JP2001071512A - 液体吐出ヘッドの製造方法、液体吐出ヘッド、及び吐出口プレートの製造方法 - Google Patents
液体吐出ヘッドの製造方法、液体吐出ヘッド、及び吐出口プレートの製造方法Info
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- JP2001071512A JP2001071512A JP2000033609A JP2000033609A JP2001071512A JP 2001071512 A JP2001071512 A JP 2001071512A JP 2000033609 A JP2000033609 A JP 2000033609A JP 2000033609 A JP2000033609 A JP 2000033609A JP 2001071512 A JP2001071512 A JP 2001071512A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 流路を有するヘッド本体に、吐出口が形成さ
れたオリフィスプレートを接合する際の作業性が良好
で、ヘッド性能を低下させるおそれのない液体吐出ヘッ
ド及びその製造方法を提供する。 【解決手段】 オリフィスプレート４０のフェイス面に
平面基準部材１４をラミネートしておき、ヘッド本体４
６の流路６１にオリフィスプレート４０の凸部４５を進
入させながらラミネート層１４に荷重を加えて、オリフ
ィスプレート４０を接着剤によりヘッド本体４６と接合
する。
れたオリフィスプレートを接合する際の作業性が良好
で、ヘッド性能を低下させるおそれのない液体吐出ヘッ
ド及びその製造方法を提供する。 【解決手段】 オリフィスプレート４０のフェイス面に
平面基準部材１４をラミネートしておき、ヘッド本体４
６の流路６１にオリフィスプレート４０の凸部４５を進
入させながらラミネート層１４に荷重を加えて、オリフ
ィスプレート４０を接着剤によりヘッド本体４６と接合
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液体を飛翔液滴と
して噴射して液滴を被記録媒体に付着させることにより
記録を行う液体吐出ヘッド及びその製造方法、並びに液
体吐出装置に関する。
して噴射して液滴を被記録媒体に付着させることにより
記録を行う液体吐出ヘッド及びその製造方法、並びに液
体吐出装置に関する。
【０００２】また本発明は、紙、糸、繊維、布帛、皮
革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス
等の被記録媒体に対して記録を行う、プリンタ、複写
機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を
有するワードプロセッサ等の装置、さらには各種処理装
置と複合的に組み合わせた産業記録装置に適用できる液
体吐出ヘッド及びその製造方法、並びに液体吐出装置に
関する。本発明における『記録』とは、文字や図形など
意味を持つ画像を被記録媒体に形成することだけでな
く、パターン等の意味を持たない画像を被記録材に形成
することも意味する。
革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス
等の被記録媒体に対して記録を行う、プリンタ、複写
機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を
有するワードプロセッサ等の装置、さらには各種処理装
置と複合的に組み合わせた産業記録装置に適用できる液
体吐出ヘッド及びその製造方法、並びに液体吐出装置に
関する。本発明における『記録』とは、文字や図形など
意味を持つ画像を被記録媒体に形成することだけでな
く、パターン等の意味を持たない画像を被記録材に形成
することも意味する。
【０００３】
【従来の技術】従来より、液体吐出ヘッドに形成された
オリフィスから記録液としてのインクを吐出することに
より記録を行うインクジェット記録装置が、低騒音、高
速記録などの点で優れた記録装置として知られている。
このインクジェット記録装置については、近年の記録技
術の進歩に伴って、高速、高精細な記録が要求されるよ
うになりつつあり、このため、吐出口の大きさ（オリフ
ィス径）が微小になり、かつ吐出口が高密度に形成され
るようになってきた。
オリフィスから記録液としてのインクを吐出することに
より記録を行うインクジェット記録装置が、低騒音、高
速記録などの点で優れた記録装置として知られている。
このインクジェット記録装置については、近年の記録技
術の進歩に伴って、高速、高精細な記録が要求されるよ
うになりつつあり、このため、吐出口の大きさ（オリフ
ィス径）が微小になり、かつ吐出口が高密度に形成され
るようになってきた。
【０００４】図３７は、従来のインクジェット記録装置
に用いられる液体吐出ヘッドの一例を示す図であり、
（ａ）は概観斜視図、（ｂ）は流路方向の断面図であ
る。
に用いられる液体吐出ヘッドの一例を示す図であり、
（ａ）は概観斜視図、（ｂ）は流路方向の断面図であ
る。
【０００５】本従来例は図３７に示すように、インクを
吐出する複数のオリフィス１０１を有するオリフィスプ
レート１０２と、接着剤１０６によってオリフィスプレ
ート１０２と接合され、オリフィス１０１から吐出され
るインクを供給するヘッドユニット１１０とから構成さ
れており、ヘッドユニット１１０は、オリフィス１０１
に連通し、オリフィス１０１から吐出されるインクを供
給する流路１１２と、流路１１２を形成する天板１１１
と、流路１１２に供給されるインクをオリフィス１０１
から吐出するためのエネルギーを発生させるエネルギー
発生素子１１４を有し、天板１１１とともに流路１１２
を形成する基板１１３とから構成されいる。
吐出する複数のオリフィス１０１を有するオリフィスプ
レート１０２と、接着剤１０６によってオリフィスプレ
ート１０２と接合され、オリフィス１０１から吐出され
るインクを供給するヘッドユニット１１０とから構成さ
れており、ヘッドユニット１１０は、オリフィス１０１
に連通し、オリフィス１０１から吐出されるインクを供
給する流路１１２と、流路１１２を形成する天板１１１
と、流路１１２に供給されるインクをオリフィス１０１
から吐出するためのエネルギーを発生させるエネルギー
発生素子１１４を有し、天板１１１とともに流路１１２
を形成する基板１１３とから構成されいる。
【０００６】ここで、オリフィスプレート１０２におい
ては、インクを吐出するための微細なオリフィス１０１
が設けられているが、このオリフィス１０１が液体吐出
ヘッドの吐出性能を左右する重要な要素となっているた
め、加工性に優れ、また、インクに直接接触するために
耐インク性に優れている等の性能を満たすことが必要と
されている。
ては、インクを吐出するための微細なオリフィス１０１
が設けられているが、このオリフィス１０１が液体吐出
ヘッドの吐出性能を左右する重要な要素となっているた
め、加工性に優れ、また、インクに直接接触するために
耐インク性に優れている等の性能を満たすことが必要と
されている。
【０００７】従来、上述したような性能を満たすオリフ
ィスプレートの材料として、ＳＵＳ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ａｌ
等の金属プレートや、所望の厚みがあり、また、簡易に
しかも安価に得られるポリイミド、ポリサルフォン、ポ
リエーテルサルフォン、ポリフェニレンオキサイド、ポ
リフェニレンサルファイド、ポリプロピレン、ポリエー
テルエーテルケトン等の樹脂フィルム材等が挙げられ
る。オリフィスプレートの材料として金属プレートを用
いる場合、電鋳等の方法でオリフィスを形成する方法が
一般的に用いられている。オリフィスプレートの材料と
して樹脂フィルムを用いる場合、その樹脂フィルムにエ
キシマレーザのアブレーションによる微細加工でオリフ
ィスを形成する方法が一般的に用いられている。
ィスプレートの材料として、ＳＵＳ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ａｌ
等の金属プレートや、所望の厚みがあり、また、簡易に
しかも安価に得られるポリイミド、ポリサルフォン、ポ
リエーテルサルフォン、ポリフェニレンオキサイド、ポ
リフェニレンサルファイド、ポリプロピレン、ポリエー
テルエーテルケトン等の樹脂フィルム材等が挙げられ
る。オリフィスプレートの材料として金属プレートを用
いる場合、電鋳等の方法でオリフィスを形成する方法が
一般的に用いられている。オリフィスプレートの材料と
して樹脂フィルムを用いる場合、その樹脂フィルムにエ
キシマレーザのアブレーションによる微細加工でオリフ
ィスを形成する方法が一般的に用いられている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、オリフ
ィスプレートをヘッド本体に接合する際に、微細な吐出
口を、吐出口と連通させる流路と隙間なく接続すること
は極めて難しい。特に、樹脂フィルムからなるオリフィ
スプレートをヘッド本体と接合する場合、オリフィスプ
レートの可撓性により、オリフィスプレートが撓んだ状
態で固定されてしまうことがある。この場合、オリフィ
スプレートに形成されている複数の吐出口の方向がばら
ついてしまうので製品不良になる。また、フィルム樹脂
表面に撥水層を設けた場合にはハンドリング時に撥水層
を傷つけてしまう心配もあった。そのため、オリフィス
プレートの接合作業時のハンドリングに注意を必要とし
ていた。
ィスプレートをヘッド本体に接合する際に、微細な吐出
口を、吐出口と連通させる流路と隙間なく接続すること
は極めて難しい。特に、樹脂フィルムからなるオリフィ
スプレートをヘッド本体と接合する場合、オリフィスプ
レートの可撓性により、オリフィスプレートが撓んだ状
態で固定されてしまうことがある。この場合、オリフィ
スプレートに形成されている複数の吐出口の方向がばら
ついてしまうので製品不良になる。また、フィルム樹脂
表面に撥水層を設けた場合にはハンドリング時に撥水層
を傷つけてしまう心配もあった。そのため、オリフィス
プレートの接合作業時のハンドリングに注意を必要とし
ていた。
【０００９】さらに、近年、急速に高まりつつあるカラ
ー画像形成、特に、写真調のカラー画像形成において
は、高密度で微量のインク滴を被記録媒体上の所望の位
置に正確に着弾させる必要があるため、例えば、イエロ
ー、シアン、マゼンタ、ブラックの４色のカラーのヘッ
ドユニットの相互の位置関係が極めて重要になる。
ー画像形成、特に、写真調のカラー画像形成において
は、高密度で微量のインク滴を被記録媒体上の所望の位
置に正確に着弾させる必要があるため、例えば、イエロ
ー、シアン、マゼンタ、ブラックの４色のカラーのヘッ
ドユニットの相互の位置関係が極めて重要になる。
【００１０】図３８は、カラー画像形成可能な従来のイ
ンクジェット記録装置に用いられる液体吐出ヘッドの一
構成例を示す概観斜視図である。カラー画像形成可能な
従来のインクジェット記録装置は図３８に示すように、
複数のカラー毎にオリフィスプレート２０２ａ〜２０２
ｄ及びヘッドユニット２１０ａ〜２１０ｄからなる液体
吐出ヘッドが設けられており、それらのヘッドユニット
２１０ａ〜２１０ｄが枠体２３０の予め決められた位置
に設置されている。
ンクジェット記録装置に用いられる液体吐出ヘッドの一
構成例を示す概観斜視図である。カラー画像形成可能な
従来のインクジェット記録装置は図３８に示すように、
複数のカラー毎にオリフィスプレート２０２ａ〜２０２
ｄ及びヘッドユニット２１０ａ〜２１０ｄからなる液体
吐出ヘッドが設けられており、それらのヘッドユニット
２１０ａ〜２１０ｄが枠体２３０の予め決められた位置
に設置されている。
【００１１】ここで、このヘッドユニット２１０ａ〜２
１０ｄの相互間の位置精度を高める手法として、上記各
色のヘッドユニット２１０ａ〜２１０ｄの吐出口の位置
を画像処理を用いて予め認識し、その後、その認識した
吐出口の位置を枠体２３０におけるプリンタ本体との位
置決め基準からオフセットさせ、各色のヘッドユニット
２１０ａ〜２１０ｄを枠体２３０に接合接着する方法等
が採られている。
１０ｄの相互間の位置精度を高める手法として、上記各
色のヘッドユニット２１０ａ〜２１０ｄの吐出口の位置
を画像処理を用いて予め認識し、その後、その認識した
吐出口の位置を枠体２３０におけるプリンタ本体との位
置決め基準からオフセットさせ、各色のヘッドユニット
２１０ａ〜２１０ｄを枠体２３０に接合接着する方法等
が採られている。
【００１２】以下に、上述した液体吐出ヘッドの製造方
法について説明する。まず、シリコン基板上に、流路壁
及び吐出エネルギー発生素子として電気熱変換素子を配
置し、これに例えば、シリコン基板よりなる天板を接合
する。次に、流路の位置を調整する等のためにダイヤモ
ンドブレードを用いて、各色毎のヘッドユニットを切断
し、オリフィスプレートをエポキシ樹脂等の接着剤で接
合する。
法について説明する。まず、シリコン基板上に、流路壁
及び吐出エネルギー発生素子として電気熱変換素子を配
置し、これに例えば、シリコン基板よりなる天板を接合
する。次に、流路の位置を調整する等のためにダイヤモ
ンドブレードを用いて、各色毎のヘッドユニットを切断
し、オリフィスプレートをエポキシ樹脂等の接着剤で接
合する。
【００１３】次に、オリフィスプレートが接合されたヘ
ッドユニットの吐出口の位置を画像処理を用いて認識
し、枠体に予め設けられた位置決め基準に対してオフセ
ット値を加えてヘッドユニットと枠体を接合接着する。
このようにして、４色のヘッドユニット間の相互位置関
係が決められている。
ッドユニットの吐出口の位置を画像処理を用いて認識
し、枠体に予め設けられた位置決め基準に対してオフセ
ット値を加えてヘッドユニットと枠体を接合接着する。
このようにして、４色のヘッドユニット間の相互位置関
係が決められている。
【００１４】しかしながら、上述したような従来の製造
方法を用いて作製された液体吐出ヘッドにおいては、各
色のヘッドユニットの相互関係が１２００ｄｐｉ−１４
４０ｄｐｉ、さらには、２４００ｄｐｉとなるような高
解像度を有する最近のインクジェット記録装置において
着弾精度を維持することが難しいという問題点がある。
例えば、４色構成の液体吐出ヘッドを製造する場合、各
色のヘッドユニットの相互間の位置に関して、図３７
（ａ）に示すように、Ｘ、Ｙ、Ｚ、θx、θy、θ zの６
軸を制御する必要がある。
方法を用いて作製された液体吐出ヘッドにおいては、各
色のヘッドユニットの相互関係が１２００ｄｐｉ−１４
４０ｄｐｉ、さらには、２４００ｄｐｉとなるような高
解像度を有する最近のインクジェット記録装置において
着弾精度を維持することが難しいという問題点がある。
例えば、４色構成の液体吐出ヘッドを製造する場合、各
色のヘッドユニットの相互間の位置に関して、図３７
（ａ）に示すように、Ｘ、Ｙ、Ｚ、θx、θy、θ zの６
軸を制御する必要がある。
【００１５】ところが、従来の製造方法においては、吐
出口をみて位置合わせしているので、Ｘ、Ｙ、θz軸に
ついては、高精度で合わせられるものの、残りのＺ、θ
x、θ y軸については、組み立て装置の治具の調整精度に
よって精度が左右されることになり、特に、θy軸につ
いては、組み立て装置の治具の調整精度によって微小な
ずれが生じた場合、被記録媒体上で大きな着弾ずれにな
って現れてしまう。
出口をみて位置合わせしているので、Ｘ、Ｙ、θz軸に
ついては、高精度で合わせられるものの、残りのＺ、θ
x、θ y軸については、組み立て装置の治具の調整精度に
よって精度が左右されることになり、特に、θy軸につ
いては、組み立て装置の治具の調整精度によって微小な
ずれが生じた場合、被記録媒体上で大きな着弾ずれにな
って現れてしまう。
【００１６】また、Ｚ軸については、各ヘッドユニット
間で微小なずれが生じるため、オリフィスプレート表面
の汚れや増粘したインクをワイピングするゴムブレード
の侵入量や、乾燥防止のためのキャッピングのあたりに
差異が生じ、隙間が発生してしまう。
間で微小なずれが生じるため、オリフィスプレート表面
の汚れや増粘したインクをワイピングするゴムブレード
の侵入量や、乾燥防止のためのキャッピングのあたりに
差異が生じ、隙間が発生してしまう。
【００１７】さらに、各ヘッドユニットを個々にクラン
プして枠体にセットするため、図３８に示すように各ヘ
ッドユニット間に治具クランプの入り込む隙間を確保す
る必要があり、この結果、４色一体の液体吐出ヘッドが
大型化してしまうという問題点もある。
プして枠体にセットするため、図３８に示すように各ヘ
ッドユニット間に治具クランプの入り込む隙間を確保す
る必要があり、この結果、４色一体の液体吐出ヘッドが
大型化してしまうという問題点もある。
【００１８】本発明の目的の一つは、流路を有するヘッ
ド本体に、吐出口が形成されたオリフィスプレートを接
合する際の作業性が良好で、ヘッド性能を低下させるお
それのない液体吐出ヘッド及びその製造方法、並びに液
体吐出装置を提供することである。
ド本体に、吐出口が形成されたオリフィスプレートを接
合する際の作業性が良好で、ヘッド性能を低下させるお
それのない液体吐出ヘッド及びその製造方法、並びに液
体吐出装置を提供することである。
【００１９】本発明の他の目的は、複数色の吐出口間の
相互位置を高精度に設定することができるとともに、ワ
イピングやキャッピングの精度を向上させることができ
る液体吐出ヘッド及びその製造方法、並びに液体吐出装
置を提供することである。
相互位置を高精度に設定することができるとともに、ワ
イピングやキャッピングの精度を向上させることができ
る液体吐出ヘッド及びその製造方法、並びに液体吐出装
置を提供することである。
【００２０】本発明の更に他の目的は、複数色一体の液
体吐出ヘッドにおいて、小型化、低コスト及び高品質の
実現、並びに生産性及び信頼性の向上を図ることができ
る液体吐出ヘッド及びその製造方法、並びに液体吐出装
置を提供することである。
体吐出ヘッドにおいて、小型化、低コスト及び高品質の
実現、並びに生産性及び信頼性の向上を図ることができ
る液体吐出ヘッド及びその製造方法、並びに液体吐出装
置を提供することである。
【００２１】本発明の更に他の目的は、オリフィスプレ
ートから流路に侵入する凸部によって吐出効率がよく、
しかも簡単な製造装置で容易かつ短時間で製造できる液
体吐出ヘッド及びその製造方法、並びに液体吐出装置を
提供することである。
ートから流路に侵入する凸部によって吐出効率がよく、
しかも簡単な製造装置で容易かつ短時間で製造できる液
体吐出ヘッド及びその製造方法、並びに液体吐出装置を
提供することである。
【００２２】本発明の更に他の目的は、吐出口の高密度
化が更に進む中においても、高品質な画像を記録するこ
とができる液体吐出ヘッド及びその製造方法、並びに液
体吐出装置を提供することである。
化が更に進む中においても、高品質な画像を記録するこ
とができる液体吐出ヘッド及びその製造方法、並びに液
体吐出装置を提供することである。
【００２３】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、液体の流路と
該流路に連通する流路開口が設けられた開口面とを有す
るヘッド本体を提供するヘッド本体提供工程と、液体を
吐出する吐出口が設けられた吐出口面の反対側の内側面
上の、前記吐出口に連通する内側開口の周囲に凸部が設
けられた吐出口プレートおよび、実質的に平坦な平坦面
を有する基台とを、前記吐出口面と前記平坦面とが接す
る様に一体化した状態で提供する吐出口プレート提供工
程と、前記ヘッド本体と前記基台とが前記吐出口プレー
トを挟んで互いに近づく方向に前記ヘッド本体と前記基
台とを押圧することにより、前記凸部が前記流路開口に
嵌合する様に前記開口面と前記内側面とを接合する接合
工程と、前記基台とその他の部材とを離隔する離隔工程
と、を有することを特徴とする。
に本発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、液体の流路と
該流路に連通する流路開口が設けられた開口面とを有す
るヘッド本体を提供するヘッド本体提供工程と、液体を
吐出する吐出口が設けられた吐出口面の反対側の内側面
上の、前記吐出口に連通する内側開口の周囲に凸部が設
けられた吐出口プレートおよび、実質的に平坦な平坦面
を有する基台とを、前記吐出口面と前記平坦面とが接す
る様に一体化した状態で提供する吐出口プレート提供工
程と、前記ヘッド本体と前記基台とが前記吐出口プレー
トを挟んで互いに近づく方向に前記ヘッド本体と前記基
台とを押圧することにより、前記凸部が前記流路開口に
嵌合する様に前記開口面と前記内側面とを接合する接合
工程と、前記基台とその他の部材とを離隔する離隔工程
と、を有することを特徴とする。
【００２４】前記吐出口プレート提供工程において、前
記吐出口プレートとなる長尺の樹脂フィルムに前記吐出
口を形成する。前記吐出口は、レリーフ型の転写成形、
レーザ加工またはそれらの組み合わせによって形成す
る。さらに前記吐出口プレート提供工程において、前記
樹脂フィルムに前記基台となるラミネート層がラミネー
トされた積層体を切断する。前記樹脂フィルムに前記ラ
ミネート層をラミネートする前に、前記樹脂フィルムの
前記ラミネート層がラミネートされる面に撥水層を形成
することが好ましい。前記ラミネート層は、前記樹脂フ
ィルムに比べて十分に厚い樹脂シートまたはステンレス
鋼シートである。前記樹脂フィルムは、押し出し成形又
は型押し成形によって形成される。前記樹脂フィルム
は、熱可塑性ポリマー材料からなることが考えられる。
また前記樹脂フィルムは、ポリサルフォン、ポリエーテ
ルサルフォン、ポリフェニレンサルファイド及びポリエ
ーテルエーテルケトンのうちのいずれかの材料からなる
ことが考えられる。
記吐出口プレートとなる長尺の樹脂フィルムに前記吐出
口を形成する。前記吐出口は、レリーフ型の転写成形、
レーザ加工またはそれらの組み合わせによって形成す
る。さらに前記吐出口プレート提供工程において、前記
樹脂フィルムに前記基台となるラミネート層がラミネー
トされた積層体を切断する。前記樹脂フィルムに前記ラ
ミネート層をラミネートする前に、前記樹脂フィルムの
前記ラミネート層がラミネートされる面に撥水層を形成
することが好ましい。前記ラミネート層は、前記樹脂フ
ィルムに比べて十分に厚い樹脂シートまたはステンレス
鋼シートである。前記樹脂フィルムは、押し出し成形又
は型押し成形によって形成される。前記樹脂フィルム
は、熱可塑性ポリマー材料からなることが考えられる。
また前記樹脂フィルムは、ポリサルフォン、ポリエーテ
ルサルフォン、ポリフェニレンサルファイド及びポリエ
ーテルエーテルケトンのうちのいずれかの材料からなる
ことが考えられる。
【００２５】前記接合工程は、前記ヘッド本体と前記吐
出口プレートとの間に接着剤を介在させてなされる。
出口プレートとの間に接着剤を介在させてなされる。
【００２６】前記ヘッド本体提供工程において前記ヘッ
ド本体を複数提供し、前記接合工程において前記複数の
ヘッド本体を並べて共通の前記吐出口プレートに接合す
ることが考えられる。この場合、前記接合工程の後で前
記離隔工程の前に、前記複数のヘッド本体と該複数のヘ
ッド本体を支持するための枠体とを嵌合させることが好
ましい。また、前記吐出口プレート提供工程において、
前記複数のヘッド本体と該複数のヘッド本体を支持する
ための枠体とを嵌合させてもよい。前記複数のヘッド本
体と前記枠体との隙間にシリコーン樹脂を充填すること
が考えられる。
ド本体を複数提供し、前記接合工程において前記複数の
ヘッド本体を並べて共通の前記吐出口プレートに接合す
ることが考えられる。この場合、前記接合工程の後で前
記離隔工程の前に、前記複数のヘッド本体と該複数のヘ
ッド本体を支持するための枠体とを嵌合させることが好
ましい。また、前記吐出口プレート提供工程において、
前記複数のヘッド本体と該複数のヘッド本体を支持する
ための枠体とを嵌合させてもよい。前記複数のヘッド本
体と前記枠体との隙間にシリコーン樹脂を充填すること
が考えられる。
【００２７】前記吐出口プレート提供工程において、前
記吐出口と前記凸部とをほぼ同時に形成することが好ま
しい。また、前記吐出口と前記凸部と該凸部の周囲の溝
とをほぼ同時に形成してもよい。例えば、前記吐出口と
前記凸部と前記溝をレーザー光の照射によって形成する
ことが考えられる。前記レーザー光の照射はマスクを介
してなされ、前記マスクの、前記吐出口形成部分の前記
レーザー光の透過率をＡ、前記凸部形成部分の前記レー
ザー光の透過率をＢ、それ以外の部分の前記レーザー光
の透過率をＣとすると、Ａ＞Ｃ＞Ｂの関係にある事が好
ましい。
記吐出口と前記凸部とをほぼ同時に形成することが好ま
しい。また、前記吐出口と前記凸部と該凸部の周囲の溝
とをほぼ同時に形成してもよい。例えば、前記吐出口と
前記凸部と前記溝をレーザー光の照射によって形成する
ことが考えられる。前記レーザー光の照射はマスクを介
してなされ、前記マスクの、前記吐出口形成部分の前記
レーザー光の透過率をＡ、前記凸部形成部分の前記レー
ザー光の透過率をＢ、それ以外の部分の前記レーザー光
の透過率をＣとすると、Ａ＞Ｃ＞Ｂの関係にある事が好
ましい。
【００２８】また本発明の液体吐出ヘッドの製造方法
は、液体の流路となる溝と該溝の端部開口が設けられた
開口面とを有するヘッド本体構成用部材を提供する部材
提供工程と、液体を吐出する吐出口が設けられた吐出口
