JPH09300627A - インクジェット用ノズルプレートの製造方法 - Google Patents
インクジェット用ノズルプレートの製造方法Info
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- JPH09300627A JPH09300627A JP11776996A JP11776996A JPH09300627A JP H09300627 A JPH09300627 A JP H09300627A JP 11776996 A JP11776996 A JP 11776996A JP 11776996 A JP11776996 A JP 11776996A JP H09300627 A JPH09300627 A JP H09300627A
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 撥インク性皮膜を、ノズル開口部に侵入させ
ることなくワイピング耐久性のある厚さでインク吐出面
に形成する。 【解決手段】 ネガ型のフォトレジストをディップコー
トにより全面に塗布（図１（Ｂ））、プリベーク後、イ
ンク液室面側３から平行紫外光を照射し現像することに
より、ノズル吐出面側４のフォトレジストを取り除きポ
ストベークを行う（図１（Ｃ））。更に、スピンコート
によりノズル吐出面側４に３μｍ以上の厚さのフォトレ
ジスト５ａを塗布する（図１（Ｄ））。ノズル吐出面側
４の裏面から再び平行紫外光を照射し、現像後ポイスト
ベークしてノズル部塔５ｂを形成（図１（Ｅ））し、こ
れを精密マスキングとして２μｍ以上の膜厚の撥インク
性膜６を形成（図１（Ｆ））後、フォトレジスト５を取
り除く（図１（Ｇ））。
ることなくワイピング耐久性のある厚さでインク吐出面
に形成する。 【解決手段】 ネガ型のフォトレジストをディップコー
トにより全面に塗布（図１（Ｂ））、プリベーク後、イ
ンク液室面側３から平行紫外光を照射し現像することに
より、ノズル吐出面側４のフォトレジストを取り除きポ
ストベークを行う（図１（Ｃ））。更に、スピンコート
によりノズル吐出面側４に３μｍ以上の厚さのフォトレ
ジスト５ａを塗布する（図１（Ｄ））。ノズル吐出面側
４の裏面から再び平行紫外光を照射し、現像後ポイスト
ベークしてノズル部塔５ｂを形成（図１（Ｅ））し、こ
れを精密マスキングとして２μｍ以上の膜厚の撥インク
性膜６を形成（図１（Ｆ））後、フォトレジスト５を取
り除く（図１（Ｇ））。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェット用
ノズルプレートの製造方法に関し、より詳細には、イン
クジェットプリンタにおけるヘッドノズルの表面処理方
法に関し、金属材料の表面処理技術に好適に利用され
る。
ノズルプレートの製造方法に関し、より詳細には、イン
クジェットプリンタにおけるヘッドノズルの表面処理方
法に関し、金属材料の表面処理技術に好適に利用され
る。
【０００２】
【従来の技術】インクジェットプリンタにおいて、ノズ
ルから吐出されるインク滴が一定方向に吐出されず、吐
出方向が不定でばらつきがあると、印字品質が大きく劣
化するので、プリンタとしては致命的な欠陥となる。ノ
ズルからのインク滴の安定性は、ノズル面の濡れ性が大
きく影響するので、インク滴の吐出方向を常に安定させ
るための手段として、一般に、インク吐出面側に撥水性
材料により撥水膜を形成するという手段が知られてい
る。しかし、インク吐出面側に撥水膜を形成する際に、
撥水膜がノズル開口部内に侵入して撥水膜を形成しては
いけない部分にまで撥水膜が形成されるという問題があ
る。
ルから吐出されるインク滴が一定方向に吐出されず、吐
出方向が不定でばらつきがあると、印字品質が大きく劣
化するので、プリンタとしては致命的な欠陥となる。ノ
ズルからのインク滴の安定性は、ノズル面の濡れ性が大
きく影響するので、インク滴の吐出方向を常に安定させ
るための手段として、一般に、インク吐出面側に撥水性
材料により撥水膜を形成するという手段が知られてい
る。しかし、インク吐出面側に撥水膜を形成する際に、
撥水膜がノズル開口部内に侵入して撥水膜を形成しては
いけない部分にまで撥水膜が形成されるという問題があ
