JPH11211902A - 平板型マイクロレンズアレイ - Google Patents
平板型マイクロレンズアレイInfo
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- JPH11211902A JPH11211902A JP10009813A JP981398A JPH11211902A JP H11211902 A JPH11211902 A JP H11211902A JP 10009813 A JP10009813 A JP 10009813A JP 981398 A JP981398 A JP 981398A JP H11211902 A JPH11211902 A JP H11211902A
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- flat
- microlens array
- ultraviolet
- microlens
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B3/00—Simple or compound lenses
- G02B3/0006—Arrays
- G02B3/0037—Arrays characterized by the distribution or form of lenses
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29D—PRODUCING PARTICULAR ARTICLES FROM PLASTICS OR FROM SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE
- B29D11/00—Producing optical elements, e.g. lenses or prisms
- B29D11/00009—Production of simple or compound lenses
- B29D11/00278—Lenticular sheets
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/28—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with organic material
- C03C17/32—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with organic material with synthetic or natural resins
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B3/00—Simple or compound lenses
- G02B3/0006—Arrays
- G02B3/0012—Arrays characterised by the manufacturing method
Abstract
(57)【要約】
【課題】 紫外線硬化樹脂の硬化時の収縮に起因する平
板型マイクロレンズアレイの反りを防止する。 【解決手段】 平板型マイクロレンズアレイ１のベース
ガラス２の一面側には、高屈折率の紫外線硬化樹脂から
なる微小凸レンズ群３が形成され、この微小凸レンズ群
３を形成した側の表面に低屈折率の紫外線硬化樹脂から
なる接着層４を介してカバーガラス５が接着され、更に
前記ベースガラス２の微小凸レンズ群３が設けられた側
の反対側面には紫外線硬化樹脂膜６が形成されている。
板型マイクロレンズアレイの反りを防止する。 【解決手段】 平板型マイクロレンズアレイ１のベース
ガラス２の一面側には、高屈折率の紫外線硬化樹脂から
なる微小凸レンズ群３が形成され、この微小凸レンズ群
３を形成した側の表面に低屈折率の紫外線硬化樹脂から
なる接着層４を介してカバーガラス５が接着され、更に
前記ベースガラス２の微小凸レンズ群３が設けられた側
