CN100404260C - 成膜方法、液体供给头及液体供给装置 - Google Patents

成膜方法、液体供给头及液体供给装置 Download PDF

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Abstract

一种成膜方法，通过在喷嘴孔(21)的内周面(212)及喷嘴板(2)的大致整个面上形成被加工膜的工序、和向喷嘴孔(21)内填充具有紫外线吸收性的掩模材的工序、和从喷嘴板(2)的上面(23)侧照射紫外线并利用透过掩模材时的紫外线的衰减及掩模材的有无情况而除去被紫外线照射的被加工膜进而获得疏液膜(7)的工序、以及除去残留在喷嘴孔(21)内的掩膜材的工序，形成对于在喷嘴板(2)的墨水喷出口(211)侧的面(22)、和喷嘴孔(21)的内周面(212)的局部区域(212a)进行连续形成而构成的疏液膜(7)。由此，提供使用简易的工序·设备且以低成本，在设置于基材的贯通孔的内周面的局部区域形成膜的成膜方法。

Description

成膜方法、液体供给头及液体供给装置
技术领域
本发明涉及成膜方法、液体供给头及液体供给装置。
背景技术
喷墨头(液体供给头)具有形成有多个细微的喷嘴孔之间保持微小间隔的喷嘴板，从喷嘴孔的一方的开口(墨水喷出口)喷出墨滴，使之弹落在印刷纸上，由此，进行印刷。
在这样的喷墨头中，如果喷嘴板的墨水喷出口侧的面上附着有墨水，就存在其后喷出的墨水的喷出轨迹受到所附着的墨水的表面张力或粘性等的影响而弯曲，墨水不能弹落到规定的位置的问题。
因而，在喷嘴板的墨水喷出口侧的面、和喷嘴孔的内周面的墨水喷出口附近，形成由氟类树脂等构成的疏液膜。
这样的疏液膜的形成例如如下所述(参照例如，专利文献1)。
首先，准备喷嘴板，在其墨水喷出口的相反侧的面上，叠层通过光硬化的感光性树脂膜。
其次，对该感光性树脂膜施加压力同时进行加热。由此，感光性树脂膜热压在喷嘴板的背面的同时，与喷嘴孔对应的部分的感光性树脂膜的一部分挤入喷嘴孔内。
其次，照射紫外线，使感光性树脂膜硬化。
其次，将喷嘴板浸渍在例如，已使镍离子和氟类树脂根据电荷分散的电解液中搅拌。由此，在喷嘴板的未覆盖有感光性树脂膜的部分即喷嘴板的墨水喷出口侧的面、和喷嘴孔的内周面的墨水喷出口附近形成共析镀层。
其次将感光性树脂膜通过溶剂溶解除去后，在构成共析镀层的氟类树脂的熔点以上的温度下，加热喷嘴板。
通过以上的工序，在喷嘴极的墨水喷出口侧的面、和喷嘴孔的内周面的墨水喷出口附近形成疏液膜。
然而，在以上的疏液膜的形成方法中，对不形成疏液膜的区域，除了进行由于形成感光性树脂膜而形成疏液膜的工序之外，还需要将感光性树脂膜热压在喷嘴板的工序、使感光性树脂膜硬化的工序或将感光性树脂膜溶解除去的工序。
这些工序复杂，而且需要进行各工序的设备。而且，感光性树脂膜本身价格高，由于这样的原因，存在制造成本价格高的问题。
【专利文献1】特开平7-125220号公报。
发明内容
本发明的目的在于提供能够使用简易的工序·设备的同时，以低成本在设置于基材的贯通孔的内周面上的局部区域形成膜的成膜方法、具有由所述成膜方法形成的疏液膜的液体供给头、和具有该液体供给头的液体供给装置。
这样的目的通过下述的本发明实现。
本发明的成膜方法，是在设置于基材的贯通孔的内周面的、从一端朝向另一端的规定长度的局部区域上形成膜的成膜方法，其特征在于，包括：
在所述贯通孔的内周面的包含所述局部区域的区域，形成用于获得所述膜的被加工膜的第1工序；
向所述贯通孔内填充具有紫外线吸收性的掩模材的第2工序；
从所述贯通孔的另一端侧对所述基材进行紫外线照射，利用透过所述掩模材时的所述紫外线的衰减、或该衰减及所述掩模材的有无情况，除去被所述紫外线所照射的所述被加工膜，保留存在于所述局部区域上的所述被加工膜而获得所述膜的第3工序；以及
除去残留在所述贯通孔内的所述掩模材的第4工序。
由此，能够使用简易的工序·设备的同时，以低成本在设置于基材的贯通孔的内周面上的局部区域形成膜。
在本发明的成膜方法中，优选的是，在所述第1工序中，使用含有所述膜的构成材料的液体形成所述被加工膜。
根据所述方法(液相成膜)可知，能够容易且可靠地形成被加工膜。