面の反対側の内側面上の、前記吐出口に連通する内側開
口の周囲に凸部が設けられた吐出口プレートを提供する
吐出口プレート提供工程と、前記ヘッド本体構成用部材
と前記吐出口プレートとを互いに近づけて、前記凸部が
前記端部開口に嵌合する様に前記開口面と前記内側面と
を接合する接合工程と、前記ヘッド本体構成用部材と前
記溝を塞ぐための板状部材とを接合することにより前記
流路を形成する流路形成工程と、を有することを特徴と
する。
は、液体の流路となる溝と該溝の端部開口が設けられた
開口面とを有するヘッド本体構成用部材を提供する部材
提供工程と、液体を吐出する吐出口が設けられた吐出口
面の反対側の内側面上の、前記吐出口に連通する内側開
口の周囲に凸部が設けられた吐出口プレートを提供する
吐出口プレート提供工程と、前記ヘッド本体構成用部材
と前記吐出口プレートとを互いに近づけて、前記凸部が
前記端部開口に嵌合する様に前記開口面と前記内側面と
を接合する接合工程と、前記ヘッド本体構成用部材と前
記溝を塞ぐための板状部材とを接合することにより前記
流路を形成する流路形成工程と、を有することを特徴と
する。
【００２９】また本発明の液体吐出ヘッドの製造方法
は、液体の流路となる溝と該溝の端部開口が設けられた
開口面とを有するヘッド本体構成用部材を提供する部材
提供工程と、液体を吐出する吐出口が設けられた吐出口
面の反対側の内側面上に、前記吐出口に連通する内側開
口が設けられた吐出口プレートを提供する吐出口プレー
ト提供工程と、前記ヘッド本体構成用部材と前記吐出口
プレートとを互いに近づけて、前記吐出口と前記端部開
口とが連通する様に前記開口面と前記内側面とを接合す
る接合工程と、前記ヘッド本体構成用部材と前記溝を塞
ぐための板状部材とを接合することにより前記流路を形
成する流路形成工程と、を有することを特徴とする。
は、液体の流路となる溝と該溝の端部開口が設けられた
開口面とを有するヘッド本体構成用部材を提供する部材
提供工程と、液体を吐出する吐出口が設けられた吐出口
面の反対側の内側面上に、前記吐出口に連通する内側開
口が設けられた吐出口プレートを提供する吐出口プレー
ト提供工程と、前記ヘッド本体構成用部材と前記吐出口
プレートとを互いに近づけて、前記吐出口と前記端部開
口とが連通する様に前記開口面と前記内側面とを接合す
る接合工程と、前記ヘッド本体構成用部材と前記溝を塞
ぐための板状部材とを接合することにより前記流路を形
成する流路形成工程と、を有することを特徴とする。
【００３０】また本発明の液体吐出ヘッドの製造方法
は、液体の流路となる溝と該溝の端部開口が設けられた
開口面とを有するヘッド本体構成用部材を提供する部材
提供工程と、液体を吐出する吐出口が設けられた吐出口
面の反対側の内側面上に凹部が設けられた吐出口プレー
トを提供する吐出口プレート提供工程と、前記ヘッド本
体構成用部材と前記吐出口プレートとを互いに近づけ
て、前記吐出口と前記端部開口とが連通する様に前記開
口面と前記内側面とを接合する接合工程と、前記溝を塞
ぐための板状部材を前記凹部の内面に突き当てながら前
記ヘッド本体構成用部材と前記板状部材とを接合するこ
とにより前記流路を形成する流路形成工程と、を有する
ことを特徴とする。
は、液体の流路となる溝と該溝の端部開口が設けられた
開口面とを有するヘッド本体構成用部材を提供する部材
提供工程と、液体を吐出する吐出口が設けられた吐出口
面の反対側の内側面上に凹部が設けられた吐出口プレー
トを提供する吐出口プレート提供工程と、前記ヘッド本
体構成用部材と前記吐出口プレートとを互いに近づけ
て、前記吐出口と前記端部開口とが連通する様に前記開
口面と前記内側面とを接合する接合工程と、前記溝を塞
ぐための板状部材を前記凹部の内面に突き当てながら前
記ヘッド本体構成用部材と前記板状部材とを接合するこ
とにより前記流路を形成する流路形成工程と、を有する
ことを特徴とする。
【００３１】また本発明の液体吐出ヘッドの製造方法
は、液体の流路となる溝と該溝の端部開口が設けられた
開口面とを有するヘッド本体構成用部材を提供する部材
提供工程と、液体を吐出する吐出口が設けられた吐出口
面の反対側の内側面上の、前記吐出口に連通する内側開
口の周囲に凸部が設けられた吐出口プレートおよび、実
質的に平坦な平坦面を有する基台とを、前記吐出口面と
前記平坦面とが接する様に一体化した状態で提供する吐
出口プレート提供工程と、前記ヘッド本体構成用部材と
前記基台とが前記吐出口プレートを挟んで互いに近づく
方向に前記ヘッド本体構成用部材と前記基台とを押圧す
ることにより、前記凸部が前記端部開口に嵌合する様に
前記開口面と前記内側面とを接合する接合工程と、前記
ヘッド本体構成用部材と前記溝を塞ぐための板状部材と
を接合することにより前記流路を形成する流路形成工程
と、前記基台とその他の部材とを離隔する離隔工程と、
を有することを特徴とする。
は、液体の流路となる溝と該溝の端部開口が設けられた
開口面とを有するヘッド本体構成用部材を提供する部材
提供工程と、液体を吐出する吐出口が設けられた吐出口
面の反対側の内側面上の、前記吐出口に連通する内側開
口の周囲に凸部が設けられた吐出口プレートおよび、実
質的に平坦な平坦面を有する基台とを、前記吐出口面と
前記平坦面とが接する様に一体化した状態で提供する吐
出口プレート提供工程と、前記ヘッド本体構成用部材と
前記基台とが前記吐出口プレートを挟んで互いに近づく
方向に前記ヘッド本体構成用部材と前記基台とを押圧す
ることにより、前記凸部が前記端部開口に嵌合する様に
前記開口面と前記内側面とを接合する接合工程と、前記
ヘッド本体構成用部材と前記溝を塞ぐための板状部材と
を接合することにより前記流路を形成する流路形成工程
と、前記基台とその他の部材とを離隔する離隔工程と、
を有することを特徴とする。
【００３２】また本発明の液体吐出ヘッドは、液体の流
路と該流路に連通する流路開口が設けられた開口面とを
有するヘッド本体の複数と、液体を吐出する吐出口が設
けられた吐出口面の反対側の内側面上の、前記吐出口に
連通する内側開口の周囲に凸部が設けられた吐出口プレ
ートとを有し、前記複数のヘッド本体が並んで共通の前
記吐出口プレートに接合されており、前記凸部が前記流
路開口に嵌合する様に前記複数のヘッド本体それぞれの
前記開口面と前記内側面とが接合されていることを特徴
とする。
路と該流路に連通する流路開口が設けられた開口面とを
有するヘッド本体の複数と、液体を吐出する吐出口が設
けられた吐出口面の反対側の内側面上の、前記吐出口に
連通する内側開口の周囲に凸部が設けられた吐出口プレ
ートとを有し、前記複数のヘッド本体が並んで共通の前
記吐出口プレートに接合されており、前記凸部が前記流
路開口に嵌合する様に前記複数のヘッド本体それぞれの
前記開口面と前記内側面とが接合されていることを特徴
とする。
【００３３】この場合、前記複数のヘッド本体それぞれ
の前記流路の向きが前記吐出口プレートに対してほぼ垂
直である。そして、前記吐出口プレートを支持するため
の枠体を更に有する事が好ましい。前記吐出口プレート
と前記枠体とは接着され、前記吐出口プレートと前記枠
体とは同一材料からなる事が好ましい。前記吐出口プレ
ートは、樹脂、シリコン、セラミックス、金属、もしく
はこれらの複合材料からなる。
の前記流路の向きが前記吐出口プレートに対してほぼ垂
直である。そして、前記吐出口プレートを支持するため
の枠体を更に有する事が好ましい。前記吐出口プレート
と前記枠体とは接着され、前記吐出口プレートと前記枠
体とは同一材料からなる事が好ましい。前記吐出口プレ
ートは、樹脂、シリコン、セラミックス、金属、もしく
はこれらの複合材料からなる。
【００３４】また本発明の液体吐出ヘッドは、液体の流
路と該流路に連通する流路開口が設けられた開口面とを
有するヘッド本体と、液体を吐出する吐出口が設けられ
た吐出口面の反対側の内側面上の、前記吐出口に連通す
る内側開口の周囲に設けられた凸部および、該凸部の周
囲に設けられた溝を有する吐出口プレートとを有し、前
記凸部が前記流路開口に嵌合する様に前記開口面と前記
内側面とが接合されていることを特徴とする。
路と該流路に連通する流路開口が設けられた開口面とを
有するヘッド本体と、液体を吐出する吐出口が設けられ
た吐出口面の反対側の内側面上の、前記吐出口に連通す
る内側開口の周囲に設けられた凸部および、該凸部の周
囲に設けられた溝を有する吐出口プレートとを有し、前
記凸部が前記流路開口に嵌合する様に前記開口面と前記
内側面とが接合されていることを特徴とする。
【００３５】また本発明の液体吐出ヘッドは、液体の流
路となる溝と該溝の端部開口が設けられた開口面とを有
するヘッド本体構成用部材と、該ヘッド本体構成用部材
に接合して前記溝を塞ぐための板状部材と、液体を吐出
する吐出口が設けられた吐出口面の反対側の内側面上に
凹部が設けられた吐出口プレートとを有し、前記吐出口
と前記端部開口とが連通する様に前記開口面と前記内側
面とが接合されており、前記板状部材が前記凹部に入り
込み前記ヘッド本体構成用部材に接合されて前記流路が
形成されていることを特徴とする。
路となる溝と該溝の端部開口が設けられた開口面とを有
するヘッド本体構成用部材と、該ヘッド本体構成用部材
に接合して前記溝を塞ぐための板状部材と、液体を吐出
する吐出口が設けられた吐出口面の反対側の内側面上に
凹部が設けられた吐出口プレートとを有し、前記吐出口
と前記端部開口とが連通する様に前記開口面と前記内側
面とが接合されており、前記板状部材が前記凹部に入り
込み前記ヘッド本体構成用部材に接合されて前記流路が
形成されていることを特徴とする。
【００３６】この場合、前記内側面上の、前記吐出口に
連通する内側開口の周囲に、前記端部開口に嵌合する凸
部が設けられている事がより好ましい。
連通する内側開口の周囲に、前記端部開口に嵌合する凸
部が設けられている事がより好ましい。
【００３７】また本発明の、液体吐出ヘッドに用いられ
る吐出口プレートの製造方法は、、長尺の樹脂フィルム
に複数の吐出口形成用凹部を形成する工程と、前記樹脂
フィルムの前記複数の吐出口形成用凹部がない面上にラ
ミネート層を設ける工程と、前記樹脂フィルムの前記複
数の吐出口形成用凹部に対して吐出口を形成する工程
と、前記樹脂フィルムをヘッド本体に接合する工程と、
前記ラミネート層を除去する工程と、を有することを特
徴とする。
る吐出口プレートの製造方法は、、長尺の樹脂フィルム
に複数の吐出口形成用凹部を形成する工程と、前記樹脂
フィルムの前記複数の吐出口形成用凹部がない面上にラ
ミネート層を設ける工程と、前記樹脂フィルムの前記複
数の吐出口形成用凹部に対して吐出口を形成する工程
と、前記樹脂フィルムをヘッド本体に接合する工程と、
前記ラミネート層を除去する工程と、を有することを特
徴とする。
【００３８】この場合、前記ラミネート層は、前記樹脂
フィルムより体積抵抗が小さい樹脂または金属からな
る。前記吐出口は、レーザー光の照射によって形成され
る。
フィルムより体積抵抗が小さい樹脂または金属からな
る。前記吐出口は、レーザー光の照射によって形成され
る。
【００３９】（作用）本発明では、実質的に平坦な平坦
面を有する基台が吐出口プレートの吐出口面にラミネー
トされていることで、吐出口プレートの吐出口面が基台
の平坦面に倣い、吐出口プレートが良好な平坦性を持っ
てヘッド本体に接合される。特に吐出口プレートにヘッ
ド本体の流路開口に位置する凸部を設けて接合する方法
では、吐出口プレート側の凸部をヘッド本体側の流路開
口に精度良く進入させることができ、この接合時に凸部
及び吐出口を変形または破損させることがない。また、
吐出口面の撥水層は基台で保護されるため、接合時に破
損する心配はない。
面を有する基台が吐出口プレートの吐出口面にラミネー
トされていることで、吐出口プレートの吐出口面が基台
の平坦面に倣い、吐出口プレートが良好な平坦性を持っ
てヘッド本体に接合される。特に吐出口プレートにヘッ
ド本体の流路開口に位置する凸部を設けて接合する方法
では、吐出口プレート側の凸部をヘッド本体側の流路開
口に精度良く進入させることができ、この接合時に凸部
及び吐出口を変形または破損させることがない。また、
吐出口面の撥水層は基台で保護されるため、接合時に破
損する心配はない。
【００４０】また、基台を吐出口プレートに比べて十分
に厚い樹脂シートとする事により、吐出口プレートを樹
脂フィルムで形成する場合には基台の方が剛性が大きく
なるので、上記の接合の際に吐出口プレートの吐出口面
が基台に倣うことができ、吐出口プレートが良好な平坦
性を持って接合される。また、基台をステンレス鋼シー
トで構成すると、樹脂よりも更なる剛性を持たせること
ができるので、接合時に吐出口プレートの吐出口面の平
坦性を更に良好に保つことができる。
に厚い樹脂シートとする事により、吐出口プレートを樹
脂フィルムで形成する場合には基台の方が剛性が大きく
なるので、上記の接合の際に吐出口プレートの吐出口面
が基台に倣うことができ、吐出口プレートが良好な平坦
性を持って接合される。また、基台をステンレス鋼シー
トで構成すると、樹脂よりも更なる剛性を持たせること
ができるので、接合時に吐出口プレートの吐出口面の平
坦性を更に良好に保つことができる。
【００４１】また本発明では、流路内に侵入する凸部が
存在するため液体の吐出効率が向上するとともに、凸部
を吐出口と同時に形成するため作業効率がよい。特にレ
ーザー照射を行なって凸部および吐出口を形成すると、
作業が簡単である。この場合、部分的に透過率を変えた
マスクを用いてレーザー照射を行なうと、精度よく形成
できる。この様に、本発明によると、液体吐出効率のよ
い液体吐出ヘッドを製造するための加工時間が短縮でき
生産性の向上を図ることができる。加工時に過度に高精
度の位置合わせが不要となるため、製造が容易になる上
に、製造装置の簡略化が可能となる。
存在するため液体の吐出効率が向上するとともに、凸部
を吐出口と同時に形成するため作業効率がよい。特にレ
ーザー照射を行なって凸部および吐出口を形成すると、
作業が簡単である。この場合、部分的に透過率を変えた
マスクを用いてレーザー照射を行なうと、精度よく形成
できる。この様に、本発明によると、液体吐出効率のよ
い液体吐出ヘッドを製造するための加工時間が短縮でき
生産性の向上を図ることができる。加工時に過度に高精
度の位置合わせが不要となるため、製造が容易になる上
に、製造装置の簡略化が可能となる。
【００４２】加えて、凸部の周囲に溝を形成すると、吐
出口プレートを接着するための接着剤が流路や吐出口に
入り込むことが防げる。この溝も凸部および吐出口と同
時に形成すると作業効率がよい。
出口プレートを接着するための接着剤が流路や吐出口に
入り込むことが防げる。この溝も凸部および吐出口と同
時に形成すると作業効率がよい。
【００４３】さらに本発明では、吐出口プレートと、吐
出口に連通する流路となる溝が設けられたヘッド本体構
成用部材と、前記流路となる溝を塞ぐための板状部材と
で液体吐出ヘッドを製造する場合、吐出口プレートにヘ
ッド本体構成用部材を接合してから、このヘッド本体構
成用部材に板状部材を接合することにより、吐出口プレ
ート面に対してヘッド本体構成用部材と板状部材の接合
端面が揃うので、簡単に効率よくヘッドを作製すること
ができる。特に、吐出口プレートに少なくともヘッド本
体構成用部材あるいは板状部材の一部を突き当てる凹部
を設けたり、吐出口プレートの一部に前記流路となる溝
の端部開口に侵入する凸部を設けたりすることで、更に
精度高く簡単にヘッドを作製することができる。
出口に連通する流路となる溝が設けられたヘッド本体構
成用部材と、前記流路となる溝を塞ぐための板状部材と
で液体吐出ヘッドを製造する場合、吐出口プレートにヘ
ッド本体構成用部材を接合してから、このヘッド本体構
成用部材に板状部材を接合することにより、吐出口プレ
ート面に対してヘッド本体構成用部材と板状部材の接合
端面が揃うので、簡単に効率よくヘッドを作製すること
ができる。特に、吐出口プレートに少なくともヘッド本
体構成用部材あるいは板状部材の一部を突き当てる凹部
を設けたり、吐出口プレートの一部に前記流路となる溝
の端部開口に侵入する凸部を設けたりすることで、更に
精度高く簡単にヘッドを作製することができる。
【００４４】この場合、流路端部付近を切断、研磨する
必要がないので、ノズルピッチが高密度になっても吐出
口近傍の流路壁に欠けや折れ等が発生せず、良好に所望
の記録滴を吐出することができる。
必要がないので、ノズルピッチが高密度になっても吐出
口近傍の流路壁に欠けや折れ等が発生せず、良好に所望
の記録滴を吐出することができる。
【００４５】また本発明では、１つの共通した吐出口プ
レートに複数のヘッド本体を並べて配置し、さらに好ま
しくは各ヘッド本体を１つの枠体に嵌合させることによ
り、各ヘッド本体の液路の向きを吐出口プレートに対し
てほぼ垂直にし、複数のヘッド本体の相互間の位置を決
定しているので、高度の生産技術を必要とせずに高精度
のカラー液体吐出ヘッドを実現することができる。
レートに複数のヘッド本体を並べて配置し、さらに好ま
しくは各ヘッド本体を１つの枠体に嵌合させることによ
り、各ヘッド本体の液路の向きを吐出口プレートに対し
てほぼ垂直にし、複数のヘッド本体の相互間の位置を決
定しているので、高度の生産技術を必要とせずに高精度
のカラー液体吐出ヘッドを実現することができる。
【００４６】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。
て図面を参照して説明する。
【００４７】（第１の実施の形態）図１は、本発明の第
１実施形態である液体吐出ヘッドの製造方法が適用され
る液体吐出ヘッドについて説明するための斜視図であ
る。図２は、図１に示される液体吐出ヘッドの、流路方
向に沿った断面図である。
１実施形態である液体吐出ヘッドの製造方法が適用され
る液体吐出ヘッドについて説明するための斜視図であ
る。図２は、図１に示される液体吐出ヘッドの、流路方
向に沿った断面図である。
【００４８】本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法に
より製造される液体吐出ヘッドは、図１に示すように、
基板５０の表面に天板６０を接合してなるヘッド本体４
６と、ヘッド本体４６の前端面に接合されたオリフィス
プレート４０などから構成されている。基板（以下、
「ヒータボード」ともいう）５０には、インクなどの液
体を吐出させるために利用される熱エネルギーを発生す
る複数のエネルギー発生素子（以下、「ヒータ」ともい
う）５１と、エネルギー発生素子５１に電気信号を供給
するためのＡｌ配線とが備えられている。この基板５０
は、Ｓｉ基板上に複数のエネルギー発生素子５１および
前記Ａｌ配線を成膜技術によって形成してなるものであ
る。
より製造される液体吐出ヘッドは、図１に示すように、
基板５０の表面に天板６０を接合してなるヘッド本体４
６と、ヘッド本体４６の前端面に接合されたオリフィス
プレート４０などから構成されている。基板（以下、
「ヒータボード」ともいう）５０には、インクなどの液
体を吐出させるために利用される熱エネルギーを発生す
る複数のエネルギー発生素子（以下、「ヒータ」ともい
う）５１と、エネルギー発生素子５１に電気信号を供給
するためのＡｌ配線とが備えられている。この基板５０
は、Ｓｉ基板上に複数のエネルギー発生素子５１および
前記Ａｌ配線を成膜技術によって形成してなるものであ
る。
【００４９】天板６０の一方の面には、エネルギー発生
素子５１がそれぞれ配置された複数の流路６１を形成す
るための溝や、それぞれの流路６１に供給されるインク
を一時的に保持する液室６２を形成するための溝が形成
されている。さらに、天板６０には、液室６２内にイン
クを供給するための供給口６４が形成されている。それ
ぞれの流路６１にエネルギー発生素子５１が配置される
ように基板５０と天板６０とを接合することにより、複
数の流路６１および複数のエネルギー発生素子５１が備
えられたヘッド本体４６が構成されている。このヘッド
本体４６の前端面に、すなわち、図２に示すように基板
５０の、オリフィスプレート４０との接合面４４ａ、お
よび天板６０の、オリフィスプレート４０との接合面４
４ｂを含む面に、それぞれの流路６１の開口が配置され
ている。
素子５１がそれぞれ配置された複数の流路６１を形成す
るための溝や、それぞれの流路６１に供給されるインク
を一時的に保持する液室６２を形成するための溝が形成
されている。さらに、天板６０には、液室６２内にイン
クを供給するための供給口６４が形成されている。それ
ぞれの流路６１にエネルギー発生素子５１が配置される
ように基板５０と天板６０とを接合することにより、複
数の流路６１および複数のエネルギー発生素子５１が備
えられたヘッド本体４６が構成されている。このヘッド
本体４６の前端面に、すなわち、図２に示すように基板
５０の、オリフィスプレート４０との接合面４４ａ、お
よび天板６０の、オリフィスプレート４０との接合面４
４ｂを含む面に、それぞれの流路６１の開口が配置され
ている。
【００５０】一方、オリフィスプレート４０には、流路
６１とそれぞれ連通した複数の吐出口（以下、「オリフ
ィス」ともいう）４１が複数形成されている。また、オ
リフィスプレート４０の、ヘッド本体４６との接合面に
おける吐出口４１の周囲には、吐出口４１ごとにそれぞ
れ独立した凸部４５が複数形成されている。それぞれの
凸部４５が流路６１内に進入し、凸部４５が流路６１に
位置した状態で、接着剤である接着樹脂４２によって接
合面４４ａ，４４ｂにオリフィスプレート４０が接合さ
れている。
６１とそれぞれ連通した複数の吐出口（以下、「オリフ
ィス」ともいう）４１が複数形成されている。また、オ
リフィスプレート４０の、ヘッド本体４６との接合面に
おける吐出口４１の周囲には、吐出口４１ごとにそれぞ
れ独立した凸部４５が複数形成されている。それぞれの
凸部４５が流路６１内に進入し、凸部４５が流路６１に
位置した状態で、接着剤である接着樹脂４２によって接
合面４４ａ，４４ｂにオリフィスプレート４０が接合さ
れている。
【００５１】この液体吐出ヘッドでは、エネルギー発生
素子５１から発生した熱エネルギーが流路６１内のイン
クに作用することでエネルギー発生素子５１上で気泡が
発生し、その気泡の発生を利用して吐出口４１からイン
クが吐出される。
素子５１から発生した熱エネルギーが流路６１内のイン
クに作用することでエネルギー発生素子５１上で気泡が
発生し、その気泡の発生を利用して吐出口４１からイン
クが吐出される。
【００５２】図３は、本発明の実施形態の液体吐出ヘッ
ドの製造方法に使用される製造ラインの一部を模式的に
示す図である。図３に示される製造ラインは、図１およ
び図２に示したオリフィスプレート４０を製造するため
のものである。この製造ラインでは、押出成形により溶
融樹脂をフィルム状に押出し、押出されたフィルム状樹
脂の表面に、所定の形状のレリーフ型を備えたロールを
押圧することで、そのフィルム状樹脂の表面に所望の形
状のパターンを形成するまでの工程が行われる。
ドの製造方法に使用される製造ラインの一部を模式的に
示す図である。図３に示される製造ラインは、図１およ
び図２に示したオリフィスプレート４０を製造するため
のものである。この製造ラインでは、押出成形により溶
融樹脂をフィルム状に押出し、押出されたフィルム状樹
脂の表面に、所定の形状のレリーフ型を備えたロールを
押圧することで、そのフィルム状樹脂の表面に所望の形
状のパターンを形成するまでの工程が行われる。
【００５３】図３に示すように押出成形機１のダイ２か
ら溶融樹脂をフィルム状に押出すことによりフィルム状
樹脂３が形成され、フィルム状樹脂３は冷却ロール５と
ニップロール６との間に挟まれて、それらのロールによ
って押圧される。冷却ロール５の表面には、図１および
図２に示した吐出口４１および凸部４５に応じた形状の
レリーフ型４が取り付けられている。このレリーフ型４
によってフィルム状樹脂３の表面に所望の形状が連続的
に形成される。
ら溶融樹脂をフィルム状に押出すことによりフィルム状
樹脂３が形成され、フィルム状樹脂３は冷却ロール５と
ニップロール６との間に挟まれて、それらのロールによ
って押圧される。冷却ロール５の表面には、図１および
図２に示した吐出口４１および凸部４５に応じた形状の
レリーフ型４が取り付けられている。このレリーフ型４
によってフィルム状樹脂３の表面に所望の形状が連続的
に形成される。
【００５４】レリーフ型４によって表面に所望の形状が
形成されると共に冷却ロール５によって冷却されたフィ
ルム状樹脂３は、いくつかのロールａ，ｂ等を経由した
後に、ロール１０から巻き出されたラミネート層（「基
台」とも称する）１４とラミネートされ、２つの引き取
りロール７を経由した後に巻き取りロール８によってロ
ール状に巻き取られる。ここでは凸部４５が巻き取りロ
ール８の外側となるようにフィルム状樹脂３が巻き取ら
れている。なお、巻き取りロール８の曲率半径は大きけ
れば大きい程好ましい。
形成されると共に冷却ロール５によって冷却されたフィ
ルム状樹脂３は、いくつかのロールａ，ｂ等を経由した
後に、ロール１０から巻き出されたラミネート層（「基
台」とも称する）１４とラミネートされ、２つの引き取
りロール７を経由した後に巻き取りロール８によってロ
ール状に巻き取られる。ここでは凸部４５が巻き取りロ
ール８の外側となるようにフィルム状樹脂３が巻き取ら
れている。なお、巻き取りロール８の曲率半径は大きけ
れば大きい程好ましい。
【００５５】本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法で
