JPH09131880A

JPH09131880A - インクジェットヘッドの製造方法

Info

Publication number: JPH09131880A
Application number: JP29442895A
Authority: JP
Inventors: Motomichi Shibano; 元通芝野; Hironori Kitagawa; 博紀北川
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1995-11-13
Filing date: 1995-11-13
Publication date: 1997-05-20
Anticipated expiration: 2015-11-13
Also published as: JP3532680B2

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明はインク滴を噴射して記録を行うイン
クジェットヘッドの製造方法に関し、簡易な製造工程で
表面処理材のだれ込み等を防止してノズル板形成の高精
度化、低コスト化を図ることを目的とする。【解決手段】インクジェットプリンタに搭載されるイ
ンクジェットヘッドを構成するノズル板を製造する方法
であって、基板にノズル孔を形成した後（Ｓ１）、レジ
スト部材で該ノズル孔を閉塞し（Ｓ２）、加熱によりレ
ジスト部材をノズル孔先端部分で平坦化し（Ｓ３）、ノ
ズル板のレジスト部材以外の表面上に表面処理層を形成
して（Ｓ４）レジスト部材を除去する（Ｓ５）構成とす
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インク滴を噴射し
て記録を行うインクジェットヘッドの製造方法に関す
る。近年、コンピュータやワードプロセッサの汎用化に
伴い、これら電子機器の出力装置の一つであるプリンタ
が数多く使用されており、このプリンタの一つにインク
ジェットプリンタが普及してきている。そして、インク
ジェットプリンタに搭載されるインクジェットヘッドに
おける印字品質の向上、低コスト化が要求されている。

【０００２】

【従来の技術】図６に、従来のインクジェットヘッドの
説明図を示す。図６（Ａ）に示すように、インクジェッ
トヘッド１１は、長方形状の外壁１２に囲まれ、下方に
弾性部材１３を介して加圧板１４が設けられると共に、
上方にノズル孔１５ａが形成されたノズル板１５が設け
られて圧力室１６が形成される。外壁１２にはインク供
給口１７が形成され、インク溜まり（図示せず）とイン
ク供給路１８を介して連通される。また、加圧板１４の
裏面にはピエゾ素子１９が取り付けられる。

【０００３】このようなインクジェットヘッド１１はピ
エゾ素子１９に電圧を印加する。インクジェットヘッド
１１におけるピエゾ素子１９に電圧を印加することによ
り、ピエゾ素子１９が変形して加圧板１４を上方に膨ら
むように弾性変形させる。加圧板１４は大きく撓み、上
方にほぼ平行移動する。この動作によって、圧力室１６
内のインク液がノズル孔１５ａから被印字物にインク滴
２０となって噴射される。

【０００４】一方、ピエゾ素子１９に対する印加電圧を
ゼロにすると、ピエゾ素子１９が弾性で元の位置に戻
り、それによって加圧板１４が元の位置に戻る。この動
作によって、圧力室１６内へインク液がインク供給口１
７より吸い込まれる。ここで、ノズル板１５は、セラミ
ック板、金属板、高分子樹脂板等にプレス加工、レーザ
加工、エッチング加工、モールド加工等の工程によって
ノズル孔１５ａとなる開口部が形成されたものである。
例えば図６（Ｂ）に示すように、金属板１５ｂにプレス
加工を施して円錐形とするテーパ部１５ａ₁と円筒形を
有するスレート部１５ａ₂とを形成している。そして、
スレート部１５ａ₂の先端におけるノズル孔１５ａの開
口部分に撥水層１５ｃが形成されている。

【０００５】撥水層１５ｃの形成は、撥インク性の表面
処理剤を塗布、スパッタ、又はめっき等によりノズル板
１５の表面に付着又は合成により行っている。この場
合、表面処理層を形成しない部分にはレジストやワック
ス等のマスキング材により被覆している。

