JPH033201B2 - - Google Patents
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- JPH033201B2 JPH033201B2 JP55118795A JP11879580A JPH033201B2 JP H033201 B2 JPH033201 B2 JP H033201B2 JP 55118795 A JP55118795 A JP 55118795A JP 11879580 A JP11879580 A JP 11879580A JP H033201 B2 JPH033201 B2 JP H033201B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- color mosaic
- mosaic filter
- filter
- protective film
- opaque layer
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
Links
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- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 15
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- 239000011521 glass Substances 0.000 claims 2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
- H01J29/86—Vessels; Containers; Vacuum locks
- H01J29/89—Optical or photographic arrangements structurally combined or co-operating with the vessel
- H01J29/898—Spectral filters
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は固体撮像素子等の半導体素子上にカラ
ーモザイクフイルタを接着する工程において前記
半導体素子とカラーモザイクフイルタの直接接触
によつて生じるカラーモザイクフイルタの損傷を
防止するために保護膜を形成するカラーモザイク
フイルタの製造方法に関するものである。
ーモザイクフイルタを接着する工程において前記
半導体素子とカラーモザイクフイルタの直接接触
によつて生じるカラーモザイクフイルタの損傷を
防止するために保護膜を形成するカラーモザイク
フイルタの製造方法に関するものである。
従来法の一例として固体撮像素子に接着するカ
ラーフイルタについて次に説明する。
ラーフイルタについて次に説明する。
固体撮像素子は小型・軽量のビデオカメラに用
いる素子として、今後の普及が期待されており、
第１図に従来開発されているイメージセンサ１と
カラーモザイクフイルタ２の概略断面図を示す。
まずイメージセンサ１は、シリコン基板３の上に
絵素部４、光導電膜５、透明電極６および駆動部
７が形成されている。
いる素子として、今後の普及が期待されており、
第１図に従来開発されているイメージセンサ１と
カラーモザイクフイルタ２の概略断面図を示す。
まずイメージセンサ１は、シリコン基板３の上に
絵素部４、光導電膜５、透明電極６および駆動部
７が形成されている。
また外部リードを接続するワイヤボンデイング
用のパツド８が駆動部７に形成されている。
用のパツド８が駆動部７に形成されている。
つぎにカラーモザイクフイルタ２は、光学ガラ
ス基板９上にフイルタ膜１０が形成されている。
ス基板９上にフイルタ膜１０が形成されている。
現在前記カラーモザイクフイルタ２に相当する
フイルタとしては有機フイルタが多く用いられて
おり、これは第１図に示す様にイメージセンサと
は別に光学ガラス上に形成され、フイルタガラス
としてイメージセンサの上に接着剤を介して接着
されている。イメージセンサとフイルタの接着に
は、熱硬化形接着剤もしくは、紫外線硬化形接着
剤が用いられており、この接着剤を介し、イメー
ジセンサとフイルタのパチーンの位置合せを行な
つている。
フイルタとしては有機フイルタが多く用いられて
おり、これは第１図に示す様にイメージセンサと
は別に光学ガラス上に形成され、フイルタガラス
としてイメージセンサの上に接着剤を介して接着
されている。イメージセンサとフイルタの接着に
は、熱硬化形接着剤もしくは、紫外線硬化形接着
剤が用いられており、この接着剤を介し、イメー
ジセンサとフイルタのパチーンの位置合せを行な
つている。
この場合、固体撮像素子の色再現性を向上させ
るために、出来るだけ接着層の厚みは薄くする方
が望ましい。
るために、出来るだけ接着層の厚みは薄くする方
が望ましい。
接着層厚を薄くする手段として、第１として接
着剤粘度を下げること、第２として接着圧力を上
げることが考えられ以上の２点で接着層の厚みを
３〜5μmと薄くすることが可能である。
