JP2000334955A - 液体吐出ヘッド、該液体吐出ヘッドの製造方法及び前記液体吐出ヘッドを用いた液体吐出記録装置 - Google Patents
液体吐出ヘッド、該液体吐出ヘッドの製造方法及び前記液体吐出ヘッドを用いた液体吐出記録装置Info
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 261
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 15
- 238000005304 joining Methods 0.000 claims description 14
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 13
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 claims 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 19
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 6
- 230000002950 deficient Effects 0.000 abstract 1
- 239000000976 ink Substances 0.000 description 36
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 28
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 28
- 239000004840 adhesive resin Substances 0.000 description 13
- 229920006223 adhesive resin Polymers 0.000 description 13
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 12
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 5
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000002679 ablation Methods 0.000 description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 2
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 2
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 2
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 229920006380 polyphenylene oxide Polymers 0.000 description 2
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 2
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 2
- -1 polypropylenes Polymers 0.000 description 2
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 2
- 101100269850 Caenorhabditis elegans mask-1 gene Proteins 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 101100216185 Oryza sativa subsp. japonica AP25 gene Proteins 0.000 description 1
- 101100219325 Phaseolus vulgaris BA13 gene Proteins 0.000 description 1
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000005323 electroforming Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 230000005499 meniscus Effects 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 1
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 1
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 1
- 238000009281 ultraviolet germicidal irradiation Methods 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1632—Manufacturing processes machining
- B41J2/1634—Manufacturing processes machining laser machining
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- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/1433—Structure of nozzle plates
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- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
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- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1601—Production of bubble jet print heads
- B41J2/1604—Production of bubble jet print heads of the edge shooter type
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 オリフィスプレートとヘッド本体の液流路と
の位置決め精度を確保するとともに、オリフィスの形成
に起因する吐出不良を防止する。 【解決手段】 ヘッド本体３には、発熱素子５が下壁に
設けられ、液流路壁９で仕切られた液流路６が並列に形
成されており、その両端側にそれぞれ２本ずつ、ダミー
液流路１６が形成されている。オリフィスプレート４に
は、インクを吐出するためのオリフィス１２が並列に形
成されており、その両端側にそれぞれ２つずつ形成され
た、ダミー液流路１６の開口に嵌合可能な形状の凸部１
３に、記録時にはインクを吐出しないダミーオリフィス
１５が形成されている。オリフィスプレート４の凸部１
３がダミー液流路１６に嵌合することで位置決めがなさ
れている。
の位置決め精度を確保するとともに、オリフィスの形成
に起因する吐出不良を防止する。 【解決手段】 ヘッド本体３には、発熱素子５が下壁に
設けられ、液流路壁９で仕切られた液流路６が並列に形
成されており、その両端側にそれぞれ２本ずつ、ダミー
液流路１６が形成されている。オリフィスプレート４に
は、インクを吐出するためのオリフィス１２が並列に形
成されており、その両端側にそれぞれ２つずつ形成され
た、ダミー液流路１６の開口に嵌合可能な形状の凸部１
３に、記録時にはインクを吐出しないダミーオリフィス
１５が形成されている。オリフィスプレート４の凸部１
３がダミー液流路１６に嵌合することで位置決めがなさ
れている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液体を吐出させる
ことにより飛翔液滴を形成して記録を行う液体吐出ヘッ
ド、該液体吐出ヘッドの製造方法及び前記液体吐出ヘッ
ドを用いた液体吐出記録装置に関し、特に、液体を吐出
する吐出口（以下、オリフィスという）の形成されたオ
リフィスプレートに関する。
ことにより飛翔液滴を形成して記録を行う液体吐出ヘッ
ド、該液体吐出ヘッドの製造方法及び前記液体吐出ヘッ
ドを用いた液体吐出記録装置に関し、特に、液体を吐出
する吐出口（以下、オリフィスという）の形成されたオ
リフィスプレートに関する。
【０００２】なお、本発明における「記録」とは、文字
や図形等の意味を持つ画像を被記録媒体に対して付与す
ることだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を
付与することも意味する。
や図形等の意味を持つ画像を被記録媒体に対して付与す
ることだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を
付与することも意味する。
【０００３】
【従来の技術】従来、液体吐出ヘッドのオリフィスから
記録液（インク）を吐出することにより記録を行うイン
クジェット記録装置が、低騒音、高速記録などの点で優
れた記録装置として知られている。
記録液（インク）を吐出することにより記録を行うイン
クジェット記録装置が、低騒音、高速記録などの点で優
れた記録装置として知られている。
【０００４】従来のこの種の液体吐出ヘッドの一例につ
いて、図１４を参照して説明する。図１４に示す液体吐
出ヘッドは、インクを吐出するためのエネルギーを発生
するエネルギー発生素子である発熱素子１００５が複数
個並列に設けられた基板１００１と、基板１００１の上
面に接合され各発熱素子１００５と対応する位置にそれ
ぞれインクの液流路１００６を構成する溝が形成された
天板１００２と、これら基板１００１及び天板１００２
の端面と接合され、インクを吐出するためのオリフィス
１０１２が上記液流路１００６と連通する位置に形成さ
れたオリフィスプレート１００４とを有する。
いて、図１４を参照して説明する。図１４に示す液体吐
出ヘッドは、インクを吐出するためのエネルギーを発生
するエネルギー発生素子である発熱素子１００５が複数
個並列に設けられた基板１００１と、基板１００１の上
面に接合され各発熱素子１００５と対応する位置にそれ
ぞれインクの液流路１００６を構成する溝が形成された
天板１００２と、これら基板１００１及び天板１００２
の端面と接合され、インクを吐出するためのオリフィス
１０１２が上記液流路１００６と連通する位置に形成さ
れたオリフィスプレート１００４とを有する。
【０００５】オリフィスプレート１００４に形成される
オリフィス１０１２は非常に微細なものであり、このオ
リフィス１０１２が、液体吐出ヘッドの吐出特性を左右
する重要な要素の一つとなっている。すなわち、液体吐
出ヘッドのオリフィスプレート１００４は、微細なオリ
フィス１０１２が形成されることから加工性に優れ、ま
た、インクに直接接触するものであるから耐インク性が
よいことが必要とされる。
オリフィス１０１２は非常に微細なものであり、このオ
リフィス１０１２が、液体吐出ヘッドの吐出特性を左右
