JP2001199073A - 液体吐出ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 オリフィスが形成されたオリフィスプレート
と液流路が形成されたヘッド本体とを高精度に位置決め
する。 【解決手段】 ヘッド本体３は、それぞれ発熱素子５を
備えた複数の流路６が配列され端面に開口している。ヘ
ッド本体３の端面の流路６の開口列の更に両側方には、
流路６と等しい構造を有するダミー凹部１３が開口して
いる。オリフィスプレート４には、各流路６に対応する
オリフィス１２が形成されているとともに、ヘッド本体
３のダミー凹部１３に対応するダミー凸部１４が形成さ
れており、オリフィスプレート４はダミー凸部１４をダ
ミー凹部１３に嵌合させてヘッド本体３の端面に接合さ
れる。流路６及びダミー凹部１３の寸法、ダミー凸部１
４の寸法等は、ヘッド本体３とオリフィスプレート４と
の接合前後での環境温度の変化による寸法変化を考慮し
て規定されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液体を吐出させる
ことにより飛翔液滴を形成して記録を行う液体吐出ヘッ
ドに関し、特に、液体を吐出する吐出口（以下、オリフ
ィスという）が形成されたオリフィスプレートと、吐出
口に連通する液流路を有するヘッド本体とが別部材で構
成されている液体吐出ヘッドに関する。

【０００２】また本発明は、紙、糸、繊維、布帛、皮
革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス
等の被記録媒体に対して記録を行うプリンタ、複写機、
通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有す
るワードプロセッサ等の装置、さらには各種処理装置と
複合的に組み合わせた産業用記録装置に適用できる発明
である。

【０００３】なお、本発明における「記録」とは、文字
や図形等の意味を持つ画像を被記録媒体に対して付与す
ることだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を
付与することも意味する。

【０００４】

【従来の技術】従来、液体吐出ヘッドのオリフィスから
記録液（インク）を吐出することにより記録を行うイン
クジェット記録装置が、低騒音、高速記録などの点で優
れた記録装置として知られている。

【０００５】従来のこの種の液体吐出ヘッドの一例につ
いて、図１５を参照して説明する。図１５に示す液体吐
出ヘッドは、インクを吐出するためのエネルギーを発生
するエネルギー発生素子である発熱素子１００５が複数
個並列に設けられた基板１００１と、基板１００１の上
面に接合され各発熱素子１００５と対応する位置にそれ
ぞれインクの流路１００６を構成する溝が形成された天
板１００２と、これら基板１００１及び天板１００２の
端面と接合され、インクを吐出するためのオリフィス１
０１２が上記流路１００６と連通する位置に形成された
オリフィスプレート１００４とを有する。

【０００６】オリフィスプレート１００４に形成される
オリフィス１０１２は非常に微細なものであり、このオ
リフィス１０１２が、液体吐出ヘッドの吐出特性を左右
する重要な要素の一つとなっている。すなわち、液体吐
出ヘッドのオリフィスプレート１００４は、微細なオリ
フィス１０１２が形成されることから加工性に優れ、ま
た、インクに直接接触するものであるから耐インク性が
よいことが必要とされる。

【０００７】上記の要件を満たすオリフィスプレート１
００４の材料としては、ＳＵＳ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ａｌなど
の金属薄板や、所望の厚みや性質を簡易にしかも安価に
得られるポリイミド、ポリサルフォン、ポリエーテルサ
ルフォン、ポリフェニレンオキサイド、ポリフェニレン
サルファイド、ポリプロピレンなどの樹脂フィルムが用
いられている。

【０００８】一方、近年の記録技術の進歩に伴って、高
速、高精細な記録が要求されるようになっている。この
ためオリフィスは、大きさ（径）がますます微細にな
り、かつ、高密度に形成されるようになってきた。これ
に対応してオリフィスの加工法も様々な工夫がなされて
おり、オリフィスプレートとして樹脂フィルムを用いた
場合、微細加工に適したレーザ加工によってオリフィス
を形成している。また、金属プレートを用いる場合に
は、電鋳などの方法によってオリフィスを形成してい
る。

【０００９】ところが、オリフィスの微細化、高密度化
に伴い、オリフィスが形成されたオリフィスプレートを
流路に対して正確にかつ隙間なく接合することは極めて
難しい。そこで、特開平２−１８７３４２号公報には、
樹脂フィルムからなるオリフィスプレートを、基板と天
板とを接合したヘッド本体に接合した後にオリフィスプ
レートにレーザ加工によってオリフィスを形成する方法
が開示されている。また、特開平２−２０４０４８号公
報には、図１６に示すように、ドライフィルムなど樹脂
からなるオリフィスプレート１０２４を、加熱により軟
化した状態で、基板１０２１と天板１０２２とを接合し
たヘッド本体１０２３の接合面に圧着し、これによりオ
リフィスプレート１０２４の一部を流路１０２６内に侵
入させ、その後、フォトリソグラフィ技術あるいはレー
ザ加工によって、流路１０２６に対応する位置にオリフ
ィス１０３２を形成した液体吐出ヘッドが開示されてい
る。

【００１０】一方、オリフィスは、インクの吐出方向を
安定させるために、その形状は、インクの吐出方向に向
かって径が小さくなる、いわゆるテーパ形状とすること
が望ましい。このようなテーパ形状のオリフィスを得る
ためには、オリフィスプレートにオリフィスを予め形成
しておき、これをヘッド本体に接合することが望まし
い。ヘッド本体とオリフィスプレートとの接合には、接
着樹脂をオリフィスプレートに転写法などにより塗布し
てヘッド本体とオリフィスプレートとを貼り合わせ、接
着樹脂を硬化させる方法が一般的に用いられる。

【００１１】しかし、この方法では、ヘッド本体とオリ
フィスプレートとを貼り合わせた際に接着樹脂がオリフ
ィス内に侵入してしまい、テーパ形状のオリフィスが得
られなくなってしまう場合がある。また、ヘッド本体と
オリフィスプレートとの密着が不十分であると両者の間
に隙間が生じる場合があり、特に隣接するオリフィス間
でヘッド本体とオリフィスプレートとの間に隙間が生じ
ると、吐出不良を引き起こしてしまう。そこで、特開平
５−３３００６１号公報には、流路及びオリフィス内部
に接着樹脂が入り込まないようにするために、オリフィ
スの近傍に段差加工を施した液体吐出ヘッドが開示され
ている。