の反対側面には紫外線硬化樹脂膜６が形成されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は多数のレンズ部を２
次元的に形成した平板型マイクロレンズアレイとその製
造方法に関する。
次元的に形成した平板型マイクロレンズアレイとその製
造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】平板型マイクロレンズアレイは、例え
ば、液晶表示素子の一部に組み込まれる。液晶表示素子
の構造を図６で説明すると、平板型マイクロレンズアレ
イ１００は、ベースガラス１０１の一面側に高屈折率の
紫外線硬化樹脂からなる凸レンズ群１０２を形成し、こ
の凸レンズ群１０２とカバーガラス１０３とを低屈折率
の紫外線硬化樹脂からなる接着層１０４にて接合して構
成されている。
ば、液晶表示素子の一部に組み込まれる。液晶表示素子
の構造を図６で説明すると、平板型マイクロレンズアレ
イ１００は、ベースガラス１０１の一面側に高屈折率の
紫外線硬化樹脂からなる凸レンズ群１０２を形成し、こ
の凸レンズ群１０２とカバーガラス１０３とを低屈折率
の紫外線硬化樹脂からなる接着層１０４にて接合して構
成されている。
【０００３】そして、カバーガラス１０３とガラス基板
１０５との間に液晶１０６を充填し、ガラス基板１０５
の液晶側面に透明画素電極１０７を形成し、この透明画
素電極１０７以外の部分は配線やＴＦＴ（薄膜トランジ
スタ）等の照射光が透過しない部分とし、更にカバーガ
ラス１０３の液晶側面には対向電極１０８を形成してい
る。
１０５との間に液晶１０６を充填し、ガラス基板１０５
の液晶側面に透明画素電極１０７を形成し、この透明画
素電極１０７以外の部分は配線やＴＦＴ（薄膜トランジ
スタ）等の照射光が透過しない部分とし、更にカバーガ
ラス１０３の液晶側面には対向電極１０８を形成してい
る。
【０００４】前記平板型マイクロレンズアレイ１００の
作用は、凸レンズ群１０２のレンズ部で照射光を画素電
極（画素開口部）１０７に集光せしめてスクリーンに投
影される像を明るくする。
作用は、凸レンズ群１０２のレンズ部で照射光を画素電
極（画素開口部）１０７に集光せしめてスクリーンに投
影される像を明るくする。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】現状の液晶表示素子の
画素寸法は約４０〜６０μｍである。そして、将来的に
は画面の木目細かさが要求されるため画素寸法は２０〜
３０μｍ程度まで小さくなることが予測される。画素寸
法が小さくなると凸レンズ群を構成する各レンズの寸法
も小さくなり、その結果、レンズの焦点位置も短くな
る。また、前記したように照明光を効率よく利用するに
は、レンズの焦点位置を透明画素電極の部分に略一致さ
せる必要がある。このためには、カバーガラス１０３の
厚みを更に薄くしなければならない。
画素寸法は約４０〜６０μｍである。そして、将来的に
は画面の木目細かさが要求されるため画素寸法は２０〜
３０μｍ程度まで小さくなることが予測される。画素寸
法が小さくなると凸レンズ群を構成する各レンズの寸法
も小さくなり、その結果、レンズの焦点位置も短くな
る。また、前記したように照明光を効率よく利用するに
は、レンズの焦点位置を透明画素電極の部分に略一致さ
せる必要がある。このためには、カバーガラス１０３の
厚みを更に薄くしなければならない。
【０００６】一方、凸レンズ群１０２及び接着層１０４
はいずれも紫外線硬化樹脂から構成され、これら紫外線
硬化樹脂は硬化の際に収縮する。ある程度カバーガラス
１０３が厚ければ紫外線硬化樹脂の収縮に対して対抗で
きるのであるが、前記したようにカバーガラス１０３の
厚さが薄くなると、平板型マイクロレンズアレイの面積
は比較的大きいので、図７に示すように、紫外線硬化樹
脂の収縮によって平板型マイクロレンズアレイ１００全
体が反ってしまう。
はいずれも紫外線硬化樹脂から構成され、これら紫外線
硬化樹脂は硬化の際に収縮する。ある程度カバーガラス
１０３が厚ければ紫外線硬化樹脂の収縮に対して対抗で
きるのであるが、前記したようにカバーガラス１０３の
厚さが薄くなると、平板型マイクロレンズアレイの面積