着剤粘度を下げること、第２として接着圧力を上
げることが考えられ以上の２点で接着層の厚みを
３〜5μmと薄くすることが可能である。
しかるに前記方法の場合イメージセンサとカラ
ーモザイクフイルタが直接接触することが避けら
れず、カラーモザイクフイルタの損傷が問題とな
つている。
ーモザイクフイルタが直接接触することが避けら
れず、カラーモザイクフイルタの損傷が問題とな
つている。
この直接接触を防止する方法として、従来から
種々の方法が提案されている。従来の実施例を以
下に述べる。
種々の方法が提案されている。従来の実施例を以
下に述べる。
まず、カラーモザイクフイルタが多数形成され
た光学ガラス板の全面に保護膜を形成した後に分
割する方法がある。しかしこの場合、分割する際
に保護膜の剥れが問題となる。つまり分割手段と
して、砥石によつて切断する方法及びダイシング
による方法があるが、砥石による機械的な切断作
用と同時に冷却を目的とした水を使用するが前記
水の噴射水圧により、保護膜の分割エツヂでの剥
れが生じる。
た光学ガラス板の全面に保護膜を形成した後に分
割する方法がある。しかしこの場合、分割する際
に保護膜の剥れが問題となる。つまり分割手段と
して、砥石によつて切断する方法及びダイシング
による方法があるが、砥石による機械的な切断作
用と同時に冷却を目的とした水を使用するが前記
水の噴射水圧により、保護膜の分割エツヂでの剥
れが生じる。
一方分割後１枚づつ保護膜を形成するのは非常
に困難で手数がかかるため歩留りが悪く現実的で
ない。
に困難で手数がかかるため歩留りが悪く現実的で
ない。
さらに他の方法として、ノンコンタクトのマス
クを用いて、プロキシミテイプリンテイングを行
なう方法がある。この場合は、分割領域には保護
膜を形成しない。前記種々の方法を用いれば、分
割時に生じる保護膜の剥れはなくなる。
クを用いて、プロキシミテイプリンテイングを行
なう方法がある。この場合は、分割領域には保護
膜を形成しない。前記種々の方法を用いれば、分
割時に生じる保護膜の剥れはなくなる。
しかし、前記方法では保護膜形成のためのマス
ク合わせ装置、マスクが必要でありマスクとカラ
ーモザイクフイルタの位置合せにも手数がかかる
という欠点がある。
ク合わせ装置、マスクが必要でありマスクとカラ
ーモザイクフイルタの位置合せにも手数がかかる
という欠点がある。
本発明は、以上のような従来の欠点を除去し、
カラーモザイクフイルタに保護膜を容易に形成す
ることを中心にしたカラーモザイクフイルタの製
造方法を提供するものである。
カラーモザイクフイルタに保護膜を容易に形成す
ることを中心にしたカラーモザイクフイルタの製
造方法を提供するものである。
第２図〜第５図を用いて本発明の一実施例にお
けるカラーモザイクフイルタの製造方法を説明す
る。
けるカラーモザイクフイルタの製造方法を説明す
る。
第２図に示す様に、分割領域に分割代１１より
広領域の不透明層１２を設ける。
広領域の不透明層１２を設ける。
不透明層１２による囲繞の外周部エツヂは分割
時の位置決めキーとする。また不透明層１２によ
る囲繞の内周部エツヂは、光学ガラス基板９を分
割後のカラーモザイクフイルタ外形寸法１３より
一定幅内側までとし、カラーモザイクフイルタ１
０形成面の外周部エツヂより外側とする。
時の位置決めキーとする。また不透明層１２によ
る囲繞の内周部エツヂは、光学ガラス基板９を分
割後のカラーモザイクフイルタ外形寸法１３より
一定幅内側までとし、カラーモザイクフイルタ１
０形成面の外周部エツヂより外側とする。
不透明層１２はたとえばCrにて形成する。そ
の後前記カラーフイルタ形成領域にカラーモザイ
クフイルタを形成する。
の後前記カラーフイルタ形成領域にカラーモザイ
クフイルタを形成する。
つぎに第３図に示す様に、光学ガラス基板９に
おけるカラーモザイク１０の形成面側に紫外線硬
化形樹脂１４を全面塗布して、紫外線硬化形樹脂
１４を乾燥させる。紫外線硬化形樹脂１４の膜厚
ｔは、出来るだけ薄く例えば２〜3μmとする。
おけるカラーモザイク１０の形成面側に紫外線硬
化形樹脂１４を全面塗布して、紫外線硬化形樹脂
１４を乾燥させる。紫外線硬化形樹脂１４の膜厚
ｔは、出来るだけ薄く例えば２〜3μmとする。
次に第４図に示すように紫外線硬化形樹脂１４
を塗布した光学ガラス基板９、カラーモザイクフ
イルタ形成面の反対側から紫外線１５を照射す
る。この結果、紫外線硬化形樹脂１４において第
２図に示した不透明層１２の部分が硬化せず、そ
の他の部分は硬化する。
を塗布した光学ガラス基板９、カラーモザイクフ
イルタ形成面の反対側から紫外線１５を照射す
る。この結果、紫外線硬化形樹脂１４において第
２図に示した不透明層１２の部分が硬化せず、そ
の他の部分は硬化する。
紫外線１５の照射後、光学ガラス基板９をアセ
トン等の有機溶剤により洗浄し、第５図に示すよ
うに不透明層１２と接触する未硬化樹脂を取り除
く。
トン等の有機溶剤により洗浄し、第５図に示すよ
うに不透明層１２と接触する未硬化樹脂を取り除
く。
つぎに、第６図に示すように光学ガラス基板９
を分割領域（分割代）１６において分割する。分
割する際、分割領域１６において紫外線硬化樹脂
