JP3245193B2 - インクジェットプリンタの印字ヘッド - Google Patents
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Landscapes
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、広義にはインクジェッ
トプリンタに関し、特にインクジェットプリンタの印字
ヘッド用のノズルプレートその他の部品に関する。
トプリンタに関し、特にインクジェットプリンタの印字
ヘッド用のノズルプレートその他の部品に関する。
【０００２】
【従来技術と発明が解決しようとする課題】図３はイン
クジェットプリンタ用の従来の印字ヘッドの一例を示
す。この印字ヘッドには、基板１１、中間層１４、およ
びノズルプレート１２が含まれる。図中さらに詳細に示
すように、プレート１２にはノズルオリフィス１３が形
成され、基板１１に蒸発キャビティ１５が形成されてい
る。説明の便宜上、図にはオリフィス１３のうちの１つ
と蒸発キャビティ１５のうちの１つだけを示す。しか
し、インクジェット印字ヘッドには、それぞれが蒸発キ
ャビティと対になった円形オリフィスの列が含まれる。
またインクジェット印字ヘッドには、多数の蒸発キャビ
ティを単一のインク溜めに結合する手段が含まれる。
クジェットプリンタ用の従来の印字ヘッドの一例を示
す。この印字ヘッドには、基板１１、中間層１４、およ
びノズルプレート１２が含まれる。図中さらに詳細に示
すように、プレート１２にはノズルオリフィス１３が形
成され、基板１１に蒸発キャビティ１５が形成されてい
る。説明の便宜上、図にはオリフィス１３のうちの１つ
と蒸発キャビティ１５のうちの１つだけを示す。しか
し、インクジェット印字ヘッドには、それぞれが蒸発キ
ャビティと対になった円形オリフィスの列が含まれる。
またインクジェット印字ヘッドには、多数の蒸発キャビ
ティを単一のインク溜めに結合する手段が含まれる。
【０００３】さらに図３に示すように、薄膜型の加熱抵
抗器１６が基板１１上に取りつけられ、蒸発キャビティ
を上から見たときに加熱抵抗器が見えるように蒸発キャ
ビティ内のほぼ中央に配置されている。実際にはこのよ
うな加熱抵抗器１６はたとえばスパッタリングや蒸着技
術を用いてシリコンやガラス基板上に形成することがで
きる。インクジェットプリンタ用の従来の印字ヘッドに
は各蒸発キャビティ内にこのような加熱抵抗器１６が１
つ含まれ、加熱抵抗器１６は選択的に起動できるように
配線されている。
抗器１６が基板１１上に取りつけられ、蒸発キャビティ
を上から見たときに加熱抵抗器が見えるように蒸発キャ
ビティ内のほぼ中央に配置されている。実際にはこのよ
うな加熱抵抗器１６はたとえばスパッタリングや蒸着技
術を用いてシリコンやガラス基板上に形成することがで
きる。インクジェットプリンタ用の従来の印字ヘッドに
は各蒸発キャビティ内にこのような加熱抵抗器１６が１
つ含まれ、加熱抵抗器１６は選択的に起動できるように
配線されている。
【０００４】図３に示すようなインクジェット印字ヘッ
ドの動作においては、電気エネルギーのパルスが加熱抵
抗器１６のうちの選択されたものに与えられる。ある加
熱抵抗器１６がパルスを受けると、それは電気エネルギ
ーを急速に熱に変換し、その熱によってこの加熱抵抗器
１６に隣接するインクがインク気泡を形成する。インク
気泡が大きくなると、それは通電された加熱抵抗器１６
の上部のノズルプレートのオリフィス１３からインク滴
を射出させる。この動作を説明するため、図３にインク
気泡１７とインク滴１９を示している。
ドの動作においては、電気エネルギーのパルスが加熱抵
抗器１６のうちの選択されたものに与えられる。ある加
熱抵抗器１６がパルスを受けると、それは電気エネルギ
ーを急速に熱に変換し、その熱によってこの加熱抵抗器
１６に隣接するインクがインク気泡を形成する。インク
気泡が大きくなると、それは通電された加熱抵抗器１６
の上部のノズルプレートのオリフィス１３からインク滴
を射出させる。この動作を説明するため、図３にインク
気泡１７とインク滴１９を示している。
【０００５】図３に示すようなインクジェット印字ヘッ