は比較的大きいので、図７に示すように、紫外線硬化樹
脂の収縮によって平板型マイクロレンズアレイ１００全
体が反ってしまう。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明は、ベースガラスとカバーガラスとの間に紫外線
硬化樹脂からなる微小レンズ群を形成してなる平板型マ
イクロレンズアレイにおいて、前記ベースガラスの微小
レンズ群が設けられた側の反対側面に紫外線硬化樹脂膜
を形成した。上記構成とすることで、前記ベースガラス
の微小レンズ群が設けられた側の反対側面に塗布した紫
外線硬化樹脂が硬化する際の収縮と、微小レンズ群とな
る紫外線硬化樹脂が硬化する際の収縮とが相殺され、平
板型マイクロレンズアレイ全体としての反り量は少なく
なる。
本発明は、ベースガラスとカバーガラスとの間に紫外線
硬化樹脂からなる微小レンズ群を形成してなる平板型マ
イクロレンズアレイにおいて、前記ベースガラスの微小
レンズ群が設けられた側の反対側面に紫外線硬化樹脂膜
を形成した。上記構成とすることで、前記ベースガラス
の微小レンズ群が設けられた側の反対側面に塗布した紫
外線硬化樹脂が硬化する際の収縮と、微小レンズ群とな
る紫外線硬化樹脂が硬化する際の収縮とが相殺され、平
板型マイクロレンズアレイ全体としての反り量は少なく
なる。
【０００８】前記微小レンズ群としては、ベースガラス
の平坦な一面側に形成された高屈折率の紫外線硬化樹脂
からなる微小凸レンズ群、或いは、ベースガラスの一面
側に形成された微小凹部群に充填された高屈折率の紫外
線硬化樹脂からなる微小凸レンズ群が考えられる。
の平坦な一面側に形成された高屈折率の紫外線硬化樹脂
からなる微小凸レンズ群、或いは、ベースガラスの一面
側に形成された微小凹部群に充填された高屈折率の紫外
線硬化樹脂からなる微小凸レンズ群が考えられる。
【０００９】また、応力相殺のために設ける紫外線硬化
樹脂膜としては、微小レンズ群を構成する紫外線硬化樹
脂と同一の材料でもよいし、異なった材料でもよい。更
に、例えば応力相殺のために設ける紫外線硬化樹脂膜の
上に搬送時などに傷付くのを防止するために保護フィル
ムを設けることが可能である。
樹脂膜としては、微小レンズ群を構成する紫外線硬化樹
脂と同一の材料でもよいし、異なった材料でもよい。更
に、例えば応力相殺のために設ける紫外線硬化樹脂膜の
上に搬送時などに傷付くのを防止するために保護フィル
ムを設けることが可能である。
【００１０】一方、本発明に係る平板型マイクロレンズ
アレイの製造方法は、ベースガラスとカバーガラスとの
間に未硬化の紫外線硬化樹脂からなる微小レンズ群を成
形した後、前記ベースガラスの微小レンズ群が成形され
た側の反対側面に未硬化の紫外線硬化樹脂膜を成形し、
次いで前記微小レンズ群となる未硬化の紫外線硬化樹脂
と前記未硬化の紫外線硬化樹脂膜に紫外線を照射して同
時に硬化せしめる。未硬化の紫外線硬化樹脂膜は成形手
段としては、スタンパの他に刷毛塗り、スピンナー塗布
なども考えられる。
アレイの製造方法は、ベースガラスとカバーガラスとの
間に未硬化の紫外線硬化樹脂からなる微小レンズ群を成
形した後、前記ベースガラスの微小レンズ群が成形され
た側の反対側面に未硬化の紫外線硬化樹脂膜を成形し、
次いで前記微小レンズ群となる未硬化の紫外線硬化樹脂
と前記未硬化の紫外線硬化樹脂膜に紫外線を照射して同
時に硬化せしめる。未硬化の紫外線硬化樹脂膜は成形手
段としては、スタンパの他に刷毛塗り、スピンナー塗布
なども考えられる。
【００１１】また、本発明に係る平板型マイクロレンズ
アレイの他の製造方法は、ベースガラスとカバーガラス
との間に未硬化の紫外線硬化樹脂からなる微小レンズ群
を成形した後、前記ベースガラスの微小レンズ群が設け
られた側の反対側面に未硬化の紫外線硬化樹脂を盛り付
け、次いで、前記盛り付けられた紫外線硬化樹脂の上に
保護フィルムを乗せ、更に、スタンパの平坦面（離型剤
をコーティングしたガラス基板や表面が平坦鏡面仕上げ
されたテフロン系或いはフッ素系平面基板等）で前記盛
り付けられた紫外線硬化樹脂を膜状に押し広げ、この
後、前記各未硬化の紫外線硬化樹脂に紫外線を照射して