【０００６】ところが、撥水層１５ｃの形成にあたっ
て、撥インク性の表面処理剤が形成された層とマスキン
グ材との境界面の特にノズル孔１５ａの開口部分でのマ
スキング材の不均一性や表面処理剤の必要以上の付着、
成長により、マスキング材を除去した後に該表面処理剤
がノズル孔１５ａのエッジにバリやだれ込み１５ｃ₁と
して残り、インク粒子の飛翔方向を妨げることになる。
このようなだれ込み１５ｃ₁の形成防止として、例えば
特開平６−２４６９２１号公報に記載されていることが
行われている。

【０００７】ここで、図７に、従来のインクジェットヘ
ッドにおけるノズル板の製造工程図を示す。図７は、上
記特開平６−２４６９２１号公報に記載されている製造
工程図であり、まずノズル孔１５ａが形成された金属板
（ノズルプレート）１５ｂの表面にレジストとしての感
光性樹脂フィルム２１が形成される（図７（Ａ））。こ
の場合、感光性樹脂フィルム２１はノズル孔１５ａ内に
も入り込む。

【０００８】次いで、金属板１５ｂの裏面より紫外線を
照射し、当該金属板１５ｂをマスクとしてノズル孔１５
ａに充填された部分の感光性樹脂フィルム２１を硬化さ
せて硬化部２１ａを形成する（図７（Ｂ））。続いて、
金属板１５ｂの表面及び裏面にレジストとしての液状感
光性樹脂２２ａ，２２ｂを塗布し、裏面側より紫外線を
照射して該裏面に形成された液状感光性樹脂２２ｂを硬
化させる（図７（Ｃ））。そして、金属板１５ｂの表面
の感光性樹脂フィルム２１及び液状感光性樹脂２２ａを
現像により剥離して、表面上に硬化部２１ａのみを残す
（図７（Ｄ））。

【０００９】そこで、金属板１５ｂの表面上に撥インク
性の表面処理剤１５ｃを塗布し（図７（Ｅ））、硬化部
２１ａ及び裏面の硬化して感光性樹脂２２ｂを現像して
剥離し、金属板１５ｂの表面上にノズル孔１５ａの周辺
（ノズル孔１５ａの開口径の２０％を越えない範囲）以
外の部分に撥水層１５ｃが形成されるものである（図７
（Ｆ））。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかし、図７に示す製
造工程では、現像やリンスの工程を必要とし、また複数
種の感光性樹脂部材を使用する必要があることから、複
雑な工程が多く、ひいてはコスト高につながるという問
題がある。

【００１１】そこで、本発明は上記課題に鑑みなされた
もので、簡易な製造工程で表面処理材のだれ込み等を防
止してノズル板形成の高精度化、低コスト化を図るイン
クジェットヘッドの製造方法を提供することを目的とす
る。

【００１２】

【課題を解決するための手段】図１に、本発明の原理図
を示す。上記課題を解決するために、請求項１では図１
に示すように、インク液が充填される圧力室の一方にノ
ズル孔が形成されたノズル板が設けられ、他方に変形自
在な加圧板が設けられて、アクチュエータにより該加圧
板を変形させることにより該ノズル孔よりインク滴を噴
射させるインクジェットヘッドであって、前記ノズル板
に前記ノズル孔を所定数形成する工程と（ステップ
（Ｓ）１）、形成した該ノズル孔内にレジスト部材を充
填して該ノズル孔を閉塞する工程（Ｓ２）と、該レジス
ト部材を加熱して該ノズル孔の先端部分で平坦化させる
工程（Ｓ３）と、該ノズル板の該レジスト部材以外の表
面上に表面処理層を形成する工程（Ｓ４）と、該ノズル
孔に充填した該レジスト部材を除去する工程（Ｓ５）
と、を含んでインクジェットヘッドの製造方法が構成さ
れる。

【００１３】請求項２では、請求項１記載のノズル孔内
に前記レジスト部材を充填するにあたり、該レジスト部
材を前記ノズル板の裏面よりラミネートにより付着させ
る。請求項３では、請求項１又は２記載のレジスト部材
は、耐腐食性高分子樹脂が用いられる。