は、押出成形機１から押出す樹脂材料としてポリサルフ
ォン樹脂（アモコ社製の「ユーデルＰ３９００」）を用
いた。押出成形機１から押出す樹脂材料、すなわちフィ
ルム状樹脂３の材料としては、熱可塑性ポリマーを用い
ることが好ましい。また、具体的には、フィルム状樹脂
３の材料として、ポリパラフェニレンテレフタルアミ
ド、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンサルファ
イドまたはポリエーテルエーテルケトンのうちいずれか
１つを用いることが好ましい。
は、押出成形機１から押出す樹脂材料としてポリサルフ
ォン樹脂（アモコ社製の「ユーデルＰ３９００」）を用
いた。押出成形機１から押出す樹脂材料、すなわちフィ
ルム状樹脂３の材料としては、熱可塑性ポリマーを用い
ることが好ましい。また、具体的には、フィルム状樹脂
３の材料として、ポリパラフェニレンテレフタルアミ
ド、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンサルファ
イドまたはポリエーテルエーテルケトンのうちいずれか
１つを用いることが好ましい。
【００５６】特に、ポリパラフェニレンテレフタルアミ
ド（略称：「ＰＰＴＡ」）は低熱膨張率（Ｓｉの線膨張
係数に近い値）と高弾性率（約１５００Ｋｇ／ｍｍ2）
という特長がある。ヘッド本体のエネルギー発生素子は
Ｓｉ基板に設けられているので、オリフィスプレートに
ポリパラフェニレンテレフタルアミドを用いると、両者
の線膨張率が近くなり、昇温や降温によっても線膨張差
によるゆがみやはがれや位置ずれの心配がない。また、
高弾性率であるので、剛性が高く、オリフィスプレート
をより薄く作ってもフェイス面の平坦性が確保できると
いう利点がある。オリフィスプレートが薄くできれば、
レーザでの吐出口形成が容易になる。また、ポリパラフ
ェニレンテレフタルアミドはエキシマレーザのアブレー
ション性が良好であり、線膨張係数も低い。そのため、
レーザ加工時の熱によるオリフィスプレートの伸びを小
さくでき、オリフィス穴の精度が良好となる。
ド（略称：「ＰＰＴＡ」）は低熱膨張率（Ｓｉの線膨張
係数に近い値）と高弾性率（約１５００Ｋｇ／ｍｍ2）
という特長がある。ヘッド本体のエネルギー発生素子は
Ｓｉ基板に設けられているので、オリフィスプレートに
ポリパラフェニレンテレフタルアミドを用いると、両者
の線膨張率が近くなり、昇温や降温によっても線膨張差
によるゆがみやはがれや位置ずれの心配がない。また、
高弾性率であるので、剛性が高く、オリフィスプレート
をより薄く作ってもフェイス面の平坦性が確保できると
いう利点がある。オリフィスプレートが薄くできれば、
レーザでの吐出口形成が容易になる。また、ポリパラフ
ェニレンテレフタルアミドはエキシマレーザのアブレー
ション性が良好であり、線膨張係数も低い。そのため、
レーザ加工時の熱によるオリフィスプレートの伸びを小
さくでき、オリフィス穴の精度が良好となる。
【００５７】次に、オリフィスプレート４０を作製する
方法について説明する。
方法について説明する。
【００５８】まず、ポリサルフォン樹脂を下記の加工条
件（Ａ）にて、ダイ２から厚さ５０μｍになるように押
出してフィルム状樹脂３を形成する。そのフィルム状樹
脂３を、表面にレリーフ型４が備えられた温度１５℃の
冷却ロール５、およびニップロール６により押圧し、フ
ィルム状樹脂３を冷却する。
件（Ａ）にて、ダイ２から厚さ５０μｍになるように押
出してフィルム状樹脂３を形成する。そのフィルム状樹
脂３を、表面にレリーフ型４が備えられた温度１５℃の
冷却ロール５、およびニップロール６により押圧し、フ
ィルム状樹脂３を冷却する。
【００５９】押出し加工条件（Ａ） ダイ開口： ０．５ｍｍ 押出し機設定温度：後部３１５℃ 中間部３６０℃ ヘ
ッドおよびダイ部３７０℃ 冷却ロール温度：１５℃ 押出し厚み：５０μｍ ニップ圧（エアゲージ圧）：２ｋｇｆ／ｃｍ2 図４および図５は、図３に示した製造ラインにより作製
されたフィルム状樹脂３の平面図および断面図である。
図４（ａ）はフィルム状樹脂３の平面図であり、図４
（ｂ）は図４（ａ）のＡ−Ａ’線断面図である。また、
図５（ａ）は、図４（ａ）に示されるフィルム状樹脂の
Ｂ部を拡大した平面図であり、図５（ｂ）は、図５
（ａ）のＣ−Ｃ’線断面図である。
ッドおよびダイ部３７０℃ 冷却ロール温度：１５℃ 押出し厚み：５０μｍ ニップ圧（エアゲージ圧）：２ｋｇｆ／ｃｍ2 図４および図５は、図３に示した製造ラインにより作製
されたフィルム状樹脂３の平面図および断面図である。
図４（ａ）はフィルム状樹脂３の平面図であり、図４
（ｂ）は図４（ａ）のＡ−Ａ’線断面図である。また、
図５（ａ）は、図４（ａ）に示されるフィルム状樹脂の
Ｂ部を拡大した平面図であり、図５（ｂ）は、図５
（ａ）のＣ−Ｃ’線断面図である。
【００６０】フィルム状樹脂３の表面に冷却ロール５の
レリーフ型４が押圧されることで、そのレリーフ型４に
よって、図４（ａ）、図４（ｂ）、図５（ａ）および図
５（ｂ）に示すようにフィルム状樹脂３に複数の吐出口
４１および凸部４５が同時に、フィルム状樹脂３の押出
し方向に連続的に複数組形成される。
レリーフ型４が押圧されることで、そのレリーフ型４に
よって、図４（ａ）、図４（ｂ）、図５（ａ）および図
５（ｂ）に示すようにフィルム状樹脂３に複数の吐出口
４１および凸部４５が同時に、フィルム状樹脂３の押出
し方向に連続的に複数組形成される。
【００６１】凸部４５のピッチは６００ｄｐｉの解像度
に相当する間隔であり、凸部４５の外形は四角柱形状と
なっている。凸部４５の外形寸法としては、縦が３０μ
ｍ、横が３０μｍ、高さが１０μｍになっている。オリ
フィス４１の形状は円錐台となっており、オリフィス４
１の凸部４５側の端面における円の直径がφ２５μｍ、
凸部４５側と反対側の端面における円の直径がφ２０μ
ｍになっている。このような形状および寸法を有するオ
リフィス４１および凸部４５がフィルム状樹脂３に同時
に、かつ、連続的に形成されるように、レリーフ型４が
作製されている。
に相当する間隔であり、凸部４５の外形は四角柱形状と
なっている。凸部４５の外形寸法としては、縦が３０μ
ｍ、横が３０μｍ、高さが１０μｍになっている。オリ
フィス４１の形状は円錐台となっており、オリフィス４
１の凸部４５側の端面における円の直径がφ２５μｍ、
凸部４５側と反対側の端面における円の直径がφ２０μ
ｍになっている。このような形状および寸法を有するオ
リフィス４１および凸部４５がフィルム状樹脂３に同時
に、かつ、連続的に形成されるように、レリーフ型４が
作製されている。
【００６２】フィルム状樹脂３にレリーフ型４によって
オリフィス４１および凸部４５を形成した後に、フィル
ム状樹脂３の、凸部４５側と反対側の表面（フェイス
面）に撥水層を形成する。撥水処理剤としては、旭硝子
株式会社製のＣＴＸ−ＣＺ５Ａを用いた。フィルム状樹
脂３のフェイス面に撥水層を形成する際には、まず、そ
のフェイス面をコロナ処理により親水化した後に、塗布
装置として康井精機社製のマイクログラビアコータを用
いて、フィルム状樹脂３のフェイス面に撥水剤を塗布す
る。ここでは、撥水層の最終の厚さが０．１μｍになる
ように、撥水剤を塗布する工程と、塗布された撥水剤を
加熱・乾燥する工程とを連続して行った。
オリフィス４１および凸部４５を形成した後に、フィル
ム状樹脂３の、凸部４５側と反対側の表面（フェイス
面）に撥水層を形成する。撥水処理剤としては、旭硝子
株式会社製のＣＴＸ−ＣＺ５Ａを用いた。フィルム状樹
脂３のフェイス面に撥水層を形成する際には、まず、そ
のフェイス面をコロナ処理により親水化した後に、塗布
装置として康井精機社製のマイクログラビアコータを用
いて、フィルム状樹脂３のフェイス面に撥水剤を塗布す
る。ここでは、撥水層の最終の厚さが０．１μｍになる
ように、撥水剤を塗布する工程と、塗布された撥水剤を
加熱・乾燥する工程とを連続して行った。
【００６３】本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法で
は、フィルム状樹脂３にレリーフ型４を押圧する工程
と、フィルム状樹脂３に撥水層を形成する工程とを別々
に行ったが、れらの２つの工程を１つの工程で行っても
よい。例えば、フィルム状樹脂３にレリーフ型４を押圧
する工程において、フィルム状樹脂３のニップロール６
側の面に撥水剤を供給してその表面に撥水層を形成しな
がらフィルム状樹脂３の押圧加工を行ってもよい。ある
いは、巻き取りロール８によってフィルム状樹脂３を巻
き取る前の位置に、撥水剤を塗布するためのコーティン
グロールをセットし、そのコーティングロールを用いて
フィルム状樹脂３に撥水剤を塗布してもよい。
は、フィルム状樹脂３にレリーフ型４を押圧する工程
と、フィルム状樹脂３に撥水層を形成する工程とを別々
に行ったが、れらの２つの工程を１つの工程で行っても
よい。例えば、フィルム状樹脂３にレリーフ型４を押圧
する工程において、フィルム状樹脂３のニップロール６
側の面に撥水剤を供給してその表面に撥水層を形成しな
がらフィルム状樹脂３の押圧加工を行ってもよい。ある
いは、巻き取りロール８によってフィルム状樹脂３を巻
き取る前の位置に、撥水剤を塗布するためのコーティン
グロールをセットし、そのコーティングロールを用いて
フィルム状樹脂３に撥水剤を塗布してもよい。
【００６４】撥水層形成後は、撥水層（不図示）の付い
たフィルム状樹脂３のフェイス面に、後述のオリフィス
プレート接合時に効果を奏するラミネート層１４（図３
参照）を貼り合わせる（ラミネートする）。
たフィルム状樹脂３のフェイス面に、後述のオリフィス
プレート接合時に効果を奏するラミネート層１４（図３
参照）を貼り合わせる（ラミネートする）。
【００６５】以上のようにして吐出口４１および凸部４
５が形成された後にラミネート層１４がラミネートされ
てロール状に巻かれたフィルム状樹脂３を、ロール癖を
直して平らにしながら１つの液体吐出ヘッドごとに必要
なサイズに切断することで、オリフィスプレート４０に
ラミネート層１４がラミネートされているものが作製さ
れる。
５が形成された後にラミネート層１４がラミネートされ
てロール状に巻かれたフィルム状樹脂３を、ロール癖を
直して平らにしながら１つの液体吐出ヘッドごとに必要
なサイズに切断することで、オリフィスプレート４０に
ラミネート層１４がラミネートされているものが作製さ
れる。
【００６６】次に、そのラミネート層１４の付いたオリ
フィスプレート４０を作製した後の、液体吐出ヘッドの
製造方法について説明する。
フィスプレート４０を作製した後の、液体吐出ヘッドの
製造方法について説明する。
【００６７】ラミネート層１４の付いたオリフィスプレ
ート４０を作製した後には、上述した工程とは別の工程
で作製されたヘッド本体４６に、接着剤によってオリフ
ィスプレート４０を接合する。ここで用いる接着剤とし
ては、ＵＶ（紫外線）を接着剤に照射することによりタ
ック性（粘性）を保持したままＢステージ（硬化中間状
態）化し、その接着剤を硬化収縮させてから、加熱圧
着、または接着剤へのさらなるＵＶ照射により部材同士
を接着することが可能なエポキシ系の接着剤を用いる。
このような接着剤は、Ｂステージ化せずに加熱圧着のみ
でも接着が可能なものである。
ート４０を作製した後には、上述した工程とは別の工程
で作製されたヘッド本体４６に、接着剤によってオリフ
ィスプレート４０を接合する。ここで用いる接着剤とし
ては、ＵＶ（紫外線）を接着剤に照射することによりタ
ック性（粘性）を保持したままＢステージ（硬化中間状
態）化し、その接着剤を硬化収縮させてから、加熱圧
着、または接着剤へのさらなるＵＶ照射により部材同士
を接着することが可能なエポキシ系の接着剤を用いる。
このような接着剤は、Ｂステージ化せずに加熱圧着のみ
でも接着が可能なものである。
【００６８】まず、上記のようなエポキシ系の接着剤を
転写法によりヘッド本体４６の接合面４４ａ，４４ｂに
転写する。次に、転写された接着剤に１ｍＷ／ｃｍ2の
紫外線を６０秒間照射して接着剤のＢステージ化を行
い、接着剤のタック性を保持したまま接着剤の硬化収縮
を終了させる。
転写法によりヘッド本体４６の接合面４４ａ，４４ｂに
転写する。次に、転写された接着剤に１ｍＷ／ｃｍ2の
紫外線を６０秒間照射して接着剤のＢステージ化を行
い、接着剤のタック性を保持したまま接着剤の硬化収縮
を終了させる。
【００６９】次に、図６に示す様に、オリフィスプレー
ト４０に付いたラミネート層１４をハンドリング保持
し、オリフィスプレート４０のラミネート層１４とは反
対側面の複数の凸部４５をそれぞれ、各凸部４５に対応
する流路６１内に進入させて凸部４５を流路６１の先端
部に位置させる。凸部４５と流路６１との嵌合は、すき
まばめとした。
ト４０に付いたラミネート層１４をハンドリング保持
し、オリフィスプレート４０のラミネート層１４とは反
対側面の複数の凸部４５をそれぞれ、各凸部４５に対応
する流路６１内に進入させて凸部４５を流路６１の先端
部に位置させる。凸部４５と流路６１との嵌合は、すき
まばめとした。
【００７０】このとき、図７に示す様に、ラミネート層
１４からオリフィスプレート４０に均等に１ｋｇ／ｃｍ
2の荷重をかけて、オリフィスプレート４０とヘッド本
体４６とを密着させ、その状態を保持したまま６０℃の
温度でヘッド本体４６にオリフィスプレート４０を加熱
圧着し、接着剤の硬化を終了させる。なお、本例では予
め裁断したオリフィスプレート４０を圧着する方法を採
ったが、圧着と同時にオリフィスプレート４０を切り出
してもよい。
１４からオリフィスプレート４０に均等に１ｋｇ／ｃｍ
2の荷重をかけて、オリフィスプレート４０とヘッド本
体４６とを密着させ、その状態を保持したまま６０℃の
温度でヘッド本体４６にオリフィスプレート４０を加熱
圧着し、接着剤の硬化を終了させる。なお、本例では予
め裁断したオリフィスプレート４０を圧着する方法を採
ったが、圧着と同時にオリフィスプレート４０を切り出
してもよい。
【００７１】上記のようにラミネート層１４がオリフィ
スプレート４０のフェイス面にラミネートされているこ
とで、オリフィスプレート４０のフェイス面がラミネー
ト層１４の平面に倣い、オリフィスプレート４０が良好
な平坦性を持ってヘッド本体４６に接合される。特に本
例の場合は、オリフィスプレート４０側の凸部４５をヘ
ッド本体４６側の流路６１に精度良く進入させることが
でき、この圧着時に凸部４５及び吐出口４１を変形また
は破損させることがない。また、フェイス面の撥水層は
ラミネート層１４で保護されているため、圧着時に破損
する心配はない。
スプレート４０のフェイス面にラミネートされているこ
とで、オリフィスプレート４０のフェイス面がラミネー
ト層１４の平面に倣い、オリフィスプレート４０が良好
な平坦性を持ってヘッド本体４６に接合される。特に本
例の場合は、オリフィスプレート４０側の凸部４５をヘ
ッド本体４６側の流路６１に精度良く進入させることが
でき、この圧着時に凸部４５及び吐出口４１を変形また
は破損させることがない。また、フェイス面の撥水層は
ラミネート層１４で保護されているため、圧着時に破損
する心配はない。
【００７２】ラミネート層１４は樹脂材料又はステンレ
スで構成する。樹脂材料で構成する場合には、ラミネー
ト層１４の厚みをオリフィスプレート４０のフィルム厚
よりも十分厚くする。この様にするとラミネート層１４
の方が剛性が大きいので、上記の圧着の際にオリフィス
プレート４０のフェイス面がラミネート層１４に倣うこ
とができ、オリフィスプレート４０が良好な平坦性を持
って接合される。また、ラミネート層１４をステンレス
で構成すると、樹脂よりも更なる剛性を持たせることが
できるので、圧着時にオリフィスプレートのフェイス面
の平坦性を更に良好に保つことができる。
スで構成する。樹脂材料で構成する場合には、ラミネー
ト層１４の厚みをオリフィスプレート４０のフィルム厚
よりも十分厚くする。この様にするとラミネート層１４
の方が剛性が大きいので、上記の圧着の際にオリフィス
プレート４０のフェイス面がラミネート層１４に倣うこ
とができ、オリフィスプレート４０が良好な平坦性を持
って接合される。また、ラミネート層１４をステンレス
で構成すると、樹脂よりも更なる剛性を持たせることが
できるので、圧着時にオリフィスプレートのフェイス面
の平坦性を更に良好に保つことができる。
【００７３】以上で説明した工程を経てから、図８に示
す様にラミネート層１４を剥離して、図１および図２に
示した液体吐出ヘッドが製造される。
す様にラミネート層１４を剥離して、図１および図２に
示した液体吐出ヘッドが製造される。
【００７４】（第２の実施の形態）図９および図１０
は、本発明の第２実施形態である液体吐出ヘッドの製造
方法について説明するための図である。本実施形態の液
体吐出ヘッドの製造方法は、前述の実施形態の製造方法
により製造された液体吐出ヘッドと同様な構成および形
状のものを製造する方法であり、前述の実施形態と比較
して、吐出口をレーザ加工により形成する点が主に異な
っている。以下では、前述の実施形態と異なる点を中心
に説明する。
は、本発明の第２実施形態である液体吐出ヘッドの製造
方法について説明するための図である。本実施形態の液
体吐出ヘッドの製造方法は、前述の実施形態の製造方法
により製造された液体吐出ヘッドと同様な構成および形
状のものを製造する方法であり、前述の実施形態と比較
して、吐出口をレーザ加工により形成する点が主に異な
っている。以下では、前述の実施形態と異なる点を中心
に説明する。
【００７５】本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法に
おいても、前述の実施形態の図５に示した製造ラインに
よって、オリフィスプレートを作製するためのフィルム
状樹脂を形成する。ここでは、前述の実施形態で用いた
レリーフ型４の代わりに、レリーフ型４とは異なる別の
所定の形状のレリーフ型を備えた冷却ロール５を用い
る。図９（ａ）は、押出成形機１のダイ２から押出され
たポリサルフォン樹脂が、冷却ロール５に備えられた前
記レリーフ型によって押圧されることにより所定の形状
に形成されたフィルム状樹脂の平面図であり、図９
（ｂ）は、図９（ａ）のＡ−Ａ’線断面図である。図１
０（ａ）は、図９（ａ）に示したフィルム状樹脂のＢ部
を拡大した平面図であり、図１０（ａ’）は、図１０
（ａ）のＣ−Ｃ’線断面図である。
おいても、前述の実施形態の図５に示した製造ラインに
よって、オリフィスプレートを作製するためのフィルム
状樹脂を形成する。ここでは、前述の実施形態で用いた
レリーフ型４の代わりに、レリーフ型４とは異なる別の
所定の形状のレリーフ型を備えた冷却ロール５を用い
る。図９（ａ）は、押出成形機１のダイ２から押出され
たポリサルフォン樹脂が、冷却ロール５に備えられた前
記レリーフ型によって押圧されることにより所定の形状
に形成されたフィルム状樹脂の平面図であり、図９
（ｂ）は、図９（ａ）のＡ−Ａ’線断面図である。図１
０（ａ）は、図９（ａ）に示したフィルム状樹脂のＢ部
を拡大した平面図であり、図１０（ａ’）は、図１０
（ａ）のＣ−Ｃ’線断面図である。
【００７６】まず、前述の実施形態と同様な押出し加工
条件（Ａ）で、ポリサルフォン樹脂をダイ２から厚み５
０μｍになるようにフィルム状に押出すことにより、フ
ィルム状樹脂３を形成する。そのフィルム状樹脂３を、
表面に前記レリーフ型が備えられた温度１５℃の冷却ロ
ール５、およびニップロール６により押圧すると同時に
冷却する。これにより、冷却ロール５に備えられた前記
レリーフ型によって、図９（ａ）、図９（ｂ）、図１０
（ａ）および図１０（ａ’）に示すようにフィルム状樹
脂３に、それぞれが独立した複数の凸部４５と、凸部４
５の中央部にそれぞれ配置された複数の凹部４７ａと
が、フィルム状樹脂３の押出し方向に沿って連続的に形
成される。それぞれの凹部４７ａはオリフィス４１を形
成するためのものである。凸部４５のピッチおよび外形
寸法は、前述の実施形態と同様であり、凹部４７ａの深
さは４０μｍになっている。このような凸部４５および
凹部４７ａがフィルム状樹脂３に同時に形成されるよう
に、冷却ロール５に備えられたレリーフ型が製作されて
いる。
条件（Ａ）で、ポリサルフォン樹脂をダイ２から厚み５
０μｍになるようにフィルム状に押出すことにより、フ
ィルム状樹脂３を形成する。そのフィルム状樹脂３を、
表面に前記レリーフ型が備えられた温度１５℃の冷却ロ
ール５、およびニップロール６により押圧すると同時に
冷却する。これにより、冷却ロール５に備えられた前記
レリーフ型によって、図９（ａ）、図９（ｂ）、図１０
（ａ）および図１０（ａ’）に示すようにフィルム状樹
脂３に、それぞれが独立した複数の凸部４５と、凸部４
５の中央部にそれぞれ配置された複数の凹部４７ａと
が、フィルム状樹脂３の押出し方向に沿って連続的に形
成される。それぞれの凹部４７ａはオリフィス４１を形
成するためのものである。凸部４５のピッチおよび外形
寸法は、前述の実施形態と同様であり、凹部４７ａの深
さは４０μｍになっている。このような凸部４５および
凹部４７ａがフィルム状樹脂３に同時に形成されるよう
に、冷却ロール５に備えられたレリーフ型が製作されて
いる。
【００７７】次に、フィルム状樹脂３の、凸部４５側と
反対側の面（フェイス面）に、前述の実施形態と同様な
方法により撥水層を形成する。撥水処理剤として、旭硝
子株式会社製のＣＴＸ−ＣＺ５Ａを用いた。
反対側の面（フェイス面）に、前述の実施形態と同様な
方法により撥水層を形成する。撥水処理剤として、旭硝
子株式会社製のＣＴＸ−ＣＺ５Ａを用いた。
【００７８】次に、フィルム状樹脂３の撥水層を形成し
たフェイス面に、前述の実施形態と同様な方法によりラ
ミネート層１４をラミネートする。
たフェイス面に、前述の実施形態と同様な方法によりラ
ミネート層１４をラミネートする。
【００７９】次に、撥水層を形成したフィルム状樹脂３
のフェイス面にラミネート層１４をラミネートした後
の、オリフィスプレートを作製する工程について図１０
を参照して説明する。図１０（ｂ）、図１０（ｃ）は、
図９（ａ）に示したフィルム状樹脂のＢ部を拡大した平
面図であり、図１０（ｂ’）は図１０（ｂ）のＣ−Ｃ’
線断面図、図１０（ｃ’）は図１０（ｃ）のＣ−Ｃ’線
断面図である。
のフェイス面にラミネート層１４をラミネートした後
の、オリフィスプレートを作製する工程について図１０
を参照して説明する。図１０（ｂ）、図１０（ｃ）は、
図９（ａ）に示したフィルム状樹脂のＢ部を拡大した平
面図であり、図１０（ｂ’）は図１０（ｂ）のＣ−Ｃ’
線断面図、図１０（ｃ’）は図１０（ｃ）のＣ−Ｃ’線
断面図である。
【００８０】図１０（ｂ’）に示すように、それぞれの
凹部４７ａの底面にレーザ１３を照射することにより、
図１０（ｃ）および図１０（ｃ’）に示すようにそれぞ
れの凹部４７ａの底面に、フィルム状樹脂３を貫通する
貫通孔を形成する。このとき、ラミネート層１４が樹脂
で構成されている場合は、レーザ１３によってラミネー
ト層１４をも貫通させることがより好ましい。このよう
な工程により、凸部４５側と反対側の開口寸法がφ２０
μｍのオリフィス４１がフィルム状樹脂３に形成され
る。この時、フィルム状樹脂３がレーザ加工される際に
発生する付着物（例えばカーボン）をラミネート層が担
持することになるため、ラミネート層は、接合時の補強
又は平面化補助を行うと共に付着物の除去にも貢献でき
る。
凹部４７ａの底面にレーザ１３を照射することにより、
図１０（ｃ）および図１０（ｃ’）に示すようにそれぞ
れの凹部４７ａの底面に、フィルム状樹脂３を貫通する
貫通孔を形成する。このとき、ラミネート層１４が樹脂
で構成されている場合は、レーザ１３によってラミネー
ト層１４をも貫通させることがより好ましい。このよう
な工程により、凸部４５側と反対側の開口寸法がφ２０
μｍのオリフィス４１がフィルム状樹脂３に形成され
る。この時、フィルム状樹脂３がレーザ加工される際に
発生する付着物（例えばカーボン）をラミネート層が担
持することになるため、ラミネート層は、接合時の補強
又は平面化補助を行うと共に付着物の除去にも貢献でき
る。
【００８１】図１１は、フィルム状樹脂３にオリフィス
４１を形成するためのレーザ加工装置を模式的に示す図
である。図１１に示されるレーザ加工装置には、エキシ
マレーザ発振器９と、エキシマレーザ発振器９から出射
されたレーザ１３を集光させる集光レンズ１１と、集光
レンズ１１を透過したレーザ１３をフィルム状樹脂３の
所定の部分に照射させるためのマスク１２とが備えられ
ている。エキシマレーザ発振器９から出射されたレーザ
１３は集光レンズ１１およびマスク１２を介して、ラミ
ネート層１４がラミネートされたフィルム状樹脂３に照
射される。つまり、フィルム状樹脂３は図３に示したよ
うにラミネート層１４とラミネートされた後に平らにさ
れてから、上記レーザ加工装置のレーザ１３が照射され
る。
４１を形成するためのレーザ加工装置を模式的に示す図
である。図１１に示されるレーザ加工装置には、エキシ
マレーザ発振器９と、エキシマレーザ発振器９から出射
されたレーザ１３を集光させる集光レンズ１１と、集光
レンズ１１を透過したレーザ１３をフィルム状樹脂３の
所定の部分に照射させるためのマスク１２とが備えられ
ている。エキシマレーザ発振器９から出射されたレーザ
１３は集光レンズ１１およびマスク１２を介して、ラミ
ネート層１４がラミネートされたフィルム状樹脂３に照
射される。つまり、フィルム状樹脂３は図３に示したよ
うにラミネート層１４とラミネートされた後に平らにさ
