JPH10315486A

JPH10315486A - 液体噴射記録ヘッドおよびその製造方法

Info

Publication number: JPH10315486A
Application number: JP9145867A
Authority: JP
Inventors: Masafumi Takimoto; 雅文瀧本; Masaki Inaba; 正樹稲葉; Akira Goto; 顕後藤; Masaaki Furukawa; 雅朗古川; Toshinori Hasegawa; 利則長谷川; Yoshinori Ito; 美紀伊東
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1997-05-20
Filing date: 1997-05-20
Publication date: 1998-12-02

Abstract

(57)【要約】【課題】インク吐出面にデブリーが付着することなく
そして吐出口のエッジ部にバリ等を発生させることなく
吐出口をレーザ光の照射により加工することができ、良
好な印字特性をもつ液体噴射記録ヘッドの製造方法を提
供する。【解決手段】液体噴射記録ヘッドを構成する天板１０
の吐出口プレート１における吐出口２が形成される部位
に対応した位置に、シリコンゴムからなる弾性体４を吐
出口プレート１の形状に倣って圧接するとともにこの圧
接した面とは反対側からエキシマレーザ光Ｌを照射し、
インク等の液体を吐出する吐出口２を形成する。かくし
て、インク吐出面１ａにデブリー３が付着することがな
く、さらに吐出口２の蓋部分までも完全に分解除去する
ことができ、吐出口２のエッジ部にバリが生じることも
ない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インク等の記録液
を微細な吐出口から微小液滴として吐出飛翔させる液体
噴射記録ヘッドの製造方法およびその製造方法によって
製造される液体噴射記録ヘッドに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の液体噴射記録装置、記録ヘッド、
インクタンク一体型の記録ユニットにおいては、熱エネ
ルギーを利用して微小液滴を吐出させるもの、あるいは
電気機械変換体を利用したもの、またはこれらの複合体
を利用して微小液滴を吐出させるもの、さらに一対の電
極を設けてこれにより液滴を偏向させて吐出させるもの
等が知られている。

【０００３】これらの中でも、熱エネルギーを利用して
記録液を吐出させる液体噴射記録ヘッドは、記録用の液
滴を吐出して飛翔用液滴を形成するための液体吐出部
（吐出口）を高密度に配列することができるために、高
解像力の記録をすることが可能であるほか、全体的にコ
ンパクト化も容易であるなどの利点があり、既に実用化
されている。

【０００４】この種の液体噴射記録ヘッドの構成の概略
を図３に基づいて説明すると、この液体噴射記録ユニッ
トは、電気信号に応じて膜沸騰をインク等の液体に生じ
させるための熱エネルギーを生成する電気熱変換体を用
いて記録を行なうバブルジェット方式のユニットであ
る。液体噴射記録ヘッドを構成する本体部材（以下、天
板という）１００は、ポリイミド、ポリエーテルサルフ
ォン、ポリサルフォン等の高分子材料で形成され、記録
液を溜めておく液室１０４、複数の液流路１０３および
吐出口形成部材（以下、吐出口プレートという）１０１
とが一体的に成形され、さらに、吐出口プレート１０１
の所定の位置に液流路１０３に連通するように微細な穴
を加工することにより複数の吐出口（オリフィス）１０
２が形成されている。また、ヒータボード１０５には、
Ｓｉ基板上に複数個配された電気熱変換体（ヒータ）１
０６とこれに電力を供給するＡｌ等の電気配線（図示し
ない）とが成膜技術により形成され、配線基板１２０
は、ヒータボード１０５の配線に対応してワイヤボンデ
ィングにより接続される配線とこの配線の端部に位置し
本体装置からの電気信号を受けるパッド１２１を有して
いる。そして、天板１００とヒータボード１０５は、各
々の液流路１０３とヒータ１０６を対応するように位置
決めして接合され、配線基板１２０とともにベースプレ
ート１１０上に固定される。さらにこれらは図示しない
インクタンクに連結され、液体噴射記録ヘッドを形成し
ている。

