JP2763563B2 - インクジェット記録ヘッドの製造方法 - Google Patents

インクジェット記録ヘッドの製造方法

Info

Publication number
JP2763563B2
JP2763563B2 JP1007403A JP740389A JP2763563B2 JP 2763563 B2 JP2763563 B2 JP 2763563B2 JP 1007403 A JP1007403 A JP 1007403A JP 740389 A JP740389 A JP 740389A JP 2763563 B2 JP2763563 B2 JP 2763563B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ink
orifice
recording head
discharge port
ink jet
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP1007403A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH02187342A (ja
Inventor
公志 河野
和明 益田
光洋 緑川
隆 渡辺
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to JP1007403A priority Critical patent/JP2763563B2/ja
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to ES99200740T priority patent/ES2207908T3/es
Priority to EP94200483A priority patent/EP0602021A2/en
Priority to ES89311199T priority patent/ES2060789T3/es
Priority to EP19890311199 priority patent/EP0367541B1/en
Priority to EP99200740A priority patent/EP0937579B1/en
Priority to DE1989629489 priority patent/DE68929489T2/de
Priority to DE1989618663 priority patent/DE68918663T2/de
Publication of JPH02187342A publication Critical patent/JPH02187342A/ja
Priority to US07/752,909 priority patent/US5208604A/en
Priority to US08/741,529 priority patent/US5682187A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2763563B2 publication Critical patent/JP2763563B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/162—Manufacturing of the nozzle plates
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1601—Production of bubble jet print heads
    • B41J2/1604—Production of bubble jet print heads of the edge shooter type
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1623—Manufacturing processes bonding and adhesion
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1632—Manufacturing processes machining
    • B41J2/1634—Manufacturing processes machining laser machining

