JP3334894B2 - インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
インクジェット記録ヘッド及びその製造方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はインクを噴射し、飛翔液
滴を形成し、記録を行なうインクジェット記録ヘッドの
製造方法に関する。
滴を形成し、記録を行なうインクジェット記録ヘッドの
製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の感光性樹脂を用いたインクジェッ
ト記録ヘッドの製造方法は、特開昭５７ー４３８７６号
公報に記載されたように一層の感光性樹脂でインク流路
を形成することが知られていた。
ト記録ヘッドの製造方法は、特開昭５７ー４３８７６号
公報に記載されたように一層の感光性樹脂でインク流路
を形成することが知られていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】インクジェット記録ヘ
ッドのインク流路の粘性抵抗Ｒ、慣性抵抗Ｍはヘッドの
特性を支配する重要なファクターであり、例えば振動の
減衰をよくするためには大きな粘性抵抗Ｒ、即ち流路の
浅く幅の狭い部分、駆動電圧を低くして高い応答性を得
るためには小さな慣性抵抗Ｍ、即ち流路の深く幅の広い
部分が必要であり、二つの点を共存させるためには前述
のインク流路では、粘性抵抗得るためには幅を狭くする
しかないため感光性樹脂の解像度に左右され、現状の感
光性樹脂の構成ではこれを実現できないという問題点が
あった。
ッドのインク流路の粘性抵抗Ｒ、慣性抵抗Ｍはヘッドの
特性を支配する重要なファクターであり、例えば振動の
減衰をよくするためには大きな粘性抵抗Ｒ、即ち流路の
浅く幅の狭い部分、駆動電圧を低くして高い応答性を得
るためには小さな慣性抵抗Ｍ、即ち流路の深く幅の広い
部分が必要であり、二つの点を共存させるためには前述
のインク流路では、粘性抵抗得るためには幅を狭くする
しかないため感光性樹脂の解像度に左右され、現状の感
光性樹脂の構成ではこれを実現できないという問題点が
あった。
【０００４】そこで本発明は、インク流路の粘性抵抗、
慣性抵抗等のヘッド特性を支配するパラメータの設定の
自由度を上げるために、流路基板を複数層以上の感光性
樹脂層で形成する際、各層での位置ズレを可及的に少な
くすることができるインクジェット記録ヘッドの製造方
法を提案することである。
慣性抵抗等のヘッド特性を支配するパラメータの設定の
自由度を上げるために、流路基板を複数層以上の感光性
樹脂層で形成する際、各層での位置ズレを可及的に少な
くすることができるインクジェット記録ヘッドの製造方
法を提案することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】このような課題を達成す
るために本発明においては、感光性樹脂により圧力室、
前記圧力室の両側でそれぞれ連通するノズル、及びイン
ク供給口を有するインク流路が形成された流路基板と、
前記圧力室に対応して設けられたインク吐出発生素子と
を備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法におい
て、 （ａ）基板に第一の感光性樹脂層を形成し、第一のマス
クパターンによりマスクして前記インク流路のうち、前
記ノズル、及び前記ノズルの間、前記インク供給口及び
前記インク供給口の間だけを露光する第１の工程、 （ｂ）第一の感光性樹脂の上に、第二の感光性樹脂を形
成し、第二のマスクパターンによりマスクして前記圧力
室となる領域が露光を受けないように第二の感光性樹脂
層、及び第一の感光性樹脂層を共に露光する第２の工
程、 （ｃ）第一、及び第二の感光性樹脂を現像して第一、及
び第二の感光性樹脂の未露光領域を除去する第３の工
程、を上記順序で実行するようにした。
るために本発明においては、感光性樹脂により圧力室、
前記圧力室の両側でそれぞれ連通するノズル、及びイン
ク供給口を有するインク流路が形成された流路基板と、
前記圧力室に対応して設けられたインク吐出発生素子と
を備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法におい
て、 （ａ）基板に第一の感光性樹脂層を形成し、第一のマス
クパターンによりマスクして前記インク流路のうち、前
記ノズル、及び前記ノズルの間、前記インク供給口及び