れてから、上記レーザ加工装置のレーザ１３が照射され
る。
【００８２】本実施形態では、図３に示した製造ライン
の装置と、図１１に示したレーザ加工装置とが別々にな
っているが、図５に示した製造ラインにおいて巻き取り
ロール８の手前に、図１１に示したレーザ加工装置を配
置している。
の装置と、図１１に示したレーザ加工装置とが別々にな
っているが、図５に示した製造ラインにおいて巻き取り
ロール８の手前に、図１１に示したレーザ加工装置を配
置している。
【００８３】ここで、フィルム状樹脂３の厚さに対して
凹部４７ａの深さを深くし、レーザ１３でオリフィス４
１を開口させる肉厚を必要な寸法公差内に薄くした場合
では、レーザ１３を照射する部分を凹部４７ａの底面に
対してアライメントする必要がなく、凹部４７ａの底面
全体にレーザ１３を照射すればよい。これにより、オリ
フィス４１を形成するプロセスが簡単になり、液体吐出
ヘッドの製造コスト、および製造装置のコストが下が
る。
凹部４７ａの深さを深くし、レーザ１３でオリフィス４
１を開口させる肉厚を必要な寸法公差内に薄くした場合
では、レーザ１３を照射する部分を凹部４７ａの底面に
対してアライメントする必要がなく、凹部４７ａの底面
全体にレーザ１３を照射すればよい。これにより、オリ
フィス４１を形成するプロセスが簡単になり、液体吐出
ヘッドの製造コスト、および製造装置のコストが下が
る。
【００８４】以上のようにしてフィルム状樹脂３が吐出
口４１および凸部４５が形成されるとともにラミネート
層１４がラミネートされた後はロール状に巻き取られ
る。その後、このロール状に巻かれたフィルム状樹脂３
を、ロール癖を直して平らにしながら１つの液体吐出ヘ
ッドごとに必要なサイズに切断することで、オリフィス
プレート４０にラミネート層１４がラミネートされてい
るものが作製される。
口４１および凸部４５が形成されるとともにラミネート
層１４がラミネートされた後はロール状に巻き取られ
る。その後、このロール状に巻かれたフィルム状樹脂３
を、ロール癖を直して平らにしながら１つの液体吐出ヘ
ッドごとに必要なサイズに切断することで、オリフィス
プレート４０にラミネート層１４がラミネートされてい
るものが作製される。
【００８５】このラミネート層１４の付いたオリフィス
プレート４０を作製した後は、前述の実施形態と同様の
方法で、別の工程で作製されたヘッド本体４６の接合面
４４ａ，４４ｂにエポキシ系の接着剤を転写する。
プレート４０を作製した後は、前述の実施形態と同様の
方法で、別の工程で作製されたヘッド本体４６の接合面
４４ａ，４４ｂにエポキシ系の接着剤を転写する。
【００８６】次に、オリフィスプレート４０に付いたラ
ミネート層１４をハンドリング保持し、オリフィスプレ
ート４０のラミネート層１４とは反対側面の複数の凸部
４５をそれぞれ、各凸部４５に対応する流路６１内に進
入させて凸部４５を流路６１の先端部に位置する。凸部
４５と流路６１との嵌合は、すきまばめとした。
ミネート層１４をハンドリング保持し、オリフィスプレ
ート４０のラミネート層１４とは反対側面の複数の凸部
４５をそれぞれ、各凸部４５に対応する流路６１内に進
入させて凸部４５を流路６１の先端部に位置する。凸部
４５と流路６１との嵌合は、すきまばめとした。
【００８７】このとき、図７に示したように、ラミネー
ト層１４からオリフィスプレート４０に均等に１ｋｇ／
ｃｍ2の荷重をかけて、オリフィスプレート４０とヘッ
ド本体４６とを密着させ、その状態を保持したまま６０
℃の温度でヘッド本体４６にオリフィスプレート４０を
加熱圧着し、接着剤の硬化を終了させる。なお、予めオ
リフィスプレート４０のみを裁断しておき、圧着と同時
にラミネート層１４からオリフィスプレート４０を切り
出してもよい。
ト層１４からオリフィスプレート４０に均等に１ｋｇ／
ｃｍ2の荷重をかけて、オリフィスプレート４０とヘッ
ド本体４６とを密着させ、その状態を保持したまま６０
℃の温度でヘッド本体４６にオリフィスプレート４０を
加熱圧着し、接着剤の硬化を終了させる。なお、予めオ
リフィスプレート４０のみを裁断しておき、圧着と同時
にラミネート層１４からオリフィスプレート４０を切り
出してもよい。
【００８８】上記のようにラミネート層１４がオリフィ
スプレート４０のフェイス面にラミネートされているこ
とで、オリフィスプレート４０のフェイス面がラミネー
ト層１４の平面に倣い、オリフィスプレート４０が良好
な平坦性を持ってヘッド本体４６に接合される。特に本
例の場合は、オリフィスプレート４０側の凸部４５をヘ
ッド本体４６側の流路６１に精度良く進入させることが
でき、この圧着時に凸部４５及び吐出口４１を変形また
は破損させることがない。また、フェイス面の撥水層は
ラミネート層１４で保護されているため、圧着時に破損
する心配はない。
スプレート４０のフェイス面にラミネートされているこ
とで、オリフィスプレート４０のフェイス面がラミネー
ト層１４の平面に倣い、オリフィスプレート４０が良好
な平坦性を持ってヘッド本体４６に接合される。特に本
例の場合は、オリフィスプレート４０側の凸部４５をヘ
ッド本体４６側の流路６１に精度良く進入させることが
でき、この圧着時に凸部４５及び吐出口４１を変形また
は破損させることがない。また、フェイス面の撥水層は
ラミネート層１４で保護されているため、圧着時に破損
する心配はない。
【００８９】ラミネート層１４は樹脂材料又はステンレ
スで構成する。樹脂材料で構成する場合には、ラミネー
ト層１４の厚みをオリフィスプレート４０のフィルム厚
よりも十分厚くする。この様にするとラミネート層１４
の方が剛性が大きいので、上記の圧着の際にオリフィス
プレート４０のフェイス面がラミネート層１４に倣うこ
とができ、オリフィスプレート４０が良好な平坦性を持
って接合される。また、ラミネート層１４をステンレス
で構成すると、樹脂よりも更なる剛性を持たせることが
できるので、圧着時にオリフィスプレートのフェイス面
の平坦性を更に良好に保つことができる。また、ステン
レスや体積抵抗率がオリフィスプレートよりも小さいも
のにすることで、巻き取り時にオリフィスプレートとな
る樹脂同士の密着を防止して、後工程の穴明け加工や接
合を良好に行える利点がある。
スで構成する。樹脂材料で構成する場合には、ラミネー
ト層１４の厚みをオリフィスプレート４０のフィルム厚
よりも十分厚くする。この様にするとラミネート層１４
の方が剛性が大きいので、上記の圧着の際にオリフィス
プレート４０のフェイス面がラミネート層１４に倣うこ
とができ、オリフィスプレート４０が良好な平坦性を持
って接合される。また、ラミネート層１４をステンレス
で構成すると、樹脂よりも更なる剛性を持たせることが
できるので、圧着時にオリフィスプレートのフェイス面
の平坦性を更に良好に保つことができる。また、ステン
レスや体積抵抗率がオリフィスプレートよりも小さいも
のにすることで、巻き取り時にオリフィスプレートとな
る樹脂同士の密着を防止して、後工程の穴明け加工や接
合を良好に行える利点がある。
【００９０】以上で説明した工程を経てからラミネート
層１４を剥離して、図１および図２に示した液体吐出ヘ
ッドが製造される。
層１４を剥離して、図１および図２に示した液体吐出ヘ
ッドが製造される。
【００９１】（第３の実施の形態）図１２は、本発明の
第３実施形態による液体吐出ヘッドを示す概観斜視図で
ある。
第３実施形態による液体吐出ヘッドを示す概観斜視図で
ある。
【００９２】本形態は図１２に示すように、インクを吐
出する複数のオリフィス３０１を有するオリフィスプレ
ート３０２と、オリフィスプレート３０２と接合され、
オリフィス３０１から吐出されるインクを供給する複数
の色毎に設けられたヘッドユニット３１０ａ〜３１０ｄ
と、ヘッドユニット３１０ａ〜３１０ｄが挿入されるヘ
ッドユニット挿入部３２１を有し、オリフィスプレート
３０２に接合された枠体（「基台」とも称する）３２０
とから構成されており、ヘッドユニット３１０ａ〜３１
０ｄはそれぞれ、オリフィス３０１に連通し、オリフィ
ス３０１から吐出されるインクを供給する流路３１２
と、流路３１２に液体を供給するための液室と供給口を
形成した天板３１１と、流路３１２に供給されるインク
をオリフィス３０１から吐出するためのエネルギーを発
生させるエネルギー発生素子３１４及びこれに電気信号
を供給するためのＡｌ配線が成膜技術によって形成さ
れ、天板３１１と接合されることで流路３１２を形成す
るＳｉからなる素子基板３１３とから構成されている。
なお、流路３１２においては、オリフィス３０１とは反
対側は液室に連通されており、液室内のインクが流路を
介してオリフィス３０１に供給される。
出する複数のオリフィス３０１を有するオリフィスプレ
ート３０２と、オリフィスプレート３０２と接合され、
オリフィス３０１から吐出されるインクを供給する複数
の色毎に設けられたヘッドユニット３１０ａ〜３１０ｄ
と、ヘッドユニット３１０ａ〜３１０ｄが挿入されるヘ
ッドユニット挿入部３２１を有し、オリフィスプレート
３０２に接合された枠体（「基台」とも称する）３２０
とから構成されており、ヘッドユニット３１０ａ〜３１
０ｄはそれぞれ、オリフィス３０１に連通し、オリフィ
ス３０１から吐出されるインクを供給する流路３１２
と、流路３１２に液体を供給するための液室と供給口を
形成した天板３１１と、流路３１２に供給されるインク
をオリフィス３０１から吐出するためのエネルギーを発
生させるエネルギー発生素子３１４及びこれに電気信号
を供給するためのＡｌ配線が成膜技術によって形成さ
れ、天板３１１と接合されることで流路３１２を形成す
るＳｉからなる素子基板３１３とから構成されている。
なお、流路３１２においては、オリフィス３０１とは反
対側は液室に連通されており、液室内のインクが流路を
介してオリフィス３０１に供給される。
【００９３】ヘッドユニット３１０ａ〜３１０ｄとオリ
フィスプレート３０２とが接合されることにより、各ヘ
ッドユニット３１０ａ〜３１０ｄ毎に形成される流路３
１２の開口を配する開口配設面（以下、ヘッド本体接合
面と称する）にオリフィスプレート３０２が貼り合わさ
れる。
フィスプレート３０２とが接合されることにより、各ヘ
ッドユニット３１０ａ〜３１０ｄ毎に形成される流路３
１２の開口を配する開口配設面（以下、ヘッド本体接合
面と称する）にオリフィスプレート３０２が貼り合わさ
れる。
【００９４】なお、オリフィスプレート３０２として
は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）、Ｎｉ等の金属フィルム、
または耐インク性の優れたプラスチックフィルム、例え
ば、ポリイミド、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフ
ォン、ポリフェニレンオキサイド、ポリフェニレンサル
ファイド、ポリプロピレンなどの樹脂フィルム剤を用い
ることが望ましい。
は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）、Ｎｉ等の金属フィルム、
または耐インク性の優れたプラスチックフィルム、例え
ば、ポリイミド、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフ
ォン、ポリフェニレンオキサイド、ポリフェニレンサル
ファイド、ポリプロピレンなどの樹脂フィルム剤を用い
ることが望ましい。
【００９５】また、オリフィスプレート３０２には、流
路３１２配列方向において流路３１２の断面形状に対応
した凸部が設けられており、この凸部が流路３１２に嵌
合されている。この構成により、接着剤の硬化工程や、
ヒータ駆動による温度変化によって生じるオリフィス３
０１と流路３１２とのずれを凸部が制限することにな
る。
路３１２配列方向において流路３１２の断面形状に対応
した凸部が設けられており、この凸部が流路３１２に嵌
合されている。この構成により、接着剤の硬化工程や、
ヒータ駆動による温度変化によって生じるオリフィス３
０１と流路３１２とのずれを凸部が制限することにな
る。
【００９６】また、本形態においては、オリフィスプレ
ート３０２として、厚さが５０μｍのポリサルフォン
（ＰＳＦ）フィルムを用い、さらに、オリフィスプレー
ト３０２とヘッドユニット３１０ａ〜３１０ｄとを接合
する接着樹脂として、ＵＶ照射によりタック性を保持し
たままＢステージ化して硬化収縮が終了し、さらなるＵ
Ｖ照射、もしくは加熱することにより硬化するエポキシ
系の接着剤を用いた。なお、該接着剤は加熱圧着のみで
も接着が可能である。
ート３０２として、厚さが５０μｍのポリサルフォン
（ＰＳＦ）フィルムを用い、さらに、オリフィスプレー
ト３０２とヘッドユニット３１０ａ〜３１０ｄとを接合
する接着樹脂として、ＵＶ照射によりタック性を保持し
たままＢステージ化して硬化収縮が終了し、さらなるＵ
Ｖ照射、もしくは加熱することにより硬化するエポキシ
系の接着剤を用いた。なお、該接着剤は加熱圧着のみで
も接着が可能である。
【００９７】以下に、上記のように構成された液体吐出
ヘッドの製造方法について図面を用いて説明する。
ヘッドの製造方法について図面を用いて説明する。
【００９８】図１３は、図１２に示した液体吐出ヘッド
のオリフィスプレートの製造工程を示す図である。ま
た、図１４は、図１３に示す工程によって製造されたオ
リフィスプレートにヘッドユニットを接合する工程を示
す図であり、（ａ）はオリフィスプレートとヘッドユニ
ットとの位置合わせ工程を示す図、（ｂ）はオリフィス
プレートに枠体を接合する工程を示す図である。また、
図１５は、図１３に示す工程によりオリフィスプレート
を製造する際に用いる装置を示す図である。
のオリフィスプレートの製造工程を示す図である。ま
た、図１４は、図１３に示す工程によって製造されたオ
リフィスプレートにヘッドユニットを接合する工程を示
す図であり、（ａ）はオリフィスプレートとヘッドユニ
ットとの位置合わせ工程を示す図、（ｂ）はオリフィス
プレートに枠体を接合する工程を示す図である。また、
図１５は、図１３に示す工程によりオリフィスプレート
を製造する際に用いる装置を示す図である。
【００９９】図１２に示したオリフィスプレート３０２
の加工には、波長２４８ｎｍのＫｒＦエキシマレーザー
光を使用し、図１５に示す装置によって、凹凸、溝及び
オリフィス加工を行った。
の加工には、波長２４８ｎｍのＫｒＦエキシマレーザー
光を使用し、図１５に示す装置によって、凹凸、溝及び
オリフィス加工を行った。
【０１００】図１５に示す装置は、波長２４８ｎｍのＫ
ｒＦエキシマレーザービーム３５２を射出するエキシマ
レーザー３５１と、エキシマレーザー３５１から射出さ
れたレーザービーム３５２を集光するためのレンズ３５
３と、エキシマレーザ３５１とオリフィスプレート３０
２との間に配置されるマスク３５４とから構成されてお
り、エキシマレーザ３５１から射されたレーザビーム３
５２がレンズ３５３及びマスク３５４を介してオリフィ
スプレート３０２に照射される。
ｒＦエキシマレーザービーム３５２を射出するエキシマ
レーザー３５１と、エキシマレーザー３５１から射出さ
れたレーザービーム３５２を集光するためのレンズ３５
３と、エキシマレーザ３５１とオリフィスプレート３０
２との間に配置されるマスク３５４とから構成されてお
り、エキシマレーザ３５１から射されたレーザビーム３
５２がレンズ３５３及びマスク３５４を介してオリフィ
スプレート３０２に照射される。
【０１０１】まず、凸部３０３の寸法が３０μｍ×３０
μｍとなり、かつ、凸部３０３が６００ｄｐｉ相当の間
隔に直線的に複数個並ぶように、オリフィスプレート３
０２に１０μｍの深さの凹部３０４を加工し、さらに、
それにより形成された凸部３０３から３０μｍ離れた位
置の凹部３０４に、幅が２０μｍであり、かつ、凹部３
０４よりもさらに２０μｍ深い溝３０５を加工し、ヘッ
ドユニット３１０ａ〜３１０ｄとの接合面である凹部３
０４及び溝３０５を形成する（図１３（ｂ））。
μｍとなり、かつ、凸部３０３が６００ｄｐｉ相当の間
隔に直線的に複数個並ぶように、オリフィスプレート３
０２に１０μｍの深さの凹部３０４を加工し、さらに、
それにより形成された凸部３０３から３０μｍ離れた位
置の凹部３０４に、幅が２０μｍであり、かつ、凹部３
０４よりもさらに２０μｍ深い溝３０５を加工し、ヘッ
ドユニット３１０ａ〜３１０ｄとの接合面である凹部３
０４及び溝３０５を形成する（図１３（ｂ））。
【０１０２】なお、本形態においては、オリフィスの配
列が一列の場合について説明するが、オリフィスプレー
トフィルムを固定しているステージを一定ピッチ移動さ
せて連続的に加工することによって、複数のヘッドユニ
ットに対応した高精度のオリフィスプレートを容易に製
造することができる。
列が一列の場合について説明するが、オリフィスプレー
トフィルムを固定しているステージを一定ピッチ移動さ
せて連続的に加工することによって、複数のヘッドユニ
ットに対応した高精度のオリフィスプレートを容易に製
造することができる。
【０１０３】次に、ＵＶ照射によりタック性を保持した
ままＢステージ化し、硬化収縮が終了し、加熱圧着によ
り接着できるエポキシ系の接着剤３０６を、転写法を用
いてオリフィスプレート３０２のヘッドユニットとの接
合面に均一に塗布する。その後、１ｍＷ／ｃｍ2の紫外
線を６０秒照射してＢステージ化を行い、接着剤３０６
の硬化収縮を終らせる（図１３（ｃ））。
ままＢステージ化し、硬化収縮が終了し、加熱圧着によ
り接着できるエポキシ系の接着剤３０６を、転写法を用
いてオリフィスプレート３０２のヘッドユニットとの接
合面に均一に塗布する。その後、１ｍＷ／ｃｍ2の紫外
線を６０秒照射してＢステージ化を行い、接着剤３０６
の硬化収縮を終らせる（図１３（ｃ））。
【０１０４】次に、上述した一連の工程によって加工さ
れたオリフィスプレート３０２を、図１４（ａ）に示す
ように、オリフィスプレートホルダー３６１、観察系３
６２ａ，３６２ｂ及び紫外線照射ランプ３６３を有する
接合装置のオリフィスプレートホルダー３６１にセット
する。なお、オリフィスプレートホルダー３６１は、研
磨された石英ガラスからできており、該ガラス越しに観
察系３６２ａ，３６３によりオリフィスプレート３０２
が観察される。
れたオリフィスプレート３０２を、図１４（ａ）に示す
ように、オリフィスプレートホルダー３６１、観察系３
６２ａ，３６２ｂ及び紫外線照射ランプ３６３を有する
接合装置のオリフィスプレートホルダー３６１にセット
する。なお、オリフィスプレートホルダー３６１は、研
磨された石英ガラスからできており、該ガラス越しに観
察系３６２ａ，３６３によりオリフィスプレート３０２
が観察される。
【０１０５】次に、オリフィスプレートホルダー３６１
に対して垂直に設定調整されたヘッドユニットクランプ
治具（不図示）に接着剤を転写し、Ｂステージ化したヘ
ッドユニット３１０ａをクランプし、観察系３６２ａ，
３６２ｂによってＸ、Ｙ、θ z軸を合わせる。
に対して垂直に設定調整されたヘッドユニットクランプ
治具（不図示）に接着剤を転写し、Ｂステージ化したヘ
ッドユニット３１０ａをクランプし、観察系３６２ａ，
３６２ｂによってＸ、Ｙ、θ z軸を合わせる。
【０１０６】次に、オリフィスプレートホルダー（基
台）３６１の実質的に平坦な面上にオリフィスプレート
３０２を吸引固定し、オリフィスプレートホルダー３６
１越しに観察系３６２ａ，３６２ｂによって予め記憶さ
れたヘッドユニット３１０ａの位置に合うように、オリ
フィスプレート３０２のＸ、Ｙ、θz軸を調整する。
台）３６１の実質的に平坦な面上にオリフィスプレート
３０２を吸引固定し、オリフィスプレートホルダー３６
１越しに観察系３６２ａ，３６２ｂによって予め記憶さ
れたヘッドユニット３１０ａの位置に合うように、オリ
フィスプレート３０２のＸ、Ｙ、θz軸を調整する。
【０１０７】次に、ヘッドユニット３１０ａを下降さ
せ、凸部３に１つずつオリフィス径２２μｍのオリフィ
ス３０１を形成する（図１３（ｄ））。
せ、凸部３に１つずつオリフィス径２２μｍのオリフィ
ス３０１を形成する（図１３（ｄ））。
【０１０８】その後、流路３１２、素子基板３１３及び
天板３１１からなるヘッドユニット３１０ａの流路３１
２に、オリフィス周辺に設けた凸部３０３を進入させ、
オリフィスプレート３０２をヘッドユニット３１０ａに
接合させる。なお、ヘッドユニット３１０ａを下降さ
せ、オリフィスプレート３２をヘッドユニット３１０ａ
に圧着させる際に、微小なθy、θx軸はオリフィスプレ
ート３０２に倣い、接合される。
天板３１１からなるヘッドユニット３１０ａの流路３１
２に、オリフィス周辺に設けた凸部３０３を進入させ、
オリフィスプレート３０２をヘッドユニット３１０ａに
接合させる。なお、ヘッドユニット３１０ａを下降さ
せ、オリフィスプレート３２をヘッドユニット３１０ａ
に圧着させる際に、微小なθy、θx軸はオリフィスプレ
ート３０２に倣い、接合される。
【０１０９】次に、観察系３６２ａ，３６２ｂが後退
し、紫外線照射ランプ３６３がオリフィスプレートホル
ダー３６１の下部に配置され、所定の紫外線を照射して
接着剤３０６の硬化を完了させる。
し、紫外線照射ランプ３６３がオリフィスプレートホル
ダー３６１の下部に配置され、所定の紫外線を照射して
接着剤３０６の硬化を完了させる。
【０１１０】各ヘッドユニット３１０ａ〜３１０ｄをオ
リフィスプレート３０２に接合固定した後、図１４
（ｂ）に示すように、各ヘッドユニット３１０ａ〜３１
０ｄをクランプしていたクランパー３３０を解除し、枠
体３２０のヘッドユニット挿入部３２１にヘッドユニッ
ト３１０ａ〜３１０ｄを挿入するようにして枠体３２０
とオリフィスプレート３０２とを接合する。なお、ヘッ
ドユニット挿入部３２１においては、ヘッドユニット３
１０ａ〜３１０ｄが挿入される際にヘッドユニット３１
０ａ〜３１０ｄに干渉して位置ずれが生じない程度のク
リアランスが設けられている。
リフィスプレート３０２に接合固定した後、図１４
（ｂ）に示すように、各ヘッドユニット３１０ａ〜３１
０ｄをクランプしていたクランパー３３０を解除し、枠
体３２０のヘッドユニット挿入部３２１にヘッドユニッ
ト３１０ａ〜３１０ｄを挿入するようにして枠体３２０
とオリフィスプレート３０２とを接合する。なお、ヘッ
ドユニット挿入部３２１においては、ヘッドユニット３
１０ａ〜３１０ｄが挿入される際にヘッドユニット３１
０ａ〜３１０ｄに干渉して位置ずれが生じない程度のク
リアランスが設けられている。
【０１１１】枠体３２０がオリフィスプレート３０２に
突き当たったところで保持し、ヘッドユニット挿入部３
２１に設けられたクリアランスにシリコーン製の封止剤
等を注入し、それにより、オリフィスプレート３０２と
各ヘッドユニット３１０ａ〜３１０ｄの固定と隙間の充
填を行う。
突き当たったところで保持し、ヘッドユニット挿入部３
２１に設けられたクリアランスにシリコーン製の封止剤
等を注入し、それにより、オリフィスプレート３０２と
各ヘッドユニット３１０ａ〜３１０ｄの固定と隙間の充
填を行う。
【０１１２】なお、枠体３２０には、ヘッドユニット３
１０ａ〜３１０ｄそれぞれの天板３１１の液体供給口に
対応した液体供給穴が設けられており、この液体供給穴
を介してヘッドユニット３１０ａ〜３１０ｄのそれぞれ
に液体を供給する構成とすることにより、液体吐出ヘッ
ドをよりコンパクトに、かつ最小の部品点数で安価に提
供することが可能となる。
１０ａ〜３１０ｄそれぞれの天板３１１の液体供給口に
対応した液体供給穴が設けられており、この液体供給穴
を介してヘッドユニット３１０ａ〜３１０ｄのそれぞれ
に液体を供給する構成とすることにより、液体吐出ヘッ
ドをよりコンパクトに、かつ最小の部品点数で安価に提
供することが可能となる。
【０１１３】また、枠体３２０の材料においては、枠体
３２０がオリフィスプレート３０２を保持するためのも
のであるため、熱によって膨張、ゆがみが生じない低線
膨張係数の材料を選定することが重要である。このよう
な材料としては、酸化アルミニウム、炭化ケイ素、窒化
ケイ素等が、様々な液体に対して安定で、熱的にも安定
で好ましい。
３２０がオリフィスプレート３０２を保持するためのも
のであるため、熱によって膨張、ゆがみが生じない低線
膨張係数の材料を選定することが重要である。このよう
な材料としては、酸化アルミニウム、炭化ケイ素、窒化
ケイ素等が、様々な液体に対して安定で、熱的にも安定
で好ましい。
【０１１４】なお、本形態においては、オリフィスプレ
ートのヘッド接合面側にヘッドユニットに嵌合する凸部
を形成したが、線膨張係数の低い材料で、かつ、流路内
への接着剤の流入が抑制できるものであれば、フラット
な接合面のオリフィスプレートに対して有効であること
は言うまでもない。
ートのヘッド接合面側にヘッドユニットに嵌合する凸部
を形成したが、線膨張係数の低い材料で、かつ、流路内
への接着剤の流入が抑制できるものであれば、フラット
な接合面のオリフィスプレートに対して有効であること
は言うまでもない。
【０１１５】接着材の硬化が完了した液体吐出ヘッドを
用いて印字を行ったところ、極めて高い着弾精度を得る
ことが確認できた。
用いて印字を行ったところ、極めて高い着弾精度を得る
ことが確認できた。
【０１１６】その後、オリフィスプレート３０２のヘッ
ドユニット３１０ａとの接合面側からエキシマレーザー
光を照射し、凹部３０４で接合させた。
ドユニット３１０ａとの接合面側からエキシマレーザー
光を照射し、凹部３０４で接合させた。
【０１１７】上述した実施の形態においては、オリフィ
スプレートとヘッドユニットとを接合した後、オリフィ