ドの加熱抵抗器１６に通電する順序を適切に選択するこ
とによって、射出されたインク滴によって紙その他の適
当な記録媒体上にパターンを形成することができる。た
とえば、射出されたインク滴が英数字を表す像を形成す
るように加熱抵抗器１６をあるパターンで通電すること
ができる。
ドの加熱抵抗器１６に通電する順序を適切に選択するこ
とによって、射出されたインク滴によって紙その他の適
当な記録媒体上にパターンを形成することができる。た
とえば、射出されたインク滴が英数字を表す像を形成す
るように加熱抵抗器１６をあるパターンで通電すること
ができる。
【０００６】インクジェットプリンタにおいては、印字
品質は印字ヘッドのノズルの物理的特性によって決ま
る。たとえば、印字ヘッドのオリフィスノズルの形状に
よってインク滴の射出の大きさ、軌道、および速度が左
右される。さらに、印字ヘッドのオリフィスノズルの形
状は蒸発チャンバーに供給されるインクの流れに影響す
ることがあり、また場合によっては隣接するノズルから
のインクの射出の仕方に影響することがある。
品質は印字ヘッドのノズルの物理的特性によって決ま
る。たとえば、印字ヘッドのオリフィスノズルの形状に
よってインク滴の射出の大きさ、軌道、および速度が左
右される。さらに、印字ヘッドのオリフィスノズルの形
状は蒸発チャンバーに供給されるインクの流れに影響す
ることがあり、また場合によっては隣接するノズルから
のインクの射出の仕方に影響することがある。
【０００７】インクジェット印字ヘッドのノズルプレー
トは、ニッケルで形成することが多く、また平版電鋳法
によって製作されることが多い。適当な平版電鋳法の一
例が米国特許４、７７３、９７１号に説明されている。
このような加工法においては、ノズルプレートのオリフ
ィスは、フォトレジストの支柱の周りにニッケルをオー
バープレーティングすることによって形成される。
トは、ニッケルで形成することが多く、また平版電鋳法
によって製作されることが多い。適当な平版電鋳法の一
例が米国特許４、７７３、９７１号に説明されている。
このような加工法においては、ノズルプレートのオリフ
ィスは、フォトレジストの支柱の周りにニッケルをオー
バープレーティングすることによって形成される。
【０００８】インクジェット印字ヘッドのノズルプレー
トを形成するためのこのような電鋳法には、いくつかの
問題点がある。ひとつは、この方法ではフォトレジスト
とめっきの厚み、支柱の直径、とオーバープレーティン
グ比等のパラメータを微妙にバランスすることを要する
ことである。もう一つの欠点は、その結果得られるノズ
ルプレートが通常もろく簡単に割れるという点である。
またもう一つの欠点は、このような電鋳法は本質的にノ
ズルの形状と大きさに関しての設計上の選択に制約を加
えるという点である。
トを形成するためのこのような電鋳法には、いくつかの
問題点がある。ひとつは、この方法ではフォトレジスト
とめっきの厚み、支柱の直径、とオーバープレーティン
グ比等のパラメータを微妙にバランスすることを要する
ことである。もう一つの欠点は、その結果得られるノズ
ルプレートが通常もろく簡単に割れるという点である。
またもう一つの欠点は、このような電鋳法は本質的にノ
ズルの形状と大きさに関しての設計上の選択に制約を加
えるという点である。
【０００９】インクジェットプリンタの印字ヘッドの電
鋳したノズルプレートおよびその他の部品を用いるに際
して、腐食が問題となる。一般的に、このようなノズル
プレートの腐食抵抗は２つのパラメータによって決ま
る。それはインクの化学的性質とノズルプレートの電解
めっきされたニッケル面への水和酸化物層の形成によっ
て決まる。水和酸化物層がない場合、インク中、特にイ
ンクジェットプリンタに通常用いられる水性インク中で
腐食するおそれがある。ノズルプレートの腐食はプレー
トを金で被覆することによって最小限にすることができ
るがこのようなめっきは費用がかかる。
鋳したノズルプレートおよびその他の部品を用いるに際
して、腐食が問題となる。一般的に、このようなノズル
プレートの腐食抵抗は２つのパラメータによって決ま
る。それはインクの化学的性質とノズルプレートの電解
めっきされたニッケル面への水和酸化物層の形成によっ