する重要な要素の一つとなっている。すなわち、液体吐
出ヘッドのオリフィスプレート１００４は、微細なオリ
フィス１０１２が形成されることから加工性に優れ、ま
た、インクに直接接触するものであるから耐インク性が
よいことが必要とされる。
【０００６】上記の要件を満たすオリフィスプレート１
００４の材料としては、ＳＵＳ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ａｌなど
の金属薄板や、所望の厚みや性質を簡易にしかも安価に
得られるポリイミド、ポリサルフォン、ポリエーテルサ
ルフォン、ポリフェニレンオキサイド、ポリフェニレン
サルファイド、ポリプロピレンなどの樹脂フィルムが用
いられている。
００４の材料としては、ＳＵＳ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ａｌなど
の金属薄板や、所望の厚みや性質を簡易にしかも安価に
得られるポリイミド、ポリサルフォン、ポリエーテルサ
ルフォン、ポリフェニレンオキサイド、ポリフェニレン
サルファイド、ポリプロピレンなどの樹脂フィルムが用
いられている。
【０００７】一方、近年の記録技術の進歩に伴って、高
速、高精細な記録が要求されるようになっている。この
ためオリフィスは、大きさ（径）がますます微細にな
り、かつ、高密度に形成されるようになってきた。これ
に対応してオリフィスの加工法も様々な工夫がなされて
おり、オリフィスプレートとして樹脂フィルムを用いた
場合、微細加工に適したレーザ加工によってオリフィス
を形成している。また、金属プレートを用いる場合に
は、電鋳などの方法によってオリフィスを形成してい
る。
速、高精細な記録が要求されるようになっている。この
ためオリフィスは、大きさ（径）がますます微細にな
り、かつ、高密度に形成されるようになってきた。これ
に対応してオリフィスの加工法も様々な工夫がなされて
おり、オリフィスプレートとして樹脂フィルムを用いた
場合、微細加工に適したレーザ加工によってオリフィス
を形成している。また、金属プレートを用いる場合に
は、電鋳などの方法によってオリフィスを形成してい
る。
【０００８】ところが、オリフィスの微細化、高密度化
に伴い、オリフィスが形成されたオリフィスプレートを
液流路に対して正確にかつ隙間なく接合することは極め
て難しい。そこで、特開平２−１８７３４２号公報に
は、樹脂フィルムからなるオリフィスプレートを、基板
と天板とを接合したヘッド本体に接合した後にオリフィ
スプレートにレーザ加工によってオリフィスを形成する
方法が開示されている。また、特開平２−２０４０４８
号公報には、図１５に示すように、ドライフィルムなど
樹脂からなるオリフィスプレート１０２４を、加熱によ
り軟化した状態で、基板１０２１と天板１０２２とを接
合したヘッド本体１０２３の接合面に圧着し、これによ
りオリフィスプレート１０２４の一部を液流路１０２６
内に浸入させ、その後、フォトリソグラフィ技術あるい
はレーザ加工によって、液流路１０２６に対応する位置
にオリフィス１０３２を形成した液体吐出ヘッドが開示
されている。
に伴い、オリフィスが形成されたオリフィスプレートを
液流路に対して正確にかつ隙間なく接合することは極め
て難しい。そこで、特開平２−１８７３４２号公報に
は、樹脂フィルムからなるオリフィスプレートを、基板
と天板とを接合したヘッド本体に接合した後にオリフィ
スプレートにレーザ加工によってオリフィスを形成する
方法が開示されている。また、特開平２−２０４０４８
号公報には、図１５に示すように、ドライフィルムなど
樹脂からなるオリフィスプレート１０２４を、加熱によ
り軟化した状態で、基板１０２１と天板１０２２とを接
合したヘッド本体１０２３の接合面に圧着し、これによ
りオリフィスプレート１０２４の一部を液流路１０２６
内に浸入させ、その後、フォトリソグラフィ技術あるい
はレーザ加工によって、液流路１０２６に対応する位置
にオリフィス１０３２を形成した液体吐出ヘッドが開示
されている。
【０００９】一方、オリフィスは、インクの吐出方向を
安定させるために、その形状は、インクの吐出方向に向
かって径が小さくなる、いわゆるテーパ形状とすること
が望ましい。このようなテーパ形状のオリフィスを得る
ためには、オリフィスプレートにオリフィスを予め形成
しておき、これをヘッド本体に接合することが望まし
い。このようなオリフィスプレートは、各オリフィスの
周囲を凸形状に形成している。この凸形状部をヘッドの
液流路に嵌合させることで、ヘッド本体とオリフィスプ
レートとの位置合わせを行うものである。
安定させるために、その形状は、インクの吐出方向に向
かって径が小さくなる、いわゆるテーパ形状とすること
が望ましい。このようなテーパ形状のオリフィスを得る
ためには、オリフィスプレートにオリフィスを予め形成
しておき、これをヘッド本体に接合することが望まし
い。このようなオリフィスプレートは、各オリフィスの
周囲を凸形状に形成している。この凸形状部をヘッドの
液流路に嵌合させることで、ヘッド本体とオリフィスプ
レートとの位置合わせを行うものである。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の液体吐出ヘッドには以下に示すような問題点が
あった。
た従来の液体吐出ヘッドには以下に示すような問題点が
あった。
【００１１】オリフィスプレートをドライフィルムなど
樹脂で構成し、これを軟化させた状態でヘッド本体の接
合面に圧着することでオリフィスプレートの一部を液流
路に浸入させるものでは、オリフィスと液流路との位置
合わせの精度は確保できるものの以下の問題点があっ
た。
樹脂で構成し、これを軟化させた状態でヘッド本体の接
合面に圧着することでオリフィスプレートの一部を液流
路に浸入させるものでは、オリフィスと液流路との位置
合わせの精度は確保できるものの以下の問題点があっ
た。
【００１２】一つは、軟化したオリフィスプレートをヘ
ッド本体の接合面に圧着する際の、液流路内への樹脂の
入り込み量の制御が難しいという点である。オリフィス
の径が微小かつ高密度に形成されるようになると、液流
路内に入り込んだ樹脂の量が吐出性能に大きく影響し、
液流路ごとの吐出量にばらつきが生じてしまう。
ッド本体の接合面に圧着する際の、液流路内への樹脂の
入り込み量の制御が難しいという点である。オリフィス
の径が微小かつ高密度に形成されるようになると、液流
路内に入り込んだ樹脂の量が吐出性能に大きく影響し、
液流路ごとの吐出量にばらつきが生じてしまう。
【００１３】また、オリフィスプレートに樹脂フィルム
を用いた場合には、レーザ加工によってオリフィスを形
成しているが、オリフィスプレートを接合した後にレー
ザ加工を施すと、レーザ加工のアブレーションによって
生じるカーボンなどの異物が液流路内に浸入してしまう
ことがある。このような異物が液流路内に浸入すると、
オリフィスを目詰まりさせたり発熱素子上へ固着し、吐
出不良の原因となる。一方、オリフィスプレートの各オ
リフィスの周辺を凸形状とし、この凸形状部を液流路に
嵌め込む構成をとった場合、オリフィスと液流路との位
置精度を確保しながら全ての凸形状部を液流路に嵌合さ
せる必要があるため、凸形状部と液流路との嵌め合い公
差の管理が非常に厳しくなる。この嵌め合い公差を緩く
すると、オリフィスと液流路との位置精度が確保できな
くなる。
を用いた場合には、レーザ加工によってオリフィスを形
成しているが、オリフィスプレートを接合した後にレー
ザ加工を施すと、レーザ加工のアブレーションによって
生じるカーボンなどの異物が液流路内に浸入してしまう
ことがある。このような異物が液流路内に浸入すると、
オリフィスを目詰まりさせたり発熱素子上へ固着し、吐
出不良の原因となる。一方、オリフィスプレートの各オ
リフィスの周辺を凸形状とし、この凸形状部を液流路に
嵌め込む構成をとった場合、オリフィスと液流路との位
置精度を確保しながら全ての凸形状部を液流路に嵌合さ
せる必要があるため、凸形状部と液流路との嵌め合い公
差の管理が非常に厳しくなる。この嵌め合い公差を緩く
すると、オリフィスと液流路との位置精度が確保できな
くなる。
【００１４】そこで本発明は、オリフィスプレートのオ
リフィスとヘッド本体の液流路との位置決め精度を確保
するとともに、オリフィスの形成に起因する吐出不良の
ない液体吐出ヘッド、該液体吐出ヘッドの製造方法及び
前記液体吐出ヘッドを用いた液体吐出記録装置を提供す
ることを目的とする。
リフィスとヘッド本体の液流路との位置決め精度を確保
するとともに、オリフィスの形成に起因する吐出不良の
ない液体吐出ヘッド、該液体吐出ヘッドの製造方法及び
前記液体吐出ヘッドを用いた液体吐出記録装置を提供す
ることを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明の液体吐出ヘッドは、それぞれ液体を吐出させる
ために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生
素子を備え互いに平行に配列された複数の液流路が端面
に開口するヘッド本体と、前記ヘッド本体の端面に接合
され、前記各液流路に対応する部位にそれぞれ、前記各
液流路と連通する複数のオリフィスが形成されたオリフ
ィスプレートとを有し、前記各オリフィスから液体を吐
出することで被記録媒体に記録を行う液体吐出ヘッドに
おいて、前記ヘッド本体の、前記各液流路からなる液流
路列の両端側で、前記各液流路と平行に配列された、記
録には使用されない複数のダミー液流路と、前記オリフ
ィスプレートの前記ヘッド本体との接合面側の前記各ダ
ミー液流路と対応する位置に設けられた、前記各ダミー
液流路の開口端に嵌合する複数の凸部とを有する。
本発明の液体吐出ヘッドは、それぞれ液体を吐出させる
ために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生
素子を備え互いに平行に配列された複数の液流路が端面
に開口するヘッド本体と、前記ヘッド本体の端面に接合
され、前記各液流路に対応する部位にそれぞれ、前記各
液流路と連通する複数のオリフィスが形成されたオリフ
ィスプレートとを有し、前記各オリフィスから液体を吐
出することで被記録媒体に記録を行う液体吐出ヘッドに
おいて、前記ヘッド本体の、前記各液流路からなる液流
路列の両端側で、前記各液流路と平行に配列された、記
録には使用されない複数のダミー液流路と、前記オリフ
ィスプレートの前記ヘッド本体との接合面側の前記各ダ
ミー液流路と対応する位置に設けられた、前記各ダミー
液流路の開口端に嵌合する複数の凸部とを有する。
【００１６】上記のとおり構成された本発明の液体吐出
ヘッドは、ヘッド本体の、各液流路からなる液流路列の
両端側に配列され、記録には使用されない複数のダミー
液流路と、オリフィスプレートのヘッド本体との接合面
側の各ダミー液流路と対応する位置に設けられた各ダミ
ー液流路の開口端に嵌合する複数の凸部とを有する。こ
のため、オリフィスプレートとヘッド本体とを接合する
際に凸部がダミー液流路に嵌合されることで、オリフィ
スと液流路との位置決めがなされる。
ヘッドは、ヘッド本体の、各液流路からなる液流路列の
両端側に配列され、記録には使用されない複数のダミー
液流路と、オリフィスプレートのヘッド本体との接合面
側の各ダミー液流路と対応する位置に設けられた各ダミ
ー液流路の開口端に嵌合する複数の凸部とを有する。こ