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はインクを吐出するための吐出口形成部材（オ
リフィスプレート）を具えたインクジェット記録ヘッド
の製造方法に関する。
［従来の技術］ この種のインクジェット記録ヘッドの本体は、例えば
第８図および第９図に示すようにインクを吐出するため
のオリフィス41（吐出口）を有するオリフィスプレート
40と、各オリフィスに連通したインク液路401を形成す
るための天板と、インク液路401の一部を構成し、かつ
吐出のためのエネルギーを発生する電気熱変換体101を
有する基板100とによって構成されている。
オリフィスプレートはインクを吐出するための微細な
オリフィスを有し、このオリフィスがインクジェット記
録ヘッドの吐出性能を左右する重要な要素となってい
る。すなわち、インクジェット記録ヘッドのオリフィス
プレートは、微少なオリフィスが設けられるため加工性
が良く、また、インクに直接接触するため耐インク性が
良いなどの性能を必要とされる。
従来、上記の性能を満たす材料として、SuS,ニッケ
ル,Cr,Alなどの金属板や、所望の厚み材料を簡易に、し
かも安価に得られる、PI,PES,PEEK,PEなどの樹脂フィル
ム材などが用いられていた。
一方、近年の記録技術の進歩に伴って高速，高精細な
記録が要求されるようになりつつあり、このため、オリ
フィスはその大きさ（オリフィス径）が微小で、かつ高
密度に形成されるようになってきた。この結果、オリフ
ィスの加工法も様々な工夫がなされており、なかでもレ
ーザー光を用いた加工は、微細加工に適しているため、
オリフィスの加工にも用いられている。
ところが、微小なオリフィスのあいたオリフィスプレ
ートと、これに対応したインク液路を接合することは極
めて難しく、互いの位置ずれが多々生じて吐出性能が劣
化し記録品位が低下することがあった。また、接合に際
してなんらかの接着剤を用いるが、位置ずれにより接合
時にその接着でインク液路を防いでしまうこともあっ
た。このため、最近ではオリフィスプレートの材料とし
ての樹脂フィルムをヘッドに接合した後に、レーザー光
によってオリフィス加工をする方法がとられるようにな
った。
［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、従来の方法では以下に説明する種々の
問題点があった。
すなわち、インクジェット記録ヘッドのオリフィス
は、その形状がインク液路側から吐出口側に向うほど径
が小さくなるいわゆるテーパ状が望ましい。しかしなが
ら、従来の単一のフィルムにレーザー加工を施す場合
は、第９図に示されるように吐出口側からインク液路に
行くほど径が小さくなるテーパ形状になってしまうとい
う問題点があった。
また、インクジェット記録ヘッドのオリフィスは、吐
出口面が不用なインクや結露等によって濡れないため、
あるいはインクの浸み込みを防止するため撥水性を有す
ることが望ましいが、従来はオリフィスを加工した後、
撥水処理を施していた。この場合、オリフィス内部に撥
水材が進入したり、均一な撥水面が得られないなどの問
題点があった。
本発明は、上述した従来の問題点を解消するためにな
されたものであり、その目的とするところは複数種類の
材料で構成したオリフィスプレートにオリフィスを加工
することにより、吐出性能を向上させたインクジェット
記録ヘッドを提供することにある。
［課題を解決するための手段］ そのために本発明ではインクを吐出するための吐出口
を有する吐出口形成部材と、前記吐出口に連通したイン
ク液路と、該インク液路の一部に配設され、インクを吐
出するために利用されるエネルギを発生する吐出エネル
ギ発生素子とを有し、飛翔液滴を形成して記録を行うイ
ンクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記吐出
口形成部材は、その表面にレーザー光に対してマスクと
なる材料で形成され吐出口の一部となる開口を有する層
を有し、該層を介してレーザー加工することで吐出口を
形成することを特徴とする。
［作用］ 以上の構成によれば、吐出口の加工性を向上させ、吐
出口加工による弊害の派生を防止することができる。
［実施例］ 以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明す
る。
第１図は本発明の一実施例に係るインクジェット記録
ヘッドを示し、インクタンクを一体としたディスポーザ
ブルなものである。
図に示すインクジェット記録ヘッド第８図に示したよ
うに、インク液路および共通液室を構成するための凹部
（以下、溝）を一体に形成した天板と、吐出エネルギー
を発生するための電気熱変換体（以下、吐出ヒータ）お
よびこれに電気信号を供給するためのAl配線とが成膜技
術によってSi基板上に形成された基板（以下、ヒータボ
ード）とを接合することによって構成される記録ヘッド
本体（不図示）を具え、この接合によって形成されるイ
ンク液路の開口を配する開口配設面には、図に示される
ように後述されるオリフィスプレート40a,40bが貼り合
わされる。
また、図中600は記録ヘッド本体に隣接して配設され
るサブインクタンクであり、このサブインクタンク600
および上記本体は蓋300および800によって支持される。
さらに、1000はカートリッジ本体、1100はカートリッジ
本体の蓋部材である。カートリッジ本体内部にはインク
タンクが内蔵され、サブインクタンク600に適宜インク
を供給する。
第２図は本発明の一実施例によりインクジェット記録
ヘッドのインク液路断面である。同図において、40aは
２種に材料からなるオリフィスプレートの一方のプレー
トであり、40bはもう一方のオリフィスプレートであ
る。本実施例では、プレート40aの材料として厚さ約20
μｍのPIフィルム、プレート40bの材料としては、PIフ
ィルム40aをインク液路の開口が配される開口面に接合
するための厚さ約20μｍのドライフィルム（東京応化製
SE−320）を用いた。
また、本実施例においては、PIフィルム40aとドライ
フィルム40bを接合してからインク液路の開口面に接合
したが、むろんドライフィルム40bを開口面に接合した
後にPIフィルム40aを接合しても良い。この接合により
記録ヘッド本体は第３図に示す状態となる。
次に、オリフィスプレートを接合した記録ヘッド本体
にレーザー光によってオリフィスを加工する。本実施例
では、エキシマレーザーを使用した。第４図に示すよう
に、まず、オリフィスの形状91を有したSuSのマスク９
を用い、インク液路の開口とマスク９のオリフィス形状
91との位置合せをした後、エキシマレーザー光をマスク
９に数秒間照射する。オリフィスプレート40a,40bはエ
キシマレーザー光により照射された部分が除去され、オ
リフィス41が形成される。このとき、フィルムの材質に
より除去される範囲が変化するため第２図に示すような
形状のオリフィス41が得られる。
第２図に示すように先端に向うほど径が小さくなる形
状は、吐出速度が増加し、また吐出方向も一定になるな
どの効果があり、記録画像品位の向上につながる。
第５図および第６図は本発明の他の実施例に関し、第
２図と同様の断面図である。インク液路401の形状およ
びオリフィスプレート40bの材料は第２図と同様のドラ
イフィルムを用いる。次に、SUS等にエッチングを施す
ことによりオリフィスと形成した金属材40a′をインク
液路の開口と位置合わせしながら接合する。この状態を
第５図に示す。
次に、第１の実施例と同じようにエキシマレーザー光
を照射してオリフィスを加工する。この状態を第６図に
示す。第６図からわかるように本実施例ではマスクを兼
ねたSUS材40a′がそのままオリフィスプレートとなるた
めレーザー加工用のマスクを別に用意する必要がないと
いう効果が得られる。
なお、さらに他の実施例について説明する。インク液
路の形状およびオリフィスプレート40bの材料は上述の
実施例と同じであり、オリフィスプレート40aの材料と
して撥水性を有したマイラー，テドラーなどのフィルム
を用いる。予めこのフィルム40aをプレート40bと接合
し、次に、インク液路の開口面に接合する。しかる後、
エキシマレーザー光にて、オリフィスを加工する。本実
施例によって得られる記録ヘッドは吐出口面となるオリ
フィスプレートに撥水性があるため、吐出口面に不要な
インク溜りや結露が生ぜず、これらの影響を排した安定
した吐出が可能となる。
以上説明した記録ヘッド本体は、第１図に示すような
カートリッジ形態で得ることができ、さらにこれを用い
て第７図のようなインクジェットプリンタ、すなわち、
ディスポーザブルのカートリッジを用いるインクジェッ
トプリンタを構成することができる。
なお、第７図のおいて８は第１図に示したカートリッ
ジであり、このカートリッジ８は、押え部材81によりキ
ャリッジ15の上に固定されており、これらはシャフト21
に沿って長手方向に往復動可能となっている。また、キ
ャリッジ15に対する位置決めは、例えば蓋300に設けた
穴と、キャリッジ15側に設けたダボ等により行うことが
できる。さらに、電気的接続は配線基板に設けた接続パ
ッドに、キャリッジ15上のコネクタを結合させればよ
い。
記憶ヘッドにより吐出されたインクは、記録ヘッドと
微少間隔をおいて、プラテン19に記録面を規制された記
録媒体18を到達し、記録媒体18上に画像を形成する。
記憶ヘッドには、ケーブル16およびこれに結合する端
子を介して適宜のデータ供給源より画像データに応じた
吐出信号が供給される。カートリッジ８は、用いるイン
ク色等に応じて、１ないし複数個（図では２個）を設け
ることができる。
また、第７図において、17はキャリッジ15をシャフト
21に沿って走査させるためのキャリッジモータ、22はモ
ータ17の駆動力をキャリッジ15に伝達するワイヤであ
る。また、20はプラテンローラ19に結合して記録媒体18
を搬送させるためのフィードモータである。
［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、吐
出の加工性を向上させ、吐出口加工の弊害の派生を防止
することができる。
この結果は、予め形成された吐出口形成部材（オリフ
ィスプレート）に従来の吐出口（オリフィス）加工を施
すのみで従来に比較してより吐出性能を向上させること
ができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例にかかるインクジェット記録
ヘッドカートリッジの外観斜視図、 第２図は第１図に示したカートリッジを構成する記憶ヘ
ッド本体の断面図、 第３図および第４図は第２図に示した記憶ヘッド本体の
オリフィス加工過程を示す模式的斜視図、 第５図および第６図は本発明の他の実施例に関するオリ
フィス加工過程を示す断面図、 第７図は本発明の実施例に関する記録ヘッドカートリッ
ジが装着されるインクジェットプリンタの一例を示す斜
視図、 第８図および第９図はインクジェット記録ヘッドの一従
来例を示すそれぞれ分解斜視図および断面図である。 40a,40a′,40b……オリフィスプレート、 41……オリフィス、 100……基板（ヒータボード）、 101……電気熱変換体、 400……天板、 401……インク液路。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 渡辺 隆 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キ ヤノン株式会社内 (56)参考文献 特開 昭62−202743（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−174272（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−32761（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−142370（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−73643（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B41J 2/16