１４（保護膜）が存在せず、そのため紫外線硬化
樹脂の剥れの心配はない。
を分割領域（分割代）１６において分割する。分
割する際、分割領域１６において紫外線硬化樹脂
１４（保護膜）が存在せず、そのため紫外線硬化
樹脂の剥れの心配はない。
第５図の分割後の状態に示すようにカラーモザ
イクフイルタ１０上には紫外線硬化樹脂１４（保
護膜）が被つている。
イクフイルタ１０上には紫外線硬化樹脂１４（保
護膜）が被つている。
以上の様な本発明を用いれば以下の如き効果を
生じる。
生じる。
まず、光学ガラス基板の分割時において、分割
領域上に紫外線硬化樹脂による保護膜として残存
しないので砥石に保護膜が触れることなく、した
がつて従来のように保護膜の剥れることはない。
また高価なマスク合わせ装置およびマスクを使用
する必要がなく、セルフアライメントが可能であ
り、容易に選択露光ができる上、マスク合わせの
必要がないために位置合わせズレを生じることは
なく、シヤープなパターンを得ることができる。
一度で数個のカラーモザイクフイルタ上に保護膜
を形成することができる。また前記フイルタ接着
剤と前記保護膜形成用紫外線硬化樹脂とが同じも
のであると、フイルタ接着工程において接着剤の
ヌレ性が良いことから気泡が抜け易く、フイルタ
とイメージセンサの位置合わせも良好で接着歩留
りを向上させることができるなどの効果がある。
領域上に紫外線硬化樹脂による保護膜として残存
しないので砥石に保護膜が触れることなく、した
がつて従来のように保護膜の剥れることはない。
また高価なマスク合わせ装置およびマスクを使用
する必要がなく、セルフアライメントが可能であ
り、容易に選択露光ができる上、マスク合わせの
必要がないために位置合わせズレを生じることは
なく、シヤープなパターンを得ることができる。
一度で数個のカラーモザイクフイルタ上に保護膜
を形成することができる。また前記フイルタ接着
剤と前記保護膜形成用紫外線硬化樹脂とが同じも
のであると、フイルタ接着工程において接着剤の
ヌレ性が良いことから気泡が抜け易く、フイルタ
とイメージセンサの位置合わせも良好で接着歩留
りを向上させることができるなどの効果がある。
さらに不透明層は分割時の位置決めキーとし
て、またフイルタ接着後のイメージセンサにおけ
る光遮へいの２つの役割を果たすものである。
て、またフイルタ接着後のイメージセンサにおけ
る光遮へいの２つの役割を果たすものである。
このように本発明によれば容易に保護膜を形成
することができ、接着時のイメージセンサとモザ
イクフイルタの直接接触を防止することができ
る。
することができ、接着時のイメージセンサとモザ
イクフイルタの直接接触を防止することができ
る。
第１図ａ，ｂは、それぞれ従来例によるカラー
モザイクフイルタイメージセンサの断面図、第２
図は、本発明の一実施例によるカラーモザイクフ
イルタの要部平面図、第３図〜第６図は、本発明
の一実施例によるカラーモザイクフイルタの製造
方法を説明するための各工程の断面図である。 ９……光学ガラス基板、１０……カラーモザイ
クフイルタ、１２……不透明層、１４……紫外線
硬化形樹脂、１５……紫外線、１６……分割領
域。
モザイクフイルタイメージセンサの断面図、第２
図は、本発明の一実施例によるカラーモザイクフ
イルタの要部平面図、第３図〜第６図は、本発明
の一実施例によるカラーモザイクフイルタの製造
方法を説明するための各工程の断面図である。 ９……光学ガラス基板、１０……カラーモザイ
クフイルタ、１２……不透明層、１４……紫外線
硬化形樹脂、１５……紫外線、１６……分割領
域。
Claims (1)
- １ ガラス基板の一主面に、不透明層とカラーモ
ザイクフイルタを形成する工程と、前記カラーモ
ザイクフイルタおよび不透明層上に紫外線硬化形
樹脂を塗布する工程と、前記カラーモザイクフイ
ルタを形成した面の反対側より紫外線を照射して
前記不透明層部分以外の樹脂を硬化させ、溶剤に
より少なくとも前記不透明層上の未硬化樹脂を除
去し、前記モザイクフイルタ上の樹脂を保護膜と
して残存させる工程と、前記不透明層部分におい
て前記ガラス基板を切断、分割する工程を備えて
なることを特徴とするカラーモザイクフイルタの
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55118795A JPS5742009A (en) | 1980-08-27 | 1980-08-27 | Formation of protective film for color mosaic filter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55118795A JPS5742009A (en) | 1980-08-27 | 1980-08-27 | Formation of protective film for color mosaic filter |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5742009A JPS5742009A (en) | 1982-03-09 |