在本发明的成膜方法中，优选的是，在所述第3工序中，在大气压下进行所述紫外线照射。
由此，不需要减压泵，因此，对膜的制造成本的削减有利。
在本发明的成膜方法中，优选的是，在所述第3工序中，在氮气气氛下进行所述紫外线照射。
由此，紫外线被气氛中的水蒸气吸收，从而，能够防止衰减。其结果，能够在基材的各部均匀(匀称)分解·除去被加工膜。
在本发明的成膜方法中，优选的是，在所述第3工序中，将照射所述紫外线的紫外线照射机构、和所述基材保持1～50mm的状态下进行所述紫外线照射。
由此，能够进一步提高被加工膜的分解效率(处理效率)。
在本发明的成膜方法中，优选的是，所述紫外线的波长为250nm以下。
通过使用这样的波长的紫外线，能够可靠分解·除去被加工膜。
在本发明的成膜方法中，优选的是，所述紫外线的辐照度为1～50W/cm2。
由此，能够进一步有效地分解·除去被加工膜。
在本发明的成膜方法中，优选的是，所述掩模材是由所述紫外线照射实质上不变质的掩膜材。
由此，能够更容易且可靠地除去被加工膜的不需要部分。
在本发明的成膜方法中，优选的是，所述掩模材是挥发除去的掩模材。
由此，在第4工序中，能够使用简易的设备以低成本除去掩模材。
在本发明的成膜方法中，优选的是，所述掩模材是通过将水作为主成分的洗涤液洗涤除去。
由此，在第4工序中，能够使用简易的设备以低成本除去掩模材。
在本发明的成膜方法中，优选的是，所述掩模材是将水作为主成分的掩模材。
这由于比较容易吸收透过的紫外线使之衰减，尤其，价格便宜且容易得到，另外，容易挥发除去，故优选。
在本发明的成膜方法中，优选的是，所述掩模材是将水溶性高分子作为主成分的掩模材。
这由于比较容易吸收透过的紫外线使之易于衰减，在将此从喷嘴孔内除去时，能够比较容易除去，故优选。
在本发明的成膜方法中，优选的是，所述贯通孔的一端侧的开口面积(平均)是75～750000μm2。
在这样极小的贯通孔的内周面上形成膜的情况下，适用本发明的成膜方法为佳。由此，在贯通孔的内周面上的局部区域，能够容易且可靠形成膜。
在本发明的成膜方法中，优选的是，在所述第1工序中，将所述被加工膜形成在所述贯通孔的内周面及所述基材的表面，在所述贯通孔的内周面的所述局部区域、和所述基材的所述贯通孔的一端侧的面上连续地形成所述膜。
本发明的液体供给头，其特征在于，具有：头主体，其设有液体通过的流路，该流路的一方的开口构成排出所述液体的排出口；和疏液膜，采用如权利要求14所述的成膜方法，在所述流路的内周面的排出口附近的局部区域、和所述头主体的所述排出口侧的面上连续形成。
由此，获得能够将液体向目的处可靠且均匀地供给的液体供给头。
在本发明的成膜方法中，优选的是，具有：能够将所述液体从所述排出口作为液体喷出的液滴喷出机构。
本发明的液体供给装置，其特征在于，具有：本发明的液体供给头。
由此，获得能够将液体向目的处可靠且均匀地供给的液体供给头。
附图说明
图1是表示将本发明的液体供给头适用在喷墨头的情况下的实施方式的纵剖面图。
图2是用于说明图1中所示的喷墨头的制造方法的图。
图3是用于说明图1中所示的喷墨头的制造方法的图。
图4是用于说明图1中所示的喷墨头的制造方法的图。
图5是用于说明图1中所示的喷墨头的制造方法的图。
图6是用于说明图1中所示的喷墨头的制造方法的图。
图7是表示将本发明的液体供给头适用在喷墨打印机的情况下的实施方式的示意图。
图中，1-喷墨头、2-喷嘴板、21-喷嘴孔、211-墨水喷出口、212-内周面、212a-局部区域、212b-区域、22-墨水喷出口侧的面、23-上面、24-侧面、3-空腔板、31-振动板、4-电极板、5-空隙、51-墨水喷出室、52-孔(orifice)、53-贮存器、54-墨水取用口、6-墨滴、7-疏液膜、70-被加工膜、8-装置、81-独立电极、9-掩模材、10-片材、100-紫外线照射装置、101-腔、102-基板载置用台、103-紫外线照射头、104-紫外线、900-喷墨打印机、920-装置主体、921-托盘、922-排纸口、930-头单元、931-墨盒、932-墨车、940-印刷装置、941-墨车马达、942-往返移动机构、943-墨车引导轴、944-同步带、950-供纸装置、951-供纸马达、952-供纸辊、952a-从动辊、952b-驱动马达、960-控制部、970-操作板、P-记录用纸。