スプレートを保持する保持材として枠体をオリフィスプ
レートに接合したが、枠体がオリフィスプレートに一体
に形成されたものにヘッドユニットを接合させることも
考えられる。
スプレートとヘッドユニットとを接合した後、オリフィ
スプレートを保持する保持材として枠体をオリフィスプ
レートに接合したが、枠体がオリフィスプレートに一体
に形成されたものにヘッドユニットを接合させることも
考えられる。
【０１１８】本形態の構成は図１２に示したものと同様
であるが、枠体３２０の材料としては、オリフィスプレ
ート３０２の熱膨張を規制することや機械的強度が高い
ことや精度が高い加工ができること等を考慮し、シリコ
ンやセラミックス、低線膨張係数の樹脂、金属等が挙げ
られるが、本形態においては、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）９
９．５％からなるセラミックモールド品を用い、オリフ
ィスプレート３０２との接合面をラッピングで仕上げた
ものを使用した。なお、オリフィスプレート３０２と同
一部材であってもかまわない。
であるが、枠体３２０の材料としては、オリフィスプレ
ート３０２の熱膨張を規制することや機械的強度が高い
ことや精度が高い加工ができること等を考慮し、シリコ
ンやセラミックス、低線膨張係数の樹脂、金属等が挙げ
られるが、本形態においては、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）９
９．５％からなるセラミックモールド品を用い、オリフ
ィスプレート３０２との接合面をラッピングで仕上げた
ものを使用した。なお、オリフィスプレート３０２と同
一部材であってもかまわない。
【０１１９】以下に、本形態の液体吐出ヘッドの他の製
造方法について説明する。なお、オリフィスプレート３
０２の加工については、図１３において説明した方法と
同様であるのでここでの説明は省略する。
造方法について説明する。なお、オリフィスプレート３
０２の加工については、図１３において説明した方法と
同様であるのでここでの説明は省略する。
【０１２０】図１６は、本発明の液体吐出ヘッドの製造
工程の他の例を示す図である。
工程の他の例を示す図である。
【０１２１】まず、枠体３２０のオリフィスプレート３
０２との接合面側に、ヘッドユニットとオリフィスプレ
ート３０２とを接合するときと同じセキオン重合型エポ
キシ接着剤を予め塗布し、Ｂステージ化させておいたも
のを組み立てる（図１６（ａ），（ｂ））。
０２との接合面側に、ヘッドユニットとオリフィスプレ
ート３０２とを接合するときと同じセキオン重合型エポ
キシ接着剤を予め塗布し、Ｂステージ化させておいたも
のを組み立てる（図１６（ａ），（ｂ））。
【０１２２】ここで、枠体３２０のヘッドユニット挿入
部３２１においては、ヘッドユニットがオリフィス３０
１を基準に組み込まれたときの障害にならないように、
ヘッドユニットの厚さ公差、枠体の加工公差、枠体３２
０とオリフィスプレート３０２の位置合わせ精度等を考
慮して間隔を設けておく。また、枠体３２０に、ヘッド
ユニットに供給する液体供給路（不図示）を形成してお
くことにより、液体吐出ヘッドをよりコンパクトに、か
つ部品点数を少なくすることができ、低コスト化を図る
ことができる。
部３２１においては、ヘッドユニットがオリフィス３０
１を基準に組み込まれたときの障害にならないように、
ヘッドユニットの厚さ公差、枠体の加工公差、枠体３２
０とオリフィスプレート３０２の位置合わせ精度等を考
慮して間隔を設けておく。また、枠体３２０に、ヘッド
ユニットに供給する液体供給路（不図示）を形成してお
くことにより、液体吐出ヘッドをよりコンパクトに、か
つ部品点数を少なくすることができ、低コスト化を図る
ことができる。
【０１２３】次に、各色のヘッドユニット３１０ａ〜３
１０ｄを枠体３２０のヘッドユニット挿入部３２１より
挿入し、前述の実施形態と同様に、オリフィスプレート
ホルダー（基台）の実質的に平坦な面上に配されたオリ
フィスプレート３０２のオリフィス３０１とヘッドユニ
ット３１０ａ〜３１０ｄの流路３１２とを位置合わせし
接合する（図１６（ｃ），（ｄ））。なお、枠体３２０
をヘッドユニット３１０ａ〜３１０ｄとの隙間には、硬
化収縮の小さなシリコーン樹脂を充填すると良い。
１０ｄを枠体３２０のヘッドユニット挿入部３２１より
挿入し、前述の実施形態と同様に、オリフィスプレート
ホルダー（基台）の実質的に平坦な面上に配されたオリ
フィスプレート３０２のオリフィス３０１とヘッドユニ
ット３１０ａ〜３１０ｄの流路３１２とを位置合わせし
接合する（図１６（ｃ），（ｄ））。なお、枠体３２０
をヘッドユニット３１０ａ〜３１０ｄとの隙間には、硬
化収縮の小さなシリコーン樹脂を充填すると良い。
【０１２４】上述した一連の工程により製造された液体
吐出ヘッドにおいても、極めて高い着弾精度を得ること
ができ、また、枠体３２０によってオリフィスプレート
３０２が支持されているため、機械的強度に対して強く
なる。さらに、インク供給路を枠体３２０に配設するこ
とによって液体吐出ヘッドを小さくコンパクトにするこ
とができ、プリンター本体の小型化に寄与することが可
能となるほか、部品点数も削減でき、コストを抑えるこ
とも可能となる。
吐出ヘッドにおいても、極めて高い着弾精度を得ること
ができ、また、枠体３２０によってオリフィスプレート
３０２が支持されているため、機械的強度に対して強く
なる。さらに、インク供給路を枠体３２０に配設するこ
とによって液体吐出ヘッドを小さくコンパクトにするこ
とができ、プリンター本体の小型化に寄与することが可
能となるほか、部品点数も削減でき、コストを抑えるこ
とも可能となる。
【０１２５】（第４の実施の形態）図１７，１８は本発
明の第４実施形態による液体吐出ヘッドを示している。
複数の流路４０１およびこの複数の流路４０１と連通す
る単一の液室４０２を構成するための溝状の凹部が形成
された天板４００と、吐出エネルギーを発生するための
エネルギー発生素子（本実施形態では発熱素子であるヒ
ータ）５０１およびこれに電気信号を供給するためのア
ルミニウムの配線（図示せず）とが成膜技術によってシ
リコン基板上に形成された基板（ヒータボード）５００
とが接合されて、ヘッド本体４２０が構成されている。
そして、天板４００と基板５００とが接合されることに
よって、流路４０１と液室４０２とが、天板４００と基
板５００との間に構成される。
明の第４実施形態による液体吐出ヘッドを示している。
複数の流路４０１およびこの複数の流路４０１と連通す
る単一の液室４０２を構成するための溝状の凹部が形成
された天板４００と、吐出エネルギーを発生するための
エネルギー発生素子（本実施形態では発熱素子であるヒ
ータ）５０１およびこれに電気信号を供給するためのア
ルミニウムの配線（図示せず）とが成膜技術によってシ
リコン基板上に形成された基板（ヒータボード）５００
とが接合されて、ヘッド本体４２０が構成されている。
そして、天板４００と基板５００とが接合されることに
よって、流路４０１と液室４０２とが、天板４００と基
板５００との間に構成される。
【０１２６】各流路４０１の先端開口部が位置する開口
配設面（ヘッド本体４２０の前端面）４４４には、オリ
フィスプレート４４０が接着剤４４２によって貼り合わ
される。本実施形態のオリフィスプレート４４０は、厚
さが５０μｍのポリサルフォンフィルムからなる。オリ
フィスプレート４４０には、各流路４０１とそれぞれ連
通する複数の吐出口４４１が設けられており、この吐出
口４４１の内壁からヘッド本体４２０側に突出する凸部
４４５が一体的に形成されている。この凸部４４５は、
各流路４０１の先端開口部の内側にそれぞれ入り込んで
いる。凸部４４５および吐出口４４１は、先細になるテ
ーパ状に形成されている。
配設面（ヘッド本体４２０の前端面）４４４には、オリ
フィスプレート４４０が接着剤４４２によって貼り合わ
される。本実施形態のオリフィスプレート４４０は、厚
さが５０μｍのポリサルフォンフィルムからなる。オリ
フィスプレート４４０には、各流路４０１とそれぞれ連
通する複数の吐出口４４１が設けられており、この吐出
口４４１の内壁からヘッド本体４２０側に突出する凸部
４４５が一体的に形成されている。この凸部４４５は、
各流路４０１の先端開口部の内側にそれぞれ入り込んで
いる。凸部４４５および吐出口４４１は、先細になるテ
ーパ状に形成されている。
【０１２７】この液体吐出ヘッドによると、液室４０２
から各流路４０１へ液体（インク）が供給される。そし
て、図示しない駆動手段が、形成すべき画像に応じてイ
ンク吐出すべき流路４０１を選択し、選択された流路４
０１内のヒータ５０１に駆動信号を供給する。駆動信号
を受けたヒータ５０１は発熱し、その流路４０１内のイ
ンクを加熱する。加熱されたインクは発泡し、その気泡
の成長に伴う圧力によってインク滴が吐出口４４１から
外部へ吐出する。外部へ吐出するインク滴は、図示しな
い記録媒体（記録紙等）に付着し、記録媒体上に画像が
形成される。本実施形態では、凸部４４５が形成されて
いることにより、流路４０１から吐出口４４１へのイン
クの流れが円滑で、吐出効率がよい。
から各流路４０１へ液体（インク）が供給される。そし
て、図示しない駆動手段が、形成すべき画像に応じてイ
ンク吐出すべき流路４０１を選択し、選択された流路４
０１内のヒータ５０１に駆動信号を供給する。駆動信号
を受けたヒータ５０１は発熱し、その流路４０１内のイ
ンクを加熱する。加熱されたインクは発泡し、その気泡
の成長に伴う圧力によってインク滴が吐出口４４１から
外部へ吐出する。外部へ吐出するインク滴は、図示しな
い記録媒体（記録紙等）に付着し、記録媒体上に画像が
形成される。本実施形態では、凸部４４５が形成されて
いることにより、流路４０１から吐出口４４１へのイン
クの流れが円滑で、吐出効率がよい。
【０１２８】なお、オリフィスプレート４４０の材質と
しては、ステンレス、ニッケルなどの金属フィルム、ま
たは耐インク性に優れたプラスチックフィルム、例え
ば、ポリイミド、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフ
ォン、ポリフェニレンオキサイド、ポリフェニレンサル
ファイド、ポリプロピレンなどの樹脂フィルム材が望ま
しい。
しては、ステンレス、ニッケルなどの金属フィルム、ま
たは耐インク性に優れたプラスチックフィルム、例え
ば、ポリイミド、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフ
ォン、ポリフェニレンオキサイド、ポリフェニレンサル
ファイド、ポリプロピレンなどの樹脂フィルム材が望ま
しい。
【０１２９】また、本実施形態では、オリフィスプレー
ト４４０とヘッド本体４２０の開口配設面４４４とを接
合する接着剤４４２として、ＵＶ照射によりタック性を
保持したままＢステージ化して硬化収縮が終了し、更な
るＵＶ照射、もしくは加熱することにより硬化するエポ
キシ系接着剤を用いた。なお、該接着剤４４２は加熱圧
着のみでも接着が可能である。
ト４４０とヘッド本体４２０の開口配設面４４４とを接
合する接着剤４４２として、ＵＶ照射によりタック性を
保持したままＢステージ化して硬化収縮が終了し、更な
るＵＶ照射、もしくは加熱することにより硬化するエポ
キシ系接着剤を用いた。なお、該接着剤４４２は加熱圧
着のみでも接着が可能である。
【０１３０】次に、本実施形態の液体吐出ヘッドの製造
方法について説明する。
方法について説明する。
【０１３１】図１９は、前記構成の液体吐出ヘッドを製
造するためのレーザー加工装置の概略構成図である。こ
のレーザー加工装置は、レーザー光５１２を発するレー
ザー光源であるレーザー発振器５１１と、レーザー発振
器５１１からのレーザー光によりワークＷの加工を行う
加工系が設けられた装置フレーム４０６と、ワークＷの
加工に関する情報処理および制御を行う情報処理・制御
系４０７とを有する。
造するためのレーザー加工装置の概略構成図である。こ
のレーザー加工装置は、レーザー光５１２を発するレー
ザー光源であるレーザー発振器５１１と、レーザー発振
器５１１からのレーザー光によりワークＷの加工を行う
加工系が設けられた装置フレーム４０６と、ワークＷの
加工に関する情報処理および制御を行う情報処理・制御
系４０７とを有する。
【０１３２】レーザー加工装置で使用するレーザー発振
器５１１としては、例えば、ＹＡＧレーザー発振器や、
ＣＯ2レーザー発振器や、エキシマレーザー発振器や、
Ｎ2レーザー発振器等、高出力のものが考えられるが、
本実施形態においては、エキシマレーザー発振器の中の
Ｋｒ−Ｆエキシマレーザー発振器が用いられている。
器５１１としては、例えば、ＹＡＧレーザー発振器や、
ＣＯ2レーザー発振器や、エキシマレーザー発振器や、
Ｎ2レーザー発振器等、高出力のものが考えられるが、
本実施形態においては、エキシマレーザー発振器の中の
Ｋｒ−Ｆエキシマレーザー発振器が用いられている。
【０１３３】装置フレーム４０６は、光学系４０８と、
ワークＷの位置を観察および測定する観察・測定系４０
９と、マスク４１０と、ワークＷを移動させるためのワ
ークステーション４１１とを有する。光学系４０８は、
装置フレーム４０６に入射されるレーザー光５１２の光
軸ａ上に配置されたビーム整形光学系およびケーラー照
明光学系４０８ａと、マスク４１０の像をワークＷの加
工面に結像させる投影光学系４０８ｂとを有し、ビーム
整形光学系およびケーラー照明光学系８ａと投影光学系
４０８ｂとの間にマスク４１０が配置されている。
ワークＷの位置を観察および測定する観察・測定系４０
９と、マスク４１０と、ワークＷを移動させるためのワ
ークステーション４１１とを有する。光学系４０８は、
装置フレーム４０６に入射されるレーザー光５１２の光
軸ａ上に配置されたビーム整形光学系およびケーラー照
明光学系４０８ａと、マスク４１０の像をワークＷの加
工面に結像させる投影光学系４０８ｂとを有し、ビーム
整形光学系およびケーラー照明光学系８ａと投影光学系
４０８ｂとの間にマスク４１０が配置されている。
【０１３４】図２０には、マスク４１０を拡大して示し
ている。本実施形態のマスク４１０は、前記構成の液体
吐出ヘッドのオリフィスプレート４４０を加工するため
に、加工単位面積当たりのレーザー光透過率が部分的に
変えられており、図１７に示す吐出口４４１に対応する
領域（吐出口形成部分）４５０の透過率が１００％、凸
部４４５に対応する領域（凸部形成部分）４５１の透過
率が０％、そしてそれ以外の部分４５３の透過率が３０
％となっている。
ている。本実施形態のマスク４１０は、前記構成の液体
吐出ヘッドのオリフィスプレート４４０を加工するため
に、加工単位面積当たりのレーザー光透過率が部分的に
変えられており、図１７に示す吐出口４４１に対応する
領域（吐出口形成部分）４５０の透過率が１００％、凸
部４４５に対応する領域（凸部形成部分）４５１の透過
率が０％、そしてそれ以外の部分４５３の透過率が３０
％となっている。
【０１３５】投影光学系４０８ｂは、マスク４１０の耐
久性を考慮すると、縮小光学系であることが好ましい。
本実施形態では、４分の１倍の縮小の投影光学系４０８
ｂが設けられている。
久性を考慮すると、縮小光学系であることが好ましい。
本実施形態では、４分の１倍の縮小の投影光学系４０８
ｂが設けられている。
【０１３６】ワークステーション４１１の詳細な構成に
ついては図示していないが、上記光軸ａに対するワーク
Ｗの傾きを調整するために、適宜な調整手段を備えると
よい。例えば、互いに直交する３軸と、２つの軸回りの
回転の５軸について自由度を持つステージの組み合わせ
でワークステーション４１１を構成してもよい。回転調
整のための中心をワークＷの加工中心に合わせる構成に
することにより、調整手段の制御を簡素化することがで
きる。
ついては図示していないが、上記光軸ａに対するワーク
Ｗの傾きを調整するために、適宜な調整手段を備えると
よい。例えば、互いに直交する３軸と、２つの軸回りの
回転の５軸について自由度を持つステージの組み合わせ
でワークステーション４１１を構成してもよい。回転調
整のための中心をワークＷの加工中心に合わせる構成に
することにより、調整手段の制御を簡素化することがで
きる。
【０１３７】ワークステーション４１１上でのワークＷ
の位置決めのために、ワークＷをワークステーション４
１１に取り付ける治具４１１ａに、ワークステーション
４１１上に配置したワークＷに突き当てる複数の基準ピ
ンが設けられているとよい。また、治具４１１ａ上に、
上記突き当て機構の他に、エアー吸引などによるクラン
プ機構を設けて、これをオートハンドと一体化し、ワー
クステーション４１１へのワークＷの自動供給を可能に
するとよい。さらに、ワークＷを複数個同時にワークス
テーション４１１にセットすることで、とりおき時間を
短縮するようにしてもよい。ただし、この場合には、調
整手段の回転方向の１軸については、これをワークＷの
中心に配置できないので、測定時とワークＷの移動時と
で、基準値の変換を行う必要がある。
の位置決めのために、ワークＷをワークステーション４
１１に取り付ける治具４１１ａに、ワークステーション
４１１上に配置したワークＷに突き当てる複数の基準ピ
ンが設けられているとよい。また、治具４１１ａ上に、
上記突き当て機構の他に、エアー吸引などによるクラン
プ機構を設けて、これをオートハンドと一体化し、ワー
クステーション４１１へのワークＷの自動供給を可能に
するとよい。さらに、ワークＷを複数個同時にワークス
テーション４１１にセットすることで、とりおき時間を
短縮するようにしてもよい。ただし、この場合には、調
整手段の回転方向の１軸については、これをワークＷの
中心に配置できないので、測定時とワークＷの移動時と
で、基準値の変換を行う必要がある。
【０１３８】観察・測定系４０９は、１対の観測器と光
軸ａ上に配置された２面のミラー４０９ｄとにより構成
されている。観測器は、対物レンズを備えた鏡筒４０９
ａと、鏡筒４０９ａに組み込まれた落射照明光源４０９
ｂと、鏡筒４０９ａに接続されたＣＣＤカメラセンサ４
０９ｃとからなる。
軸ａ上に配置された２面のミラー４０９ｄとにより構成
されている。観測器は、対物レンズを備えた鏡筒４０９
ａと、鏡筒４０９ａに組み込まれた落射照明光源４０９
ｂと、鏡筒４０９ａに接続されたＣＣＤカメラセンサ４
０９ｃとからなる。
【０１３９】各観測器およびミラー４０９ｄは、投影光
学系４０８ｂとワークステーション４１１との間に配置
されており、レーザー照射時にはミラー４０９ｄは光軸
ａから外れ、測定時にのみ光軸ａ上に移動するようにし
てある。本実施形態では、ミラー４０９ｄの移動は、図
示しないエアシリンダ機構により制御されている。
学系４０８ｂとワークステーション４１１との間に配置
されており、レーザー照射時にはミラー４０９ｄは光軸
ａから外れ、測定時にのみ光軸ａ上に移動するようにし
てある。本実施形態では、ミラー４０９ｄの移動は、図
示しないエアシリンダ機構により制御されている。
【０１４０】情報処理・制御系４０７には、観察・測定
系４０９からのワークＷの位置データ、およびパワーデ
ィテクター４０４からのビームパワーのデータがフィー
ドバックされる。具体的には、各観測器に接続されてい
る画像処理系４０７ａと、画像処理系４０７ａに接続さ
れている制御系４０７ｂと、制御系４０７ｂに接続され
ワークステーション４１１におけるワークＷの移動を行
なう移動手段４０７ｃと、制御系４０７ｂおよびレーザ
ー発振器５１１に接続されているインターフェース４０
７ｄとを有している。
系４０９からのワークＷの位置データ、およびパワーデ
ィテクター４０４からのビームパワーのデータがフィー
ドバックされる。具体的には、各観測器に接続されてい
る画像処理系４０７ａと、画像処理系４０７ａに接続さ
れている制御系４０７ｂと、制御系４０７ｂに接続され
ワークステーション４１１におけるワークＷの移動を行
なう移動手段４０７ｃと、制御系４０７ｂおよびレーザ
ー発振器５１１に接続されているインターフェース４０
７ｄとを有している。
【０１４１】図２１は本実施形態の液体吐出ヘッドの製
造方法を示すフローチャートである。まず、前記レーザ
ー加工装置を用いたオリフィスプレート４４５の製造に
ついて説明する。
造方法を示すフローチャートである。まず、前記レーザ
ー加工装置を用いたオリフィスプレート４４５の製造に
ついて説明する。
【０１４２】図１９に示すワークＷとして、オリフィス
プレート４４５となるポリサルフォンフィルムをワーク
ステーション４１１にセットする。そして、レーザー発
振器１からレーザー光５１２を照射する。レーザー発振
器５１１から発生されたレーザー光５１２は、その一部
がビームスプリッター４０３に反射され、その反射光は
パワーディテクター４０４によってモニターされる。一
方、ビームスプリッター４０３を透過したレーザー光５
１２は、２つの４５ー全反射ミラー４０５で反射されて
装置フレーム４０６に入射される。なお、ビームスプリ
ッター４０３は、合成石英の平行平面板で、表面反射の
みでレーザー光５１２の一部を分離している。
プレート４４５となるポリサルフォンフィルムをワーク
ステーション４１１にセットする。そして、レーザー発
振器１からレーザー光５１２を照射する。レーザー発振
器５１１から発生されたレーザー光５１２は、その一部
がビームスプリッター４０３に反射され、その反射光は
パワーディテクター４０４によってモニターされる。一
方、ビームスプリッター４０３を透過したレーザー光５
１２は、２つの４５ー全反射ミラー４０５で反射されて
装置フレーム４０６に入射される。なお、ビームスプリ
ッター４０３は、合成石英の平行平面板で、表面反射の
みでレーザー光５１２の一部を分離している。
【０１４３】装置フレーム４０６に入射したレーザー光
５１２は、ビーム整形光学系およびケーラー照明光学系
４０８ａを透過して、投影光学系４０８ｂによりマスク
４１０の像をワークＷの加工面に結像させる。本実施形
態においては、約１（Ｊ／ｃｍ2・ｐｕｌｓ）、２００
〜４００ｐｕｌｓという条件でレーザー照射を行ない、
レーザーアブレーションによるポリサルフォンフィルム
の切削加工を行った。前記の通り、マスク４１０は、レ
ーザー光透過率が１００％、３０％、０％に別れている
ため、この透過率に応じて加工される。このオリフィス
プレート４４０の拡大断面図が、図２２に示されてい
る。すなわち、透過率１００％の部分は、完全にポリサ
ルフォンフィルムを貫通する吐出口となり、透過率３０
％の部分はある程度薄く（本実施形態では厚さ約５０μ
ｍのフィルムを１０〜２０μｍ程度切削して３０〜４０
μｍの厚さに）している。
５１２は、ビーム整形光学系およびケーラー照明光学系
４０８ａを透過して、投影光学系４０８ｂによりマスク
４１０の像をワークＷの加工面に結像させる。本実施形
態においては、約１（Ｊ／ｃｍ2・ｐｕｌｓ）、２００
〜４００ｐｕｌｓという条件でレーザー照射を行ない、
レーザーアブレーションによるポリサルフォンフィルム
の切削加工を行った。前記の通り、マスク４１０は、レ
ーザー光透過率が１００％、３０％、０％に別れている
ため、この透過率に応じて加工される。このオリフィス
プレート４４０の拡大断面図が、図２２に示されてい
る。すなわち、透過率１００％の部分は、完全にポリサ
ルフォンフィルムを貫通する吐出口となり、透過率３０
％の部分はある程度薄く（本実施形態では厚さ約５０μ
ｍのフィルムを１０〜２０μｍ程度切削して３０〜４０
μｍの厚さに）している。
【０１４４】そして透過率０％の部分は切削されず、相
対的な凸部４４５となる。
対的な凸部４４５となる。
【０１４５】一方、レーザー発振器４０１から照射され
たレーザー光５１２のうちの一部が、ビームスプリッタ
ー４０３に反射されてパワーディテクター４０４に入射
すると、ビームパワーのデータがパワーディテクター４
０４から情報処理・制御系４０７の画像処理系４０７ａ
に送出されている。そして画像処理系４０７ａによる処
理結果が制御系４０７ｂに送られる。また、観察・測定
系４０９のＣＣＤカメラセンサ４０９ｃからワークＷの
位置データが、情報処理・制御系４０７の制御系４０７
ｂにフィードバックされる。
たレーザー光５１２のうちの一部が、ビームスプリッタ
ー４０３に反射されてパワーディテクター４０４に入射
すると、ビームパワーのデータがパワーディテクター４
０４から情報処理・制御系４０７の画像処理系４０７ａ
に送出されている。そして画像処理系４０７ａによる処
理結果が制御系４０７ｂに送られる。また、観察・測定
系４０９のＣＣＤカメラセンサ４０９ｃからワークＷの
位置データが、情報処理・制御系４０７の制御系４０７
ｂにフィードバックされる。
【０１４６】制御系４０７ｂは、供給されたデータ等に
基づいてワークＷの移動距離を算出し、移動手段４０７
ｃを作動させて、ワークステーション４１１においてワ
ークＷの置かれたステージ移動を行なわせる。そして、
観察・制御系４０９により測定された位置データが所定
値になると、移動手段４０７ｃによる位置調整を終了
し、ミラー４０９ｄを光軸ａからずらし、レーザー発振
器４０１に対してレーザー光５１２の発光を行なわせる
信号を所定時間あるいは所定パルス数だけ供給する。ま
た、パワーディテクター４０４からのビームパワー情報
は、制御系４０７ｂにフィードバックされ、ここでイン
ターフェース４０７ｄを介してレーザー発振器５１１に
与える出力の大きさの調整を行う。このような制御を行
ないながら、前記の通りレーザーアブレーションによる
ポリサルフォンフィルムの切削加工を行い、吐出口４４
１と凸部４４５とそれ以外の部分とを形成する。こうし