| JPH033201B2 true JPH033201B2 (ja) | 1991-01-18 |
Family
ID=14745290
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP55118795A Granted JPS5742009A (en) | 1980-08-27 | 1980-08-27 | Formation of protective film for color mosaic filter |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5742009A (ja) |
Families Citing this family (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01130103A (ja) * | 1987-11-16 | 1989-05-23 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルターの製造方法 |
| JPH0212527A (ja) * | 1988-06-30 | 1990-01-17 | Nec Corp | マイクロプログラム制御装置 |
| US8524425B2 (en) | 2007-05-11 | 2013-09-03 | Basf Se | Oxime ester photoinitiators |
| EP2402315A1 (en) | 2007-05-11 | 2012-01-04 | Basf Se | Oxime ester photoinitiators |
| EP2411430B1 (en) | 2009-03-23 | 2015-10-14 | Basf Se | Photoresist composition |
| WO2012045736A1 (en) | 2010-10-05 | 2012-04-12 | Basf Se | Oxime ester derivatives of benzocarbazole compounds and their use as photoinitiators in photopolymerizable compositions |
| US9051397B2 (en) | 2010-10-05 | 2015-06-09 | Basf Se | Oxime ester |
| KR101897842B1 (ko) | 2011-01-28 | 2018-09-12 | 바스프 에스이 | 열 경화제로서 옥심 술포네이트를 포함하는 중합성 조성물 |
| WO2012113829A1 (en) | 2011-02-23 | 2012-08-30 | Basf Se | Sulfonium sulfates, their preparation and use |
| KR102006041B1 (ko) | 2011-12-07 | 2019-07-31 | 바스프 에스이 | 옥심 에스테르 광개시제 |
| CN104379628B (zh) | 2012-04-19 | 2016-11-16 | 巴斯夫欧洲公司 | 锍化合物、其制备及其用途 |
| EP2963016B1 (en) | 2012-05-09 | 2017-10-11 | Basf Se | Oxime ester photoinitiators |
| CN105358527B (zh) | 2013-07-08 | 2018-09-25 | 巴斯夫欧洲公司 | 肟酯光引发剂 |
| KR102282647B1 (ko) | 2013-09-10 | 2021-07-28 | 바스프 에스이 | 옥심 에스테르 광개시제 |
| JP6664383B2 (ja) | 2014-08-29 | 2020-03-13 | ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピアＢａｓｆ Ｓｅ | オキシムスルホネート誘導体 |
| WO2016124493A1 (en) | 2015-02-02 | 2016-08-11 | Basf Se | Latent acids and their use |
| US20220121113A1 (en) | 2019-01-23 | 2022-04-21 | Basf Se | Oxime ester photoinitiators having a special aroyl chromophore |
| WO2021175855A1 (en) | 2020-03-04 | 2021-09-10 | Basf Se | Oxime ester photoinitiators |
-
1980
- 1980-08-27 JP JP55118795A patent/JPS5742009A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5742009A (en) | 1982-03-09 |
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