JP2002355979A

JP2002355979A - 液体吐出ヘッドおよびその製造方法

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Publication number: JP2002355979A
Application number: JP2001166025A
Authority: JP
Inventors: Genji Inada; 源次稲田; Takeshi Ikegame; 健池亀; Takaaki Kurihara; 香暁栗原; Hiroyuki Yamamoto; 裕之山本
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 2001-06-01
Filing date: 2001-06-01
Publication date: 2002-12-10

Abstract

(57)【要約】【課題】オリフィスプレートとヘッド基板を光反応型
接着剤を介して接着する際に、オリフィスプレートのフ
ェイス面に形成される撥水層の密着性を損なうことな
く、オリフィスプレートとヘッド基板とを所望の部分に
て確実に接着することができ、液滴形成の不良や印字品
位の劣化を防ぐ。【解決手段】吐出手段を有する液流路を備えたヘッド
基板１に光反応型接着剤層２３を介してオリフィス１１
を備えたオリフィスプレート１０を当接し、撥水層１２
を覆う遮光パターン２５を有する遮光マスク２４をオリ
フィスプレート１０上に圧接してヘッド基板１とオリフ
ィスプレート１０とを圧着し、遮光マスク２４を介して
オリフィスプレート越しに接着剤層２３に対して光照射
を行い、遮光領域以外の領域の接着剤層２３ａを硬化さ
せ、その後、圧着状態のまま加熱およびキュアを行い、
ヘッド基板１とオリフィスプレート１０を確実に接着す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、オリフィスプレー
トに形成されたオリフィスからインク等の液体を飛翔液
滴として吐出させて印字記録や画像形成等を行う液体吐
出ヘッドおよびその製造方法に関し、特に、光反応型接
着剤を介してオリフィスプレートをヘッド基板に接着す
る液体吐出ヘッドおよびその製造方法に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】液体吐出装置（インクジェット記録装
置）は、液体吐出ヘッドにインク等の液体を供給し、液
体吐出ヘッドに設けられたピエゾ素子や電気熱変換素子
等の吐出エネルギー発生素子を記録情報や画像情報に対
応した駆動信号に基づいて駆動することによって液滴を
吐出させることにより印字記録や画像形成等を行うもの
であり、低騒音、高速記録等の点で優れた記録装置とし
て知られている。

【０００３】従来の一般的な液体吐出ヘッドは、図８に
例示するように、吐出手段（吐出エネルギー発生素子）
が形成された素子基板１０２、素子基板１０２上に液流
路１０６を区画形成するための液流路壁１０４、および
液流路１０６に液体を供給する液室が形成され液流路１
０６の上面を形成する天板１０５からなり、素子基板１
０２と天板１０５を液流路壁１０４を介して接合して構
成されるヘッド基板１０１と、液流路１０６に対応する
オリフィス１１１が形成されたオリフィスプレート１１
０とを備え、オリフィスプレート１１０をヘッド基板１
０１の液流路開口面が露出したダイシング面１０８に接
着剤を介して接着して構成されている。

【０００４】ヘッド基板１０１とオリフィスプレート１
１０を接着する接着剤は、ヘッド基板１０１あるいはオ
リフィスプレート１１０の接合面に予め所定の厚さの膜
として形成され、接着剤の膜を形成する手法としては、
転写法やマイクロスプレーによる塗布が用いられてい
る。

【０００５】生産性の点から好適な接着剤としては、光
反応基を有する光反応型接着剤や熱反応基を有する熱反
応型接着剤等が知られている。光反応型接着剤には、光
と熱の反応基を各々有する光熱反応型接着剤も含められ
る。これらの中でも光反応型の接着剤は、光の照射の有
無により簡単に反応を管理できるため、より好適であ
り、工業的に広く使用されている。