てオリフィスプレート４４０の製造が完了する（ステッ
プ４３０）。
基づいてワークＷの移動距離を算出し、移動手段４０７
ｃを作動させて、ワークステーション４１１においてワ
ークＷの置かれたステージ移動を行なわせる。そして、
観察・制御系４０９により測定された位置データが所定
値になると、移動手段４０７ｃによる位置調整を終了
し、ミラー４０９ｄを光軸ａからずらし、レーザー発振
器４０１に対してレーザー光５１２の発光を行なわせる
信号を所定時間あるいは所定パルス数だけ供給する。ま
た、パワーディテクター４０４からのビームパワー情報
は、制御系４０７ｂにフィードバックされ、ここでイン
ターフェース４０７ｄを介してレーザー発振器５１１に
与える出力の大きさの調整を行う。このような制御を行
ないながら、前記の通りレーザーアブレーションによる
ポリサルフォンフィルムの切削加工を行い、吐出口４４
１と凸部４４５とそれ以外の部分とを形成する。こうし
てオリフィスプレート４４０の製造が完了する（ステッ
プ４３０）。
【０１４７】一方、別途形成された天板４００と基板５
００とが、積層状態で接着剤により接着されてヘッド本
体４２０が構成されている（ステップ４３１）。そし
て、このヘッド本体４２０の開口配設面４４４に、基台
の平坦な面の上に載置されたオリフィスプレート４４０
が押圧されエポキシ接着剤４４２により接着される（ス
テップ４３２）。この時、各吐出口４４１が各流路４０
１と連通し、凸部４４５が各流路４０１の中に侵入する
ように位置合わせされている。次いでヘッドと基台とが
互いに離される（ステップ４３３）。
００とが、積層状態で接着剤により接着されてヘッド本
体４２０が構成されている（ステップ４３１）。そし
て、このヘッド本体４２０の開口配設面４４４に、基台
の平坦な面の上に載置されたオリフィスプレート４４０
が押圧されエポキシ接着剤４４２により接着される（ス
テップ４３２）。この時、各吐出口４４１が各流路４０
１と連通し、凸部４４５が各流路４０１の中に侵入する
ように位置合わせされている。次いでヘッドと基台とが
互いに離される（ステップ４３３）。
【０１４８】（第５の実施の形態）次に、図２３〜２５
を参照して本発明の第５の実施形態について説明する。
を参照して本発明の第５の実施形態について説明する。
【０１４９】本実施形態は、オリフィスプレート５４０
の凸部５４５の周囲に溝５４３を形成した構成であり、
それ以外の構成は第４実施形態と実質的に同じである。
第４実施形態と同様の構成については、同一の符号を付
与し説明を省略する。
の凸部５４５の周囲に溝５４３を形成した構成であり、
それ以外の構成は第４実施形態と実質的に同じである。
第４実施形態と同様の構成については、同一の符号を付
与し説明を省略する。
【０１５０】本実施形態のオリフィスプレート５４０
は、ヘッド本体４２０の流路４０１と対向する吐出口５
４１と、この吐出口５４１の内壁からヘッド本体４２０
側に突出する凸部５４５が一体的に形成されている。凸
部５４５および吐出口５４１は、先細になるテーパ状に
形成されている。また、凸部５４５の周囲には溝５４３
が形成されている。
は、ヘッド本体４２０の流路４０１と対向する吐出口５
４１と、この吐出口５４１の内壁からヘッド本体４２０
側に突出する凸部５４５が一体的に形成されている。凸
部５４５および吐出口５４１は、先細になるテーパ状に
形成されている。また、凸部５４５の周囲には溝５４３
が形成されている。
【０１５１】本実施形態のオリフィスプレート５４０製
造用のマスク５１０は、図２４に示すように、マスクに
おける加工単位面積当たりのレーザー光透過率を、吐出
口５４１に対応する領域（吐出口形成部分）５５０では
１００％、凸部５４５に対応する領域（凸部形成部分）
５５１では０％、凸部５４５の周囲に設ける溝５４３に
対応する領域（溝形成部分）５５２では１００％、それ
以外の部分５５３では３０％としている。そして、約１
（Ｊ／ｃｍ2・ｐｕｌｓ）、２００〜４００ｐｕｌｓと
いう条件でレーザー照射を行ない、レーザーアブレーシ
ョンによる加工を行った。その結果、吐出口５４１、凸
部５４５、溝５４３、その他の部分が形成される。その
他の部分の厚みは３０〜４０μｍである。
造用のマスク５１０は、図２４に示すように、マスクに
おける加工単位面積当たりのレーザー光透過率を、吐出
口５４１に対応する領域（吐出口形成部分）５５０では
１００％、凸部５４５に対応する領域（凸部形成部分）
５５１では０％、凸部５４５の周囲に設ける溝５４３に
対応する領域（溝形成部分）５５２では１００％、それ
以外の部分５５３では３０％としている。そして、約１
（Ｊ／ｃｍ2・ｐｕｌｓ）、２００〜４００ｐｕｌｓと
いう条件でレーザー照射を行ない、レーザーアブレーシ
ョンによる加工を行った。その結果、吐出口５４１、凸
部５４５、溝５４３、その他の部分が形成される。その
他の部分の厚みは３０〜４０μｍである。
【０１５２】また、図２５に示すように、本実施形態の
凸部５４５から溝５４３にかけてのテーパー角５４９
は、前述の実施形態の凸部４４５から吐出口内へのテー
パー角４４８よりも小さくなり、ヘッド本体４２０の流
路４０１に凸部５４５が入り込むスペースにゆとりがで
きる。これは、一般に、アブレーションによる加工にお
いては、エネルギー密度が高いとテーパー角は小さくな
る傾向があり、マスクの溝５４３に対応する領域５５２
は、凹部５４６に対応する領域５５３より加工単位面積
当たりのレーザー光透過率が高いため、加工単位面積当
たりのエネルギー量も高くなっているためである。そし
て、図２５に示される溝５４３は、オリフィスプレート
５４０とヘッド本体４２０とを接着する接着剤が多すぎ
ても流路４０１あるいは吐出口５４１に入り込むことを
防ぐ接着剤のたまり溝の役目をする。
凸部５４５から溝５４３にかけてのテーパー角５４９
は、前述の実施形態の凸部４４５から吐出口内へのテー
パー角４４８よりも小さくなり、ヘッド本体４２０の流
路４０１に凸部５４５が入り込むスペースにゆとりがで
きる。これは、一般に、アブレーションによる加工にお
いては、エネルギー密度が高いとテーパー角は小さくな
る傾向があり、マスクの溝５４３に対応する領域５５２
は、凹部５４６に対応する領域５５３より加工単位面積
当たりのレーザー光透過率が高いため、加工単位面積当
たりのエネルギー量も高くなっているためである。そし
て、図２５に示される溝５４３は、オリフィスプレート
５４０とヘッド本体４２０とを接着する接着剤が多すぎ
ても流路４０１あるいは吐出口５４１に入り込むことを
防ぐ接着剤のたまり溝の役目をする。
【０１５３】図２３に示すように、このオリフィスプレ
ート５４０を、天板４００と基板とを接合したヘッド本
体４２０に貼り合わて液体吐出ヘッドが完成する。
ート５４０を、天板４００と基板とを接合したヘッド本
体４２０に貼り合わて液体吐出ヘッドが完成する。
【０１５４】（第６の実施の形態）図２６は本発明の第
６の実施形態による液体吐出ヘッドを部分的に破断して
その構成を具体的に表した斜視図、図２７は図２６の液
体吐出ヘッドを示す断面図、図２８は図２６の液体吐出
ヘッドの製造方法を説明する工程図である。
６の実施形態による液体吐出ヘッドを部分的に破断して
その構成を具体的に表した斜視図、図２７は図２６の液
体吐出ヘッドを示す断面図、図２８は図２６の液体吐出
ヘッドの製造方法を説明する工程図である。
【０１５５】図２６で示す液体吐出ヘッドは、液室７０
９及びインク供給口７１１が形成された天板７０４と、
吐出エネルギー発生素子である発熱体７０１及びこれに
電気信号を供給するためのＡｌ配線とが成膜技術によっ
てＳｉ基板上に形成された基板７０２と、天板７０４あ
るいは基板７０２に設けられ、発熱体７０１を配置する
流路７１０を天板７０４及び基板７０２の接合によって
構成するノズル壁７０３と、天板７０４と基板７０２の
接合体の端部に接合され流路７１０毎に吐出口７０６が
形成されたオリフィスプレート７０５とを有する。さら
にオリフィスプレート７０５の吐出口７０６の周囲に
は、天板７０４及び基板７０２の接合によって構成され
た流路の開口に侵入する凸部７０７が形成されている
（図２７参照）。
９及びインク供給口７１１が形成された天板７０４と、
吐出エネルギー発生素子である発熱体７０１及びこれに
電気信号を供給するためのＡｌ配線とが成膜技術によっ
てＳｉ基板上に形成された基板７０２と、天板７０４あ
るいは基板７０２に設けられ、発熱体７０１を配置する
流路７１０を天板７０４及び基板７０２の接合によって
構成するノズル壁７０３と、天板７０４と基板７０２の
接合体の端部に接合され流路７１０毎に吐出口７０６が
形成されたオリフィスプレート７０５とを有する。さら
にオリフィスプレート７０５の吐出口７０６の周囲に
は、天板７０４及び基板７０２の接合によって構成され
た流路の開口に侵入する凸部７０７が形成されている
（図２７参照）。
【０１５６】次に、本実施形態による液体吐出ヘッドの
製造方法を説明する。
製造方法を説明する。
【０１５７】まず、図２８（ａ）に示すように、液室及
びインク供給口（不図示）が形成された天板７０４と、
天板７０４との接合により発熱体７０１毎に流路の一部
を形成するノズル壁７０３が設けられた基板７０２と、
吐出口７０６毎に流路の開口に侵入する凸部７０７を有
し基台７０５ａの平坦な面上に配されたオリフィスプレ
ート７０５とを用意する。
びインク供給口（不図示）が形成された天板７０４と、
天板７０４との接合により発熱体７０１毎に流路の一部
を形成するノズル壁７０３が設けられた基板７０２と、
吐出口７０６毎に流路の開口に侵入する凸部７０７を有
し基台７０５ａの平坦な面上に配されたオリフィスプレ
ート７０５とを用意する。
【０１５８】次に、図２８（ｂ）に示すように、ノズル
壁７０３間の流路を形成する溝に凸部７０７が入り込む
ように位置決めして基板７０２をオリフィスプレート７
０５に突き当てて接合する。オリフィスプレート７０５
と基板７０２を接合するための接着剤７０８はエポキシ
接着剤であり、基板７０２及びノズル壁７０３のオリフ
ィスプレート７０５への接合面に予め塗布されている
（接着剤の厚みは０．５〜５μｍ程度）。これは、樹脂
シートあるいはゴムシート上に均一に塗られた接着剤を
基板７０２及びノズル壁７０３の接合面に転写すること
で塗布した後、紫外線（ＵＶ）照射、赤外線照射あるい
は加熱などの処理によりタック性を保持したままＢステ
ージ化して、接着剤の硬化収縮を終らせたものである。
壁７０３間の流路を形成する溝に凸部７０７が入り込む
ように位置決めして基板７０２をオリフィスプレート７
０５に突き当てて接合する。オリフィスプレート７０５
と基板７０２を接合するための接着剤７０８はエポキシ
接着剤であり、基板７０２及びノズル壁７０３のオリフ
ィスプレート７０５への接合面に予め塗布されている
（接着剤の厚みは０．５〜５μｍ程度）。これは、樹脂
シートあるいはゴムシート上に均一に塗られた接着剤を
基板７０２及びノズル壁７０３の接合面に転写すること
で塗布した後、紫外線（ＵＶ）照射、赤外線照射あるい
は加熱などの処理によりタック性を保持したままＢステ
ージ化して、接着剤の硬化収縮を終らせたものである。
【０１５９】上記のようにオリフィスプレート７０５を
基板７０２に接合した後、紫外線（ＵＶ）照射または加
熱、あるいはＵＶ照射と加熱の併用によって、オリフィ
スプレート７０５と基板７０２の接着剤７０８を硬化さ
せる。このとき、オリフィスプレート７０５と基板７０
２を圧着しながらＵＶあるいは熱を付与してもよい。
基板７０２に接合した後、紫外線（ＵＶ）照射または加
熱、あるいはＵＶ照射と加熱の併用によって、オリフィ
スプレート７０５と基板７０２の接着剤７０８を硬化さ
せる。このとき、オリフィスプレート７０５と基板７０
２を圧着しながらＵＶあるいは熱を付与してもよい。
【０１６０】次に、図２８（ｃ）に示すように、オリフ
ィスプレート７０５と基板７０２との接合体に天板７０
４を接合し、基台７０５ａを離隔する。前記接合体と天
板７０４との接合のための接着剤７０８は、天板７０４
の、オリフィスプレート７０５及びノズル壁７０３への
接合面に予め塗布しておく。これは、塗布が不要な部分
をマスキングした天板７０４に接着剤を直接スプレーで
吹きかけることによって行なわれる。また、接合は天板
７０４をオリフィスプレート７０５に突き当てながら行
なう。接合後は、６０℃、５〜６０ｍｉｎのキュアで、
前記接合体と天板７０４の接着剤７０８を硬化させる。
この際、前記接合体と天板７０４をばねを用いて圧着し
ながら熱を付与する。接着剤の硬化は、更に高温で短時
間の硬化も可能である。
ィスプレート７０５と基板７０２との接合体に天板７０
４を接合し、基台７０５ａを離隔する。前記接合体と天
板７０４との接合のための接着剤７０８は、天板７０４
の、オリフィスプレート７０５及びノズル壁７０３への
接合面に予め塗布しておく。これは、塗布が不要な部分
をマスキングした天板７０４に接着剤を直接スプレーで
吹きかけることによって行なわれる。また、接合は天板
７０４をオリフィスプレート７０５に突き当てながら行
なう。接合後は、６０℃、５〜６０ｍｉｎのキュアで、
前記接合体と天板７０４の接着剤７０８を硬化させる。
この際、前記接合体と天板７０４をばねを用いて圧着し
ながら熱を付与する。接着剤の硬化は、更に高温で短時
間の硬化も可能である。
【０１６１】その後、図２６に示したインク供給口７１
１にインクタンク（不図示）を接続して液体吐出ヘッド
を完成させる。
１にインクタンク（不図示）を接続して液体吐出ヘッド
を完成させる。
【０１６２】（第７の実施の形態）図２９は本発明の第
７実施形態による、液体吐出ヘッドの製造方法を説明す
る工程図である。
７実施形態による、液体吐出ヘッドの製造方法を説明す
る工程図である。
【０１６３】本実施形態では第６の実施形態と異なり、
図２９（ａ）に示すように、発熱体７０１を有する基板
７０２と、基板７０２との接合により発熱体７０１毎に
流路の一部を形成するノズル壁７０３が設けられた天板
７０４と、吐出口７０６毎に流路の開口に侵入する凸部
７０７を有するオリフィスプレート７０５とを用いる。
図２９（ａ）に示すように、発熱体７０１を有する基板
７０２と、基板７０２との接合により発熱体７０１毎に
流路の一部を形成するノズル壁７０３が設けられた天板
７０４と、吐出口７０６毎に流路の開口に侵入する凸部
７０７を有するオリフィスプレート７０５とを用いる。
【０１６４】これらを用意した後、図２９（ｂ）に示す
ように、ノズル壁７０３間の流路を形成する溝に凸部７
０７が入り込むように位置決めして天板７０４をオリフ
ィスプレート７０５に突き当てて接合する。オリフィス
プレート７０５と天板７０４を接合するための接着剤７
０８には前述の実施形態と同様の方法で塗布したエポキ
シ接着剤を用い、接合後は前述の実施形態と同様にＵＶ
又は熱、あるいは両者の併用で接着剤を硬化させる。
ように、ノズル壁７０３間の流路を形成する溝に凸部７
０７が入り込むように位置決めして天板７０４をオリフ
ィスプレート７０５に突き当てて接合する。オリフィス
プレート７０５と天板７０４を接合するための接着剤７
０８には前述の実施形態と同様の方法で塗布したエポキ
シ接着剤を用い、接合後は前述の実施形態と同様にＵＶ
又は熱、あるいは両者の併用で接着剤を硬化させる。
【０１６５】次に、図２９（ｃ）に示すように、オリフ
ィスプレート７０５と天板７０４との接合体に基板７０
２を接合する。接合は基板７０２をオリフィスプレート
７０５に突き当てながら行なう。前記接合体と基板７０
２とを接合する接着剤７０８は前述の実施形態と同様の
方法で塗布され硬化される。この際、前記接合体と基板
７０２をばねを用いて圧着しながら熱を付与する。
ィスプレート７０５と天板７０４との接合体に基板７０
２を接合する。接合は基板７０２をオリフィスプレート
７０５に突き当てながら行なう。前記接合体と基板７０
２とを接合する接着剤７０８は前述の実施形態と同様の
方法で塗布され硬化される。この際、前記接合体と基板
７０２をばねを用いて圧着しながら熱を付与する。
【０１６６】その後、図２６に示したインク供給口７１
１にインクタンク（不図示）を接続して液体吐出ヘッド
を完成させる。
１にインクタンク（不図示）を接続して液体吐出ヘッド
を完成させる。
【０１６７】（第８の実施の形態）図３０は本発明の第
８実施形態による液体吐出ヘッドを示す断面図、図３１
は図３０の液体吐出ヘッドの別の形態例を示す断面図、
図３２は図３１に示した液体吐出ヘッドの製造方法を説
明する工程図である。
８実施形態による液体吐出ヘッドを示す断面図、図３１
は図３０の液体吐出ヘッドの別の形態例を示す断面図、
図３２は図３１に示した液体吐出ヘッドの製造方法を説
明する工程図である。
【０１６８】図３０で示す液体吐出ヘッドは、液室及び
インク供給口（図２６参照）が形成された天板７０４
と、吐出エネルギー発生素子である発熱体７０１がＳｉ
基板上に形成された基板７０２と、基板７０２に設けら
れ、発熱体７０１を配置する流路を天板７０４及び基板
７０２の接合によって構成するノズル壁７０３と、天板
７０４と基板７０２の接合体の端部に接合され流路毎に
吐出口７０６が形成されたオリフィスプレート７０５
と、オリフィスプレート７０５に天板７０４の端部が入
り込むように形成された堀り込み部７１２とを有する。
オリフィスプレート７０５の材料としては樹脂、金属、
無機材料などが考えられ、掘り込み部７１２は、フォト
リソグラフィー、レーザ加工、めっき、或いはエッチン
グ等の方法で作り込まれている。
インク供給口（図２６参照）が形成された天板７０４
と、吐出エネルギー発生素子である発熱体７０１がＳｉ
基板上に形成された基板７０２と、基板７０２に設けら
れ、発熱体７０１を配置する流路を天板７０４及び基板
７０２の接合によって構成するノズル壁７０３と、天板
７０４と基板７０２の接合体の端部に接合され流路毎に
吐出口７０６が形成されたオリフィスプレート７０５
と、オリフィスプレート７０５に天板７０４の端部が入
り込むように形成された堀り込み部７１２とを有する。
オリフィスプレート７０５の材料としては樹脂、金属、
無機材料などが考えられ、掘り込み部７１２は、フォト
リソグラフィー、レーザ加工、めっき、或いはエッチン
グ等の方法で作り込まれている。
【０１６９】さらにオリフィスプレート７０５の吐出口
７０６の周囲には、図３１に示すように、天板７０４及
び基板７０２の接合によって構成された流路の開口に侵
入する凸部７０７が形成されていてもよい。
７０６の周囲には、図３１に示すように、天板７０４及
び基板７０２の接合によって構成された流路の開口に侵
入する凸部７０７が形成されていてもよい。
【０１７０】次に、図３２を参照し、図３１に示した液
体吐出ヘッドの製造方法を説明する。
体吐出ヘッドの製造方法を説明する。
【０１７１】まず、図３２（ａ）に示すように、液室及
びインク供給口（不図示）が形成された天板７０４と、
天板７０４との接合により発熱体７０１毎に流路の一部
を形成するノズル壁７０３が設けられた基板７０２と、
吐出口７０６毎に流路の開口に侵入する凸部７０７を有
するオリフィスプレート７０５とを用意する。
びインク供給口（不図示）が形成された天板７０４と、
天板７０４との接合により発熱体７０１毎に流路の一部
を形成するノズル壁７０３が設けられた基板７０２と、
吐出口７０６毎に流路の開口に侵入する凸部７０７を有
するオリフィスプレート７０５とを用意する。
【０１７２】次に、図３２（ｂ）に示すように、ノズル
壁７０３間の流路を形成する溝に凸部７０７が入り込む
ように位置決めして基板７０２をオリフィスプレート７
０５に突き当てて接合する。オリフィスプレート７０５
と基板７０２を接合するための接着剤７０８には前述の
実施形態と同様の方法で塗布したエポキシ接着剤を用
い、接合後は前述の実施形態と同様にＵＶ又は熱、ある
いは両者の併用で接着剤を硬化させる。
壁７０３間の流路を形成する溝に凸部７０７が入り込む
ように位置決めして基板７０２をオリフィスプレート７
０５に突き当てて接合する。オリフィスプレート７０５
と基板７０２を接合するための接着剤７０８には前述の
実施形態と同様の方法で塗布したエポキシ接着剤を用
い、接合後は前述の実施形態と同様にＵＶ又は熱、ある
いは両者の併用で接着剤を硬化させる。
【０１７３】次に、図３２（ｃ）に示すように、オリフ
ィスプレート７０５と基板７０２との接合体に天板７０
４を接合する。接合時には天板７０４をオリフィスプレ
ート７０５の掘り込み部７１２に突き当てながら位置決
めを行なう。前記接合体と天板７０４とを接合する接着
剤７０８は前述の実施形態と同様の方法で塗布され硬化
される。この際、前記接合体と天板７０４をばねを用い
て圧着しながら熱を付与する。
ィスプレート７０５と基板７０２との接合体に天板７０
４を接合する。接合時には天板７０４をオリフィスプレ
ート７０５の掘り込み部７１２に突き当てながら位置決
めを行なう。前記接合体と天板７０４とを接合する接着
剤７０８は前述の実施形態と同様の方法で塗布され硬化
される。この際、前記接合体と天板７０４をばねを用い
て圧着しながら熱を付与する。
【０１７４】その後、図２６に示したインク供給口７１
１にインクタンク（不図示）を接続して液体吐出ヘッド
を完成させる。
１にインクタンク（不図示）を接続して液体吐出ヘッド
を完成させる。
【０１７５】以上に説明した製法は図３０に示す液体吐
出ヘッドに対しても同様に適用できる。
出ヘッドに対しても同様に適用できる。
【０１７６】（第９の実施の形態）図３３は本発明の第
９実施形態による液体吐出ヘッドを示す断面図、図３４
は図３３の液体吐出ヘッドの別の形態例を示す断面図、
図３５は図３４に示した液体吐出ヘッドの製造方法を説
明する工程図である。
９実施形態による液体吐出ヘッドを示す断面図、図３４
は図３３の液体吐出ヘッドの別の形態例を示す断面図、
図３５は図３４に示した液体吐出ヘッドの製造方法を説
明する工程図である。
【０１７７】図３３で示す液体吐出ヘッドは、液室及び
インク供給口（図２６参照）が形成された天板７０４
と、吐出エネルギー発生素子である発熱体７０１がＳｉ
基板上に形成された基板７０２と、天板７０４に設けら
れ、発熱体７０１を配置する流路を天板７０４及び基板
７０２の接合によって構成するノズル壁７０３と、天板
７０４と基板７０２の接合体の端部に接合され流路毎に
吐出口７０６が形成されたオリフィスプレート７０５
と、オリフィスプレート７０５に基板７０２の端部が入
り込むように形成された堀り込み部７１２とを有する。
オリフィスプレート７０５の材料としては樹脂、金属、
無機材料などが考えられ、掘り込み部７１２は、フォト
リソグラフィー、レーザ加工、めっき、或いはエッチン
グ等の方法で作り込まれている。
インク供給口（図２６参照）が形成された天板７０４
と、吐出エネルギー発生素子である発熱体７０１がＳｉ
基板上に形成された基板７０２と、天板７０４に設けら
れ、発熱体７０１を配置する流路を天板７０４及び基板
７０２の接合によって構成するノズル壁７０３と、天板
７０４と基板７０２の接合体の端部に接合され流路毎に
吐出口７０６が形成されたオリフィスプレート７０５
と、オリフィスプレート７０５に基板７０２の端部が入
り込むように形成された堀り込み部７１２とを有する。
オリフィスプレート７０５の材料としては樹脂、金属、
無機材料などが考えられ、掘り込み部７１２は、フォト
リソグラフィー、レーザ加工、めっき、或いはエッチン
グ等の方法で作り込まれている。
【０１７８】さらにオリフィスプレート７０５の吐出口
７０６の周囲には、図３４に示すように、天板７０４及
び基板７０２の接合によって構成された流路の開口に侵
入する凸部７０７が形成されていてもよい。
７０６の周囲には、図３４に示すように、天板７０４及
び基板７０２の接合によって構成された流路の開口に侵
入する凸部７０７が形成されていてもよい。
【０１７９】次に、図３５を参照し、図３４に示した液
体吐出ヘッドの製造方法を説明する。
体吐出ヘッドの製造方法を説明する。
【０１８０】まず、図３５（ａ）に示すように、発熱体
７０１を有する基板７０２と、基板７０２との接合によ
り発熱体７０１毎に流路の一部を形成するノズル壁７０
３が設けられた天板７０４と、吐出口７０６毎に流路の
開口に侵入する凸部７０７を有するオリフィスプレート
７０５とを用意する。
７０１を有する基板７０２と、基板７０２との接合によ
り発熱体７０１毎に流路の一部を形成するノズル壁７０
３が設けられた天板７０４と、吐出口７０６毎に流路の
開口に侵入する凸部７０７を有するオリフィスプレート
７０５とを用意する。
【０１８１】次に、図３５（ｂ）に示すように、ノズル
壁７０３間の流路を形成する溝に凸部７０７が入り込む
ように位置決めして天板７０４をオリフィスプレート７
０５に突き当てて接合する。オリフィスプレート７０５
と天板７０４を接合するための接着剤７０８には前述の
実施形態と同様の方法で塗布したエポキシ接着剤を用
い、接合後は前述の実施形態と同様にＵＶ又は熱、ある
いは両者の併用で接着剤を硬化させる。
壁７０３間の流路を形成する溝に凸部７０７が入り込む
ように位置決めして天板７０４をオリフィスプレート７
０５に突き当てて接合する。オリフィスプレート７０５
と天板７０４を接合するための接着剤７０８には前述の
実施形態と同様の方法で塗布したエポキシ接着剤を用
い、接合後は前述の実施形態と同様にＵＶ又は熱、ある
いは両者の併用で接着剤を硬化させる。
【０１８２】次に、図３５（ｃ）に示すように、オリフ
ィスプレート７０５と基板７０２との接合体に基板７０
２を接合する。接合時には基板７０２をオリフィスプレ
