JP2000229406A - 液体吐出ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents

液体吐出ヘッドおよびその製造方法

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JP2000229406A JP3326799A JP3326799A JP2000229406A JP 2000229406 A JP2000229406 A JP 2000229406A JP 3326799 A JP3326799 A JP 3326799A JP 3326799 A JP3326799 A JP 3326799A JP 2000229406 A JP2000229406 A JP 2000229406A
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orifice plate
liquid
flow path
head
orifice
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Hiroaki Mihara
弘明 三原
Toshio Kashino
俊雄 樫野
Shuji Koyama
修司 小山
Takeshi Ikegame
健 池亀
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Canon Inc
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 液体吐出ヘッドの液体吐出動作を安定して良
好に行う。 【解決手段】 液体吐出ヘッドは、オリフィス（吐出
口）４１が設けられたオリフィスプレート４０と、オリ
フィス４１に連通する流路４０１および液室（不図示）
を形成するための溝が一体的に形成された天板４００に
ヒータ１０１が設けられたヒータボード１００を接合す
ることによって構成されるヘッド本体とを有している。
オリフィスプレート４０のヘッド本体に接合される面に
は、オリフィス４１が設けられ流路４０１内に挿入され
る挿入部４５が設けられている。挿入部４５の外形は、
根元部から先端部にかけて広がっていくようなテーパ形
状に形成されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、吐出口（以下、
「オリフィス」ともいう。）から液体を噴射して飛翔液
滴を形成し、被記録媒体に記録を行う液体吐出ヘッドお
よびその製造方法に関する。特に、糸、繊維、布帛、皮
革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス
等の被記録媒体に対して記録を行うプリンタ、複写機、
通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有す
るワードプロセッサ等の装置、さらには各種処理装置と
複合的に組み合わせた産業記録装置に適用される液体吐
出ヘッドおよびその製造方法に関する。
【０００２】なお、本発明における「記録」とは、文字
や図形等の意味を持つ画像を被記録媒体に対して付与す
ることだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を
付与することも意味する。
【０００３】
【従来の技術】従来より、液体吐出ヘッドのオリフィス
から記録液（インク）を吐出することにより記録を行う
いわゆるインクジェット記録装置が、低騒音、高速記録
等の点で優れた記録装置として知られている。このイン
クジェット記録方式についてはこれまでにも様々な方式
が提案され、改良が加えられて商品化されたものもあれ
ば、現在も実用化への努力が続けられているものもあ
る。
【０００４】図６は、従来の液体吐出ヘッドの概略構成
を示す断面図である。
【０００５】従来の液体吐出ヘッドは、インクを吐出す
るための複数のオリフィス１０４１が形成されたオリフ
ィスプレート１０４０と、各オリフィスに連通する流路
１４０１を形成する天板１４００および基板１１００と
によって構成されている。基板１１００は、流路１４０
１の一部に設けられ吐出のためのエネルギーを発生する
エネルギー発生素子（ヒータ）１１０１を有している。
【０００６】オリフィスプレート１０４０に形成される
オリフィス１０４１は微細であるため、このオリフィス