具体实施方式
以下，对本发明的成膜方法、液体供给头及液体供给装置根据附加图面中所示的最佳实施方式进行详细的说明。
首先，对将本末发的液体供给头适用在喷墨头的情况下的实施方式进行说明。还有，在本实施方式中，对采用静电驱动方式的喷墨头举例说明，但不限于此，也可以为例如，采用压电驱动方式等的其他的驱动方式的喷墨头。
图1是表示将本发明的液体供给头适用在喷墨头的情况下的实施方式的纵剖面图。
还有，图1将通常使用的状态上下倒过来表示。另外，以下，为了便于说明，将图1中的上侧称为“上”、下侧称为“下”。
该喷墨头1具有由喷嘴板2、空腔板3及电极板4构成的主体，配置有喷嘴板2和电极板4，以夹住空腔板3。
在空腔板3上，设置有多个台阶，在喷嘴板2和空腔板3之间生成(形成)有间隙5。
该间隙5具有：分别划分为多个的墨水喷出室51、设置在墨水喷出室51的后部的孔52、向各个墨水喷出室51供给墨水的共通的贮存器53，在贮存器53的下部，设置有墨水取用口54。
在空腔板3上的对应墨水喷出室51的部分，设成薄壁，使之作为用来改变墨水喷出室51的压力的振动板31发挥功能。
另外，在喷嘴板2上，形成有与墨水喷出室51连通的多个喷嘴孔(贯通孔)21。各喷嘴孔21分别构成供给到墨水喷出室51的墨水(液体)通过的流路。
另外，该喷嘴孔21的上方(一方)的开口构成将墨水作为墨滴(液滴)6喷出(排出)的墨水喷出口(排出口)211。
还有，在该喷嘴板2上，墨水喷出口211侧的面22、和喷嘴孔21的内周面212上的墨水喷出口211的附近的局部区域，即，喷嘴孔21的内周面212上的从上端(一端)朝向下端(另一端)的规定长度(规定深度)的局部区域212a连续，并在其上形成有疏液膜7。
该疏液膜7是相比喷嘴板2的表面，对墨水表现出高的疏液性(例如，接触角度90℃以上)的膜。在使用具有水溶性的墨水的情况下，形成比喷嘴板2的表面还具有高的疏液性的膜，在使用具有疏液性(亲油性)的墨水的情况下，形成比喷嘴板2的表面还具有高的亲水性的膜。
通过形成该疏液膜7，防止墨水附着在墨水喷出口211的周围，墨滴6稳定喷出，使得与喷嘴孔21的轴线方向大致一致。
在作为疏液膜7形成疏液性膜的情况下，可以使用以下所述的各种疏水性树脂材料等形成，这些是：例如，具有氟代烷基、烷基、乙烯基、环氧基、苯乙烯基、甲基丙稀酰氧基(methacryloxy)等的疏水性官能团的各种偶联剂、诸如聚四氟乙烯(PTFE)、四氟乙烯-全氟烷基乙烯基醚共聚物(PFA)、乙烯-四氟乙烯共聚物(ETFE)、聚全氟乙丙烯共聚物(FEP)、乙烯-三氟氯乙烯(ECTFE)、全氟代烷基醚之类的氟类树脂、硅树脂等的各种疏水性树脂材料等。
还有，作为疏水性膜的构成材料的市售品，可以使用例如，オプツ一ルDSX(ダイキン工业公司制)。
另一方面，在作为疏液膜7形成亲水性膜的情况下，可以使用各种亲水性树脂材料等形成，这些是：例如，具有羟基、羧基、氨基等亲水性官能团的各种偶联剂、聚乙烯醇等各种亲水性树脂材料等。
还有，这些是用于形成疏水性膜或亲水性膜的具有代表性的材料的例子，而且，由所述材料形成的膜存在显现疏水性即亲水性双方的性质的膜。
疏液膜7的平均厚度没有特别限定，但优选的是，0.01～20μm左右，更优选的是，0.01～3μm左右。
在这样的疏液膜7的形成上适用本发明的成膜方法。还有，对疏液膜7的形成(本发明的成膜方向)在后面记述。
另外，墨水喷出口211(喷嘴孔21的一端侧的开口)的开口面积(平均)没有特别限定，但优选的是，75～750000μm2左右，更优选的是，300～8000μm2左右。在将疏液膜7形成于这样的小孔径的喷嘴孔21的内周面212的情况下，适用本发明的成膜方法为佳。由此，能够在喷嘴孔21的内周面212的局部区域212a容易且可靠形成疏液膜7。
电极板4接合在空腔板3上的喷嘴板2的相反侧的面上。
电极板4在与振动板31对向的部分形成有凹部，并在与振动板31之间形成有振动室8。在该振动室8的下面，与振动板31对向的各个位置设置有独立电极81。
在该喷墨头1中，由振动板31、振动室8及独立电极81，构成静电激发器(液滴喷出机构)。