のため、オリフィスプレートとヘッド本体とを接合する
際に凸部がダミー液流路に嵌合されることで、オリフィ
スと液流路との位置決めがなされる。
【００１７】また、レーザにより、オリフィス及び、凸
部に記録時には液体が吐出されないダミーオリフィスを
形成する場合、オリフィス及びダミーオリフィスの形状
はテーパ形状となるが、それぞれのテーパ角は同じであ
っても凸部の厚さ分だけダミーオリフィスの液体の吐出
される出口側の開口径は、オリフィスの液体の吐出され
る出口側の開口径よりも小さくなる。このため、画像認
識によるオリフィスとダミーオリフィスとの区別が容易
となることで、凸部とダミー液流路との位置合わせが容
易となる。
部に記録時には液体が吐出されないダミーオリフィスを
形成する場合、オリフィス及びダミーオリフィスの形状
はテーパ形状となるが、それぞれのテーパ角は同じであ
っても凸部の厚さ分だけダミーオリフィスの液体の吐出
される出口側の開口径は、オリフィスの液体の吐出され
る出口側の開口径よりも小さくなる。このため、画像認
識によるオリフィスとダミーオリフィスとの区別が容易
となることで、凸部とダミー液流路との位置合わせが容
易となる。
【００１８】また、本発明の液体吐出ヘッドの製造方法
は、それぞれ液体を吐出させるために利用されるエネル
ギーを発生するエネルギー発生素子を備え互いに平行に
配列された複数の液流路が端面に開口するヘッド本体
と、前記ヘッド本体の端面に接合され、前記各液流路に
対応する部位にそれぞれ、前記各液流路と連通する複数
のオリフィスが形成されたオリフィスプレートとを有
し、前記各オリフィスから液体を吐出することで被記録
媒体に記録を行う液体吐出ヘッドの製造方法において、
前記ヘッド本体に、前記各液流路からなる液流路列の両
端側に前記各液流路と平行に複数のダミー液流路を形成
する工程と、前記オリフィスプレートの、前記ヘッド本
体との接合面側の前記各ダミー液流路と対応する位置
に、前記各ダミー液流路の開口端に嵌合する複数の凸部
を形成する工程と、前記各凸部を前記各ダミー液流路の
開口に嵌合させることで前記各液流路と前記各オリフィ
スとの位置決めを行った後、前記オリフィスプレートと
前記ヘッド本体とを接合させる接合工程とを含む。
は、それぞれ液体を吐出させるために利用されるエネル
ギーを発生するエネルギー発生素子を備え互いに平行に
配列された複数の液流路が端面に開口するヘッド本体
と、前記ヘッド本体の端面に接合され、前記各液流路に
対応する部位にそれぞれ、前記各液流路と連通する複数
のオリフィスが形成されたオリフィスプレートとを有
し、前記各オリフィスから液体を吐出することで被記録
媒体に記録を行う液体吐出ヘッドの製造方法において、
前記ヘッド本体に、前記各液流路からなる液流路列の両
端側に前記各液流路と平行に複数のダミー液流路を形成
する工程と、前記オリフィスプレートの、前記ヘッド本
体との接合面側の前記各ダミー液流路と対応する位置
に、前記各ダミー液流路の開口端に嵌合する複数の凸部
を形成する工程と、前記各凸部を前記各ダミー液流路の
開口に嵌合させることで前記各液流路と前記各オリフィ
スとの位置決めを行った後、前記オリフィスプレートと
前記ヘッド本体とを接合させる接合工程とを含む。
【００１９】上記の通りの本発明の液体吐出ヘッドの製
造方法は、ヘッド本体に液体吐出用の液流路を形成する
工程と同じ工程でダミー液流路を形成することができる
ため、位置決め精度の高い液体吐出ヘッドを工程数を増
やすことなく製造できる。
造方法は、ヘッド本体に液体吐出用の液流路を形成する
工程と同じ工程でダミー液流路を形成することができる
ため、位置決め精度の高い液体吐出ヘッドを工程数を増
やすことなく製造できる。
【００２０】また、凸部に、記録時には液体が吐出され
ないダミーオリフィスを形成する場合も、オリフィスプ
レートに液体吐出用のオリフィスを形成する工程と同じ
工程でダミーオリフィスを形成することができるため、
ダミーオリフィスを形成するための工程を増やす必要が
ない。
ないダミーオリフィスを形成する場合も、オリフィスプ
レートに液体吐出用のオリフィスを形成する工程と同じ
工程でダミーオリフィスを形成することができるため、
ダミーオリフィスを形成するための工程を増やす必要が
ない。
【００２１】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施形態について
図面を参照して説明する。
図面を参照して説明する。
【００２２】図１は、本発明の第１の実施形態の液体吐
出ヘッドの一部を破断した模式的斜視図である。また、
図２は、図１に示すヘッド本体３をオリフィスプレート
４が接合される面から見た図である。
出ヘッドの一部を破断した模式的斜視図である。また、
図２は、図１に示すヘッド本体３をオリフィスプレート
４が接合される面から見た図である。
【００２３】図１に示すように、本実施形態の液体吐出
ヘッドは、インクに与える吐出エネルギーを発生させる
ためのエネルギー発生素子である複数の発熱素子５、各
発熱素子５に対応した複数の液流路６及びダミー液流路
１６とを備えるヘッド本体３と、このヘッド本体３に接
合されたオリフィスプレート４とを有する。なお、ダミ
ー液流路１６は後述するように、実際の記録時には使用
されないが、構造が液流路６と同じであるので、本明細
書では、液流路６の両側の構造を「ダミー液流路」とい
う用語を用いて説明する。
ヘッドは、インクに与える吐出エネルギーを発生させる
ためのエネルギー発生素子である複数の発熱素子５、各
発熱素子５に対応した複数の液流路６及びダミー液流路
１６とを備えるヘッド本体３と、このヘッド本体３に接
合されたオリフィスプレート４とを有する。なお、ダミ
ー液流路１６は後述するように、実際の記録時には使用
されないが、構造が液流路６と同じであるので、本明細
書では、液流路６の両側の構造を「ダミー液流路」とい
う用語を用いて説明する。
【００２４】ヘッド本体３は、図２に示すように、その
端面において各液流路６及び各ダミー液流路１６が開口
しており、オリフィスプレート４は、この端面に接合さ
れる。なお、本実施形態の場合、ダミー液流路１６は、
並列に形成された各液流路６の両端側に各２つずつ、計
４つがそれぞれ、液流路６と並列に形成されている（図
８参照）。これらダミー液流路１６の形成は、液流路６
を形成する工程と同じ工程で形成することができるた
め、製造工程が増えることはない。
端面において各液流路６及び各ダミー液流路１６が開口
しており、オリフィスプレート４は、この端面に接合さ
れる。なお、本実施形態の場合、ダミー液流路１６は、
並列に形成された各液流路６の両端側に各２つずつ、計
４つがそれぞれ、液流路６と並列に形成されている（図
８参照）。これらダミー液流路１６の形成は、液流路６
を形成する工程と同じ工程で形成することができるた
め、製造工程が増えることはない。
【００２５】また、オリフィスプレート４には、ダミー
液流路１６と連通するダミーオリフィス１５が形成され
た凸部１３と、各液流路６と連通する複数のオリフィス
１２とが形成されている。これらダミーオリフィス１５
の形成も、オリフィス１２を形成する工程と同じ工程で
形成することができるため、製造工程が増えることはな
い。
液流路１６と連通するダミーオリフィス１５が形成され
た凸部１３と、各液流路６と連通する複数のオリフィス
１２とが形成されている。これらダミーオリフィス１５
の形成も、オリフィス１２を形成する工程と同じ工程で
形成することができるため、製造工程が増えることはな
い。
【００２６】ヘッド本体３は、基板１と、基板１の上面
に接合された天板２とで構成される。基板１には、上記
の発熱素子５及びこれら発熱素子５に電気信号を供給す
るためのＡｌ配線が成膜技術によって形成されている。
天板２には、上記の各液流路６と各ダミー液流路１６と
を仕切る液流路壁９及び各液流路６と各ダミー液流路１
６とに供給するインクを一時的に保持する共通液室７を
形成するための液室枠１０が一体に形成され、基板１に
天板２を接合することで、これら液流路６、ダミー液流
路１６及び共通液室７が構成される。また、天板２に
は、外部から共通液室７にインクを供給するためのイン
ク供給口１１が開口している。基板１の各発熱素子５の
間の部位には天板２の液流路壁９が嵌め込まれる溝８が
形成されており、天板２と基板１とを接合する際に、液
流路壁９を溝８に嵌め込むことで天板２と基板１との位
置決めがなされる。
に接合された天板２とで構成される。基板１には、上記
の発熱素子５及びこれら発熱素子５に電気信号を供給す
るためのＡｌ配線が成膜技術によって形成されている。
天板２には、上記の各液流路６と各ダミー液流路１６と
を仕切る液流路壁９及び各液流路６と各ダミー液流路１
６とに供給するインクを一時的に保持する共通液室７を
形成するための液室枠１０が一体に形成され、基板１に
天板２を接合することで、これら液流路６、ダミー液流
路１６及び共通液室７が構成される。また、天板２に
は、外部から共通液室７にインクを供給するためのイン
ク供給口１１が開口している。基板１の各発熱素子５の
間の部位には天板２の液流路壁９が嵌め込まれる溝８が
形成されており、天板２と基板１とを接合する際に、液
流路壁９を溝８に嵌め込むことで天板２と基板１との位
置決めがなされる。
【００２７】上記の液体吐出ヘッドでは、共通液室７か
ら液流路６及びダミー液流路１６に供給されたインク
は、オリフィス１２でメニスカスを形成して液流路６及
びダミー液流路１６を満たしている。この状態で発熱素
子５を駆動し発熱させると、発熱素子５上のインクが急
激に加熱されて液流路６内に膜沸騰に伴う気泡が発生
し、この気泡の成長による圧力でオリフィス１２からイ
ンクが吐出される。ただし、ダミー液流路１６内に設け
られた発熱素子５は記録時には駆動されないので、記録
時にダミーオリフィス１５からインクが吐出されること
はない。
ら液流路６及びダミー液流路１６に供給されたインク
は、オリフィス１２でメニスカスを形成して液流路６及
びダミー液流路１６を満たしている。この状態で発熱素
子５を駆動し発熱させると、発熱素子５上のインクが急
激に加熱されて液流路６内に膜沸騰に伴う気泡が発生
し、この気泡の成長による圧力でオリフィス１２からイ
ンクが吐出される。ただし、ダミー液流路１６内に設け
られた発熱素子５は記録時には駆動されないので、記録
時にダミーオリフィス１５からインクが吐出されること
はない。
【００２８】ここで、オリフィスプレート４について更
に詳しく説明する。
に詳しく説明する。
【００２９】図３（ａ）は、オリフィスプレート４をヘ
ッド本体３側から見た一部平面図であり、図３（ｂ）
は、接着樹脂１４が塗布された状態の、図３（ａ）のＨ
−Ｈ線での側断面図である。
ッド本体３側から見た一部平面図であり、図３（ｂ）
は、接着樹脂１４が塗布された状態の、図３（ａ）のＨ
−Ｈ線での側断面図である。
【００３０】図４（ａ）は、図３（ａ）のＣ−Ｃ線での
断面図であり、図４（ｂ）は、並列に配列されたオリフ
ィス１２の両端側にダミーオリフィス１５が形成されて
いることを示す断面図である。
断面図であり、図４（ｂ）は、並列に配列されたオリフ
ィス１２の両端側にダミーオリフィス１５が形成されて
いることを示す断面図である。
【００３１】オリフィスプレート４には、複数のオリフ
ィス１２が並列に形成され、その両端側にそれぞれ２つ
の凸部１３、計４つの凸部１３が形成されており、各凸
