JP2004306134A - 透明材料の微細加工装置及びこれを用いた光学素子作製法 - Google Patents
透明材料の微細加工装置及びこれを用いた光学素子作製法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004306134A JP2004306134A JP2004008674A JP2004008674A JP2004306134A JP 2004306134 A JP2004306134 A JP 2004306134A JP 2004008674 A JP2004008674 A JP 2004008674A JP 2004008674 A JP2004008674 A JP 2004008674A JP 2004306134 A JP2004306134 A JP 2004306134A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transparent material
- laser
- optical element
- groove
- array
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 title claims abstract description 138
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 73
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 45
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims abstract description 46
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims abstract description 12
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims abstract description 11
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 45
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 38
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 38
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 22
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- 238000005459 micromachining Methods 0.000 claims description 13
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims description 10
- 239000004038 photonic crystal Substances 0.000 claims description 8
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 7
- 230000009969 flowable effect Effects 0.000 claims description 7
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 claims description 7
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 claims description 6
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 claims description 5
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L calcium difluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ca+2] WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 4
- 229910001634 calcium fluoride Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 4
- 239000001023 inorganic pigment Substances 0.000 claims description 4
- PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M lithium fluoride Chemical compound [Li+].[F-] PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- OYLGJCQECKOTOL-UHFFFAOYSA-L barium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ba+2] OYLGJCQECKOTOL-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 2
- 229910001632 barium fluoride Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 claims description 2
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 2
- ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L magnesium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Mg+2] ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 2
- 229910001635 magnesium fluoride Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 2
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 claims 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims 1
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- BBEAQIROQSPTKN-UHFFFAOYSA-N pyrene Chemical compound C1=CC=C2C=CC3=CC=CC4=CC=C1C2=C43 BBEAQIROQSPTKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 230000008569 process Effects 0.000 description 11
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 7