【００１４】請求項４では、請求項３記載の耐腐食性高
分子樹脂として感光性樹脂フィルムが用いられる。請求
項５では、請求項１において、請求項３又は４記載の耐
腐食性高分子樹脂を前記ノズル孔先端部分で平坦化させ
るにあたり、該耐腐食性高分子樹脂のガラス転移点を少
なくとも越える温度で加熱して軟化させる。

【００１５】請求項６では、請求項５記載の温度は、前
記耐腐食性高分子樹脂の硬化開始温度以下とする。請求
項７では、請求項１〜６の何れか一項において、前記レ
ジスト部材の加熱後に、露光により該レジスト部材を硬
化させる。

【００１６】請求項８では、請求項１記載の表面処理層
を形成するにあたり、フッ素系高分子又はシリコン系高
分子樹脂、その他の撥インク性物質からなる微粒子を含
有する共析めっきで形成する。上述のように請求項１の
発明では、図１に示すようにノズル板にノズル孔を形成
した後、レジスト部材で該ノズル孔を閉塞し、加熱によ
りレジスト部材をノズル孔先端部分で平坦化し、ノズル
板のレジスト部材以外の表面上に表面処理層を形成して
レジスト部材を除去する。これにより、表面処理層のノ
ズル孔へのだれ込みが微小に抑えることが可能となり、
簡易な製造工程でノズル板形成の高精度化、低コスト化
を図ることが可能となる。

【００１７】請求項２の発明では、レジスト部材をノズ
ル板の裏面よりラミネートにより付着する。これによ
り、ノズル板表面のノズル孔部分の汚れが少なくなり洗
浄工程を省略することが可能となる。請求項３又は４の
発明では、レジスト部材に例えば感光性樹脂フィルムの
耐腐食性高分子樹脂を用いる。これにより、ラミネート
により容易に付着され、露光のみで硬化することから工
程の簡素化、作業時間の短縮化を図ることが可能とな
る。

【００１８】請求項５又は６の発明では、例えば感光性
樹脂フィルムの耐腐食性高分子樹脂をガラス転移点以上
で硬化開始温度以下で加熱して軟化させる。これによ
り、ノズル孔への付回り、均一性、密着性が向上させ、
次工程でのマスキングを確実なものとすることが可能と
なる。

【００１９】請求項７の発明では、レジスト部材の加熱
後に露光により該レジスト部材を硬化させる。これによ
り、レジスト部材の硬化の時間短縮を図ることが可能と
なる。請求項８の発明では、表面処理層をフッ素系高分
子又はシリコン系高分子等の撥インク性物質からなる微
粒子を含有する共析めっきで形成する。これにより、耐
摩耗性、撥インク性、膜の均一性を図ることが可能とな
る。

【００２０】

【発明の実施の形態】図１に、本発明の一実施例の要部
断面図を示す。図１は、本発明の特徴を示すノズル板の
断面図を示したもので、インクジェットプリンタにおけ
るインクジェットヘッドユニットに搭載されたインクジ
ェットヘッドのノズル板に相当するものである。

【００２１】図１に示すノズル板３１は、基板３２にノ
ズル孔３３が所定数形成されたもので、ノズル孔３３は
テーパ部３３ａとストレート部３３ｂとにより構成され
る。そして、基板３２のノズル孔３３のストレート部３
３ｂ側の表面上に撥インク性の表面処理層３４が形成さ
れ、この表面処理層３４におけるノズル孔３３（ストレ
ート部３３ｂ）に対応する部分に開口部３４ａが形成さ
れる。すなわち、ノズル孔３３のストレート部３３ｂと
表面処理層３４の開口部３４ａがインク滴の噴射孔とな
る。