【００１２】また、オリフィスが形成されたオリフィス
プレートを接着樹脂でヘッド本体に接合した場合、接着
樹脂が硬化した際の収縮により流路とオリフィスとの位
置ずれが生じてしまう。この、オリフィスプレートの接
合に用いる材料の硬化収縮による影響を防ぐために、特
開平２−７８５６０号公報には、接合面に凹凸を形成し
たオリフィスプレートを用いる方法が開示されている。
さらに、米国特許第５６０４５２１号明細書には、図１
７に示すように、オリフィス１０５２を開口させた凸部
１０５３をヘッド本体１０４３との接合面に設けたオリ
フィスプレート１０４４を用い、このオリフィスプレー
ト１０４４の接合面に接着樹脂１０５４を塗布した後、
凸部１０５３を、ヘッド本体１０４３の流路１０４６に
嵌め込んだ液体吐出ヘッドが開示されている。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の液体吐出ヘッドには以下に示すような問題点が
あった。

【００１４】オリフィスプレートをドライフィルムなど
樹脂で構成し、これを軟化させた状態でヘッド本体の接
合面に圧着することでオリフィスプレートの一部を流路
に侵入させるものでは、流路内への樹脂の入り込み量の
制御が難しい。オリフィスの径が微小かつ高密度に形成
されるようになると、流路内に入り込んだ樹脂の量が吐
出性能に大きく影響し、流路ごとの吐出量にばらつきが
生じてしまう。

【００１５】また、オリフィスプレートに樹脂フィルム
を用いた場合には、レーザ加工によってオリフィスを形
成しているが、オリフィスプレートを接合した後にレー
ザ加工を施すと、レーザ加工のアブレーションによって
生じるカーボンなどの異物が流路内に侵入してしまうこ
とがある。このような異物が流路内に侵入すると、オリ
フィスを目詰まりさせたり発熱素子上へ固着し、吐出不
良の原因となる。

【００１６】一方、オリフィスプレートに凸部を設け、
この凸部を流路に嵌め込む構成をとった場合、線膨張率
の異なったヘッド本体とオリフィスプレートとを接合し
たとき、環境温度の違いによって嵌め合いがうまく行か
ない場合がある。これは、接着樹脂として熱硬化性の接
着剤を用いたときに顕著である。さらに、この構成をと
った場合、オリフィスの高密度化に伴い、嵌め合いの公
差が厳しくなり、うまく嵌合しない場合がある。特に、
フルラインヘッドのように一列に多数のオリフィスが形
成されている場合には、両端でのずれ量も大きくなり、
嵌合不良が発生し易くなる。

【００１７】本発明の第１の目的は、オリフィスプレー
トとヘッド本体とが接合された液体吐出ヘッドにおい
て、環境温度の変化があってもオリフィスと流路とが高
精度に位置決めされた液体吐出ヘッドを提供することで
ある。

【００１８】本発明の第２の目的は、オリフィスをレー
ザ加工によって形成した際に生じる異物が流路内に存在
しない液体吐出ヘッドを提供することである。

【００１９】本発明の第３の目的は、オリフィスが高密
度に配列され、あるいは多数個のオリフィスが配列され
ていてもオリフィスプレートとヘッド本体とが精度良く
確実に接合される液体吐出ヘッドを提供することであ
る。

【００２０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明の液体吐出ヘッドは、それぞれ液体を吐出させる
ために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生
素子を備え所定のピッチで配列された複数の液流路が端
面に開口するヘッド本体と、該ヘッド本体の端面に接合
され、前記液流路に対応する部位にそれぞれ前記液流路
と連通するオリフィスが形成されたオリフィスプレート
とを有する液体吐出ヘッドにおいて、前記ヘッド本体の
端面の、前記液流路の開口列の更に両側方に、前記流路
の幅及び高さと等しい幅及び高さを有する２つの凹部が
前記液流路の配列ピッチと等しいピッチで設けられると
ともに、前記オリフィスプレートの前記ヘッド本体との
接合面に、前記凹部にそれぞれ嵌合されている２つの位
置決め凸部が設けられ、前記液流路の配列ピッチをＡ、
前記液流路の幅をＢ、前記液流路の高さをＤ、前記位置
決め凸部の前記液流路の配列方向での幅を根元部でＣ
１、先端部でＣ２、前記位置決め凸部の前記液流路の配
列方向と直交する方向での幅を根元部でＥ１、先端部で
Ｅ２、前記ヘッド本体の線膨張係数をａ、前記オリフィ
スプレートの線膨張係数をｂ、前記液流路の数と前記凹
部の数を加えた数をｎ、前記ヘッド本体と前記オリフィ
スプレートとの接合の前後での環境温度変化をΔｔとし
たとき、（Ｂ−Ｃ１）／２≧｜（ａ−ｂ）×ｎ×Ａ×Δ
ｔ｜、（Ｄ−Ｅ１）／２≧｜（ａ−ｂ）×Ｄ×Δｔ｜、
Ｃ１≧Ｃ２、及びＥ１≧Ｅ２の不等式を満足することを
特徴とする。

【００２１】上記の発明によれば、ヘッド本体とオリフ
ィスプレートとは、オリフィスプレートの位置決め凸部
をヘッド本体の凹部に嵌合させて接合される。ここで、
ヘッド本体とオリフィスプレートとの接合前後での環境
温度の変化による各部の寸法変化を考慮して、ヘッド本
体及びオリフィスプレートの各部の寸法を上記の各不等
式を満足するように規定しているので、オリフィスプレ
ートとヘッド本体とは接合の前後に環境変化があっても
位置精度よく確実に接合される。

【００２２】また、本発明の液体吐出ヘッドは、上記の
位置決め凸部及び凹部の他に、オリフィスプレートのヘ
ッド本体との接合面に、それぞれ液流路に対応する部位
に設けられて液流路に嵌合されている、位置決め凸部と
は異なる複数の嵌合凸部を有し、これら嵌合凸部にオリ
フィスが形成されているものであってもよい。この場
合、嵌合凸部の液流路の配列方向での幅を根元部でＦ
１、先端部でＦ２、嵌合凸部の液流路の配列方向と直交
する方向での幅を根元部でＧ１、先端部でＧ２としたと
き、（Ｂ−Ｆ１）／２≧｜（ａ−ｂ）×ｎ×Ａ×Δｔ
｜、（Ｄ−Ｇ１）／２≧｜（ａ−ｂ）×Ｄ×Δｔ｜、Ｆ
１≧Ｆ２、Ｇ１≧Ｇ２、Ｃ１≧Ｆ１、及びＥ１≧Ｇ１の
不等式を更に満足している。このように、嵌合凸部の寸
法についても位置決め凸部と同様に規定することによ
り、流路とオリフィスとの位置決めが正確に行われる。