同時に硬化せしめる。
アレイの他の製造方法は、ベースガラスとカバーガラス
との間に未硬化の紫外線硬化樹脂からなる微小レンズ群
を成形した後、前記ベースガラスの微小レンズ群が設け
られた側の反対側面に未硬化の紫外線硬化樹脂を盛り付
け、次いで、前記盛り付けられた紫外線硬化樹脂の上に
保護フィルムを乗せ、更に、スタンパの平坦面（離型剤
をコーティングしたガラス基板や表面が平坦鏡面仕上げ
されたテフロン系或いはフッ素系平面基板等）で前記盛
り付けられた紫外線硬化樹脂を膜状に押し広げ、この
後、前記各未硬化の紫外線硬化樹脂に紫外線を照射して
同時に硬化せしめる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて説明する。ここで、図１は本発明に係る
平板型マイクロレンズアレイの断面図であり、平板型マ
イクロレンズアレイ１は、ベースガラス２の一面側に高
屈折率の紫外線硬化樹脂からなる微小凸レンズ群３が形
成され、この微小凸レンズ群３を形成した側の表面に低
屈折率の紫外線硬化樹脂からなる接着層４を介してカバ
ーガラス５が接着され、更に前記ベースガラス２の微小
凸レンズ群３が設けられた側の反対側面には紫外線硬化
樹脂膜６が形成されている。
図面に基づいて説明する。ここで、図１は本発明に係る
平板型マイクロレンズアレイの断面図であり、平板型マ
イクロレンズアレイ１は、ベースガラス２の一面側に高
屈折率の紫外線硬化樹脂からなる微小凸レンズ群３が形
成され、この微小凸レンズ群３を形成した側の表面に低
屈折率の紫外線硬化樹脂からなる接着層４を介してカバ
ーガラス５が接着され、更に前記ベースガラス２の微小
凸レンズ群３が設けられた側の反対側面には紫外線硬化
樹脂膜６が形成されている。
【００１３】ここで、前記ベースガラス２の厚みは０．
７〜１．１ｍｍ、微小凸レンズ群３を構成する各レンズ
の寸法（画素寸法に近似する）は２０〜６０μｍ、微小
凸レンズ群３の厚みは５〜２５μｍ、カバーガラス５の
厚みは５０〜２００μｍである。
７〜１．１ｍｍ、微小凸レンズ群３を構成する各レンズ
の寸法（画素寸法に近似する）は２０〜６０μｍ、微小
凸レンズ群３の厚みは５〜２５μｍ、カバーガラス５の
厚みは５０〜２００μｍである。
【００１４】また、紫外線硬化樹脂膜６を設ける理由
は、微小凸レンズ群３及び接着層４を構成する紫外線硬
化樹脂の硬化時の収縮とのバランスをとって平板型マイ
クロレンズアレイの反りを抑制するものであるので、紫
外線硬化樹脂膜６の厚みについては、反りの矯正量との
関係で決定すればよい。
は、微小凸レンズ群３及び接着層４を構成する紫外線硬
化樹脂の硬化時の収縮とのバランスをとって平板型マイ
クロレンズアレイの反りを抑制するものであるので、紫
外線硬化樹脂膜６の厚みについては、反りの矯正量との
関係で決定すればよい。
【００１５】以上の平板型マイクロレンズアレイ１を製
造するには、先ず、ベースガラス２の一面側に高屈折率
の紫外線硬化樹脂を塗布し、この塗布した未硬化の紫外
線硬化樹脂をスタンパを用いて微小凸レンズ群３に成形
し、更にこの微小凸レンズ群３とカバーガラス５との間
に未硬化の低屈折率の紫外線硬化樹脂を充填する。
造するには、先ず、ベースガラス２の一面側に高屈折率
の紫外線硬化樹脂を塗布し、この塗布した未硬化の紫外
線硬化樹脂をスタンパを用いて微小凸レンズ群３に成形
し、更にこの微小凸レンズ群３とカバーガラス５との間
に未硬化の低屈折率の紫外線硬化樹脂を充填する。
【００１６】次いで、図２に示すように、上下を反転し
て、ベースガラス２の微小凸レンズ群３が成形された側
の反対側面に未硬化の紫外線硬化樹脂７を盛り付け、こ
の未硬化の紫外線硬化樹脂７を離型処理が施されたスタ
ンパ８の平坦面にて押圧し、膜状に押し広げる。
て、ベースガラス２の微小凸レンズ群３が成形された側
の反対側面に未硬化の紫外線硬化樹脂７を盛り付け、こ
の未硬化の紫外線硬化樹脂７を離型処理が施されたスタ
ンパ８の平坦面にて押圧し、膜状に押し広げる。
【００１７】この後、微小凸レンズ群３となる未硬化の
紫外線硬化樹脂、接着層４となる未硬化の紫外線硬化樹