【００２２】この場合、ノズル孔３３のストレート部３
３ｂには、表面処理層３４が入り込むだれ込みを生じる
もので、ストレート部３３ｂの穴径φ₁に対してだれ込
みで生じた表面処理層３４の開口部３４ａの穴径φ₂に
よってインク滴の噴射孔の穴径を変化させるが、開口部
３４ａの穴径φ₂をストレート部３３ｂの穴径φ₁より
３％の範囲内で小の径になるようにだれ込みを許容して
形成される。この３％の径の違いは表面処理層３４の開
口部３４ａと、ノズル孔３３のストレート部３３ｂの内
側面とをほぼ同一側面上に並ぶようにするためのもので
ある。

【００２３】例えば、穴径φ₁が直径４０μm の場合
に、表面処理層３４の開口部３４ａの穴径φ₂が縮小値
で３％を越えない直径38.8μm 以上の大きさで制御され
て形成される。ところで、前述のように、表面処理層３
４がノズル孔３３のストレート部３３ｂへのだれ込みに
よって生じる噴射孔の寸法精度低下が印字品位に大きな
影響を及ぼすもので、画質に影響するインクドットのず
れが許容される量が一般に２０μm 程度とされている。
そして、ずれを生じる主な原因の一つにインク粒子速度
のバラツキがあり、印字品位に基づく速度バラツキが許
容される量は、中心速度に対して６％程度となる。

【００２４】従って、印字品位を確保するインク粒子速
度のバラツキを６％以内に抑制するためには噴射孔の穴
径の変化（ノズル孔３３のストレート部３３ｂの穴径φ
₁に対する表面処理層３４の開口部３４ａの穴径φ₂）
を３％以内にするものである。これによって、上述のよ
うに表面処理層３４の開口部３４ａの側面とノズル孔３
３のストレート部３３ｂの側面をほぼ同一側面上に並ぶ
ようにすることができ、インク飛翔特性を安定させ、印
字品位を向上させることができるものである。

【００２５】ここで、図１のノズル板の具体的構成を説
明する。基板３２は、例えばセラミックス、ガラス、金
属等の弾性率の高い部材が選択される。使用条件として
はノズル孔３３はインクに浸漬することから、インクに
対して腐食等の構造変化を起こさない材料であることが
必要であり、本実施例では耐蝕性の高いステンレススチ
ール（例えばＳＵＳ３１６）を使用する。なお、樹脂基
板を用いてもよい。

【００２６】一方、表面処理層３４は、フッ素系高分子
樹脂膜やシリコン系高分子樹脂膜等が使用される。本実
施例ではポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）微粒
子を含有するニッケル共析めっきにより形成している。
これは、耐摩耗性、層厚の均一性、厚さ制御性が優れて
いることから品質安定化を図ることができるためであ
る。また、撥インク性においてもＰＴＦＥ樹脂自体の撥
インク性とほぼ同程度の特性（接触角にして９０度以
上）が得られ、安定したインク飛翔特性を得るに十分で
あるためである。

【００２７】ここで、図２に、本発明方法の製造工程図
を示す。図２（Ａ）に示すように、厚さ１００μm 〜３
００μm のステンレススチール（ＳＵＳ３１６）板の基
板３２を、プレス加工、エッチング加工、放電加工、レ
ーザ加工等の方法によって加工し、ノズル板３３を設け
る。ここでは、円錐形のノズル孔３３をプレス加工によ
って作製するもので、ノズル孔３３のストレート部３３
ｂは穴径４０μm ，長さ２０μm とし、テーパ部３３ａ
はテーパ角２０°としている。なお、樹脂基板を用いる
場合のノズル孔３３の形成はモールド加工等により行わ
れる。