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 6
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 6
- GVEPBJHOBDJJJI-UHFFFAOYSA-N fluoranthrene Natural products C1=CC(C2=CC=CC=C22)=C3C2=CC=CC3=C1 GVEPBJHOBDJJJI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 6
- 238000003491 array Methods 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 5
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 5
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- VZGDMQKNWNREIO-UHFFFAOYSA-N tetrachloromethane Chemical compound ClC(Cl)(Cl)Cl VZGDMQKNWNREIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 150000002790 naphthalenes Chemical class 0.000 description 3
- KXXXUIKPSVVSAW-UHFFFAOYSA-K pyranine Chemical compound [Na+].[Na+].[Na+].C1=C2C(O)=CC(S([O-])(=O)=O)=C(C=C3)C2=C2C3=C(S([O-])(=O)=O)C=C(S([O-])(=O)=O)C2=C1 KXXXUIKPSVVSAW-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 3
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 238000002679 ablation Methods 0.000 description 2
- 125000003118 aryl group Chemical class 0.000 description 2
- 125000001797 benzyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- VYXSBFYARXAAKO-WTKGSRSZSA-N chembl402140 Chemical compound Cl.C1=2C=C(C)C(NCC)=CC=2OC2=C\C(=N/CC)C(C)=CC2=C1C1=CC=CC=C1C(=O)OCC VYXSBFYARXAAKO-WTKGSRSZSA-N 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 2
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Chemical class 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N phthalocyanine Chemical compound N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(N=C3C4=CC=CC=C4C(=N4)N3)=N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C4=N1 IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 2
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 238000000608 laser ablation Methods 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 208000011117 substance-related disease Diseases 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C23/00—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments
- C03C23/0005—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments by irradiation
- C03C23/0025—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments by irradiation by a laser beam
Abstract
【解決手段】透明材料11の裏面にレーザー波長に対して高い吸収率を有する流動性物質12を接触させ、正面からレーザー光Lを照射して透明材料11の裏面に微細加工を施す透明材料の微細加工装置において、前記透明材料の裏面位置を直接規制する基準プレート13を設けて前記透明基板11の裏面を再現性よくレーザー光の集光位置に保持することで、透明材料裏面への微細加工を可能とする。
【選択図】図1
Description
(1)点集光したレーザー光を3次元的にスキャンしてアブレーション加工し、所定の3次元形状を加工する方法。[例えば、特開2000−317665号公報(特許文献2)]
(2)他種類のフォトマスクを準備し、レーザー照射によるアブレーション加工を段階的に行い、段階ごとにフォトマスクを取り替えて、所定の3次元形状を加工する方法。[例えば、特開平09−308942号公報(特許文献3)、特開平10−16215号公報(特許文献4)]
(3)光の二次元透過形状を自由に制御出来る液晶パネルをフォトマスクとして用い、レーザー加工を進めながらレーザー光のビーム形状を変化させて、所定の3次元形状を加工する方法。[例えば、特開平09−15867号公報(特許文献5)、特開2001−212687号公報(特許文献6)、特開2001−212798号公報(特許文献7)、特開2002−292488号公報(特許文献8)]
(4)光の透過量を連続的に変化させるグレー・フォトマスクを用い、透過するレーザー光強度の二次元分布を制御して、所定の3次元形状を加工する方法。[例えば、特開平07−58434号公報(特許文献9)、特開平08−224686号公報(特許文献10)、特開平2003−15275号公報(特許文献11)]
(5)フォトマスクを透過して所定のビーム形状を持ったレーザー光を照射してアブレーション加工しながら、集光レンズを照射方向に移動させ、縮小率を変えて3次元形状を加工する方法。[特開平08−221729号公報(特許文献12)]
(6)フォトマスクを透過してあるビーム形状を持ったレーザー光を加工物上でレーザー照射方向と垂直な一方向にスキャンすることにより、ランプ構造などの3次元表面形状を加工する方法。[Zimmerら:Appl.Surf.Sci.Vol.96−98,p.425(1996)(非特許文献1)]
(1)フレネルレンズ、ランダム位相板の加工
グレー・フォトマスクを用いることでレーザー光強度の2次元分布を制御し、石英ガラスの背面に流動性物質を接触させ、石英ガラスの表面側からレーザー光を照射して、フレネルレンズ、ランダム位相板の加工を行った。[Kopitkovasら:Microelectron.Eng.Vol.67−68,p.438(2003)(非特許文献2)。]