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】インクを吐出するための吐出口を有する吐
    出口形成部材と、前記吐出口に連通したインク液路と、
    該インク液路の一部に配設され、インクを吐出するため
    に利用されるエネルギを発生する吐出エネルギ発生素子
    とを有し、飛翔液滴を形成して記録を行うインクジェッ
    ト記録ヘッドの製造方法において、 前記吐出口形成部材は、その表面にレーザー光に対して
    マスクとなる材料で形成され吐出口の一部となる開口を
    有する層を有し、該層を介してレーザー加工することで
    吐出口を形成することを特徴とするインクジェット記録
    ヘッドの製造方法。
  2. 【請求項２】前記吐出口のレーザー加工はエキシマレー
    ザーにより行われることを特徴とする請求項１記載のイ
    ンクジェット記録ヘッドの製造方法。
  3. 【請求項３】前記吐出エネルギ発生素子は電気熱変換体
    であることを特徴とする請求項１記載のインクジェット
    記録ヘッドの製造方法。
  4. 【請求項４】前記吐出エネルギ発生素子は熱エネルギを
    前記インクに作用させる形態を有することを特徴とする
    請求項３記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
JP1007403A 1988-10-31 1989-01-13 インクジェット記録ヘッドの製造方法 Expired - Fee Related JP2763563B2 (ja)

