JPH02204048A - インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents

インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法

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JPH02204048A
JPH02204048A JP1025547A JP2554789A JPH02204048A JP H02204048 A JPH02204048 A JP H02204048A JP 1025547 A JP1025547 A JP 1025547A JP 2554789 A JP2554789 A JP 2554789A JP H02204048 A JPH02204048 A JP H02204048A
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liquid path
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inkjet recording
ink
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隆 渡辺
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、液体を噴射し飛翔液滴を形成して記録を行な
うインクジェット記録ヘッドと、ｆｉ体を噴射する吐出
Ｕｉｌｉｉｌ　（オリフィス）に関するものであ〉：ｌ
。
（従来の技術１ インクジェット記録ｌ＼ツドは、・インクの吐出口（オ
リフィス）を有する吐出口板、いわゆるオリフィスプレ
ートと、丼オリフィスに連通したインク液路を仔する液
路天板とインク液路の一部を構成し電か−、〕吐出のた
めのエネルギー発生体を有する基板により構成さおでい
る。
インクを１）↑出するオリフィスは、イ〉・り滴の吐出
＋′を能である吐出速度、吐出力向などに影響をう−え
るため、その精度・形状などが重要となってくう。なか
でも、液路とオリフィスの連通する部分およびオリフィ
スの形状は、インクの流れがスムーズになることか望ま
しいが、第２図に示すような従来のインクジェット記録
ヘッドでは、以下の問題点が生ずる場合があった。すな
わち、液路６とオリフィス５の連通部において、液路と
オリフィスの大きさが違うためインクの流れがスムー【
にならず吐出速度が減少してしまう。そのため、吐出速
度が低下し着弾点の精度が悪くなり、印字品位の劣化に
つながる場合かあるという問題である。また、オリフィ
スの形状は、先端に行くほど徐々１細くなるテーパー状
が、吐出性能ト望ましいか、厚みの薄いオリフィスプレ
ートを用いたインクジェット記録ヘッドの微小なオリフ
ィスにその様な加工することもまた難しいものであった
。
（発明が解決しようとする課題） 本発明はＦ記のような問題点に鑑みなされたものであり
、インク液路とオリフィスが無理な形状で接することな
く、またオリフィスの形状をテーパーにした、インクジ
ェット記録ヘッドを提供し、またその簡易な製造方法を
提供オるものである。
（課題を解決するための手段〕 本発明はイ〉・りを吐出するための吐出口を有するオリ
フィスプレートと前記吐出］」虹連通する液路と前記吐
出口に対応して設けらねたエネルギー発生素ｆとを有す
るインクジゴツト記録ヘッドにおいて、前記オリフィス
プレートは、前記液路内にその一部が侵入していること
を特徴とするインクジェット記録ヘッドであり、特に前
記吐出［Ｊはテーパー形状である前記ヘッド、また、前
記エネルギー発生素ｆ−はインクを吐出するために利用
される熱エネルギーを発生する電気熱変換素ｆである前
記ヘット、さらに、前記液路は前記エネルギー発生素ｆ
−を有する基板と該基板トに設けられる溝付の液路天板
とで形成される前記ヘッドである。また、本発明はイン
クを吐出するための吐出口を有するオリフィスプレート
と前記吐出口に連通する液路と前記吐出口に対応して設
けられたエネルギー発生素子とを有するインクジェット
記録へ・！ドの製造方法において、前記吐出口は前記オ
リフィスプレートを形成する材料の一部を前記液路を形
成する部材内に侵入させた後形成することを特徴とする
インクジェット記録ヘッドの製造方法であり、特に、前
記オリフィスプレートを形成する材料は１１機樹脂材料
である前記方法、さらに前記有機樹脂材料は感光性樹脂
である前記り法、また館記吐出［ｊの形成は、エキシマ
レーザ−を用いて行なわれる前記方法である。
（実施例） 以下に本発明の具体的な実施例を示す。
第１図に本発明の特徴を良く表わす図面であり、同図に
紛いて、ｌはインク液路の一部を構成する基板、２は基
板１上に設りられたエネルギー発生体、３はインク液路
を形成するための溝をｔｌする溝付きの液路天板、４は
オリフィスプレート、５はオリフィスである。
次に、本発明の製造方法を示しながら、本発明の詳細な
説明する。まず始めに第３図に示すように液路天板３と
基板１を接合１゛る。次に、オリフィスプレートの材料
として熱可塑性樹脂であるドライフィルム（東京応化社
製５Ｅ−３２０）を接合する。この接合に際して、ドラ
イフィルムの保護フィルム（ＰＥ）を別層して、加熱す
る。１−分に加熱されたドライフィルムは、熱により軟
化する。その状態で、ドライフィルムを第３図の液路天
板と基板を接合したものに圧着する６とくに、オリフィ
スとなる部分に圧力を加える。その状態を第４図に、ま
た液路とオリフィスとなる部の断面図を第５図に示す。
第５図かられかるように、１分に軟化したドライフィル
ムが、液路の内部に入りこむ。つぎに、感光性樹脂であ
るドライフィルムの特性を利用してオリフィス先端の径
に必要なフォトマスクを用いて、露光・現象によるフす
トリジ１程にて、オリフィスを加−Ｙする。このとき、
′ｎ光時間を変えることにより、オリフィスのテーパー
の角度を変えることができる。
以１−説明した方法をとれば、インク液路に連通したテ
ーパーのオリフィスが簡単に得ることができる。
以）釘、本発明の別の実施例を説明する。
始めに基板１及び液路天板３を接合し、オリフィスプレ
ートとして、ドライフィルムを接合するところまでは前
実施例と同じである。本実施例では、接合したドライフ
ィルムをＵＶ硬化させる。次に、前実施例と同じように
先端の径に必要なマスクを用い′Ｃ、エキシマレーザ−
によりオリフィスを加工する。このとき、レーザーの光
の角度によりテーパーのついたオリフィスになる。また
、オリフィスプレートの材料とレーザーの加工条件によ
っては、第６図のような放物線を描くオリフィスを得る
こともできる。
なお、エキシマレーザ−を用いてオリフィスを形成する
場合ぼけ、Ｌ記したトライフィルム以外に、加熱によっ
て軟化する有機樹脂材料を用いることもできる。
また、本発明のインクジェット記録ヘッドのエネルギー
発生素子としてはインクを吐出するために利用される熱
エネルギーを発生する電気熱変換未−ｆを用いることが
できる。この場合は、記録ヘッド全体の小型化、吐出口
の高ＩＩ？；：　ｔａ配列化にも通しており、本発明の
効果を充分に発揮できるものできわめて好ましい。
（発明の効果） 本発明によって、作られたインクジェット記録ヘッドは
、オリフィスと液路が、理想的な形状で連通しているた
め、インク流れがスムーズになり、インクの吐出速度が
向トし、印字品位がよりきわいになる。また、オリフィ
スプレートの材料を液路の内部に進入させて、オリフィ
スを加工するという簡俳な方法で作ることが出来る。
ヘッドの液路部の断面図、 第２図は、従来のインクジェット記録ヘッドの液路の断
面図。
第３１Ａは、天板と基板を接合した図。
第４図は、オリフィスプレートを接合した図、第５図は
、第４図の液路の断面図である。
ｌは基板 ２はエネルギー発生体 ３は液路天板 ４はオリフィスプレート ５はオリフィス ６はインク液路 特許出願人　　キャノン株式会社

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １）インクを吐出するための吐出口を有するオリフィス
    プレートと前記吐出口に連通する液路と前記吐出口に対
    応して設けられたエネルギー発生素子とを有するインク
    ジェット記録ヘッドにおいて、前記オリフィスプレート
    は、前記液路内にその一部が侵入していることを特徴と
    するインクジェット記録ヘッド。 ２）前記吐出口はテーパー形状である請求項１記載のイ
    ンクジェット記録ヘッド。 ３）前記エネルギー発生素子はインクを吐出するために
    利用される熱エネルギーを発生する電気熱変換素子であ
    る請求項１記載のインクジェット記録ヘッド。 ４）前記液路は前記エネルギー発生素子を有する基板と
    該基板上に設けられる溝付の液路天板とで形成される請
    求項１記載のインクジェット記録ヘッド。 ５）インクを吐出するための吐出口を有するオリフィス
    プレートと前記吐出口に連通する液路と前記吐出口に対
    応して設けられたエネルギー発生素子とを有するインク
    ジェット記録ヘッドの製造方法において、前記吐出口は
    前記オリフィスプレートを形成する材料の一部を前記液
    路を形成する部材内に侵入させた後形成することを特徴
    とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。 ６）前記オリフィスプレートを形成する材料は有機樹脂
    材料である請求項５記載の方法。 ７）前記有機樹脂材料は感光性樹脂である請求項６記載
    の方法。 ８）前記吐出口の形成は、エキシマレーザーを用いて行
    なわれる請求項５記載の方法。
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