(2)シリンドリカル凹レンズ構造の加工
フォトマスクを通過したレーザー光を石英ガラスの表面から流動性物質に照射しながら、レーザー光をレーザー照射方向と垂直な一方向にスキャンすることにより、シリンドリカル凹レンズ構造を加工した。[Boehmeら:Appl.Surf.Sci.Vol.186,p.276(2002)(非特許文献3)。]
実験例1
石英ガラス基板にV溝を作製した。流動性物質としてトルエンを用い、石英基板と流動性物質容器を接触させた状態で電動ステージに固定し、直角二等辺三角形のレーザー光パターンを透過するフォトマスクを用いてKrFエキシマレーザー光を石英ガラス基板/流動性物質界面に照射しながら、電動ステージで石英ガラス基板を移動させてレーザー光をスキャンした。V溝の幅は二等辺三角形の底辺100マイクロメートルに一致し、レーザー強度、レーザー光の移動速度を変えることによって、溝の深さは20マイクロメートル、40マイクロメートル、50マイクロメートルと制御性よく変えることができた。また、加工斜面及び底部も所定の形状に加工されていることが確認できた。加工されたV溝の3次元形状観察結果を図9に示す。
石英基板にU溝を加工した。流動性物質としてピレンのアセトン溶液を用い、石英基板と流動性物質容器を接触させた状態で電動ステージに固定し、円形状のレーザー光を透過するフォトマスクを用いてKrFエキシマレーザー光を石英基板/流動性物質界面に照射しながら、電動ステージにより石英基板をレーザー照射方向と垂直に移動させてレーザー光をスキャンした。U溝の幅は18ミクロン、溝の深さは9ミクロンであった。
11 透明材料
12 流動性物質
13 基準プレート
13a 基準面
13b 窓部
14 セル
14a 開口部
14b 筒状開口部
15 固定ボルト
16 ホルダー
16a 開口部
16b 保持凹部
17 Oリング
18 ボルト穴
19 ホルダープレート
19a 開口窓
20 ボルト
21 第1ホルダープレート
21a 凹部
21b 開口部
22 Oリング
30 透明材料の微細加工装置
31 ホルダー
32 基準プレート
32a 当接面
33 ホルダープレート
34 ボルト
35 Oリング
40 レーザー光
41 フォトマスク
42 集光レンズ
43 直角三角形ビーム
44 透明材料
45 流動性物質容器
46 透明材料裏面/流動性物質接触領域
47 レーザー光スキャン方向
48 透明材料裏面に加工されたのこぎり刃溝
49 レーザー光スキャン方向
Claims (17)
- 透明材料の裏面にレーザー波長に対して高い吸収率を有する流動性物質を接触させ、正面からレーザー光を照射して透明材料の裏面に微細加工を施す透明材料の微細加工装置であって、
前記透明材料の裏面位置を直接規制する基準プレートを備えたことを特徴とする透明材料の微細加工装置。 - 前記透明材料は、前記基準プレートと、保持プレートに挟持される保持されることを特徴とする請求項1に記載の透明材料の微細加工装置。
- 前記透明材料の裏面に接触される流動性物質は、透明材料とは独立して保持されることを特徴とする請求項1または2に記載の透明材料の微細加工装置。
- 請求項1〜請求項3のいずれか一つに記載の透明材料の微細加工装置を用いた光学素子作製方法であって、
透明材料に光吸収の大きな流動性物質を接触させ、所定のフォトマスクを透過して特定のビーム形状を持ったレーザー光を透明材料の表面側から照射しながら、レーザー光をスキャンすることにより、透明材料に所定の3次元表面微細構造を加工することを特徴とする光学素子作製方法。 - 前記光学素子に適用する該3次元表面微細構造として、V溝及びV溝アレイ、のこぎり歯溝及びのこぎり歯溝アレイ、U溝及びU溝アレイ、矩形溝及び矩形溝アレイ、上記溝及び溝アレイの湾曲構造、ピラミッド状構造2次元アレイ、レンズ状構造2次元アレイ、矩形2次元アレイのいずれかを作製することを特徴とする請求項4記載の光学素子作製方法。
- 前記V溝及びV溝アレイの作製に、2等辺三角形及び2等辺三角形列のビーム形状のレーザー光を照射方向に垂直にスキャンすることを特徴とする請求項5記載の光学素子作製方法。
- 前記のこぎり刃及びのこぎり刃溝アレイの作製に直角三角形及び直角三角形列のビーム形状のレーザー光を照射方向に垂直にスキャンすることを特徴とする請求項5記載の光学素子作製方法。
- 前記U溝の作製に、半円形、半楕円形、円形、楕円形のいずれかのビーム形状、U溝アレイの作製に半円形、半楕円形、円形、楕円形のいずれかの列のビーム形状のレーザー光を照射方向に垂直にスキャンすることを特徴とする請求項5記載の光学素子作製方法。
- 前記矩形溝及び矩形溝アレイの作製に、長方形及び長方形列のビーム形状のレーザー光を照射方向に垂直にスキャンすることを特徴とする請求項5記載の光学素子作製方法。
- 前記溝及び溝アレイ湾曲構造の作製に、請求項6〜請求項9のいずれか一つに記載のビーム形状のレーザー光を、照射方向に垂直な面内で曲線状にスキャンしつつ、同期してフォトマスクと被加工物のいずれかを回転させてレーザー光のスキャン方向に対する角度を一定に保つことを特徴とする請求項5記載の光学素子作製方法。
- 前記ピラミッド状構造2次元アレイの作製に、請求項6記載の光学素子作製方法によりV溝アレイを作製後、フォトマスクと被加工物を相対的に90°回転し、再びV溝アレイ作製を行うことを特徴とする請求項5記載の光学素子作製方法。
- 前記レンズ状構造2次元アレイの作製に、請求項8記載の方法でU溝アレイを作製後、フォトマスクと被加工物を相対的に90°回転し、再びU溝アレイ作製を行うことを特徴とする請求項5記載の光学素子作製方法。
- 前記矩形2次元アレイの作製に、請求項9記載の方法で矩形溝アレイを作製後、フォトマスクと被加工物を相対的に90°回転し、再び矩形溝アレイ作製を行うことを特徴とする請求項5記載の光学素子作製方法。
- 前記透明材料として石英ガラス、一般ガラス、フッ化カルシウム、フッ化マグネシウム、フッ化バリウム、フッ化リチウム、シリコンカーバイド、サファイア、アルミナ、水晶、ダイヤモンド、またはフッ素樹脂を用いることを特徴とする請求項4記載の光学素子作製方法。
- 前記レーザーとして、エキシマレーザー、またはYAGレーザー、YVOレーザー、YLFレーザー、色素レーザー、銅蒸気レーザー、チタンサファイアレーザーの基本発振波長あるいは高調波を用い、レーザー光強度として0.01J/cm2/pulseから100J/cm2/pulseまでを用いることを特徴とする請求項4記載の光学素子作製方法。
- 前記流動性物質として、有機化合物、有機色素、無機顔料または炭素粉末を含む物質を用いることを特徴とする請求項4記載の光学素子作製方法。
- 前記光学素子作製方法により、回折格子、偏光板、反射板、反射防止板、プリズムアレイ、ホログラム光学素子、フォトニック結晶素子として利用される可視〜紫外〜真空紫外光用回折光学素子、及び光通信素子、光導波路基板、液晶配向基板を作製することを特徴とする請求項4記載の光学素子作製方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004008674A JP4231924B2 (ja) | 2003-03-27 | 2004-01-16 | 透明材料の微細加工装置 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003087116 | 2003-03-27 | ||