る。
【０００３】特開平６−１４３５８７号公報に記載され
たインクジェットヘッドの製造方法は、撥水膜がノズル
開口部内に侵入することの解決案として提案されたもの
で、撥水性材料をしみ込ませたウレタンフォームをノズ
ル面に接触させ、撥水性材料ウレタンフォームの毛細管
力が、ノズル開口の毛細管力よりも大きいことを利用し
て、ノズル開口部内に侵入させないようにしてインク吐
出面側に撥水膜を形成する方法である。
たインクジェットヘッドの製造方法は、撥水膜がノズル
開口部内に侵入することの解決案として提案されたもの
で、撥水性材料をしみ込ませたウレタンフォームをノズ
ル面に接触させ、撥水性材料ウレタンフォームの毛細管
力が、ノズル開口の毛細管力よりも大きいことを利用し
て、ノズル開口部内に侵入させないようにしてインク吐
出面側に撥水膜を形成する方法である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、この方法で
は、形成できる撥水膜の膜厚は、０．１μｍ前後であ
る。インクジェットノズルでは、インク吐出方向を安定
させるために、インク吐出の前後でゴム等のブレードで
ワイピングを行っているので、上記程度の膜厚の撥イン
ク性皮膜では、長時間ワイピングを行ううちに、撥イン
ク性皮膜が摩耗して、撥インク性が失われる恐れがあ
る。かといって、上記方法では、形成する撥インク性皮
膜の膜厚を厚くしようとすると、撥インク性材料がノズ
ル開口部内にまで侵入することが考えられる。
は、形成できる撥水膜の膜厚は、０．１μｍ前後であ
る。インクジェットノズルでは、インク吐出方向を安定
させるために、インク吐出の前後でゴム等のブレードで
ワイピングを行っているので、上記程度の膜厚の撥イン
ク性皮膜では、長時間ワイピングを行ううちに、撥イン
ク性皮膜が摩耗して、撥インク性が失われる恐れがあ
る。かといって、上記方法では、形成する撥インク性皮
膜の膜厚を厚くしようとすると、撥インク性材料がノズ
ル開口部内にまで侵入することが考えられる。
【０００５】本発明は、上述した実情に鑑みてなされた
もので、ワイピング耐久性のある厚さをもった撥インク
性皮膜を、ノズル開口部に侵入させることなく形成する
ことを目的とするものである。
もので、ワイピング耐久性のある厚さをもった撥インク
性皮膜を、ノズル開口部に侵入させることなく形成する
ことを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、ノズ
ルプレートのインク吐出面側に撥インク性皮膜を形成す
る工程において、前記ノズルプレートのノズル孔をマス
キングするために、ネガ型フォトレジストを使用するこ
とを特徴とし、もって、低コストのインクジェット用ノ
ズルプレートを供給するようにしたものである。
ルプレートのインク吐出面側に撥インク性皮膜を形成す
る工程において、前記ノズルプレートのノズル孔をマス
キングするために、ネガ型フォトレジストを使用するこ
とを特徴とし、もって、低コストのインクジェット用ノ
ズルプレートを供給するようにしたものである。
【０００７】請求項２の発明は、請求項１に記載のネガ
型フォトレジストにより、マスキングを施すための手段
として、ディップコートによるノズル前面への該ネガ型
フォトレジストの塗布→プリベーク→インク吐出面の逆
側からの露光→現像→ポストベーク→スピンコートによ
るインク吐出面への該ネガ型フォトレジストの塗布→イ
ンク吐出面の逆側からの露光→現像→ポストベーク、と
いう工程を用いたことを特徴とし、もって、撥インク性
皮膜形成時の精密マスキングをするようにしたものであ
る。
型フォトレジストにより、マスキングを施すための手段
として、ディップコートによるノズル前面への該ネガ型
フォトレジストの塗布→プリベーク→インク吐出面の逆
側からの露光→現像→ポストベーク→スピンコートによ
るインク吐出面への該ネガ型フォトレジストの塗布→イ
ンク吐出面の逆側からの露光→現像→ポストベーク、と
いう工程を用いたことを特徴とし、もって、撥インク性
皮膜形成時の精密マスキングをするようにしたものであ
る。
【０００８】請求項３の発明は、請求項２に記載のイン
クジェット用ノズルプレートの製造方法において、スピ