Priority Applications (10)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1007403A JP2763563B2 (ja) 1989-01-13 1989-01-13 インクジェット記録ヘッドの製造方法
DE1989618663 DE68918663T2 (de) 1988-10-31 1989-10-30 Verfahren zur Herstellung eines Tintenstrahldruckkopfes.
ES89311199T ES2060789T3 (es) 1988-10-31 1989-10-30 Metodo de fabricacion de un cabezal de impresion por chorros de tinta.
EP19890311199 EP0367541B1 (en) 1988-10-31 1989-10-30 Method of manufacturing an ink jet head
EP99200740A EP0937579B1 (en) 1988-10-31 1989-10-30 Ink jet head and manufacturing method thereof, discharge opening plate for head and manufacturing method thereof, and ink jet apparatus with ink jet head
DE1989629489 DE68929489T2 (de) 1988-10-31 1989-10-30 Tintenstrahlkopf und sein Herstellungsverfahren, Aufflussöffnungsplatte für diesen Kopf und sein Herstellungsverfahren, und Tintenstrahlgerät damit versehen
ES99200740T ES2207908T3 (es) 1988-10-31 1989-10-30 Cabezal para chorros de tinta y metodo para la fabricacion del mismo, placa con oberturas de descarga para el cabezal y su metodo de fabricacion y aparato para chorros de tinta con cabezal para chorros de tinta.
EP94200483A EP0602021A2 (en) 1988-10-31 1989-10-30 Ink jet head and manufacturing method thereof, discharge opening plate for head and manufacturing method thereof, and ink jet apparatus with ink jet head
US07/752,909 US5208604A (en) 1988-10-31 1991-08-26 Ink jet head and manufacturing method thereof, and ink jet apparatus with ink jet head
US08/741,529 US5682187A (en) 1988-10-31 1996-10-31 Method for manufacturing an ink jet head having a treated surface, ink jet head made thereby, and ink jet apparatus having such head