【０００６】また、ヘッド基板とオリフィスプレートの
接着に際して、特開２０００−３４３７１３号公報等に
開示されている接合後露光を行う方法を利用すれば、両
者の接着は次のように行うことができる。すなわち、先
ず、ヘッド基板の接合面に液状の光反応型接着剤を転写
し、オリフィスプレートを接合面に当接させ、次いで、
オリフィスプレート越しに接着剤に光を照射してＢステ
ージ化し、その後に加熱により硬化反応を加速させキュ
アを完了する。この方法では、光反応型接着剤に限ら
ず、光熱反応型接着剤を用いることもできる。このよう
な接合後露光による接着方法では、接着剤の反応開始に
必要な光（通常は、ＵＶ光）がオリフィスプレートを通
過して接着剤に届くことが必要であるため、オリフィス
プレートは、反応光を透過できる材料を基材とする必要
がある。また、Ｂステージ化後の接着剤を使用すると接
着界面での耐インク性が低下することが知られている
が、接合後露光は、オリフィスプレートとヘッド基板の
両者に接着剤が触れる前にＢステージ化が不要であるた
め、耐インク性に優れた接着が可能である。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た接合後露光による接着方法は、非常に手順が少なく簡
単な方法であるが、次のような問題が生じる。

【０００８】その一つの問題は、オリフィスプレートの
基材が反応光を吸収することで、該基材が分子レベルで
分解され、強度が低下することである。もう一つの問題
は、オリフィス面に撥水層がコーティングされたオリフ
ィスプレートにおいては、反応光を照射した領域の撥水
層の基材との密着力が著しく低下することである。

【０００９】前者の問題点は、ノンインパクト方式の液
体吐出ヘッドの通常の使用環境においては、オリフィス
プレートが強い外力を受ける機会がないため、大きな不
良となることは比較的少ない。しかし、後者の問題点に
よっては、撥水層がインクに触れることにより剥離が促
進され、特にオリフィスの周囲における撥水膜の剥離は
直接に印字よれ等の不良となり、液体吐出ヘッドの故障
の原因となる。通常用いられている有機および無機双方
の材料に対する接着力が弱いフッ素原子団を有する材料
からなる撥水層をオリフィスプレート基材にコーティン
グする系においては、この傾向が顕著である。

【００１０】そこで、本発明は、前述した従来技術の有
する未解決の課題に鑑みてなされたものであって、オリ
フィスプレートとヘッド基板を光反応型接着剤を介して
接着する際に、オリフィスプレートのフェイス面に形成
される撥水層の密着性を損なうことなく、オリフィスプ
レートとヘッド基板とを所望の部分にて確実に接着する
ことができ、液滴形成の不良や印字品位の劣化を防ぐこ
とができる液体吐出ヘッドおよびその製造方法を提供す
ることを目的とするものである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、吐出エネル
ギー発生素子を有する液流路を備えたヘッド基板に光反
応型接着剤の層を介してオリフィスを備えたオリフィス
プレートを接合し、前記オリフィスプレート越しに前記
接着剤に光照射することで前記ヘッド基板と前記オリフ
ィスプレートとの少なくとも一部を接着する工程を含む
液体吐出ヘッドの製造方法において、前記オリフィスプ
レート越しに行われる接合後の光照射は、遮光マスクを
介して行うことを特徴とする。

【００１２】また、本発明の液体吐出ヘッドの製造方法
は、吐出エネルギー発生素子を有する液流路を備えたヘ
ッド基板に光反応型接着剤の層を介してオリフィスを備
えたオリフィスプレートを接合し、前記オリフィスプレ
ート上に光透過性の圧着板を圧接することで前記ヘッド
基板と前記オリフィスプレートとを圧着し、前記圧着板
および前記オリフィスプレート越しに前記接着剤に接合
後の光照射を行い、前記ヘッド基板と前記オリフィスプ
レートとの少なくとも一部を接着する工程を含む液体吐
出ヘッドの製造方法において、前記圧着板は所定の遮光
パターンを有することを特徴とする。

【００１３】本発明の液体吐出ヘッドの製造方法におい
て、前記オリフィスプレートはフェイス面となる面に予
め撥水層が形成されていることが好ましい。

【００１４】本発明の液体吐出ヘッドの製造方法におい
て、前記オリフィスプレート越しに行われる接合後の光
照射の領域は、少なくとも前記オリフィス近傍を除く領
域であることが好ましく、また、前記オリフィスプレー
ト越しに行われる接合後の光照射の領域は、前記オリフ
ィスプレート上に予めあるいは後工程で形成される親水
領域を含むことが好ましい。