ンコートによりインク吐出面に塗布する前記ネガ型フォ
トレジストの膜厚を、３μｍ以上としたことを特徴と
し、もって、耐久性のある撥インク性皮膜を形成するよ
うにしたものである。
クジェット用ノズルプレートの製造方法において、スピ
ンコートによりインク吐出面に塗布する前記ネガ型フォ
トレジストの膜厚を、３μｍ以上としたことを特徴と
し、もって、耐久性のある撥インク性皮膜を形成するよ
うにしたものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明によるインクジェット用ノ
ズルプレートの製造方法の実施形態において、マスキン
グに使用するフォトレジストは、撥インク性皮膜形成時
の前処理工程で、酸，アルカリにより洗浄を行う場合を
想定し、耐薬品性の高いネガ型フォトレジストを用い
る。これに適したネガ型フォトレジストの例として、東
京応化ＯＭＲ８３又はＯＭＲ８５があげられる。なお、
ネガ型フォトレジストは、ポジ型フォトレジストに比べ
て価格が半額以下であり、ネガ型フォトレジストは価格
的にも有利である。次に、インクジェット用ノズルプレ
ートの製造方法を工程順に図に基づいて説明する。
ズルプレートの製造方法の実施形態において、マスキン
グに使用するフォトレジストは、撥インク性皮膜形成時
の前処理工程で、酸，アルカリにより洗浄を行う場合を
想定し、耐薬品性の高いネガ型フォトレジストを用い
る。これに適したネガ型フォトレジストの例として、東
京応化ＯＭＲ８３又はＯＭＲ８５があげられる。なお、
ネガ型フォトレジストは、ポジ型フォトレジストに比べ
て価格が半額以下であり、ネガ型フォトレジストは価格
的にも有利である。次に、インクジェット用ノズルプレ
ートの製造方法を工程順に図に基づいて説明する。
【００１０】図１は、本発明によるインクジェット用の
ノズルプレートの製造方法の実施形態における工程を説
明するための図で、図１（Ａ）は、撥インク処理前のノ
ズルプレートの断面図、図１（Ｂ）は、ディップコート
によってフォトレジストを塗布した状態のノズルプレー
ト断面図、図１（Ｃ）は、図１（Ｂ）のノズルプレート
にインク液室面側から平行紫外光露光後、現像，ポスト
ベークを行った状態のノズルプレート断面図、図１
（Ｄ）は、図１（Ｃ）のノズルプレートのインク吐出面
側にスピンコートによってフォトレジストを塗布した状
態のノズルプレート断面図、図１（Ｅ）は、図１（Ｄ）
のノズルプレートにインク液室面側から平行紫外光露光
後、現像，ポストベークを行った状態のノズルプレート
断面図、図１（Ｆ）は、図１（Ｄ）のノズルプレートの
インク吐出面側に撥インク性皮膜を形成した状態のノズ
ルプレート断面図、図１（Ｇ）は、図１（Ｆ）のノズル
プレートからフォトレジストを剥離した状態のノズルプ
レート断面図で、図中、１はノズルプレート、２はノズ
ル孔、３はインク液室面側、４はプレート１のインク吐
出面側、５はネが型フォトレジスト（以後、フォトレジ
ストと記す）、６は撥インク性皮膜である。
ノズルプレートの製造方法の実施形態における工程を説
明するための図で、図１（Ａ）は、撥インク処理前のノ
ズルプレートの断面図、図１（Ｂ）は、ディップコート
によってフォトレジストを塗布した状態のノズルプレー
ト断面図、図１（Ｃ）は、図１（Ｂ）のノズルプレート
にインク液室面側から平行紫外光露光後、現像，ポスト
ベークを行った状態のノズルプレート断面図、図１
（Ｄ）は、図１（Ｃ）のノズルプレートのインク吐出面
側にスピンコートによってフォトレジストを塗布した状
態のノズルプレート断面図、図１（Ｅ）は、図１（Ｄ）
のノズルプレートにインク液室面側から平行紫外光露光
後、現像，ポストベークを行った状態のノズルプレート
断面図、図１（Ｆ）は、図１（Ｄ）のノズルプレートの
インク吐出面側に撥インク性皮膜を形成した状態のノズ
ルプレート断面図、図１（Ｇ）は、図１（Ｆ）のノズル
プレートからフォトレジストを剥離した状態のノズルプ
レート断面図で、図中、１はノズルプレート、２はノズ
ル孔、３はインク液室面側、４はプレート１のインク吐
出面側、５はネが型フォトレジスト（以後、フォトレジ
ストと記す）、６は撥インク性皮膜である。
【００１１】図１（Ａ）は、撥インク性皮膜６を施すノ
ズルプレート１を示し、該ノズルプレート１は、電鋳等