ート７０５の掘り込み部７１２に突き当てながら位置決
めを行なう。前記接合体と基板７０２とを接合する接着
剤７０８は前述の実施形態と同様の方法で塗布され硬化
される。この際、前記接合体と基板７０２をばねを用い
て圧着しながら熱を付与する。
ィスプレート７０５と基板７０２との接合体に基板７０
２を接合する。接合時には基板７０２をオリフィスプレ
ート７０５の掘り込み部７１２に突き当てながら位置決
めを行なう。前記接合体と基板７０２とを接合する接着
剤７０８は前述の実施形態と同様の方法で塗布され硬化
される。この際、前記接合体と基板７０２をばねを用い
て圧着しながら熱を付与する。
【０１８３】その後、図２６に示したインク供給口７１
１にインクタンク（不図示）を接続して液体吐出ヘッド
を完成させる。
１にインクタンク（不図示）を接続して液体吐出ヘッド
を完成させる。
【０１８４】以上に説明した製法は図３３に示す液体吐
出ヘッドに対しても同様に適用できる。
出ヘッドに対しても同様に適用できる。
【０１８５】なお、上述した実施形態においてはオリフ
ィスプレート７０５に天板７０４もしくは基板７０２を
接合してからその接合体に、残りの天板７０４もしくは
基板７０２を貼り付ける方法を説明したが、基板７０２
と天板７０４とを始めに接合してからその接合体をオリ
フィスプレート７０５に貼り付ける方法でもよい。
ィスプレート７０５に天板７０４もしくは基板７０２を
接合してからその接合体に、残りの天板７０４もしくは
基板７０２を貼り付ける方法を説明したが、基板７０２
と天板７０４とを始めに接合してからその接合体をオリ
フィスプレート７０５に貼り付ける方法でもよい。
【０１８６】ただし、この方法において、基板７０２と
天板７０４とを接合した際に天板７０４或いは基板７０
２の端部が突き出るような段差が生じる場合には、オリ
フィスプレート７０５の掘り込み部７１２をその段差部
の突出量を吸収する深さに形成する必要がある。そのた
め、オリフィスプレート７０５と天板７０４もしくは基
板７０２とを始めに接合する方法の方が前記段差部を考
慮する必要の無いので望ましい。
天板７０４とを接合した際に天板７０４或いは基板７０
２の端部が突き出るような段差が生じる場合には、オリ
フィスプレート７０５の掘り込み部７１２をその段差部
の突出量を吸収する深さに形成する必要がある。そのた
め、オリフィスプレート７０５と天板７０４もしくは基
板７０２とを始めに接合する方法の方が前記段差部を考
慮する必要の無いので望ましい。
【０１８７】以上述べた各実施形態の一部或いは全部を
互いに組み合わせて実施すれば、相乗的に優れた効果を
奏することができる。
互いに組み合わせて実施すれば、相乗的に優れた効果を
奏することができる。
【０１８８】（その他の実施の形態）図３６は、上述し
たオリフィスプレートを用いて製造した液体吐出ヘッド
を搭載した液体吐出記録装置の一例であるインクジェッ
ト記録装置を示す斜視図である。図３６に示されるイン
クジェット記録装置６００に搭載されたヘッドカートリ
ッジ６０１は、上述したオリフィスプレートを用いて製
造した液体吐出ヘッドと、その液体吐出ヘッドに供給さ
れる液体を保持する液体容器とを有するものである。ヘ
ッドカートリッジ６０１は、図３６に示すように、駆動
モータ６０２の正逆回転に連動して駆動力伝達ギヤ６０
３および６０４を介して回転するリードスクリュー６０
５の螺旋溝６０６に対して係合するキャリッジ６０７上
に搭載されている。駆動モータ６０２の動力によってヘ
ッドカートリッジ６０１がキャリッジ６０７ともとにガ
イド６０８に沿って矢印ａおよびｂの方向に往復移動さ
れる。インクジェット記録装置６００には、ヘッドカー
トリッジ６０１から吐出されたインクなどの液体を受け
る被記録媒体としてのプリント用紙Ｐを搬送する被記録
媒体搬送手段（不図示）が備えられている。その被記録
媒体搬送手段によってプラテン６０９上を搬送されるプ
リント用紙Ｐの紙押さえ板６１０は、キャリッジ６０７
の移動方向にわたってプリント用紙Ｐをプラテン６０９
に対して押圧する。
たオリフィスプレートを用いて製造した液体吐出ヘッド
を搭載した液体吐出記録装置の一例であるインクジェッ
ト記録装置を示す斜視図である。図３６に示されるイン
クジェット記録装置６００に搭載されたヘッドカートリ
ッジ６０１は、上述したオリフィスプレートを用いて製
造した液体吐出ヘッドと、その液体吐出ヘッドに供給さ
れる液体を保持する液体容器とを有するものである。ヘ
ッドカートリッジ６０１は、図３６に示すように、駆動
モータ６０２の正逆回転に連動して駆動力伝達ギヤ６０
３および６０４を介して回転するリードスクリュー６０
５の螺旋溝６０６に対して係合するキャリッジ６０７上
に搭載されている。駆動モータ６０２の動力によってヘ
ッドカートリッジ６０１がキャリッジ６０７ともとにガ
イド６０８に沿って矢印ａおよびｂの方向に往復移動さ
れる。インクジェット記録装置６００には、ヘッドカー
トリッジ６０１から吐出されたインクなどの液体を受け
る被記録媒体としてのプリント用紙Ｐを搬送する被記録
媒体搬送手段（不図示）が備えられている。その被記録
媒体搬送手段によってプラテン６０９上を搬送されるプ
リント用紙Ｐの紙押さえ板６１０は、キャリッジ６０７
の移動方向にわたってプリント用紙Ｐをプラテン６０９
に対して押圧する。
【０１８９】リードスクリュー６０５の一端の近傍に
は、フォトカプラ６１１および６１２が配設されてい
る。フォトカプラ６１１および６１２は、キャリッジ６
０７のレバー６０７ａの、フォトカプラ６１１および６
１２の領域での存在を確認して駆動モータ６０２の回転
方向の切り換えなどを行うためのホームポジション検知
手段である。プラテン６０９の一端の近傍には、ヘッド
カートリッジ６０１の吐出口のある前面を覆うキャップ
部材６１４を支持する支持部材６１３が備えられてい
る。また、ヘッドカートリッジ６０１から空吐出などさ
れてキャップ部材６１４の内部に溜まったインクを吸引
するインク吸引手段６１５が備えられている。このイン
ク吸引手段６１５によりキャップ部材６１４の開口部を
介してヘッドカートリッジ６０１の吸引回復が行われ
る。
は、フォトカプラ６１１および６１２が配設されてい
る。フォトカプラ６１１および６１２は、キャリッジ６
０７のレバー６０７ａの、フォトカプラ６１１および６
１２の領域での存在を確認して駆動モータ６０２の回転
方向の切り換えなどを行うためのホームポジション検知
手段である。プラテン６０９の一端の近傍には、ヘッド
カートリッジ６０１の吐出口のある前面を覆うキャップ
部材６１４を支持する支持部材６１３が備えられてい
る。また、ヘッドカートリッジ６０１から空吐出などさ
れてキャップ部材６１４の内部に溜まったインクを吸引
するインク吸引手段６１５が備えられている。このイン
ク吸引手段６１５によりキャップ部材６１４の開口部を
介してヘッドカートリッジ６０１の吸引回復が行われ
る。
【０１９０】インクジェット記録装置６００には本体支
持体６１９が備えられている。この本体支持体６１９に
は移動部材６１８が、前後方向、すなわちキャリッジ６
０７の移動方向に対して直角な方向に移動可能に支持さ
れている。移動部材６１８には、クリーニングブレード
６１７が取り付けられている。クリーニングブレード６
１７はこの形態に限らず、他の形態の公知のクリーニン
グブレードであってもよい。さらに、インク吸引手段６
１５による吸引回復操作にあたって吸引を開始するため
のレバー６２０が備えられており、レバー６２０は、キ
ャリッジ６０７と係合するカム６２１の移動に伴って移
動し、駆動モータ６０２からの駆動力がクラッチ切り換
えなどの公知の伝達手段で移動制御される。ヘッドカー
トリッジ６０１に設けられた発熱体に信号を付与した
り、上記の各機構の駆動制御を行ったりするインクジェ
ット記録制御部はインクジェット記録装置の本体に設け
られており、図３６では示されていない。インクジェッ
ト記録制御部には、液体吐出ヘッドから液体を吐出させ
るための駆動信号を供給する駆動信号供給手段が備えら
れている。
持体６１９が備えられている。この本体支持体６１９に
は移動部材６１８が、前後方向、すなわちキャリッジ６
０７の移動方向に対して直角な方向に移動可能に支持さ
れている。移動部材６１８には、クリーニングブレード
６１７が取り付けられている。クリーニングブレード６
１７はこの形態に限らず、他の形態の公知のクリーニン
グブレードであってもよい。さらに、インク吸引手段６
１５による吸引回復操作にあたって吸引を開始するため
のレバー６２０が備えられており、レバー６２０は、キ
ャリッジ６０７と係合するカム６２１の移動に伴って移
動し、駆動モータ６０２からの駆動力がクラッチ切り換
えなどの公知の伝達手段で移動制御される。ヘッドカー
トリッジ６０１に設けられた発熱体に信号を付与した
り、上記の各機構の駆動制御を行ったりするインクジェ
ット記録制御部はインクジェット記録装置の本体に設け
られており、図３６では示されていない。インクジェッ
ト記録制御部には、液体吐出ヘッドから液体を吐出させ
るための駆動信号を供給する駆動信号供給手段が備えら
れている。
【０１９１】上述した構成を有するインクジェット記録
装置６００では、前記の被記録媒体搬送手段によりプラ
テン６０９上を搬送されるプリント用紙Ｐに対して、ヘ
ッドカートリッジ６０１がプリント用紙Ｐの全幅にわた
って往復移動しながら記録を行う。
装置６００では、前記の被記録媒体搬送手段によりプラ
テン６０９上を搬送されるプリント用紙Ｐに対して、ヘ
ッドカートリッジ６０１がプリント用紙Ｐの全幅にわた
って往復移動しながら記録を行う。
【０１９２】
【発明の効果】以上説明したように本発明では、実質的
に平坦な平坦面を有する基台が吐出口プレートの吐出口
面にラミネートされていることで、吐出口プレートの吐
出口面が基台の平坦面に倣い、吐出口プレートが良好な
平坦性を持ってヘッド本体に接合される。特に吐出口プ
レートにヘッド本体の流路開口に位置する凸部を設けて
接合する方法では、吐出口プレート側の凸部をヘッド本
体側の流路開口に精度良く進入させることができ、この
接合時に凸部及び吐出口を変形または破損させることが
ない。また、吐出口面の撥水層は基台で保護されるた
め、接合時に破損する心配はない。
に平坦な平坦面を有する基台が吐出口プレートの吐出口
面にラミネートされていることで、吐出口プレートの吐
出口面が基台の平坦面に倣い、吐出口プレートが良好な
平坦性を持ってヘッド本体に接合される。特に吐出口プ
レートにヘッド本体の流路開口に位置する凸部を設けて
接合する方法では、吐出口プレート側の凸部をヘッド本
体側の流路開口に精度良く進入させることができ、この
接合時に凸部及び吐出口を変形または破損させることが
ない。また、吐出口面の撥水層は基台で保護されるた
め、接合時に破損する心配はない。
【０１９３】また、基台を吐出口プレートに比べて十分
に厚い樹脂シートとする事により、吐出口プレートを樹
脂フィルムで形成する場合には基台の方が剛性が大きく
なるので、上記の接合の際に吐出口プレートの吐出口面
が基台に倣うことができ、吐出口プレートが良好な平坦
性を持って接合される。また、基台をステンレス鋼シー
トで構成すると、樹脂よりも更なる剛性を持たせること
ができるので、接合時に吐出口プレートの吐出口面の平
坦性を更に良好に保つことができる。
に厚い樹脂シートとする事により、吐出口プレートを樹
脂フィルムで形成する場合には基台の方が剛性が大きく
なるので、上記の接合の際に吐出口プレートの吐出口面
が基台に倣うことができ、吐出口プレートが良好な平坦
性を持って接合される。また、基台をステンレス鋼シー
トで構成すると、樹脂よりも更なる剛性を持たせること
ができるので、接合時に吐出口プレートの吐出口面の平
坦性を更に良好に保つことができる。
【０１９４】また本発明では、流路内に侵入する凸部が
存在するため液体の吐出効率が向上するとともに、凸部
を吐出口と同時に形成するため作業効率がよい。特にレ
ーザー照射を行なって凸部および吐出口を形成すると、
作業が簡単である。この場合、部分的に透過率を変えた
マスクを用いてレーザー照射を行なうと、精度よく形成
できる。この様に、本発明によると、液体吐出効率のよ
い液体吐出ヘッドを製造するための加工時間が短縮でき
生産性の向上を図ることができる。加工時に過度に高精
度の位置合わせが不要となるため、製造が容易になる上
に、製造装置の簡略化が可能となる。
存在するため液体の吐出効率が向上するとともに、凸部
を吐出口と同時に形成するため作業効率がよい。特にレ
ーザー照射を行なって凸部および吐出口を形成すると、
作業が簡単である。この場合、部分的に透過率を変えた
マスクを用いてレーザー照射を行なうと、精度よく形成
できる。この様に、本発明によると、液体吐出効率のよ
い液体吐出ヘッドを製造するための加工時間が短縮でき
生産性の向上を図ることができる。加工時に過度に高精
度の位置合わせが不要となるため、製造が容易になる上
に、製造装置の簡略化が可能となる。
【０１９５】加えて、凸部の周囲に溝を形成すると、吐
出口プレートを接着するための接着剤が流路や吐出口に
入り込むことが防げる。この溝も凸部および吐出口と同
時に形成すると作業効率がよい。
出口プレートを接着するための接着剤が流路や吐出口に
入り込むことが防げる。この溝も凸部および吐出口と同
時に形成すると作業効率がよい。
【０１９６】さらに本発明では、吐出口プレートと、吐
出口に連通する流路となる溝が設けられたヘッド本体構
成用部材と、前記流路となる溝を塞ぐための板状部材と
で液体吐出ヘッドを製造する場合、吐出口プレートにヘ
ッド本体構成用部材を接合してから、このヘッド本体構
成用部材に板状部材を接合することにより、吐出口プレ
ート面に対してヘッド本体構成用部材と板状部材の接合
端面が揃うので、簡単に効率よくヘッドを作製すること
ができる。特に、吐出口プレートに少なくともヘッド本
体構成用部材あるいは板状部材の一部を突き当てる凹部
を設けたり、吐出口プレートの一部に前記流路となる溝
の端部開口に侵入する凸部を設けたりすることで、更に
精度高く簡単にヘッドを作製することができる。
出口に連通する流路となる溝が設けられたヘッド本体構
成用部材と、前記流路となる溝を塞ぐための板状部材と
で液体吐出ヘッドを製造する場合、吐出口プレートにヘ
ッド本体構成用部材を接合してから、このヘッド本体構
成用部材に板状部材を接合することにより、吐出口プレ
ート面に対してヘッド本体構成用部材と板状部材の接合
端面が揃うので、簡単に効率よくヘッドを作製すること
ができる。特に、吐出口プレートに少なくともヘッド本
体構成用部材あるいは板状部材の一部を突き当てる凹部
を設けたり、吐出口プレートの一部に前記流路となる溝
の端部開口に侵入する凸部を設けたりすることで、更に
精度高く簡単にヘッドを作製することができる。
【０１９７】この場合、流路端部付近を切断、研磨する
必要がないので、ノズルピッチが高密度になっても吐出
口近傍の流路壁に欠けや折れ等が発生せず、良好に所望
の記録滴を吐出することができる。
必要がないので、ノズルピッチが高密度になっても吐出
口近傍の流路壁に欠けや折れ等が発生せず、良好に所望
の記録滴を吐出することができる。
【０１９８】また本発明では、１つの共通した吐出口プ
レートに複数のヘッド本体を並べて配置し、さらに好ま
しくは各ヘッド本体を１つの枠体に嵌合させることによ
り、各ヘッド本体の液路の向きを吐出口プレートに対し
てほぼ垂直にし、複数のヘッド本体の相互間の位置を決
定しているので、高度の生産技術を必要とせずに高精度
のカラー液体吐出ヘッドを実現することができる。
レートに複数のヘッド本体を並べて配置し、さらに好ま
しくは各ヘッド本体を１つの枠体に嵌合させることによ
り、各ヘッド本体の液路の向きを吐出口プレートに対し
てほぼ垂直にし、複数のヘッド本体の相互間の位置を決
定しているので、高度の生産技術を必要とせずに高精度
のカラー液体吐出ヘッドを実現することができる。
【図１】本発明の一実施形態の液体吐出ヘッドの製造方
法が適用される液体吐出ヘッドについて説明するための
斜視図である。
法が適用される液体吐出ヘッドについて説明するための
斜視図である。
【図２】図１に示した液体吐出ヘッドの、流路方向に沿
った断面図である。
った断面図である。
【図３】本発明の一実施形態の液体吐出ヘッドの製造方
法に使用される製造ラインの一部を模式的に示す図であ
る。
法に使用される製造ラインの一部を模式的に示す図であ
る。
【図４】図３に示した製造ラインにより作製されたフィ
ルム状樹脂の平面図および断面図である。
ルム状樹脂の平面図および断面図である。
【図５】図３に示した製造ラインにより作製されたフィ
ルム状樹脂の平面図および断面図である。
ルム状樹脂の平面図および断面図である。
【図６】本発明の製造方法において、ラミネート層の付
いたオリフィスプレートをヘッド本体に接合するときの
工程を示す概略図である。
いたオリフィスプレートをヘッド本体に接合するときの
工程を示す概略図である。
【図７】本発明の製造方法において、ラミネート層の付
いたオリフィスプレートをヘッド本体に接合するとき
の、図６の工程の続きを示す概略図である。
いたオリフィスプレートをヘッド本体に接合するとき
の、図６の工程の続きを示す概略図である。
【図８】本発明の製造方法において、ラミネート層の付
いたオリフィスプレートをヘッド本体に接合するとき
の、図７の工程の続きを示す概略図である。
いたオリフィスプレートをヘッド本体に接合するとき
の、図７の工程の続きを示す概略図である。
【図９】本発明の他の実施形態の液体吐出ヘッドの製造
方法について説明するための図である。
方法について説明するための図である。
【図１０】本発明の他の実施形態の液体吐出ヘッドの製
造方法について説明するための図である。
造方法について説明するための図である。
【図１１】フィルム状樹脂にオリフィスを形成するため
のレーザ加工装置を模式的に示す図である。
のレーザ加工装置を模式的に示す図である。
【図１２】本発明の液体吐出ヘッドの他の実施形態を示
す概観斜視図である。
す概観斜視図である。
【図１３】図１２に示した液体吐出ヘッドのオリフィス
プレートの製造工程を示す図である。
プレートの製造工程を示す図である。
【図１４】図１３に示す工程によって製造されたオリフ
ィスプレートにヘッドユニットを接合する工程を示す図
であり、（ａ）はオリフィスプレートとヘッドユニット
との位置合わせ工程を示す図、（ｂ）はオリフィスプレ
ートに枠体を接合する工程を示す図である。
ィスプレートにヘッドユニットを接合する工程を示す図
であり、（ａ）はオリフィスプレートとヘッドユニット
との位置合わせ工程を示す図、（ｂ）はオリフィスプレ
ートに枠体を接合する工程を示す図である。
【図１５】図１３に示す工程によりオリフィスプレート
を製造する際に用いる装置を示す図である。
を製造する際に用いる装置を示す図である。
【図１６】本発明の液体吐出ヘッドの製造工程の他の例
を示す図である。
を示す図である。
【図１７】本発明の他の実施形態の液体吐出ヘッドの要
部を示す模式的断面図である。
部を示す模式的断面図である。
【図１８】図１７に示す液体吐出ヘッドの一部断面斜視
図である。
図である。
【図１９】本発明の液体吐出ヘッドの製造に用いられる
レーザー加工装置の概略構成図である。
レーザー加工装置の概略構成図である。
【図２０】図１７に示す液体吐出ヘッドの製造に用いら
れるマスクの一部の拡大図である。
れるマスクの一部の拡大図である。
【図２１】図１７に示す液体吐出ヘッドの製造方法を示
すフローチャートである。
すフローチャートである。
【図２２】図１７に示すオリフィスプレートの拡大断面
図である。
図である。
【図２３】本発明の他の実施形態の液体吐出ヘッドの要
部を示す模式的断面図である。
部を示す模式的断面図である。
【図２４】図２３に示す液体吐出ヘッドの製造に用いら
れるマスクの一部の拡大図である。
れるマスクの一部の拡大図である。
【図２５】図２３に示すオリフィスプレートの拡大断面
図である。
図である。
【図２６】本発明による製造方法を適用する液体吐出ヘ
ッドを部分的に破断してその構成を具体的に表した斜視
図である。
ッドを部分的に破断してその構成を具体的に表した斜視
図である。
【図２７】本発明の他の実施形態による製造方法で製造
された液体吐出ヘッドを示す断面図である。
された液体吐出ヘッドを示す断面図である。
【図２８】本発明の他の実施形態による、液体吐出ヘッ
ドの製造方法を説明する工程図である。
ドの製造方法を説明する工程図である。
【図２９】本発明の他の実施形態による、液体吐出ヘッ
ドの製造方法を説明する工程図である。
ドの製造方法を説明する工程図である。
【図３０】本発明の液体吐出ヘッドの一形態例を示す断
面図である。
面図である。
【図３１】本発明の液体吐出ヘッドの別の形態例を示す
断面図である。
断面図である。
【図３２】図３１に示した液体吐出ヘッドの製造方法を
説明する工程図である。
説明する工程図である。
【図３３】本発明の液体吐出ヘッドの別の形態例を示す
断面図である。
断面図である。
【図３４】本発明の液体吐出ヘッドの別の形態例を示す
断面図である。
断面図である。
【図３５】図３４に示した液体吐出ヘッドの製造方法を
説明する工程図である。
説明する工程図である。
【図３６】本発明の製法によって得たオリフィスプレー
トを用いた液体吐出ヘッドを搭載した液体吐出記録装置
の一例を示す斜視図である。
トを用いた液体吐出ヘッドを搭載した液体吐出記録装置
の一例を示す斜視図である。
【図３７】従来のインクジェット記録装置に用いられる
液体吐出ヘッドの一構成例を示す図であり、（ａ）は概
観斜視図、（ｂ）は流路方向の断面図である。
液体吐出ヘッドの一構成例を示す図であり、（ａ）は概
観斜視図、（ｂ）は流路方向の断面図である。
【図３８】カラー画像形成可能な従来のインクジェット
記録装置に用いられる液体吐出ヘッドの一構成例を示す
概観斜視図である。
記録装置に用いられる液体吐出ヘッドの一構成例を示す
概観斜視図である。
１ 押出成形機 ２ ダイ ３ フィルム状樹脂 ４ レリーフ型 ５ 冷却ロール ６ ニップロール ７ 引き取りロール ８ 巻き取りロール ９ エミシマレーザ発振器 １０ ロール １１ 集光レンズ １２ マスク １３ レーザ １４ ラミネート層 ａ 搬送ロール ４０ オリフィスプレート ４１ 吐出口 ４２ 接着樹脂 ４４ａ 接合面 ４５ 凸部 ４６ ヘッド本体 ４７ａ 凹部 ５０ 基板 ５１ エネルギー発生素子 ６０ 天板 ６１ 流路 ６２ 液室 ６４ 供給口 ３０１ オリフィス ３０２ オリフィスプレート ３０３ 凸部 ３０４ 凹部 ３０５ 溝 ３０６ 接着剤 ３１０ａ，３１０ｂ，３１０ｃ，３１０ｄ ヘッドユ
ニット ３１１ 天板 ３１２ 流路 ３１３ 素子基板 ３１４ エネルギー発生素子 ３２０ 枠体 ３２１ ヘッドユニット挿入部 ３５１ エキシマレーザー ３５２ レーザービーム ３５３ レンズ ３５４ マスク ３６１ オリフィスプレートホルダー ３６２ａ，３６２ｂ 観察系 ３６３ 紫外線照射ランプ ４００ 天板 ４０１ 流路 ４０２ 液室 ４０３ ビームスプリッター ４０４ パワーディテクター ４０５ ４５ー全反射ミラー ４０６ 装置フレーム ４０７ 情報処理・制御系 ４０７ａ 画像処理系 ４０７ｂ 制御系 ４０７ｃ 移動手段 ４０７ｄ インターフェイス ４０８ 光学系 ４０８ａ ビーム整形光学系およびケーラー照明光学
系 ４０８ｂ 投影光学系 ４０９ 観察・測定系 ４０９ａ 鏡筒 ４０９ｂ 落射照明光源 ４０９ｃ ＣＣＤカメラセンサ ４０９ｄ ミラー ４１０、５１０ マスク ４１１ ワークステーション ４１１ａ 治具 ４２０ ヘッド本体 ４４０ オリフィスプレート ４４１ 吐出口 ４４２ 接着剤 ４４４ 開口配設面 ４４５ 凸部 ４５０、５５０ 吐出口形成部分 ４５１、５５１ 凸部形成部分 ５００ 基板 ５０１ エネルギー発生素子 ５１１ レーザー発振器 ５１２ レーザー光 ５４０ オリフィスプレート ５４１ 吐出口 ５４３ 溝 ５４５ 凸部 ５５２ 溝形成部分 ７０１ 発熱体 ７０２ 基板 ７０３ ノズル壁 ７０４ 天板 ７０５ オリフィスプレート ７０５ａ 基台 ７０６ 吐出口 ７０７ 凸部 ７０８ 接着剤 ７０９ 液室 ７１０ 流路 ７１１ インク供給口 ７１２ 掘り込み部
ニット ３１１ 天板 ３１２ 流路 ３１３ 素子基板 ３１４ エネルギー発生素子 ３２０ 枠体 ３２１ ヘッドユニット挿入部 ３５１ エキシマレーザー ３５２ レーザービーム ３５３ レンズ ３５４ マスク ３６１ オリフィスプレートホルダー ３６２ａ，３６２ｂ 観察系 ３６３ 紫外線照射ランプ ４００ 天板 ４０１ 流路 ４０２ 液室 ４０３ ビームスプリッター ４０４ パワーディテクター ４０５ ４５ー全反射ミラー ４０６ 装置フレーム ４０７ 情報処理・制御系 ４０７ａ 画像処理系 ４０７ｂ 制御系 ４０７ｃ 移動手段 ４０７ｄ インターフェイス ４０８ 光学系 ４０８ａ ビーム整形光学系およびケーラー照明光学
