JP2791226B2 - 記録ヘッドの製造方法および記録ヘッド - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、記録ヘッドの製造方法
及び記録ヘッドに関する。

【０００２】［背景技術］吐出口からインクを吐出させ
るタイプのインクジェット記録ヘッドの製造方法におい
ては、吐出されるインクの吐出特性を向上させる目的か
ら吐出口形成部材（オリフィスプレート）の吐出口形成
面に撥水性を持つ材料を形成し、吐出口形成面、少なく
とも吐出口近傍には、撥水性を持たせている。即ち、オ
リフィスプレートに撥水性をつ樹脂を塗布し、光あるい
は熱処理をほどこすことによって樹脂を硬化させ、吐出
口形成面に撥水層を形成させている。また、材料によっ
ては、熱処理によってその材料を溶解している溶媒ある
いは分散させている分散媒を蒸発させることによって、
材料の層を形成し、フェイス面に撥水層を形成させてい
る。これらの熱処理の場合、一般的に撥水性をもつ材料
のガラス転移点Ｔｇあるいは融点Ｔｍｐ以上に加熱す
る。さらに、。吐出口形成部材自体が撥水性を持つ材料
で構成されている場合もある。

【０００３】このような吐出口形成部材に対して、レー
ザー光を利用して吐出口を形成する技術を本願出願人は
採用した。

【０００４】すなわち、パルスレーザーによる吐出口の
加工は、上記のような処理をほどこすことによって吐出
口面が撥水性を持つようになったオリフィスプレートに
レーザービームを照射することによって吐出口を形成す
ることでおこなわれている。このようにパルスレーザー
を用いてフェイス面に吐出口を形成した場合、吐出口近
傍に、オリフィス加工による副生成物が付着する現象が
あることが、インクジェット記録ヘッドの製造方法の検
討時に判明した。

【０００５】

【発明が解決しようとしている課題】このようにレーザ
ー加工による副生成物が吐出口近傍に付着・堆積した場
合、インク吐出の状態は要求される特性を十分満足する
ものではなかった。即ち、副生成物が吐出口近傍の撥水
面の上に降り積もることによって該当箇所が親水性を示
す状態となり、インク吐出時に、インクがその親水性領
域に引き寄せられる現象が見られ、飛翔液滴の方向が安
定しなくなり、印字品位の低下を招く場合があった。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、上述した従来
の課題を解決するためになされたものであり、吐出口面
に撥水層を持つ、あるいは、オリフィスプレート自体が
撥水剤で構成されているオリフィスプレートに対して、
パルスレーザーを照射してオリフィス加工をおこなった
後、オリフィス近傍に付着堆積した親水性の大きい副生
成物を除去あるいは所定の処理をほどこすことによっ
て、オリフィス近傍の撥水性を回復することにより、オ
リフィス近傍へのインクの付着を防ぎ、印字品位の低下
を防ぐことができる記録ヘッドおよびその製造方法を提
供することを目的としている。

【０００７】そのために本発明では、オリフィスプレー
トを有するインクジェット記録ヘッドの製造方法におい
て、インクを吐出するために利用されるエネルギー発生
素子が備えられている基板に接合することにより前記吐
出エネルギー発生素子の配置部位に対応してインク路を
構成する天板と、吐出口形成部材とを一体とし、該吐出
口形成部材の吐出口が形成される面に撥水性を持つ材料
で処理した後、エキシマレーザーからなるパルスレーザ
ービームを照射することによって吐出口を形成し、さら
のその後、吐出口周辺部に付着堆積したオリフィス加工
時の副生成物、又は吐出口周辺部に副生成物が付着した
オリフィスプレートを前記撥水剤のガラス転移点Ｔｇあ
るいは融点Ｔｍｐ以上の温度で加熱処理することにより
オリフィス近傍に撥水性を回復させることを特徴として
いる。

【０００８】以上の構成によれば、吐出口近傍にレーザ
−加工によって生成された親水性の部分に対して親水性
状態の変換を行うことができるため、吐出口近傍のイン
クの濡れによる印字品位の劣化を防ぐことができ、さら
に経時変換に対しても安定した印字を行うことができる
記録ヘッドが得られる。

【０００９】特に、レーザー加工時の副生成物に加熱処
理をほどこす場合には、撥水性を持った副生成物の、下
地となっている撥水層に対する密着性が向上し、経時変
化に対しても安定した印字を行なうインクジェット記録
ヘッドが得られる。