【００２３】オリフィスは、液体の吐出方向に向かって
径が小さくなるテーパ形状であることが好ましい。これ
により、液体の吐出方向が安定する。このようなテーパ
形状は、オリフィスプレートを樹脂フィルム材で構成す
れば、オリフィスプレートのヘッド本体との接合面側か
らのレーザ光の照射によりオリフィスを形成することで
得ることができる。さらに、上述したように本発明によ
ればオリフィスプレートとヘッド本体との接合が位置精
度良く行えるので、オリフィスはオリフィスプレートの
接合前に予め形成しておくことができ、レーザ加工によ
り発生する異物が液流路内に侵入することもない。

【００２４】

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施形態について
図面を参照して説明する。

【００２５】（第１の実施形態）図１は、本発明の第１
の実施形態の液体吐出ヘッドの一部を破断した模式的斜
視図である。

【００２６】図１に示すように、本実施形態の液体吐出
ヘッドは、インクに与える吐出エネルギーを発生させる
ためのエネルギー発生素子である複数の発熱素子５、及
び各発熱素子５に対応した複数の流路６を備えるヘッド
本体３と、このヘッド本体３に接合されたオリフィスプ
レート４とを有する。ヘッド本体３は、その端面におい
て各流路６が開口しており、オリフィスプレート４は、
この端面に接着樹脂１５によって接合される。また、オ
リフィスプレート４には、各流路６と連通する複数のオ
リフィス１２が形成されている。

【００２７】ヘッド本体３は、基板１と、基板１の上面
に接合された天板２とで構成される。基板１には、上記
の発熱素子５及びこれら発熱素子５に電気信号を供給す
るためのＡｌ配線が成膜技術によって形成されている。
天板２には、上記の各流路６を仕切る流路壁９及び各流
路６に供給するインクを一時的に保持する共通液室７を
形成するための液室枠１０が一体に形成され、基板１に
天板２を接合することで、これら流路６及び共通液室７
が構成される。また、天板２には、外部から共通液室７
にインクを供給するためのインク供給口１１が開口して
いる。なお、基板１の各発熱素子５の間の部位には天板
２の流路壁９が嵌め込まれる溝８が形成されており、天
板２と基板１とを接合する際に、流路壁９を溝８に嵌め
込むことで天板２と基板１との位置決めがなされる。

【００２８】また、ヘッド本体３の端面において各流路
６の開口列の更に両側方には、流路６と同じ配列ピッチ
で配置されかつ流路６と同じ構造を有するが実際には記
録には寄与しない２つのダミー凹部１３がピッチで構成
されている。図１に示す例では、基板１のダミー凹部１
３に対応する位置にも発熱素子５が設けられているが、
ダミー凹部１３においては必ずしも発熱素子５は設けな
くてもよい。

【００２９】オリフィスプレート４としては、ＳＵＳ、
Ｎｉなどの金属フィルム、または耐インク性に優れたプ
ラスチックフィルム、例えば、ポリイミド、ポリサルフ
ォン、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンオキサ
イド、ポリフェニレンサルファイド、ポリプロピレンな
どの樹脂フィルム材を用いることが望ましい。本実施形
態では、オリフィスプレート４として、厚さが５０μｍ
のＰＳＦフィルムを用いた。

【００３０】また、オリフィスプレート４とヘッド本体
３とを接合する接着樹脂１５としては、紫外線照射、赤
外線照射あるいは加熱などの処理やそれらの処理を併用
することにより、タック性を保持したままＢステージ化
して硬化収縮が終了し、更なる上記の処理により硬化す
るものが用いられる。本実施形態では、紫外線照射によ
りＢステージ化し、更なるＵＶ照射、もしくは加熱によ
り硬化するエポキシ系の接着剤を用いた。なお、この接
着剤は、加熱圧着のみでも接着が可能である。

【００３１】上記の液体吐出ヘッドでは、共通液室７か
ら流路６に供給されたインクは、オリフィス１２でメニ
スカスを形成して流路６を満たしている。この状態で発
熱素子５を駆動し発熱させると、発熱素子５上のインク
が急激に加熱されて流路６内に膜沸騰に伴う気泡が発生
し、この気泡の成長による圧力でオリフィス１２からイ
ンクが吐出される。

【００３２】ここで、ヘッド本体３およびオリフィスプ
レート４の接合部の構造について詳細に説明する。

【００３３】図２は、図１に示すヘッド本体をオリフィ
スプレートが接合される面から見た図である。図２に示
すように、流路６およびダミー凹部１３は、天板２と基
板１とにより開口端から見てともに等しい幅および高さ
を有する矩形状に形成されており、所定の配列ピッチで
等間隔に配列されている。

【００３４】図３は、図１に示すオリフィスプレートを
表面（ヘッド本体との非接合面）から見た図である。図
４は、図３に示すオリフィスプレートの断面図であり、
（ａ）はＡ−Ａ線断面図、（ｂ）はＢ−Ｂ線断面図を示
す。なお、図４は、オリフィスプレートの裏面（ヘッド
本体との接合面）に接着樹脂１５を塗布した状態が示さ
れている。

【００３５】オリフィスプレート４には、ヘッド本体３
の流路６（図１，２参照）に対応するオリフィス１２の
他に、ダミー凹部１３（図１，２参照）に対応するダミ
ー凸部１４が設けられている。つまり、オリフィス１２
およびダミー凸部１４の配列ピッチは、ヘッド本体３の
流路６およびダミー凹部１３の配列ピッチと実質的に等
しい。

【００３６】オリフィス１２は、オリフィスプレート４
の裏面に接着樹脂１５が塗布された後、オリフィスプレ
ート４の裏面側からのレーザビームの照射によって開口
される。従って、オリフィス１２は、図４（ｂ）に示す
ようにインクの吐出方向に向かって径が小さくなるテー
パ状に形成されている。ダミー凸部１４は、オリフィス
プレート４の裏面から突出した菱形の突起であり、接着
樹脂１５が塗布される前に、ダミー凸部１４の部分をマ
スクしてオリフィスプレート４の裏面側からレーザビー
ムを照射することによって形成される。従って、ダミー
凸部１４も根元から先端に向かって細くなるテーパ状に
形成されている。

【００３７】そして、オリフィスプレート４のダミー凸
部１４をヘッド本体３のダミー凹部１３に嵌合させてオ
リフィスプレート４とヘッド本体４とを接合すること
で、流路６が高密度に配列されていても、オリフィス１
２を流路６と対応させてオリフィスプレート４とヘッド
本体３とを接合することができる。

