JP2007296534A - 短パルスレーザ加工方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】薄板状の被加工物10を短パルスレーザ光の照射によって加工する際に、レーザ照射側面の背面を液体40からなる衝撃吸収体に密着させる。
【選択図】 図1
Description
(1)薄板状の被加工物を短パルスレーザ光の照射によって加工するレーザ加工方法であって、レーザ照射側面の背面を衝撃吸収体に密着させた状態で加工を行うことを特徴とする短パルスレーザ加工方法。
たとえば、衝撃吸収体として用いる液体40は、被加工物10との密着状態を非常に確実かつ安定に形成することができるが、この液体40には水以外の液体、たとえばアルコールや油脂などであってもよい。
Pw レーザ光のパルス幅、
10 被加工物、
20 レーザ装置、
22 光学系、
30 可動ステージ、
31 底部、
32 側方部、
33 治具、
40 液体
Claims (6)
- 薄板状の被加工物を短パルスレーザ光の照射によって加工するレーザ加工方法であって、レーザ照射側面の背面を衝撃吸収体に密着させた状態で加工を行うことを特徴とする短パルスレーザ加工方法。
- 請求項1において、衝撃吸収体が液体であって、この液体の液面を被加工物に接触させることを特徴とする短パルスレーザ加工方法。
- 請求項1または2において、衝撃吸収体として水を用いることを特徴とする短パルスレーザ加工方法。
- 請求項1〜3のいずれかにおいて、短パルスレーザ光のパルス幅が200ps以下であることを特徴とする短パルスレーザ加工方法。
- 請求項1〜4のいずれかにおいて、被加工物の板厚が1mm以下であることを特徴とする短パルスレーザ加工方法。
- 薄板状の被加工物を短パルスレーザ光の照射によって加工するレーザ加工装置であって、被加工物を所定位置に保持するための治具が液体容器を形成し、この容器内の液体液面がレーザ照射側面の背面に接触するようにしたことを特徴とする短パルスレーザ加工装置。
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