脂及び前記膜状に押し広げられた未硬化の紫外線硬化樹
脂７に紫外線を照射し、これら未硬化の紫外線硬化樹脂
を同時に硬化せしめる。このように同時に硬化せしめる
ことで、製造の途中においても、硬化に伴って平板型マ
イクロレンズアレイ１が反ることがなくなる。
紫外線硬化樹脂、接着層４となる未硬化の紫外線硬化樹
脂及び前記膜状に押し広げられた未硬化の紫外線硬化樹
脂７に紫外線を照射し、これら未硬化の紫外線硬化樹脂
を同時に硬化せしめる。このように同時に硬化せしめる
ことで、製造の途中においても、硬化に伴って平板型マ
イクロレンズアレイ１が反ることがなくなる。
【００１８】図３は別実施例に係る平板型マイクロレン
ズアレイの断面図であり、この実施例にあっては、紫外
線硬化樹脂膜６の表面に保護膜９を設けている。保護膜
９は運搬時や取り扱い時に平板型マイクロレンズアレイ
表面が傷つくのを防止するためのものであり、図では紫
外線硬化樹脂膜６の表面に設けているが、カバーガラス
５の表面に設けてもよい。また、後で剥離する場合に
は、透明でなくともよい。
ズアレイの断面図であり、この実施例にあっては、紫外
線硬化樹脂膜６の表面に保護膜９を設けている。保護膜
９は運搬時や取り扱い時に平板型マイクロレンズアレイ
表面が傷つくのを防止するためのものであり、図では紫
外線硬化樹脂膜６の表面に設けているが、カバーガラス
５の表面に設けてもよい。また、後で剥離する場合に
は、透明でなくともよい。
【００１９】図４は図３に示した平板型マイクロレンズ
アレイの製造方法を説明する図であり、この製造方法に
あっては、ベースガラス２の微小凸レンズ群３が成形さ
れた側の反対側面に未硬化の紫外線硬化樹脂７を盛り付
け、この上に保護膜９を重ね、保護膜９を介してスタン
パ８で未硬化の紫外線硬化樹脂７を押圧し、膜状に押し
広げるようにしている。このように、間に保護膜９を介
すことで、スタンパ８の成形面に離型処理を行う必要が
なくなる。
アレイの製造方法を説明する図であり、この製造方法に
あっては、ベースガラス２の微小凸レンズ群３が成形さ
れた側の反対側面に未硬化の紫外線硬化樹脂７を盛り付
け、この上に保護膜９を重ね、保護膜９を介してスタン
パ８で未硬化の紫外線硬化樹脂７を押圧し、膜状に押し
広げるようにしている。このように、間に保護膜９を介
すことで、スタンパ８の成形面に離型処理を行う必要が
なくなる。
【００２０】更に図５は、別実施例に係る平板型マイク
ロレンズアレイの断面図であり、この実施例にあって
は、ベースガラス２の一面側に湿式エッチング等によっ
て微小凹部群１０を形成し、この微小凹部群１０に高屈
折率の紫外線硬化樹脂を充填して微小凸レンズ群３とな
るようにし、更に微小凸レンズ群３に直接カバーガラス
５を取付け、反対側には紫外線硬化樹脂膜６を設けてい
る。この実施例にあっても、紫外線硬化樹脂膜６を構成
する紫外線硬化樹脂と微小凸レンズ群３を構成する紫外
線硬化樹脂とを紫外線照射で同時に硬化せしめることで
反り発生を抑えることができる。
ロレンズアレイの断面図であり、この実施例にあって
は、ベースガラス２の一面側に湿式エッチング等によっ
て微小凹部群１０を形成し、この微小凹部群１０に高屈
折率の紫外線硬化樹脂を充填して微小凸レンズ群３とな
るようにし、更に微小凸レンズ群３に直接カバーガラス
５を取付け、反対側には紫外線硬化樹脂膜６を設けてい
る。この実施例にあっても、紫外線硬化樹脂膜６を構成
する紫外線硬化樹脂と微小凸レンズ群３を構成する紫外
線硬化樹脂とを紫外線照射で同時に硬化せしめることで
反り発生を抑えることができる。
【００２１】
【発明の効果】以上に説明したように本発明によれば、
ベースガラスとカバーガラスとの間に紫外線硬化樹脂か
らなる微小レンズ群を形成してなる平板型マイクロレン
ズアレイにおいて、前記ベースガラスの微小レンズ群が
設けられた側の反対側面に紫外線硬化樹脂膜を形成し、
この紫外線硬化樹脂が硬化する際の収縮と、微小レンズ
群となる紫外線硬化樹脂が硬化する際の収縮とが相殺さ
れるようにしたので、画素の微細化に伴って、カバーガ
ラスの厚みが薄くなっても平板型マイクロレンズアレイ
全体としての反り量を少なくすることができる。