在这样的喷墨头1中，如果通过发信号电路对独立电极81施加脉冲电压，则独立电极81的表面带正电，与之对应的振动板31的下面带电为负电位。由于由此静电产生吸引作用，振动板31向下方挠曲。
在该状态下，如果关闭脉冲电压，则存储在独立电极81和振动板31的电荷急剧放电，振动板31通过振动板31自身的弹性力，复元为初始形状。
此时，墨水喷出室51内的压力急剧上升，由喷嘴孔21向记录纸(记录用纸P)喷出墨滴6。
还有，通过振动板31再次向下方挠曲，墨水由贮存器53通过孔52补充到墨水喷出室51内。
这样的喷墨头1可以通过例如，以下所述地制造。
图2～图6是用于说明图1中所示的喷墨头的制造方法的图，图2是具有喷墨头的喷嘴板的俯视图，图3～图6分别是喷嘴板的图1中的A-A线的纵剖面图。另外，在图5中以示意性表示有紫外线照射装置的一个例子。
还有，图3～图6将图1中所示的喷嘴板上下倒过来表示。另外，以下，为了便于说明，将图3～图6中的上侧成为“上”，将下侧成为“下”。
图3～图6中所示的喷墨头的制造方法具有(1)被加工膜形成工序、(2)掩模材填充工序、(3)无用部分除去工序、(4)掩模材除去工序、(5)基板接合工序，其中，本发明的成膜方法适用于工序(1)～(4)。
以下，对各工序依次说明。
(1)被加工膜形成工序(第1工序)
首先，如图2及图3所示，准备有形成有多个保持微小间隔的喷嘴孔21的喷嘴板(基材)2。
作为喷嘴板2，可以使用由金属、陶瓷、硅、玻璃、塑料等的构成物。其中，优选的是，尤其钛、铬、铁、钴、镍、铜、锌、锡、金等金属、或镍-磷合金、锡-铜-磷合金(磷青铜)、铜-锌合金、不锈钢等合金、聚碳酸酯、聚硫酸酯、ABS树脂(丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物)、聚对苯二甲酸乙二酯(poly(ethylene terephthalate))、聚乙酸等的构成物。
其次，如图4(a)所示，在喷嘴孔21的大致整个内周面212(包括(包含)局部区域212a的区域)及喷嘴板2的表面，形成有用于获得疏液膜7的被加工膜70。
通过在后面的工序(3)中除去该被加工膜70的无用部分，获得疏液膜7。
被加工膜70可以通过例如，使含有上述的疏液膜7的构成材料的液体接触喷嘴板2的方法、等离子CVD、热CVD、激光CVD之类的化学蒸镀法(CVD)、真空蒸镀、喷溅(spattering)离子镀(ion plating)等干式镀法等形成。
其中，被加工膜70，优选的是，通过使含有疏液膜7的构成材料的液体接触喷嘴板2的方法(液相成膜)形成。根据所述方法可知，能够容易且可靠形成被加工膜70。
另外，在这种情况下，喷嘴板2和所述液体之间的接触，可以通过例如，件喷嘴板2浸渍在所述液体中的方法(浸渍法)、将所述液体涂布在喷嘴板2的方法(涂布法)、向喷嘴板2倾泻供给所述液体的方法等进行。
(2)掩模材填充工序(第2工序)
其次，向形成有被加工膜70的喷嘴板2的喷嘴孔21内填充(供给)具有紫外线吸收性的掩模材9。
首先，如图4(b)所示，在形成有被加工膜70的喷嘴板2的墨水喷出口211侧(喷嘴孔21的一端侧)的面22上，以能够拆装的方式安装片材10。由此，堵塞喷嘴孔21的墨水喷出口211。
其次，以使片材朝向下方的方式，将该喷嘴板2载置在紫外线照射装置100的基板载置用台102上。对该紫外线照射装置100的构成在后面记述。
还有，也可以省去片材10，并将该喷嘴板2的墨水喷出口211侧的面直接吸附在紫外线照射装置100的基板载置用体102上等来堵塞墨水喷出口211。在将喷嘴板2吸附在基板载置用台102上的情况下，作为基板载置用台102，可以使用具有吸附喷嘴板2的机构的静电吸附机构或磁力吸附机构等。
还有，由于使用的掩模材9的粘度高等原因，在难以将掩模材9填充到喷嘴孔21的墨水喷出口211侧(一端侧)的情况下，也可以将掩模材9填充到喷嘴孔21内后，安装片材10或吸附在基板载置用台102上。
其次，如图4(c)所示，从喷嘴孔21的上端(另-端)注入掩模材9，并将掩模材9填充在喷嘴孔21内。
在本实施方式中，填充掩模材9，以覆盖包括(包含)局部区域(特定区域)212a的区域的被加工膜70(在图示的例子中，使得覆盖比喷嘴孔21的内周面212的规定区域212a还大少许的区域)。
