【００１８】評価の結果、弾性シリコン接着剤の従来み
られたノズル内への侵入が防げたのに合わせてインクに
強い弾性シリコン接着剤を使用することにより安定的な
接着強度が得られた。
られたノズル内への侵入が防げたのに合わせてインクに
強い弾性シリコン接着剤を使用することにより安定的な
接着強度が得られた。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のインクジ
ェットヘッドの製造方法は、少なくともキャビティーを
有する基板と、ノズル穴を有するノズルプレートとを接
合したインクジェットヘッドの製造方法において、ノズ
ルプレート上に感光性樹脂を塗布またはラミネートする
工程と、感光性樹脂の少なくともノズル穴周囲の領域を
選択的に露光して硬化させる工程と、感光性樹脂の未露
光の領域を除去する工程と、感光性樹脂の外方領域に液
状接着剤を配置させる工程とを有することにより、ノズ
ルプレートと基板の接着において接着領域を管理するこ
とが可能となり、液状の接着剤によってノズル穴がふさ
がるのを防ぐと同時にノズルプレートと基板を強固に接
着することができるという効果を有する。
ェットヘッドの製造方法は、少なくともキャビティーを
有する基板と、ノズル穴を有するノズルプレートとを接
合したインクジェットヘッドの製造方法において、ノズ
ルプレート上に感光性樹脂を塗布またはラミネートする
工程と、感光性樹脂の少なくともノズル穴周囲の領域を
選択的に露光して硬化させる工程と、感光性樹脂の未露
光の領域を除去する工程と、感光性樹脂の外方領域に液
状接着剤を配置させる工程とを有することにより、ノズ
ルプレートと基板の接着において接着領域を管理するこ
とが可能となり、液状の接着剤によってノズル穴がふさ
がるのを防ぐと同時にノズルプレートと基板を強固に接
着することができるという効果を有する。
【図１】本発明によるノズルプレートと基板を接着した
インクジェットヘッドの構造を示す図。
インクジェットヘッドの構造を示す図。
【図２】感光性樹脂（感光性ＵＶ接着剤）のノズル近傍
部への接着方法を示す図。
部への接着方法を示す図。
【図３】感光性樹脂（感光性ＵＶ接着剤）硬化、洗浄後
のノズルプレートへの接着状態を示す図。
のノズルプレートへの接着状態を示す図。
【図４】ノズルプレートと基板の弾性ＵＶ接着剤による
接着方法を示す図。
接着方法を示す図。
１ ポリカーボネイト製基板 ２ ノズルプレート ３ キャビティー ４ ノズル穴 ５ ピエゾ素子 ６ 感光性接着剤 ７ 弾性接着剤 ８ 弗素性フィルム ９ マスキング治具
Claims (3)
- 【請求項１】 少なくともキャビティーを有する基板
と、ノズル穴を有するノズルプレートとを接合したイン
クジェットヘッドの製造方法において、 前記ノズルプレート上に感光性樹脂を塗布またはラミネ
ートする工程と、 前記感光性樹脂の少なくともノズル穴周囲の領域を選択
的に露光して硬化させる工程と、 前記感光性樹脂の未露光の領域を除去する工程と、 前記感光性樹脂の外方領域に液状接着剤を配置する工程
とを有することを特徴とするインクジェットヘッドの製
造方法。 - 【請求項２】 前記液状接着剤を配置する工程は、前記
基板とノズル穴周囲の領域に感光性樹脂が配置されたノ
ズルプレートとを積層した後に、前記感光性樹脂の外方
領域に前記液状接着剤を浸透させる工程であることを特
徴とする請求項１記載のインクジェットヘッドの製造方
法。 - 【請求項３】 前記液状接着剤を配置する工程の後に、
該液状接着剤を硬化させる工程を有していることを特徴
とする請求項１または２記載のインクジェットヘッドの
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32179191A JP3178042B2 (ja) | 1991-12-05 | 1991-12-05 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32179191A JP3178042B2 (ja) | 1991-12-05 | 1991-12-05 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05155017A JPH05155017A (ja) | 1993-06-22 |
| JP3178042B2 true JP3178042B2 (ja) | 2001-06-18 |
Family
ID=18136459
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32179191A Expired - Fee Related JP3178042B2 (ja) | 1991-12-05 | 1991-12-05 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3178042B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101745929B1 (ko) | 2014-08-12 | 2017-06-12 | 후지 필터 고교 가부시키가이샤 | 금속제 다공체의 제조 방법 및 금속제 다공체 |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB9823833D0 (en) * | 1998-10-31 | 1998-12-23 | Xaar Technology Ltd | Droplet ejection apparatus |
| JP2008307698A (ja) | 2007-06-12 | 2008-12-25 | Brother Ind Ltd | ノズルプレートの製造方法 |
| US8029111B2 (en) | 2007-11-05 | 2011-10-04 | Seiko Epson Corporation | Droplet ejection head and droplet ejection apparatus |
| JP4674619B2 (ja) | 2008-07-29 | 2011-04-20 | セイコーエプソン株式会社 | ノズルプレート、ノズルプレートの製造方法、液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置 |
| JP4947133B2 (ja) * | 2009-11-30 | 2012-06-06 | セイコーエプソン株式会社 | 液滴吐出ヘッドの製造方法 |
| US20160378223A1 (en) * | 2013-12-18 | 2016-12-29 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | Detection sensor and detection sensor fabrication method |
-
1991
- 1991-12-05 JP JP32179191A patent/JP3178042B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101745929B1 (ko) | 2014-08-12 | 2017-06-12 | 후지 필터 고교 가부시키가이샤 | 금속제 다공체의 제조 방법 및 금속제 다공체 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05155017A (ja) | 1993-06-22 |
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Legal Events
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