【００３８】次に、上述した液体吐出ヘッドの製造方法
の一例を説明する。

【００３９】まず、基板１と天板２とを作製し、両者を
接合する。基板１及び天板２の作製方法、両者の接合方
法は、従来と同様であるのでその説明は省略する。

【００４０】次いで、オリフィスプレート４にダミー凸
部１４をレーザ加工によって形成する。図５に、オリフ
ィスプレート４の加工に用いるレーザ加工装置の一例を
示す。図５に示すように、このレーザ加工装置５００
は、レーザ光源５０１から出射したレーザ光５０５を集
光レンズ５０２で集光した後、マスク５０３を介して所
定の形状に整え、オリフィスプレート４の裏面のダミー
凸部１４となる部位以外の領域に照射する構成となって
いる。これにより、オリフィスプレート４はレーザ光５
０５が照射された領域のみが除去され、ダミー凸部１４
が形成される。本実施形態では、レーザ光５０５とし
て、波長が２４８ｎｍのＫｒＦエキシマレーザ光を使用
した。

【００４１】次に、オリフィスプレート４の裏面に、接
着樹脂１５を均一の厚さで塗布し、ＵＶ照射によりタッ
ク性を保持したままＢステージ化した状態とする。

【００４２】その後、レーザ加工によりオリフィスプレ
ート４にオリフィス１２を形成する。オリフィス１２の
形成には、図５に示した、ダミー凸部１４の形成に用い
たものと同じレーザ加工装置５００を、マスク５０３の
パターンを変更して使用することができる。また、オリ
フィス１２の形成に際しては、レーザ光５０５をヘッド
本体３との接合面側からする。これにより、オリフィス
プレート４がヘッド本体３と接合されたとき、オリフィ
ス１２はインクの吐出方向に向かって径が小さくなるテ
ーパ状とされるので、インクの吐出方向が安定する。

【００４３】以上のようにしてオリフィスプレート４を
作製したら、オリフィスプレート４のダミー凸部１４を
ヘッド本体３のダミー凹部１３に嵌合させ、オリフィス
プレート４をヘッド本体３に向けて約１×１０⁵Ｎの圧
力で押し付けてオリフィスプレート４とヘッド本体３と
を密着させる。その状態を保持したまま６０℃で両者を
加熱圧着して、接着樹脂１４の硬化を終了させる。これ
により、図６および７に示すようにヘッド本体３とオリ
フィスプレート４とが接着樹脂１４を介して隙間なく接
着され、液体吐出ヘッドが完成する。

【００４４】ここで、レーザ加工によるオリフィス１２
の形成はヘッド本体３とオリフィスプレート４との接合
前に行っているので、レーザ加工のアブレーションによ
って生じるカーボンなどの異物が流路６内に侵入するこ
とはない。従って、このような異物によるオリフィス１
２の目詰まりや、発熱素子５上への異物の固着も発生せ
ず、これらに起因する吐出不良が防止される。

【００４５】上述のように、本実施形態では、熱硬化性
の接着樹脂１５を用いてオリフィスプレート４とヘッド
本体３とを接合しているので、オリフィスプレート４の
線膨張率とヘッド本体３の線膨張率とが異なると、両者
の接合前後の環境温度の変化によってはダミー凸部１４
がダミー凹部１３に嵌合できなくなったり、オリフィス
１２の配列ピッチと流路６の配列ピッチとのずれが大き
くなり、オリフィスプレート４とヘッド本体３とが良好
に接合できなくなったりする場合がある。

【００４６】そこで本実施形態では、環境温度変化によ
るオリフィスプレート４とヘッド本体３との、流路６の
配列方向及び高さ方向における膨張量の差が、ダミー凸
部１４をダミー凹部１３に嵌合させた状態での両者の隙
間の大きさよりも小さくなるように、ダミー凸部１４及
びダミー凹部１３の大きさを設計している。すなわち、
オリフィスプレート４に関しては、図３に示すようにダ
ミー凸部１４の横幅（液流路６の配列方向の幅）を根元
部でＣ１、先端部でＣ２、ダミー凸部１４の縦幅（液流
路６の配列方向と直交する方向の幅）を根元部でＥ１、
先端部でＥ２、線膨張係数をｂとし、ヘッド本体３に関
しては、図２に示すように流路６およびダミー凹部１３
の配列ピッチをＡ、幅をＢ、高さをＤ、線膨張係数をａ
とし、さらに、流路６の数＋ダミー凹部１３の数＝ｎ、
ヘッド本体３とオリフィスプレート４との接合前後での
環境温度差をΔｔとしたとき、以下の、 （Ｂ−Ｃ１）／２≧｜（ａ−ｂ）×ｎ×Ａ×Δｔ｜ … （式１） （Ｄ−Ｅ１）／２≧｜（ａ−ｂ）×Ｄ×Δｔ｜ … （式２） Ｃ１≧Ｃ２ … （式３） Ｅ１≧Ｅ２ … （式４） を満足するように、オリフィスプレート４及びヘッド本
体３の材料が選定され、かつ、各部の寸法が設計されて
いる。

【００４７】上記の（式１）〜（式４）を満足するよう
に、オリフィスプレート４及びヘッド本体３の材料を選
定し、各部の寸法を設計することで、オリフィスプレー
ト４とヘッド本体３との加熱圧着の際に、それぞれの熱
膨張率が異なっていても、オリフィスプレート４のダミ
ー凸部１４とヘッド本体３のダミー凹部１３との位置が
ずれることはなく、両者が接合できなくなるということ
はなくなる。また、上記（式２）では流路６の配列ピッ
チ及び配列方向における全体の幅も考慮しているので、
流路６が高密度に配列されていたり、ラインヘッドのよ
うに多数の流路６を有する場合でも、オリフィスプレー
ト４とヘッド本体３とを確実に接合することができる。
オリフィスプレート４が光を透過する材料であれば、紫
外線や赤外線で接着樹脂１５を硬化させた後に熱をかけ
てもオリフィスプレート４とヘッド本体３とのずれは生
じない。

【００４８】ここで、上記の（式１）〜（式４）ににつ
いて具体的な数値を挙げて説明する。例えば、第１の例
として、ヘッド本体３をシリコンで構成し、オリフィス
プレート４をポリサルフォンで構成した。この場合、ヘ
ッド本体３の線膨張率ａは２．４２×１０^--6、オリフ
ィスプレート４の線膨張率ｂは５．５×１０^-5である。
このとき、ヘッド本体３の各部の寸法を、Ａ＝０．０４
２５ｍｍ、Ｂ＝０．０３３ｍｍ、Ｄ＝０．０５ｍｍと
し、オリフィスプレート４の各部の寸法を、Ｃ１＝０．
０３０ｍｍ、Ｃ２＝０．０２８ｍｍ、Ｅ１＝０．０４９
ｍｍ、Ｅ２＝０．０４７ｍｍとし、さらに、ｎ＝１２０
０、環境温度差Δｔ＝２℃とする。