ベースガラスとカバーガラスとの間に紫外線硬化樹脂か
らなる微小レンズ群を形成してなる平板型マイクロレン
ズアレイにおいて、前記ベースガラスの微小レンズ群が
設けられた側の反対側面に紫外線硬化樹脂膜を形成し、
この紫外線硬化樹脂が硬化する際の収縮と、微小レンズ
群となる紫外線硬化樹脂が硬化する際の収縮とが相殺さ
れるようにしたので、画素の微細化に伴って、カバーガ
ラスの厚みが薄くなっても平板型マイクロレンズアレイ
全体としての反り量を少なくすることができる。
【００２２】また、応力相殺のために設ける紫外線硬化
樹脂膜の上に保護フィルムを設けるようにすれば、搬送
時などに傷付くのを防止することができる。尚、当該保
護フィルムを盛り付けられた紫外線硬化樹脂とスタンパ
との間に挟み込んで成形すれば、スタンパの成形面に離
型処理を施すことが不要になる。
樹脂膜の上に保護フィルムを設けるようにすれば、搬送
時などに傷付くのを防止することができる。尚、当該保
護フィルムを盛り付けられた紫外線硬化樹脂とスタンパ
との間に挟み込んで成形すれば、スタンパの成形面に離
型処理を施すことが不要になる。
【図１】本発明に係る平板型マイクロレンズアレイの断
面図
面図
【図２】図１に示した平板型マイクロレンズアレイの製
造方法を説明する図
造方法を説明する図
【図３】別実施例に係る平板型マイクロレンズアレイの
断面図
断面図
【図４】図３に示した平板型マイクロレンズアレイの製
造方法を説明する図
造方法を説明する図
【図５】別実施例に係る平板型マイクロレンズアレイの
断面図
断面図
【図６】従来の平板型マイクロレンズアレイを組み込ん
だ液晶表示素子の断面図
だ液晶表示素子の断面図
【図７】従来の平板型マイクロレンズアレイが反った状
態を示す図
態を示す図
１…平板型マイクロレンズアレイ、２…ベースガラス、
３…微小凸レンズ群、４…接着層、５…カバーガラス、
６…紫外線硬化樹脂膜、７…紫外線硬化樹脂、８…スタ
ンパ、９…保護膜、１０…微小凹部群。
３…微小凸レンズ群、４…接着層、５…カバーガラス、
６…紫外線硬化樹脂膜、７…紫外線硬化樹脂、８…スタ
ンパ、９…保護膜、１０…微小凹部群。
Claims (7)
- 【請求項１】 ベースガラスとカバーガラスとの間に紫
外線硬化樹脂からなる微小レンズ群を形成してなる平板
型マイクロレンズアレイにおいて、前記ベースガラスの
微小レンズ群が設けられた側の反対側面に紫外線硬化樹
脂膜が形成されていることを特徴とする平板型マイクロ
レンズアレイ。 - 【請求項２】 請求項１に記載の平板型マイクロレンズ
アレイにおいて、前記微小レンズ群は、ベースガラスの
平坦な一面側に形成された高屈折率の紫外線硬化樹脂か
らなる微小凸レンズ群であることを特徴とする平板型マ
イクロレンズアレイ。 - 【請求項３】 請求項１に記載の平板型マイクロレンズ
アレイにおいて、前記微小レンズ群は、ベースガラスの
一面側に形成された微小凹部群に充填された高屈折率の
紫外線硬化樹脂からなる微小凸レンズ群であることを特
徴とする平板型マイクロレンズアレイ。 - 【請求項４】 請求項１乃至請求項３に記載の平板型マ
イクロレンズアレイにおいて、前記ベースガラスの微小
レンズ群が設けられた側と反対側面に形成される紫外線
硬化樹脂膜は、微小レンズ群を構成する紫外線硬化樹脂
と同一の材料からなることを特徴とする平板型マイクロ
レンズアレイ。 - 【請求項５】 請求項１乃至請求項４に記載の平板型マ
イクロレンズアレイにおいて、前記ベースガラスに形成
した紫外線硬化樹脂膜の表面及び／またはカバーガラス
の表面には保護フィルムが設けられていることを特徴と
する平板型マイクロレンズアレイ。 - 【請求項６】 ベースガラスとカバーガラスとの間に未
硬化の紫外線硬化樹脂からなる微小レンズ群を成形した
後、前記ベースガラスの微小レンズ群が成形された側の
反対側面に未硬化の紫外線硬化樹脂膜を成形し、次いで
前記微小レンズ群となる未硬化の紫外線硬化樹脂と前記
未硬化の紫外線硬化樹脂膜に紫外線を照射して同時に硬
化せしめるようにしたことを特徴とする平板型マイクロ
レンズアレイの製造方法。 - 【請求項７】 ベースガラスとカバーガラスとの間に未