１０４１が液体吐出ヘッドの吐出性能を左右する重要な
要素となっている。すなわち液体吐出ヘッドのオリフィ
スプレート１０４０は、微細なオリフィス１０４１が形
成されるため、加工性が良く、また、インクに直接接触
するために耐インク性が良い等の性能を有する素材で構
成される必要がある。従来、上記の性能を満たす素材と
して、ＳＵＳ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ａｌ等の金属プレートや、
所望の厚み、材料を簡易にしかも安価に得られるポリイ
ミド、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン、ポリ
フェニレンオキサイド、ポリフェニレンサルファイド、
ポリプロピレン等の樹脂フィルム材等が用いられてい
た。
【０００７】一方、近年の記録技術の進歩に伴って、高
速、高精細な記録が要求されるようになりつつあり、こ
のため、オリフィス１０４１はその大きさ（オリフィス
径）が微小で、かつ高密度に形成されるようになってき
た。この結果、オリフィス１０４１の加工法も様々な工
夫がなされており、特に樹脂フィルムを用いる場合に
は、レーザー光は微細加工に適しているため、樹脂フィ
ルムのオリフィス加工にレーザー光が用いられている。
また、金属プレートを用いる場合は、電鋳等の方法によ
ってオリフィス１０４１を形成している。
【０００８】ところが、近年におけるオリフィスピッチ
の高密度化が進む中、微小なオリフィスが開口したオリ
フィスプレート１０４０と、これに対応した流路４０１
とを、互いに隣接するオリフィス１０４１間に隙間が生
じることなく接合することは極めて難しい。このため、
特開平２−２０４０４８号公報等に開示されているよう
に、オリフィスプレートとしてドライフィルム等を用
い、オリフィスプレートを加熱により軟化させた状態で
ヘッド本体接合面に圧着させて、その軟化したオリフィ
スプレートを流路内に入り込ませ、その後、フォトリソ
グラフィ工程またはレーザー加工によってオリフィスを
加工する方法が取られている。
【０００９】液体吐出ヘッドのオリフィスは、その形状
が流路側から吐出口側に向かうほど径が小さくなる、い
わゆるテーパ形状とすることが望ましい。しかしなが
ら、テーパ形状のオリフィスをオリフィスプレートに形
成した後に、接着樹脂を転写法等で塗布し、貼り合わせ
て硬化させると、接着樹脂がオリフィス内部に進入し、
オリフィス内部の形状がテーパ形状から変形してしま
い、吐出方向にばらつきが生じる等の不具合がある。
【００１０】このため、特開平５−３３００６１号公報
等に開示されているように、流路およびオリフィス内部
に接着樹脂が入り込まないように、オリフィスプレート
のオリフィス近傍に段差加工を施す方法も取られてい
る。
【００１１】また、オリフィスが開口されたオリフィス
プレートをヘッド本体接合面に接着する場合には、接着
樹脂の硬化収縮によって、硬化時に両者間の位置ずれが
起きてしまう。このため、特開平２−７８５６０号公報
等に示されているように、接合に用いる材料の硬化収縮
による影響を防ぐために、オリフィスプレートの接合面
に凹凸を形成する方法も取られている。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記に
説明した従来の液体吐出ヘッドでは、以下に説明する種
々の問題点があった。
【００１３】まず、オリフィスプレートをヘッド本体に
接合するときに、軟化した樹脂を流路内に入り込ませる
場合、流路への樹脂の入り込み量の制御が困難であると
いう点が問題であった。オリフィス径が微小で、かつ高
密度に形成されるようになると、流路内に入り込んだ樹
脂の量が吐出性能に大きく影響し、ノズル毎の吐出量に
ばらつきが生じてしまう。
【００１４】また、オリフィスの高密度化およびフェイ
ス面の回復操作等に伴い、オリフィス間の距離が狭くな
り、接着樹脂がオリフィス内部に侵入するのを防ぐため
にオリフィス近傍に段差加工を施すと、オリフィス近傍
の接着力が弱くなり、液体吐出ヘッドの耐久性に不具合
が生じてしまうという点が問題であった。
【００１５】オリフィスプレートに樹脂フィルムを用い
た場合、レーザー光はオリフィス加工などの微細加工に
適している。しかし、オリフィスプレートを貼りあわせ
た後にレーザー加工を施すと、レーザー加工のアブレー
ションによって生じるカーボン等のごみがノズル内に侵
入し、オリフィス詰まりもしくはヒータ上への固着が生