【００１５】さらに、本発明の液体吐出ヘッドは、前述
した液体吐出ヘッドの製造方法によって製造されたこと
を特徴とする。

【００１６】

【作用】本発明の液体吐出ヘッドおよびその製造方法に
よれば、接合後露光によりオリフィスプレートをヘッド
基板に接着する液体吐出ヘッドの製造に際して、フェイ
ス面の所定の領域をマスキングして露光することで、オ
リフィスプレート表面の特定の領域が接着剤の硬化反応
のための光に晒されることを防ぎ、例えば、オリフィス
周囲のような撥水性の必要な領域の撥水層のオリフィス
プレートとの密着力を損なうことなく、オリフィスプレ
ートとヘッド基板とを所望の部分にて確実に接着するこ
とができる。これにより、フェイス面の撥水層の剥がれ
に伴う液滴形成の不良や印字品位の劣化を防ぐことがで
きる。さらに、遮光マスクを介して接合後露光を行うこ
とにより、オリフィスプレート内の脆弱な部分等の所定
箇所のＵＶ光による劣化を防止することができる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。

【００１８】図１は、本発明に係る液体吐出ヘッドの製
造方法に基づいて製造される液体吐出ヘッドを概略的に
示す分解斜視図であり、図２は、本発明に係る液体吐出
ヘッドの製造方法の一実施例において、オリフィスプレ
ートの作製手順を示す工程図であり、図３は、本発明に
係る液体吐出ヘッドの製造方法の一実施例において、オ
リフィスプレートの接合手順を示す工程図である。

【００１９】本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法に
基づいて製造される液体吐出ヘッドは、図１に示すよう
に、シリコンを基材料とするヘッド基板１と該ヘッド基
板１に接合されるオリフィスプレート１０とから主要部
が構成されるエッジシューター型の液体吐出ヘッドであ
り、ヘッド基板１は、吐出手段（吐出エネルギー発生素
子）としての発熱体３が形成された素子基板２と、素子
基板２上に液流路６を区画形成するための感光性樹脂か
らなる液流路壁４と、液流路６に液体を供給する液室
（不図示）が形成され素子基板２に対向して液流路６の
上面を形成する天板５とからなり、素子基板２と天板５
を液流路壁４を介して接合して構成される。天板５は、
シリコンを基材とし、異方性エッチングにより液室や液
供給口（不図示）が開口されている。ヘッド基板１のダ
イシング面であって液流路６が開口した側面がオリフィ
スプレート１０を接合する接合面８となる。

【００２０】オリフィスプレート１０は、フェイス面と
なる側の面に膜厚０．２μｍのフッ素系撥水層１２を塗
工する処理を施されたポリサルホンの５０μｍフィルム
であり、接合面の側からエキシマレーザ光を照射してオ
リフィス１１が開口されている。

【００２１】オリフィスプレート１０をヘッド基板１に
接着する接着剤は、光および熱反応型のカチオン重合エ
ポキシ接着剤を使用した。この接着剤は、ＵＶ光と８０
℃以上の熱のいずれに対しても架橋反応を開始する。特
に、ＵＶ光重合開始剤を調合することにより、３５０ｎ
ｍ波長以下のＵＶ光に対して作用を開始する。

【００２２】オリフィスプレート１０の基材であるポリ
サルホンの撥水膜を介しての光透過率は、３５０ｎｍ波
長光に対し約８４％、３１５ｎｍ波長光に対し約１９
％、３００ｎｍ波長光に対し約１．５％であり、光重合
開始剤の反応に必要なＵＶ光が、オリフィスプレート越
しに供給可能である。

【００２３】次に、オリフィスプレートの作製手順およ
び接合手順について、図２および図３を用いて、説明す
る。

【００２４】先ず、図２の（ａ）に示すオリフィスプレ
ート１０の基材であるポリサルホンフィルム１０ａの上
に、図２の（ｂ）に示すように、フッ素系撥水層１２を
形成する。この撥水層１２は、シランカップリング剤
（例えば、日本ユニカー製のＡ−１１１０）で前処理さ
れた表面に、溶媒により希釈されたフッ素系撥水剤（例
えば、旭硝子製のサイトップＣＴＸ−ＣＺ５Ａ）を液体
吐出方式（特開平９−３２３４２６号公報参照）によ
り、幅１００μｍの帯状パターンにコーティングするこ
とにより形成される。帯状のパターンの中心は、後に加
工形成されるオリフィス１１の列に略一致するように、
基材に対する位置が決められる。帯状の撥水パターン以
外の領域は親水性が比較的大きい親水領域１３として確
保される。