て決まる。水和酸化物層がない場合、インク中、特にイ
ンクジェットプリンタに通常用いられる水性インク中で
腐食するおそれがある。ノズルプレートの腐食はプレー
トを金で被覆することによって最小限にすることができ
るがこのようなめっきは費用がかかる。
【００１０】インクジェット印字ヘッド用の電鋳された
ノズルプレートのもう一つの欠点は完成した印字ヘッド
に使用中剥離を起こす傾向があることである。通常、剥
離はノズルプレートとその基板の間に小さな隙間が形成
されることから始まる。この隙間はノズルプレートとそ
の基板との熱膨張係数の違いによって発生することが多
い。剥離はインクと印字ヘッド材料の相互作用によって
悪化することがある。たとえば、インクジェット印字ヘ
ッドの材料は水性のインクに長時間さらされた後、膨張
してそれによって印字ヘッドのノズルの形状を変化させ
ることがある。
ノズルプレートのもう一つの欠点は完成した印字ヘッド
に使用中剥離を起こす傾向があることである。通常、剥
離はノズルプレートとその基板の間に小さな隙間が形成
されることから始まる。この隙間はノズルプレートとそ
の基板との熱膨張係数の違いによって発生することが多
い。剥離はインクと印字ヘッド材料の相互作用によって
悪化することがある。たとえば、インクジェット印字ヘ
ッドの材料は水性のインクに長時間さらされた後、膨張
してそれによって印字ヘッドのノズルの形状を変化させ
ることがある。
【００１１】インクジェット印字ヘッドのノズルプレー
トの剥離は、部分的ではあっても問題である。たとえ
ば、部分的な剥離によって射出されるインク滴の速度を
低下させることがある。また、部分的剥離はインク滴の
射出に干渉する気泡の蓄積場所を発生することがある。
さらに、ノズルブレートの部分的剥離は通常インク滴の
射出速度を低下させるか、あるいは非常に不規則にす
る。
トの剥離は、部分的ではあっても問題である。たとえ
ば、部分的な剥離によって射出されるインク滴の速度を
低下させることがある。また、部分的剥離はインク滴の
射出に干渉する気泡の蓄積場所を発生することがある。
さらに、ノズルブレートの部分的剥離は通常インク滴の
射出速度を低下させるか、あるいは非常に不規則にす
る。
【００１２】
【課題を解決するための手段】一般に、本発明は改善さ
れたインクジェットプリンタ用の印字ヘッドを提供す
る。ある実施例においてインクジェット印字ヘッドは、
インクジェットノズルを形成するために光除去した（ｐ
ｎｏｔｏ−ａｂｌａｔｉｏｎ）ポリマー材料から形成し
たノズルプレートを含む。ポリマー材料は、好適にはテ
フロン（登録商標）、ポリイミド、ポリメタクリル酸メ
チル、ポリエチレンテレフタラート、あるいはその混合
物や組み合わせたもの等のプラスティックである。
れたインクジェットプリンタ用の印字ヘッドを提供す
る。ある実施例においてインクジェット印字ヘッドは、
インクジェットノズルを形成するために光除去した（ｐ
ｎｏｔｏ−ａｂｌａｔｉｏｎ）ポリマー材料から形成し
たノズルプレートを含む。ポリマー材料は、好適にはテ
フロン（登録商標）、ポリイミド、ポリメタクリル酸メ
チル、ポリエチレンテレフタラート、あるいはその混合
物や組み合わせたもの等のプラスティックである。
【００１３】本発明の一実施例において、ノズルプレー
トのノズルは、それぞれが約１対１以下のバレルアスペ
クト比（すなわち、ノズルの長さに対するノズルの径の
比）を有する。バレルアスペクト比を小さくすること、
あるいはノズルのバレル長をその径に対して長くするこ
との利点は、蒸発キャビティ内のオリフィスと抵抗器の
配置が容易になることである。バレルアスペクト比を小
さくすることのもう一つの利点は、ノズルのバレルアス
ペクト比が小さいほど蒸発キャビティ内での気泡の滞留
が少なくなる傾向があることである。本発明のある実施
例では加熱抵抗器は蒸発キャビティ内の光除去したノズ
ルプレートに直接取りつけられる。
トのノズルは、それぞれが約１対１以下のバレルアスペ
クト比（すなわち、ノズルの長さに対するノズルの径の
比）を有する。バレルアスペクト比を小さくすること、
あるいはノズルのバレル長をその径に対して長くするこ
との利点は、蒸発キャビティ内のオリフィスと抵抗器の