部１３にはダミーオリフィス１５が形成されている。
ィス１２が並列に形成され、その両端側にそれぞれ２つ
の凸部１３、計４つの凸部１３が形成されており、各凸
部１３にはダミーオリフィス１５が形成されている。
【００３２】厚さ２５μｍのオリフィスプレート４に形
成された凸部１３の外形は四角柱形状であり、凸部１３
の外形寸法は、縦が３０μｍ、横が３０μｍ、高さが１
０μｍである。オリフィス１２は、ピッチが６００ｄｐ
ｉの解像度に相当する間隔で形成され、その形状はテー
パ形状であり、オリフィス１２の入射口の開口径がφ３
２μｍ、インクが吐出される出口側の開口径がφ２４μ
ｍである。ダミーオリフィス１５の出口側の開口径は、
後述のオリフィス１２及びダミーオリフィス１５の形成
工程上の理由により、オリフィス１２の開口径φ２４μ
ｍよりも小さい。
成された凸部１３の外形は四角柱形状であり、凸部１３
の外形寸法は、縦が３０μｍ、横が３０μｍ、高さが１
０μｍである。オリフィス１２は、ピッチが６００ｄｐ
ｉの解像度に相当する間隔で形成され、その形状はテー
パ形状であり、オリフィス１２の入射口の開口径がφ３
２μｍ、インクが吐出される出口側の開口径がφ２４μ
ｍである。ダミーオリフィス１５の出口側の開口径は、
後述のオリフィス１２及びダミーオリフィス１５の形成
工程上の理由により、オリフィス１２の開口径φ２４μ
ｍよりも小さい。
【００３３】オリフィスプレート４としては、ＳＵＳ、
Ｎｉなどの金属フィルム、または耐インク性に優れたプ
ラスチックフィルム、例えば、ポリイミド、ポリサルフ
ォン、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンオキサ
イド、ポリフェニレンサルファイド、ポリプロピレンな
どの樹脂フィルム材を用いることが望ましい。
Ｎｉなどの金属フィルム、または耐インク性に優れたプ
ラスチックフィルム、例えば、ポリイミド、ポリサルフ
ォン、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンオキサ
イド、ポリフェニレンサルファイド、ポリプロピレンな
どの樹脂フィルム材を用いることが望ましい。
【００３４】また、オリフィスプレート４とヘッド本体
３とを接合する接着樹脂１４としては、紫外線照射、赤
外線照射あるいは加熱などの処理やそれらの処理を併用
することにより、タック性（粘性）を保持したままＢス
テージ（硬化中間状態）化して硬化収縮が終了し、更な
る上記の処理により硬化するものが用いられる。本実施
形態では、１ｍＷ／ｃｍ2の紫外線を６０秒間照射して
Ｂステージ化し、更なるＵＶ照射、もしくは加熱により
硬化するエポキシ系の接着剤を用いた。なお、この接着
剤は、加熱圧着のみでも接着が可能である。
３とを接合する接着樹脂１４としては、紫外線照射、赤
外線照射あるいは加熱などの処理やそれらの処理を併用
することにより、タック性（粘性）を保持したままＢス
テージ（硬化中間状態）化して硬化収縮が終了し、更な
る上記の処理により硬化するものが用いられる。本実施
形態では、１ｍＷ／ｃｍ2の紫外線を６０秒間照射して
Ｂステージ化し、更なるＵＶ照射、もしくは加熱により
硬化するエポキシ系の接着剤を用いた。なお、この接着
剤は、加熱圧着のみでも接着が可能である。
【００３５】次に、オリフィスプレート４へのオリフィ
ス１２及びダミーオリフィス１５の形成工程に関して図
５、図６及び図７を用いて概略を説明する。なお、図５
（ａ’）、図５（ｂ’）、図５（ｃ’）は、それぞれ図
５（ａ）、図５（ｂ）、図５（ｃ）のＣ−Ｃ’線断面図
である。図６は、本実施形態の液体吐出ヘッドの製造に
使用される製造ラインの一部としてのフィルム状樹脂４
ａの製造装置を模式的に示す図である。また、図７は、
フィルム状樹脂４ａにオリフィス１２及びダミーオリフ
ィス１５を形成するためのエキシマレーザ加工装置を模
式的に示す図である。
ス１２及びダミーオリフィス１５の形成工程に関して図
５、図６及び図７を用いて概略を説明する。なお、図５
（ａ’）、図５（ｂ’）、図５（ｃ’）は、それぞれ図
５（ａ）、図５（ｂ）、図５（ｃ）のＣ−Ｃ’線断面図
である。図６は、本実施形態の液体吐出ヘッドの製造に
使用される製造ラインの一部としてのフィルム状樹脂４
ａの製造装置を模式的に示す図である。また、図７は、
フィルム状樹脂４ａにオリフィス１２及びダミーオリフ
ィス１５を形成するためのエキシマレーザ加工装置を模
式的に示す図である。
【００３６】まず、図５（ａ）および図５（ａ’）に示
すように、凸部１３の形成されたフィルム状樹脂４ａを
形成する。このフィルム状樹脂４ａは厚さが２５μｍで
あるが、凸部１３は高さが１０μｍあるため、凸部１３
の部位は厚さが３５μｍである。
すように、凸部１３の形成されたフィルム状樹脂４ａを
形成する。このフィルム状樹脂４ａは厚さが２５μｍで
あるが、凸部１３は高さが１０μｍあるため、凸部１３
の部位は厚さが３５μｍである。
【００３７】図６では、押出成形により溶融樹脂をフィ
ルム状に押出し、押出されたフィルム状樹脂の表面に、
所定の形状のレリーフ型を備えたロールを押圧すること
で、そのフィルム状樹脂の表面に所望の形状のパターン
を形成するまでの工程が示されている。すなわち、押出
成形機１１１のダイ１１２から溶融樹脂をフィルム状に
押出すことによりフィルム状樹脂４ａが形成され、フィ
ルム状樹脂４ａは冷却ロール１１５とニップロール１１
６との間に挟まれて、それらのロールによって押圧され
る。冷却ロール１１５の表面には、図５（ａ）に示した
凸部１３に応じた形状のレリーフ型１１４が取り付けら
れている。このレリーフ型１１４によってフィルム状樹
脂４ａの表面に所望の形状が連続的に形成される。
ルム状に押出し、押出されたフィルム状樹脂の表面に、
所定の形状のレリーフ型を備えたロールを押圧すること
で、そのフィルム状樹脂の表面に所望の形状のパターン
を形成するまでの工程が示されている。すなわち、押出
成形機１１１のダイ１１２から溶融樹脂をフィルム状に
押出すことによりフィルム状樹脂４ａが形成され、フィ
ルム状樹脂４ａは冷却ロール１１５とニップロール１１
６との間に挟まれて、それらのロールによって押圧され
る。冷却ロール１１５の表面には、図５（ａ）に示した
凸部１３に応じた形状のレリーフ型１１４が取り付けら
れている。このレリーフ型１１４によってフィルム状樹
脂４ａの表面に所望の形状が連続的に形成される。
【００３８】レリーフ型１１４によって表面に所望の形
状が形成されると共に冷却ロール１１５によって冷却さ
れたフィルム状樹脂４ａは、いくつかのロールと、２つ
の引き取りロール１１７とを経由した後に巻き取りロー
ル１１８によってロール状に巻き取られる。
状が形成されると共に冷却ロール１１５によって冷却さ
れたフィルム状樹脂４ａは、いくつかのロールと、２つ
の引き取りロール１１７とを経由した後に巻き取りロー
ル１１８によってロール状に巻き取られる。
【００３９】次に、図５（ｂ’）に示すように、オリフ
ィス１２及びダミーオリフィス１５を形成すべき部位の
中央部にレーザ２０を照射することにより、図５（ｃ）
および図５（ｃ’）に示すように、フィルム状樹脂４ａ
を貫通するテーパ形状の貫通孔、すなわちオリフィス４
１及びダミーオリフィス１５が形成される。この際、ダ
ミーオリフィス１５の形成される部位には凸部１３が設
けられていることで厚さが１０μｍ厚くなっている分だ
け、貫通穴のテーパ角は同じであっても、ダミーオリフ
ィス１５のインクの吐出される出口側の開口径は、オリ
フィス１２のインクの吐出される出口側の開口径よりも
小さくなる。
ィス１２及びダミーオリフィス１５を形成すべき部位の
中央部にレーザ２０を照射することにより、図５（ｃ）
および図５（ｃ’）に示すように、フィルム状樹脂４ａ
を貫通するテーパ形状の貫通孔、すなわちオリフィス４
１及びダミーオリフィス１５が形成される。この際、ダ
ミーオリフィス１５の形成される部位には凸部１３が設
けられていることで厚さが１０μｍ厚くなっている分だ
け、貫通穴のテーパ角は同じであっても、ダミーオリフ
ィス１５のインクの吐出される出口側の開口径は、オリ
フィス１２のインクの吐出される出口側の開口径よりも
小さくなる。
【００４０】図７に示されるエキシマレーザ加工装置に
は、エキシマレーザ発振器１２９と、エキシマレーザ発
振器１２９から出射されたレーザ２０を集光させる集光
レンズ１３１と、集光レンズ１３１を透過したレーザ２
０をフィルム状樹脂４ａの所定の部分に照射させるため
のマスク１３２とが備えられている。エキシマレーザ発
振器１２９から出射されたレーザ２０は集光レンズ１３
１およびマスク１３２を介してフィルム状樹脂４ａに照
射される。フィルム状樹脂４ａはロール状に巻かれた状
態で収納されており、ここでは、ロール状のフィルム状
樹脂４ａを巻き出すことによりフィルム状樹脂４ａの一
部を平らにし、フィルム状樹脂４ａの平らな部分にレー
ザ２０を照射させる。
は、エキシマレーザ発振器１２９と、エキシマレーザ発
振器１２９から出射されたレーザ２０を集光させる集光
レンズ１３１と、集光レンズ１３１を透過したレーザ２
０をフィルム状樹脂４ａの所定の部分に照射させるため
のマスク１３２とが備えられている。エキシマレーザ発
振器１２９から出射されたレーザ２０は集光レンズ１３
１およびマスク１３２を介してフィルム状樹脂４ａに照
射される。フィルム状樹脂４ａはロール状に巻かれた状
態で収納されており、ここでは、ロール状のフィルム状
樹脂４ａを巻き出すことによりフィルム状樹脂４ａの一
部を平らにし、フィルム状樹脂４ａの平らな部分にレー
ザ２０を照射させる。
【００４１】本実施形態では、図６に示した製造ライン
の装置と、図７に示したレーザ加工装置とが別々になっ
ているが、連続して設けられていてもよい。
の装置と、図７に示したレーザ加工装置とが別々になっ
ているが、連続して設けられていてもよい。
【００４２】次に、オリフィスプレート４とヘッド本体
３との接合に関して、オリフィスプレート４とヘッド本
体３とが接合された状態の液体吐出ヘッドの断面図であ
る図８を用いて説明する。なお、図８は、液体吐出ヘッ
ドの中央部を破断した断面図であり、並列されたオリフ
ィス１２の両端側に各２つづつ配列されたダミーオリフ
ィス１５を示す図でもある。
３との接合に関して、オリフィスプレート４とヘッド本
体３とが接合された状態の液体吐出ヘッドの断面図であ
る図８を用いて説明する。なお、図８は、液体吐出ヘッ
ドの中央部を破断した断面図であり、並列されたオリフ
ィス１２の両端側に各２つづつ配列されたダミーオリフ
ィス１５を示す図でもある。
【００４３】まず、ダミーオリフィス１５に対応する凸
部１３を、ヘッド本体３に形成されたダミー液流路１６
に嵌合させることで、オリフィスプレート４とヘッド本
体３との位置決めを行う。
部１３を、ヘッド本体３に形成されたダミー液流路１６
に嵌合させることで、オリフィスプレート４とヘッド本
体３との位置決めを行う。
【００４４】その後、オリフィスプレート４をヘッド本
体３に向けて１ｋｇ／ｃｍ2の荷重をかけてオリフィス
プレート４とヘッド本体３とを密着させる。その状態を
保持したまま両者を６０℃の温度で加熱圧着して、接着
樹脂１４の硬化を終了させる。これにより、図８に示し
たように液流路６とオリフィス１２との位置精度を確保
しつつ、オリフィスプレート４とヘッド本体３とを接合
することができる。なお、図８では接着樹脂１４は省略