【００２５】撥水層１２のキュアの後、フェイス面を保
護するためのカバーフィルム１５を剥離可能な粘着部材
１５ａを介してフェイス面にラミネートし、エキシマレ
ーザ光１８の照射によるオリフィス１１の開口加工を行
う（図２の（ｃ））。その後に、ヘッド基板との接着性
促進のための表面処理を行い、そして、カバーフィルム
１５を粘着部材１５ａとともに剥離する。以上により、
図２の（ｄ）に示すように、ヘッド基板１に接合される
オリフィスプレート１０が完成する。

【００２６】オリフィスプレート１０をヘッド基板１に
接合する手順は、図３に示すように、ヘッド基板１の接
合面８への接着剤の転写、遮光マスクによるオリフィス
プレート１０のヘッド基板１への圧着接合、遮光マスク
を介してのＵＶ光の露光、接着剤の圧着キュアの順に行
われる。ヘッド基板１の接合面８は、接合前処理とし
て、減圧酸素プラズマ処理、シランカップリング処理が
施される。

【００２７】図３の（ａ）に示すように、転写基材であ
るＰＥＴフィルム２１上にカチオン重合エポキシ接着剤
２２を約２．８〜３．０μｍの薄膜に形成し、図３の
（ｂ）に示すように、ヘッド基板１の接合面８に約４０
０ｇの荷重でＰＥＴフィルム２１上の接着剤２２をゴム
ローラー転写する。接着剤２２は、いわゆる「泣き別
れ」により、図３の（ｃ）に示すように、接合面８上に
約１．５μｍの厚さで転写され、接着剤層２３が形成さ
れる。接合面８上の接着剤２３は液状態であり、タック
力と流動性を保持している。

【００２８】次に、図３の（ｃ）に示すオリフィスプレ
ート１０をヘッド基板１とを所定の位置関係で接触さ
せ、そして、図３の（ｄ）に示すように、圧着板を兼ね
る平滑な合成石英ガラスからなる遮光マスク２４にて圧
着する。圧着荷重は約３Ｋｇｆとした。遮光マスク２４
には、ＵＶ光を遮光するクロム膜によって幅１２０μｍ
の帯状の遮光パターン２５が設けられており、遮光パタ
ーン２５が図４の（ａ）および（ｂ）に示すようにオリ
フィスプレート１０の撥水層１２を覆うように、オリフ
ィスプレート１０と遮光マスク２４がアライメントされ
圧着される。

【００２９】その後に、図３の（ｅ）および図５の
（ａ）に示すように、光源２６としてのＢＬ−Ｂ型ケミ
カルランプにてＵＶ光２８を照射して、約４０００ｍＪ
／ｃｍ²（３６５ｎｍ波長光での積算値）の露光を行
い、遮光領域以外の接着剤を遮光マスク２４とオリフィ
スプレート１０を透過したＵＶ光２８によりＢステージ
化する。ケミカルランプ２６の照度は、約１．８ｍＷ／
ｃｍ² であった。この結果、図５の（ａ）および（ｂ）
に示すように、オリフィスプレート１０のフェイス面の
親水領域１３下の接着剤層２３ａの多くの部分がＢステ
ージ化し、撥水層１２を含む幅１２０μｍの領域下の接
着剤層２３ｂは未硬化のまま保持される。

【００３０】最後に、エポキシ接着剤の硬化反応を完了
するため、図３の（ｆ）に示すように、遮光マスク２４
によるオリフィスプレート１０の圧着を保持したまま１
２０℃に加熱し、キュアを行い、接合を終了する。加熱
は、Ｂステージ化された領域の接着剤２３ａの硬化促進
と、遮光された領域の接着剤層２３ｂの反応開始および
キュアを行う。この結果、図５の（ｃ）に示すように、
オリフィス１１の周囲を含む全ての領域の接着剤層２３
（２３ａ）が硬化して接着が完了する。

【００３１】このように圧着状態のまま加熱すること
で、オリフィスプレート１０とヘッド基板１との線膨張
差による位置ずれが阻害され、両者は、好適な位置関係
を保ったまま接着固定される。また、加熱前に、親水領
域１３下の接着剤層２３ａの硬化が両者の仮固定の働き
をするため、位置ずれの恐れはさらに小さい。