配置が容易になることである。バレルアスペクト比を小
さくすることのもう一つの利点は、ノズルのバレルアス
ペクト比が小さいほど蒸発キャビティ内での気泡の滞留
が少なくなる傾向があることである。本発明のある実施
例では加熱抵抗器は蒸発キャビティ内の光除去したノズ
ルプレートに直接取りつけられる。
【００１４】
【実施例】図１には、中間層２５に積層したポリマーノ
ズルプレート２３を含むインクジェット印字ヘッド２０
を示す。図３のインクジェット印字ヘッドは、図１のイ
ンクジェット印字ヘッドと同様な外観を有するが、後者
の印字ヘッドは光除去されたポリマー材料から形成され
るという点で異なっている。このポリマー材料は好適に
はテフロン（登録商標）、ポリイミド、ポリメタクリル
酸メチル、ポリエチレンテレフタラート、あるいはその
混合物といったプラスティックである。
ズルプレート２３を含むインクジェット印字ヘッド２０
を示す。図３のインクジェット印字ヘッドは、図１のイ
ンクジェット印字ヘッドと同様な外観を有するが、後者
の印字ヘッドは光除去されたポリマー材料から形成され
るという点で異なっている。このポリマー材料は好適に
はテフロン（登録商標）、ポリイミド、ポリメタクリル
酸メチル、ポリエチレンテレフタラート、あるいはその
混合物といったプラスティックである。
【００１５】実際には図１のポリマーノズルを光除去す
るために各種の従来技術を採用することができる。採用
することのできる技術にはたとえばエキシマレーザー等
の光エネルギー光子レーザーを用いた除去技術がある。
エキシマレーザーはたとえばＦ2、ＡｒＦ、ＫｒＣｌ、
ＫｒＦ、あるいは、ＸｅＣｌ型等とすることができる。
るために各種の従来技術を採用することができる。採用
することのできる技術にはたとえばエキシマレーザー等
の光エネルギー光子レーザーを用いた除去技術がある。
エキシマレーザーはたとえばＦ2、ＡｒＦ、ＫｒＣｌ、
ＫｒＦ、あるいは、ＸｅＣｌ型等とすることができる。
【００１６】図１のノズルプレート２３を形成するため
の光除去技術の一例としては、リール間（ｒｅｅｌ ｔ
ｏ ｒｅｅｌ）光除去がある。この方法では、ポリマー
膜のストリップがレーザー中でリールから引き出され、
一方、金属の平版マスクが、膜の光劣化（すなわち光除
去）を行うために露光すべき領域と露光してはならない
領域を規定するために、この膜とレーザーの間に挟まれ
る。実際には金属の平版マスクは、除去中、膜と物理的
に離間されるのが好適である。
の光除去技術の一例としては、リール間（ｒｅｅｌ ｔ
ｏ ｒｅｅｌ）光除去がある。この方法では、ポリマー
膜のストリップがレーザー中でリールから引き出され、
一方、金属の平版マスクが、膜の光劣化（すなわち光除
去）を行うために露光すべき領域と露光してはならない
領域を規定するために、この膜とレーザーの間に挟まれ
る。実際には金属の平版マスクは、除去中、膜と物理的
に離間されるのが好適である。
【００１７】光除去技術はインクジェット印字ヘッドの
ノズルプレートを形成するための従来の平版電鋳法に比
べて多くの利点を有する。たとえば、光除去方法は一般
に従来の平版電鋳法に比べて費用がかからず、簡略であ
る。さらに、光除去法を用いることによってポリマーノ
ズルプレートをかなり大きく（すなわち、より大きな表
面積を有するように）製造でき、しかもノズルの形状を
従来の電鋳法では実際上得られないような形状とするこ
とができる。特に、レーザービームの向きを各露光動作
の間に変えながら多数回の露光を行うことによって特殊
なノズル形状を作成することができる。また、電鋳法に
求められるような厳密な加工制御を行うことなく精密な
ノズル形状を形成することができる。
ノズルプレートを形成するための従来の平版電鋳法に比
べて多くの利点を有する。たとえば、光除去方法は一般
に従来の平版電鋳法に比べて費用がかからず、簡略であ
る。さらに、光除去法を用いることによってポリマーノ
ズルプレートをかなり大きく（すなわち、より大きな表
面積を有するように）製造でき、しかもノズルの形状を
従来の電鋳法では実際上得られないような形状とするこ
とができる。特に、レーザービームの向きを各露光動作
の間に変えながら多数回の露光を行うことによって特殊