JP2004008674A JP4231924B2 (ja) | 2003-03-27 | 2004-01-16 | 透明材料の微細加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004306134A true JP2004306134A (ja) | 2004-11-04 |
JP4231924B2 JP4231924B2 (ja) | 2009-03-04 |
Family
ID=33478365
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004008674A Expired - Lifetime JP4231924B2 (ja) | 2003-03-27 | 2004-01-16 | 透明材料の微細加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4231924B2 (ja) |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006270086A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-10-05 | Kyocera Corp | 複合グリーンシートの加工方法 |
JP2006297478A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-11-02 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 透明材料のレーザー微細加工方法及び装置 |
JP2006315030A (ja) * | 2005-05-12 | 2006-11-24 | Shibaura Mechatronics Corp | 薄膜パネル加工装置 |
JP2007296534A (ja) * | 2006-04-27 | 2007-11-15 | Sigma Koki Kk | 短パルスレーザ加工方法および装置 |
JP2008018428A (ja) * | 2006-07-13 | 2008-01-31 | Montres Breguet Sa | レーザ・マーキング方法 |
JP2008093724A (ja) * | 2006-10-13 | 2008-04-24 | Pulstec Industrial Co Ltd | レーザ微細加工装置 |
WO2009075207A1 (ja) * | 2007-12-10 | 2009-06-18 | Konica Minolta Holdings, Inc. | 透明材料加工法及び透明材料加工装置 |
CN101977723A (zh) * | 2008-03-24 | 2011-02-16 | 丸文株式会社 | 光束加工装置、光束加工方法和经光束加工的基板 |
JP2011119419A (ja) * | 2009-12-03 | 2011-06-16 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | レーザ処理装置及びレーザ処理方法 |
JP2012140303A (ja) * | 2011-01-04 | 2012-07-26 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | レーザー誘起背面式の透明基板微細加工で使用される流動性物質 |
JP2013514180A (ja) * | 2009-12-18 | 2013-04-25 | ボエグリ − グラビュル ソシエテ アノニム | 微細構造を製造するレーザー設備のためのマスクを製造するための方法及び装置 |
WO2019135362A1 (ja) * | 2018-01-05 | 2019-07-11 | 国立大学法人弘前大学 | 透明材料加工方法、透明材料加工装置及び透明材料 |
CN110560891A (zh) * | 2019-09-25 | 2019-12-13 | 吉林大学 | 静压力水辅助纳秒激光加工透明介质材料的装置及其方法 |
US11002893B2 (en) | 2017-04-25 | 2021-05-11 | Nichia Corporation | Transmission grating and laser device using the same, and method of producing transmission grating |
CN114957749A (zh) * | 2022-05-27 | 2022-08-30 | 广州大学 | 一种微结构透明隔热薄膜的制备方法 |
-
2004
- 2004-01-16 JP JP2004008674A patent/JP4231924B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006270086A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-10-05 | Kyocera Corp | 複合グリーンシートの加工方法 |
JP2006297478A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-11-02 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 透明材料のレーザー微細加工方法及び装置 |
JP4565114B2 (ja) * | 2005-03-23 | 2010-10-20 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 透明材料のレーザー微細加工方法及び装置 |
JP2006315030A (ja) * | 2005-05-12 | 2006-11-24 | Shibaura Mechatronics Corp | 薄膜パネル加工装置 |
JP4762601B2 (ja) * | 2005-05-12 | 2011-08-31 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 薄膜パネル加工装置 |
JP2007296534A (ja) * | 2006-04-27 | 2007-11-15 | Sigma Koki Kk | 短パルスレーザ加工方法および装置 |
JP2008018428A (ja) * | 2006-07-13 | 2008-01-31 | Montres Breguet Sa | レーザ・マーキング方法 |
JP2008093724A (ja) * | 2006-10-13 | 2008-04-24 | Pulstec Industrial Co Ltd | レーザ微細加工装置 |
JPWO2009075207A1 (ja) * | 2007-12-10 | 2011-04-28 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 透明材料加工法及び透明材料加工装置 |
JP4609592B2 (ja) * | 2007-12-10 | 2011-01-12 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 透明材料加工法及び透明材料加工装置 |
WO2009075207A1 (ja) * | 2007-12-10 | 2009-06-18 | Konica Minolta Holdings, Inc. | 透明材料加工法及び透明材料加工装置 |
CN101977723A (zh) * | 2008-03-24 | 2011-02-16 | 丸文株式会社 | 光束加工装置、光束加工方法和经光束加工的基板 |