じ、吐出不良の原因になるという問題もあった。
【００１６】そこで本発明は、オリフィスプレートの接
着を行う際に接着樹脂が流路やオリフィス内へ進入する
ことを防ぎ、オリフィスプレートとヘッド本体との接着
力を向上させ、さらにオリフィスプレートとヘッド本体
との間に位置ずれが発生することを防止し、液体吐出動
作を安定して良好に行うことができる液体吐出ヘッドお
よびその製造方法を提供することを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の液体吐出ヘッドは、液体を吐出するための
吐出口が設けられたオリフィスプレートが接合され、前
記吐出口に前記液体を供給するために前記吐出口に連通
される流路および該流路に充填された前記液体に吐出エ
ネルギーを与える吐出エネルギー発生素子が備えられた
ヘッド本体を有し、前記オリフィスプレートの前記ヘッ
ド本体に接合される面には、前記吐出口を備え前記流路
内に挿入される挿入部が設けられている液体吐出ヘッド
において、前記挿入部の外形が根元部から先端部にかけ
て広がっていくような形状に形成されていることを特徴
とする。
【００１８】上記のように構成された本発明の液体吐出
ヘッドによれば、流路内に挿入された挿入部の根元部と
流路の内面との間に接着樹脂が充填されるため、オリフ
ィスプレートとヘッド本体とのオリフィス近傍における
接着強度が向上する。加えて、オリフィスプレートの線
膨張率の方がヘッド本体の線膨張率よりも大きい場合で
あっても、接着樹脂の熱硬化工程時に挿入部が膨張して
挿入部がヘッド本体の流路から抜ける方向に力が作用す
ることがないので、オリフィスプレートとヘッド本体と
の線膨張率の違いによって接着工程時に両者間に位置ず
れが発生することを防止することが可能となる。
【００１９】さらに、前記挿入部の先端部の少なくとも
一部が前記流路の内面に接触するように構成することに
より、挿入部の先端を流路の壁面に接触させたままの状
態で、挿入部を流路内に挿入することが可能となり、そ
の結果、オリフィスプレートの接合工程時に接着樹脂が
オリフィスおよび流路内に進入することが防止される。
【００２０】また、前記ヘッド本体の前記オリフィスプ
レートが接合される面における前記流路の開口部に、面
取り部が設けられている構成とすることにより、挿入部
の先端が流路のエッジ部分にかかっても、オリフィスプ
レートを押し込むことによって挿入部がスムーズに流路
内に挿入される。
【００２１】さらに、前記オリフィスプレートには前記
吐出口が複数設けられ、前記ヘッド本体には前記各吐出
口にそれぞれ連通される前記流路が複数設けられている
とともに、前記吐出エネルギー発生素子が前記各流路の
それぞれに対応して複数設けられている構成としてもよ
い。
【００２２】さらには、前記オリフィスプレートが樹
脂、シリコン、セラミックスもしくは金属の材料からな
る構成としてもよい。
【００２３】また、本発明の液体吐出ヘッドの製造方法
は、液体を吐出するための吐出口が設けられたオリフィ
スプレートが接合され、前記吐出口に前記液体を供給す
るために前記吐出口に連通される流路および該流路に充
填された前記液体に吐出エネルギーを与える吐出エネル
ギー発生素子が備えられたヘッド本体を有し、前記オリ
フィスプレートの前記ヘッド本体に接合される面には、
前記吐出口が設けられ前記流路内に挿入される挿入部が
設けられている液体吐出ヘッドの製造方法において、前
記挿入部の外形を根元部から先端部にかけて広がってい
くような形状に形成する工程と、前記挿入部を前記流路
内に挿入する工程とを有することを特徴とする。
【００２４】上記本発明によれば、オリフィスプレート
とヘッド本体とのオリフィス近傍における接着強度が向
上し、加えて、オリフィスプレートとヘッド本体との線
膨張率の違いによって接着工程時に両者間に位置ずれが
発生することを防止することが可能な液体吐出ヘッドが
製造される。
【００２５】さらに、前記挿入部の外形を根元部から先
端部にかけて広がっていくような形状に形成する工程
を、レーザー加工プロセスによって行う構成としてもよ
い。
【００２６】あるいは、前記挿入部の外形を根元部から
先端部にかけて広がっていくような形状に形成する工程
を、フォトリソグラフィープロセスによって行う構成と
してもよい。
【００２７】あるいは、前記挿入部の外形を根元部から
先端部にかけて広がっていくような形状に形成する工程