硬化の紫外線硬化樹脂からなる微小レンズ群を成形した
後、前記ベースガラスの微小レンズ群が成形された側の
反対側面に未硬化の紫外線硬化樹脂を盛り付け、次い
で、前記盛り付けられた紫外線硬化樹脂の上に保護フィ
ルムを乗せ、更に、スタンパの平坦面で前記盛り付けら
れた紫外線硬化樹脂を膜状に押し広げ、次いで前記微小
レンズ群となる未硬化の紫外線硬化樹脂と前記膜状に押
し広げられた未硬化の紫外線硬化樹脂膜に紫外線を照射
して同時に硬化せしめるようにしたことを特徴とする平
板型マイクロレンズアレイの製造方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10009813A JPH11211902A (ja) | 1998-01-21 | 1998-01-21 | 平板型マイクロレンズアレイ |
| TW088100790A TW494249B (en) | 1998-01-21 | 1999-01-19 | Planar microlens array and method of manufacturing same |
| US09/233,319 US6366406B1 (en) | 1998-01-21 | 1999-01-20 | Planar microlens array and method of manufacturing same |
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|---|---|---|---|---|
| JP2001074913A (ja) * | 1999-08-31 | 2001-03-23 | Seiko Epson Corp | マイクロレンズアレイ基板の製造方法、液晶パネルおよび投射型表示装置 |
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| JP2008089906A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Toshiba Corp | レンズアレイユニットおよびそれを備えた立体映像表示装置 |
| US7722965B2 (en) | 2003-12-26 | 2010-05-25 | Nitto Denko Corporation | Electroluminescence device, planar light source and display using the same |
| JP2012008581A (ja) * | 2008-10-31 | 2012-01-12 | Konica Minolta Opto Inc | ウエハレンズ及びその製造方法 |
| JP5246260B2 (ja) * | 2008-07-04 | 2013-07-24 | コニカミノルタアドバンストレイヤー株式会社 | 撮像レンズ、その製造方法及び撮像ユニット |
| JP2014089232A (ja) * | 2012-10-29 | 2014-05-15 | Seiko Epson Corp | マイクロレンズアレイ基板の製造方法 |
| JP2015045863A (ja) * | 2013-08-28 | 2015-03-12 | 奇景光電股▲ふん▼有限公司 | 画像取得アセンブリとそのレンズユニットアレイ |
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|---|---|---|---|---|
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Family Cites Families (9)
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|---|---|---|---|---|
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| EP0952466A3 (en) * | 1994-10-18 | 2000-05-03 | Mitsubishi Rayon Co., Ltd. | Lens sheet |