还有，可以根据掩模材9的种类，将掩模材9以填埋大致整个喷嘴孔21内的方式填充。
掩模材9可以通过接下来的工序(3)中的紫外线照射允许变质稍许，但优选的是，实质上不变质的。由此，可以容易且可靠地除去被加工膜70的无用部分。
另外，作为掩模材9，可以列举例如，可挥发除去的掩模材、可通过水类洗涤液(将水作为主成分的洗涤液)或有机溶剂洗涤除去的掩模材等，但优选的是，可挥发除去的掩模材、可通过水类洗涤液洗涤除去的掩模材。作为掩模材9，通过使用它们，可以在后面的工序(4)中，使用简易的设备，从而，可以低成本进行。
作为可挥发除去的掩模材9，可以使用例如，水、四氯化碳、碳酸乙烯酯(ethylene Carbonate)等无机溶剂、或像甲乙酮(MEK)、丙酮(acetone)、二乙酮(diethylketone)、甲基异丁酮(MIBK)、甲基异丙基酮(MIPK)、环己酮(cyclohexanon)等酮类溶剂、甲醇、乙醇、异丙醇(isopropanol)、乙二醇、双甘醇(DEG)、甘油等醇类溶剂、二乙醚、二异丙醚、1，2-二甲氧基乙烷(DME)、1，4-二噁烷(1，4-dioxane)、四氢化呋喃(THF)、四氢化吡喃(THP)、茴香酰(anisoyl)、二甘醇二甲醚(diglyme)、二甘醇乙醚(卡必醇(carbitol))等醚类溶剂、甲基溶纤剂(methyl cellosolve)、乙基溶纤剂(ethyl cellosolve)、苯基溶纤剂(phenyl cellosolve)等溶纤剂类溶剂、正己烷、戊烷、庚烷、环己烷(cyclohexane)等脂肪族炭化氢类溶剂、甲苯、二甲苯、苯等芳香族炭化氢类溶剂、绿啶(viridin)、吡嗪(pyrazine)、呋喃(furan)、吡咯(pyrrole)、噻吩烷(thiophane)、甲基吡咯烷酮等芳香族杂环化合物类溶剂、N，N-二甲基甲酰胺(DMF)、N，N-二甲基甲酰胺(DMA)、等胺类溶剂、二氯甲烷(dichloromethane)、氯仿(chloroform)、1，2-二氯乙烷等卤素化合物类溶剂、醋酸乙酯、醋酸甲酯、甲酸乙酯等酯类溶剂、二甲基亚砜(DMSO)、环丁砜(sulfolane)等硫磺化合物类溶剂、甲基氰(acetonitrile)、丙腈(propiononitrile)、丙烯腈(acrylonitrile)等腈类溶剂、蚁酸、醋酸、三氯醋酸、三氟醋酸等有机酸类溶剂的各种有机溶剂、或，含这些的混合溶剂等的液态物。
这些掩模材9，可以根据被加工膜70(疏液膜7)的构成材料的种类进行选择，即，选择使被加工膜70膨润或难溶解的掩模材即可。
还有，在上述中，作为可挥发除去的掩模材9，可以使用水溶性高分子及水溶性低的分子的任何一个，但将水溶性高分子作为主成分的故态状物为佳。该掩模材9由于具有以下特点而优选，即：比较易于吸收透过的紫外线而衰减，在将它从喷嘴孔21内除去时，可以比较容易地除去。
作为该水溶性高分子，可以组合以下所述中1种或2种以上而使用，即：例如，像淀粉、胶原(蛋白)、纤维素(cellulose)、结晶纤维素、甲基纤维素(methyl cellulose)、羟丙基纤维素(hydroxypropyl cellulose)、羟丙甲基纤维素(hydroxypropyl methyl cellulose)、乙基纤维素(ethylcellulose)、羟丙乙基纤维素(hydroxypropyl ethyl cellulose)、聚丙酸纳、羟甲基纤维素(carboxymethyl cellulose)或其盐、聚乙烯醇、聚乙烯吡咯烷酮(polyvinyl pyrrolidone(PVP))、高分子聚合物(carboxyvinyl polymer)、烷基改性高分子聚合物(alkyl-modified carboxyvinyl polymer)、丙烯酸偏丙烯酸烷基聚合物、软骨素(chondroitin)、透明质酸(hyaluronic acid)、粘蛋白(mucin)、硫酸软骨素(dermatansulfate)、肝素(heparin)、硫酸角质素(keratan sulfate)一样的粘多糖类或其盐、藻酸或其盐、阿拉伯胶、琼脂、支链淀粉、卡拉胶(carrageenan)、刺槐豆胶(locust beam gom)、苍耳烷(xanthane)、几丁质凝胶(chitin gel)、加水分解几丁质、角蛋白(ceratin)等。