前記インク供給口の間だけを露光する第１の工程、 （ｂ）第一の感光性樹脂の上に、第二の感光性樹脂を形
成し、第二のマスクパターンによりマスクして前記圧力
室となる領域が露光を受けないように第二の感光性樹脂
層、及び第一の感光性樹脂層を共に露光する第２の工
程、 （ｃ）第一、及び第二の感光性樹脂を現像して第一、及
び第二の感光性樹脂の未露光領域を除去する第３の工
程、を上記順序で実行するようにした。
【０００６】
【実施例】本発明の実施例を図によって示す。図１乃至
図５は本発明のインクジェット記録ヘッドの流路基板の
製造方法を示す工程図である。
図５は本発明のインクジェット記録ヘッドの流路基板の
製造方法を示す工程図である。
【０００７】図１においてガラス基板１に第一層感光性
樹脂２ａをラミネートする。
樹脂２ａをラミネートする。
【０００８】図２において図１の第一層感光性樹脂２ａ
を、インク流路の深い部分、即ち圧力室５ｂ、インクリ
ザーバ５ｄ（図４参照）を造るための第一マスクパター
ン３を使って高圧水銀灯の光源９により露光する。
を、インク流路の深い部分、即ち圧力室５ｂ、インクリ
ザーバ５ｄ（図４参照）を造るための第一マスクパター
ン３を使って高圧水銀灯の光源９により露光する。
【０００９】図３において、図２の露光された第一層感
光性樹脂２ａの上に第二層感光性樹脂２ｂをラミネート
し、インク流路全体、即ちノズル５ａ、圧力室５ｂ、供
給口５ｃ、インクリザーバー５ｄを造るための第二マス
クパターン４を使って光源９により露光する。感光性樹
脂２は溶剤可溶性であるが、露光された部分の感光性樹
脂は重合反応が起こり溶剤不溶性になる。
光性樹脂２ａの上に第二層感光性樹脂２ｂをラミネート
し、インク流路全体、即ちノズル５ａ、圧力室５ｂ、供
給口５ｃ、インクリザーバー５ｄを造るための第二マス
クパターン４を使って光源９により露光する。感光性樹
脂２は溶剤可溶性であるが、露光された部分の感光性樹
脂は重合反応が起こり溶剤不溶性になる。
【００１０】図４は、図３の状態の第一層感光性樹脂２
ａ及び第二層感光性樹脂２ｂの露光されなかった部分を
有機溶剤により溶解させて現像し、インク流路５を形成
した後の形状を示す。
ａ及び第二層感光性樹脂２ｂの露光されなかった部分を
有機溶剤により溶解させて現像し、インク流路５を形成
した後の形状を示す。
【００１１】図５において、図４の第二層感光性樹脂２
ｂの上にＰＺＴ素子７の様な駆動素子の付いた振動板６
をラミネートすることで、ノズル５ａ、圧力室５ｂ、供
給口５ｃ、インクリザーバ５ｄのような流路を持ったイ
ンクジェット記録ヘッドの流路基板を形成する。
ｂの上にＰＺＴ素子７の様な駆動素子の付いた振動板６
をラミネートすることで、ノズル５ａ、圧力室５ｂ、供
給口５ｃ、インクリザーバ５ｄのような流路を持ったイ
ンクジェット記録ヘッドの流路基板を形成する。
【００１２】また本発明の別の実施例を図６に示す。図
２で述べた露光された第一層感光性樹脂２ａの上に、第
二層感光性樹脂、第三層感光性樹脂・・・とそれぞれ異
なるマスクパターンを用いた露光現像を数回繰り返し、
インク流路５として３種類以上の流路深さがある流路基
板を形成することが可能である。
２で述べた露光された第一層感光性樹脂２ａの上に、第
二層感光性樹脂、第三層感光性樹脂・・・とそれぞれ異
なるマスクパターンを用いた露光現像を数回繰り返し、
インク流路５として３種類以上の流路深さがある流路基
板を形成することが可能である。
【００１３】図６において感光性樹脂を３回、ラミネー
ト及びそれぞれ異なるマスクパターンを用いて露光し、
現像したインク流路即ちノズル５ａ、圧力室５ｂ、供給
口５ｃ、インクリザーバー５ｄの形状を示す。ここで、
ノズル５ａと圧力室５ｂとインクリザーバー５ｄは、そ
れぞれ深さが異なる。
ト及びそれぞれ異なるマスクパターンを用いて露光し、
現像したインク流路即ちノズル５ａ、圧力室５ｂ、供給
口５ｃ、インクリザーバー５ｄの形状を示す。ここで、
ノズル５ａと圧力室５ｂとインクリザーバー５ｄは、そ
れぞれ深さが異なる。
【００１４】図７は図４におけるＡーＡ’での断面図で
あり、インク流路は第一層感光性樹脂２ａ及び第二層感
光性樹脂２ｂの二層により構成される。それに対して、
図８は図６におけるＢーＢ’での断面図であり、インク
流路は第一層感光性樹脂２ａ、第二層感光性樹脂２ｂ、
第三層感光性樹脂２ｃの三層により構成され、図４のイ
ンク流路に比べてさらに多くの流路深さを持った流路を
