JP3093634B2 - インクジェットプリンターヘッド用ノズル板の表面処理方法 - Google Patents
インクジェットプリンターヘッド用ノズル板の表面処理方法Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はインクジェットプリ
ンターヘッドに用いるノズル板の表面処理方法に関す
る。
ンターヘッドに用いるノズル板の表面処理方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、コンピュータ出力の応用分野にお
けるノンインパクトプリンターの一方式であるインクジ
ェットプリンターにおいて圧電体の圧電作用をインク吐
出の駆動力に応用した手段が特公平４−４８６２２号公
報や特開昭６３−２４７０５１号公報等に提案されてい
る。
けるノンインパクトプリンターの一方式であるインクジ
ェットプリンターにおいて圧電体の圧電作用をインク吐
出の駆動力に応用した手段が特公平４−４８６２２号公
報や特開昭６３−２４７０５１号公報等に提案されてい
る。
【０００３】これらの公報に記載の製造方法および構造
は、圧電性基板にインク流路のための微細な貫通した溝
の加工を施した後、その表面に電極膜を形成、表面を研
磨加工し、溝内部に電極膜を残す。
は、圧電性基板にインク流路のための微細な貫通した溝
の加工を施した後、その表面に電極膜を形成、表面を研
磨加工し、溝内部に電極膜を残す。
【０００４】さらに溝内面に絶縁膜として気相合成法に
よるポリパラキシリレン樹脂からなるパリレン膜を形成
する。この絶縁膜はインクの不安定吐出の原因となるイ
ンクの電気分解による気泡発生およびインクの変質を防
ぐための重要な構成体として位置づけられている。
よるポリパラキシリレン樹脂からなるパリレン膜を形成
する。この絶縁膜はインクの不安定吐出の原因となるイ
ンクの電気分解による気泡発生およびインクの変質を防
ぐための重要な構成体として位置づけられている。
【０００５】以上のように作製した圧電性基板の溝を有
する面どうしを対向させて接着、あるいは溝を有する面
上にガラス、セラミック、金属あるいはプラスチック製
の平板状の蓋を接着することによってインク流路を形成
する。
する面どうしを対向させて接着、あるいは溝を有する面
上にガラス、セラミック、金属あるいはプラスチック製
の平板状の蓋を接着することによってインク流路を形成
する。
【０００６】さらにインク流路の一方の端部に直径３０
〜６０ミクロンのインク吐出孔を有した厚さ０．１ｍｍ
のノズル板を接着した後、電極に駆動回路を接続するこ
とによってインクジェットプリンターヘッドが構成され
る。この時、ノズル板の材質としては、金属、プラスチ
ック、セラミックス製ノズル板が使われる。
〜６０ミクロンのインク吐出孔を有した厚さ０．１ｍｍ
のノズル板を接着した後、電極に駆動回路を接続するこ
とによってインクジェットプリンターヘッドが構成され
る。この時、ノズル板の材質としては、金属、プラスチ
ック、セラミックス製ノズル板が使われる。
【０００７】圧電作用を利用したインクジェットプリン
ターヘッドの駆動原理は各溝中に形成された電極に電圧
を印加すると溝を形成する隔壁がその圧電作用のために
インク流路の容積を増大または減少せしめるように変形
する。そして、この減少の変形によって生じた圧力が溝
内部に充填されたインクに伝播し、インク吐出孔からイ
ンク滴として吐出するものである。
ターヘッドの駆動原理は各溝中に形成された電極に電圧
を印加すると溝を形成する隔壁がその圧電作用のために
インク流路の容積を増大または減少せしめるように変形
する。そして、この減少の変形によって生じた圧力が溝
内部に充填されたインクに伝播し、インク吐出孔からイ
ンク滴として吐出するものである。
【０００８】一般に、インク滴を安定に真っ直ぐ吐出さ
せるためにはノズル板において吐出後のインク吐出孔周