【００４９】これらの値を（式１）〜（式４）に当ては
めると、（式３）および（式４）については明らかに不
等式を満足する。また、（式２）についても、左辺が１
×１０^-3ｍｍ、右辺が５．３×１０^-6ｍｍとなり、不等
式を満足する。しかし、（式１）については、左辺が
１．５×１０^-3ｍｍ、右辺が５．４×１０^-3ｍｍとな
り、不等式を満足しない。つまり、ダミー凹部１３の高
さ方向については問題ないが、幅方向については熱膨張
によるダミー凸部１４とダミー凹部１３との位置ずれが
大きくなりすぎ、オリフィスプレート４とヘッド本体３
との接合ができなくなってしまう。

【００５０】そこで、第２の例として、ヘッド本体３に
ついてはダミー凹部１２の幅Ｂを０．０３５ｍｍに変更
するとともに、オリフィスプレート４については、ダミ
ー凸部１４を根元部の横幅Ｃ１を０．０２６ｍｍ、先端
部の横幅Ｃ２を０．０２４ｍｍに変更し、その他の条件
については第１の例と同じとすると、（式２）は左辺が
５．５×１０^-3ｍｍ、右辺が５．４×１０^-3ｍｍとな
り、不等式を満足する。従って、環境温度変化によりオ
リフィスプレート４及びヘッド本体３の各部の寸法が変
化したとしても、両者を確実に接合することができる。

【００５１】次に、オリフィスプレート４の材料を変更
した場合の具体的な例を挙げる。この第３の例では、オ
リフィスプレート４としてポリイミド（例えば、ユーピ
レクスＳ（商品名）、宇部興産社製）を用いた。ポリイ
ミドの線膨張率ｂは１．１×１０^-5であり、ポリサルフ
ォンの線膨張率よりも小さい。従って、ポリサルフォン
を用いた場合よりも、流路６の配列方向におけるダミー
凸部１４とダミー凹部１３との隙間を小さくしても、オ
リフィスプレート４とヘッド本体３との接合を行うこと
ができる。そこで、上記の第１の例においてオリフィス
プレート４の材料をポリイミドに変更して（式１）〜
（式４）に当てはめると、（式１）〜（式４）の全てを
満足する。従って、この条件でもオリフィスプレート４
とヘッド本体３との接合を確実に行えることが分かる。

【００５２】上記の液体吐出ヘッドを用いて印字を行っ
たところ、印字にヨレやムラは発生せず、オリフィスプ
レート４が剥がれることもなく、良好な印字が得られ
た。さらに、この液体吐出ヘッドを分解して観察したと
ころ、オリフィス１２の内部及び流路６内に異物は存在
していなかった。

【００５３】上述した実施形態では表面に何の処理も施
されていないオリフィスプレート４を用いた例を示した
が、オリフィスプレート４の表面に表面に撥水層を形成
してもよい。このように表面に撥水処理を施すことで、
オリフィスプレート４の表面へのインクの付着が防止さ
れる。また、オリフィスプレート４の裏面については、
ダミー凸部１４以外は平坦なものを示したが、オリフィ
ス１２の近傍のヘッド本体３と接合される部位に、接着
樹脂１５の逃げのための溝を形成してもよい。これによ
り、オリフィスプレート４とヘッド本体３とを圧着した
際に、接着樹脂１５が流路６内に侵入しにくくなる。こ
の溝は、オリフィス１２の形成の際にオリフィス１２の
形成と同様の方法で形成することができる。

【００５４】さらに、オリフィスプレート４とヘッド本
体３とを接合するための接着樹脂１５は、オリフィスプ
レート４ではなくヘッド本体３に塗布してもよい。この
ように接着樹脂１５をヘッド本体３に塗布しても、オリ
フィスプレート４に接着樹脂１５を塗布した場合と同様
にオリフィスプレート４とヘッド本体３とを接合するこ
とができる。

【００５５】（第２の実施形態）図８は、本発明の第２
の実施形態の液体吐出ヘッドのオリフィス近傍の正面図
である。図９は図８に示す液体吐出ヘッドの断面図であ
り、（ａ）はＣ−Ｃ線断面図、（ｂ）はＤ−Ｄ線断面図
を示す。

【００５６】本実施形態の液体吐出ヘッドも第１の実施
形態と同様に、ヘッド本体２３に２つのダミー凹部３３
を有するとともに、オリフィスプレート２４にはヘッド
本体２３のダミー凹部３３に嵌合するダミー凸部３４を
有する。更に本実施形態では、オリフィスプレート２４
のヘッド本体２３との接合面に、ヘッド本体２３の流路
２６に嵌合する複数の凸部３６が流路と同じ配列ピッチ
で形成されており、これら凸部３６にオリフィス３２が
開口している。オリフィスプレート２４のヘッド本体２
３との接合面には第１の実施形態と同様の接着樹脂３５
が塗布され、この接着樹脂３５を介してオリフィスプレ
ート２４とヘッド本体２３とが接合される。その他の構
造は第１の実施形態と同様であるので詳細な説明は省略
する。

【００５７】本実施形態のオリフィスプレートについて
図１０および図１１を参照して詳細に説明する。図１０
は、図８に示す液体吐出ヘッドのオリフィスプレートを
ヘッド本体との非接合面から見た図である。図１１は図
１０に示すオリフィスプレートの断面図であり、（ａ）
はＣ−Ｃ線断面図、（ｂ）はＤ−Ｄ線断面図を示す。

【００５８】オリフィスプレート２４の凸部３６は、ダ
ミー凸部３４と同様にして形成することができる。本実
施形態では、図５に示したものと同様のレーザ加工装置
を用い、オリフィスプレート２４のヘッド本体２３（図
９参照）との接合面側からレーザ光を照射することによ
ってダミー凸部３４の形成と同時に凸部３６を形成し
た。接着樹脂３５は、ダミー凸部３４および凸部３６の
形成後に均一の厚さで塗布される。オリフィス３２は、
この接着樹脂３５にＵＶ照射して接着樹脂３５をＢステ
ージ化した後、ヘッド本体２３との接合面側からレーザ
光を照射することにより、各凸部３６に一つずつ形成さ
れる。