されている。
体３に向けて１ｋｇ／ｃｍ2の荷重をかけてオリフィス
プレート４とヘッド本体３とを密着させる。その状態を
保持したまま両者を６０℃の温度で加熱圧着して、接着
樹脂１４の硬化を終了させる。これにより、図８に示し
たように液流路６とオリフィス１２との位置精度を確保
しつつ、オリフィスプレート４とヘッド本体３とを接合
することができる。なお、図８では接着樹脂１４は省略
されている。
【００４５】また、レーザ加工によるオリフィス１２の
形成はヘッド本体３とオリフィスプレート４との接合前
に行っているので、レーザ加工のアブレーションによっ
て生じるカーボンなどの異物が液流路６内に浸入するこ
とはない。従って、このような異物によるオリフィス１
２の目詰まりや、発熱素子５上への異物の固着も発生せ
ず、これらに起因する吐出不良が防止される。
形成はヘッド本体３とオリフィスプレート４との接合前
に行っているので、レーザ加工のアブレーションによっ
て生じるカーボンなどの異物が液流路６内に浸入するこ
とはない。従って、このような異物によるオリフィス１
２の目詰まりや、発熱素子５上への異物の固着も発生せ
ず、これらに起因する吐出不良が防止される。
【００４６】なお、本実施形態では、ダミーオリフィス
１５及びダミー液流路１６は、一列に配列された液流路
６の両端側にそれぞれ２つずつ形成されるものとして説
明したが、なんらこれに限定されるものではなく、それ
ぞれ、１つずつあるいは３つ以上ずつ形成されているも
のであってもよい。
１５及びダミー液流路１６は、一列に配列された液流路
６の両端側にそれぞれ２つずつ形成されるものとして説
明したが、なんらこれに限定されるものではなく、それ
ぞれ、１つずつあるいは３つ以上ずつ形成されているも
のであってもよい。
【００４７】以上説明したように、本実施形態によれ
ば、ダミーオリフィス１５の形成された凸部１３をヘッ
ド本体３のダミー液流路１６に嵌合させて位置決めを行
った後、オリフィスプレート４とヘッド本体３とを接合
することで、液流路６が高密度に配列されていても、オ
リフィス１２と液流路６との位置精度を確保してオリフ
ィスプレート４とヘッド本体３とを接合することができ
る。 （第２の実施形態）次に、図９（ａ）に本実施形態の液
体吐出ヘッドに用いられるオリフィスプレート５４の一
部平面図を、図９（ｂ）に図９（ａ）のＢ部を拡大した
平面図を、また、図９（ｃ）に図９（ｂ）のＣ−Ｃ’線
断面図をそれぞれ示す。
ば、ダミーオリフィス１５の形成された凸部１３をヘッ
ド本体３のダミー液流路１６に嵌合させて位置決めを行
った後、オリフィスプレート４とヘッド本体３とを接合
することで、液流路６が高密度に配列されていても、オ
リフィス１２と液流路６との位置精度を確保してオリフ
ィスプレート４とヘッド本体３とを接合することができ
る。 （第２の実施形態）次に、図９（ａ）に本実施形態の液
体吐出ヘッドに用いられるオリフィスプレート５４の一
部平面図を、図９（ｂ）に図９（ａ）のＢ部を拡大した
平面図を、また、図９（ｃ）に図９（ｂ）のＣ−Ｃ’線
断面図をそれぞれ示す。
【００４８】オリフィスプレート５４には、ダミーオリ
フィス６５に対応する第１の凸部６３だけでなく、各オ
リフィス６２に対応する第２の凸部６４が複数形成され
ている。第１の凸部６３は、第２の凸部６４の高さより
も高く形成されている。また、第２の凸部６４の縦及び
横寸法は、後述のヘッド本体７３の液流路６６の開口の
縦及び横寸法に対して、後述の接着樹脂６６が浸入可能
な隙間を確保できる寸法となっている。
フィス６５に対応する第１の凸部６３だけでなく、各オ
リフィス６２に対応する第２の凸部６４が複数形成され
ている。第１の凸部６３は、第２の凸部６４の高さより
も高く形成されている。また、第２の凸部６４の縦及び
横寸法は、後述のヘッド本体７３の液流路６６の開口の
縦及び横寸法に対して、後述の接着樹脂６６が浸入可能
な隙間を確保できる寸法となっている。
【００４９】本実施形態の液体吐出ヘッドは、上記以外
の構成は基本的に第１の実施形態で示した液体吐出ヘッ
ドと同様であるため、詳細な説明は省略する。
の構成は基本的に第１の実施形態で示した液体吐出ヘッ
ドと同様であるため、詳細な説明は省略する。
【００５０】次に、接着樹脂６６が塗布された状態のオ
リフィス６２の断面図である図１０（ａ）及びヘッド本
体７３に接合された状態のオリフィス６２の断面図であ
る図１０（ｂ）を用いて、オリフィスプレートとヘッド
本体７３との接合に関して説明する。
リフィス６２の断面図である図１０（ａ）及びヘッド本
体７３に接合された状態のオリフィス６２の断面図であ
る図１０（ｂ）を用いて、オリフィスプレートとヘッド
本体７３との接合に関して説明する。
【００５１】まず、ダミーオリフィス６５に対応する第
１の凸部６３を、ヘッド本体７３に形成された不図示の
ダミー液流路に嵌合させることで、オリフィスプレート
５４とヘッド本体７３との位置決めを行う。
１の凸部６３を、ヘッド本体７３に形成された不図示の
ダミー液流路に嵌合させることで、オリフィスプレート
５４とヘッド本体７３との位置決めを行う。
【００５２】次に、第１の凸部６３をダミー液流路にさ
らに押し込むとともに、オリフィス６２に対応する第２
の凸部６４を、ヘッド本体７３の液流路６６の開口に嵌
合させる。その後、オリフィスプレート５４をヘッド本
体７３に向けて、さらに１ｋｇ／ｃｍ2の荷重をかけて
押し付けることでオリフィスプレート５４とヘッド本体
７３とを密着させる。その状態を保持したまま両者を６
０℃の温度で加熱圧着して、接着樹脂６６の硬化を終了
させる。これにより、図１０（ｂ）に示すようにヘッド
本体７３とオリフィスプレート５４とが接着樹脂６６を
介して密着する。
らに押し込むとともに、オリフィス６２に対応する第２
の凸部６４を、ヘッド本体７３の液流路６６の開口に嵌
合させる。その後、オリフィスプレート５４をヘッド本
体７３に向けて、さらに１ｋｇ／ｃｍ2の荷重をかけて
押し付けることでオリフィスプレート５４とヘッド本体
７３とを密着させる。その状態を保持したまま両者を６
０℃の温度で加熱圧着して、接着樹脂６６の硬化を終了
させる。これにより、図１０（ｂ）に示すようにヘッド
本体７３とオリフィスプレート５４とが接着樹脂６６を
介して密着する。
【００５３】また、図１０（ｂ）からも分かるように、
接着樹脂６６はヘッド本体７３とオリフィスプレート５
４との圧着により一部が液流路６６内に浸入するが、オ
リフィスプレート５４には第２の凸部６４が設けられて
いるので、接着樹脂６６は第２の凸部６４の外周と液流
路６６との間の隙間に浸入し、オリフィス６２内に浸入
することはない。その結果、オリフィス６２内への接着
樹脂６６の浸入に起因するインクの吐出不良が防止され
る。また、レーザ加工によるオリフィス６２の形成はヘ
ッド本体７３とオリフィスプレート５４との接合前に行
っているので、レーザ加工のアブレーションによって生
じるカーボンなどの異物が液流路６６内に浸入すること
はない。従って、このような異物によるオリフィス６２
の目詰まりや、不図示の発熱素子上への異物の固着も発
生せず、これらに起因する吐出不良が防止される。
接着樹脂６６はヘッド本体７３とオリフィスプレート５
４との圧着により一部が液流路６６内に浸入するが、オ
リフィスプレート５４には第２の凸部６４が設けられて
いるので、接着樹脂６６は第２の凸部６４の外周と液流
路６６との間の隙間に浸入し、オリフィス６２内に浸入
することはない。その結果、オリフィス６２内への接着
樹脂６６の浸入に起因するインクの吐出不良が防止され
る。また、レーザ加工によるオリフィス６２の形成はヘ
ッド本体７３とオリフィスプレート５４との接合前に行
っているので、レーザ加工のアブレーションによって生
じるカーボンなどの異物が液流路６６内に浸入すること
はない。従って、このような異物によるオリフィス６２
の目詰まりや、不図示の発熱素子上への異物の固着も発
生せず、これらに起因する吐出不良が防止される。
【００５４】なお、ダミーオリフィス６５及びダミー液
流路６６は、第１の実施形態と同様に、並列に形成され
た液流路６６の両端側にそれぞれ２つずつ形成されるも
の以外に、それぞれ、１つずつあるいは３つ以上ずつ形
成されているものであってもよい。
流路６６は、第１の実施形態と同様に、並列に形成され
た液流路６６の両端側にそれぞれ２つずつ形成されるも
の以外に、それぞれ、１つずつあるいは３つ以上ずつ形
成されているものであってもよい。
【００５５】以上説明したように、本実施形態によれ
ば、第１の実施形態と同様に、ダミーオリフィス６５の
形成された第１の凸部６３をヘッド本体７３のダミー液
流路に嵌合させて位置決めを行った後、オリフィスプレ
ート５４とヘッド本体７３とを接合することで、液流路
６６が高密度に配列されていても、オリフィス６２を液
流路６６に所望の位置精度を確保しつつ、オリフィスプ
レート５４とヘッド本体７３とを接合することができ
る。また、本実施形態では、接着樹脂６６が第２の凸部
６４の外周と液流路６６との間の隙間に浸入すること
で、接着樹脂６６のオリフィス６２内への浸入を防止で
きる。 （第３の実施形態）次に、本発明の第３の実施形態の液
体吐出ヘッドに関して説明する。
ば、第１の実施形態と同様に、ダミーオリフィス６５の
形成された第１の凸部６３をヘッド本体７３のダミー液
流路に嵌合させて位置決めを行った後、オリフィスプレ
ート５４とヘッド本体７３とを接合することで、液流路
６６が高密度に配列されていても、オリフィス６２を液
流路６６に所望の位置精度を確保しつつ、オリフィスプ
レート５４とヘッド本体７３とを接合することができ
る。また、本実施形態では、接着樹脂６６が第２の凸部
６４の外周と液流路６６との間の隙間に浸入すること
で、接着樹脂６６のオリフィス６２内への浸入を防止で
きる。 （第３の実施形態）次に、本発明の第３の実施形態の液
体吐出ヘッドに関して説明する。
【００５６】上述した第１及び第２の実施形態は、全て
の液流路６が単一の共通液室７に連通しており、オリフ
ィス１２からは、１種類の液体が吐出されるものであっ
たが、共通液室を複数に分割し、それぞれに対応する液
流路を介して、オリフィスから異なる種類の液体（例え
ば、共通液室を３分割し、１列のオリフィス列からイエ
ロー、マゼンタ、シアンの３色のインクを吐出する）よ
うにしてもよい。この場合、互いに異なる色を吐出可能
なオリフィス群の間には、第１及び第２の実施形態で示
した凸部１３、第１の凸部６３のように、ヘッド本体に
係合するための凸部を設けてもよい。この凸部が係合す
るヘッド本体側には、第１の実施形態で示した液流路６
と同形状の溝を用いることで、凸部と容易に係合可能と
なる。なお、このオリフィス群の間に設けられた凸部に
は、第１及び第２の実施形態で示したダミーオリフィス
１５、６５と同様にダミーオリフィスを設けてもよい。
の液流路６が単一の共通液室７に連通しており、オリフ
ィス１２からは、１種類の液体が吐出されるものであっ
たが、共通液室を複数に分割し、それぞれに対応する液
流路を介して、オリフィスから異なる種類の液体（例え
ば、共通液室を３分割し、１列のオリフィス列からイエ
ロー、マゼンタ、シアンの３色のインクを吐出する）よ
うにしてもよい。この場合、互いに異なる色を吐出可能
なオリフィス群の間には、第１及び第２の実施形態で示
した凸部１３、第１の凸部６３のように、ヘッド本体に
係合するための凸部を設けてもよい。この凸部が係合す