【００２８】続いて、図２（Ｂ）に示すように、加工さ
れたノズル孔３３に対してレジスト部材である耐腐食性
高分子樹脂をラミネートしてノズル孔３３を閉塞する。
樹脂材としては後に剥離すること及び樹脂の加工特性を
考慮して感光性液体レジストを用いることができる。こ
こでは、光硬化性のアクリル系樹脂のドライフィルムレ
ジスト（ＤＦＲ）４１を用いている。この場合、ノズル
孔３３を閉塞させるために、例えば厚さ５０μm のもの
が使用される。ＤＦＲは十分な熱量を与えることによっ
て粘性を持つ液状となり、容易にノズル穴内部に充填す
ることができる。

【００２９】なお、ＤＦＲは所定の温度以上で硬化が開
始される性質のものである。また、液状時における剥離
に際しても水溶性のＤＦＲを使用すればアルカリ性水溶
液で容易に剥離できるものである。上記ラミネートは、
基板３２を裏面のＤＦＲ４１と表面のＰＥＴ（ポリエチ
レンテレフタレート）フィルム４２で基板３２を挟持さ
せ、ラミネータにより行われる。これにより、容易に密
着させることができ、後述の露光だけで硬化させること
ができることから工程が簡素化し、作業時間を短縮させ
ることができるものである。

【００３０】その後、図２（Ｃ）に示すように、ＰＥＴ
フィルム４２を剥離し、例えばドライオーブンにより当
該ＤＦＲ４１のガラス転移点（例えば、７０℃）以上、
硬化開始温度（例えば、１３０℃）以下で加熱して軟化
させる。例えばＤＦＲ４１を本実施例では８０℃により
加熱する。これにより、ノズル孔３３の先端部分で平坦
化することができると共に、付回り、均一性、密着性が
良好となってマスキングを確実ならしめ、撥インク性表
面処理剤が付着するのを確実に防止することができる。
また、上記のような温度設定でマスキングを確実ならし
めることができるものである。

【００３１】そして、ＤＦＲ４１の軟化後にいわゆるベ
タ露光により硬化させるもので、露光量は後述のめっき
工程で該ＤＦＲ４１が変化しない程度に十分に硬化する
光量としている。このように、露光によりＤＦＲ４１を
硬化させることで、硬化温度で加熱して硬化させるより
も短時間で硬化させることができるものである。

【００３２】その後、水洗、電解脱脂、水洗、酸洗浄、
ストライクニッケルメッキを行い、図２（Ｄ）に示すよ
うにノズル開口部表面にニッケル共析めっきにより表面
処理層３４を形成する。この表面処理層３４の厚さはめ
っき工程時間、コスト、膜の均一性を考慮して２〜３μ
m としている。これにより、耐摩耗性、撥インク性、膜
の均一性を向上させることができるものである。

【００３３】そして、アルカリ性水溶液の剥離液中に浸
漬することにより、図２（Ｅ）に示すようにＤＦＲ４１
が剥離除去されてノズル板３１が完成するものである。
なお、基板３２にセラミック、ガラス、樹脂等の不導電
性のものが選択された場合には、図２（Ｄ）における表
面処理層３４の形成は無電解めっき（樹脂の場合には表
面に活性化溶液を塗布又は浸漬）により行えばよい。

【００３４】このように、ＤＦＲ４１を基板３２の裏面
よりラミネートすることによりノズル孔３３の開口部分
の汚染が防止され、洗浄工程を省くことができる。ま
た、加熱によりノズル孔３３の先端部分で平坦化させる
ことから、ノズル開口部表面に行うニッケル共析めっき
による表面処理層３４がノズル孔３３内にだれ込むこと
が阻害され、正確にノズル孔３３（ストレート部３３
ｂ）及び表面処理層３４の開口部３４ａの寸法精度を維
持することができる。従って、ノズル孔３３のストレー
ト部３３ｂの側面と表面処理層３４の開口部３４ａの側
面とを穴径３％以内でほぼ同一側面で形成することがで
き、インク飛翔の安定化、印字品位の向上を図ることが
できるものである。

【００３５】なお、本実施例ではレジスト部材としての
耐腐食性高分子樹脂としてＤＦＲを用いた場合を示した
が、熱により溶融して付回りを均一にするものとしてシ
ート状のワックス、めっき用マスキング材、液体レジス
ト等の高分子樹脂を用いてもよい。