【００５９】ここで、オリフィスプレート２４の線膨張
係数をｂとし、ダミー凸部３４および凸部３６の寸法に
ついては、ダミー凸部３４の横幅を根元部でＣ１、先端
部でＣ２、ダミー凸部３４の縦幅を根元部でＥ１、先端
部でＥ２、凸部３６の横幅を根元部でＦ１、先端部でＦ
２、凸部３６の縦幅を根元部でＧ１、先端部でＧ２とす
る。また、ヘッド本体２３については、図２に示したも
のと同様に、流路２６およびダミー凹部３３の配列ピッ
チをＡ、幅をｂ、高さをＤ、線膨張係数をａとし、さら
に、流路２６の数＋ダミー凹部３３の数＝ｎ、ヘッド本
体２３とオリフィスプレート２４との接合前後での環境
温度差をΔｔとする。このとき、第１の実施形態で定義
した（式１）〜（式４）に加え、更に、オリフィスプレ
ート２４の凸部３６とヘッド本体２３の流路２６との嵌
め合いを考慮した以下の式、 （Ｂ−Ｆ１）／２≧｜（ａ−ｂ）×ｎ×Ａ×Δｔ｜ … （式５） （Ｄ−Ｇ１）／２≧｜（ａ−ｂ）×Ｄ×Δｔ｜ … （式６） Ｆ１≧Ｆ２ … （式７） Ｇ１≧Ｇ２ … （式８） Ｃ１≧Ｆ１ … （式９） Ｅ１≧Ｇ１ … （式１０） を満足するように、オリフィスプレート２４およびヘッ
ド本体２３の材料が選定され、かつ、各部の寸法が設計
されている。

【００６０】このように、（式１）〜（式１０）を満足
するようにオリフィスプレート２４およびヘッド本体２
３の材料を選定し、各部の寸法を設計することで、オリ
フィスプレート２４とヘッド本体２３との加熱圧着の際
に、流路２６が高密度に配列されていたりラインヘッド
のように多数の流路２６を有する場合であっても、両者
を確実に接合することができる。しかも、本実施形態で
は、オリフィス３２が開口し流路２６に嵌合する凸部３
６をオリフィスプレート２４に設けており、これら凸部
３６についても上記のように寸法を規定しているので、
オリフィス３２も流路２６に対して正確に位置決めされ
る。オリフィスプレート２４が光を透過する材料であれ
ば、紫外線や赤外線で接着樹脂を硬化させた後に熱をか
けてもオリフィスプレート２４とヘッド本体２３とのず
れは生じない。

【００６１】上記の（式１）〜（式１０）について具体
的な数値を挙げて説明する。例えば、第４の例として、
ヘッド本体２３をシリコンで構成し、オリフィスプレー
ト２４をポリサルフォンで構成した。この場合、ヘッド
本体２３の線膨張率ａは２．４２×１０^-6、オリフィス
プレート２４の線膨張率ｂは５．５×１０^-5である。こ
のとき、ヘッド本体２３の各部の寸法を、Ａ＝０．０４
２５ｍｍ、Ｂ＝０．０３３ｍｍ、Ｄ＝０．０５ｍｍと
し、オリフィスプレート２４の各部の寸法を、Ｃ１＝
０．０３０ｍｍ、Ｃ２＝０．０２８ｍｍ、Ｅ１＝０．０
４９ｍｍ、Ｅ２＝０．０４７ｍｍ、Ｆ１＝０．０２８ｍ
ｍ、Ｆ２＝０．０２６ｍｍ、Ｇ１＝０．０４８ｍｍ、Ｇ
２＝０．０４６ｍｍとし、さらに、ｎ＝１２００、環境
温度差Δｔ＝２℃とする。

【００６２】これらの値を（式１）〜（式１０）に当て
はめると、（式３）、（式４）、（式７）〜（式１０）
については明らかに不等式を満足する。また、（式２）
は５×１０^-4ｍｍ≧５．３×１０^-6ｍｍ、（式６）は１
×１０^-3ｍｍ≧５．３×１０ ^-6ｍｍとなり、（式２）、
（式６）も不等式を満足する。しかし、（式１）および
（式５）については、右辺はそれぞれ５．４×１０^-3ｍ
ｍとなるのに対し、左辺は（式１）では１．５×１０^-3
ｍｍ、（式５）では２．５×１０^-3ｍｍとなり、不等式
を満足しない。つまり、流路２６の高さ方向については
問題ないが、幅方向については熱望量によるダミー凸部
３４とダミー凹部３３、および凸部３６と流路２６との
位置ずれが大きくなりすぎ、オリフィスプレート２４と
ヘッド本体２３との接合ができなくなってしまう。

【００６３】そこで、第５の例として、上記の第４の例
に対して流路２６の幅方向についてのヘッド本体２３お
よびオリフィスプレート２４の寸法を変更した。具体的
には、ヘッド本体２３についてはＢ＝０．０３５ｍｍと
し、オリフィスプレート２４については、Ｃ１＝０．０
２６ｍｍ、Ｃ２＝０．０２４ｍｍ、Ｆ１＝０．０２４ｍ
ｍ、Ｆ２＝０．０２２ｍｍとした。これにより、（式
１）および（式５）の左辺はいずれも５．５×１０^-3ｍ
ｍとなり、不等式を満足する。もちろん、（式３）、
（式７）〜（式１０）も満足している。従って、環境温
度変化によりオリフィスプレート２４及びヘッド本体２
３の各部の寸法が変化したとしても、両者を確実に接合
することができる。

【００６４】次に、オリフィスプレート２４の材料を変
更した場合の具体的な例を挙げる。この第６の例では、
オリフィスプレート２４としてポリイミド（例えば、ユ
ーピレクスＳ（商品名）、宇部興産社製）を用いた。ポ
リイミドの線膨張率ｂは１．１×１０^-5であり、ポリサ
ルフォンの線膨張率よりも小さい。従って、ポリサルフ
ォンを用いた場合よりも、流路２６の配列方向における
ダミー凸部３４とダミー凹部３３との隙間および凸部２
６と流路２６との隙間を小さくしても、オリフィスプレ
ート２４とヘッド本体２３との接合を行うことができ
る。そこで、上記の第４の例においてオリフィスプレー
ト２４の材料をポリイミドに変更して（式１）〜（式１
０）に当てはめると、（式１）〜（式１０）の全てを満
足する。従って、この条件でもオリフィスプレート２４
とヘッド本体２３との接合を確実に行えることが分か
る。

