JPH09239991A - インクジェット記録ヘッドの製造方法及びそのヘッドを有するインクジェットプリンタ - Google Patents
インクジェット記録ヘッドの製造方法及びそのヘッドを有するインクジェットプリンタInfo
- Publication number
- JPH09239991A JPH09239991A JP5063596A JP5063596A JPH09239991A JP H09239991 A JPH09239991 A JP H09239991A JP 5063596 A JP5063596 A JP 5063596A JP 5063596 A JP5063596 A JP 5063596A JP H09239991 A JPH09239991 A JP H09239991A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ink jet
- recording head
- water
- jet recording
- ultraviolet rays
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 12
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 25
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 8
- 239000005871 repellent Substances 0.000 claims description 30
- 230000002940 repellent Effects 0.000 claims description 20
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 3
- 239000003921 oil Substances 0.000 abstract description 20
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 10
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 9
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 abstract description 5
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 abstract description 5
- 238000007639 printing Methods 0.000 abstract description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 abstract description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 abstract description 5
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 abstract description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 abstract description 2
- 230000001846 repelling effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 9
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 4
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 2
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000012356 Product development Methods 0.000 description 1
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004931 aggregating effect Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 238000010494 dissociation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005593 dissociations Effects 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000009281 ultraviolet germicidal irradiation Methods 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
- B41J2/1642—Manufacturing processes thin film formation thin film formation by CVD [chemical vapor deposition]
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1606—Coating the nozzle area or the ink chamber