により成形され、多数のノズル孔２を有しており、イン
ク液室面側を３、インク吐出面側を４としている。
ズルプレート１を示し、該ノズルプレート１は、電鋳等
により成形され、多数のノズル孔２を有しており、イン
ク液室面側を３、インク吐出面側を４としている。
【００１２】第１工程（ノズルプレートの全面にフォト
レジストを塗布する）…図１（Ｂ） フォトレジスト５を、ノズル２を含むノズルプレート１
の全面にディップコートにより塗布する。この場合、フ
ォトレジスト５の粘度が低すぎると、ノズル孔２全体を
フォトレジスト５で塞ぐことができない。しかし、フォ
トレジスト５の粘度が３０ｃｐ（センチポアーズ）以上
であれば、ノズル孔２全体を塞ぐことができる。このた
め、フォトレジスト５の粘度を３０ｃｐ以上にする。
レジストを塗布する）…図１（Ｂ） フォトレジスト５を、ノズル２を含むノズルプレート１
の全面にディップコートにより塗布する。この場合、フ
ォトレジスト５の粘度が低すぎると、ノズル孔２全体を
フォトレジスト５で塞ぐことができない。しかし、フォ
トレジスト５の粘度が３０ｃｐ（センチポアーズ）以上
であれば、ノズル孔２全体を塞ぐことができる。このた
め、フォトレジスト５の粘度を３０ｃｐ以上にする。
【００１３】第２工程（インク吐出面側のフォトレジス
トだけを取り除く）…図１（Ｃ） ディップコートにより全面にフォトレジスト５を塗布し
たノズルプレート１をプリベークしてノズルプレート１
にフォトレジスト５を密着させ乾燥する。その後、イン
ク吐出面側４の逆側の面、すなわち、インク液室面側３
に平行紫外光を照射する。これを現像してインク吐出面
側３のフォトレジスト５を完全に除去し、ノズル孔２に
フォトレジスト５が充填された状態とする。
トだけを取り除く）…図１（Ｃ） ディップコートにより全面にフォトレジスト５を塗布し
たノズルプレート１をプリベークしてノズルプレート１
にフォトレジスト５を密着させ乾燥する。その後、イン
ク吐出面側４の逆側の面、すなわち、インク液室面側３
に平行紫外光を照射する。これを現像してインク吐出面
側３のフォトレジスト５を完全に除去し、ノズル孔２に
フォトレジスト５が充填された状態とする。
【００１４】この状態で、一旦、ポストベークを行い、
フォトレジスト５を硬化させる。この工程を省略する
と、次工程でフォトレジスト５をスピンコートすると
き、工程１でディップコートにより塗布したフォトレジ
スト５が溶解してしまう。
フォトレジスト５を硬化させる。この工程を省略する
と、次工程でフォトレジスト５をスピンコートすると
き、工程１でディップコートにより塗布したフォトレジ
スト５が溶解してしまう。
【００１５】第３工程（インク吐出面側にフォトレジス
トを塗布する）…図１（Ｄ） 第２工程でフォトレジスト５を取り除いたインク吐出面
側４に、再び、スピンコートによりフォトレジスト５ａ
を塗布する。このとき、スピンコーターの回転数とフォ
トレジスト５ａの粘度を調節して塗布したフォトレジス
ト５ａの膜厚が３μｍ以上になるようにする。
トを塗布する）…図１（Ｄ） 第２工程でフォトレジスト５を取り除いたインク吐出面
側４に、再び、スピンコートによりフォトレジスト５ａ
を塗布する。このとき、スピンコーターの回転数とフォ
トレジスト５ａの粘度を調節して塗布したフォトレジス
ト５ａの膜厚が３μｍ以上になるようにする。
【００１６】第４工程（ノズル孔のインク吐出面側にフ
ォトレジストによる突出部を形成する）…図１（Ｅ） 第３工程において、スピンコートでインク吐出面側４に
フォトレジスト５ａを塗布したノズルプレート１をプリ
ベークして、フォトレジスト５ａを硬化した後、再び、
インク液室面側３から平行紫外光を照射して露光する。
これを現像すると、紫外光の当たらないインク吐出面側
４の部分が取り除かれ、該インク吐出面側４のノズル孔
２の部分にスピンコートによるフォトレジスト５ａの厚
さに相当する高さ３μｍ以上のノズル部塔５ｂを形成す
る。このノズル部塔５ｂをポストベークして硬化し、イ
ンク吐出面側４に撥インク性皮膜６を形成するときの精
密マスキングにする。
ォトレジストによる突出部を形成する）…図１（Ｅ） 第３工程において、スピンコートでインク吐出面側４に
フォトレジスト５ａを塗布したノズルプレート１をプリ