【００６５】上記の液体吐出ヘッドを用いて印字を行っ
たところ、印字にヨレやムラは発生せず、オリフィスプ
レート２４が剥がれることもなく、良好な印字が得られ
た。さらに、この液体吐出ヘッドを分解して観察したと
ころ、オリフィス３２の内部及び流路内に異物は存在し
ていなかった。

【００６６】上述した実施形態では表面に何の処理も施
されていないオリフィスプレート２４を用いた例を示し
たが、オリフィスプレート２４の表面に表面に撥水層を
形成してもよい。このように表面に撥水処理を施すこと
で、オリフィスプレート２４の表面へのインクの付着が
防止される。また、オリフィスプレート２４の裏面につ
いては、ダミー凸部３４及び凸部３６以外は平坦なもの
を示したが、凸部３６の近傍のヘッド本体２３と接合さ
れる部位に、接着樹脂３５の逃げのための溝を形成して
もよい。これにより、オリフィスプレート２４とヘッド
本体２３とを圧着した際に、接着樹脂３５が流路２６内
に侵入しにくくなる。この溝は、オリフィス３２の形成
の際にオリフィス３２の形成と同様の方法で形成するこ
とができる。

【００６７】さらに、オリフィスプレート２４とヘッド
本体２３とを接合するための接着樹脂３５は、オリフィ
スプレート２４ではなくヘッド本体２３に塗布してもよ
い。このように接着樹脂３５をヘッド本体２３に塗布し
ても、オリフィスプレート２４に接着樹脂３５を塗布し
た場合と同様にオリフィスプレート２４とヘッド本体２
３とを接合することができる。

【００６８】（その他の実施形態）次に、上述した液体
吐出ヘッドを用いたヘッドカートリッジ及び液体吐出記
録装置について説明する。

【００６９】図１２は、本発明の液体吐出ヘッドを用い
たヘッドカートリッジの一例の斜視図である。このヘッ
ドカートリッジ１００は、上述した実施形態に示した液
体吐出ヘッド１０１と、液体吐出ヘッド１０１に供給す
るインクを保持するインク容器１０２とを一体化したも
のである。なお、インク容器１０２は、インク消費後に
インクを再充填して使用することが可能である。

【００７０】図１３は、本発明の液体吐出ヘッドを用い
たシリアルタイプの液体吐出記録装置の概略斜視図であ
る。図１３に示すように、フレーム２０１には、螺旋溝
２０３が刻まれたリードスクリュー２０２が回転可能に
軸支されているとともに、ガイドシャフト２０４がリー
ドスクリュー２０２と平行に支持されている。キャリッ
ジ２０５は、不図示のピンによって螺旋溝２０３に対し
て係合し、かつ、ガイドシャフト２０４に摺動自在に案
内されており、駆動モータ２０６の正逆転を、駆動力伝
達ギア２０７，２０８を介してリードスクリュー２０２
に伝達することで、キャリッジ２０５は図示矢印ａ、ｂ
方向に往復移動される。

【００７１】キャリッジ２０５には、上述の実施形態で
示した液体吐出ヘッドを有するヘッドユニット２２１と
液体吐出ヘッドに供給するインク容器２２２とが互いに
分離可能なヘッドカートリッジ２２０が着脱可能に保持
されている。ヘッドカートリッジ２２０としては、図１
２に示したような、液体吐出ヘッド１０１とインク容器
１０２とが一体化されて分離できないものでもよい。

【００７２】紙押え板２１０は、キャリッジ２０５の移
動方向にわたって、紙送りモータ２０９の駆動により回
転されるプラテンローラ２１２に対して被記録媒体２３
０に押圧し、プラテンローラ２１２が回転することによ
って、プラテンローラ２１２と被記録媒体２３０との摩
擦力で被記録媒体２３０が搬送される。そして、キャリ
ッジ２０５の往復移動と被記録媒体２３０のピッチ送り
とを繰り返しながら液体吐出ヘッドからインクを吐出す
ることで、被記録媒体２３０に記録が行われる。

【００７３】また、キャリッジ２０５がホームポジショ
ンに位置するときに液体吐出ヘッドの前面（オリフィス
プレートの表面）と対向する位置には、液体吐出ヘッド
の前面をキャップするキャップ部材２１１が配置されて
いる。キャップ部材２１１は吸引手段（不図示）と接続
されており、液体吐出ヘッドの前面をキャップした状態
で吸引手段を駆動して液体吐出ヘッド内の異物や増粘イ
ンクなどを強制的に吸引する吸引回復動作を行うこと
で、液体吐出ヘッドの吐出特性を維持することができ
る。

【００７４】図１４は、本発明の液体吐出ヘッドを用い
たフルラインタイプの液体吐出記録装置の概略斜視図で
ある。図１４に示す液体吐出記録装置は、２つの搬送ロ
ーラ３１２によって搬送される被記録媒体３３０に対向
して、液体吐出ヘッド３２０が配置される。液体吐出ヘ
ッド３２０は、上述した実施形態に示したものと同様の
構造を有し、被記録媒体３３０の記録可能領域の全幅に
わたってオリフィスが形成されている。上述したように
本発明の液体吐出ヘッドは、ヘッド本体及びオリフィス
プレートの材料、両者の嵌合部の寸法を、ヘッド本体と
オリフィスプレートとの接合前後での環境温度変化を考
慮して、前述した第１の実施形態または第２の実施形態
で述べたように設定しているので、フルラインヘッドの
ような長尺の液体吐出ヘッドにおいても、ヘッド本体の
流路とオリフィスプレートの凸部との配列ピッチがずれ
て両者が接合できなくなるといった不具合は発生しな
い。

【００７５】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ヘ
ッド本体とオリフィスプレートとの接合前後での環境温
度の変化による各部の寸法変化を考慮して、ヘッド本体
及びオリフィスプレートの各部の寸法を規定することに
より、液流路の数や配列ピッチにかかわらず、オリフィ
スプレートとヘッド本体とを位置精度よく確実に接合す
ることができる。また、オリフィスプレートのヘッド本
体との接合面に、ヘッド本体の各液流路の開口にそれぞ
れ嵌合する嵌合凸部を設けた場合にも、これら嵌合凸部
の寸法を規定することにより、嵌合凸部を液流路に確実
に嵌合させてオリフィスプレートとヘッド本体とを接合
することができるので、流路とオリフィスとを正確に位
置決めすることができる。さらに、液流路とオリフィス
との位置精度が向上することにより、オリフィスプレー
トへのオリフィスの形成をヘッド本体との接合前に行う
ことができるので、オリフィスをレーザ加工で形成して
も、レーザ加工により発生する異物が液流路内に侵入す
るのを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態の液体吐出ヘッドの一
部を破断した模式的斜視図である。