を、型を用いた押圧成型によって行う構成としてもよ
い。
【００２８】また、前記オリフィスプレートと前記ヘッ
ド本体とを、所定の波長の光を照射することあるいは加
熱処理を行うことによりＢステージ化される接着樹脂を
用いて接合させる構成としてもよい。
【００２９】さらに、前記所定の波長の光は紫外線光も
しくは赤外線光である構成としてもよい。
【００３０】さらには、前記接着樹脂として、熱硬化性
および光硬化性の少なくとも一方の性質を有するエポキ
シ系樹脂を用いる構成としてもよい。
【００３１】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施形態について
図面を参照して説明する。
【００３２】（第１の実施形態）図１は、本発明の液体
吐出ヘッドの第１の実施形態の概略構成を示す断面図で
ある。
【００３３】図１に示すように、本実施形態の液体吐出
ヘッドは、流路４０１および液室（不図示）を形成する
ための溝が一体的に形成された天板４００と、基板（ヒ
ータボード）１００とを接合することによって構成され
るヘッド本体を備えている。この接合によって、ヘッド
本体に流路４０１が形成されている。ヒータボード１０
０は、吐出エネルギーを発生するためのエネルギー発生
素子（ヒータ）１０１およびこれに電気信号を供給する
ためのＡｌ配線（不図示）が成膜技術によってＳｉ基板
上に形成されることによって成る。
【００３４】ヘッド本体の、流路４０１の開口が配設さ
れている開口配設面（以下、「ヘッド本体接合面」とい
う。）４４には、オリフィスプレート４０が接着樹脂４
２によって接合されている。オリフィスプレート４０に
は、インクを吐出するための複数のオリフィス（吐出
口）４１が形成されている。各オリフィス４１は、対応
する流路４０１にそれぞれ連通するように配置されてい
る。さらに、本実施形態では、オリフィスプレート４０
のヘッド本体に接合される面に、各オリフィス４１を含
む部分を流路４０１に挿入させるための挿入部４５が設
けられている。挿入部４５の外形は、根元部から先端部
にかけて広がっていくような形状に形成されている。
【００３５】なお、オリフィスプレート４０の素材とし
ては、ＳＵＳ、Ｎｉ等からなる金属フィルム、または耐
インク性の優れたプラスチックフィルム、例えば、ポリ
イミド、ポリサルフォン（ＰＳＦ）、ポリエーテルサル
フォン、ポリフェニレンオキサイド、ポリフェニレンサ
ルファイド、ポリプロピレン等の樹脂フィルム材を用い
ることが望ましい。あるいは、オリフィスプレート４０
をシリコン（Ｓｉ）やセラミックスによって形成しても
よい。本実施形態では、厚さが５０μｍのＰＳＦフィル
ムを用いてオリフィスプレート４０が構成されている。
【００３６】また、本実施形態では、ヘッド本体におけ
る流路４０１の開口部のエッジに、面取り部４３が設け
られている。さらに、本実施形態では、ヘッド本体にオ
リフィスプレート４０を接合させるための接着樹脂４２
として、ＵＶ（紫外線）照射、赤外線照射もしくは加熱
処理によって硬化する、光硬化性および熱硬化性の少な
くともいずれか一方の性質を有するエポキシ系の樹脂が
用いられている。
【００３７】図２は、図１に示したオリフィスプレート
の加工に用いられる加工装置を示す概略構成図である。
【００３８】図２において、符号１０は波長２４８ｎｍ
のＫｒＦエキシマレーザー光１２を出射するエキシマレ
ーザー光源、符号１１はエキシマレーザー光源１０から
出射されたレーザービーム１２を集光するためのレン
ズ、符号１３はエキシマレーザー光源１０とオリフィス
プレート４０との間に配置され、オリフィスプレート４
０に形成されるオリフィスのパターンが形成されたマス
ク、符号４０は挿入部４５およびオリフィス４１（共に
図１参照）が形成されるオリフィスプレートである。
【００３９】図３は、図１に示したオリフィスプレート
の加工工程を示す図である。
【００４０】オリフィスプレート４０の加工工程は、図
２に示した加工装置を用いて、まず最初に、オリフィス
プレート基材４８のヘッド本体との接合面となる面にレ
ーザー光１２を照射して（図３（ａ）参照）、オリフィ
スプレート４０の挿入部４５以外の部分を、各挿入部４
５の先端からの深さが１０μｍとなるように加工し、ヘ
ッド本体との接合面を形成する（同図（ｂ）参照）。
【００４１】次に、オリフィスプレート４０のヘッド本
体との接合面側からエキシマレーザー光１２を照射し、
各挿入部４５にオリフィス４１を形成する（同図（ｃ）
参照）。
【００４２】以上により、図１に示したオリフィスプレ
ート４０がレーザー加工によって形成される。なお、本
実施形態では、オリフィスプレート４０のヘッド本体と
の接合面に、複数の挿入部４５が６００ｄｐｉ相当の間
隔で直線的に並ぶように形成されている。
【００４３】次に、図４を参照して、液体吐出ヘッドの
組立工程を説明する。図４は、図１に示した液体吐出ヘ
ッドの組立工程を示す図である。
【００４４】図４（ａ）に示すように、液体吐出ヘッド
の組立工程では、まず、エポキシ系の接着樹脂を樹脂シ
ートあるいはゴムシート（いずれも不図示）の上に均一
に塗布し、ヘッド本体におけるオリフィスプレート４０
との接着面（ヘッド本体接合面４４）に、シート上の接
着樹脂を転写させる。続いて、このようにしてヘッド本
体接合面４４に塗布された接着樹脂４２に紫外線を照射
してＢステージ化を行い、接着樹脂４２の硬化収縮を終
了させる。
【００４５】次に、同図（ｂ）に示すように、素子基板
１００および天板４００からなるヘッド本体の流路４０
１に、オリフィスプレート４０におけるオリフィス４１
の周辺に設けられた挿入部４５を挿入させる。
【００４６】このとき、流路４０１のエッジ部分には面
取り部４３（同図（ａ）参照）が形成されているため
に、挿入部４５の先端が流路４０１のエッジ部分にかか
っても、オリフィスプレート４０を押し込むことによっ
て挿入部４５がスムーズに流路４０１内に挿入される。
したがって、挿入部４５の先端を流路４０１の内面に接
触させたままの状態で、挿入部４５を流路４０１内に挿
入することができる。これにより、オリフィスプレート
４０の接合工程時に接着樹脂４２がオリフィス４１内お
よび流路４０１内に進入することが防止される。
【００４７】最後に、同図（ｃ）に示すように、オリフ
ィスプレート４０を１ｋｇ／ｃｍ2の荷重でヘッド本体
に対して押圧することにより、オリフィスプレート４０
をヘッド本体に圧着させ、その状態を保持したまま６０
℃に加熱し、接着樹脂４２を硬化させる。
【００４８】以上の工程により、本実施形態の液体吐出
ヘッドが組み立てられる。
【００４９】本実施形態の液体吐出ヘッドは、オリフィ
ス４１を含む挿入部４５が流路４０１の内部に挿入され
ており、さらに挿入部４５の先端部が流路４０１の内面
に接触しているので、流路４０１からオリフィス４１へ
の液体（インク）の流れによどみが出来にくく、安定し
て良好な液体吐出動作を実現することができる。
【００５０】また、本実施形態では、オリフィスプレー
ト４０に設けられた挿入部４５の外形が、根元部から先
端部にかけて広がっていくような形状に形成されてい
る。そのため、流路４０１内に挿入された挿入部４５の
根元部と流路４０１の内面との間に接着樹脂４２が充填
されるため、オリフィスプレート４０とヘッド本体との
オリフィス４１近傍における接着強度を向上させること
ができる。加えて、オリフィスプレート４０の線膨張率
の方がヘッド本体の線膨張率よりも大きい場合であって
も、接着樹脂４２の熱硬化工程時に挿入部４５が膨張し
て挿入部４５がヘッド本体の流路４０１から抜ける方向
に力が作用することがないので、オリフィスプレート４
０とヘッド本体との線膨張率の違いによって接着工程時
に両者間に位置ずれが発生することを防ぐことができ
る。したがって、本実施形態の液体吐出ヘッドは、液体
吐出動作を安定して良好に行うことが可能になる。
【００５１】接着樹脂４２の硬化が終了した液体吐出ヘ
ッドを用いて印字を行ったところ、印字にヨレやムラが
発生せず、またオリフィスプレート４０がヘッド本体か
ら剥がれることもなく、良好な印字が得られた。更に、
液体吐出ヘッドを分解して観察したところ、オリフィス
４１内および流路４０１内に接着樹脂４２等の異物は存
在していなかった。
【００５２】なお、本実施形態では、接着樹脂４２に紫
外線を照射して接着樹脂４２をＢステージ化させる例を
挙げて説明したが、接着樹脂４２には、紫外線の他にも
赤外線等の所定の波長の光を照射することによってＢス
テージ化される樹脂を用いてもよい。あるいは、接着樹
脂４２には、加熱処理を行うことによってＢステージ化
される樹脂を用いてもよい。
【００５３】（第２の実施形態）図５は、本発明の液体
吐出ヘッドの第２の実施形態におけるオリフィスプレー
トの加工工程を示す図である。
【００５４】本実施形態におけるオリフィスプレート１