形成し、インク流路の特性パラメータの設定にさらに自
由度をもたせることがことが可能である。
あり、インク流路は第一層感光性樹脂２ａ及び第二層感
光性樹脂２ｂの二層により構成される。それに対して、
図８は図６におけるＢーＢ’での断面図であり、インク
流路は第一層感光性樹脂２ａ、第二層感光性樹脂２ｂ、
第三層感光性樹脂２ｃの三層により構成され、図４のイ
ンク流路に比べてさらに多くの流路深さを持った流路を
形成し、インク流路の特性パラメータの設定にさらに自
由度をもたせることがことが可能である。
【００１５】以上の実施例では、第一マスクパターン３
と第二マスクパターン４の位置合わせがずれた場合、イ
ンク流路が第一層と第二層でずれて流路の特性パラメー
タが変化してしまい、印字品位等の劣化を招く虞れがあ
る。
と第二マスクパターン４の位置合わせがずれた場合、イ
ンク流路が第一層と第二層でずれて流路の特性パラメー
タが変化してしまい、印字品位等の劣化を招く虞れがあ
る。
【００１６】この実施例においては、前述の図２におい
て示した第一マスクパターン３に換えて別の第一マスク
パターン８、つまり、第一層感光性樹脂２ａの、ノズル
５ａ及びノズル５ａ間の部分、供給口５ｃ及び供給口間
の部分のみに透光部を備えたマスクパターン８を用い
る。 このマスクパターン８により第一層感光性樹脂２ａ
を露光すると、第一層感光性樹脂２ａの、ノズル５ａ及
びノズル５ａ間の部分、供給口５ｃ及び供給口間の部分
だけが露光を受け、これらの部分が有機溶媒に対して不
溶解となる。 第一層の感光性樹脂２ａの露光工程が終了
した段階で、第二層刊行樹脂形成して、前述の図３に示
した形成すべき流路全体を非露光領域とするパターンが
形成された第二マスクパターン４を用いて、第一層及び
第二層感光性樹脂に露光を行う。 これにより、第二層感
光性樹脂は、ノズル５ａ及びノズル５ａ間の部分、供給
口５ｃ及び供給口間、圧力室５ｂ及びインクリザーバー
５、つまり流路全体が未露光領域となり、また第一層感
光性樹脂は、ノズル５ａ及びノズル５ａ間の部分、供給
口５ｃ及び供給口間以外の領域、つまり、圧力室５ｂ及
びインクリザーバー５が未露光領域となる。この状態
で、第一、及び第二層感光性樹脂を有機溶剤により現像
する。
て示した第一マスクパターン３に換えて別の第一マスク
パターン８、つまり、第一層感光性樹脂２ａの、ノズル
５ａ及びノズル５ａ間の部分、供給口５ｃ及び供給口間
の部分のみに透光部を備えたマスクパターン８を用い
る。 このマスクパターン８により第一層感光性樹脂２ａ
を露光すると、第一層感光性樹脂２ａの、ノズル５ａ及
びノズル５ａ間の部分、供給口５ｃ及び供給口間の部分
だけが露光を受け、これらの部分が有機溶媒に対して不
溶解となる。 第一層の感光性樹脂２ａの露光工程が終了
した段階で、第二層刊行樹脂形成して、前述の図３に示
した形成すべき流路全体を非露光領域とするパターンが
形成された第二マスクパターン４を用いて、第一層及び
第二層感光性樹脂に露光を行う。 これにより、第二層感
光性樹脂は、ノズル５ａ及びノズル５ａ間の部分、供給
口５ｃ及び供給口間、圧力室５ｂ及びインクリザーバー
５、つまり流路全体が未露光領域となり、また第一層感
光性樹脂は、ノズル５ａ及びノズル５ａ間の部分、供給
口５ｃ及び供給口間以外の領域、つまり、圧力室５ｂ及
びインクリザーバー５が未露光領域となる。この状態
で、第一、及び第二層感光性樹脂を有機溶剤により現像
する。
【００１７】その結果、ノズル５ａ及び供給ロ５ｃ部の
第一層感光性樹脂２ａは硬化されて現像されない、つま
り有機溶媒に不溶となりその部分のインク流路は、圧力
室５ｂ及びインクリザーバー５ｃよりも深さが１層分浅
くなる。 また、第二マスクパターン４による露光によっ
ても、第一層感光性樹脂２ａ、第二層感光性樹脂２ｂの
圧力室５ｂ及びインクリザーバー５ｃの領域がともに、
未露光領域として残っているから、これらの領域は、第
一層感光性樹脂２ａ、第二層感光性樹脂２ｂが共に溶解
される。 もとより、圧力室５ｂ及びインクリザーバー５
ｃとなる領域の第一層、及び第二層感光性樹脂が単一の
マスクにより露光を受けるから、これら領域でのマスク
の位置ズレは生じない。
第一層感光性樹脂２ａは硬化されて現像されない、つま
り有機溶媒に不溶となりその部分のインク流路は、圧力
室５ｂ及びインクリザーバー５ｃよりも深さが１層分浅
くなる。 また、第二マスクパターン４による露光によっ
ても、第一層感光性樹脂２ａ、第二層感光性樹脂２ｂの
圧力室５ｂ及びインクリザーバー５ｃの領域がともに、
未露光領域として残っているから、これらの領域は、第
一層感光性樹脂２ａ、第二層感光性樹脂２ｂが共に溶解
される。 もとより、圧力室５ｂ及びインクリザーバー５
ｃとなる領域の第一層、及び第二層感光性樹脂が単一の
マスクにより露光を受けるから、これら領域でのマスク
の位置ズレは生じない。
【００１８】以上説明した実施例では感光性樹脂を用い
て流路基板を形成したが、液状レジストを用いることも
可能である。しかし、レジスト厚みの設定が容易かつ正
確に出来る点で固体フィルムのものを用いる方が有利で
ある。このような固体フィルムで、現像液が溶剤タイプ
のものとしては、例えば日立化成工業（株）製photecSR
-1300G,同SR-3000,東京応化工業（株）製オーディルPR-
150,同SE-200,同SP-700,アルカリ現像タイプのものとし
ては、日立化成工業（株）製photecSR-2200G,同SR-2300
G,富士ハントエレクトロニクステクノロジー（株）製A-
400,同FH-5100,同FH-6100,等の商品名で市販されている
ものがある。
て流路基板を形成したが、液状レジストを用いることも
可能である。しかし、レジスト厚みの設定が容易かつ正
確に出来る点で固体フィルムのものを用いる方が有利で
ある。このような固体フィルムで、現像液が溶剤タイプ
のものとしては、例えば日立化成工業（株）製photecSR
-1300G,同SR-3000,東京応化工業（株）製オーディルPR-
150,同SE-200,同SP-700,アルカリ現像タイプのものとし
ては、日立化成工業（株）製photecSR-2200G,同SR-2300
G,富士ハントエレクトロニクステクノロジー（株）製A-
400,同FH-5100,同FH-6100,等の商品名で市販されている
ものがある。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、複
数層の層に形成されるインク流路のパターンに位置ズレ
を生じさせることなく、インク供給口を浅部として形成
することができる。
数層の層に形成されるインク流路のパターンに位置ズレ
を生じさせることなく、インク供給口を浅部として形成
することができる。
【図１】ガラス基板への感光性樹脂のラミネートの実施
例の図である。
例の図である。
【図２】感光性樹脂の第一マスクパターンによる紫外線
露光の実施例の図である。
露光の実施例の図である。
【図３】さらに感光性樹脂をラミネートして第二マスク
パターンで露光する実施例の図である。
パターンで露光する実施例の図である。
【図４】感光性樹脂を現像することにより流路基板を形
成する実施例の図である。
成する実施例の図である。
【図５】流路基板に振動板を接着することでヘッドを形
成する実施例の図である。
成する実施例の図である。
【図６】感光性樹脂のラミネートや露光の操作を、３回
以上繰り返して現像することで、３種類以上の流路深さ
のある流路基板を形成する実施例の図である。
以上繰り返して現像することで、３種類以上の流路深さ
のある流路基板を形成する実施例の図である。
【図７】図４におけるＡーＡ’での断面図である。
【図８】図６におけるＢーＢ’での断面図である。
【図９】感光性樹脂を硬化させなければならない部分の
みを露光させるマスクパターンを用いた実施例の図であ
る。
みを露光させるマスクパターンを用いた実施例の図であ
る。
１ ガラス基板 ２ａ 第一層感光性樹脂 ２ｂ 第二層感光性樹脂 ２ｃ 第三層感光性樹脂 ３ 第一マスクパターン ４ 第二マスクパターン ５ａ ノズル ５ｂ 圧力室 ５ｃ 供給口 ５ｄ インクリザーバー ６ 振動板 ７ ＰＺＴ素子 ８ 別の第一マスクパターン ９ 光源
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き 合議体 審判長 小沢 和英 審判官 後藤 時男 審判官 番場 得造 (56)参考文献 特開 昭60−183154（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−208053（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−89163（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−106260（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B41J 3/04