系 ４０８ｂ 投影光学系 ４０９ 観察・測定系 ４０９ａ 鏡筒 ４０９ｂ 落射照明光源 ４０９ｃ ＣＣＤカメラセンサ ４０９ｄ ミラー ４１０、５１０ マスク ４１１ ワークステーション ４１１ａ 治具 ４２０ ヘッド本体 ４４０ オリフィスプレート ４４１ 吐出口 ４４２ 接着剤 ４４４ 開口配設面 ４４５ 凸部 ４５０、５５０ 吐出口形成部分 ４５１、５５１ 凸部形成部分 ５００ 基板 ５０１ エネルギー発生素子 ５１１ レーザー発振器 ５１２ レーザー光 ５４０ オリフィスプレート ５４１ 吐出口 ５４３ 溝 ５４５ 凸部 ５５２ 溝形成部分 ７０１ 発熱体 ７０２ 基板 ７０３ ノズル壁 ７０４ 天板 ７０５ オリフィスプレート ７０５ａ 基台 ７０６ 吐出口 ７０７ 凸部 ７０８ 接着剤 ７０９ 液室 ７１０ 流路 ７１１ インク供給口 ７１２ 掘り込み部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (31)優先権主張番号 特願平11−189623 (32)優先日 平成11年７月２日(1999．7．2) (33)優先権主張国 日本（ＪＰ） (72)発明者 笠本 雅己 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 石永 博之 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 長田 虎近 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 杉山 裕之 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 池亀 健 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 稲田 源次 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 三原 弘明 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 小山 修二 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 伊東 美紀 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 樫野 俊雄 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 斉藤 敬 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 杉谷 博志 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 池田 雅実 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 宮川 昌士 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 鈴木 良明 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 Ｆターム(参考） 2C057 AF93 AG02 AG14 AG16 AJ03 AJ04 AN01 AP02 AP13 AP23 AP25 AP31 AP45 AP55 AP57 AP60 AP72 AP77 AP79 AQ02 AQ03 AQ06 BA03 BA13
Claims (55)
- 【請求項１】 液体の流路と該流路に連通する流路開口
が設けられた開口面とを有するヘッド本体を提供するヘ
ッド本体提供工程と、 液体を吐出する吐出口が設けられた吐出口面の反対側の
内側面上の、前記吐出口に連通する内側開口の周囲に凸
部が設けられた吐出口プレートおよび、前記吐出口面と
接する接合面を有する基台とを、前記吐出口面と前記接
合面とが接する様に一体化した状態で提供する吐出口プ
レート提供工程と、 前記ヘッド本体と前記基台とが前記吐出口プレートを挟
んで互いに近づく方向に前記ヘッド本体と前記基台とを
押圧することにより、前記凸部が前記流路開口に嵌合す
る様に前記開口面と前記内側面とを接合する接合工程
と、 前記基台とその他の部材とを離隔する離隔工程と、を有
することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 【請求項２】 前記吐出口プレート提供工程において、
前記吐出口プレートとなる長尺の樹脂フィルムに前記吐
出口を形成する請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造
方法。 - 【請求項３】 前記吐出口は、レリーフ型の転写成形、
レーザ加工またはそれらの組み合わせによって形成する
請求項２に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 【請求項４】 前記吐出口プレート提供工程において、
前記樹脂フィルムに前記基台となるラミネート層がラミ
ネートされた積層体を切断する請求項２に記載の液体吐
出ヘッドの製造方法。 - 【請求項５】 前記吐出口プレート提供工程において、
前記樹脂フィルムに前記ラミネート層をラミネートする
前に、前記樹脂フィルムの前記ラミネート層がラミネー
トされる面に撥水層を形成する請求項４に記載の液体吐
出ヘッドの製造方法。 - 【請求項６】 前記ラミネート層は、前記樹脂フィルム
に比べて十分に厚い樹脂シートまたはステンレス鋼シー
トである請求項４に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 【請求項７】 前記樹脂フィルムは、押し出し成形又は
型押し成形によって形成する請求項２に記載の液体吐出
ヘッドの製造方法。 - 【請求項８】 前記樹脂フィルムは、熱可塑性ポリマー
材料からなることを特徴とする請求項２に記載の液体吐
出ヘッドの製造方法。 - 【請求項９】 前記樹脂フィルムは、ポリサルフォン、
ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンサルファイド
及びポリエーテルエーテルケトンのうちのいずれかの材
料からなる請求項２に記載の液体吐出ヘッドの製造方
法。 - 【請求項１０】 前記接合工程は、前記ヘッド本体と前
記吐出口プレートとの間に接着剤を介在させてなされる
請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 【請求項１１】 前記ヘッド本体の前記流路に対応する
位置には、液体を吐出するために利用されるエネルギー
を発生するエネルギー発生素子が設けられている請求項
１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 【請求項１２】 前記エネルギー発生素子は熱エネルギ
ーを発生して液体に膜沸騰を生じさせる電気熱変換体で
ある請求項１１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 【請求項１３】 前記ヘッド本体提供工程において前記
ヘッド本体を複数提供し、前記接合工程において前記複
数のヘッド本体を並べて共通の前記吐出口プレートに接
合する請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 【請求項１４】 前記接合工程の後で前記離隔工程の前
に、前記複数のヘッド本体と該複数のヘッド本体を支持
するための枠体とを嵌合させる請求項１に記載の液体吐
出ヘッドの製造方法。 - 【請求項１５】 前記吐出口プレート提供工程におい
て、前記複数のヘッド本体と該複数のヘッド本体を支持
するための枠体とを嵌合させる請求項１に記載の液体吐
出ヘッドの製造方法。 - 【請求項１６】 前記複数のヘッド本体と前記枠体との
隙間にシリコーン樹脂を充填する請求項１４または１５
に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 【請求項１７】 前記吐出口プレート提供工程におい
て、前記吐出口と前記凸部とをほぼ同時に形成すること
を特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方
法。 - 【請求項１８】 前記吐出口と前記凸部とをレーザー光
の照射によって形成する請求項１７に記載の液体吐出ヘ
ッドの製造方法。 - 【請求項１９】 前記吐出口プレート提供工程におい
て、前記吐出口と前記凸部と該凸部の周囲の溝とをほぼ
同時に形成する請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造
方法。 - 【請求項２０】 前記吐出口と前記凸部と前記溝とをレ
ーザー光の照射によって形成する請求項１９に記載の液
体吐出ヘッドの製造方法。 - 【請求項２１】 前記レーザー光の照射はマスクを介し
てなされ、前記マスクの、前記吐出口形成部分の前記レ
ーザー光の透過率をＡ、前記凸部形成部分の前記レーザ
ー光の透過率をＢ、それ以外の部分の前記レーザー光の
透過率をＣとすると、Ａ＞Ｃ＞Ｂの関係にある請求項２
０に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 【請求項２２】 液体の流路となる溝と該溝の端部開口
が設けられた開口面とを有するヘッド本体構成用部材を
提供する部材提供工程と、 液体を吐出する吐出口が設けられた吐出口面の反対側の
内側面上の、前記吐出口に連通する内側開口の周囲に凸
部が設けられた吐出口プレートを提供する吐出口プレー
ト提供工程と、 前記ヘッド本体構成用部材と前記吐出口プレートとを互
いに近づけて、前記凸部が前記端部開口に嵌合する様に
前記開口面と前記内側面とを接合する接合工程と、 前記ヘッド本体構成用部材と前記溝を塞ぐための板状部
材とを接合することにより前記流路を形成する流路形成
工程と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製
造方法。 - 【請求項２３】 液体の流路となる溝と該溝の端部開口
が設けられた開口面とを有するヘッド本体構成用部材を
提供する部材提供工程と、 液体を吐出する吐出口が設けられた吐出口面の反対側の
内側面上に、前記吐出口に連通する内側開口が設けられ
た吐出口プレートを提供する吐出口プレート提供工程
と、 前記ヘッド本体構成用部材と前記吐出口プレートとを互
いに近づけて、前記吐出口と前記端部開口とが連通する
様に前記開口面と前記内側面とを接合する接合工程と、 前記ヘッド本体構成用部材と前記溝を塞ぐための板状部
材とを接合することにより前記流路を形成する流路形成
工程と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製
造方法。 - 【請求項２４】 液体の流路となる溝と該溝の端部開口
が設けられた開口面とを有するヘッド本体構成用部材を
提供する部材提供工程と、 液体を吐出する吐出口が設けられた吐出口面の反対側の
内側面上に凹部が設けられた吐出口プレートを提供する
吐出口プレート提供工程と、 前記ヘッド本体構成用部材と前記吐出口プレートとを互
いに近づけて、前記吐出口と前記端部開口とが連通する
様に前記開口面と前記内側面とを接合する接合工程と、 前記溝を塞ぐための板状部材を前記凹部の内面に突き当
てながら前記ヘッド本体構成用部材と前記板状部材とを
接合することにより前記流路を形成する流路形成工程
と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方
法。 - 【請求項２５】 前記開口面と前記内側面との接合と前
記ヘッド本体構成用部材と前記板状部材との接合との両
方又は何れか一方に接着剤を用いる請求項２２〜２４の
いずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 【請求項２６】 前記接着剤は、熱エネルギー、光エネ
ルギー、または熱エネルギーと光エネルギーとの併用に
よって硬化するエポキシ系接着剤である請求項２５に記
載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 【請求項２７】 前記接着剤は、紫外線照射または加熱
処理によりＢステージ化して硬化収縮を終了する接着剤
である請求項２５に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 【請求項２８】 前記ヘッド本体構成用部材と前記板状
部材とをばねを用いて圧着して接合する請求項２５に記
載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 【請求項２９】 前記板状部材の前記流路に対応する位
置には、液体を吐出するために利用されるエネルギーを
発生するエネルギー発生素子が設けられている請求項２
２〜２４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造
方法。 - 【請求項３０】 前記エネルギー発生素子は熱エネルギ
ーを発生して液体に膜沸騰を生じさせる電気熱変換体で
ある請求項２９に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 【請求項３１】 前記ヘッド本体構成用部材の前記流路
に対応する位置には、液体を吐出するために利用される
エネルギーを発生するエネルギー発生素子が設けられて
いる請求項２２〜２４のいずれか１項に記載の液体吐出
ヘッドの製造方法。 - 【請求項３２】 前記エネルギー発生素子は熱エネルギ
ーを発生して液体に膜沸騰を生じさせる電気熱変換体で
ある請求項３１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 【請求項３３】 液体の流路となる溝と該溝の端部開口
が設けられた開口面とを有するヘッド本体構成用部材を
提供する部材提供工程と、 液体を吐出する吐出口が設けられた吐出口面の反対側の
内側面上の、前記吐出口に連通する内側開口の周囲に凸
部が設けられた吐出口プレートおよび、前記吐出口面と
接する接合面を有する基台とを、前記吐出口面と前記平
坦面とが接する様に一体化した状態で提供する吐出口プ
レート提供工程と、 前記ヘッド本体構成用部材と前記基台とが前記吐出口プ
レートを挟んで互いに近づく方向に前記ヘッド本体構成
用部材と前記基台とを押圧することにより、前記凸部が
前記端部開口に嵌合する様に前記開口面と前記内側面と
を接合する接合工程と、 前記ヘッド本体構成用部材と前記溝を塞ぐための板状部
材とを接合することにより前記流路を形成する流路形成
工程と、 前記基台とその他の部材とを離隔する離隔工程と、を有
することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 【請求項３４】 液体の流路と該流路に連通する流路開
口が設けられた開口面とを有するヘッド本体の複数と、 液体を吐出する吐出口が設けられた吐出口面の反対側の
内側面上の、前記吐出口に連通する内側開口の周囲に凸
部が設けられた吐出口プレートとを有し、 前記複数のヘッド本体が並んで共通の前記吐出口プレー
トに接合されており、前記凸部が前記流路開口に嵌合す
る様に前記複数のヘッド本体それぞれの前記開口面と前
記内側面とが接合されていることを特徴とする液体吐出
ヘッド。 - 【請求項３５】 前記複数のヘッド本体それぞれの前記
流路の向きが前記吐出口プレートに対してほぼ垂直であ
る請求項３４に記載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項３６】 前記吐出口プレートを支持するための
枠体を更に有する請求項３４に記載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項３７】 前記吐出口プレートと前記枠体とは接
着されている請求項３６に記載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項３８】 前記吐出口プレートと前記枠体とは同
一材料からなる請求項３６に記載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項３９】 前記吐出口プレートは、樹脂、シリコ
ン、セラミックス、金属、もしくはこれらの複合材料か
らなる請求項３４に記載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項４０】 前記ヘッド本体の前記流路に対応する
位置には、液体を吐出するために利用されるエネルギー
を発生するエネルギー発生素子が設けられている請求項
３４に記載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項４１】 前記エネルギー発生素子は熱エネルギ
ーを発生して液体に膜沸騰を生じさせる電気熱変換体で
ある請求項４０に記載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項４２】 液体の流路と該流路に連通する流路開
口が設けられた開口面とを有するヘッド本体と、 液体を吐出する吐出口が設けられた吐出口面の反対側の
内側面上の、前記吐出口に連通する内側開口の周囲に設
けられた凸部および、該凸部の周囲に設けられた溝を有
する吐出口プレートとを有し、 前記凸部が前記流路開口に嵌合する様に前記開口面と前
記内側面とが接合されていることを特徴とする液体吐出
ヘッド。 - 【請求項４３】 前記吐出口と前記凸部とがレーザー光
の照射によってほぼ同時に形成されていることを特徴と
する請求項４２に記載の液体吐出ヘッド - 【請求項４４】 前記ヘッド本体の前記流路に対応する
位置には、液体を吐出するために利用されるエネルギー
を発生するエネルギー発生素子が設けられている請求項
４２に記載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項４５】 前記エネルギー発生素子は熱エネルギ
ーを発生して液体に膜沸騰を生じさせる電気熱変換体で
ある請求項４４に記載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項４６】 液体の流路となる溝と該溝の端部開口
が設けられた開口面とを有するヘッド本体構成用部材
と、 該ヘッド本体構成用部材に接合して前記溝を塞ぐための
板状部材と、 液体を吐出する吐出口が設けられた吐出口面の反対側の
内側面上に凹部が設けられた吐出口プレートとを有し、 前記吐出口と前記端部開口とが連通する様に前記開口面
と前記内側面とが接合されており、前記板状部材が前記
凹部に入り込み前記ヘッド本体構成用部材に接合されて
前記流路が形成されていることを特徴とする液体吐出ヘ
ッド。 - 【請求項４７】 前記内側面上の、前記吐出口に連通す
る内側開口の周囲に、前記端部開口に嵌合する凸部が設
けられている請求項４６に記載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項４８】 前記板状部材の前記流路に対応する位
置には、液体を吐出するために利用されるエネルギーを
発生するエネルギー発生素子が設けられている請求項４
６に記載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項４９】 前記エネルギー発生素子は熱エネルギ
ーを発生して液体に膜沸騰を生じさせる電気熱変換体で
ある請求項４８に記載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項５０】 前記ヘッド本体構成用部材の前記流路
に対応する位置には、液体を吐出するために利用される
エネルギーを発生するエネルギー発生素子が設けられて
いる請求項４６に記載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項５１】 前記エネルギー発生素子は熱エネルギ
ーを発生して液体に膜沸騰を生じさせる電気熱変換体で
ある請求項５０に記載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項５２】 液体吐出ヘッドに用いられる吐出口プ
レートの製造方法において、 長尺の樹脂フィルムに複数の吐出口形成用凹部を形成す
る工程と、 前記樹脂フィルムの前記複数の吐出口形成用凹部がない
面上にラミネート層を設ける工程と、 前記樹脂フィルムの前記複数の吐出口形成用凹部に対し
て吐出口を形成する工程と、 前記樹脂フィルムをヘッド本体に接合する工程と、 前記ラミネート層を除去する工程と、を有することを特
徴とする吐出口プレートの製造方法。 - 【請求項５３】 前記ラミネート層は、前記樹脂フィル
ムより体積抵抗が小さい樹脂または金属からなる請求項
５２に記載の吐出口プレートの製造方法。 - 【請求項５４】 前記吐出口は、レーザー光の照射によ
って形成する請求項５２に記載の吐出口プレートの製造
方法。 - 【請求項５５】 前記複数の吐出口形成用凹部を形成す
る工程において、前記複数の吐出口形成用凹部の周囲に
凸部を形成する請求項５２に記載の吐出口プレートの製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000033609A JP2001071512A (ja) | 1999-02-10 | 2000-02-10 | 液体吐出ヘッドの製造方法、液体吐出ヘッド、及び吐出口プレートの製造方法 |
Applications Claiming Priority (9)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3327099 | 1999-02-10 | ||
| JP3327199 | 1999-02-10 | ||
| JP14854199 | 1999-05-27 | ||
| JP11-148541 | 1999-05-27 | ||
| JP18962399 | 1999-07-02 | ||
| JP11-189623 | 1999-07-02 | ||
| JP11-33270 | 1999-07-02 | ||
| JP11-33271 | 1999-07-02 | ||
| JP2000033609A JP2001071512A (ja) | 1999-02-10 | 2000-02-10 | 液体吐出ヘッドの製造方法、液体吐出ヘッド、及び吐出口プレートの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001071512A true JP2001071512A (ja) | 2001-03-21 |
Family
ID=27521505
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000033609A Pending JP2001071512A (ja) | 1999-02-10 | 2000-02-10 | 液体吐出ヘッドの製造方法、液体吐出ヘッド、及び吐出口プレートの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001071512A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007038245A (ja) * | 2005-08-02 | 2007-02-15 | Seiko Epson Corp | 構造体の製造方法 |
| JP2008062395A (ja) * | 2006-09-04 | 2008-03-21 | Fujifilm Corp | ノズルプレートの製造方法、液滴吐出ヘッドの製造方法、及び画像形成装置 |
| JP2010179510A (ja) * | 2009-02-04 | 2010-08-19 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 |
| JP2011156873A (ja) * | 2004-08-05 | 2011-08-18 | Fujifilm Dimatix Inc | プリントヘッドのノズル形成 |
| JP2011245858A (ja) * | 2010-05-27 | 2011-12-08 | Xerox Corp | 組み付けを簡略化する調芯機能部付き成形ノズルプレート |
-
2000
- 2000-02-10 JP JP2000033609A patent/JP2001071512A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011156873A (ja) * | 2004-08-05 | 2011-08-18 | Fujifilm Dimatix Inc | プリントヘッドのノズル形成 |
| US8377319B2 (en) | 2004-08-05 | 2013-02-19 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Print head nozzle formation |
| JP2007038245A (ja) * | 2005-08-02 | 2007-02-15 | Seiko Epson Corp | 構造体の製造方法 |
| JP2008062395A (ja) * | 2006-09-04 | 2008-03-21 | Fujifilm Corp | ノズルプレートの製造方法、液滴吐出ヘッドの製造方法、及び画像形成装置 |
| JP2010179510A (ja) * | 2009-02-04 | 2010-08-19 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 |
| JP2011245858A (ja) * | 2010-05-27 | 2011-12-08 | Xerox Corp | 組み付けを簡略化する調芯機能部付き成形ノズルプレート |
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