【００１０】

【実施例】（実施例１）図１は、本発明の特徴を最も良
く表す図であり、同図において、１はＫｒＦエキシマレ
ーザー、２はエキシマレーザーから発振して出てきた波
長２４８ｎｍのレーザービーム、３は光学系、４はイン
クジェット記録ヘッドのオリフィスのすべて、あるいは
一部のパターンを持った投影マスク、５は撥水層６を持
ったオリフィスプレートである。エキシマレーザー１か
ら発振されたレーザービーム２は、光学系３によって加
工され、インクジェット記録ヘッドのオリフィスのすべ
て、あるいは一部のパターンを持った投影マスク４を照
射する。この光学系３は投影マスク４のパターンを１／
３倍に投影し、撥水層６を持ったオリフィスプレート５
にオリフィス加工を行なう。オリフィスプレート５に
は、ポリエーテルサルフォン（ＰＥＳ）のフィルムを用
いた。また、撥水剤にはサイトップ（商品名旭硝子
（株）、Ｔｇ＝１０８℃）を用い、ＰＥＳのオリフィス
プレートにサイトップを塗布した後、１２０℃で１時間
熱処理し、撥水層６を形成した。このオリフィスプレー
ト５を、図１に示したオリフィス加工装置によって、オ
リフィス加工をおこなった。

【００１１】図２は、図１におけるオリフィスプレート
５を拡大したものである。同図において２はエキシマレ
ーザービーム、５はオリフィスプレート、６は撥水層、
７は図１に示したオリフィス加工装置によって形成した
吐出開口、８はオリフィス加工によって生成しオリフィ
ス近傍に付着した副生成物である。本実施例では吐出開
口７を形成するのにオリフィスプレートの撥水層のつい
ていない面からレーザービーム２を入射させた。

【００１２】このようにしてオリフィス加工し、副生成
物が吐出開口近傍に付着堆積したオリフィスプレートを
１２０℃で１時間加熱処理し、これを用いて図３に示す
ようなインクジェット記録ヘッドを製作した。

【００１３】インクジェットユニットＩＪＵは、電気信
号に応じて膜沸騰をインクに対して生じせしめるための
熱エネルギーを生成する電気熱変換体を用いて記録を行
なうバブルジェット方式のユニットである。

【００１４】図３において、１００はＳｉ基板上に複数
の列状に配された電気熱変換体（吐出ヒータ）と、これ
に電力を供給するＡｌ等の電気配線とが成膜技術により
形成されて成るヒータボードである。２００はヒータボ
ード１００に対する配線基板であり、ヒータボード１０
０の配線に対応する配線（例えばワイヤボンデイングに
より接続される）と、この配線の端部に位置し本体装置
からの電気信号を受けるパッド２０１とを有している。

【００１５】１３００は複数のインク流路を夫々区分す
るための隔壁や各インク流路へインクを与えるためにイ
ンクを収納するための共通液室等を設けた溝付天板で、
インクタンクＩＴから供給されるインクを受けて上述の
共通液室へ導入するインク受け口１５００と、各インク
流路に対応した吐出口を複数有するオリフィスプレート
４００を一体成型したものである。これらの一体成型材
料としてはポリサルフォンが好ましいが、他の成型用樹
脂材料でも良い。

【００１６】３００は配線基板２００の裏面を平面で支
持する例えば金属製の支持体で、インクジェットユニッ
トの底板となる。５００は押えばねであり、Ｍ字形状で
そのＭ字の中央で共通液室を軽圧で押圧すると共に前だ
れ部５０１で液路の一部、好ましくは吐出口近傍の領域
を線圧で集中押圧する。ヒータボード１００および天板
１３００を押えばねの足部が支持体３００の穴３１２１
を通って支持体３００の裏面側に係合することでこれら
を挟み込んだ状態で両者を係合させることにより、押え
ばね５００とその前だれ部５０１の集中付勢力によって
ヒータボード１００と天板１３００とを圧着固定する。
また支持体３００は、インクタンクＩＴの２つの位置決
め凸起１０１２及び位置決め且つ熱融着保持用凸起１８
００、１８０１に係合する位置決め用穴３１２、１９０
０、２０００を有する他、装置本体ＩＪＲＡのキャリッ
ジＨＣに対する位置決め用の突起２５００、２６００を
裏面側に有している。加えて支持体３００はインクタン
クからのインク供給を可能とするインク供給管２２００
を貫通可能にする穴３２０をも有している。支持体３０
０に対する配線基板２００の取付は、接着剤等で貼着し
て行なわれる。尚、支持体３００の凹部２４００、２４
００は、それぞれ位置決め用突起２５００、２６００の
近傍に設けられており、組み立てられたインクジェット
カートリッジＩＪＣにおいて、その周囲の３辺を平行溝
３０００、３００１の複数で形成されたヘッド先端域の
延長点にあって、ゴミやインク等の不要物が突起２５０
０、２６００に至ることがないように位置している。こ
の平行溝３０００が形成されている。蓋部材８００は、
インクジェットカートリッジＩＪＣの外壁を形成すると
共に、インクタンクとでインクジェットユニットＩＪＵ
を収納する空間部を形成している。また、この平行溝３
００１が形成されているインク供給部材６００は、前述
したインク供給管２２００に連続するインク導管１６０
０を供給管２２００側が固定の片持ちばりとして形成
し、インク導管の固定側とインク供給管２２００との毛
管現象を確保するための封止ピン６０２が挿入されてい
る。尚、６０１はインクタンクＩＴと供給管２２００と
の結合シールを行なうパッキン、７００は供給管のタン
ク側端部に設けられたフィルターである。