JP2011119419A (ja) * | 2009-12-03 | 2011-06-16 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | レーザ処理装置及びレーザ処理方法 |
US9939725B2 (en) | 2009-12-18 | 2018-04-10 | Boegli-Gravures S.A. | Method and device for producing masks for a laser installation |
JP2013514180A (ja) * | 2009-12-18 | 2013-04-25 | ボエグリ − グラビュル ソシエテ アノニム | 微細構造を製造するレーザー設備のためのマスクを製造するための方法及び装置 |
JP2012140303A (ja) * | 2011-01-04 | 2012-07-26 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | レーザー誘起背面式の透明基板微細加工で使用される流動性物質 |
US11002893B2 (en) | 2017-04-25 | 2021-05-11 | Nichia Corporation | Transmission grating and laser device using the same, and method of producing transmission grating |
WO2019135362A1 (ja) * | 2018-01-05 | 2019-07-11 | 国立大学法人弘前大学 | 透明材料加工方法、透明材料加工装置及び透明材料 |
US11471981B2 (en) | 2018-01-05 | 2022-10-18 | Hirosaki University | Transparent material processing method, transparent material processing device, and transparent material |
CN110560891A (zh) * | 2019-09-25 | 2019-12-13 | 吉林大学 | 静压力水辅助纳秒激光加工透明介质材料的装置及其方法 |
CN114957749A (zh) * | 2022-05-27 | 2022-08-30 | 广州大学 | 一种微结构透明隔热薄膜的制备方法 |
CN114957749B (zh) * | 2022-05-27 | 2023-12-01 | 广州大学 | 一种微结构透明隔热薄膜的制备方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4231924B2 (ja) | 2009-03-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4231924B2 (ja) | 透明材料の微細加工装置 | |
EP3330798B1 (en) | Maskless photolithographic system in cooperative working mode for cross-scale structure | |
US6783920B2 (en) | Photosensitive glass variable laser exposure patterning method | |
US7365909B2 (en) | Fabrication methods for micro compounds optics | |
KR101820558B1 (ko) | 넓은 영역에 나노 구조체를 생산하기 위한 시스템 및 방법 | |
US20050244622A1 (en) | Method for processing by laser, apparatus for processing by laser, and three-dimensional structure | |
US20090098479A1 (en) | Exposure method and tool | |
CN1259171C (zh) | 飞秒倍频激光直写系统及微加工方法 | |
JP4247383B2 (ja) | 透明材料の微細アブレーション加工方法 | |
CN105259739A (zh) | 基于紫外宽光谱自成像制备二维周期阵列的光刻方法及装置 | |
JP4565114B2 (ja) | 透明材料のレーザー微細加工方法及び装置 | |
JP2005161372A (ja) | レーザ加工装置、構造体、光学素子、及びレーザ加工法 | |
JP2006110587A (ja) | レーザー干渉加工方法および装置 | |
Tseng | Recent developments in micromachining of fused silica and quartz using excimer lasers | |
JP2005211909A (ja) | レーザ加工装置及びレーザ加工方法並びに加工された構造体 | |
US8585390B2 (en) | Mold making system and mold making method | |
JP2003167354A (ja) | 光パターニングにより無機透明材料を加工する光加工装置及び光加工方法 | |
JP2009136912A (ja) | 透明材料加工法及び透明材料加工装置 | |
JP3944615B2 (ja) | レーザアシストによる加工装置 | |
US6558882B2 (en) | Laser working method | |
CN110919172B (zh) | 一种辊筒表面微结构制作设备、系统及方法 | |
JP4264020B2 (ja) | レーザ加工方法および装置 | |
US20230369052A1 (en) | Nano-scale lithography method | |
Boyd et al. | Experimental Considerations | |
KR100288093B1 (ko) | 미소 광학부품 가공방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050616 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080131 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080219 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080414 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080715 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080909 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20080924 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20081111 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4231924 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |