JP2002331670A - 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 オリフィスプレートを適確に液流路に接合す
ることができるとともにオリフィスプレートの剛性を向
上させて組立て時のハンドリング性や印字時のキャッピ
ングの信頼性を向上させることができ、さらに吐出性能
や生産性を向上させることができるオリフィスプレート
を備えた液体吐出ヘッドを提供する。 【解決手段】 オリフィスプレート表面１０ｆにおける
吐出口形成領域を凹部１１とし、オリフィスプレート背
面１０ｇの吐出口形成部位に凸部１３を設けたオリフィ
スプレート１０を射出成形により形成し、その後、背面
１０ｇ側からのレーザ光の照射により各凸部１３から凹
部１１に至る吐出口１０ａを複数加工形成する。素子基
板１と天板５の接合により形成される液流路７にオリフ
ィスプレート１０の凸部１３を挿入させてオリフィスプ
レート１０の吐出口１０ａを液流路７に連通するように
接着剤により接合して液体吐出ヘッドを作製する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、オリフィスプレー
トに形成された吐出口からインク等の液体を飛翔液滴と
して吐出させて記録媒体に印字記録や画像形成等を行う
液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】液体吐出装置（インクジェット記録装
置）は、液体吐出ヘッドにインク等の液体を供給し、液
体吐出ヘッドに設けられたピエゾ素子や電気熱変換素子
等の吐出エネルギー発生素子を記録情報や画像情報に対
応した駆動信号に基づいて駆動することによって記録紙
等の記録媒体に液滴を付着させることにより印字記録や
画像形成等を行うものであり、低騒音、高速記録等の点
で優れた記録装置として知られている。

【０００３】この種の液体吐出ヘッドは、例えば図７に
示すように、液体を吐出するための微細な吐出口２１１
を複数有するオリフィスプレート２１０と、各吐出口２
１１に連通する液流路２０６を形成するための天板２０
５と、液流路２０６の一部を構成しかつ液体を吐出する
ための吐出エネルギーを発生する吐出エネルギー発生素
子としての発熱素子２０２を有する素子基板２０１とか
ら構成されている。

【０００４】一般に、オリフィスプレート２１０は、素
子基板２０１と天板２０５との接合段差や素子基板２０
１と天板２０５との濡れ性の違いに起因する液体の吐出
方向のずれを防止するため、液吐出口面を同一部材で構
成することを主な目的の一つとして設けられている。こ
のオリフィスプレート２１０は、天板２０５と一体的に
形成される場合と、天板２０５と別部材で形成されて天
板２０５に接合される場合とがある。

【０００５】オリフィスプレート２１０を天板２０５と
別部材で形成して天板２０５に接合する場合において
は、素子基板２０１と天板２０５との圧接によって形成
された液流路２０６に対し、オリフィスプレート２１０
上の吐出口２１１をアライメントして接合する方式が採
用されており、耐久性が必要とされるオリフィスプレー
ト２１０部の材質が任意に選択できる利点を有してい
る。一方、オリフィスプレート２１０を天板２０５と一
体的に形成する場合には、吐出口２１１と液流路溝が連
通した部材として形成されるため、天板２０５と素子基
板２０１との簡単な機械的圧接によって液流路２０６を
形成することができ、生産性が優れている構成である。

【０００６】また、オリフィスプレートとして樹脂材料
を用いる場合には、複数の吐出口２１１は、一般的に、
エキシマレーザ加工によって形成されている。これらの
吐出口２１１は、光学系によって光量分布が均一化され
たエキシマレーザ光の照射により、１工程もしくは２〜
３工程で加工され、相対位置や配列ピッチが高精度に形
成されるとともに複数の吐出口の各々の形状や面積の均
一化が図られている。

【０００７】レーザ加工に用いられるエキシマレーザ光
束は、光学系による集光特性上、加工部の入射面から遠
ざかるほど狭くなっていくことになり、エキシマレーザ
光を照射してアブレーションする加工では、エキシマレ
ーザ光の出射側に形成される穴の大きさはエキシマレー
ザ光の入射側に形成される穴の大きさよりも小さく加工
される特徴がある。

【０００８】このような理由から、オリフィスプレート
２１０に吐出口をレーザ加工により形成する場合には、
レーザ光は液流路側から入射し、液吐出方向に出射され
る形態で照射される。

【０００９】オリフィスプレートが天板に一体的に形成
されている場合には、図８に示すように、マスク２２０
を通過したレーザ光Ｌが液流路溝２０７と干渉すること
がないように、天板２０５はレーザ光Ｌの光軸Ｌａに対
して傾けて保持され、吐出口２１１が天板２０５に対し
て傾斜加工されている。なお、吐出口形成面２１２は、
照射されるレーザ光軸Ｌａに対して垂直となるように、
天板２０５に傾斜して設けられており、レーザ光Ｌの照
射により加工される吐出口２１１は吐出口形成面２１２
に垂直に形成され、吐出口２１１から吐出される液体が
吐出口形成面２１２から垂直に吐出されるようにしてい
る。

【００１０】したがって、オリフィスプレート２１０と
天板２０５が一体化された液体吐出ヘッドは、吐出口２
１１の向き（レーザ加工時の傾斜方向）と素子基板２０
１との傾斜量相当分だけ、装置本体において傾斜保持さ
れ、液体を記録媒体に対して垂直に吐出するようにして
いる。

【００１１】一方、オリフィスプレート２１０と天板２
０５とが別部材で形成される場合は、レーザ光軸Ｌａ
（液吐出方向に相当する）とオリフィスプレート２１０
とが干渉することがないため、オリフィスプレート２１
０に対して垂直に吐出口２１１を形成することができ、
この種のオリフィスプレート２１０を組み込んだ液体吐
出ヘッドは記録媒体に対して垂直に保持される。

【００１２】また、オリフィスプレート２１０におい
て、複数の吐出口２１１が形成される吐出口形成部分の
厚みは数１０μｍと非常に薄肉厚に形成されている。こ
の吐出口形成部分を厚くすると、上記のレーザ加工の縮
口穴形成の特性により、オリフィスプレート２１０の表
面側の吐出口面積が小さくなって、液吐出量が減少し、
あるいは液吐出が不安定になる等のため、オリフィスプ
レート２１０の厚みはほぼ定まっており、あまり大きく
することができない。

【００１３】このようにオリフィスプレート上に加工形
成される微細孔である吐出口群は、液体の吐出方向、吐
出速度、吐出精度等を決定する部分であり、吐出口群の
形成が液体吐出ヘッドの吐出性能を左右する重要な要素
となっている。

【００１４】このため、オリフィスプレートは、微細な
吐出口群の加工性が良好であることおよび耐インク特性
の優れていること等が要求される。オリフィスプレート
のこのような性能を満たす材料として、従来は、ＳＵ
Ｓ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ａｌ等の金属プレート、ポリイミド、
ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニ
レンオキサイド、ポリプロピレン等の樹脂フィルム等が
用いられていた。

【００１５】樹脂フィルムを用いる場合は、微細加工に
優れているエキシマレーザ加工によって吐出口群が形成
され、金属プレートを用いる場合は、電鋳、プレス加工
等の方法によって吐出口群が形成されている。

【００１６】また、液体吐出装置では、液流路内部の気
泡の除去、長期放置によるインク等の液体の増粘回復等
のために液体の吸引または加圧回復のような回復動作を
行う必要がある。さらには、吐出口群周辺部における液
体の増粘や乾燥防止を図るためにオリフィスプレート表
面に対してキャッピング部材を当接させてキャッピング
を行う必要がある。

【００１７】また、液体を連続的に吐出させた場合等に
オリフィスプレートの表面に記録媒体から反射した液体
や空中の霧状液体が付着して余分な液体が溜まることが
あり、その結果、不安定な液吐出や場合によっては不吐
出を引き起こしてしまうことがある。そこで、これらの
オリフィスプレート上の残留液を拭き取るための清掃手
段としてのゴムや吸水性の材料等で形成されたブレード
によりオリフィスプレート上に付着した残留液を拭き取
っている。

【００１８】しかし、オリフィスプレート上の吐出口群
の外周部分でキャッピング部材との密閉用面積を確保し
ようとすると、オリフィスプレートが大きな面積とな
り、薄肉厚のフィルム状部材であるオリフィスプレート
のハンドリングを悪化させ、接合精度を低下させてしま
うことになる。さらに、オリフィスプレート全体の接合
面積が大きくなると、オリフィスプレートに対して作用
する接着剤の硬化収縮応力が増大することになり、キャ
ッピング部分の平面性が損なわれてキャッピング不良を
起こし、あるいは吐出口群の周辺部分を変形させること
が懸念され、吐出口の配列精度を悪化させるなどの要因
となる。

【００１９】このため、従来構造では、例えば前面シー
ル部材をオリフィスプレートの周囲に設けて、前面シー
ル部材とキャッピング部材を当接させてキャッピングを
行うような構成を採るなどして対処していた。

【００２０】

【発明が解決しようとする課題】ところで、パソコン端
末、コピー、ＦＡＸ等の出力装置としての液体吐出装置
においては、近年の記録技術の進歩に伴って、さらなる
高速でかつ高精細な記録や画像形成が要求されており、
液体吐出ヘッドにおける吐出口はその大きさ（吐出口の
開口面積）がより微小で高密度に形成されることが必須
となっている。これに伴って、吐出口群と液流路群の加
工精度および吐出口群と液流路群のアライメント精度を
より向上させていく必要がある。

【００２１】しかし、オリフィスプレートに形成される
吐出口群が高密度化されると、隣接する吐出口間の間隔
が狭くなるため、この部分の接着面積が小さくなるとい
う問題を有している。つまり、オリフィスプレートと液
流路部とを接合する接着剤は圧接の際に広がって移動す
るために、隣接する吐出口間の部位に塗布された接着剤
が広がると、吐出口内部や液流路内部に流れ込む恐れが
ある。仮に、接着剤が吐出口内部等に進入すると、接着
剤によって吐出口や液流路の内部形状に変化が起こり、
液吐出方向に乱れが生じ、安定した液吐出が得られなく
なる等の不具合の原因となる。

【００２２】このため、オリフィスプレート背面と液流
路部とを圧接接合する際には、圧接力、接着剤塗布量、
接着剤塗布領域、接着剤粘度、接着剤硬化条件、環境条
件等において、最適な状態を管理して、接着剤の広がり
をできるだけ規制する必要がある。

【００２３】このように、従来構成ではオリフィスプレ
ートの接合工程の難易度が非常に高く、生産性を悪化さ
せていた。さらに、接着剤の塗布量や塗布領域の規制等
によって、オリフィスプレートの接着強度の低下を招い
ていた。

【００２４】これに対して、特開平２−１８７３４２号
公報に記載されているように、樹脂フィルムからなるオ
リフィスプレートを液流路一端の開口面に接合した後
に、レーザ光の照射によってオリフィスプレートの表面
側から吐出口を加工形成する方法が提案されている。

【００２５】しかし、上記構成の場合、レーザ加工時の
アブレーションによって生じるカーボン（副生成物）等
のゴミや異物が液流路内に入り込んで、液流路が目詰ま
りを起こすという問題を抱えている。

【００２６】その他に、キャッピング用として前面シー
ル部材をオリフィスプレートの周囲に配設するような構
成では、前面シール部材とオリフィスプレートとの間に
段差が生じ、オリフィスプレート上の残留液体をブレー
ドで拭き取る際に、段差部分に液体溜まりが生じたり、
ブレードがオリフィスプレートを飛び越えてしまった
り、振動によって拭きむらが生じてしまったりすること
があった。

【００２７】さらに、液体吐出ヘッドを装置本体に搭載
する際に、オリフィスプレートの吐出口面が記録媒体か
ら最短距離の位置に配置されるような構成の場合、カー
ルの大きな記録媒体が吐出口面に沿って通過する際や記
録媒体のジャム処理の際に、記録媒体が吐出口面を摺擦
するため、吐出口周辺部に損傷を与えたり、吐出口周辺
の液体を引きずって行き、オリフィスプレート表面に液
体を残存させる等の要因となる。

【００２８】そこで、本発明は、前述した従来技術の有
する未解決の課題に鑑みてなされたものであって、オリ
フィスプレートを適確に液流路に接合することができる
とともにオリフィスプレートの剛性を向上させて組立て
時のハンドリング性やキャッピングの信頼性を向上させ
ることができ、さらに吐出性能や生産性を向上させるこ
とができるオリフィスプレートを備えた液体吐出ヘッド
および液体吐出装置を提供することを目的とするもので
ある。

【００２９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の液体吐出ヘッドは、液体に吐出エネルギー
を与える吐出エネルギー発生素子が複数の液流路に対応
して設けられた素子基板と、前記複数の液流路にそれぞ
れ対応して形成された液流路溝と、前記素子基板の対向
面を形成する天板と、液体を吐出する複数の吐出口が直
線状に配列されたオリフィスプレートと、前記液流路溝
に連通して該液流路溝に液体を供給する共通液室と、該
共通液室に液体を供給する液供給口とから構成され、前
記複数の液流路溝は前記天板と前記素子基板によって挟
持接合されることによって複数の液流路を形成し、該液
流路一端の開口面に対して前記オリフィスプレートを接
合させることによって、前記吐出口と前記液流路が連通
される液体吐出ヘッドにおいて、前記オリフィスプレー
トの液吐出側表面の吐出口形成領域を凹部とし、背面に
は各吐出口形成部位にそれぞれ凸部が形成され、前記複
数の吐出口がそれぞれ前記凸部から表面側凹部の最深部
に至るように貫通して穿設されたオリフィスプレート
を、前記背面側の凸部の全域もしくはその一部が前記複
数の液流路の各々の開口面から該液流路内部に進入する
ようにして、前記液流路一端の開口面に接合することを
特徴とする。

【００３０】本発明の液体吐出ヘッドにおいて、前記オ
リフィスプレートは射出成形によって形成されることが
好ましく、また、前記オリフィスプレートは射出成形に
よって形成された後に、該オリフィスプレート背面から
各凸部に対応した吐出口がレーザ加工によって形成され
ることが好ましい。

【００３１】本発明の液体吐出ヘッドにおいて、前記オ
リフィスプレート背面は、射出成形によって予め一連の
略長方形状の凸状部が形成され、該凸状部はレーザ加工
によって個別の凸部に分断形成されることが好ましい。

【００３２】本発明の液体吐出ヘッドにおいて、前記オ
リフィスプレートにおける吐出口が形成される面は、液
吐出方向に対し略垂直に形成された平面であることが好
ましく、さらに、前記オリフィスプレート表面の凹部以
外の外周領域は同一平面で形成されていることが好まし
い。

【００３３】本発明の液体吐出ヘッドにおいて、前記オ
リフィスプレート表面の凹部は、液吐出口面を清掃する
清掃部材の相対移動方向において、該凹部の最深部と凹
部以外の外周領域とが滑らかな面もしくは滑らかな曲面
で接続されるように形成されていることが好ましい。

【００３４】さらに、本発明の液体吐出装置は、前述し
た液体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッドを着脱自在に搭
載し往復移動可能に設けられたキャリッジと、前記液体
吐出ヘッドから吐出される液体を付着させることで記録
がなされる記録媒体を搬送する記録媒体搬送手段とを備
えていることを特徴とする。

【００３５】本発明の液体吐出装置においては、前記液
体吐出ヘッドの液吐出口面のキャッピングを行うキャッ
ピング部材を有し、該キャッピング部材は、前記液体吐
出ヘッドのオリフィスプレートの液吐出側表面の前記凹
部以外の同一平面に形成された外周領域に当接するよう
に構成されていることが好ましい。

【００３６】

【作用】本発明の液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置に
よれば、オリフィスプレート表面の吐出口形成領域に凹
部を設けるとともにオリフィスプレートの背面の複数の
吐出口形成部位にそれぞれ凸部を設けて、これらの凸部
の全域もしくはその一部を液流路内に進入させつつオリ
フィスプレートと液流路とを接合することによって、オ
リフィスプレートの接合圧接時に、接着剤が広がって
も、凸部が接着剤の流れを阻止するため、接着剤が吐出
口内面や液流路内面へ流れ込むことを抑えることができ
る。

【００３７】また、液流路内に挿入される凸部の外周面
と液流路内面との隙間には接着剤が流入するものの、接
着剤は表面張力によって停滞するために、さらに奥の液
流路内部までは進入して行かないようになる。その上、
凸部外周面と液流路内面の隙間部分に停滞した接着剤に
よって、オリフィスプレートの接合面積が増大して、オ
リフィスプレート全体の接合強度を向上させることがで
きる。

【００３８】また、オリフィスプレート表面は凹部が設
けられ、凹部の最深部に吐出口が配設させるため、記録
媒体が吐出口上を摺擦するのを防止することができるよ
うになる。

【００３９】また、オリフィスプレート表面の凹部は、
清掃部材の相対移動方向において、凹部最深部と凹部以
外の外周領域とが滑らかな面で繋がるように形成される
ため、清掃部材がオリフィスプレート表面を摺擦して清
掃する際に、インク等の液体を容易に拭き取る（ワイピ
ングする）ことができ、オリフィスプレート表面に液体
が滞留したり、拭き残しが生じるようなことがなくな
る。

【００４０】さらに、オリフィスプレート表面の凹部以
外の外周領域は同一平面で形成され、キャッピング部材
はこの外周領域に当接されるようになるため、従来のよ
うに前面シール部材等の補助部材を設ける必要がなく、
キャッピングの際の気密性が十分確保されるようにな
る。

【００４１】また、オリフィスプレート表面の凹部最深
部は最も薄肉厚の領域であり、この領域に吐出口がレー
ザ加工されるため、最適な開口面積の吐出口を容易に加
工形成できるようになる。

【００４２】さらに、凹部以外の外周領域の肉厚を大き
くすることにより、オリフィスプレート全体の剛性が増
すため、オリフィスプレートは、接合時に生じる接着剤
の硬化収縮応力に耐え得るようになる。その上、組立て
時のハンドリング性が良好になり、キャッピングに対す
る耐圧力も向上するようになる。

【００４３】また、オリフィスプレートが射出成形によ
って形成されれば、部材が安価に製作できる上、凸部群
の相対高さ、凸部形状、凸部群の配置等が高精度で安定
的に製作できるようになる。さらに、オリフィスプレー
ト全面が非常に滑らかな面で形成されるため、吐出性能
の向上、接合性の向上等、性能面と生産性面の向上が図
れるようになる。

【００４４】また、オリフィスプレート背面に予め一連
の略長方形状の凸状部を射出成形により形成し、レーザ
加工によって一連の略長方形状の凸状部を個別の凸部群
に分断形成するような構成にすれば、長方形状の凸状部
は金型加工が容易に施せる形状であることから、金型制
作費が非常に安価となる。さらに、成形時に吐出口配列
方向に反りが発生しても、次工程（レーザ加工）で凸部
群を分断加工する際に、略長方形状の凸状部で生じた反
りを補正するように凸部群を形成することができるよう
になる。つまり、樹脂の成形収縮に起因するオリフィス
プレートの反りは次工程の補正加工によって改善される
ため、凸部群の向きの相対位置精度を高精度に仕上げる
ことができるようになる。

【００４５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。

【００４６】先ず、本発明に係る液体吐出装置の構成に
ついて図１を用いて説明する。

【００４７】図１において、液体吐出装置１００は、例
えば二つの液体吐出ヘッド１０１ａ、１０１ｂ（以下、
単にヘッドともいう）を備え、該ヘッド１０１ａ、１０
１ｂへインク等の液体をそれぞれ供給する液体タンク１
１０ａ、１１０ｂを着脱可能に保持するカートリッジ１
０２を着脱可能に搭載するキャリッジ１０３と、キャリ
ッジ１０３をガイド軸１０４、１０５に沿って往復移動
させるための駆動手段と、記録紙１０６を給紙する給紙
ローラ１０７および紙搬送ローラ１０８等からなる記録
紙搬送手段と、ヘッド１０１ａ、１０１ｂの印字機能の
回復を図るためのブレード１１１等からなるワイピング
装置やキャッピング装置等を有している。

【００４８】キャリッジ１０３に搭載する液体吐出ヘッ
ドの数は、二つに限定されるものではなく、一つないし
複数のヘッドを搭載することもできる。また、複数のヘ
ッドがキャリッジ１０３に対して個別に着脱可能に搭載
される形態、あるいは、複数のヘッドを結合したユニッ
トがキャリッジ１０３に対して着脱可能に搭載される形
態、あるいは、一つないし複数のヘッドがキャリッジ１
０３に着脱不可能に固定される形態等とすることもでき
る。

【００４９】さらに、同一構造のヘッドが複数組み合わ
される場合と、別構造のヘッドが組み合わされる場合が
あり、別構造のヘッドが組み合わされる場合は、吐出口
面積、吐出口形状、吐出口配列数、吐出発生メカニズム
等の方式が異なるような様々なヘッド、ノズル等を組み
合わせた構成がある。

【００５０】また、液体供給形態は、キャリッジ１０３
上に搭載された液体タンク１１０ａ、１１０ｂが完全消
費された後に着脱交換する構成や、キャリッジ１０３以
外の領域に着脱可能なメインタンク（不図示）を収容し
て、メインタンクからキャリッジ１０３上の（サブ）液
体タンク１１０ａ、１１０ｂヘチューブやピットイン等
の供給手段を使って液体を供給する構成等がある。

【００５１】液体タンク１１０ａ、１１０ｂは、各ヘッ
ド１０１ａ、１０１ｂに対応した液体がそれぞれ充填さ
れており、液体タンク１１０ａ、１１０ｂはカートリッ
ジ１０２にそれぞれ別々に設けられた挿入口に押し込ま
れると、液体タンク１１０ａ、１１０ｂのそれぞれ下方
に設けられたパイプ等の供給口が結合される。これによ
り、液体タンク１１０ａ、１１０ｂから液体吐出ヘッド
のノズルにそれぞれ液体を供給することができるように
なっている。

【００５２】以上のように構成される液体吐出装置１０
０において、記録紙１０６への印字記録や画像形成に際
しては、不図示のホストコンピュータから印字信号を受
けると、記録紙１０６は紙搬送ローラ１０８および給紙
ローラ１０７によって給紙され印字位置にセットされ
る。その後、ヘッド１０１ａ、１０１ｂが不図示のキャ
ッピング部材から開放されて、ヘッド１０１ａ、１０１
ｂを搭載したキャリッジ１０３が、ガイド軸１０４，１
０５に沿って往復動作し、液体吐出ヘッド１０１ａ、１
０１ｂから液滴が適宜吐出されて記録紙１０６に対して
印字記録や画像形成を行う。

【００５３】また、ブレード１１１は、ヘッド１０１
ａ、１０１ｂが不図示のキャッピング部材から開放され
る際、あるいはキャッピング部材によるキャッピングが
なされる際に、ヘッド１０１ａ、１０１ｂの液吐出口面
を摺擦することにより、液吐出口面に付着している残留
液を除去（ワイピング）するものである。

【００５４】次に、本発明に係る液体吐出ヘッドの一実
施例について、図２ないし図５を参照して説明する。

【００５５】図２は本実施例の液体吐出ヘッドを前方か
ら見た概略的な斜視図、図３は本実施例の液体吐出ヘッ
ドを後方から見た概略的な斜視図、図４は本実施例の液
体吐出ヘッドの概略的な断面図であり、図５は本実施例
の液体吐出ヘッドにおけるオリフィスプレートの作製手
順を説明するための概略図である。

【００５６】図２ないし図４において、１は、インク等
の液体を吐出するための吐出エネルギー発生素子として
の電気熱変換素子（発熱素子）１ａや該電気熱変換素子
１ａへ電力を供給する配線がシリコン成膜プロセスによ
り形成されているシリコン基板からなる素子基板であ
り、２は、素子基板１に対する配線と液体吐出装置本体
に対する電気的コンタクトとが設けられた配線基板で、
ガラエポ基板に銅やニッケルにて配線パターンを形成し
たＰＷＢ基板やフレキシブルフィルム等に配線パターン
を形成したＴＡＢフィルム等が用いられる。これらの素
子基板１と配線基板２は、例えばワイヤーボンディング
２ａ（図４）により電気的に接続される。

【００５７】３は、アルミニウム等によって形成される
支持基板（ベースプレート）であり、支持基板３は駆動
に伴って生じる素子基板１の熱を放熱冷却するヒートシ
ンクとしても機能する。素子基板１と配線基板２は支持
基板３上に接合されており、素子基板１は支持基板３上
にダイボンディングされ、配線基板２は支持基板３上に
粘着剤等によって接着されている。

【００５８】５は液流路上面を形成する天板であり、６
は液流路７の一部を構成する液流路構成部材であって、
隔壁等によって区分される複数の液流路溝６ａを有して
おり、８は各液流路７へ送給する液体を収納するための
共通液室、９は液体タンクから供給される液体を受けて
共通液室８へ導入する液供給口である。天板５は、ポリ
サルフォン、ポリエーテルサルフォン、ポリプロピレ
ン、変性ポリフェニレンオキサイド、ポリフェニレンサ
ルファイド、エポキシ、液晶ポリマー等の樹脂、あるい
は、ニッケル、シリコン、ガラス、セラミック等の材料
によって形成される。

【００５９】液流路構成部材６の液流路溝６ａは、多数
並列される発熱素子１ａにそれぞれ合致するように素子
基板１上に配設される。すなわち、液流路溝６ａは、エ
ポキシ等の感光性樹脂層を発熱素子１ａ上面に積層した
後に、エッチング等のようなフォトリソ工程を経て、隔
壁によって区分された溝として形成される。そして、次
工程における天板５と素子基板１との接合によって、液
流路構成部材６が天板５と素子基板１に挟持されると、
液流路溝６ａの上方面が天板５によって塞がれるため、
液流路（ノズル）７が形成されることになる。なお、液
流路溝６ａは、素子基板１上面の形成される形態に限ら
れるものではなく、天板５の下面に感光性樹脂で形成さ
れるような形態とすることもできる。また、天板５が樹
脂で形成されるような形態では、射出成形によって天板
５の下面に液流路溝６ａを一体的に形成する構成、ある
いは、射出成形によって天板５を形成した後にエキシマ
レーザ加工で天板５の下面に液流路溝６ａを形成するよ
うな構成とすることもできる。さらに、天板５がシリコ
ン等で製作されるような場合は、異方性エッチングによ
って液流路溝６ａを形成することもできる。いずれにし
ても、多数の液流路溝６ａが素子基板１の上面に設けら
れる形態では、液流路溝６ａと発熱素子１ａはそれぞれ
半導体成膜技術によって両者の相対位置は高精度に配設
されるようになる。また、多数の液流路溝６ａが天板５
の下面に設けられる形態では、液流路溝６ａと発熱素子
１ａはメカニカルなアライメント処理によって両者の相
対位置が高精度に配設されるようになる。

【００６０】１０はオリフィスプレートであり、オリフ
ィスプレート１０には、液体を記録媒体に向けて吐出す
るための吐出口１０ａが所望の数量だけ直線状に並列し
て形成されて、吐出口群を構成しており、吐出口１０ａ
は、後述するように、オリフィスプレート１０の背面１
０ｇからエキシマレーザ光を照射して貫通形成される
（図５参照）。オリフィスプレート１０の液吐出側表面
１０ｆにおいては、図２および図４に示すように、吐出
口形成領域に凹部１１が形成されており、この凹部１１
の最深部１１ａに多数の吐出口（吐出口群）１０ａが配
設される。これらの吐出口１０ａが配設される領域がオ
リフィスプレート１０において最も薄肉厚な部分であ
り、数１０μｍの厚さとする。仮に、吐出口１０ａを配
設する領域の厚さが大きくなると、レーザ加工の特性に
よる縮口穴形成加工の都合上、レーザ光の出射側となる
オリフィスプレート１０の表面１０ｆ側における吐出口
１０ａの穴面積が小さくなって、液吐出量が減少すると
ともに安定して液体を吐出させることが難しくなり、さ
らに、レーザ加工時間が長く費やされることと加工精度
の低下を招くことにもなるため、吐出口形成領域（凹部
１１の最深部１１ａ）の厚さは、２０μｍ〜７０μｍ程
度の薄肉厚で形成されている。また、凹部１１は、その
最深部１１ａから凹部１１の外側の外周領域１２へ向か
うにしたがって凹部１１の深さが徐々に浅くなるように
形成されている。

【００６１】また、オリフィスプレート１０の背面１０
ｇは、図３および図４に示すように、オリフィスプレー
ト表面１０ｆ側の凹部最深部１１ａの面に対して平行に
あるいはほぼ平行に形成され、さらに、オリフィスプレ
ート背面１０ｇにおいて、吐出口形成部位には背面１０
ｇから段差をもった凸部（突起）１３が多数形成されて
おり、これらの多数の凸部（凸部群）１３はそれぞれ円
柱形状あるいは多角柱形状等に形成され、凸部１３に穿
設される吐出口１０ａの穴よりも大きく、そして、液流
路７の開口部に嵌め込むことができるような大きさに設
けられている。

【００６２】以上のように構成されるオリフィスプレー
ト１０は、表面１０ｆ側の凹部１１と外周領域１２およ
び背面１０ｇ側の多数の凸部１３とともに、射出成形に
よって一体的に形成される（図５の（ａ）参照）。その
後、図５の（ｂ）に示すように、オリフィスプレート１
０の背面１０ｇ側から凸部１３の各上面１３ａにエキシ
マレーザ光Ｌを照射することにより、凸部１３の上面１
３ａから表面１０ｆ側の凹部１１の最深部１１ａまで貫
通する吐出口１０ａが形成される（図５の（ｂ）および
（ｃ）参照）。つまり、微細穴の吐出口は、射出成形に
よる製作が困難であるため、レーザ加工で行い、その他
の領域は、安価で生産性に優れている射出成形によって
形成することにより、高精度なオリフィスプレートが安
価に製作できるようになる。

【００６３】また、液体吐出ヘッドのオリフィスプレー
トにおいては、一般に、吐出口形成面の平滑面が液吐出
性能に大きく影響を及ぼす要因であり、オリフィスプレ
ート背面の接合面の平滑性は接着精度に影響を及ぼす要
因である。

【００６４】オリフィスプレートを前述したように射出
成形によって成形することにより、金型転写面は非常に
良好な平滑面が得られるようになるため、上記のオリフ
ィスプレートに要求される性能を効果的に満たすことが
できるようになる。さらに、精密射出成形によって、多
数の凸部の相対高さ、凸部形状、凸部の配置等が高精度
で安定的にしかも安価に製作できるようになる。

【００６５】また、オリフィスプレート１０は板状部材
であり、吐出口の加工時にエキシマレーザ光の入射面側
で遮光するような部分が存在しないため、吐出口１０ａ
は容易にかつ高精度に加工形成することができる。その
上、エキシマレーザ加工に伴って生じるカーボン（副生
成物）がオリフィスプレート１０に付着しても、板状部
材のために、付着したカーボンは容易に除去できるよう
になる。

【００６６】また、オリフィスプレートは、適度な強度
を有していること、高精度で薄肉厚な射出成形が可能で
あること、およびエキシマレーザ加工によるアブレーシ
ョンが良好であること等に適応した材料を選定すること
が好ましく、例えば、ポリサルフォン、ポリエーテルサ
ルフォン、エポキシ、ポリイミド、液晶ポリマー等の樹
脂材料が適している。

【００６７】なお、オリフィスプレート背面１０ｇの凸
部群１３は、吐出口１０ａと同様にエキシマレーザ加工
によって形成することも可能である。しかし、凸部群１
３の形成には、凸部群１３周辺の広い範囲を取り除く加
工が必要となる。エキシマレーザ光は、前述したよう
に、光学系でエネルギー分布の均一化を図っていること
から、１工程で加工できる領域に限度があり、広い領域
を加工するような場合には複数工程に分割して加工しな
ければならない。ところが、同一平面を複数工程のレー
ザ加工で行うと、その平面上の接続部に段差が生じやす
くなり、平面精度の確保が困難となる。その上、一度に
広範囲をアブレーションすると、カーボン（副生成物）
の発生量が増大し、オリフィスプレート１０に付着した
カーボンの除去処理に費やす時間が増えることになる。

【００６８】以上のように、本実施例のオリフィスプレ
ートでは、生産性に優れている射出成形と高精度な微細
加工に適しているレーザ加工を効果的に組み合わせるこ
とによって、微細な吐出口群１０ａを高精度に形成する
ことができ、安価で生産性に優れたオリフィスプレート
を安定供給することができるようになる。

【００６９】次に、以上のように形成されるオリフィス
プレート１０を素子基板１と天板５に接合する方法につ
いて説明する。

【００７０】本実施例においては、予め、素子基板１と
天板５とを接合することによって液流路（ノズル）７を
形成し、その後に、液流路７の一端の開口面に対してオ
リフィスプレート１０を接合することにより、液流路７
から吐出口１０ａまでの液体通路を連結させるものであ
る。

【００７１】先ず、素子基板１上に多数配列された発熱
素子１ａにそれぞれ合致させて形成されている液流路溝
６ａの上面へ天板５の下面が当接するように天板５を載
置して、エポキシ系の接着剤等によって素子基板１と天
板５を接合する。エポキシ系の接着剤としては耐インク
特性に優れる材料および硬化剤が採用される。

【００７２】素子基板１と天板５の接合によって、液流
路構成部材６は天板５と素子基板１に挟持されるため、
液流路溝６ａは、その隔壁と、下面が素子基板１、上面
が天板５で囲まれた液流路７となる。

【００７３】次に、図４に示すように、素子基板１と天
板５の接合によって形成された多数の液流路７の一端の
開口面（以下、接合面ともいう）７ａとオリフィスプレ
ート１０の背面１０ｇが当接される。この際に、オリフ
ィスプレート１０の多数の凸部１３の全域もしくはその
一部が相対する液流路７の内部へそれぞれ挿入され、オ
リフィスプレート１０が接合面７ａに圧接される。この
とき、オリフィスプレート１０の背面１０ｇと液流路７
の接合面７ａは、エポキシ系の接着剤によって接合され
る。エポキシ系の接着剤による接合では、ＵＶ照射もし
くはキュアによって接着剤の硬化が促進されるが、接着
剤の硬化収縮、熱膨張等の影響を低減させ、吐出口１０
ａの配列精度を確保するために、ＵＶ照射と低温キュア
の併用による硬化方式を採用することが望ましい。

【００７４】なお、オリフィスプレート背面１０ｇの接
合面において、接着剤の硬化収縮応力が作用しても、オ
リフィスプレート１０は外周領域１２の厚肉化によっ
て、接着剤の収縮応力に耐えうるだけの剛性を備えてい
る。

【００７５】また、液流路７の接合面７ａに対向させて
オリフィスプレート背面１０ｇを圧接する際に、接着剤
は両者に挟まれて広がるが、オリフィスプレート１０の
凸部群１３が接着剤の流れを阻止するため、接着剤が吐
出口１０ａの内面や液流路７の内面へ流れ込むことを抑
えることができる。また、オリフィスプレート１０の各
凸部１３の外周面と液流路７の内周面のクリアランスを
数μｍに設定することにより、接着剤が両者の隙間に流
れ込んでも、表面張力によってこの隙間より奥の液流路
内面まで流動することはない。むしろ、接着剤は、凸部
１３の外周面と液流路７の内周面の隙間に流れ込むた
め、オリフィスプレート１０の接合面積が増えて、接合
強度を向上させることができる。

【００７６】以上のように構成される液体吐出ヘッドを
液体吐出装置に組み込んで印字記録や画像形成を行う際
に、吐出口群１０ａはオリフィスプレート表面１０ｆか
ら凹んだ領域である凹部１１の最深部１１ａに配設され
るため、大きなカールを有する記録紙が通紙されても紙
の端部が吐出口群１０ａに接触することはほとんどな
く、吐出口周辺の損傷を防止することができ、液体吐出
ヘッドの耐久性を向上させることができる。

【００７７】また、オリフィスプレート表面１０ｆにお
いて凹部１１の外側を囲む領域となる外周領域１２は同
一平面で厚肉に形成されており、液体吐出装置のキャッ
ピング部材（不図示）がオリフィスプレート表面１０ｆ
に当接してキャッピングする際、この外周領域１２に当
接するようになるため、キャッピングにおける気密性は
良好となる。これにより、吐出口群１０ａの周辺の残留
液等が乾燥したり、増粘したりすることを防止すること
ができる。

【００７８】このようにオリフィスプレート１０の外周
領域１２が同一平面で形成されている上に、外周領域１
２と凹部最深部１１ａとが一体部材で形成されるため、
キャッピング部材（不図示）が当接された際の気密性は
非常に良好であり、液体吐出装置の回復動作時には、ク
ロストークが発生しにくい構成となる。

【００７９】また、オリフィスプレート１０の外周領域
１２は、オリフィスプレート表面側および背面側におい
て、厚みが大きくできる領域であることから、この領域
の肉厚を増すことによって、オリフィスプレート全体の
剛性を向上させることができる。これにより、組立て時
のハンドリング性が良好となり、キャッピング時の耐圧
力も向上するようになる。

【００８０】さらに、液吐出口面の残留液を除去（ワイ
ピング）するために液吐出口面を摺擦するブレード１１
１（図１）が移動する方向において、オリフィスプレー
ト表面１０ｆ上では凹部１１の最深部１１ａと外周領域
１２とが滑らかな面もしくは滑らかな曲面で接続されて
いるため、ブレード１１１がオリフィスプレート表面１
０ｆ上を相対移動しながら摺擦する際に、オリフィスプ
レート１０上の残留液を確実にかつ容易に清掃除去でき
るようになる。なお、ブレード１１１の移動方向は、イ
ンク等の液体の種類、清掃形態等の違いによって、オリ
フィスプレート１０の長手方向と短手方向が適宜選択さ
れているが、オリフィスプレート１０の凹部１１と外周
領域１２との繋ぎ部はブレード１１１の移送方向に合致
させて滑らかにすればよい。