るヘッド本体側には、第１の実施形態で示した液流路６
と同形状の溝を用いることで、凸部と容易に係合可能と
なる。なお、このオリフィス群の間に設けられた凸部に
は、第１及び第２の実施形態で示したダミーオリフィス
１５、６５と同様にダミーオリフィスを設けてもよい。
【００５７】本実施形態の液体吐出ヘッドは、上記以外
の構成及びオリフィスプレートと本体ヘッドとの接合に
関しては、基本的に第１及び第２の実施形態で示した液
体吐出ヘッドと同様であるため、詳細な説明は省略す
る。
の構成及びオリフィスプレートと本体ヘッドとの接合に
関しては、基本的に第１及び第２の実施形態で示した液
体吐出ヘッドと同様であるため、詳細な説明は省略す
る。
【００５８】また、第２の実施形態と同様に、インクを
吐出するための不図示のオリフィスにも凸部が形成され
るような構成としてもよい。
吐出するための不図示のオリフィスにも凸部が形成され
るような構成としてもよい。
【００５９】以上説明したように、本実施形態によれ
ば、第１及び第２の実施形態と同様に、オリフィス群の
間に設けられた凸部をヘッド本体の第１の実施形態で示
した液流路６と同形状の溝に係合させて位置決めを行っ
た後、オリフィスプレートとヘッド本体とを接合するこ
とで、液流路が高密度に配列されていても、オリフィス
を液流路に所望の位置精度を確保しつつ、オリフィスプ
レートとヘッド本体とを接合することができる。また、
インクを吐出するための不図示のオリフィスにも凸部が
形成されるような構成とした場合、第２の実施形態と同
様に、不図示の接着樹脂がオリフィス内へ浸入すること
を防止できる。
ば、第１及び第２の実施形態と同様に、オリフィス群の
間に設けられた凸部をヘッド本体の第１の実施形態で示
した液流路６と同形状の溝に係合させて位置決めを行っ
た後、オリフィスプレートとヘッド本体とを接合するこ
とで、液流路が高密度に配列されていても、オリフィス
を液流路に所望の位置精度を確保しつつ、オリフィスプ
レートとヘッド本体とを接合することができる。また、
インクを吐出するための不図示のオリフィスにも凸部が
形成されるような構成とした場合、第２の実施形態と同
様に、不図示の接着樹脂がオリフィス内へ浸入すること
を防止できる。
【００６０】次に、上述した第１ないし第３の実施形態
に示した液体吐出ヘッドを用いたヘッドカートリッジ及
び液体吐出記録装置について説明する。
に示した液体吐出ヘッドを用いたヘッドカートリッジ及
び液体吐出記録装置について説明する。
【００６１】図１１は、本発明の液体吐出ヘッドを用い
たヘッドカートリッジの一例の斜視図である。このヘッ
ドカートリッジ１００は、上述した実施形態に示した液
体吐出ヘッド１０１と、液体吐出ヘッド１０１に供給す
るインクを保持するインク容器１０２とを一体化したも
のである。なお、インク容器１０２は、インク消費後に
インクを再充填して使用することが可能である。
たヘッドカートリッジの一例の斜視図である。このヘッ
ドカートリッジ１００は、上述した実施形態に示した液
体吐出ヘッド１０１と、液体吐出ヘッド１０１に供給す
るインクを保持するインク容器１０２とを一体化したも
のである。なお、インク容器１０２は、インク消費後に
インクを再充填して使用することが可能である。
【００６２】図１２は、本発明の液体吐出ヘッドを用い
たシリアルタイプの液体吐出記録装置の概略斜視図であ
る。図１２に示すように、フレーム２０１には、螺旋溝
２０３が刻まれたリードスクリュー２０２が回転可能に
軸支されているとともに、ガイドシャフト２０４がリー
ドスクリュー２０２と平行に支持されている。キャリッ
ジ２０５は、不図示のピンによって螺旋溝２０３に対し
て係合し、かつ、ガイドシャフト２０４に摺動自在に案
内されており、駆動モータ２０６の正逆転を、駆動力伝
達ギア２０７，２０８を介してリードスクリュー２０２
に伝達することで、キャリッジ２０５は図示矢印ａ、ｂ
方向に往復移動される。
たシリアルタイプの液体吐出記録装置の概略斜視図であ
る。図１２に示すように、フレーム２０１には、螺旋溝
２０３が刻まれたリードスクリュー２０２が回転可能に
軸支されているとともに、ガイドシャフト２０４がリー
ドスクリュー２０２と平行に支持されている。キャリッ
ジ２０５は、不図示のピンによって螺旋溝２０３に対し
て係合し、かつ、ガイドシャフト２０４に摺動自在に案
内されており、駆動モータ２０６の正逆転を、駆動力伝
達ギア２０７，２０８を介してリードスクリュー２０２
に伝達することで、キャリッジ２０５は図示矢印ａ、ｂ
方向に往復移動される。
【００６３】キャリッジ２０５には、上述の実施形態で
示した液体吐出ヘッドを有するヘッドユニット２２１と
液体吐出ヘッドに供給するインク容器２２２とが互いに
分離可能なヘッドカートリッジ２２０が着脱可能に保持
されている。ヘッドカートリッジ２２０としては、図１
１に示したような、液体吐出ヘッド１０１とインク容器
１０２とが一体化されて分離できないものでもよい。
示した液体吐出ヘッドを有するヘッドユニット２２１と
液体吐出ヘッドに供給するインク容器２２２とが互いに
分離可能なヘッドカートリッジ２２０が着脱可能に保持
されている。ヘッドカートリッジ２２０としては、図１
１に示したような、液体吐出ヘッド１０１とインク容器
１０２とが一体化されて分離できないものでもよい。
【００６４】紙押え板２１０は、キャリッジ２０５の移
動方向にわたって、紙送りモータ２０９の駆動により回
転されるプラテンローラ２１２に対して被記録媒体２３
０に押圧し、プラテンローラ２１２が回転することによ
って、プラテンローラ２１２と被記録媒体２３０との摩
擦力で被記録媒体２３０が搬送される。そして、キャリ
ッジ２０５の往復移動と被記録媒体２３０のピッチ送り
とを繰り返しながら液体吐出ヘッドからインクを吐出す
ることで、被記録媒体２３０に記録が行われる。
動方向にわたって、紙送りモータ２０９の駆動により回
転されるプラテンローラ２１２に対して被記録媒体２３
０に押圧し、プラテンローラ２１２が回転することによ
って、プラテンローラ２１２と被記録媒体２３０との摩
擦力で被記録媒体２３０が搬送される。そして、キャリ
ッジ２０５の往復移動と被記録媒体２３０のピッチ送り
とを繰り返しながら液体吐出ヘッドからインクを吐出す
ることで、被記録媒体２３０に記録が行われる。
【００６５】また、キャリッジ２０５がホームポジショ
ンに位置するときに液体吐出ヘッドの前面（オリフィス
プレートの表面）と対向する位置には、液体吐出ヘッド
の前面をキャップするキャップ部材２１１が配置されて
いる。キャップ部材２１１は吸引手段（不図示）と接続
されており、液体吐出ヘッドの前面をキャップした状態
で吸引手段を駆動して液体吐出ヘッド内の異物や増粘イ
ンクなどを強制的に吸引する吸引回復動作を行うこと
で、液体吐出ヘッドの吐出特性を維持することができ
る。
ンに位置するときに液体吐出ヘッドの前面（オリフィス
プレートの表面）と対向する位置には、液体吐出ヘッド
の前面をキャップするキャップ部材２１１が配置されて
いる。キャップ部材２１１は吸引手段（不図示）と接続
されており、液体吐出ヘッドの前面をキャップした状態
で吸引手段を駆動して液体吐出ヘッド内の異物や増粘イ
ンクなどを強制的に吸引する吸引回復動作を行うこと
で、液体吐出ヘッドの吐出特性を維持することができ
る。
【００６６】図１３は、本発明の液体吐出ヘッドを用い
たフルラインタイプの液体吐出記録装置の概略斜視図で
ある。図１３に示す液体吐出記録装置は、２つの搬送ロ
ーラ３１２によって搬送される被記録媒体３３０に対向
して、液体吐出ヘッド３２０が配置される。液体吐出ヘ
ッド３２０は、上述した実施形態に示したものと同様の
構造を有し、被記録媒体３３０の記録可能領域の全幅に
わたってオリフィスが形成されている。上述したように
本発明の液体吐出ヘッドは、ダミーオリフィスの形成さ
れた凸部とダミー液流路を嵌合させることでオリフィス
プレートとヘッド本体との位置決めがなされているの
で、フルラインヘッドのような長尺の液体吐出ヘッドに
おいても、オリフィスと液流路との所望の位置精度を確
保することができる。
たフルラインタイプの液体吐出記録装置の概略斜視図で
ある。図１３に示す液体吐出記録装置は、２つの搬送ロ
ーラ３１２によって搬送される被記録媒体３３０に対向
して、液体吐出ヘッド３２０が配置される。液体吐出ヘ
ッド３２０は、上述した実施形態に示したものと同様の
構造を有し、被記録媒体３３０の記録可能領域の全幅に
わたってオリフィスが形成されている。上述したように
本発明の液体吐出ヘッドは、ダミーオリフィスの形成さ
れた凸部とダミー液流路を嵌合させることでオリフィス
プレートとヘッド本体との位置決めがなされているの
で、フルラインヘッドのような長尺の液体吐出ヘッドに
おいても、オリフィスと液流路との所望の位置精度を確
保することができる。
【００６７】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、オ
リフィスプレートとヘッド本体とを接合する際に、オリ
フィスプレートの接合面側のオリフィス列の両端側にダ
ミーオリフィスの形成された凸部が、ヘッド本体に凸部
が嵌合する形状の開口が形成されたダミー液流路に嵌合
されることで、オリフィスと液流路との位置決めがなさ
れる。このため、オリフィスプレートの各オリフィスの
周辺を凸形状とし、この凸形状部を液流路の開口に嵌め
込むことで位置決めするものに比べ、嵌め合い公差を厳
しくすることが可能となり、位置決め精度が確保され
る。さらに、オリフィスプレートとヘッド本体とを接合
した後に、オリフィスプレートにオリフィスを形成する
必要がないため、オリフィスの形成に起因する吐出不良
を防止できる。
リフィスプレートとヘッド本体とを接合する際に、オリ
フィスプレートの接合面側のオリフィス列の両端側にダ
ミーオリフィスの形成された凸部が、ヘッド本体に凸部
が嵌合する形状の開口が形成されたダミー液流路に嵌合
されることで、オリフィスと液流路との位置決めがなさ
れる。このため、オリフィスプレートの各オリフィスの
周辺を凸形状とし、この凸形状部を液流路の開口に嵌め
込むことで位置決めするものに比べ、嵌め合い公差を厳
しくすることが可能となり、位置決め精度が確保され
る。さらに、オリフィスプレートとヘッド本体とを接合
した後に、オリフィスプレートにオリフィスを形成する
必要がないため、オリフィスの形成に起因する吐出不良
を防止できる。
【００６８】また、レーザにより、オリフィス及びダミ
ーオリフィスが形成された場合、ダミーオリフィスの液
体の吐出される出口側の開口径は、オリフィスの液体の
吐出される出口側の開口径よりも小さくなる。このた
め、画像認識によるオリフィスとダミーオリフィスとの
区別が容易となることで、凸部とダミー液流路との位置
合わせが容易となる。
ーオリフィスが形成された場合、ダミーオリフィスの液
体の吐出される出口側の開口径は、オリフィスの液体の
吐出される出口側の開口径よりも小さくなる。このた
め、画像認識によるオリフィスとダミーオリフィスとの
区別が容易となることで、凸部とダミー液流路との位置
合わせが容易となる。
【００６９】さらに、ダミー液流路は液流路を形成する
工程と同じ工程で、ダミーオリフィスはオリフィスを形
成する工程と同じ工程で、それぞれ形成できるため、製
造工程を増やすことなく、ダミー液流路及びダミーオリ
フィスを形成することができる。