Claims (1)
- 【請求項１】 感光性樹脂により圧力室、前記圧力室の
両側でそれぞれ連通するノズル、及びインク供給口を有
するインク流路が形成された流路基板と、前記圧力室に
対応して設けられたインク吐出発生素子とを備えたイン
クジェット記録ヘッドの製造方法において、 （ａ）基板に第一の感光性樹脂層を形成し、第一のマス
クパターンによりマスクして前記インク流路のうち、前
記ノズル、及び前記ノズルの間、前記インク供給口及び
前記インク供給口の間だけを露光する第１の工程、 （ｂ）第一の感光性樹脂の上に、第二の感光性樹脂を形
成し、第二のマスクパターンによりマスクして前記圧力
室となる領域が露光を受けないように第二の感光性樹脂
層、及び第一の感光性樹脂層を共に露光する第２の工
程、 （ｃ）第一、及び第二の感光性樹脂を現像して第一、及
び第二の感光性樹脂の未露光領域を除去する第３の工
程、を上記順序で実行する インクジェット記録ヘッドの製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14736691A JP3334894B2 (ja) | 1991-06-19 | 1991-06-19 | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14736691A JP3334894B2 (ja) | 1991-06-19 | 1991-06-19 | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04369546A JPH04369546A (ja) | 1992-12-22 |
| JP3334894B2 true JP3334894B2 (ja) | 2002-10-15 |
Family
ID=15428595
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14736691A Expired - Fee Related JP3334894B2 (ja) | 1991-06-19 | 1991-06-19 | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3334894B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007261146A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Fuji Electric Systems Co Ltd | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3045180B2 (ja) | 1996-06-04 | 2000-05-29 | シチズン時計株式会社 | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
| US6303274B1 (en) | 1998-03-02 | 2001-10-16 | Hewlett-Packard Company | Ink chamber and orifice shape variations in an ink-jet orifice plate |
| KR100445004B1 (ko) * | 2002-08-26 | 2004-08-21 | 삼성전자주식회사 | 모노리틱 잉크 젯 프린트 헤드 및 이의 제조 방법 |
-
1991
- 1991-06-19 JP JP14736691A patent/JP3334894B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007261146A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Fuji Electric Systems Co Ltd | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04369546A (ja) | 1992-12-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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