【図２】図１に示すヘッド本体をオリフィスプレートが
接合される面から見た図である。

【図３】図１に示すオリフィスプレートを表面から見た
図である。

【図４】図３に示すオリフィスプレートの断面図であ
り、（ａ）はＡ−Ａ線断面図、（ｂ）はＢ−Ｂ線断面図
を示す。

【図５】オリフィスプレートの加工に用いるレーザ加工
装置の一例を示す図である。

【図６】図１に示す液体吐出ヘッドをオリフィスプレー
ト側から見た正面図である。

【図７】図６に示す液体吐出ヘッドの断面図であり、
（ａ）はＡ−Ａ線断面図、（ｂ）はＢ−Ｂ線断面図を示
す。

【図８】本発明の第２の実施形態の液体吐出ヘッドのオ
リフィス近傍の正面図である。

【図９】図８に示す液体吐出ヘッドの断面図であり、
（ａ）はＣ−Ｃ線断面図、（ｂ）はＤ−Ｄ線断面図を示
す。

【図１０】図８に示す液体吐出ヘッドのオリフィスプレ
ートをヘッド本体との非接合面から見た図である。

【図１１】図１０に示すオリフィスプレートの断面図で
あり、（ａ）はＣ−Ｃ線断面図、（ｂ）はＤ−Ｄ線断面
図を示す。

【図１２】本発明の液体吐出ヘッドを用いたヘッドカー
トリッジの一例の斜視図である。

【図１３】本発明の液体吐出ヘッドを用いたシリアルタ
イプの液体吐出記録装置の概略斜視図である。

【図１４】本発明の液体吐出ヘッドを用いたフルライン
タイプの液体吐出記録装置の概略斜視図である。

【図１５】従来の液体吐出ヘッドの一例の分解斜視図で
ある。

【図１６】従来の液体吐出ヘッドの他の例の、オリフィ
スプレート近傍での断面図である。

【図１７】従来の液体吐出ヘッドの更に他の例の、オリ
フィスプレート近傍での断面図である。

【符号の説明】

１ 基板 ２ 天板 ３，２３ ヘッド本体 ４，２４ オリフィスプレート ５ 発熱素子 ６，２６ 流路 ７ 共通液室 ８ 溝 ９ 流路壁 １０ 液室枠 １１ インク供給口 １２，３２ オリフィス １３，３３ ダミー凹部 １４，３４ ダミー凸部 １５，３５ 接着樹脂 ３６ 凸部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 池亀 健 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 樫野 俊雄 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 Ｆターム(参考） 2C057 AF24 AG01 AG12 AP02 AP13 AP23 AP24 AP72 AP77

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 それぞれ液体を吐出させるために利用さ
   れるエネルギーを発生するエネルギー発生素子を備え所
   定のピッチで配列された複数の液流路が端面に開口する
   ヘッド本体と、該ヘッド本体の端面に接合され、前記液
   流路に対応する部位にそれぞれ前記液流路と連通するオ
   リフィスが形成されたオリフィスプレートとを有する液
   体吐出ヘッドにおいて、 前記ヘッド本体の端面の、前記液流路の開口列の更に両
   側方に、前記流路の幅及び高さと等しい幅及び高さを有
   する２つの凹部が前記液流路の配列ピッチと等しいピッ
   チで設けられるとともに、前記オリフィスプレートの前
   記ヘッド本体との接合面に、前記凹部にそれぞれ嵌合さ
   れている２つの位置決め凸部が設けられ、 前記液流路の配列ピッチをＡ、前記液流路の幅をＢ、前
   記液流路の高さをＤ、前記位置決め凸部の前記液流路の
   配列方向での幅を根元部でＣ１、先端部でＣ２、前記位
   置決め凸部の前記液流路の配列方向と直交する方向での
   幅を根元部でＥ１、先端部でＥ２、前記ヘッド本体の線
   膨張係数をａ、前記オリフィスプレートの線膨張係数を
   ｂ、前記液流路の数と前記凹部の数を加えた数をｎ、前
   記ヘッド本体と前記オリフィスプレートとの接合の前後
   での環境温度変化をΔｔとしたとき、 （Ｂ−Ｃ１）／２≧｜（ａ−ｂ）×ｎ×Ａ×Δｔ｜、 （Ｄ−Ｅ１）／２≧｜（ａ−ｂ）×Ｄ×Δｔ｜、 Ｃ１≧Ｃ２、及び Ｅ１≧Ｅ２ の不等式を満足することを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 【請求項２】 前記オリフィスプレートの前記ヘッド本
   体との接合面に、それぞれ前記液流路に対応する部位に
   設けられるとともに前記オリフィスが一つずつ開口され
   て前記液流路に嵌合されている、前記位置決め凸部とは
   異なる複数の嵌合凸部が設けられ、 前記嵌合凸部の前記液流路の配列方向での幅を根元部で
   Ｆ１、先端部でＦ２、前記嵌合凸部の前記液流路の配列
   方向と直交する方向での幅を根元部でＧ１、先端部でＧ
   ２としたとき、 （Ｂ−Ｆ１）／２≧｜（ａ−ｂ）×ｎ×Ａ×Δｔ｜、 （Ｄ−Ｇ１）／２≧｜（ａ−ｂ）×Ｄ×Δｔ｜、 Ｆ１≧Ｆ２、 Ｇ１≧Ｇ２、 Ｃ１≧Ｆ１、及び Ｅ１≧Ｇ１ の不等式を更に満足する、請求項１に記載の液体吐出ヘ
   ッド。
3. 【請求項３】 前記オリフィスは、液体の吐出方向に向
   かって径が小さくなるテーパ形状である、請求項１また
   は２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 【請求項４】 前記オリフィスプレートが樹脂フィルム
   材からなり、前記オリフィスは、前記オリフィスプレー
   トが前記ヘッド本体と接合される前に、前記オリフィス
   プレートの前記ヘッド本体との接合面側からのレーザ光
   の照射により予め形成されている、請求項３に記載の液
   体吐出ヘッド。
5. 【請求項５】 前記オリフィスプレートと前記ヘッド本
   体とが接着剤により接合されている、請求項１ないし４
   のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
6. 【請求項６】 前記オリフィスプレートの前記ヘッド本
   体との接合面の、前記オリフィスの近傍かつ前記ヘッド
   本体と接合される部位に、前記接着剤の逃げ溝が形成さ
   れている、請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
7. 【請求項７】 前記オリフィスプレートの前記ヘッド本
   体との非接合面に撥水処理が施されている、請求項１な
   いし６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。