工程と同じ工程で、ダミーオリフィスはオリフィスを形
成する工程と同じ工程で、それぞれ形成できるため、製
造工程を増やすことなく、ダミー液流路及びダミーオリ
フィスを形成することができる。
【図１】本発明の第１の実施形態の液体吐出ヘッドの一
部を破断した模式的斜視図である。
部を破断した模式的斜視図である。
【図２】図１に示すヘッド本体をオリフィスプレートが
接合される面から見た図である。
接合される面から見た図である。
【図３】図１に示すオリフィスプレートをヘッド本体側
からみた一部平面図及びオリフィスプレートの側断面図
である。
からみた一部平面図及びオリフィスプレートの側断面図
である。
【図４】図１に示すオリフィスプレートの断面図であ
る。
る。
【図５】オリフィス及びダミーオリフィスの形成工程を
説明する図である。
説明する図である。
【図６】液体吐出ヘッドの製造方法に使用される製造ラ
インの一部としてのフィルム状樹脂の製造装置を模式的
に示す図である。
インの一部としてのフィルム状樹脂の製造装置を模式的
に示す図である。
【図７】フィルム状樹脂にオリフィスを形成するための
レーザ加工装置を模式的に示す図である。
レーザ加工装置を模式的に示す図である。
【図８】ヘッド本体にオリフィスプレートが接合された
状態を示す断面図である。
状態を示す断面図である。
【図９】本発明の第２の実施形態の液体吐出ヘッドに用
いられるオリフィスプレートを説明する図である。
いられるオリフィスプレートを説明する図である。
【図１０】図９に示したオリフィスプレートと、ヘッド
本体との接合に関して説明する図である。
本体との接合に関して説明する図である。
【図１１】本発明の液体吐出ヘッドを用いたヘッドカー
トリッジの一例の斜視図である。
トリッジの一例の斜視図である。
【図１２】本発明の液体吐出ヘッドを用いたシリアルタ
イプの液体吐出記録装置の概略斜視図である。
イプの液体吐出記録装置の概略斜視図である。
【図１３】本発明の液体吐出ヘッドを用いたフルライン
タイプの液体吐出記録装置の概略斜視図である。
タイプの液体吐出記録装置の概略斜視図である。
【図１４】従来の液体吐出ヘッドの一例の分解斜視図で
ある。
ある。
【図１５】従来の液体吐出ヘッドの他の例の、オリフィ
スプレート近傍での断面図である。
スプレート近傍での断面図である。
１ 基板 ２ 天板 ３、７３ ヘッド本体 ４，５４ オリフィスプレート ４ａ フィルム状樹脂 ５ 発熱素子 ６ 液流路 ７ 共通液室 ８ 溝 ９ 液流路壁 １０ 液室枠 １１ インク供給口 １２、６２ オリフィス １３、８３ 凸部 １４，６６ 接着樹脂 １５、６５、８５ ダミーオリフィス １６ ダミー液流路 ２０ レーザ ６３ 第１の凸部 ６４ 第２の凸部 １００，２２０ ヘッドカートリッジ １０１，３２０ 液体吐出ヘッド １０２，２２２ インク容器 １１１ 押出成形機 １１２ ダイ １１４ レリーフ型 １１５ 冷却ロール １１６ ニップロール １１７ 引き取りロール １１８ 巻き取りロール １２９ エキシマレーザ発振器 １３１ 集光レンズ １３２ マスク ２０１ フレーム ２０２ リードスクリュー ２０３ 螺旋溝 ２０４ ガイドシャフト ２０５ キャリッジ ２０６ 駆動モータ ２０７，２０８ 駆動力伝達ギア ２０９ 紙送りモータ ２１０ 紙押え板 ２１１ キャップ部材 ２１２ プラテンローラ ２２１ ヘッドユニット ２３０，３３０ 被記録媒体 ３１２ 搬送ローラ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 笠本 雅己 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 石永 博之 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 杉山 裕之 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 巽 純二 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 池亀 健 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 稲田 源次 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 Ｆターム(参考） 2C057 AF72 AF93 AG05 AG46 AN01 AP02 AP13 AP23 AP25 AP45 AP72 AP77 AQ03 BA05 BA13
Claims (17)
- 【請求項１】 それぞれ液体を吐出させるために利用さ
れるエネルギーを発生するエネルギー発生素子を備え互
いに平行に配列された複数の液流路が端面に開口するヘ
ッド本体と、前記ヘッド本体の端面に接合され、前記各
液流路に対応する部位にそれぞれ、前記各液流路と連通
する複数のオリフィスが形成されたオリフィスプレート
とを有し、前記各オリフィスから液体を吐出することで
被記録媒体に記録を行う液体吐出ヘッドにおいて、 前記ヘッド本体の、前記各液流路からなる液流路列の両
端側で、前記各液流路と平行に配列された、記録には使
用されない複数のダミー液流路と、 前記オリフィスプレートの前記ヘッド本体との接合面側
の前記各ダミー液流路と対応する位置に設けられた、前
記各ダミー液流路の開口端に嵌合する複数の凸部とを有
することを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 【請求項２】 前記各凸部には、前記オリフィスとは異
なるダミーオリフィスが形成されている請求項１に記載
の液体吐出ヘッド。 - 【請求項３】 前記オリフィスプレートの接合面に、前
記各オリフィスが形成され、かつ、接合の際に、前記液
流路の壁面との間に浸入した、前記オリフィスプレート
の接合面と前記ヘッド本体の端面とを接着する接着剤を
保持可能な隙間をもって前記液流路の開口に嵌合する形
状の複数のオリフィス用凸部を有する請求項１または２
に記載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項４】 前記オリフィスプレートの接合面からの
前記各凸部の高さは、前記オリフィスプレートの接合面
からの前記各オリフィス用凸部の高さよりも高い請求項
３に記載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項５】 前記オリフィスは、複数種の液体を吐出
する複数のオリフィス群に分割されており、前記オリフ
ィスプレートの前記各オリフィス群間には前記ヘッド本
体との係合部を有する請求項１ないし４のいずれか１項
に記載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項６】 前記各オリフィス及び前記各ダミーオリ
フィスは、液体の吐出方向に向かって径が小さくなるテ
ーパ形状である請求項２ないし５のいずれか１項に記載
の液体吐出ヘッド。 - 【請求項７】 前記各オリフィス及び前記各ダミーオリ
フィスは、前記接合面側からレーザを照射することで形
成されている請求項６に記載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項８】 それぞれ液体を吐出させるために利用さ
れるエネルギーを発生するエネルギー発生素子を備え互
いに平行に配列された複数の液流路が端面に開口するヘ
ッド本体と、前記ヘッド本体の端面に接合され、前記各
液流路に対応する部位にそれぞれ、前記各液流路と連通
する複数のオリフィスが形成されたオリフィスプレート
とを有し、前記各オリフィスから液体を吐出することで
被記録媒体に記録を行う液体吐出ヘッドの製造方法にお
いて、 前記ヘッド本体に、前記各液流路からなる液流路列の両
端側に前記各液流路と平行に複数のダミー液流路を形成
する工程と、 前記オリフィスプレートの、前記ヘッド本体との接合面
側の前記各ダミー液流路と対応する位置に、前記各ダミ
ー液流路の開口端に嵌合する複数の凸部を形成する工程
と、 前記各凸部を前記各ダミー液流路の開口に嵌合させるこ
とで前記各液流路と前記各オリフィスとの位置決めを行
った後、前記オリフィスプレートと前記ヘッド本体とを
接合させる接合工程とを含むことを特徴とする液体吐出
ヘッドの製造方法。 - 【請求項９】 前記各凸部に、前記オリフィスとは異な
るダミーオリフィスを形成する工程を含む請求項８に記
載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 【請求項１０】 前記各ダミーオリフィスは、前記接合
工程の前に、前記オリフィスを形成する工程で形成され
る請求項９に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 【請求項１１】 前記オリフィスプレートの接合面に、
前記接合工程の際、前記液流路の壁面との間に浸入し
た、前記オリフィスプレートの接合面と前記ヘッド本体
の端面とを接着する接着剤を保持可能な隙間をもって前
記各液流路の開口に嵌合する形状の複数のオリフィス用
凸部を形成する工程と、 前記各オリフィス用凸部に前記各オリフィスを形成する
工程とを含む請求項８ないし１０のいずれか１項に記載
の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 【請求項１２】 前記オリフィスプレートの接合面から
の前記各凸部の高さを、前記オリフィスプレートの接合
面からの前記各オリフィス用凸部の高さよりも高く形成
する工程を含む請求項１１に記載の液体吐出ヘッドの製
造方法。 - 【請求項１３】 前記オリフィスは、複数種の液体を吐
出する複数のオリフィス群に分割されており、前記オリ
フィスプレートの前記各オリフィス群間に、前記ヘッド
本体と係合する係合部を形成する工程を含む請求項８な
いし１２のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造
方法。 - 【請求項１４】 前記各オリフィス及び前記各ダミーオ
リフィスを、液体の吐出方向に向かって径が小さくなる
テーパ形状に形成する工程を含む請求項９ないし１３の
いずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 【請求項１５】 前記各オリフィス及び前記各ダミーオ
リフィスを、前記接合面側からレーザを照射することで
形成する工程を含む請求項１４に記載の液体吐出ヘッド
の製造方法。 - 【請求項１６】 被記録媒体を搬送する搬送手段と、液
体を吐出し、前記被記録媒体に記録を行う請求項１ない
し７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドを保持し、
かつ、前記被記録媒体の搬送方向に対して交差する方向
に往復移動する保持手段とを有することを特徴とする液
体吐出記録装置。 - 【請求項１７】 被記録媒体を搬送する搬送手段と、液
体を吐出し、前記被記録媒体に記録を行う、請求項８な
いし１５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造
方法により製造された液体吐出ヘッドを保持し、かつ、
前記被記録媒体の搬送方向に対して交差する方向に往復
移動する保持手段とを有することを特徴とする液体吐出