【００１７】このインク供給部材６００は、モールド成
型されているので、安価で位置精度が高く形成製造上の
精度低下を無くしているだけでなく、片持ちばりの導管
１６００によって大量生産時においても導管１６００の
上述インク受け口１５００に対する圧接状態が安定化で
きる。本例では、この圧接状態下で封止用接着剤をイン
ク供給部材側から流し込むだけで、より完全な連通状態
を確実に得ることができている。尚、インク供給部材６
００の支持体３００に対する固定は、支持体３００の穴
１９０１、１９０２に対するインク供給部材６００の裏
面側ピン（不図示）を支持体３００の穴１９０１、１９
０２を会して貫通突出せしめ、支持体３００の裏面側に
突出した部分を熱融着することで簡単に行なわれる。
尚、この熱融着された裏面部のわずかな突出領域は、イ
ンクタンクＩＴのインクジェットユニットＩＪＵ取付面
側壁面のくぼみ（不図示）内に収められるので、ユニッ
トＩＪＵの位置決め面は正確に得られる。

【００１８】プリンターに装着して吐出液滴の観察なら
びに記録紙への記録をおこなった。その結果、オリフィ
ス加工した後、加熱処理しないオリフィスプレートを用
いて製作したインクジェット記録ヘッドに対して、飛翔
インク液滴の吐出方向が安定し、また印字についても良
好か結果を得た。

【００１９】（実施例２）以下に、別の実施例について
述べる。

【００２０】図４は、図１および図２に示したオリフィ
ス加工装置によって加工した後、吐出口周辺部に副生成
物が付着堆積したオリフィスプレートに対して、超音波
洗浄を施したものである。オリフィスプレート５には、
ポリエーテルサルフォンのフィルムを用いた。また、撥
水剤にはＫＰ８０１（商品名 信越化学工業（株））を
用いオリフィスプレート５に塗布した後、１５０℃で１
時間加熱処理をほどこし、撥水層６を形成した。このよ
うにして形成された撥水層６を持つオリフィスプレート
５に対して、撥水層６を形成した逆の面からＫｒＦエキ
シマーレーザービームを照射して、吐出口７を形成し
た。このようにして吐出口７を形成したオリフィスプレ
ート５に対して水中で超音波洗浄をほどこすことによ
り、オリフィス加工時の副生成物８は、ほとんど除去さ
れた。

【００２１】このようにしてオリフィス加工し、副生成
物が除去されたオリフィスプレートを用いてインクジェ
ット記録ヘッドを製作し、プリンターに装着して吐出液
滴の観察ならびに記録紙への記録をおこなった。その結
果、オリフィス加工した後、超音波洗浄を行なわれない
オリフィスプレートを用いて製作したインクジェット記
録ヘッドに比して、飛翔インク液滴の吐出方向が安定
し、また印字についても良好な結果を得た。

【００２２】（実施例３）以下に、別の実施例について
述べる。

【００２３】図５は、図１及び図２に示したオリフィス
加工装置によって加工した後、吐出口周辺部に副生成物
が付着堆積したオリフィスプレートに対して、超音波水
流によって洗浄を施したものである。オリフィスプレー
ト５には、ポリイミドのフィルムを用いた。また、撥水
剤にはＫＰ８０１（商品名 信越化学工業（株））を用
いオリフィスプレート５に塗布した後、１５０℃で１時
間加熱処理をほどこし、撥水層６を形成した。このよう
にして形成した撥水層６を持つオリフィスプレート５に
対して、撥水層６を形成した面の逆の面からＸｅＣｌエ
キシマーレーザービームを照射して、オリフィス７を形
成した。このようにして吐出口７を形成したオリフィス
プレート５に対して、純水を用いた超音波水流によって
洗浄をほどこした。これにより、吐出口加工時の副生成
物８はほとんど除去された。