【００３２】さらに、本実施例によれば、接合後露光を
行う際に、吐出性能への影響が大きいオリフィス１１周
囲の撥水膜１２に剥離ダメージを与えることがない。す
なわち、接合後露光でオリフィスプレート１０越しに露
光する領域を、本実施例のように親水領域１３に対応す
る箇所、あるいは、撥水領域１２であっても吐出に影響
の少ない箇所（例えば、オリフィス１１から十分に離れ
た箇所）とすれば、液滴形成に悪影響を与えることな
く、耐インク性の高い接合後露光によるオリフィスプレ
ート１０の接着が可能である。

【００３３】また、接着に際してＵＶ光による基材の変
質を避けたい領域がある場合には、ＵＶ光による基材の
変質を避けたい領域に対しては前述した実施例のように
部分的な遮光を行い、その他の領域に対して接合後露光
を行う接着も考えられる。

【００３４】前述した実施例においては、遮光マスク２
４を圧着板として用いたが、これは光源と露光系の構成
を簡略するため、有益である。しかし、遮光マスク２４
を圧着板とすることは、本発明の必須の要件ではなく代
替方法も考えられる。その一つの方法は、投影露光機を
用いることである。圧着板を単なるＵＶ透過ガラスとし
て投影露光機を用いれば、圧着状態を保持したまま、接
着剤を硬化するための露光のパターンを同一構造のワー
クに対して順次変更して使用することもできる。また、
他の方法としては、カバーフィルム１５を利用して所定
の領域の遮光を行うこともできる。例えば、カバーフィ
ルム１５上にＵＶ遮光性インクにて遮光パターンを予め
印刷することも考えられる。

【００３５】次に、本発明の液体吐出ヘッドの他の実施
例について図６を用いて説明する。本実施例は、液体吐
出ヘッドの要求性能に応じて好適な遮光パターンを採用
した例であり、図６には３色のカラーインク（Ｙ、Ｍ、
Ｃ）を吐出する液体吐出ヘッドにおけるヘッド基板とオ
リフィスプレートを接合する態様を示す。

【００３６】本実施例では、複数の色の異なるインク
（例えば、Ｙ、Ｍ、Ｃ）を吐出する液体吐出ヘッドにお
いて、隣接する異色のインクがオリフィスプレートの剥
離により混色しないように、隣接する色の間の色間部３
０に相当する接着剤を接合後露光により確実に硬化する
ものである。

【００３７】図６において、複数の色の異なるインク
（例えば、Ｙ、Ｍ、Ｃ）を吐出する液体吐出ヘッドに用
いられるオリフィスプレート１０は、３色のインクをそ
れぞれ吐出するオリフィス群１１（Ｙ）、１１（Ｍ）、
１１（Ｃ）を有し、各オリフィス群１１（Ｙ）、１１
（Ｍ）、１１（Ｃ）のそれぞれの周囲は、前述した実施
例と同様に、撥水層１２が形成されている。このような
オリフィスプレート１０をヘッド基板に接合する際に、
オリフィスプレート１０を、ヘッド基板１に対する所定
の位置関係でヘッド基板１の接着剤層２３が形成された
接合面８に当接させ、各オリフィス群１１（Ｙ）、１１
（Ｍ）、１１（Ｃ）の周囲をそれぞれ遮光するように形
成された遮光パターン２５（Ｙ）、２５（Ｍ）、２５
（Ｃ）を有する遮光マスク２４を圧着して、遮光パター
ン２５（Ｙ）、２５（Ｍ）、２５（Ｃ）以外の領域の接
着剤層２３に対して露光を行う。これにより、各オリフ
ィス群１１の周囲の撥水層１２を含む遮光パターン２５
に対応する部分の接着剤層２３を未硬化とするが、隣接
する異色のオリフィス群１１の間の色間部３０、３０に
対応する接着剤層２３は、遮光パターン２５以外の他の
領域とともに、遮光されずに、接着剤硬化のための光が
オリフィスプレート１０越しに照射される。本実施例で
は、接着剤としては、光熱反応型の接着剤を使用した。
このように、色間部３０に相当する接着剤層２３を接合
後露光により確実に硬化させることができ、オリフィス
プレート１０の剥離による混色を防止することができ
る。そしてその後に、遮光パターン２５に対応する領域
の接着剤２３は、前述した実施例と同様に、その後の熱
キュアにより硬化させる。