なノズル形状を作成することができる。また、電鋳法に
求められるような厳密な加工制御を行うことなく精密な
ノズル形状を形成することができる。
【００１８】ポリマーを光除去することによってノズル
プレートを形成することのもう一つの利点は、ノズルの
径（Ｄ）に対するノズルの長さ（Ｌ）の比が従来より大
きいノズルプレートを簡単に製造できることである。こ
の実施例では、Ｌ／Ｄ比は１を越える。ノズルの長さを
その径に対して長くすることの利点の一つは、蒸発キャ
ビティ内におけるオリフィスと抵抗器の配置がより簡単
になることである。Ｌ／Ｄ比の大きいノズルのもう一つ
の利点は、このようなノズルはインクジェット印字ヘッ
ドの動作中に蒸発キャビティ内に気泡を“飲み込む”傾
向が少ないという点である。
プレートを形成することのもう一つの利点は、ノズルの
径（Ｄ）に対するノズルの長さ（Ｌ）の比が従来より大
きいノズルプレートを簡単に製造できることである。こ
の実施例では、Ｌ／Ｄ比は１を越える。ノズルの長さを
その径に対して長くすることの利点の一つは、蒸発キャ
ビティ内におけるオリフィスと抵抗器の配置がより簡単
になることである。Ｌ／Ｄ比の大きいノズルのもう一つ
の利点は、このようなノズルはインクジェット印字ヘッ
ドの動作中に蒸発キャビティ内に気泡を“飲み込む”傾
向が少ないという点である。
【００１９】使用に際してもインクジェットプリンタ用
の光除去したポリマーノズルプレートは、従来の電鋳ノ
ズルプレートより優れた特性を有する。たとえば、光除
去したポリマーノズルプレートは水性の印字用インクに
よる腐食に対する抵抗力が高い。また、光除去したポリ
マーノズルプレートは一般に疎水性である。さらに、光
除去したポリマーノズルプレートは比較的服従性が高い
ため剥離に対して抵抗力がある。さらに、光除去したポ
リマーノズルプレートはポリマー基板に容易に固着で
き、あるいはポリマー基板と容易に一体形成可能であ
る。
の光除去したポリマーノズルプレートは、従来の電鋳ノ
ズルプレートより優れた特性を有する。たとえば、光除
去したポリマーノズルプレートは水性の印字用インクに
よる腐食に対する抵抗力が高い。また、光除去したポリ
マーノズルプレートは一般に疎水性である。さらに、光
除去したポリマーノズルプレートは比較的服従性が高い
ため剥離に対して抵抗力がある。さらに、光除去したポ
リマーノズルプレートはポリマー基板に容易に固着で
き、あるいはポリマー基板と容易に一体形成可能であ
る。
【００２０】図２は光除去したポリマーノズルプレート
を含むタイプのインクジェット印字ヘッドの別の実施例
を示す。この実施例で、インクジェット印字ヘッドは２
０Ａで示され、ノズルプレートは３１で示される。上述
の実施例と同様に、蒸発キャビティ（符号３３）はノズ
ルプレート３１、基板３４、および中間層３５によって
形成される。また、上述の実施例と同様に薄膜型の加熱
抵抗器３７が蒸発キャビティ内に取りつけられる。しか
し、上述の実施例と異なり、加熱抵抗器３７は基板３４
の上ではなくノズルプレート３４の下面に取りつけられ
る。
を含むタイプのインクジェット印字ヘッドの別の実施例
を示す。この実施例で、インクジェット印字ヘッドは２
０Ａで示され、ノズルプレートは３１で示される。上述
の実施例と同様に、蒸発キャビティ（符号３３）はノズ
ルプレート３１、基板３４、および中間層３５によって
形成される。また、上述の実施例と同様に薄膜型の加熱
抵抗器３７が蒸発キャビティ内に取りつけられる。しか
し、上述の実施例と異なり、加熱抵抗器３７は基板３４
の上ではなくノズルプレート３４の下面に取りつけられ
る。
【００２１】ここで、上述の蒸発キャビティもまた光除
去法によって形成できることがわかる。具体的には、ポ
リマー層の上に金属の平版マスクを置き、次にポリマー
層の平版マスクで保護されていない領域をレーザー光で
光劣化させることによって、選択された構成の蒸発キャ
ビティを形成することができる。実際にはポリマー層は
ノズルプレートに接着するか、それに隣接して形成する
ことができる。
去法によって形成できることがわかる。具体的には、ポ
リマー層の上に金属の平版マスクを置き、次にポリマー
層の平版マスクで保護されていない領域をレーザー光で
光劣化させることによって、選択された構成の蒸発キャ
ビティを形成することができる。実際にはポリマー層は
ノズルプレートに接着するか、それに隣接して形成する
ことができる。
【００２２】以上本発明の原理、実施例および動作の態
様を説明してきた。しかし、この発明は上に述べた具体
的な実施例に限定されるものではない。たとえば、図２
に示す印字ヘッドは基板を削除するように変更でき、そ
の代わりにノズルプレートと中間層を光除去できる材料
から積層、あるいは同時成型した一体の層として形成す
ることができる。別の例として、上述の発明はサーマル
型でないインクジェットプリンタに加えてサーマル型の
インクジェットプリンタにも用いることができる。
様を説明してきた。しかし、この発明は上に述べた具体
的な実施例に限定されるものではない。たとえば、図２
に示す印字ヘッドは基板を削除するように変更でき、そ
の代わりにノズルプレートと中間層を光除去できる材料
から積層、あるいは同時成型した一体の層として形成す
ることができる。別の例として、上述の発明はサーマル
型でないインクジェットプリンタに加えてサーマル型の
インクジェットプリンタにも用いることができる。
【００２３】
【発明の効果】以上の如く本発明によれば、平版電鋳法
により形成されるニッケル等の従来のノズルプレートに
比して、安価で簡略にノズルプレートを作成でき、しか
も従来よりも精密で複雑なノズル形状を形成できる。さ
らにノズル径に対するノズル長さの比が大きいノズルプ
レートを簡単に製造でき、これによって抵抗器の配置が
簡単になると共に、印字ヘッドの動作中に蒸発キャビテ
ィ内に気泡を“飲み込む”傾向が少なくなるという効果
がある。また、本発明に係るノズルプレートは、従来の
電鋳ノズルプレートよりも腐食に対する抵抗力があり、
剥離に対しても強く、ポリマー基板に容易に固着あるい
は容易に一体形成できる。
により形成されるニッケル等の従来のノズルプレートに
比して、安価で簡略にノズルプレートを作成でき、しか
も従来よりも精密で複雑なノズル形状を形成できる。さ
らにノズル径に対するノズル長さの比が大きいノズルプ
レートを簡単に製造でき、これによって抵抗器の配置が
簡単になると共に、印字ヘッドの動作中に蒸発キャビテ
ィ内に気泡を“飲み込む”傾向が少なくなるという効果
がある。また、本発明に係るノズルプレートは、従来の
電鋳ノズルプレートよりも腐食に対する抵抗力があり、
剥離に対しても強く、ポリマー基板に容易に固着あるい
は容易に一体形成できる。
【図１】本発明に係る印字ヘッドの一実施例を示す断面
図である。
図である。
【図２】本発明の他の実施例を示す断面図である。
【図３】従来の印字ヘッドを示す断面図である。
１１：基板 １３：ノズルオリフィス ２５：中間層 １５：蒸発キャビティ １６：加熱抵抗器 １７：インク気泡 １９：インク滴 ２０：インクジェット印字ヘッド ２３：ノズルプレート
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 エリック・ハンソン アメリカ合衆国カリフォルニア州バーリ ンガム・ブルームフィールドロード431 (56)参考文献 特開 平２−204048（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−187345（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−294047（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−272557（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−8658（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−42194（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−321087（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−84345（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B41J 2/135 B41J 2/05