【００８１】次に、本発明に係る液体吐出ヘッドにおけ
るオリフィスプレートの他の実施例について、図６を参
照して説明する。

【００８２】前述した実施例では、射出成形されたオリ
フィスプレートに大きな反りが発生すると、吐出口加工
時に、凸部と吐出口の相対位置がずれて、液滴の着弾精
度の低下を招く恐れがある。また、凸部群は微小ピッチ
で配列されるため、金型製作費が大きくなる傾向にあ
る。そこで、本実施例では、オリフィスプレートに成形
反りが生じても、凸部に対する吐出口の相対位置ずれが
大きくならないようにするものであり、さらには、金型
製作費を安価にする方法を提案するものである。

【００８３】図６は、本実施例の液体吐出ヘッドにおけ
るオリフィスプレートの作製手順を説明するための概略
図であり、本実施例において、前述した実施例と同様の
部材には同一符号を付して説明する。

【００８４】図６の（ａ）において、２１はオリフィス
プレート１０の背面１０ｇに設けられる一連の略長方形
状の凸状部であり、この略長方形状の凸状部２１は、オ
リフィスプレート１０の射出成形工程においてオリフィ
スプレート１０と一体的に成形される。なお、本実施例
におけるオリフィスプレートにおいても、その表面１０
ｆ側の吐出口形成領域には凹部１１が前述した実施例と
同様に一体的に成形される。

【００８５】次いで、一連の略長方形状の凸状部２１
は、図６の（ｂ）に示すように、次工程のエキシマレー
ザ加工によって、吐出口形成部位に対応する個別の凸部
１３に分断される。そして、図６の（ｃ）に示すよう
に、前述した実施例と同様に、レーザ光Ｌをオリフィス
プレート１０の背面１０ｇ側から各凸部１３に照射する
ことにより、凸部１３の上面１３ａから表面１０ｆ側の
凹部１１まで貫通する吐出口１０ａを加工形成する。そ
して、このように形成されたオリフィスプレート１０
は、前述した実施例と同様に、図４に示すように液体吐
出ヘッドに組み込まれる。

【００８６】以上のように、本実施例におけるオリフィ
スプレートにおいては、射出成形によって形成する略長
方形状の凸状部２１は単純形状であり、この部分は金型
加工が容易に施せるため、金型の製作費が安価にできる
ようになる。また、略長方形状の凸状部２１の長手方向
に大きな成形反りが発生しても、次工程のレーザ加工に
よって、凸部群の突起方向が同一方向となるように補正
する加工を行うことができるため、成形時に生じた反り
の影響を低減させることができるようになる。

【００８７】したがって、本実施例では、前述した実施
例の作用効果に加えて、凸部群１３の加工形成の際に、
射出成形によって生じた反りの補正を施すことができる
ため、凸部群１３の相対向きを良好にすることができ、
さらに、略長方形状の凸状部２１の金型は安価に製作で
きるため、生産性が非常に優れている。

【００８８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
液体吐出ヘッドを構成するオリフィスプレートにおい
て、その表面の吐出口形成領域に凹部を設けるとともに
オリフィスプレートの背面の吐出口形成部位にそれぞれ
凸部を設けて、これらの凸部の全域もしくはその一部を
液流路内に進入させつつオリフィスプレートと液流路と
を接合することによって、オリフィスプレートの接合圧
接時に接着剤が広がっても凸部が接着剤の流れを阻止す
るため、接着剤が吐出口内面や液流路内面へ流れ込むこ
とを抑えることができ、さらに、液流路内に挿入される
凸部の外周面と液流路内面との隙間に接着剤が流入する
ものの、接着剤は表面張力によって停滞するために、液
流路内部の奥までは進入して行かないようになり、凸部
外周面と液流路内面の隙間部分に停滞した接着剤によっ
て、オリフィスプレートの接合面積が増大して、オリフ
ィスプレート全体の接合強度を向上させることができ
る。

【００８９】また、オリフィスプレート表面は凹部が設
けられ、凹部の最深部に吐出口が配設させるため、記録
媒体が吐出口上を摺擦するのを防止することができ、ま
た、オリフィスプレート表面の凹部は、清掃部材の相対
移動方向において、凹部最深部と凹部以外の同一平面部
とが滑らかな面で繋がるように形成されるため、清掃部
材がオリフィスプレート表面を摺擦して清掃する際に、
インク等の液体を容易にかつ確実に拭き取る（ワイピン
グする）ことができ、オリフィスプレート表面に液体が
滞留したり、拭き残しが生じるようなことがなくなる。

【００９０】さらに、オリフィスプレート表面の凹部以
外の外周領域は同一平面で形成され、キャッピング部材
はこの外周領域に当接されるようになるため、従来のよ
うに前面シール部材等の補助部材を設ける必要がなく、
キャッピングの際の気密性が十分確保されるようにな
る。さらに、凹部以外の外周領域の肉厚を大きくするこ
とにより、オリフィスプレート全体の剛性が増すため、
オリフィスプレートは、接合時に生じる接着剤の硬化収
縮応力に耐え得るようになり、その上、組立て時のハン
ドリング性が良好になり、キャッピングに対する耐圧力
も向上させることができる。

【００９１】また、オリフィスプレート表面の凹部最深
部は最も薄肉厚の領域であり、この領域に多数の吐出口
をレーザ加工することにより、最適な開口面積の吐出口
を容易に精度よく加工形成できるようになる。

【００９２】また、オリフィスプレートを射出成形によ
って形成することにより、安価に製作できる上、多数の
凸部の相対高さ、凸部形状、凸部の配置等を高精度で安
定的に製作できるようになる。さらに、オリフィスプレ
ート全面が非常に滑らかな面で形成されるため、吐出性
能の向上や接合性の向上等、性能面と生産性面の向上が
図れるようになる。

【００９３】さらに、オリフィスプレートを射出成形に
よって形成した後に、オリフィスプレート背面から各凸
部に対応した吐出口をエキシマレーザ加工によって形成
することにより、射出成形とレーザ加工のメリットを効
果的に得ることができる。すなわち、生産性に優れてい
る射出成形と高精度な微細加工に適しているレーザ加工
を効果的に組み合わせることによって、オリフィスプレ
ート上に微細な吐出口群を高精度に形成でき、安価で生
産性に優れたオリフィスプレートを安定供給することが
可能となる。