囲への残留インクの付着を防止し、さらに水性あるいは
非水性インクに対して化学的に安定でなければならない
ことが要求されている。
せるためにはノズル板において吐出後のインク吐出孔周
囲への残留インクの付着を防止し、さらに水性あるいは
非水性インクに対して化学的に安定でなければならない
ことが要求されている。
【０００９】そのための手段として、インクの吐出面に
インクに対して撥液性の被膜表面を形成することが提案
されており、撥液性を発現する材料としてはシリコーン
樹脂やフッ素樹脂、またはテフロン共析メッキ被膜など
が知られている。
インクに対して撥液性の被膜表面を形成することが提案
されており、撥液性を発現する材料としてはシリコーン
樹脂やフッ素樹脂、またはテフロン共析メッキ被膜など
が知られている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような撥液性被膜を形成する場合、撥液性被膜のインク
吐出孔内部への入り込み位置によってインクのメニスカ
スの位置が決定し、インクの吐出特性に大きな影響を与
えることが知られている。したがって、撥液性被膜のイ
ンク吐出孔内部への入り込み量を精密に制御し、メニス
カス位置を一定にしなければならないことが要求され
る。すなわち、撥液性被膜の入り込み量がインク吐出面
に近いと外部からの機械的振動によって誤吐出を生じ易
く、また入り込み量がインク吐出面から遠いとインク滴
を吐出後、気泡を巻き込み易くなり、吐出特性が不安定
になる。さらに撥液性被膜の入り込み量によって決定さ
れるメニスカス位置はインク流路の寸法、ノズル板の厚
み、インク吐出孔の大きさ、インクの種類、駆動方法、
駆動力などのパラメータに大きく依存するため、その位
置を可変できる形成技術が要求される。
ような撥液性被膜を形成する場合、撥液性被膜のインク
吐出孔内部への入り込み位置によってインクのメニスカ
スの位置が決定し、インクの吐出特性に大きな影響を与
えることが知られている。したがって、撥液性被膜のイ
ンク吐出孔内部への入り込み量を精密に制御し、メニス
カス位置を一定にしなければならないことが要求され
る。すなわち、撥液性被膜の入り込み量がインク吐出面
に近いと外部からの機械的振動によって誤吐出を生じ易
く、また入り込み量がインク吐出面から遠いとインク滴
を吐出後、気泡を巻き込み易くなり、吐出特性が不安定
になる。さらに撥液性被膜の入り込み量によって決定さ
れるメニスカス位置はインク流路の寸法、ノズル板の厚
み、インク吐出孔の大きさ、インクの種類、駆動方法、
駆動力などのパラメータに大きく依存するため、その位
置を可変できる形成技術が要求される。
【００１１】その方法として例えば特開平７−１２５２
２０に感光性樹脂フィルムをノズル板のインク吐出裏面
から圧接し、フィルムの一部をインク吐出孔内部に入り
込ませて硬化し、テフロン共析メッキを行い、その後フ
ィルムを除去する方法が開示されているが、この方法で
は感光性樹脂フィルムの入り込み量を温度で調節するた
めに境界位置の正確な制御が困難であり、さらに印字解
像度を上げるためインク吐出孔の径を小さくした場合、
インク吐出孔内部への感光性樹脂フィルムの入り込みが
困難となり、撥水性被膜のインク吐出孔内部への入り込
み量を正確に制御することが困難である。
２０に感光性樹脂フィルムをノズル板のインク吐出裏面
から圧接し、フィルムの一部をインク吐出孔内部に入り
込ませて硬化し、テフロン共析メッキを行い、その後フ
ィルムを除去する方法が開示されているが、この方法で
は感光性樹脂フィルムの入り込み量を温度で調節するた
めに境界位置の正確な制御が困難であり、さらに印字解
像度を上げるためインク吐出孔の径を小さくした場合、
インク吐出孔内部への感光性樹脂フィルムの入り込みが
困難となり、撥水性被膜のインク吐出孔内部への入り込
み量を正確に制御することが困難である。
【００１２】本発明の目的は、上記課題を解決して、撥
液性被膜のインク吐出孔内部への入り込み量を精密に制
御し、メニスカス位置を一定にするためのインクジェッ
トプリンターヘッド用ノズル板の表面処理方法を提供す
ることにある。
液性被膜のインク吐出孔内部への入り込み量を精密に制
御し、メニスカス位置を一定にするためのインクジェッ
トプリンターヘッド用ノズル板の表面処理方法を提供す
ることにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のインクジェットプリンターヘッド用ノズル
板の表面処理方法では下記記載の手段を採用する。本発
明の請求項１記載のインクジェットプリンターヘッド用
ノズル板の表面処理方法はインク吐出面を一方に有する
平板状部材からなり、平板状部材の所定の位置にインク
が吐出される貫通したインク吐出孔を有するインクジェ
ットプリンターヘッド用ノズル板に、インク吐出裏面と
インク吐出孔内部をポジ型感光性樹脂によって被覆充填
し硬化させる工程と、インク吐出面より紫外線を露光
し、ポジ型感光性樹脂を現像する工程と、撥液性被膜を
被覆する工程と、ポジ型感光性樹脂を除去する工程とを
有することを特徴とする。
め、本発明のインクジェットプリンターヘッド用ノズル
板の表面処理方法では下記記載の手段を採用する。本発
明の請求項１記載のインクジェットプリンターヘッド用
ノズル板の表面処理方法はインク吐出面を一方に有する
平板状部材からなり、平板状部材の所定の位置にインク
が吐出される貫通したインク吐出孔を有するインクジェ
ットプリンターヘッド用ノズル板に、インク吐出裏面と
インク吐出孔内部をポジ型感光性樹脂によって被覆充填
し硬化させる工程と、インク吐出面より紫外線を露光
し、ポジ型感光性樹脂を現像する工程と、撥液性被膜を
被覆する工程と、ポジ型感光性樹脂を除去する工程とを
有することを特徴とする。
【００１４】また本発明の請求項２記載のインクジェッ
トプリンターヘッド用ノズル板の表面処理方法では、請
求項１記載の発明の構成のうち、ポジ型感光性樹脂のイ
ンク吐出孔内部への入り込み量を露光量と露光時間によ
って制御することを特徴とする。
トプリンターヘッド用ノズル板の表面処理方法では、請
求項１記載の発明の構成のうち、ポジ型感光性樹脂のイ
ンク吐出孔内部への入り込み量を露光量と露光時間によ
って制御することを特徴とする。
【００１５】また本発明の請求項３記載のインクジェッ
トプリンターヘッド用ノズル板の表面処理方法では、請
求項１記載の発明の構成のうち、ポジ型感光性樹脂の粘
度が１００センチポイズ以下であることを特徴とする。
トプリンターヘッド用ノズル板の表面処理方法では、請
求項１記載の発明の構成のうち、ポジ型感光性樹脂の粘
度が１００センチポイズ以下であることを特徴とする。
【００１６】また本発明の請求項４記載のインクジェッ
トプリンターヘッド用ノズル板の表面処理方法では、請
求項１記載の発明の構成のうち、インク吐出孔内部に充
填被覆するポジ型感光性樹脂がインク吐出面と同じ高さ
にあることを特徴とする。
トプリンターヘッド用ノズル板の表面処理方法では、請
求項１記載の発明の構成のうち、インク吐出孔内部に充
填被覆するポジ型感光性樹脂がインク吐出面と同じ高さ
にあることを特徴とする。
【００１７】本発明のノズル板の表面処理方法は、まず
最初にインク吐出裏面とインク吐出孔内部をポジ型感光
性樹脂、具体的には液状のポジ型感光性レジストによっ
て被覆充填し硬化させる。この時ポジ型感光性樹脂はイ
ンク吐出面と同じ高さまで充填する必要があるため、粘
度の低い、具体的には１００センチポイズ以下の液状レ
ジストを用いる。またポジ型感光性樹脂がインク吐出面
に回り込まないようにインク吐出面をシリコーンゴムシ
ートなどの弾性体に圧着した状態で充填する。
最初にインク吐出裏面とインク吐出孔内部をポジ型感光
性樹脂、具体的には液状のポジ型感光性レジストによっ
て被覆充填し硬化させる。この時ポジ型感光性樹脂はイ
ンク吐出面と同じ高さまで充填する必要があるため、粘
度の低い、具体的には１００センチポイズ以下の液状レ
ジストを用いる。またポジ型感光性樹脂がインク吐出面
に回り込まないようにインク吐出面をシリコーンゴムシ
ートなどの弾性体に圧着した状態で充填する。
【００１８】次にインク吐出面より紫外線を露光する。
この時、露光強度と露光時間とを制御することにより、
現像によるポジ型感光性樹脂の溶解量を制御することが
できる。すなわち、形成する撥液性被膜はポジ型感光性
樹脂がマスキング材となるため、ポジ型感光性樹脂のイ
ンク吐出孔内部への入り込み量を露光量と露光時間によ
って制御することにより、撥液性被膜の回り込み量を制
御することが可能となる。
この時、露光強度と露光時間とを制御することにより、
現像によるポジ型感光性樹脂の溶解量を制御することが
できる。すなわち、形成する撥液性被膜はポジ型感光性
樹脂がマスキング材となるため、ポジ型感光性樹脂のイ
ンク吐出孔内部への入り込み量を露光量と露光時間によ
って制御することにより、撥液性被膜の回り込み量を制
御することが可能となる。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、図面を用いて本発明の実施
例におけるインクジェットプリンターヘッド用ノズル板
の表面処理方法を説明する。図６は本発明の実施例にお
けるインクジェットプリンターヘッド用ノズル板の構造
を示すインク吐出孔部を拡大した模式断面図である。本
インクジェットプリンターヘッド用ノズル板はインク吐
出面３に撥液性被膜６が被覆されており、撥液性被膜６
の一部はインク吐出孔内部８の中へ入り込んでいる。こ
の構造によってインク吐出時のメニスカス位置が安定と
なる。図１は本発明の実施例における製造方法を適用す
る薄板状のインクジェットプリンターヘッド用ノズル板
の斜視外観図である。図２から図６は本発明の実施例に
おけるインクジェットプリンターヘッド用ノズル板の表
面処理方法を示し、インク吐出孔部を拡大した工程断面
図である。以下、図１の斜視図と、図２から図６の工程
断面図に沿って説明する。
例におけるインクジェットプリンターヘッド用ノズル板
の表面処理方法を説明する。図６は本発明の実施例にお
けるインクジェットプリンターヘッド用ノズル板の構造
を示すインク吐出孔部を拡大した模式断面図である。本
インクジェットプリンターヘッド用ノズル板はインク吐
出面３に撥液性被膜６が被覆されており、撥液性被膜６
の一部はインク吐出孔内部８の中へ入り込んでいる。こ
の構造によってインク吐出時のメニスカス位置が安定と
なる。図１は本発明の実施例における製造方法を適用す
る薄板状のインクジェットプリンターヘッド用ノズル板
の斜視外観図である。図２から図６は本発明の実施例に
おけるインクジェットプリンターヘッド用ノズル板の表
面処理方法を示し、インク吐出孔部を拡大した工程断面
図である。以下、図１の斜視図と、図２から図６の工程
断面図に沿って説明する。
【００２０】はじめに図１と図２に示すように、本発明
によるインクジェットプリンターヘッド用ノズル板を作
製するためには、まず長さ５０ｍｍ、幅１５ｍｍ、厚さ
０．１ｍｍのインク吐出のための円形の貫通した孔を有
するノズル板１のインク吐出裏面７とインク吐出孔内部
８にポジ型感光性樹脂４を被覆充填し、硬化させる。
によるインクジェットプリンターヘッド用ノズル板を作
製するためには、まず長さ５０ｍｍ、幅１５ｍｍ、厚さ
０．１ｍｍのインク吐出のための円形の貫通した孔を有
するノズル板１のインク吐出裏面７とインク吐出孔内部
８にポジ型感光性樹脂４を被覆充填し、硬化させる。
【００２１】ノズル板１は電鋳法によって作製したニッ
ケル板であるが、他の材質、例えば塑性加工によってイ
ンク吐出孔を形成したステンレス鋼板や、あるいは射出
成型法によって作製したプラスチック材料のノズル板で
も良い。
ケル板であるが、他の材質、例えば塑性加工によってイ
ンク吐出孔を形成したステンレス鋼板や、あるいは射出
成型法によって作製したプラスチック材料のノズル板で
も良い。
【００２２】インク吐出面３のインク吐出孔２の直径は
３５ミクロン、その裏面の直径は１００ミクロンであ
り、インクをスムーズに供給し、まっすぐに吐出させる
ため、その断面はテーパー状になっており、本実施例で
用いたノズル板には３０個のインク吐出孔が開いてい
る。
３５ミクロン、その裏面の直径は１００ミクロンであ
り、インクをスムーズに供給し、まっすぐに吐出させる
ため、その断面はテーパー状になっており、本実施例で
用いたノズル板には３０個のインク吐出孔が開いてい
る。
【００２３】ポジ型感光性樹脂４はインク吐出面３まで
充填する必要があるため、粘度の低い、具体的には１０
０センチポイズ以下の液状レジストを用いる。またポジ
型感光性樹脂４がインク吐出面３に回り込まないように
インク吐出面３をシリコーンゴムシートなどの弾性体に
圧着した状態で充填する。この状態で６０℃〜１００℃
の温度で硬化させる。
充填する必要があるため、粘度の低い、具体的には１０
０センチポイズ以下の液状レジストを用いる。またポジ
型感光性樹脂４がインク吐出面３に回り込まないように
インク吐出面３をシリコーンゴムシートなどの弾性体に
圧着した状態で充填する。この状態で６０℃〜１００℃
の温度で硬化させる。
【００２４】本実施例では粘度３０センチポイズの東京
応化製ＯＦＰＲ−８００のポジ型感光性レジストを用
い、インク吐出面３をシリコーンゴムシートに圧着した
状態でインク吐出裏面７よりレジストを滴下した。その
後スピンコート法によって被覆充填した。
応化製ＯＦＰＲ−８００のポジ型感光性レジストを用
い、インク吐出面３をシリコーンゴムシートに圧着した
状態でインク吐出裏面７よりレジストを滴下した。その
後スピンコート法によって被覆充填した。
【００２５】次に図３に示すようにインク吐出面３より
紫外線（波長３６５ｎｍ）５を照射する。
紫外線（波長３６５ｎｍ）５を照射する。
【００２６】その後アルカリ性の現像液に浸漬すること
により、紫外線によって露光された部分が溶解し、図４
に示す状態となる。この時、図４に示すインク吐出面３
から現像後のポジ型感光性樹脂４までの距離１０は図３
で示す紫外線５の露光強度と露光時間によって正確に制
御可能である。
により、紫外線によって露光された部分が溶解し、図４
に示す状態となる。この時、図４に示すインク吐出面３
から現像後のポジ型感光性樹脂４までの距離１０は図３
で示す紫外線５の露光強度と露光時間によって正確に制
御可能である。
【００２７】本実施例で用いた紫外線５の露光強度は１
０ｍＷ／ｃｍ2 であり、露光時間を５秒、１０秒、２０
秒と長くすることにより、インク吐出面３から感光性樹
脂４までの距離１０はそれぞれ５μｍ、８μｍ、１５μ
ｍとなることが確認された。本実施例では露光時間を５
秒に設定し、インク吐出面３から感光性樹脂４までの距
離１０を５μｍとした。
０ｍＷ／ｃｍ2 であり、露光時間を５秒、１０秒、２０
秒と長くすることにより、インク吐出面３から感光性樹
脂４までの距離１０はそれぞれ５μｍ、８μｍ、１５μ
ｍとなることが確認された。本実施例では露光時間を５
秒に設定し、インク吐出面３から感光性樹脂４までの距
離１０を５μｍとした。
【００２８】次に図５に示すようにこのノズル板１に撥
水性被膜６を形成するためテフロン共析メッキを行う。
水性被膜６を形成するためテフロン共析メッキを行う。
【００２９】このメッキ処理は電気メッキあるいは無電
解メッキのいずれのメッキ方法でも可能である。本実施
例では商品名カニフロン（日本カニゼン（株））と呼ば
れる無電解メッキを採用した。
解メッキのいずれのメッキ方法でも可能である。本実施
例では商品名カニフロン（日本カニゼン（株））と呼ば
れる無電解メッキを採用した。
【００３０】テフロン共析メッキのメッキ厚は、メッキ
液への浸漬時間によってコントロール可能であり、本発
明の実施例では３μｍとした。
液への浸漬時間によってコントロール可能であり、本発
明の実施例では３μｍとした。
【００３１】このテフロン共析メッキの被膜中には直径
０．２μｍのフッ素樹脂微粒子が２０〜３０ｖｏｌ％の
範囲で均一に分散含有していることが電子顕微鏡観察に
よって確認されている。
０．２μｍのフッ素樹脂微粒子が２０〜３０ｖｏｌ％の
範囲で均一に分散含有していることが電子顕微鏡観察に
よって確認されている。
【００３２】次にポジ型感光性樹脂４を溶剤を用いて溶
解除去する。本実施例ではアセトンを用いた。
解除去する。本実施例ではアセトンを用いた。
【００３３】このようにして図６に示すように撥水性被
膜６がインク吐出孔内部８に入り込み、入り込み位置が
一定であるインクジェットプリンターヘッド用ノズル板
が完成する。
膜６がインク吐出孔内部８に入り込み、入り込み位置が
一定であるインクジェットプリンターヘッド用ノズル板
が完成する。
【００３４】さらに、テフロン共析メッキ表面の硬度を
高くし、耐摩耗性を上昇させるためにポジ型感光性樹脂
４を溶解除去後、３５０℃から４００℃で熱処理するこ
とが好ましい。
高くし、耐摩耗性を上昇させるためにポジ型感光性樹脂
４を溶解除去後、３５０℃から４００℃で熱処理するこ
とが好ましい。
【００３５】本発明の実施例の効果を確認するために、
比較用サンプルとして上記の製法においてポジ型感光性
樹脂４の代わりに感光性樹脂フィルムをノズル板のイン
ク吐出裏面７から圧接し、フィルムの一部をインク吐出
孔内部８に入り込ませて硬化し、テフロン共析メッキを
行い、フィルムを除去し、熱処理を行ったノズル板を作
製し、インク吐出孔２部の断面ＳＥＭ観察を行った結
果、本発明によるノズル板はインク吐出孔内部８に入り
込んだテフロン共析メッキのインク吐出面３からの距離
はすべてのインク吐出孔で５μｍであった。しかしなが
ら、比較サンプルのノズル板ではインク吐出孔内部８に
入り込んだテフロン共析メッキのインク吐出面３からの
距離は５μｍから２０μｍの範囲で不規則にばらついて
いることが確認された。
比較用サンプルとして上記の製法においてポジ型感光性
樹脂４の代わりに感光性樹脂フィルムをノズル板のイン
ク吐出裏面７から圧接し、フィルムの一部をインク吐出
孔内部８に入り込ませて硬化し、テフロン共析メッキを
行い、フィルムを除去し、熱処理を行ったノズル板を作
製し、インク吐出孔２部の断面ＳＥＭ観察を行った結
果、本発明によるノズル板はインク吐出孔内部８に入り
込んだテフロン共析メッキのインク吐出面３からの距離
はすべてのインク吐出孔で５μｍであった。しかしなが
ら、比較サンプルのノズル板ではインク吐出孔内部８に
入り込んだテフロン共析メッキのインク吐出面３からの
距離は５μｍから２０μｍの範囲で不規則にばらついて
いることが確認された。
【００３６】また、本発明によるノズル板と比較用サン
プルのノズル板を用いてヘッドを組み立て、顔料系イン
クを注入し、連続吐出試験を行った結果、本発明による
ノズル板を用いたヘッドは安定に吐出したが、比較用サ
ンプルのノズル板を用いたヘッドはインクの吐出方向が
曲がったり、全くインクが吐出しなくなる現象が生じ
た。
プルのノズル板を用いてヘッドを組み立て、顔料系イン
クを注入し、連続吐出試験を行った結果、本発明による
ノズル板を用いたヘッドは安定に吐出したが、比較用サ
ンプルのノズル板を用いたヘッドはインクの吐出方向が
曲がったり、全くインクが吐出しなくなる現象が生じ
た。
【００３７】以上の結果からわかるように本発明による
インクジェットプリンターヘッド用ノズル板は撥液性被
膜のインク吐出孔内部８への入り込み位置が精密に制御
され、メニスカス位置が一定であり、インクの安定吐出
を可能にすることが確認された。
インクジェットプリンターヘッド用ノズル板は撥液性被
膜のインク吐出孔内部８への入り込み位置が精密に制御
され、メニスカス位置が一定であり、インクの安定吐出
を可能にすることが確認された。
【００３８】
【発明の効果】以上の実施例から明らかなように、本発
明によるインクジェットプリンターヘッド用ノズル板は
インク吐出裏面とインク吐出孔内部をポジ型感光性樹脂
によって被覆充填し硬化させ、インク吐出面より露光、
現像を行い、撥液性被膜を被覆し、その後ポジ型感光性
樹脂を除去することにより撥液性被膜のインク吐出孔内
部への入り込み位置が精密に制御され、メニスカス位置
が一定となる。その結果、インクの安定吐出が可能とな
り、インクジェットプリンターの信頼性を向上させる効
果がある。
明によるインクジェットプリンターヘッド用ノズル板は
インク吐出裏面とインク吐出孔内部をポジ型感光性樹脂
によって被覆充填し硬化させ、インク吐出面より露光、
現像を行い、撥液性被膜を被覆し、その後ポジ型感光性
樹脂を除去することにより撥液性被膜のインク吐出孔内
部への入り込み位置が精密に制御され、メニスカス位置
が一定となる。その結果、インクの安定吐出が可能とな
り、インクジェットプリンターの信頼性を向上させる効
果がある。
【図１】本発明の実施例における薄板状のインクジェッ
トプリンターヘッド用ノズル板の構造と表面処理方法を
示す斜視外観図である。
トプリンターヘッド用ノズル板の構造と表面処理方法を
示す斜視外観図である。
【図２】本発明の実施例におけるインクジェットプリン
ターヘッド用ノズル板の表面処理方法を表す断面図であ
る。
ターヘッド用ノズル板の表面処理方法を表す断面図であ
る。
【図３】本発明の実施例におけるインクジェットプリン
ターヘッド用ノズル板の表面処理方法を表す断面図であ
る。
ターヘッド用ノズル板の表面処理方法を表す断面図であ
る。
【図４】本発明の実施例におけるインクジェットプリン
ターヘッド用ノズル板の表面処理方法を表す断面図であ
る。
ターヘッド用ノズル板の表面処理方法を表す断面図であ
る。
【図５】本発明の実施例におけるインクジェットプリン
ターヘッド用ノズル板の表面処理方法を表す断面図であ
る。
ターヘッド用ノズル板の表面処理方法を表す断面図であ
る。
【図６】本発明の実施例におけるインクジェットプリン
ターヘッド用ノズル板の表面処理方法を表す断面図であ
る。
ターヘッド用ノズル板の表面処理方法を表す断面図であ
る。
１ ノズル板 ２ インク吐出孔 ３ インク吐出面 ４ ポジ型感光性樹脂 ５ 紫外線 ６ 撥液性被膜 ７ インク吐出裏面 ８ インク吐出孔内部 １０ 距離
Claims (4)
- 【請求項１】 インク吐出面を一方に有する平板状部材
からなり、平板状部材の所定の位置にインクが吐出され
る貫通したインク吐出孔を有するインクジェットプリン
ターヘッド用ノズル板に、インク吐出裏面とインク吐出
孔内部をポジ型感光性樹脂によって被覆充填し硬化させ
る工程と、インク吐出面より紫外線を露光し、ポジ型感
光性樹脂を現像する工程と、撥液性被膜を被覆する工程
と、ポジ型感光性樹脂を除去する工程とを有することを
特徴とするインクジェットプリンターヘッド用ノズル板
の表面処理方法。 - 【請求項２】 ポジ型感光性樹脂のインク吐出孔内部へ
の入り込み量を露光強度と露光時間によって制御するこ
とを特徴とする請求項１に記載のインクジェットプリン
ターヘッド用ノズル板の表面処理方法。 - 【請求項３】 ポジ型感光性樹脂の粘度が１００センチ
ポイズ以下であることを特徴とする請求項１に記載のイ
ンクジェットプリンターヘッド用ノズル板の表面処理方
法。 - 【請求項４】 インク吐出孔内部に充填被覆するポジ型