作为将掩模材9填充(供给)在喷嘴孔21内的方法，可以列举例如，旋涂(spin-coat)法、喷墨法等。根据所述方法可知，可以将掩模材9可靠地填充在喷嘴孔21内。
还有，在这种情况下，掩模材9为液态的情况下，可以将掩模材9直接使用，另外，在掩模材9为故态状的情况下，可以调节含有掩模材9的溶液或分散液调节而使用。
(3)无用部分除去工序(第3工序)
其次，从墨水喷出口211的相反侧(喷嘴孔21的另一端侧)对喷嘴板2照射紫外线。
在此，将使用在被加工膜70的除去中的紫外线照射装置的一个例子表示在图5。
图5中所示的紫外线照射装置100在腔101内设置有供喷嘴板2载置的基板载置用台102、和向微小区域照射紫外线104的紫外线照射头(紫外线照射机构)103而构成。
紫外线照射头103以与载置在基板载置用台102上的喷嘴板2之间保持一定的间隔的方式被支撑，可以在对喷嘴板2的上面23大致平行的方向上移动操作。
为了通过该紫外线照射装置100，除去形成在喷嘴板2的上面23、和喷嘴孔21的内周面212上的局部区域212a以外的区域212b的被加工膜70，将紫外线照射头103设为ON状态，并在与喷嘴板2的上面23大致平行地扫描。
如图5所示，如果由紫外线照射头103，向喷嘴板2的上面23照射紫外线104，则通过紫外线104分解·除去形成在喷嘴板2的上面23的被加工膜70。
另外，如图6(a)所示，如果紫外线104照射在喷嘴孔21内，则从掩模材9露出(掩模材9不存在的区域)的被加工膜70由于直接晒在紫外线104下而分解，并被从喷嘴孔21的内周面212除去。
另外，此时，紫外线104的一部分透过掩模材9的上端附近，连存在于该部分的被加工膜70也分解·除去，但在透过掩模材9的过程中，渐渐被掩模材9吸收而衰减，从而，不能够分解存在于掩模材9的下端侧的被加工膜70。
还有，通过持续这样的紫外线104的照射一定时间，保留存在于局部区域212a的被加工膜70，由此，除去形成在上侧的区域212b的被加工膜70。
通过对喷嘴板2的整个上面23和各喷嘴孔21实施这样的紫外线照射，如图6(b)所示，保留形成在喷嘴板2的墨水喷出口211侧的面22即侧面24、和各喷嘴孔21的内周面212的局部区域212a上的被加工膜70，而除去无用的被加工膜70。由此，获得疏液膜70。
另外，在喷嘴孔21的内周面212，在长度方向上，存在有疏液膜7，而且形成有对墨水润湿性低的疏液性区域、和疏液膜7不存在(被加工膜70被除去)，而对墨水润湿性高的亲液性区域。在本实施方式中，通过适当组合本工序(3)的掩膜材9的种类、紫外线104的波长、紫外线104的辐照度、紫外线104的照射时间(紫外线照射头103的扫描速度)等而进行调节，能够任意设定疏液性区域和亲液性区域的边界位置。
还有，也可以根据需要，除去形成在喷嘴板24的被加工膜70。
使用在该紫外线照射的紫外线104的波长，优选的是，250nm以下，更优选的是，200nm以下。通过使用这样的波长的紫外线104，能够更可靠分解·除去被加工膜70。
还有，作为被加工膜70(疏液膜7)的构成材料，在使用オプツ一ルDSX(ダイキン工业柱式会社制)的情况下，使用172nm的波长的紫外线104为佳。另外，在这种情况下，掩模材9使用将水作为主成分的掩模材为佳。
紫外线104的辐照度，优选的是，1～50W/cm2左右，更优选的是，5～25W/cm2左右。由此，能够更有效分解·除去被加工膜70。
另外，紫外线照射头103的扫描速度，优选的是，1～25mm/sec左右，更优选的是，5～20mm/sec左右。
紫外线照射头103和喷嘴板2之间间隔举例(图5中为G)，优选的是，1～50mm左右，更优选的是，1～30mm左右。由此，能够进一步提高被加工膜70的分解效率(处理效率)。
腔101内的气氛，可以为大气压，也可以为减压状态，但优选的是，大气压。即，紫外线照射，优选的是，在大气压下进行。由此，不需要减压泵，因此，削减喷嘴板2的制造成本，甚至，对喷墨头103的制造成本的削减有利。