【０００５】天板１００の吐出口プレート１０１におけ
る吐出口１０２の加工は、通常、図４に概略的に図示す
るレーザ加工装置を用いて行なわれている。レーザ加工
装置は、エキシマレーザ光Ｌを発するエキシマレーザ発
振器５１、レーザ光Ｌを整形してマスク５３に一様にレ
ーザ光Ｌを照射させるための光学系５２、加工する吐出
口に対応した透過領域を有する加工パターンが形成され
たマスク５３、およびマスク５３を透過したマスク像を
被加工物Ｗの被加工面に結像させる投影光学系５４から
なり、被加工物Ｗは図示しない取り付け治具等によって
所定の姿勢でワークステーションにセットするように構
成されている。そして、液体噴射記録ヘッドを構成する
天板１００の吐出口１０２の加工は、吐出口形成位置に
対応した透過領域を形成したマスクを介してエキシマレ
ーザ光を照射することによって形成するのが一般的であ
る。

【０００６】しかしながら、従来のエキシマレーザ光の
照射による吐出口の加工では、樹脂である天板がエキシ
マレーザ光によるアブレーションで分解除去される際に
炭素あるいは炭化物からなると思われる微小破片が発生
する現象が見られ、この分解除去された副生成物は天板
のインク吐出面、特に吐出口近傍に付着し堆積する（以
下、この付着堆積物をデブリーという）。

【０００７】ところで、吐出口からインクを噴射する液
体噴射記録ヘッドの製造方法においては、吐出されるイ
ンクの吐出特性を向上させる目的から、吐出口プレート
の吐出面に、少なくとも吐出口近傍の吐出面に撥水性を
もたせている。しかし、吐出口近傍の吐出面に前記デブ
リーが付着すると、デブリーは親水性を有するために、
インク吐出時にインクがその親水性領域に引き寄せら
れ、インクの飛翔方向がばらつき良好な印字特性が得ら
れないケースがあった。

【０００８】また、エキシマレーザ光の照射による吐出
口の加工においては、エキシマレーザ光がもつ拡がり
角、不均一性、加工中の吐出口内部でのエキシマレーザ
光の乱反射等により、図５の（ａ）に示すように、吐出
口２２のエッジ部（円周部）領域２２ａが吐出口中心部
領域２２ｂよりも先に加工される傾向があり、そして、
エキシマレーザ光のエネルギーの不均一性等によって、
吐出口のエッジ部の一部分２２ｃが加工されずに残るこ
とがあった。このような場合において、吐出口のエッジ
部２２ａよりも後に加工される吐出口の中心部領域２２
ｂが加工されずに残り、この加工されなかった中心部領
域２２ｂは、その後のエキシマレーザ光のエネルギーに
よって加工されなかったエッジ部領域２２ｃを軸として
回転して剥がれエッジ部にバリが生じたり、あるいはエ
キシマレーザ光によるさらなる加工がなされなくなり、
結果として加工されなかった中心部領域２２ｂが蓋２４
として残ることが発生する。一つの吐出口においてエッ
ジ部にバリや蓋が存在すると、それらにインクが引き寄
せられるためにインクの飛翔方向にばらつきが生じ、印
字品位を悪化させるという問題があった。

【０００９】また、特開平７−１８６３９３号公報に記
載されているように、粘着テープ２５（図５の（ｂ）参
照）をエキシマレーザ光の出射側に貼り付け、加工後に
剥がすことにより蓋２４ごと除去する方法が提案されて
おり、この方法においては、吐出口の加工時に出射側が
開口しないのでデブリーが被加工物の表面に付着するこ
ともない。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た粘着テープを用いる方法では、加工中に発生する熱に
より粘着層が変成し、粘着テープを剥がしたときにその
変成したと思われる粘着剤が被加工物に付着すること
や、剥がす際に蓋が引っ張られ吐出口のエッジ部にバリ
が発生することが問題となっていた。さらに、粘着テー
プを貼り付けそして剥がす工程が別途必要となり、工程
数の増加が問題となっていた。

【００１１】そこで、本発明は、上記従来技術の有する
未解決な課題に鑑みてなされたものであって、インク吐
出面にデブリーが付着することなくそして吐出口のエッ
ジ部にバリ等を発生させることなく吐出口を加工形成す
ることができる液体噴射記録ヘッドの製造方法を提供す
るとともに、良好な印字特性をもつ液体噴射記録ヘッド
を提供することを目的とするものである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法は、レーザ
光を照射することにより液体を噴射する吐出口を加工形
成する液体噴射記録ヘッドの製造方法において、吐出口
が形成される部位に対応した位置に、吐出面の形状に倣
って弾性体を圧接すると同時に該圧接した面とは反対側
からレーザ光を照射することを特徴とする。