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 インクジェット記録ヘッドの耐擦性および印
字品質を改善する。 【解決手段】 ノズル穴６を加工したシリコン製のノズ
ルプレート４へ、真空蒸着法によって撥水撥油膜１１を
積層し、続いて、ノズルプレート表面１４へ３００ｎｍ
の波長を含む紫外線１２を、大気、窒素、アルゴンの各
環境で、３００ｍＷ／ｃｍ2 （２５０ｎｍにおける測定
値）照射する。
字品質を改善する。 【解決手段】 ノズル穴６を加工したシリコン製のノズ
ルプレート４へ、真空蒸着法によって撥水撥油膜１１を
積層し、続いて、ノズルプレート表面１４へ３００ｎｍ
の波長を含む紫外線１２を、大気、窒素、アルゴンの各
環境で、３００ｍＷ／ｃｍ2 （２５０ｎｍにおける測定
値）照射する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェット記
録装置に用いられるインクジェット記録ヘッドの製造方
法及びその製造方法により得られたヘッドを有するイン
クジェットプリンタに関する。
録装置に用いられるインクジェット記録ヘッドの製造方
法及びその製造方法により得られたヘッドを有するイン
クジェットプリンタに関する。
【０００２】
【従来の技術】インクジェット記録ヘッドは、水性また
は油性のインクを用いるので、ノズル表面の撥水性が不
十分な場合、インクが付着し易くなる。そのため、吐出
するインクの直進性が損なわれ、印字乱れなどのトラブ
ルによって記録不能となることがある。
は油性のインクを用いるので、ノズル表面の撥水性が不
十分な場合、インクが付着し易くなる。そのため、吐出
するインクの直進性が損なわれ、印字乱れなどのトラブ
ルによって記録不能となることがある。
【０００３】また、インクジェット記録ヘッドは、シリ
コン・ガラス・金属・樹脂などが構成材料として用いら
れている。これらの構成材料はインクに濡れ易い性質を
もっているので、インクの噴射するノズル表面は撥水撥
油化処理が行われており、特にガラスに適した撥水撥油
材料として、特公平３−４３０６５号、特開平４−５０
５８９５号公報に開示されているようなフッ素含有有機
化合物等が提案されていた。
コン・ガラス・金属・樹脂などが構成材料として用いら
れている。これらの構成材料はインクに濡れ易い性質を
もっているので、インクの噴射するノズル表面は撥水撥
油化処理が行われており、特にガラスに適した撥水撥油
材料として、特公平３−４３０６５号、特開平４−５０
５８９５号公報に開示されているようなフッ素含有有機
化合物等が提案されていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし上記従来の技術
には、次のような課題があった。
には、次のような課題があった。
【０００５】インクジェット記録ヘッドのノズル面は、
印字中に付着したインク、および紙紛を除去するため定
期的にゴムで擦られる。従来の技術は、この操作によっ
て、ノズル穴周辺へ撥水撥油膜が凝集したため、インク
の直進性が損なわれ、印字品質が劣化するという課題を
有していた。
印字中に付着したインク、および紙紛を除去するため定
期的にゴムで擦られる。従来の技術は、この操作によっ
て、ノズル穴周辺へ撥水撥油膜が凝集したため、インク
の直進性が損なわれ、印字品質が劣化するという課題を
有していた。
【０００６】本発明は、上記の課題を解決するものであ
り、その目的とするところは、耐擦性の優れた、高印字
品質のインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する
ものである。
り、その目的とするところは、耐擦性の優れた、高印字
品質のインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する
ものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のインクジェット
記録ヘッドの製造方法は、インクが噴射するノズル表面
へ撥水撥油膜を積層したインクジェット記録ヘッドの製
造方法において、撥水撥油膜へ紫外線を照射することを
特徴とする。
記録ヘッドの製造方法は、インクが噴射するノズル表面
へ撥水撥油膜を積層したインクジェット記録ヘッドの製
造方法において、撥水撥油膜へ紫外線を照射することを
特徴とする。
【０００８】また、紫外線の波長が３００ｎｍ以下であ
ることを特徴とする。
ることを特徴とする。
【０００９】また、紫外線を不活性ガス環境で照射する
ことを特徴とする。
ことを特徴とする。
【００１０】また、上記製造方法により得られたインク
ジェット記録ヘッドを用いたインクジェットプリンタで
あることを特徴とする。
ジェット記録ヘッドを用いたインクジェットプリンタで
あることを特徴とする。
【００１１】
【作用】本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法
は、紫外線をノズル表面の撥水撥油膜へ照射することに
よって、撥水撥油膜を硬化させ、ノズル穴周辺の凝集、
付着を防止している。
は、紫外線をノズル表面の撥水撥油膜へ照射することに
よって、撥水撥油膜を硬化させ、ノズル穴周辺の凝集、
付着を防止している。
【００１２】紫外線のエネルギーは、３００ｎｍにおい
て、約１００ｋｃａｌ／ｍｏｌである。一方、撥水撥油
材料の主結合である、Ｃ−Ｃの解離エネルギーは８０ｋ
ｃａｌ／ｍｏｌ、Ｃ−Ｈは９８ｋｃａｌ／ｍｏｌなの
で、紫外線が照射された場合、撥水撥油膜の化学結合が
