JP2006315030A - 薄膜パネル加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】移動テーブル15により薄膜パネル30がレーザ加工位置Pに対して相対的に移動している状態で、レーザ加工装置10により薄膜パネル30の上面側(基板31側)からレーザ光Lが照射されると、レーザ光Lは、薄膜パネル30の基板31を透過して薄膜32に到達し、薄膜パネル30の薄膜32が加工される。薄膜パネル30の裏面側(薄膜32側)では、薄膜32のレーザ加工によって加工クズや加工部周辺でのバリ等が発生するが、これらの加工クズやバリ等は、レーザ加工装置10により薄膜パネル30の薄膜32が加工されているレーザ加工中に洗浄装置20により洗浄される。
【選択図】図1
Description
10 レーザ加工装置
15 移動テーブル(支持機構)
16 パネル保持材
20,20′ 洗浄装置
21,21′ 洗浄トレイ
21a,21a′ 開口部
22 超音波洗浄器
23,26 洗浄剤
24 シール機構
25 洗浄剤噴射器
30 薄膜パネル
31 基板
32 薄膜
L レーザ光
P レーザ加工位置
Claims (9)
- 薄膜パネルの所定の位置をレーザ光を用いて加工する薄膜パネル加工装置において、
基板の片面上に加工対象となる薄膜が形成された薄膜パネルを支持する支持機構と、
前記支持機構により支持された前記薄膜パネルのうち前記薄膜が形成されていない面の側に配置されたレーザ加工装置であって、前記薄膜パネルの前記薄膜を加工するように前記薄膜パネルに対してレーザ光を照射するレーザ加工装置と、
前記薄膜パネルのうち前記薄膜が形成されている面の側に配置された洗浄装置であって、前記レーザ加工装置により前記薄膜パネルの前記薄膜が加工されているレーザ加工中に前記薄膜を洗浄する洗浄装置とを備えたことを特徴とする薄膜パネル加工装置。 - 前記洗浄装置は、前記薄膜パネルの前記薄膜を洗浄剤を利用して洗浄する洗浄器と、前記洗浄器で利用される洗浄剤を収容する洗浄トレイとを有することを特徴とする、請求項1に記載の薄膜パネル加工装置。
- 前記洗浄装置の前記洗浄トレイは、前記薄膜パネルの前記薄膜の全面に対して前記洗浄剤が接触するように前記薄膜パネルの全域に対応する開口部を有することを特徴とする、請求項2に記載の薄膜パネル加工装置。
- 前記洗浄装置の前記洗浄トレイは、前記薄膜パネルの前記薄膜のうち前記レーザ加工が行われる部位の近傍の領域に対してのみ前記洗浄剤が接触するように前記薄膜パネルの一部の領域に対応する開口部を有することを特徴とする、請求項2に記載の薄膜パネル加工装置。
- 前記洗浄装置は、前記洗浄剤が外部へ漏出しないように前記洗浄トレイの前記薄膜パネルに対する当接部分に設けられたシール機構をさらに有することを特徴とする、請求項2乃至4のいずれか一項に記載の薄膜パネル加工装置。
- 前記洗浄装置の前記洗浄器は、前記薄膜パネルの前記薄膜を前記洗浄剤を利用して超音波により洗浄する超音波洗浄器を有することを特徴とする、請求項2乃至5のいずれか一項に記載の薄膜パネル加工装置。
- 前記洗浄装置の前記洗浄器は、前記薄膜パネルの前記薄膜へ向けて前記洗浄剤を吹き付ける洗浄剤噴射器を有することを特徴とする、請求項2乃至5のいずれか一項に記載の薄膜パネル加工装置。
- 前記薄膜パネルは、太陽電池パネルであることを特徴とする、請求項1乃至7のいずれか一項に記載の薄膜パネル加工装置。
- 前記薄膜パネルは、液晶パネル及びプラズマディスプレイパネルを含む群から選択される少なくとも一つの表示パネルであることを特徴とする、請求項1乃至7のいずれか一項に記載の薄膜パネル加工装置。
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