【００１３】そして、本発明の液体噴射記録ヘッドの製
造方法においては、弾性体をシリコンゴムで作成するこ
とが好ましい。

【００１４】また、本発明の液体噴射記録ヘッドの製造
方法においては、弾性体を２種類以上の材料で構成し、
それらのうち少なくとも１種類はレーザ光に分解除去さ
れる材料であり、該分解除去される材料を吐出口が形成
される部位に対応した位置に圧接することが好ましい。

【００１５】さらに、本発明の液体噴射記録ヘッドの製
造方法においては、吐出口を加工形成するために照射す
るレーザ光はエキシマレーザ光が適している。

【００１６】そして、本発明の液体噴射記録ヘッドは、
請求項１ないし４のいずれか１項記載の液体噴射記録ヘ
ッドの製造方法によって製造されたことを特徴とする。

【００１７】

【作用】エキシマレーザ光を照射することによりインク
等の液体を吐出する吐出口を形成する液体噴射記録ヘッ
ドの製造方法において、吐出口が形成される部位に対応
した位置に、弾性体あるいはレーザ光に分解除去される
材料と弾性体を、吐出口プレートの形状に倣って圧接す
るとともにこの圧接した面とは反対側からエキシマレー
ザ光を照射するようになし、インク吐出面にデブリーが
付着することがなく、さらに吐出口の蓋部分までも完全
に分解除去することができ、吐出口のエッジ部にバリが
生じることもなく、吐出口を形成することができる。ま
た、弾性体を単に圧接するだけで良いので、従来のよう
に粘着テープを貼ったり剥がしたりする工程が不要とな
り、さらに、レーザ加工中の熱によると思われる変成し
た粘着材がインク吐出面に残るようなこともない。

【００１８】また、弾性体をシリコンゴムで形成するこ
とにより、シリコンはエキシマレーザ光の反射率が高
く、吐出口が貫通した後にエキシマレーザ光がシリコン
ゴムを照射しても、該シリコンゴムの表面にダメージが
残りにくいので、シリコンゴムは繰り返し使用可能であ
る。

【００１９】さらに、インク吐出面にデブリーが付着す
ることがなくそしてバリ等が生じることなくインク吐出
口を加工形成することができるので、インク液滴の飛翔
方向がばらつくことなく安定し印字品位の良好な液体噴
射記録ヘッドを製造することができる。

【００２０】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。

【００２１】図１は、本発明の液体噴射記録ヘッドの製
造方法における第１の実施例の吐出口の加工態様を図示
する模式的な断面図である。

【００２２】図１において、液体噴射記録ヘッドの天板
１０は、図４に図示するようなレーザ加工装置のワーク
ステーションにセットされ、天板１０とともに一体成型
された吐出口プレート１のインクの吐出面１ａの反対側
からエキシマレーザ光Ｌを照射するように位置付けら
れ、そして、加工する吐出口の形状に対応した透過領域
を有する加工パターンが形成されたマスクを介してエキ
シマレーザ光Ｌが照射される。

【００２３】エキシマレーザ発振器として波長２４８ｎ
ｍのＫｒＦエキシマレーザを使用し、天板１０にはポリ
サルフォン（帝人アムコ製）を用いたが、他の成型用樹
脂、例えば、ポリイミド、ポリエーテルサルフォン等の
高分子材料を用いることもできる。また、吐出口プレー
ト１の吐出面１ａ（レーザ光Ｌの出射側）にはレーザ加
工前に撥水剤としてサイトップ（旭硝子製）を塗布した
後に１５０℃で１時間の加熱処理を施し、撥水層を形成
した。

【００２４】本実施例においては、弾性体４を吐出口プ
レート１のインク吐出面１ａに圧接させてレーザ加工を
することを特徴とするものである。この弾性体４は、例
えば、厚さ０．３ｍｍのシリコンゴム等で作成し、吐出
口プレート１の吐出面１ａの所定の吐出口形成位置に弾
性体４を当接させ、そして図示しない荷重発生装置によ
り接触圧Ｆを２５０Ｐａとして、吐出口プレート１の吐
出面１ａの所定の吐出口形成位置に吐出口プレート１の
形状に倣って圧接する。なお、荷重発生装置は揺動自在
に設置され、レーザ光照射中、弾性体４を吐出口プレー
ト１に押し付ける構成としてある。

【００２５】その後、マスクを介してエキシマレーザ光
Ｌを照射する。このとき、吐出口プレート１の厚さは８
０μｍであり、１パルスのフルエンス１Ｊ／ｃｍ² のエ
キシマレーザ光を発振繰り返し数１００Ｈｚで４００パ
ルス照射して、吐出口を形成した。この加工条件で、蓋
部分を十分分解除去することができるが、シリコンゴム
からなる弾性体４はエキシマレーザ光を反射するのでそ
の表面にレーザ光が照射されてもダメージは少ない。し
たがって、吐出口２のエッジ部が分解除去された後も蓋
部分が逃げることがないので、蓋部分まで十分に分解除
去することができ、また、シリコンゴムはダメージが少
ないために何度でも繰り返し使用することができる。

【００２６】図１はレーザ光Ｌの照射終了の瞬間を示す
ものであって、デブリー３は、吐出口２の内面や吐出口
プレート１の反吐出面側に付着しているけれども、吐出
口プレート１の吐出面１ａは、レーザ加工中弾性体４で
覆われているためにデブリー３が付着することはない。

【００２７】このように吐出口２を加工形成した天板１
０を用いて、図３に示すような液体噴射記録ヘッドを作
製し、この記録ヘッドをプリンター本体に装着して、吐
出液滴の観察ならびに記録紙への記録を行なった。その
結果、本実施例に示したものは、インク液滴の飛翔方向
は安定し、良好な印字品位を得ることができた。

【００２８】次に、本発明の第２の実施例について説明
する。

【００２９】図２は、本発明の液体噴射記録ヘッドの製
造方法における第２の実施例の吐出口の加工態様を図示
する模式的な断面図である。

【００３０】本実施例においては、第１の実施例におけ
る弾性体４に代えて、エキシマレーザ光に分解除去され
うる高分子材料５と押さえ材６を用いており、エキシマ
レーザ光に分解除去されうる高分子材料５と押さえ材６
を、吐出口プレート１の吐出面１ａに圧接させてレーザ
加工することを特徴とするものである。

【００３１】高分子材料５と押さえ材６を図示しない荷
重発生装置により接触圧Ｆを２５０Ｐａとして、吐出口
プレート１の所定の吐出口形成位置に高分子材料５を吐
出面１ａに吐出口プレート１の形状に倣って圧接する。
エキシマレーザ光に分解除去されうる高分子材料５とし
ては厚さ１２μｍのＰＥＴシートを使用し、押さえ材６
として厚さ５ｍｍのクロロプレンゴム（弾性体）を使用
した。なお、荷重発生装置は揺動自在に設置され、レー
ザ光照射中、高分子材料５を吐出口プレート１に押し付
ける構成としてある。

【００３２】その後に、波長２４８ｎｍのＫｒＦエキシ
マレーザ発振器を用いて、エキシマレーザ光Ｌをマスク
を介して照射する。天板１０の吐出口プレート１の吐出
面１ａには第１の実施例と同様に撥水処理を施してあ
り、吐出口プレート１の厚さは８０μｍであり、１パル
スのフルエンス１Ｊ／ｃｍ² のエキシマレーザ光を発振
繰り返し数１００Ｈｚで４００パルス照射して、吐出口
２を形成した。この加工条件で、蓋部分を十分分解除去
することができた。

【００３３】図２は、図１と同様に、レーザ光Ｌの照射
終了の瞬間を示すものであって、デブリー３は、吐出口
２の内面や吐出口プレート１の反吐出面側に付着してい
るけれども、吐出口プレート１の吐出面１ａにはレーザ
加工中高分子材料５と押さえ材６で覆われているために
デブリーが付着することはない。そして、吐出口２のエ
ッジ部が分解除去された後も蓋部分が高分子材料５によ
り圧接されているために逃げることがないので、蓋部分
を十分分解除去することができ、さらに吐出口２のエッ
ジ部にバリ等を生じさせることがなく、そして押さえ材
６は加工されない。

【００３４】このように吐出口２を加工形成した天板１
０を用いて、図３に示すような液体噴射記録ヘッドを作
製し、この記録ヘッドをプリンター本体に装着して、吐
出液滴の観察ならびに記録紙への記録を行なった。その
結果、本実施例に示したものも、インク液滴の飛翔方向
は安定し、良好な印字品位を得ることができた。

【００３５】また、本発明は、特に液体噴射記録方式の
中で熱エネルギーを利用して飛翔液滴を形成し、記録を
行なう、いわゆるインクジェット記録方式の記録ヘッ
ド、記録装置において、優れた効果をもたらすものであ
る。

【００３６】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されており、本発明はこれらの基
本的な原理を用いて行なうものが好ましい。この記録方
式はいわゆるオンデマンド型、コンティニュアス型のい
ずれにも適用可能である。

【００３７】この記録方式を簡単に説明すると、記録液
（インク）が保持されているシートや液流路に対応して
配置されている吐出エネルギー発生素子である電気熱変
換体に駆動回路より吐出信号を供給する、つまり、記録
情報に対応して記録液（インク）に核沸騰現象を越え、
膜沸騰現象を生じるような急速な温度上昇を与えるため
の少なくとも一つの駆動信号を印加することによって、
熱エネルギーを発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜
沸騰を生じさせる。このように記録液（インク）から電
気熱変換体に付与する駆動信号に一対一に対応した気泡
を形成できるため、特にオンデマンド型の記録法には有
効である。この気泡の成長、収縮により吐出口を介して
記録液（インク）を吐出させて、少なくとも一つの滴を
形成する。この駆動信号をパルス形状とすると、即時適
切に気泡の成長収縮が行なわれるので、特に応答性に優
れた記録液（インク）の吐出が達成でき、より好まし
い。このパルス形状の駆動信号としては、米国特許第４
４６３３５９号明細書、同第４３４５２６２号明細書に
記載されているようなものが適している。なお、上記熱
作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許第４３１３
１２４号明細書に記載されている条件を採用すると、さ
らに優れた記録を行なうことができる。

【００３８】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液流路、電気熱変換
体を組み合わせた構成（直線状液流路又は直角液流路）
の他に、米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許
第４４５９６００号明細書に開示されているように、熱
作用部が屈曲する領域に配置された構成を持つものにも
本発明は有効である。

【００３９】加えて、複数の電気熱変換体に対して、共
通するスリットを電気熱変換体の吐出口とする構成を開
示する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギー
の圧力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を開
示する特開昭５９−１３８４６１号公報に基づいた構成
を有するものにおいても本発明は有効である。

【００４０】さらに、本発明が有効に利用される記録ヘ
ッドとしては、記録装置が記録可能である被記録媒体の
最大幅に対応した長さのフルラインタイプの記録ヘッド
がある。このフルラインヘッドは、上述した明細書に開
示されているような記録ヘッドを複数組み合わせること
によってフルライン構成にしたものや、一体的に形成さ
れた一個のフルライン記録ヘッドであってもよい。

【００４１】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的に設けられたカートリッ
ジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効で
ある。

【００４２】また、記録ヘッドに対する回復手段や予備
的な補助手段を付加することは、記録装置を一層安定に
することができるので好ましいものである。これらを具
体的に挙げれば、記録ヘッドに対しての、キャッピング
手段、クリーニング手段、加圧または吸引手段、電気熱
変換体あるいはこれとは別の加熱素子、あるいはこれら
の組み合わせによる予備加熱手段、記録とは別の吐出を
行なう予備吐出モード手段を付加することも安定した記
録を行なうために有効である。

【００４３】さらに、記録装置の記録モードとしては黒
色等の主流色のみを記録するモードだけではなく、記録
ヘッドを一体的に構成したものか、複数個の組み合わせ
で構成したものかのいずれでもよいが、異なる色の複色
カラーまたは、混色によるフルカラーの少なくとも一つ
を備えた装置にも本発明は極めて有効である。

【００４４】以上の説明においては、インクを液体とし
て説明しているが、室温やそれ以下で固化するインクで
あって、室温で軟化もしくは液体となるもの、あるい
は、インクジェットにおいて一般的に行なわれている温
度調整の温度範囲である３０℃以上７０℃以下の温度範
囲で軟化もしくは液体となるものでもよい。すなわち、
使用記録信号付与時にインクが液状をなすものであれば
よい。加えて、積極的に熱エネルギーによる昇温をイン
クの固形状態から液体状態への態変化のエネルギーとし
て使用せしめることで防止するか、または、インクの蒸
発防止を目的として放置状態で固化するインクを用いる
かして、いずれにしても熱エネルギーの記録信号に応じ
た付与によってインクが液化してインク液状として吐出
するものや記録媒体に到達する時点ではすでに固化し始
めるもの等のような、熱エネルギーによって初めて液化
する性質のインクの使用も可能である。このような場合
インクは、特開昭５４−５６８４７号公報あるいは特開
昭６０−７１２６０号公報に記載されるような、多孔質
シート凹部または貫通孔に液状または固形物として保持
された状態で、電気熱変換体に対して対向するような形
態としてもよい。上述した各インクに対して最も有効な
ものは、上述した膜沸騰方式を実行するものである。