【００２４】このようにしてオリフィス加工し、副生成
物が除去されたオリフィスプレートを用いてインクジェ
ット記録ヘッドを製作し、プリンターに装着して吐出液
滴の観察ならびに記録紙への記録を行なった。その結
果、オリフィス加工した後、超音波水流による洗浄をし
ないオリフィスプレートを用いて製作したインクジェッ
ト記録ヘッドに比して、飛翔インク液滴の吐出方向が安
定し、また印字についても良好な結果を得た。

【００２５】（実施例４）以下に、別の実施例について
述べる。

【００２６】図６は、図１及び図２に示したオリフィス
加工装置によって加工した後、吐出口周辺部に副生成物
が付着堆積したオリフィスプレートに対して、洗浄を施
したものである。オリフィスプレート５には、ポリエー
テルサルフォンのフィルムを用いた。また、撥水剤には
サイトップ（商品名 旭硝子（株））を用いオリフィス
プレート５に塗布した後、１２０℃で１時間加熱処理を
ほどこし、撥水層６を形成した。このようにして形成し
た撥水層６を持つオリフィスプレート５に対して、撥水
層６を形成した面の逆の面からＫｒＦエキシマーレーザ
ービームを照射して、オリフィス７を形成した。このよ
うにしてオリフィスプレート５に形成したオリフィス７
に対して、オリフィス方向から、サファイアで形成した
５０ミクロンのノズルから２００ｋｇｆ／ｃｍ²に加圧
した純水を連続的に放出させることによって形成した高
圧水流をあてた。これにより、図６に示したように、高
圧水流が当たらなかった部分のレーザー加工時の副生成
物８は十分に除去できなかったが、オリフィスプレート
の吐出口近傍に付着した、レーザー加工による副生成物
は除去することができた。

【００２７】このようにしてオリフィス加工し、副生成
物がオリフィス近傍から除去されたオリフィスプレート
を用いてインクジェット記録ヘッドを製作し、プリンタ
ーに装着して吐出液滴の観察ならびに記録紙への記録を
おこなった。その結果、オリフィス加工した後、高圧水
流による洗浄をしないオリフィスプレートを用いて製作
したインクジェット記録ヘッドに比して、飛翔インク液
滴の吐出方向が安定し、また印字についても良好な結果
を得た。

【００２８】（実施例５）以下に、別の実施例について
述べる。

【００２９】図７は、図１及び図２に示したオリフィス
加工装置によって加工した後、吐出口周辺部に副生成物
が付着堆積したオリフィスプレートに対して、セロハン
テープの貼り剥しを５回繰り返したものである。オリフ
ィスプレート５には、ポリイミドのフィルムを用いた。
また、撥水剤にはＫＰ８０１（商品名 信越化学工業
（株））を用いオリフィスプレート５に塗布した後、１
５０℃で１時間加熱処理をほどこし、撥水層６を形成し
た。このようにして形成した撥水層６を持つオリフィス
プレート５に対して、撥水層６を形成した面の逆の面か
らＸｅＣｌエキシマーレーザービームを照射して、オリ
フィス７を形成した。このようにしてオリフィス７を形
成したオリフィスプレート５の両面に対して、セロハン
テープの貼り剥がしをそれぞれ５回ずつ行なった。これ
により、オリフィス加工時の副生成物は、除去された。

【００３０】このようにしてオリフィス加工し、副生成
物が除去されたオリフィスプレートを用いてインクジェ
ット記録ヘッドを製作し、プリンターに装着して吐出液
滴の観察ならびに記録紙への記録を行なった。その結
果、オリフィス加工した後、セロハンテープより貼り剥
がしをしないオリフィスプレートを用いて製作したイン
クジェット記録ヘッドに比して、飛翔インク液滴の吐出
方向が安定し、また印字についても良好な結果を得た。

【００３１】なお、本発明は、特にインクジェット記録
方式の中でも、インク吐出を行なわせるために利用され
るエネルギーとして熱エネルギーを発生する手段（例え
ば電気熱変換体やレーザー光等）を備え、前記熱エネル
ギーによりインクの状態変化を生起させる方式の記録ヘ
ッド、記録装置において優れた効果をもたらすものであ
る。かかる方式によれば記録の高密度化、高精細化が達
成できるからである。