【００３８】次に、本発明の液体吐出ヘッドのさらに他
の実施例について図７を用いて説明する。本実施例は、
前述した第１の実施例と同じ基材および撥水材料からな
るオリフィスプレートの接着に光反応型の接着剤を用い
る場合の例である。光反応型の接着剤は、ＵＶ光の露光
により反応が開始し、その後の加熱により化学反応が加
速されかつ十分な架橋がなされ、耐インク性を発現する
ことができる。このため、全ての領域で接合後露光が求
められる。

【００３９】本実施例では、光重合開始剤として第１の
実施例と同じく旭電化工業製のアデカオプトマーＳＰ−
１７０を調合し、熱重合開始剤を含まないカチオン重合
エポキシ接着剤を採用した。該接着剤は、高圧水銀灯
（例えば、ＨＯＹＡ製の高圧水銀ランプＥＸ−２５０）
を光源として用いたとき、ポリサルホンのオリフィスプ
レート表面にて約５０００ｍＪ／ｃｍ² （３６５ｎｍ波
長光での積算値）相当の露光をオリフィスプレート越し
に行うことで接着強度と品質上十分な耐インク性とが得
られる。

【００４０】また、使用するアルカリ性インク（ｐＨ＝
１０．７）に対して十分な密着性マージンを確認する８
０℃５日間の浸漬加速後のピール試験により、２５００
ｍＪ／ｃｍ²以下の露光では、撥水層の剥離がないこと
がわかった。

【００４１】そこで、本実施例では、図３に示すと同様
の手順に従い、全面が撥水コーティングされているオリ
フィスプレート１０に対して、図７に示すように、オリ
フィス１１の周囲２５を透過率５０％の遮光パターンで
遮光し、それ以外の領域を１００％透過とし、５０００
ｍＪ／ｃｍ² の接合後露光を行った。

【００４２】これにより、接着が必要な領域において、
オリフィス１１の周囲２５では、フェイス面での測定値
として少なくとも２５００ｍＪ／ｃｍ² のＵＶ光が照射
され、オリフィス１１の周囲２５以外の露光領域には５
０００ｍＪ／ｃｍ² のＵＶ光が照射された。この結果、
液体吐出ヘッドの使用中にオリフィス１１の周囲の撥水
層１２やオリフィスプレート１０自体の剥離は生じなか
った。

【００４３】前述した各実施例においては、エッジシュ
ーター型の液体吐出ヘッドについて説明しているが、本
発明は、これらに限定されるものではなく、例えば、オ
リフィスがヘッド基板上の吐出手段（吐出エネルギー発
生素子）と対向するようにオリフィスプレートとヘッド
基板を接合する構造のサイドシューター型の液体吐出ヘ
ッド（例えば、特開平９−１１８０１７号公報等参照）
においても、適用することができる。また、接合面への
接着剤層の形成も、転写法、スプレー法等の周知の手段
を用いることができる。さらに、親水領域の形成につい
ても、予め撥水されたフェイス面に対してアブレーショ
ンを利用して表面の撥水膜を除去することも考えられ
る。

【００４４】また、オリフィスプレートの基材について
も、その材料は、前述した各実施例に記載したものに限
定されるものではなく、該基材と基板との接着剤の反応
開始に必要な光の透過が可能であるならば、ポリイミ
ド、ＰＥＥＫ、ポリパラフェニレンテレフタルアミド等
を用いることもできる。接着剤についても同様である。

【００４５】例えば、ポリイミドをオリフィスプレート
基材とする構成では、宇部興産製のユーピレックスＳ−
２５（商品名）を基材とし、接着剤として、光重合開始
剤としてチバスペシャルティケミカル製のイルガキュア
７８４（商品名）を調合したラジカル重合型接着剤を採
用し、４００〜５００ｎｍ波長の光をオリフィスプレー
トを透過させ露光する材料系が挙げられる。