ベークして、フォトレジスト５ａを硬化した後、再び、
インク液室面側３から平行紫外光を照射して露光する。
これを現像すると、紫外光の当たらないインク吐出面側
４の部分が取り除かれ、該インク吐出面側４のノズル孔
２の部分にスピンコートによるフォトレジスト５ａの厚
さに相当する高さ３μｍ以上のノズル部塔５ｂを形成す
る。このノズル部塔５ｂをポストベークして硬化し、イ
ンク吐出面側４に撥インク性皮膜６を形成するときの精
密マスキングにする。
【００１７】第５工程（インク吐出面側に撥インク性皮
膜を形成する）…図１（Ｆ） ノズル部塔５ｂを有するインク吐出面側４に、一般に知
られたフッ素樹脂微粒子を分散させた電解又は無電解メ
ッキ（例えば、上村工業のニムフロン又はメタフロン
等）により撥インク性皮膜６を成膜する。これらのメッ
キ皮膜の厚さを２μｍ以上にして、ワイピング耐久性を
持たせる。このために、マスキングとなるノズル部塔５
ａの高さは３μｍ以上に定められている。
膜を形成する）…図１（Ｆ） ノズル部塔５ｂを有するインク吐出面側４に、一般に知
られたフッ素樹脂微粒子を分散させた電解又は無電解メ
ッキ（例えば、上村工業のニムフロン又はメタフロン
等）により撥インク性皮膜６を成膜する。これらのメッ
キ皮膜の厚さを２μｍ以上にして、ワイピング耐久性を
持たせる。このために、マスキングとなるノズル部塔５
ａの高さは３μｍ以上に定められている。
【００１８】第６工程（フォトレジストを取り除く）…
図１（Ｇ） ノズル部塔５ｂを有するインク吐出面側４に撥インク性
皮膜６を形成後、ノズル部塔５ｂを含むノズル孔２，イ
ンク液室面側３上のフォトレジスト５を取り除いて、ノ
ズル吐出面側３のみに撥インク性皮膜６を有するノズル
プレート１を完成する。
図１（Ｇ） ノズル部塔５ｂを有するインク吐出面側４に撥インク性
皮膜６を形成後、ノズル部塔５ｂを含むノズル孔２，イ
ンク液室面側３上のフォトレジスト５を取り除いて、ノ
ズル吐出面側３のみに撥インク性皮膜６を有するノズル
プレート１を完成する。
【００１９】図２は、本発明に係るインクジェットヘッ
ドの要部断面図であり、図中、１０はインクジェットヘ
ッド、１１はアクチュエータユニット、１２は液室ユニ
ット、１３は絶縁基板、１４は圧電素子（以後、ＰＺＴ
と記す）、１５はフレーム部材、１６，２１は接着剤、
１７はダイヤフラム部、２０は加圧液室である。
ドの要部断面図であり、図中、１０はインクジェットヘ
ッド、１１はアクチュエータユニット、１２は液室ユニ
ット、１３は絶縁基板、１４は圧電素子（以後、ＰＺＴ
と記す）、１５はフレーム部材、１６，２１は接着剤、
１７はダイヤフラム部、２０は加圧液室である。
【００２０】図２に示すインクジェットヘッドは、紙面
と直角な方向に多数のノズル孔２を有し、インクを吐出
させる動力部であるアクチュエータユニット１１と、該
アクチュエータユニット１１と接着剤２３で接合され、
インクを吐出させる液室ユニット１２からなり、本発明
によるノズルプレート１は、液室ユニット１２の最上部
に設けてある。
と直角な方向に多数のノズル孔２を有し、インクを吐出
させる動力部であるアクチュエータユニット１１と、該
アクチュエータユニット１１と接着剤２３で接合され、
インクを吐出させる液室ユニット１２からなり、本発明
によるノズルプレート１は、液室ユニット１２の最上部
に設けてある。
【００２１】アクチュエータユニット１１は、駆動源と
して積層されたｄ３３モードのＰＺＴ１４を有し、絶縁
基板１３上にフレーム部材５とともに接着剤１６で固着
されている。また、液室ユニット１２は、アクチュエー
タユニット１１のＰＺＴ１４およびフレーム部材１５の
上面で接着剤１３により接合され、ＰＺＴ１４で駆動さ
れるダイヤフラム部１７を有する振動板１８と、ノズル
プレート１および該ノズルプレート１と振動板１８とで
加圧液室２０および共通液室２０ａを構成するための液
室流路形成部１９とからなっている。
して積層されたｄ３３モードのＰＺＴ１４を有し、絶縁
基板１３上にフレーム部材５とともに接着剤１６で固着
されている。また、液室ユニット１２は、アクチュエー
タユニット１１のＰＺＴ１４およびフレーム部材１５の
上面で接着剤１３により接合され、ＰＺＴ１４で駆動さ