【００３２】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されている基本的な原理を用いて
行なうものが好ましい。この方式は所謂オンデマンド
型、コンティニュアス型のいずれにも適用可能である
が、特に、オンデマンド型の場合には、液体（インク）
が保持されているシートや液路に対応して配置されてい
る電気熱変換体に、記録情報に対応していて核沸騰を越
える急激な温度上昇を与える少なくとも１つの駆動信号
を印加することによって、電気熱変換体に熱エネルギー
を発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさ
せて、結果的にこの駆動信号に一対一で対応した液体
（インク）内の気泡を形成できるので有効である。この
気泡の成長、収縮により吐出用開口を介して液体（イン
ク）を吐出させて、少なくとも１つの滴を形成する。こ
の駆動信号をパルス形状とすると、即時適切に気泡の成
長収縮が行なわれるので、特に応答性に優れた液体（イ
ンク）の吐出が達成でき、より好ましい。このパルス形
状の駆動信号としては、米国特許第４４６３３５９号明
細書、同第４３４５２６２号明細書に記載されているよ
うなものが適している。なお、上記熱作用面の温度上昇
率に関する発明の米国特許第４３１３１２４号明細書に
記載されている条件を採用すると、さらに優れた記録を
行なうことができる。

【００３３】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液路、電気熱変換体
の組み合わせ構成（直線状液流路または直角液流路）の
他に熱作用部が屈曲する領域に配置されている構成を開
示する米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許第
４４５９６００号明細書を用いた構成も本発明に含まれ
るものである。加えて、複数の電気熱変換体に対して、
共通するスリットを電気熱変換体の吐出部とする構成を
開示する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギ
ーの圧力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を
開示する特開昭５９−１３８４６１号公報に基づいた構
成としても本発明の効果は有効である。すなわち、記録
ヘッドの形態がどのようなものであっても、本発明によ
れば記録を確実に効率よく行なうことができるようにな
るからである。

【００３４】さらに、記録装置が記録できる記録媒体の
最大幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録
ヘッドに対しても本発明は有効に適用できる。そのよう
な記録ヘッドとしては、複数記録ヘッドの組み合わせに
よってその長さを満たす構成や、一体的に形成された１
個の記録ヘッドとしての構成のいずれでもよい。

【００３５】加えて、上例のようなシリアルタイプのも
のでも、装置本体に固定された記録ヘッド、あるいは装
置本体に装着されることで装置本体との電気的な接続や
装置本体からのインクの供給が可能になる交換自在のチ
ップタイプの記録ヘッド、あるいは記録ヘッド自体に一
体的にインクタンクが設けられたカートリッジタイプの
記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効である。

【００３６】また、本発明に記録装置の構成としても設
けられる、記録ヘッドに対しての回復手段、予備的な補
助手段等を付加することは本発明の効果を一層安定でき
るので、好ましいものである。これらを具体的に挙げれ
ば、記録ヘッドに対してのキャッピング手段、クリーニ
ング手段、加圧或いは吸引手段、電気熱変換体或いはこ
れとは別の加熱素子或いはこれらの組み合わせによる予
備加熱手段、記録とは別の吐出を行なう予備吐出モード
を行なうことも安定した記録を行なうために有効であ
る。

【００３７】また、搭載される記録ヘッドの種類ないし
個数についても、例えば単色のインクに対応して１個の
みが設けられたものの他、記録色や濃度を異にする複数
のインクに対応して複数個数設けられるものであっても
よい。すなわち、例えば記録装置の記録モードとしては
黒色当の主流色のみの記録モードだけではなく、記録ヘ
ッドを一体的に構成するか複数個の組み合わせによるか
いずれでもよいが、異なる色の複色カラー、または混色
によるフルカラーの少なくとも一つを備えた装置にも本
発明は極めて有効である。

【００３８】さらに加えて、以上説明した本発明実施例
においては、インクを液体として説明しているが、室温
やそれ以下で固化するインクであって、室温で軟化もし
くは液化するもの、あるいはインクジェット方式ではイ
ンク自体を３０℃以上７０℃以下の範囲内で温度調整を
行なってインクの粘性を安定吐出範囲にあるように温度
制御するものが一般的であるから、使用記録信号付与時
にインクが液状をなすものであればよい。加えて、積極
的に熱エネルギーによる昇温をインクの固形状態から液
体状態への状態変化のエネルギーとして使用せしめるこ
とで防止するか、またはインクの蒸発防止を目的として
放置状態で固化するインクを用いるかして、いずれにし
ても熱エネルギーの記録信号に応じた付与によってイン
クが液化し、液状インクが吐出されるものや、記録媒体
に到達する時点ではすでに個化し始めるもの等のよう
な、熱エネルギーによって初めて液化する性質のインク
を使用する場合も本発明は適用可能である。このような
場合のインクは、特開昭５４−５６８４７号公報あるい
は特開昭６０−７１２６０号公報に記載されるような、
多孔質シート凹部または貫通孔に液状または固形物とし
て保持された状態で、電気熱変換体に対して対向するよ
うな形態としてもよい。本発明においては、上述した各
インクに対して最も有効なものは、上述した膜沸騰方式
を実行するものである。

【００３９】さらに加えて、本発明インクジェット記録
装置の形態としては、コンピュータ等の情報処理機器の
画像出力端末として用いられるものの他、リーダ等と組
み合わせた複写装置、さらには送受信機能を有するファ
クシミリ装置の形態を採るもの等であってもよい。

【００４０】

【発明の効果】以上説明したようにフェイス面（吐出口
面）に撥水層を持つ吐出口（オリフィス）プレートに対
して、エキシマレーザーからなるパルスレーザービーム
を照射することによって吐出口を形成し、さらのその
後、吐出口周辺部に付着堆積したオリフィス加工時の副
生成物、又は吐出口周辺部に副生成物が付着したオリフ
ィスプレートを前記撥水剤のガラス転移点Ｔｇあるいは
融点Ｔｍｐ以上の温度で加熱処理することによりオリフ
ィス近傍へのインクの付着を防ぎ、印字品位の劣化を防
ぐことができるインクジェット記録ヘッドの製造方法及
びインクジェット記録ヘッドを提供することができた。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例で用いた、オリフィス加工装置
の概略を示す図である。

【図２】レーザーによって加工されたオリフィスプレー
トの状態を示す概略図である。

【図３】記録ヘッドの概要を示す図である。

【図４】実施例２によって加工されたオリフィスプレー
トの状態を示す概略図である。

【図５】実施例３によって加工されたオリフィスプレー
ト状態を示す概略図である。

【図６】実施例４によって加工されたオリフィスプレー
トの状態を示す概略図である。

【図７】実施例５によって加工されたオリフィスプレー
ト状態を示す概略図である。

【符号の説明】

１ エキシマーレーザー装置 ２ エキシマーレーザー装置から発振されたレーザービ
ーム ３ 光学レンズ系 ４ インクジェット記録ヘッドの複数ある吐出口のすべ
てあるいは一部のパターンを有する投影マスク ５ オリフィスプレート ６ オリフィスプレート上に形成された撥水層 ７ 吐出口 ８ オリフィス加工による副生成物

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−121843（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−187356（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−159293（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−157765（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−187342（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−260463（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−222195（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−105885（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−187346（ＪＰ，Ａ) 実開 昭57−116390（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) B41J 2/16 B41J 2/05 C08J 7/00 C08J 7/04

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 インクジェットプリンターに使用される
   記録ヘッドの製造方法において、インクを吐出するため
   に利用されるエネルギー発生素子が備えられている基板
   に接合することにより前記吐出エネルギー発生素子の配
   置部位に対応してインク路を構成する天板と、吐出口形
   成部材とを一体とし、該吐出口形成部材の吐出口が形成
   される面に撥水性を持つ材料で処理した後、エキシマレ
   ーザーからなるパルスレーザービームを照射することに
   よって吐出口を形成し、さらのその後、吐出口周辺部に
   付着堆積したオリフィス加工時の副生成物、又は吐出口
   周辺部に副生成物が付着したオリフィスプレートを前記
   撥水剤のガラス転移点Ｔｇあるいは融点Ｔｍｐ以上の温
   度で加熱処理することを特徴とする記録ヘッドの製造方
   法。
2. 【請求項２】 前記パルスレーザービームの照射は、前
   記インク路と接される面側からなされることで吐出口を
   形成することを特徴とする請求項1に記載の記録ヘッド
   の製造方法。
3. 【請求項３】 前記撥水剤は、ポリマーであることを特
   徴とする請求項1または２に記載の記録ヘッドの製造方
   法。
4. 【請求項４】 請求項１ないし３のいずれかに記載の方
   法によってつくられるインクジェット記録ヘッド。