【００３６】ところで、ノズル板形成にあたって、ノズ
ル孔が形成された基板の裏面からマスキングテープを貼
り合わせ、これをマスクとして基板表面に撥水層を形成
することが、例えば特開平５−３３００６０号公報によ
り知られているが、これは基板とマスキングテープの付
回り、均一性、密着性が悪く、ノズル孔の先端部分での
撥水層のだれ込みを生じるものであり、本発明が加熱処
理を行うことでだれ込みを防止することができるもので
ある。

【００３７】次に、図４に、本発明方法で製造されたノ
ズル板を使用したインクジェットヘッドの部分分解斜視
図を示す。図４に示すインクジェットヘッド５１は、金
属又はヤング率が１×１０¹⁰Ｐａ程度以上のプラスチッ
ク等のような剛性の高い部材（例えば感光性フィルム）
で形成された長方形状の外壁５２に囲まれて、圧力室５
３が形成されている。

【００３８】圧力室５３内には、インク供給口５４から
インク液が充填され、その前面側（図において上方）に
は、上述のノズル孔３３が穿設されたノズル板３２が接
合されている。ノズル孔３３は、外方の印字部（図示せ
ず）に向いており、圧力室５３内のインク液がノズル孔
３３からインク滴となって印字部に向かって吐出され
る。

【００３９】圧力室５３の裏面側には、例えばヤング率
が１×１０⁵〜１×１０⁹Ｐａ程度のゴム又は樹脂等か
らなる弾力性のあるパッキング５５を間に挟み込んで、
弾性変形可能な加圧板５４が配置されている。加圧板５
４は長方形状に形成されて全面で圧力室５３に面してお
り、長手方向の両端部において、細いリブ５５によって
支持体５６に連結されている。それと直角の方向では自
由端になっている。

【００４０】その加圧板５４の裏面には、電圧が印加さ
れると変形するピエゾ素子５７が密着して配置されてい
る。加圧板５４に対するピエゾ素子５７の当接面は長方
形であり、その長手方向は加圧板５４の長手方向と一致
している。５８は電極である。

【００４１】続いて、図５に、図４のインクジェットヘ
ッドが適用されるインクジェットプリンタの全体概念図
を示す。図５に示すインクジェットプリンタ６１は、回
転駆動される搬送手段であるプラテンロール６２が外面
の半周に巻き付けられた記録紙６３を用紙送りするもの
で、プラテンロール６２の軸方向と平行に２本のステー
シャフト６４ａ，６４ｂが固定される。このステーシャ
フト６４ａ，６４ｂに摺動自在にキャリッジ６５が設け
られて往復駆動される。このキャリッジ６５上に上記イ
ンクジェットヘッド５１が所定数一体となったインクジ
ェットヘッドユニット６６がインク滴を吐出するノズル
を記録紙６３側に向かって配置されて構成される。そし
て、インク供給手段としてのインク溜まり６７よりチュ
ーブ６８を介してインクジェットヘッドユニット６６に
インクが供給されるものである。

【００４２】

【発明の効果】以上のように請求項１の発明によれば、
ノズル板にノズル孔を形成した後、レジスト部材で該ノ
ズル孔を閉塞し、加熱によりレジスト部材をノズル孔先
端部分で平坦化し、ノズル板のレジスト部材以外の表面
上に表面処理層を形成してレジスト部材を除去すること
により、表面処理層のノズル孔へのだれ込みが微小に抑
えることが可能となり、簡易な製造工程でノズル板形成
の高精度化、低コスト化を図ることができる。

【００４３】請求項２の発明によれば、レジスト部材を
ノズル板の裏面よりラミネートにより付着することによ
り、ノズル板表面のノズル孔部分の汚れが少なくなり洗
浄工程を省略することができる。請求項３又は４の発明
によれば、レジスト部材に例えば感光性樹脂フィルムの
耐腐食性高分子樹脂を用いることにより、ラミネートに
より容易に付着され、露光のみで硬化することから工程
の簡素化、作業時間の短縮化を図ることができる。

【００４４】請求項５又は６の発明によれば、例えば感
光性樹脂フィルムの耐腐食性高分子樹脂をガラス転移点
以上で硬化開始温度以下で加熱して軟化させることによ
り、ノズル孔への付回り、均一性、密着性が向上させ、
次工程でのマスキングを確実なものとすることができ
る。

【００４５】請求項７の発明によれば、レジスト部材の
加熱後に露光により該レジスト部材を硬化させることに
より、レジスト部材の硬化の時間短縮を図ることができ
る。請求項８の発明によれば、表面処理層をフッ素系高
分子又はシリコン系高分子等の撥インク性物質からなる
微粒子を含有する共析めっきで形成することにより、耐
摩耗性、撥インク性、膜の均一性を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明方法の原理説明図である。

【図２】本発明の一実施例の要部断面図である。

【図３】本発明方法の製造工程図である。

【図４】本発明方法で製造されたノズル板を使用したイ
ンクジェットヘッドの部分分解斜視図である。

【図５】図４のインクジェットヘッドが適用されるイン
クジェットプリンタの全体概念図である。

【図６】従来のインクジェットヘッドの説明図である。

【図７】従来のインクジェットヘッドにおけるノズル板
の製造工程図である。

【符号の説明】

３１ノズル板３２基板３３ノズル孔３３ａテーパ部３３ｂストレート部３４表面処理層４１ＤＦＲ４２ＰＥＴフィルム５１インクジェットヘッド６１インクジェットプリンタ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】インク液が充填される圧力室の一方にノ
ズル孔が形成されたノズル板が設けられ、他方に変形自
在な加圧板が設けられて、アクチュエータにより該加圧
板を変形させることにより該ノズル孔よりインク滴を噴
射させるインクジェットヘッドの製造方法において、前記ノズル板に前記ノズル孔を所定数形成する工程と、形成した該ノズル孔内にレジスト部材を充填して該ノズ
ル孔を閉塞する工程と、該レジスト部材を加熱して該ノズル孔の先端部分で平坦
化させる工程と、該ノズル板の該レジスト部材以外の表面上に表面処理層
を形成する工程と、該ノズル孔に充填した該レジスト部材を除去する工程
と、を含むことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方
法。
【請求項２】請求項１記載のノズル孔内に前記レジス
ト部材を充填するにあたり、該レジスト部材を前記ノズ
ル板の裏面よりラミネートにより付着させることを特徴
とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項３】請求項１又は２記載のレジスト部材は、
耐腐食性高分子樹脂が用いられることを特徴とするイン
クジェットヘッドの製造方法。
【請求項４】請求項３記載の耐腐食性高分子樹脂とし
て感光性樹脂フィルムが用いられることを特徴とするイ
ンクジェットヘッドの製造方法。
【請求項５】請求項１において、請求項３又は４記載
の耐腐食性高分子樹脂を前記ノズル孔先端部分で平坦化
させるにあたり、該耐腐食性高分子樹脂のガラス転移点
を少なくとも越える温度で加熱して軟化させることを特
徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項６】請求項５記載の温度は、前記耐腐食性高
分子樹脂の硬化開始温度以下とすることを特徴とするイ
ンクジェットヘッドの製造方法。
【請求項７】請求項１〜６の何れか一項において、前
記レジスト部材の加熱後に、露光により該レジスト部材
を硬化させることを特徴とするインクジェットヘッドの
製造方法。
【請求項８】請求項１記載の表面処理層を形成するに
あたり、フッ素系高分子又はシリコン系高分子樹脂、そ
の他の撥インク性物質からなる微粒子を含有する共析め
っきで形成することを特徴とするインクジェットヘッド
の製造方法。