４０の加工工程は、まず最初に、ポリサルフォンシート
からなるオリフィスプレート基材１４８の、ヘッド本体
との接合面となる面に、耐インク性の優れたネガタイプ
の感光性樹脂１４６をラミネートする。続いて、感光性
樹脂１４６に挿入部１４５を形成するためのパターンを
有するレジスト１４７を、感光性樹脂１４６上に塗布す
る（図５（ａ）参照）。
【００５５】次に、オリフィスプレート１４０にレーザ
ー光１１２を照射し（同図（ｂ）参照）、露光・現像工
程によって感光性樹脂１４６に挿入部１４５を形成す
る。
【００５６】次に、オリフィスプレート１４０のヘッド
本体との接合面側からエキシマレーザー光１１２を照射
し、各挿入部１４５にオリフィス１４１を一つずつ形成
する（同図（ｃ）参照）。このとき、オリフィス１４１
の形成は、図２に示した加工装置を用いて、波長２４８
ｎｍのＫｒＦエキシマレーザー光を照射させることによ
って行う。以上により、本実施形態におけるオリフィス
プレート１４０がフォトリソグラフィプロセスによって
形成される。
【００５７】上記のようにして形成されたオリフィスプ
レート１４０は、図４を参照して説明した組立工程と同
じ工程によって、ヘッド本体に接合される。
【００５８】本実施形態の液体吐出ヘッドも、第１の実
施形態と同様に、オリフィス１４１を含む挿入部１４５
が流路（不図示）の内部に挿入され、さらに挿入部１４
５の先端部が流路の内面に接触されるので、流路からオ
リフィス１４１への液体（インク）の流れによどみが出
来にくく、安定して良好な液体吐出動作を実現すること
ができる。
【００５９】また、本実施形態においても、挿入部１４
５の外形が根元部から先端部にかけて広がっていくよう
な形状に形成されているので、流路内に挿入された挿入
部１４５の根元部と流路の内面との間に接着樹脂（不図
示）が充填されるため、オリフィスプレート１４０とヘ
ッド本体とのオリフィス１４１近傍における接着強度を
向上させることができ、加えて、オリフィスプレート１
４０とヘッド本体との線膨張率の違いによって接着工程
時に両者間に位置ずれが発生することを防ぐことができ
る。
【００６０】上記の各実施形態においては、オリフィス
プレート４０，１４０をレーザー加工プロセスあるいは
フォトリソグラフィプロセスで形成する例を説明した
が、本発明に係るオリフィスプレートは、それらの他に
も、例えば型を用いた押圧成型によって形成してもよ
い。
【００６１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
オリフィスプレートに設けられた、吐出口を備え流路内
に挿入される挿入部の外形が、根元部から先端部にかけ
て広がっていくような形状に形成されるので、オリフィ
スプレートとヘッド本体とのオリフィス近傍における接
着強度が向上し、加えて、オリフィスプレートとヘッド
本体との線膨張率の違いによって接着工程時に両者間に
位置ずれが発生することが防止され、その結果として、
液体吐出動作を安定して良好に行うことが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の液体吐出ヘッドの第１の実施形態の概
略構成を示す断面図である。
【図２】図１に示したオリフィスプレートの加工に用い
られる加工装置を示す概略構成図である。
【図３】図１に示したオリフィスプレートの加工工程を
示す図である。
【図４】図１に示した液体吐出ヘッドの組立工程を示す
図である。
【図５】本発明の液体吐出ヘッドの第２の実施形態にお
けるオリフィスプレートの加工工程を示す図である。
【図６】従来の液体吐出ヘッドの概略構成を示す断面図
である。
【符号の説明】
１０ エキシマレーザー光源 １１ レンズ １２ レーザー光 １３ マスク ４０，１４０ オリフィスプレート ４１，１４１ オリフィス ４２ 接着樹脂 ４３ 面取り部 ４４ ヘッド本体接合面 ４５，１４５ 挿入部 ４８，１４８ オリフィスプレート基材 １００ ヒータボード １０１ ヒータ １４６ 感光性樹脂 １４７ レジスト ４００ 天板 ４０１ 流路
フロントページの続き (72)発明者 小山 修司 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 池亀 健 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 Ｆターム(参考） 2C057 AF23 AF65 AF72 AG04 AG12 AG46 AP02 AP13 AP23 AP25 AP31 AP45 AP72 AQ03 BA05 BA13