| DE69740010D1 (de) * | 1996-02-01 | 2010-11-11 | Mitsubishi Rayon Co | Oberflächenlichtquelle und flüssigkristallgerät, signalvorrichtung und diese verwendende signalvorrichtung zur verkehrslenkung |
| JPH1195005A (ja) * | 1997-09-19 | 1999-04-09 | Dainippon Printing Co Ltd | レンチキュラーレンズシートとその製造方法及び透過型スクリーン |
| JP3824425B2 (ja) * | 1998-06-17 | 2006-09-20 | 日本板硝子株式会社 | 平板型マイクロレンズアレイ |
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Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001074913A (ja) * | 1999-08-31 | 2001-03-23 | Seiko Epson Corp | マイクロレンズアレイ基板の製造方法、液晶パネルおよび投射型表示装置 |
| US6961185B2 (en) | 2003-01-17 | 2005-11-01 | Nitto Denko Corporation | Microlens array |
| US7722965B2 (en) | 2003-12-26 | 2010-05-25 | Nitto Denko Corporation | Electroluminescence device, planar light source and display using the same |
| JP2008089906A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Toshiba Corp | レンズアレイユニットおよびそれを備えた立体映像表示装置 |
| JP5246260B2 (ja) * | 2008-07-04 | 2013-07-24 | コニカミノルタアドバンストレイヤー株式会社 | 撮像レンズ、その製造方法及び撮像ユニット |
| US8542310B2 (en) | 2008-07-04 | 2013-09-24 | Konica Minolta Opto, Inc. | Imaging lens, manufacturing method and imaging unit therefor |
| JP2012008581A (ja) * | 2008-10-31 | 2012-01-12 | Konica Minolta Opto Inc | ウエハレンズ及びその製造方法 |
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| US8587870B2 (en) | 2008-10-31 | 2013-11-19 | Konica Minolta Opto, Inc. | Wafer lens and manufacturing method thereof |
| JP2014089232A (ja) * | 2012-10-29 | 2014-05-15 | Seiko Epson Corp | マイクロレンズアレイ基板の製造方法 |
| JP2015045863A (ja) * | 2013-08-28 | 2015-03-12 | 奇景光電股▲ふん▼有限公司 | 画像取得アセンブリとそのレンズユニットアレイ |
| CN110445012A (zh) * | 2019-08-01 | 2019-11-12 | 浙江舜宇光学有限公司 | 发光模块、其制备方法以及具有其的深度探测装置 |
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