記録装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11148900A JP2000334955A (ja) | 1999-05-27 | 1999-05-27 | 液体吐出ヘッド、該液体吐出ヘッドの製造方法及び前記液体吐出ヘッドを用いた液体吐出記録装置 |
| US09/576,246 US6431682B1 (en) | 1999-05-27 | 2000-05-24 | Liquid discharge head, method of manufacturing the liquid discharge head, and liquid discharge recording apparatus using the liquid discharge head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11148900A JP2000334955A (ja) | 1999-05-27 | 1999-05-27 | 液体吐出ヘッド、該液体吐出ヘッドの製造方法及び前記液体吐出ヘッドを用いた液体吐出記録装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000334955A true JP2000334955A (ja) | 2000-12-05 |
Family
ID=15463193
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11148900A Pending JP2000334955A (ja) | 1999-05-27 | 1999-05-27 | 液体吐出ヘッド、該液体吐出ヘッドの製造方法及び前記液体吐出ヘッドを用いた液体吐出記録装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6431682B1 (ja) |
| JP (1) | JP2000334955A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002254647A (ja) * | 2001-03-02 | 2002-09-11 | Canon Inc | 液体吐出ヘッド、液体吐出方法、および液体吐出ヘッドの製造方法 |
| JP2011245858A (ja) * | 2010-05-27 | 2011-12-08 | Xerox Corp | 組み付けを簡略化する調芯機能部付き成形ノズルプレート |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1426185B1 (en) * | 2002-12-05 | 2007-11-28 | Toshiba Tec Kabushiki Kaisha | Ink jet head and ink jet printer |
| US6959979B2 (en) * | 2003-12-31 | 2005-11-01 | Lexmark International, Inc. | Multiple drop-volume printhead apparatus and method |
| US7097280B2 (en) * | 2004-02-12 | 2006-08-29 | Lexmark International, Inc. | Printheads having improved heater chip construction |
| US7198353B2 (en) * | 2004-06-30 | 2007-04-03 | Lexmark International, Inc. | Integrated black and colored ink printheads |
| EP1868816A2 (en) * | 2005-04-11 | 2007-12-26 | Lexmark International, Inc., Intellectual Property Law Dept. | Multiple drop-volume printhead apparatus and method |
| US20070176982A1 (en) * | 2006-02-01 | 2007-08-02 | Lexmark International, Inc. | Inkjet actuator substrate having at least one non-uniform ink via |
| US7437820B2 (en) * | 2006-05-11 | 2008-10-21 | Eastman Kodak Company | Method of manufacturing a charge plate and orifice plate for continuous ink jet printers |
| US7568285B2 (en) * | 2006-05-11 | 2009-08-04 | Eastman Kodak Company | Method of fabricating a self-aligned print head |
| US7552534B2 (en) * | 2006-05-11 | 2009-06-30 | Eastman Kodak Company | Method of manufacturing an integrated orifice plate and electroformed charge plate |
| US7540589B2 (en) * | 2006-05-11 | 2009-06-02 | Eastman Kodak Company | Integrated charge and orifice plates for continuous ink jet printers |
| JP5200397B2 (ja) * | 2007-03-20 | 2013-06-05 | ブラザー工業株式会社 | 液滴吐出装置 |
| JP5043539B2 (ja) * | 2007-07-02 | 2012-10-10 | キヤノン株式会社 | 液体噴射記録ヘッドの製造方法 |
| JP5328380B2 (ja) * | 2008-01-23 | 2013-10-30 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド及び記録装置 |
| JP5312009B2 (ja) * | 2008-01-23 | 2013-10-09 | キヤノン株式会社 | 液体噴射記録ヘッド |
| JP6089561B2 (ja) | 2012-10-10 | 2017-03-08 | 株式会社リコー | 液滴吐出ヘッドおよびそれを備えた液滴吐出装置ならびにインクジェット記録装置 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2763563B2 (ja) | 1989-01-13 | 1998-06-11 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
| US5208604A (en) | 1988-10-31 | 1993-05-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet head and manufacturing method thereof, and ink jet apparatus with ink jet head |
| US5682187A (en) | 1988-10-31 | 1997-10-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing an ink jet head having a treated surface, ink jet head made thereby, and ink jet apparatus having such head |
| JPH02204048A (ja) | 1989-02-03 | 1990-08-14 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 |
| JP3094587B2 (ja) * | 1991-11-27 | 2000-10-03 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェットヘッド |
| SG44309A1 (en) | 1994-03-04 | 1997-12-19 | Canon Kk | An ink jet recording apparatus |
| US5604521A (en) * | 1994-06-30 | 1997-02-18 | Compaq Computer Corporation | Self-aligning orifice plate for ink jet printheads |
| US5784079A (en) * | 1994-06-30 | 1998-07-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet head and ink jet apparatus on which the ink jet head is mounted |
| EP0709199B1 (en) | 1994-10-28 | 2003-07-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet head, ink jet head cartridge, ink jet apparatus, and method for manufacturing such ink head |
| JP2887836B2 (ja) * | 1995-04-27 | 1999-05-10 | 富士ゼロックス株式会社 | インクジェットプリントヘッドおよび画像記録装置 |
-
1999
- 1999-05-27 JP JP11148900A patent/JP2000334955A/ja active Pending
-
2000
- 2000-05-24 US US09/576,246 patent/US6431682B1/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002254647A (ja) * | 2001-03-02 | 2002-09-11 | Canon Inc | 液体吐出ヘッド、液体吐出方法、および液体吐出ヘッドの製造方法 |
| JP4708586B2 (ja) * | 2001-03-02 | 2011-06-22 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド、液体吐出方法、および液体吐出ヘッドの製造方法 |
| JP2011245858A (ja) * | 2010-05-27 | 2011-12-08 | Xerox Corp | 組み付けを簡略化する調芯機能部付き成形ノズルプレート |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6431682B1 (en) | 2002-08-13 |
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