感光性樹脂がインク吐出面と同じ高さにあることを特徴
とする請求項１に記載のインクジェットプリンターヘッ
ド用ノズル板の表面処理方法。
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|---|---|---|---|
| JP11750696A JP3093634B2 (ja) | 1996-05-13 | 1996-05-13 | インクジェットプリンターヘッド用ノズル板の表面処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11750696A JP3093634B2 (ja) | 1996-05-13 | 1996-05-13 | インクジェットプリンターヘッド用ノズル板の表面処理方法 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09300626A JPH09300626A (ja) | 1997-11-25 |
| JP3093634B2 true JP3093634B2 (ja) | 2000-10-03 |
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ID=14713449
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11750696A Expired - Fee Related JP3093634B2 (ja) | 1996-05-13 | 1996-05-13 | インクジェットプリンターヘッド用ノズル板の表面処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3093634B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100404260C (zh) * | 2004-12-24 | 2008-07-23 | 精工爱普生株式会社 | 成膜方法、液体供给头及液体供给装置 |
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| KR100453047B1 (ko) * | 2002-04-17 | 2004-10-15 | 삼성전자주식회사 | 잉크 젯 프린트 헤드 및 이의 제조 방법 |
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| KR100705642B1 (ko) * | 2005-12-29 | 2007-04-09 | 삼성전자주식회사 | 잉크젯 프린터 헤드의 노즐 및 그 제작 방법 |
| JP4225328B2 (ja) | 2006-07-20 | 2009-02-18 | セイコーエプソン株式会社 | 液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置、並びに吐出制御方法 |
-
1996
- 1996-05-13 JP JP11750696A patent/JP3093634B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US7641943B2 (en) | 2004-12-24 | 2010-01-05 | Seiko Epson Corporation | Coating method, liquid supplying head and liquid supplying apparatus |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09300626A (ja) | 1997-11-25 |
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