切断される。一部は、雰囲気中の酸素や水分等と反応
し、ＣＯ2 等へ分解されるが、大部分は、切断された部
分が、再結合または隣の撥水撥油材料と架橋化する。そ
の結果、撥水撥油膜が硬化するため、ゴム擦りによるノ
ズル穴周辺への凝集が防止できるのである。
て、約１００ｋｃａｌ／ｍｏｌである。一方、撥水撥油
材料の主結合である、Ｃ−Ｃの解離エネルギーは８０ｋ
ｃａｌ／ｍｏｌ、Ｃ−Ｈは９８ｋｃａｌ／ｍｏｌなの
で、紫外線が照射された場合、撥水撥油膜の化学結合が
切断される。一部は、雰囲気中の酸素や水分等と反応
し、ＣＯ2 等へ分解されるが、大部分は、切断された部
分が、再結合または隣の撥水撥油材料と架橋化する。そ
の結果、撥水撥油膜が硬化するため、ゴム擦りによるノ
ズル穴周辺への凝集が防止できるのである。
【００１３】なお、３００ｎｍ以下の紫外線が実施例で
説明するように最適であるが、３００ｎｍ以上の場合で
も、照射量を増やした条件において、架橋化反応が進
む。
説明するように最適であるが、３００ｎｍ以上の場合で
も、照射量を増やした条件において、架橋化反応が進
む。
【００１４】また、紫外線照射環境を窒素やアルゴンと
した場合、酸素や水分の影響が軽減されるため、ＣＯ2
等へ分解する撥水撥油材料が少なくなる。架橋部分が増
加するため、少ない紫外線照射量でも、凝集防止効果が
あらわれる。
した場合、酸素や水分の影響が軽減されるため、ＣＯ2
等へ分解する撥水撥油材料が少なくなる。架橋部分が増
加するため、少ない紫外線照射量でも、凝集防止効果が
あらわれる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下本発明の好適な例を、詳細に
説明する。
説明する。
【００１６】図１は、本発明における一実施例のインク
ジェット記録ヘッドの斜視図である。このようにインク
ジェット記録ヘッドは、第一プレート８と第二プレート
９の積層からなり、インクの供給部１と、ＰＺＴの振動
・静電気力などによりインクを吐出する圧力室２と、イ
ンクが通れる流路３を形成し、流路３に対して垂直方向
にノズル穴６を加工したノズルプレート４を接合した構
造である。そして撥水撥油膜は、このノズルプレート４
へ形成する。
ジェット記録ヘッドの斜視図である。このようにインク
ジェット記録ヘッドは、第一プレート８と第二プレート
９の積層からなり、インクの供給部１と、ＰＺＴの振動
・静電気力などによりインクを吐出する圧力室２と、イ
ンクが通れる流路３を形成し、流路３に対して垂直方向
にノズル穴６を加工したノズルプレート４を接合した構
造である。そして撥水撥油膜は、このノズルプレート４
へ形成する。
【００１７】図２は、図１のノズルプレート４（シリコ
ン製）へ撥水撥油膜を塗布する本実施例における工程別
のノズルプレート断面図である。この図に沿って本実施
例を説明する。
ン製）へ撥水撥油膜を塗布する本実施例における工程別
のノズルプレート断面図である。この図に沿って本実施
例を説明する。
【００１８】まず、図２（ａ）のようなノズル穴６を加
工したシリコン製のノズルプレート４へ、図２（ｂ）の
ようにフッ素含有シランカップリング化合物である東京
製品開発研究所製「パラックコート」を真空蒸着法によ
って、単分子以上、撥水撥油膜１１を積層した。
工したシリコン製のノズルプレート４へ、図２（ｂ）の
ようにフッ素含有シランカップリング化合物である東京
製品開発研究所製「パラックコート」を真空蒸着法によ
って、単分子以上、撥水撥油膜１１を積層した。
【００１９】続いて、図２（ｃ）のようにノズルプレー
ト表面１４へ３００ｎｍの波長を含む紫外線１２を、大
気、窒素、アルゴンの各環境で、０．３から３００ｍＷ
／ｃｍ2 （２５０ｎｍにおける測定値）照射した。
ト表面１４へ３００ｎｍの波長を含む紫外線１２を、大
気、窒素、アルゴンの各環境で、０．３から３００ｍＷ
／ｃｍ2 （２５０ｎｍにおける測定値）照射した。
【００２０】照射直後の撥水撥油膜の接触角は、一時的
に低下したが、疎水環境に一昼夜以上放置することによ
って復活した。
に低下したが、疎水環境に一昼夜以上放置することによ
って復活した。
【００２１】最後に、ノズル内部の撥水撥油膜を除去
し、インクジェット記録ヘッドを完成させた。完成した
インクジェット記録ヘッドを、ゴムを使って耐擦性試験
を実施した。表１は、１０００回の耐擦性試験後、印字
品質を次の基準で判定した結果である。
し、インクジェット記録ヘッドを完成させた。完成した
インクジェット記録ヘッドを、ゴムを使って耐擦性試験
を実施した。表１は、１０００回の耐擦性試験後、印字
品質を次の基準で判定した結果である。
【００２２】 ◎：顕微鏡で凝集物は確認されず、印字曲がりも無い状
態 ○：顕微鏡で凝集物が少量確認されたが、印字曲がりが
無い状態 ×：凝集物が確認され、印字曲がりも発生
態 ○：顕微鏡で凝集物が少量確認されたが、印字曲がりが
無い状態 ×：凝集物が確認され、印字曲がりも発生
【００２３】
【表１】
【００２４】このように、紫外線照射量が０ｍＷ／ｃｍ
2 の場合は、耐擦性試験において印字曲がりが発生した
が、紫外線を照射したインクジェット記録ヘッドは、印
字曲がりが発生せず、良好であった。中でも、窒素、ア
ルゴンのような不活性ガス環境で紫外線照射した試料
は、いずれの照射量においても、非常に良好であった。
2 の場合は、耐擦性試験において印字曲がりが発生した
が、紫外線を照射したインクジェット記録ヘッドは、印
字曲がりが発生せず、良好であった。中でも、窒素、ア
ルゴンのような不活性ガス環境で紫外線照射した試料
は、いずれの照射量においても、非常に良好であった。
【００２５】（比較例）実施例と同様の構造のインクジ
ェット記録ヘッドにおいて、３００ｎｍ以下の紫外線を
カットするフィルターを用い、実施例１と同量（測定は
３５０ｎｍ）の紫外線を照射した。表２は、１０００回
の耐擦性試験後、印字品質を次の基準で判定した結果で
ある。
ェット記録ヘッドにおいて、３００ｎｍ以下の紫外線を
カットするフィルターを用い、実施例１と同量（測定は
３５０ｎｍ）の紫外線を照射した。表２は、１０００回
の耐擦性試験後、印字品質を次の基準で判定した結果で
ある。
【００２６】 ◎：顕微鏡で凝集物は確認されず、印字曲がりも無い状
態 ○：顕微鏡で凝集物が少量確認されたが、印字曲がりが
無い状態 ×：凝集物が確認され、印字曲がりも発生
態 ○：顕微鏡で凝集物が少量確認されたが、印字曲がりが
無い状態 ×：凝集物が確認され、印字曲がりも発生
【００２７】
【表２】
【００２８】このように比較例のインクジェット記録ヘ
ッドは、実施例のヘッドに比べ印字品質が劣っていた。
ッドは、実施例のヘッドに比べ印字品質が劣っていた。
【００２９】なお、本実施例は、本発明の一部について
記したものであり、他の弗素系撥水撥油剤やシリコーン
系の撥水撥油剤を用いても、また撥水撥油剤の濃度が異
なっても同様の効果が発揮された。撥水撥油膜の膜厚は
単分子以上であればよく、１００、５００、１０００、
１００００オングストロームでもよい。またノズルプレ
ート材質は、シリコンに限らずガラス等でもよい。
記したものであり、他の弗素系撥水撥油剤やシリコーン
系の撥水撥油剤を用いても、また撥水撥油剤の濃度が異
なっても同様の効果が発揮された。撥水撥油膜の膜厚は
単分子以上であればよく、１００、５００、１０００、
１００００オングストロームでもよい。またノズルプレ
ート材質は、シリコンに限らずガラス等でもよい。
【００３０】また、本実施例の紫外線照射量以外でも、
改善効果の違いは無かった。
改善効果の違いは無かった。
【００３１】また、撥水撥油材料の形成方法は、蒸着法
以外に撥水撥油材料が溶解した液を用いたスプレー法、
浸せき法によっても同様の効果があった。
以外に撥水撥油材料が溶解した液を用いたスプレー法、
浸せき法によっても同様の効果があった。
【００３２】また、インクジェット記録ヘッドの構造
が、流路と平行方向にノズル穴を有したヘッドを用いた
場合でも、同様の効果を有した。
が、流路と平行方向にノズル穴を有したヘッドを用いた
場合でも、同様の効果を有した。
【００３３】
【発明の効果】以上記したように本発明によれば、撥水
撥油材料を塗布したインクジェット記録ヘッドのノズル
表面へ紫外線を照射することにより、耐擦性試験におい
て印字品質の低下を防止し、耐久印字品質を改善させる
効果を有した。
撥油材料を塗布したインクジェット記録ヘッドのノズル
表面へ紫外線を照射することにより、耐擦性試験におい
て印字品質の低下を防止し、耐久印字品質を改善させる
効果を有した。
【００３４】また、波長が３００ｎｍ以下である紫外線
が、少ない紫外線照射量によって印字品質低下を防止す
る効果を有した。
が、少ない紫外線照射量によって印字品質低下を防止す
る効果を有した。
【００３５】また、紫外線照射を窒素・アルゴン環境で
処理したことによって、さらに少ない紫外線照射量によ
って、印字品質低下を防止する効果を有した。
処理したことによって、さらに少ない紫外線照射量によ
って、印字品質低下を防止する効果を有した。
【００３６】また、上記のような優れた効果を有するイ
ンクジェットプリンタを得ることができる。
ンクジェットプリンタを得ることができる。
【図１】本発明の一実施例におけるインクジェット記録
ヘッドの斜視図。
ヘッドの斜視図。
【図２】本発明の一実施例におけるノズルプレートの工
程別断面図。
程別断面図。
１ インクの供給部 ２ 圧力室 ３ 流路 ４ ノズルプレート ５ 撥水撥油膜 ６ ノズル穴 ８ 第一プレート ９ 第二プレート １１ 撥水撥油膜 １２ 紫外線 １４ ノズルプレート表面
Claims (4)
- 【請求項１】 インクが噴射するノズル表面へ撥水撥油
膜を積層したインクジェット記録ヘッドの製造方法にお
いて、撥水撥油膜へ紫外線を照射することを特徴とする
インクジェット記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項２】 前記紫外線の波長が、３００ｎｍ以下で
あることを特徴とする請求項１記載のインクジェット記
録ヘッドの製造方法。 - 【請求項３】 前記紫外線を、不活性ガス環境で照射す
ることを特徴とする請求項１または２記載のインクジェ
ット記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項４】 請求項１記載の製造方法により得られた
インクジェット記録ヘッドを有するインクジェットプリ
ンタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5063596A JPH09239991A (ja) | 1996-03-07 | 1996-03-07 | インクジェット記録ヘッドの製造方法及びそのヘッドを有するインクジェットプリンタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5063596A JPH09239991A (ja) | 1996-03-07 | 1996-03-07 | インクジェット記録ヘッドの製造方法及びそのヘッドを有するインクジェットプリンタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09239991A true JPH09239991A (ja) | 1997-09-16 |
Family
ID=12864430
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5063596A Pending JPH09239991A (ja) | 1996-03-07 | 1996-03-07 | インクジェット記録ヘッドの製造方法及びそのヘッドを有するインクジェットプリンタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09239991A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100404260C (zh) * | 2004-12-24 | 2008-07-23 | 精工爱普生株式会社 | 成膜方法、液体供给头及液体供给装置 |
-
1996
- 1996-03-07 JP JP5063596A patent/JPH09239991A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100404260C (zh) * | 2004-12-24 | 2008-07-23 | 精工爱普生株式会社 | 成膜方法、液体供给头及液体供给装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5690915B2 (ja) | 流体吐出装置上の非湿潤性被膜 | |
| EP0576007B1 (en) | Method of forming a nozzle for an ink-jet printer head | |
| US8523322B2 (en) | Non-wetting coating on a fluid ejector | |
| US6444275B1 (en) | Method for remote plasma deposition of fluoropolymer films | |
| US5136310A (en) | Thermal ink jet nozzle treatment | |
| JP5633888B2 (ja) | 液体吐出装置上への非湿潤性コーティング | |
| JPH07243064A (ja) | 基板清掃方法 | |
| KR20040095714A (ko) | 발액막 피복 부재, 액체 분출 장치의 구성 부재, 액체분출 헤드의 노즐 플레이트, 액체 분출 헤드 및 액체 분출장치 | |
| US20110074871A1 (en) | Method of Forming Organic Film, and Organic Film, Nozzle Plate and Inkjet Recording Apparatus | |
| JP2929066B2 (ja) | インク・ジェット・プリント・ヘッドのコーティング層形成方法 | |
| JP3379119B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 | |
| US10654273B2 (en) | Ink jet head and ink jet printer | |
| JPH09239991A (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法及びそのヘッドを有するインクジェットプリンタ | |
| US8475885B2 (en) | Method of forming organic film, and organic film, nozzle plate, inkjet head and electronic device | |
| JPH09267478A (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法及びインクジェット記録ヘッド並びにインクジェットプリンタ | |
| US8367158B2 (en) | Liquid-repellent film forming method, inkjet head and inkjet recording apparatus | |
| US8628829B2 (en) | Method of forming organic film, and nozzle plate, inkjet head and electronic device | |
| JP7070660B2 (ja) | インクジェットヘッド及びその製造方法 | |
| JP3804359B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JPH07125219A (ja) | インクジェット記録ヘッドの撥水処理方法 | |
| JP2004330604A (ja) | ノズルプレートの撥液膜形成方法及びノズルプレート並びにインクジェットプリンタヘッド | |
| JP2003127384A (ja) | インクジェットヘッドの製造方法及びそのヘッドを有するインクジェットプリンタ | |
| JP2004122684A (ja) | インクジェットヘッド及びその製造方法 | |
| JP7453760B2 (ja) | 液体吐出ヘッド用基板およびその製造方法 | |
| US20190077153A1 (en) | Ink jet head and ink jet printer |