【００４５】さらに加えて、インクジェット記録装置の
形態としては、コンピュータ等の情報処理機器の画像出
力端末として用いられるものの他、リーダ等と組み合わ
せた複写装置、さらには送受信機能を有するファクシミ
リ装置の形態を採るものであってもよい。

【００４６】

【発明の効果】本発明は、上述のように構成されている
ので、エキシマレーザ光を照射することによりインク等
の液体を吐出する吐出口を形成する液体噴射記録ヘッド
の製造方法において、吐出口が形成される部位に対応し
た位置に、吐出口プレートの形状に倣って弾性体を圧接
するとともにこの圧接した面とは反対側からエキシマレ
ーザ光を照射するようになしたことにより、インク吐出
面にデブリーが付着することがなく、また、弾性体を単
に圧接するだけで良いので、従来のように粘着テープを
貼ったり剥がしたりする工程が不要となり、さらに、レ
ーザ加工中の熱によると思われる変成した粘着材がイン
ク吐出面に残るようなこともない。

【００４７】そして、弾性体を２種類以上の材料で構成
し、それらのうち少なくとも１種類はエキシマレーザ光
に分解除去される材料とし、この分解除去される材料を
吐出口が形成される部位に対応した位置に圧接すること
により、吐出口の蓋部分までも完全に加工することがで
き、バリが生じることがない。

【００４８】さらに、弾性体をシリコンゴムで形成する
ことにより、シリコンはエキシマレーザ光の反射率が高
く、吐出口が貫通した後にエキシマレーザ光がシリコン
ゴムを照射しても、該シリコンゴムの表面にダメージが
残りにくいので、蓋部分を完全に加工することができ、
かつシリコンゴムは繰り返し使用可能である。

【００４９】インク吐出面にデブリーが付着することが
なくそしてバリ等が生じることなくインク吐出口を加工
形成することができるので、インク液滴の飛翔方向がば
らつくことなく安定し印字品位の良好な液体噴射記録ヘ
ッドを製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法におけ
る第１の実施例の吐出口の加工態様を図示する模式的な
断面図である。

【図２】本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法におけ
る第２の実施例の吐出口の加工態様を図示する模式的な
断面図である。

【図３】液体噴射記録ヘッドを概略的に図示する構成図
である。

【図４】液体噴射記録ヘッドを構成する天板の吐出口の
加工に適用するレーザ加工装置の一例を示す概略的な構
成図である。

【図５】（ａ）および（ｂ）は、従来の液体噴射記録ヘ
ッドの吐出口の加工態様を説明する図である。

【符号の説明】

１吐出口プレート２吐出口３デブリー４弾性体５高分子材料６押さえ材１０天板２１吐出口プレート２２吐出口２３デブリー２４蓋５１レーザ発振器５３マスク１００天板１０１吐出口プレート１０２吐出口１０３液流路１０５ヒータボード１０６電気熱変換体１２０配線基板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者古川雅朗東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者長谷川利則東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者伊東美紀東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】レーザ光を照射することにより液体を噴
射する吐出口を加工形成する液体噴射記録ヘッドの製造
方法において、吐出口が形成される部位に対応した位置
に、吐出面の形状に倣って弾性体を圧接すると同時に該
圧接した面とは反対側からレーザ光を照射することを特
徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方法。
【請求項２】弾性体がシリコンゴムからなることを特
徴とする請求項１記載の液体噴射記録ヘッドの製造方
法。
【請求項３】弾性体は２種類以上の材料で構成され、
それらのうち少なくとも１種類はレーザ光に分解除去さ
れる材料であり、該分解除去される材料を吐出口が形成
される部位に対応した位置に圧接することを特徴とする
請求項１記載の液体噴射記録ヘッドの製造方法。
【請求項４】吐出口を加工形成するために照射するレ
ーザ光はエキシマレーザ光であることを特徴とする請求
項１ないし３のいずれか１項記載の液体噴射記録ヘッド
の製造方法。
【請求項５】請求項１ないし４のいずれか１項記載の
液体噴射記録ヘッドの製造方法によって製造されたこと
を特徴とする液体噴射記録ヘッド。