れるダイヤフラム部１７を有する振動板１８と、ノズル
プレート１および該ノズルプレート１と振動板１８とで
加圧液室２０および共通液室２０ａを構成するための液
室流路形成部１９とからなっている。
【００２２】ＰＺＴ１４に印字信号が印加されると、Ｐ
ＺＴ１４は面と直角方向に変位してダヤフラム部１７を
駆動して加圧液室２０に体積変化を与え、ノズル２から
インク滴を吐出する。ノズル孔２から吐出されるインク
滴は、ノズル孔２内壁面で一様な濡れ性を持ち、しか
も、インク吐出面側３に付着することがない状態で吐出
されるので、常に一定の吐出条件が保たれ、高品質の画
像形成が可能となる。
ＺＴ１４は面と直角方向に変位してダヤフラム部１７を
駆動して加圧液室２０に体積変化を与え、ノズル２から
インク滴を吐出する。ノズル孔２から吐出されるインク
滴は、ノズル孔２内壁面で一様な濡れ性を持ち、しか
も、インク吐出面側３に付着することがない状態で吐出
されるので、常に一定の吐出条件が保たれ、高品質の画
像形成が可能となる。
【００２３】
請求項１の発明に対応する効果：ノズルプレートのイン
ク吐出面側に撥インク性皮膜を形成する工程において、
前記ノズルプレートのノズル孔をマスキングするため
に、ネガ型フォトレジストを使用するので、低コストの
マスキングが可能となる。
ク吐出面側に撥インク性皮膜を形成する工程において、
前記ノズルプレートのノズル孔をマスキングするため
に、ネガ型フォトレジストを使用するので、低コストの
マスキングが可能となる。
【００２４】請求項２の発明に対応する効果：請求項１
に記載のネガ型フォトレジストにより、マスキングを施
すための手段として、ディップコートによるノズル前面
への該ネガ型フォトレジストの塗布→プリベーク→イン
ク吐出面の逆側からの露光→現像→ポストベーク→スピ
ンコートによるインク吐出面への該ネガ型フォトレジス
トの塗布→インク吐出面の逆側からの露光→現像→ポス
トベーク、という工程を用い、インク吐出面側のフォト
レジスト膜厚を３μｍ以上にしているので、ワイピング
耐久性の十分ある厚さの撥インク性皮膜を高精度に作成
することができる。
に記載のネガ型フォトレジストにより、マスキングを施
すための手段として、ディップコートによるノズル前面
への該ネガ型フォトレジストの塗布→プリベーク→イン
ク吐出面の逆側からの露光→現像→ポストベーク→スピ
ンコートによるインク吐出面への該ネガ型フォトレジス
トの塗布→インク吐出面の逆側からの露光→現像→ポス
トベーク、という工程を用い、インク吐出面側のフォト
レジスト膜厚を３μｍ以上にしているので、ワイピング
耐久性の十分ある厚さの撥インク性皮膜を高精度に作成
することができる。
【００２５】請求項３の発明に対応する効果：請求項２
記載のインクジェット用ノズルプレートの製造方法にお
いて、スピンコートによりインク吐出面に塗布する前記
ネガ型フォトレジストの膜厚を、３μｍ以上としたの
で、ワイピング耐久性の十分ある厚さの撥インク性皮膜
を高精度に作成することができる。
記載のインクジェット用ノズルプレートの製造方法にお
いて、スピンコートによりインク吐出面に塗布する前記
ネガ型フォトレジストの膜厚を、３μｍ以上としたの
で、ワイピング耐久性の十分ある厚さの撥インク性皮膜
を高精度に作成することができる。
【図１】 本発明によるインクジェット用ノズルプレー
トの製造方法の実施形態における工程を説明するための
図である。
トの製造方法の実施形態における工程を説明するための
図である。
【図２】 本発明に係るインクジェットヘッドの要部断
面図である。
面図である。
１…ノズルプレート、２…ノズル孔、３…インク液室面
側、４…ノズルプレート１のインク吐出面側、５…ネが
型フォトレジスト、６…撥インク性皮膜、１０…インク
ジェットヘッド、１１…アクチュエータユニット、１２
…液室ユニット、１３…絶縁基板、１４…圧電素子（Ｐ
ＺＴ）、１５…フレーム部材、１６，２１…接着剤、１
７…ダイヤフラム、２０…加圧液室。
側、４…ノズルプレート１のインク吐出面側、５…ネが
型フォトレジスト、６…撥インク性皮膜、１０…インク
ジェットヘッド、１１…アクチュエータユニット、１２
…液室ユニット、１３…絶縁基板、１４…圧電素子（Ｐ