【００９４】また、オリフィスプレート背面に予め一連
の略長方形状の凸状部を射出成形により形成した後に、
レーザ加工によって一連の略長方形状の凸状部を個別の
凸部群に分断形成するような構成にすれば、略長方形状
の凸状部は金型加工が容易に施せる形状であることか
ら、金型制作費が非常に安価となる。さらに、成形時に
吐出口配列方向に反りが発生しても、レーザ加工による
凸部群の分断加工の際に、略長方形状の凸状部で生じた
反りを補正するように凸部群を形成することができる。
つまり、樹脂の成形収縮に起因するオリフィスプレート
の反りは次工程の補正加工によって改善されるため、凸
部群の向きの相対位置精度を高精度に仕上げることがで
きるようになる。

【００９５】また、オリフィスプレートにおける多数の
吐出口が形成される面が液吐出方向に略垂直に形成され
た面であるために、液体吐出装置に組み込む際に従来の
ようにヘッドを傾斜させて保持する必要がないので、液
体吐出ヘッドを設置するスペースを小さくすることがで
き、スペース効率が良好となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る液体吐出装置の一例を示す概略的
な斜視図である。

【図２】本発明に係る液体吐出ヘッドを前方から見た概
略的な斜視図である。

【図３】本発明に係る液体吐出ヘッドを後方から見た概
略的な斜視図である。

【図４】本発明に係る液体吐出ヘッドの概略的な断面図
である。

【図５】本発明に係る液体吐出ヘッドにおけるオリフィ
スプレートの作製手順を説明するための概略図である。

【図６】本発明に係る液体吐出ヘッドにおける他のオリ
フィスプレートの作製手順を説明するための概略図であ
る。

【図７】従来の液体吐出ヘッドの概略構成を分解して示
す斜視図である。

【図８】従来の液体吐出ヘッドにおける天板にレーザ加
工により吐出口を加工形成する態様を説明するための概
略断面図である。

【符号の説明】

１ 素子基板 １ａ 吐出エネルギー発生素子（発熱素子） ２ 配線基板 ３ 支持基板 ５ 天板 ６ 液流路構成部材 ６ａ 液流路溝 ７ 液流路 ７ａ （液流路）開口面（接合面） ８ 共通液室 ９ 液供給口 １０ オリフィスプレート １０ａ 吐出口 １０ｆ 表面 １０ｇ 背面 １１ 凹部 １１ａ （凹部）最深部 １２ 外周領域 １３ 凸部 １３ａ 凸部上面 ２１ （略長方形状の）凸状部 １００ 液体吐出装置 １０１（ａ、ｂ） 液体吐出ヘッド １０２ カートリッジ １０３ キャリッジ １１０（ａ、ｂ） 液体タンク １１１ ブレード

フロントページの続き Ｆターム(参考） 2C057 AF65 AF93 AG04 AG08 AP02 AP12 AP13 AP23 AP46 AP72 BA05 BA13

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液体に吐出エネルギーを与える吐出エネ
   ルギー発生素子が複数の液流路に対応して設けられた素
   子基板と、前記複数の液流路にそれぞれ対応して形成さ
   れた液流路溝と、前記素子基板の対向面を形成する天板
   と、液体を吐出する複数の吐出口が直線状に配列された
   オリフィスプレートと、前記液流路溝に連通して該液流
   路溝に液体を供給する共通液室と、該共通液室に液体を
   供給する液供給口とから構成され、前記複数の液流路溝
   は前記天板と前記素子基板によって挟持接合されること
   によって複数の液流路を形成し、該液流路一端の開口面
   に対して前記オリフィスプレートを接合させることによ
   って、前記吐出口と前記液流路が連通される液体吐出ヘ
   ッドにおいて、 前記オリフィスプレートの液吐出側表面の吐出口形成領
   域を凹部とし、背面には各吐出口形成部位にそれぞれ凸
   部が形成され、前記複数の吐出口がそれぞれ前記凸部か
   ら表面側凹部の最深部に至るように貫通して穿設された
   オリフィスプレートを、前記背面側の凸部の全域もしく
   はその一部が前記複数の液流路の各々の開口面から該液
   流路内部に進入するようにして、前記液流路一端の開口
   面に接合することを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 【請求項２】 前記オリフィスプレートは、射出成形に
   よって形成されることを特徴とする請求項１記載の液体
   吐出ヘッド。
3. 【請求項３】 前記オリフィスプレートは、射出成形に
   よって形成された後に、該オリフィスプレート背面から
   各凸部に対応した吐出口がレーザ加工によって形成され
   ることを特徴とする請求項１または２記載の液体吐出ヘ
   ッド。
4. 【請求項４】 前記オリフィスプレート背面は、射出成
   形によって予め一連の略長方形状の凸状部が形成され、
   該凸状部はレーザ加工によって個別の凸部に分断形成さ
   れることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項
   に記載の液体吐出ヘッド。
5. 【請求項５】 前記オリフィスプレートにおける吐出口
   が形成される面は、液吐出方向に対し略垂直に形成され
   た平面であることを特徴とする請求項１ないし４のいず
   れか１項に記載の液体吐出ヘッド。
6. 【請求項６】 前記オリフィスプレート表面の凹部以外
   の外周領域は同一平面で形成されていることを特徴とす
   る請求項１ないし５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘ
   ッド。
7. 【請求項７】 前記オリフィスプレート表面の凹部は、
   液吐出口面を清掃する清掃部材の相対移動方向におい
   て、該凹部の最深部と凹部以外の外周領域とが滑らかな
   面もしくは滑らかな曲面で接続されるように形成されて
   いることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項
   に記載の液体吐出ヘッド。
8. 【請求項８】 請求項１ないし７のいずれか１項に記載
   の液体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッドを着脱自在に搭
   載し往復移動可能に設けられたキャリッジと、前記液体
   吐出ヘッドから吐出される液体を付着させることで記録
   がなされる記録媒体を搬送する記録媒体搬送手段とを備
   えていることを特徴とする液体吐出装置。
9. 【請求項９】 請求項８記載の液体吐出装置が、前記液
   体吐出ヘッドの液吐出口面のキャッピングを行うキャッ
   ピング部材を有し、該キャッピング部材は、前記液体吐
   出ヘッドのオリフィスプレートの液吐出側表面の前記凹
   部以外の同一平面に形成された外周領域に当接するよう
   に構成されていることを特徴とする液体吐出装置。