另外，腔101内的气氛，可以为例如，大气、氮气气氛、惰性气体气氛等中的任何一个，但优选的是，不像氮气气氛或惰性气体气氛一样，几乎不含水蒸气，或水蒸气量极少的气氛。由此，气氛中的水蒸气吸收紫外线104，从而，能够防止衰减。其结果，能够均匀(匀称)分解·除去喷嘴板2的各部分上的被加工膜70。
其中，作为气氛，尤其优选的是氮气气氛。氮气容易得到，且价格便宜，故优选。
(4)掩模材除去工序(第4工序)
其次，将喷嘴板2从基板载置用台102取下，并将片材10从喷嘴板剥离。还有，如图6(c)所示，除去残留在喷嘴孔21的内部的掩模材9。
对掩模材9的除去方法，没有特别限定，但例如在使用液态的掩模材9的情况下，可以使用通过室温或加热挥发除去的方法或通过洗涤液洗涤除去的方法，另外，在作为掩模材9使用水溶性高分子的情况下，可以使用通过水类洗涤液(将水作为主成分的洗涤液)洗涤除去的方法等。
还有，掩模材9的除去方法根据掩模材9的种类适当选择即可。例如，在掩模材9将对水溶解性低的树脂材料的作为主成分的情况下，掩模材的除去可以在不溶解或膨润被加工膜70(疏液膜7)的前提下，作为所述树脂材料使用能够溶解的有机溶剂。
如上所述，在喷嘴板2的规定的区域形成有疏液膜7。
如果这样形成疏液膜7，则不需要使用像感光性树脂材料(光阻材料)一样高价的材料，因此，能够大幅度降低疏液膜7的形成所需的成本。另外，能够在多个喷嘴孔21内，一并均匀形成疏液膜7。
还有，在本实施方式中，利用由掩模材9引起的紫外线104的衰减及掩模材9的有无的情况，表示了在喷嘴孔21的内周面212的局部区域212a形成疏液膜7的情况，但在本发明中，也可以主要利用由掩模材9引起的紫外线104的衰减，在喷嘴孔21的内周面212的局部区域212a形成疏液膜7。
这可以通过将紫外线104和掩模材9组合成对紫外线104的掩模材9的透过性比较高，填充掩模材9，使得填埋大致整个喷嘴孔21内。
(5)基板接合工序
其次，准备预先制造的空腔板3及电极板4。
还有，接合喷嘴板2的上面(与墨水喷出口211相反侧的面)23、和形成有空腔板3的高低差的一侧的面。
另外，接合电极板4的独立电极81侧的面、和空腔板3的振动板31侧的面。
经过以上工序，制造喷墨头1。
这样的喷墨头1搭载在如图7所示的喷墨打印机(本发明的液体供给装置)。
图7是表示适用了本发明的液体供给装置的喷墨打印机的实施方式的示意图。
图7中所示的喷墨打印机900具有装置主体920，在上部的后方，设置有用于设置记录用纸P的托盘921，在下部的前方，设置有记录用纸P排出的排纸口922，在上部面设置有操作板970。
操作板970由例如，液晶显示器、有机EL显示器、LED灯等构成，并具有由用于显示错误信息等的显示部(未图示)、和各种开关等构成的操作板(未图示)。
另外，在装置主体920的内部，主要具有：具有作往复移动的头单元930的印刷装置(印刷机构)940、将记录用纸P一张一张送入印刷装置940的供纸装置(供纸机构)950、和控制印刷装置940及供纸装置950的控制部(控制机构)960。
通过控制控制部960，使供纸装置950一张一张间歇进给记录用纸P。该记录用纸P通过头单元930的下部附近。此时，头单元930在与记录用纸P的进给方向大致成正交的方向上作往复移动，从而，向记录用纸P进行印刷。即，头单元930的往复移动和记录用纸P的间歇进给构成印刷中的主扫描及副扫描，从而，进行喷墨方式的印刷。
印刷装置940具有：头单元930、构成头单元930的驱动源的墨车马达941、受墨车马达(carriage motor)941的旋转而使头单元930作往复移动的往复移动机构942。
头单元930，具有：喷墨头1，在其下部具有多个喷嘴孔21(墨水喷出口211)；向喷墨头1供给墨水的墨盒931；和搭载了喷墨头1及墨盒931的墨车932。
还有，通过使用填充有黄色、青色、洋红、黑色(黑)的4色的墨水的墨盒931，能够全彩印刷。
往复移动机构942具有：墨车引导轴943，其两端支撑在框架(未图示)上；与墨车引导轴943平行地延伸的同步带944。
墨车932以能够往复自由的方式支撑在墨车引导轴943上的同时，固定在同步带944的局部。
如果通过墨车马达941的运行，借由滑轮使同步带944正反移动，则被墨车引导轴943引导，头单元930作往复移动。还有，在这往复移动时，从喷墨头1适宜喷出墨水，向记录用纸P进行印刷。