ＺＴ）、１５…フレーム部材、１６，２１…接着剤、１
７…ダイヤフラム、２０…加圧液室。
Claims (3)
- 【請求項１】 ノズルプレートのインク吐出面側に撥イ
ンク性皮膜を形成する工程において、前記ノズルプレー
トのノズル孔をマスキングするために、ネガ型フォトレ
ジストを使用することを特徴とするインクジェット用ノ
ズルプレートの製造方法。 - 【請求項２】 請求項１に記載のネガ型フォトレジスト
により、マスキングを施すための手段として、ディップ
コートによるノズル前面への該ネガ型フォトレジストの
塗布→プリベーク→インク吐出面の逆側からの露光→現
像→ポストベーク→スピンコートによるインク吐出面へ
の該ネガ型フォトレジストの塗布→インク吐出面の逆側
からの露光→現像→ポストベーク、という工程を用いた
ことを特徴とするインクジェット用ノズルプレートの製
造方法。 - 【請求項３】 スピンコートによりインク吐出面に塗布
する前記ネガ型フォトレジストの膜厚を、３μｍ以上と
したことを特徴とする請求項２に記載のインクジェット
用ノズルプレートの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11776996A JPH09300627A (ja) | 1996-05-13 | 1996-05-13 | インクジェット用ノズルプレートの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11776996A JPH09300627A (ja) | 1996-05-13 | 1996-05-13 | インクジェット用ノズルプレートの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09300627A true JPH09300627A (ja) | 1997-11-25 |
Family
ID=14719875
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11776996A Pending JPH09300627A (ja) | 1996-05-13 | 1996-05-13 | インクジェット用ノズルプレートの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09300627A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6709805B1 (en) | 2003-04-24 | 2004-03-23 | Lexmark International, Inc. | Inkjet printhead nozzle plate |
| JP2006088491A (ja) * | 2004-09-22 | 2006-04-06 | Fuji Xerox Co Ltd | ノズルプレート及びその製造方法 |
| US8567910B2 (en) | 2010-03-31 | 2013-10-29 | Fujifilm Corporation | Durable non-wetting coating on fluid ejector |
-
1996
- 1996-05-13 JP JP11776996A patent/JPH09300627A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6709805B1 (en) | 2003-04-24 | 2004-03-23 | Lexmark International, Inc. | Inkjet printhead nozzle plate |
| JP2006088491A (ja) * | 2004-09-22 | 2006-04-06 | Fuji Xerox Co Ltd | ノズルプレート及びその製造方法 |
| US8567910B2 (en) | 2010-03-31 | 2013-10-29 | Fujifilm Corporation | Durable non-wetting coating on fluid ejector |
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