【００４６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
オリフィスプレートを接合後露光によりヘッド基板に接
着する液体吐出ヘッドの製造に際して、フェイス面の所
定の領域をマスキングして露光することで、オリフィス
プレート表面の特定の領域が接着剤の硬化反応のための
光に晒されることを防ぐことができ、オリフィス周囲の
ような撥水性の必要な領域の撥水層のオリフィスプレー
トとの密着力を損なうことなく、オリフィスプレートと
ヘッド基板とを所望の部分にて確実に接着することがで
きる。これにより、フェイス面の撥水層の剥がれに伴う
液滴形成の不良や印字品位の劣化を防ぐことができる。
さらに、遮光マスクを介して接合後露光を行うことによ
り、オリフィスプレート内の脆弱な部分等の所定箇所の
ＵＶ光劣化を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法に基づ
いて製造される液体吐出ヘッドを概略的に示す分解斜視
図である。

【図２】本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法の一実
施例において、オリフィスプレートの作製手順を示す工
程図である。

【図３】本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法の一実
施例においてオリフィスプレートの接合手順を示す工程
図である。

【図４】（ａ）および（ｂ）は、本発明に係る液体吐出
ヘッドの製造方法の一実施例のオリフィスプレートの接
合工程における遮光マスクとオリフィスプレートをアラ
イメントする際の遮光パターンとオリフィスプレートの
撥水層との関係を示す図である。

【図５】（ａ）ないし（ｃ）は、本発明に係る液体吐出
ヘッドの製造方法の一実施例のオリフィスプレートの接
合工程におけるオリフィスプレートの接着の進行状態を
説明する図である。

【図６】本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法の他の
実施例において遮光マスクの遮光パターンとオリフィス
プレートの撥水層および接着剤層との関係を説明するた
めの図である。

【図７】本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法の他の
実施例において遮光マスクの遮光パターンとオリフィス
プレートの撥水層および接着剤層との関係を説明するた
めの図である。

【図８】従来の液体吐出ヘッドを示す概略的な分解斜視
図である。

【符号の説明】

１ヘッド基板２素子基板３発熱体４液流路壁５天板６液流路８接合面（液流路開口面）１０オリフィスプレート１０ａオリフィスプレート基材１１オリフィス１２撥水層１３親水領域１５カバーフィルム２１転写基材２２接着剤２３接着剤層２３ａ（接着剤層の）硬化領域２３ｂ（接着剤層の）未硬化領域２４遮光マスク２５遮光パターン２６光源２８ＵＶ光３０色間部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者栗原香暁東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者山本裕之東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内Ｆターム(参考） 2C057 AF93 AG07 AP23 AP25 AP60 AQ10

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】吐出エネルギー発生素子を有する液流路
を備えたヘッド基板に光反応型接着剤の層を介してオリ
フィスを備えたオリフィスプレートを接合し、前記オリ
フィスプレート越しに前記接着剤に光照射することで前
記ヘッド基板と前記オリフィスプレートとの少なくとも
一部を接着する工程を含む液体吐出ヘッドの製造方法に
おいて、前記オリフィスプレート越しに行われる接合後
の光照射は、遮光マスクを介して行うことを特徴とする
液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２】吐出エネルギー発生素子を有する液流路
を備えたヘッド基板に光反応型接着剤の層を介してオリ
フィスを備えたオリフィスプレートを接合し、前記オリ
フィスプレート上に光透過性の圧着板を圧接することで
前記ヘッド基板と前記オリフィスプレートとを圧着し、
前記圧着板および前記オリフィスプレート越しに前記接
着剤に接合後の光照射を行い、前記ヘッド基板と前記オ
リフィスプレートとの少なくとも一部を接着する工程を
含む液体吐出ヘッドの製造方法において、前記圧着板は
所定の遮光パターンを有することを特徴とする液体吐出
ヘッドの製造方法。
【請求項３】前記オリフィスプレートはフェイス面と
なる面に予め撥水層が形成されていることを特徴とする
請求項１または２記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】前記オリフィスプレート越しに行われる
接合後の光照射の領域は、少なくとも前記オリフィス近
傍を除く領域であることを特徴とする請求項１ないし３
のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】前記オリフィスプレート越しに行われる
接合後の光照射の領域は、前記オリフィスプレート上に
予めあるいは後工程で形成される親水領域を含むことを
特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の液
体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項６】請求項１ないし５のいずれか１項に記載
の液体吐出ヘッドの製造方法によって製造されたことを
特徴とする液体吐出ヘッド。