Claims (3)
- 【請求項１】 インクプリンタ用のノズル部材を形成す
るためのステップアンドリピート工程であって、該工程
が、 レーザー除去を利用して可撓性テープのストリップにイ
ンクオリフィスを形成するステップと、 レーザー除去を利用して、蒸発チャンバーを前記可撓性
テープに形成し、該蒸発チャンバーが前記可撓性テープ
の厚みの一部分のみを通り、前記インクオリフィスとイ
ンク溜との間を流体連通可能とするステップとを含み、 前記インクオリフィスを形成するステップが、 リールから前記可撓性テープのストリップを引き出し、
レーザー放射源に関する所定の位置に位置させるステッ
プと、 前記レーザー放射源と前記可撓性テープの間に第一のマ
スク手段を与え、該第一のマスク手段が前記インクオリ
フィスに対応するパターンを含むステップと、 前記第一のマスク手段を介してレーザー放射に前記可撓
性テープを露光し、前記第一のマスク手段が前記可撓性
テープから物理的に離間されるステップとを含み、 さらに前記蒸発チャンバーを形成するステップが、 レーザー放射源と前記可撓性テープとの間に第二のマス
ク手段を与え、該第二のマスク手段が前記蒸発チャンバ
ーに対応するパターンを含み、各蒸発チャンバーがイン
クオリフィスに対応するステップと、さらに 前記第二の
マスク手段を介してレーザー放射に前記可撓性テープを
露光し、前記蒸発チャンバーが前記可撓性テープの厚み
の一部分のみを通って延伸されるステップとを含む、 ことを特徴とする工程。 - 【請求項２】 前記可撓性テープがポリマー材料からな
る、請求項１記載の工程。 - 【請求項３】 前記ノズル部材の表面に複数の加熱抵抗
器を取り付けるステップをさらに含み、前記加熱抵抗器
の各々が前記インクオリフィスの１つに関連する、請求
項１又は２記載の工程。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US56800090A | 1990-08-16 | 1990-08-16 | |
| US568,000 | 1990-08-16 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04226765A JPH04226765A (ja) | 1992-08-17 |
| JP3245193B2 true JP3245193B2 (ja) | 2002-01-07 |
Family
ID=24269503
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22889991A Expired - Lifetime JP3245193B2 (ja) | 1990-08-16 | 1991-08-14 | インクジェットプリンタの印字ヘッド |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5305018A (ja) |
| EP (1) | EP0471157B1 (ja) |
| JP (1) | JP3245193B2 (ja) |
| DE (1) | DE69111936T2 (ja) |
| HK (1) | HK158996A (ja) |
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| EP0471157B1 (en) | 1995-08-09 |
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| EP0471157A1 (en) | 1992-02-19 |
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| DE69111936D1 (de) | 1995-09-14 |
| DE69111936T2 (de) | 1996-04-11 |
| HK158996A (en) | 1996-08-30 |
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