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 液体を吐出するための吐出口が設けられ
    たオリフィスプレートが接合され、前記吐出口に前記液
    体を供給するために前記吐出口に連通される流路および
    該流路に充填された前記液体に吐出エネルギーを与える
    吐出エネルギー発生素子が備えられたヘッド本体を有
    し、前記オリフィスプレートの前記ヘッド本体に接合さ
    れる面には、前記吐出口を備え前記流路内に挿入される
    挿入部が設けられている液体吐出ヘッドにおいて、 前記挿入部の外形が根元部から先端部にかけて広がって
    いくような形状に形成されていることを特徴とする液体
    吐出ヘッド。
  2. 【請求項２】 前記挿入部の先端部の少なくとも一部が
    前記流路の内面に接触するように構成されている請求項
    １に記載の液体吐出ヘッド。
  3. 【請求項３】 前記ヘッド本体の前記オリフィスプレー
    トが接合される面における前記流路の開口部に、面取り
    部が設けられている請求項１または２に記載の液体吐出
    ヘッド。
  4. 【請求項４】 前記オリフィスプレートには前記吐出口
    が複数設けられ、前記ヘッド本体には前記各吐出口にそ
    れぞれ連通される前記流路が複数設けられているととも
    に、前記吐出エネルギー発生素子が前記各流路のそれぞ
    れに対応して複数設けられている請求項１から３のいず
    れか１項に記載の液体吐出ヘッド。
  5. 【請求項５】 前記オリフィスプレートが樹脂、シリコ
    ン、セラミックスもしくは金属の材料からなる請求項１
    から４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
  6. 【請求項６】 液体を吐出するための吐出口が設けられ
    たオリフィスプレートが接合され、前記吐出口に前記液
    体を供給するために前記吐出口に連通される流路および
    該流路に充填された前記液体に吐出エネルギーを与える
    吐出エネルギー発生素子が備えられたヘッド本体を有
    し、前記オリフィスプレートの前記ヘッド本体に接合さ
    れる面には、前記吐出口が設けられ前記流路内に挿入さ
    れる挿入部が設けられている液体吐出ヘッドの製造方法
    において、 前記挿入部の外形を根元部から先端部にかけて広がって
    いくような形状に形成する工程と、 前記挿入部を前記流路内に挿入する工程とを有すること
    を特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
  7. 【請求項７】 前記挿入部の外形を根元部から先端部に
    かけて広がっていくような形状に形成する工程を、レー
    ザー加工プロセスによって行う請求項６に記載の液体吐
    出ヘッドの製造方法。
  8. 【請求項８】 前記挿入部の外形を根元部から先端部に
    かけて広がっていくような形状に形成する工程を、フォ
    トリソグラフィープロセスによって行う請求項６に記載
    の液体吐出ヘッドの製造方法。
  9. 【請求項９】 前記挿入部の外形を根元部から先端部に
    かけて広がっていくような形状に形成する工程を、型を
    用いた押圧成型によって行う請求項６に記載の液体吐出
    ヘッドの製造方法。
  10. 【請求項１０】 前記オリフィスプレートと前記ヘッド
    本体とを、所定の波長の光を照射することあるいは加熱
    処理を行うことによりＢステージ化される接着樹脂を用
    いて接合させる請求項６から９のいずれか１項に記載の
    液体吐出ヘッドの製造方法。
  11. 【請求項１１】 前記所定の波長の光は紫外線光もしく
    は赤外線光である請求項１０に記載の液体吐出ヘッドの
    製造方法。
  12. 【請求項１２】 前記接着樹脂として、熱硬化性および
    光硬化性の少なくとも一方の性質を有するエポキシ系樹
    脂を用いる請求項１０または１１に記載の液体吐出ヘッ
    ドの製造方法。
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