供纸装置950具有成为其驱动源的供纸马达951、和通过供纸马达951的运行旋转的供纸辊952。
供纸辊952由夹住记录用纸P的进给路径(记录用纸P)并上下对向的从动辊952a和驱动辊952构成，驱动辊952b连接在供纸马达951上。由此，供纸辊952被设为将设置在托盘上的多张记录用纸P向印刷装置940一张一张进给。还有，代替托盘921，能够自由拆装收容记录用纸P的供纸盒也可。
控制部960根据例如从个人电脑或数码相机等主机电脑输入的印刷数据，控制印刷装置940或供纸装置950等，由此，进行印刷。
都未图示，但控制部960连接在存储主要控制各部的控制程序等的存储器、向喷墨头1的独立电极81施加脉冲电压，并控制墨水的喷出时间间隔的驱动电路、驱动印刷装置940(墨车马达)的驱动电路、驱动供纸装置950(供纸马达951)的驱动电路、以及从主机电脑得到印刷数据的通讯电路它们，并且具有在各部进行各种控制的CPU。
另外，CPU与能够检测例如，墨车931的墨水残留量、头单元930的位置等的各种感应器等电连接。
控制部960借由通信电路获得印刷数据并存储在存储器。CPU处理该印刷数据并根据该处理数据及从各种感应器获得的输入数据使各驱动电路输出驱动信号。静电激发器、印刷装置940及供纸装置950分别通过该驱动信号运行。由此，在记录用纸P上进行印刷。
以上，对本发明的成膜方法、液体供给头及液体供给装置根据图示的实施方式进行了说明，但本发明不限于此。
例如，由本发明的成膜方法形成的膜不限于疏液膜。
另外，本发明的成膜方法可以根据需要补充出于任何目的的工序。
另外，本发明液体供给头可以适用于例如具有各种分配喷嘴等小孔流路(贯通孔)的各种喷头中。

Claims (14)

1.一种成膜方法，是在设置于基材的贯通孔的内周面的、从一端朝向另一端的规定长度的局部区域上形成膜的成膜方法，其特征在于，包括：
在所述贯通孔的内周面的包含所述局部区域的区域，形成用于获得所述膜的被加工膜的第1工序；
向所述贯通孔内填充具有紫外线吸收性的掩模材的第2工序；
从所述贯通孔的另一端侧对所述基材进行紫外线照射，利用透过所述掩模材时的所述紫外线的衰减及所述掩模材的有无情况，除去被所述紫外线所照射的所述被加工膜，保留存在于所述局部区域上的所述被加工膜而获得所述膜的第3工序；以及
除去残留在所述贯通孔内的所述掩模材的第4工序。
2.根据权利要求1所述的成膜方法，其特征在于，
在所述第1工序中，使用含有所述膜的构成材料的液体形成所述被加工膜。
3.根据权利要求1所述的成膜方法，其特征在于，
在所述第3工序中，在大气压下进行所述紫外线照射。
4.根据权利要求1所述的成膜方法，其特征在于，
在所述第3工序中，在氮气气氛下进行所述紫外线照射。
5.根据权利要求1所述的成膜方法，其特征在于，
在所述第3工序中，在将照射所述紫外线的紫外线照射机构和所述基材隔离1～50mm的状态下进行所述紫外线照射。
6.根据权利要求1所述的成膜方法，其特征在于，
所述紫外线的波长为250nm以下。
7.根据权利要求1所述的成膜方法，其特征在于，
所述紫外线的辐照度为1～50W/cm2。
8.根据权利要求1所述的成膜方法，其特征在于，
所述掩模材是由所述紫外线照射实质上不变质的掩膜材。
9.根据权利要求1所述的成膜方法，其特征在于，
所述掩模材是可被挥发除去的掩模材。
10.根据权利要求1所述的成膜方法，其特征在于，
所述掩模材是可由将水作为主成分的洗涤液洗涤除去的掩膜材。
11.根据权利要求1所述的成膜方法，其特征在于，
所述掩模材是将水作为主成分的掩模材。
12.根据权利要求1所述的成膜方法，其特征在于，
所述掩模材是将水溶性高分子作为主成分的掩模材。
13.根据权利要求1所述的成膜方法，其特征在于，
所述贯通孔的一端侧的平均开口面积是75～750000μm2。
14.根据权利要求1所述的成膜方法，其特征在于，
在所述第1工序中，将所述被加工膜形成在所述贯通孔的内周面及所述基材的表面，在所述贯通孔的内周面的所述局部区域和所述基材的所述贯通孔的一端侧的面上连续地形成所述膜。
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