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1007403A JP2763563B2 (ja) 1989-01-13 1989-01-13 インクジェット記録ヘッドの製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH02187342A JPH02187342A (ja) 1990-07-23
JP2763563B2 true JP2763563B2 (ja) 1998-06-11

Family

ID=11664912

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1007403A Expired - Fee Related JP2763563B2 (ja) 1988-10-31 1989-01-13 インクジェット記録ヘッドの製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2763563B2 (ja)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2791226B2 (ja) * 1991-03-08 1998-08-27 キヤノン株式会社 記録ヘッドの製造方法および記録ヘッド
JPH0885212A (ja) * 1994-09-19 1996-04-02 Ricoh Co Ltd インクジェットヘッドのノズルプレート及びその製造方法
JPH11188874A (ja) 1997-12-25 1999-07-13 Canon Inc インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法
EP1020291A3 (en) 1999-01-18 2001-04-11 Canon Kabushiki Kaisha Liquid discharge head and producing method therefor
JP2000334955A (ja) 1999-05-27 2000-12-05 Canon Inc 液体吐出ヘッド、該液体吐出ヘッドの製造方法及び前記液体吐出ヘッドを用いた液体吐出記録装置
JP2003277651A (ja) 2002-03-20 2003-10-02 Brother Ind Ltd インクジェット記録用水性インク及びインクジェット記録方法
JP5741101B2 (ja) 2011-03-18 2015-07-01 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射装置の製造方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4374707A (en) * 1981-03-19 1983-02-22 Xerox Corporation Orifice plate for ink jet printing machines
JPS6132761A (ja) * 1984-07-25 1986-02-15 Nec Corp 噴射ヘツド
JPH065778B2 (ja) * 1985-12-17 1994-01-19 株式会社富士電機総合研究所 光半導体装置の製造方法
JPS62202743A (ja) * 1986-03-04 1987-09-07 Ricoh Co Ltd インクジエツト記録装置用インク噴射ノズルの撥水処理方法
JPS6373643A (ja) * 1986-09-17 1988-04-04 Mitsubishi Electric Corp 半導体装置の製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPH02187342A (ja) 1990-07-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0367541B1 (en) Method of manufacturing an ink jet head
US5208604A (en) Ink jet head and manufacturing method thereof, and ink jet apparatus with ink jet head
US6497474B2 (en) Electrostatic actuator, method of producing electrostatic actuator, micropump, recording head, ink jet recording apparatus, ink cartridge, and method of producing recording head
JP3032021B2 (ja) インクジェット記録装置
JPH068447A (ja) インクジェット・プリント・ヘッド
JP2763563B2 (ja) インクジェット記録ヘッドの製造方法
US5682187A (en) Method for manufacturing an ink jet head having a treated surface, ink jet head made thereby, and ink jet apparatus having such head
JP2633943B2 (ja) インクジェット記録ヘッドおよび該ヘッドの製造方法
JP4393730B2 (ja) インクジェットヘッド
JP3800317B2 (ja) インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置
JP2791226B2 (ja) 記録ヘッドの製造方法および記録ヘッド
JP3991405B2 (ja) インクジェット記録ヘッド用ノズル板の製造方法
JP3159015B2 (ja) インクジェットヘッド
KR100428650B1 (ko) 잉크젯 프린터의 헤드 제조방법
JP2001239671A (ja) ノズル形成部材、液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置
JP3339569B2 (ja) インクジェット記録ヘッド
US8205969B2 (en) Jet stack with precision port holes for ink jet printer and associated method
JPH02187345A (ja) インクジェット記録ヘッドおよび該ヘッドの製造方法
JP3058458B2 (ja) インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置
JP3149890B2 (ja) インクジェットヘッド
JPH03184862A (ja) インクジェット記録ヘッド
JP2001146013A (ja) インクジェットヘッドとヘッドユニット及びインクジェット記録装置
JP3143918B2 (ja) インクジェットヘッド
JP2004299368A (ja) 液滴吐出ヘッドおよびその製造方法、液体カートリッジ、液滴吐出式記録装置およびその製造方法
JP5568854B2 (ja) 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees