JPH01108056A - インクジェットプリンタ用ノズル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はインクジェットプリンタ用ノズル及びその製法
に関し、特に多くの独立ノズルをもつノズル板に関する
。

（従来の技術とその課題） ある種のプラスチック、特にポリエチレン、ポリプロピ
レン又はフッ素化ボリマー等の低表面エネルギーのプラ
スチックをインクジェットプリンタ用ノズルの製造に用
いることは知られている。たとえば１９８３．１．８付
のＩＢＭテクニカル・ディスクロージャー・プレチン２
　５．８，　４３７１頁参照。かかるプラスチックを用
いる利点はこれらの表面が比較的低い表面エネルギーを
もち特に水性インクの拡がシを示すことによる。しかし
これらはインクの接形角が悪くノズル孔の表面を湿らさ
ないという欠点をもつ。プリンタの操作中ノズルの外表
面にインクを吸引することができない。この吸引は滴出
要求（ドロップ−オン−デマンド）プリンタのインク滴
の噴射の間インク滴下を促進しまた印刷層ノズルにイン
クを再充填するインク置換プロセスを補助する。これら
の理由から低エネルギーのポリマーでつくったノズルは
演出要求プリンタでの使用には適していない。

しかし、ここに、この目的のために従来提案され次こと
のない他のプラスチックがインクジェットプリンタ、特
に「滴出要求」（ドロップ−オン−デマンド）インクジ
ェットプリンタ用ノズルの製造に顕著に適していること
を見出した。適した材料の選択に加えて、その材料のノ
ズルをつくるに適した技術も開発する必要がぶる。この
技術はインク射出プリンタのプリントヘッドのインク射
出チャンネルと正確に合った複数ノズルをノズル板等の
中に同時につくることができるものが好ましい。この目
的に特に適しているのはレーザーによる切除である。パ
ルスＵＶレーザーを用いる固体材料の制御され友切除は
周知である。たとえば特開昭５９−１５４８２６ではレ
ーザー等の高エネルギービームを用いて樹脂フィルムに
ノズルをつくることが開示されている。この開示にもか
かわらず、プリントへットソズルの形成にはレーザーは
未だほとんど用いられていない。

これは適切な構造のインクジェットノズルをつくる技術
が従来例では開示されていないことに少くとも１部の原
因があるものと思う。

また滴出要求インクジェットプリンタのノズルを通し、
印刷中に、連続した正のインク流を与えることは極めて
好ましいことである。出願人はかかる正の流水系を開示
した従来例は知らない。

（発明の課題） 本発明の目的は改良されたインクジェットプリンタノズ
ル及びその製法の提供にメイ。

本発明の更なる目的は改良されたインクジェットプリン
タノズルアセンブリとその製法、特にプリンタの操作特
性に悪影響を及ぼさない材料、好ましくはプラスチック
を用い次ノズルを用いてなるアセンブリとその製法の提
供にある。

本発明の更なる目的はインクジェットプリンタ、特に滴
出要求プリンタのプリントヘッドに用いるに適するテー
パー状構造をもつノズルからなる新規ノズルアセンブリ
とその製法の提供にある。

本発明の更なる目的はインクジェットプリントヘッドの
インク噴射流路と正しく適合する複数の独立のノズルを
もつノズル板の製法の提供にある。

本発明の更なる目的はプリンタノズル中に正のインク流
が維持される滴出要求インクジェットプリンタ用のイン
ク供給系の提供にある。

（好ましい態様の開示） 第１図において、番号１６Ｆｉ滴出要求インクジェット
プリントヘッド（その具体例は出願人の同日出頭に例示
されている）等のインクジェットプリントヘッドを示す
。

本発明はかかるプリントヘッドに関し特に有効だが、勿
論他の構造や操作を伴なうプリントヘッドにとっても本
発明は有効である。プリントヘッド１６は複数の長い動
作壁１８で分離された複数の長いインク流路２０からな
る。動作壁１Ｂｔｉ流路２０中のインクに圧力パルスを
付与するために印加された電気信号に応答して剪断モー
ドで動作し、それぞれが各インク流路２０と連絡してい
る複数のノズルを通してインク液滴の射出をする。

本発明によれば、ノズル１３はプリントヘッド１６に接
合している固体ノズル板１４中に形成される。ノズルの
形成はノズル板１４をプリントヘッドに接合する前又は
接合した後罠行なわれる。いづれの場合も複数の開口１
５をもつ接触マスク１２をノズル板１４の外表面に固着
する。開口１５のそれぞれはノズル板１４の外表面上の
各ノズル出口の周囲を定めておシ、源１０からの紫外＃
（ＵＶ）照射をノズル板１４上に導びきノズル１３を形
成するように配される。より具体的には源１０は好まし
くはパルス当シ適切なエネルギー密度をもつＵＶ光の均
一平行ビーム１１をを生ずるエキシマ−レーザーからな
る。舞触マスク１２の開口はノズル板１４をＵＶ照射に
さらしてノズル板の開口下にある領域金除去しノズル板
１４を通してノズル１３を形成する。このように接触マ
スク１２は暴露とノズル線列の形成を同時に可能とする
。ノズル１３の形成により、ノズル板１４をプリントヘ
ッド１６に接合後、各ノズル１３とプリントヘッド１６
の各インク流路２０との並びを適正に制御しうる。

ノズル板１４用の材料は除去後の表面エネルギーが高い
接触角をもっていてインク射出流路２０がら供給される
インク溶媒でぬれるようなプラスチック（即ちポリマー
）が好ましい。特に、ノズル板１４の材料は除去后の表
面エネルギーがインク溶媒のそれをこえるものが好まし
い。これによりノズル１３の孔中にインク流路２０から
インク溶媒が効果的に移動する。またプラスチックの除
去に要する限界エネルギー密度は比較的小さいのでプラ
スチックからノズル板１４をつくることが容易であると
いう利点ももつ。

インク溶媒に影響されない好ましいプラスチック材料は
たとえばポリアルキレン（たとえはエチレン）テレフタ
レート、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリエーテ
ルスルホン、ポリエーテルケトン、ポリカーボネート、
酢酸セルロース等から選ばれる。ノズル板は要求される
除去（ａｂｌａｔｌｏｎ　）エネルギー密度がより大き
いガラスヤ金属等のかたい材料からなる。ここでプラス
チックの除去は真空で行なうことが好ましい。

前記したように、第１図に示すノズル板１４はインクジ
ェットプリントヘッド１６、特に好ましくは滴出要求プ
リントヘッドに接合している。図に示し九ノズル板１４
を組立ててプリントヘッド１６に接合した後マルチノズ
ル１３を形成する方法は多くの利点をもつ。まず、各イ
ンクジェットの相対的な方向を制御する各ノズル１３の
軸１７が極めて正確に制御され、マスク１２の配置と光
学ビームの強度の均一性と入射軸方向を正確に制御する
。本発明によれは、ノズル板１４Ｆｉ組立て前に別の部
品として形成しうるが、これを配置してプリントヘッド
１６に接合するその後のプロセスでノズル１３によって
生ずるジェット間の軸方向に幾分の幾何学的バリエーシ
ョンが生じうる。またノズル板の接合中にノズル破壊を
起こす危険をノズル板の組立てと接合の後にノズル１３
を切除することによって実質上排除される。プラスチッ
クをエキシマ−レーザーで除去（切除）することにより
、プラスチック中での除去される構造の壁部が入射光ビ
ームに平行ではなくむしろ向側に向けたテーパー状であ
るという特徴を示す。典型的には、プラスチックノズル
板１４を切除するに適するエネルギー濃度で処理すると
約５度のテーパーが得られる。作用面から徐々に切除さ
れた断面が減少した構造となる。しかし、反対方向にテ
ーパー化し入口端よル出口における面積が小さいという
ことはインクジェットノズルにとって好ましいことでお
る。レーザー切除によって自然に生じたような外表面に
向かってその面積が増加しているテーパー状のノズルは
望ましくない。この欠点は本発明に従って、プリントヘ
ッド１６、それに接合し隣接した接触マスク１２（又は
ノズル板１４と接触マスク１２を保持する適酒な固定材
）からなるアセンブリーを切除操作中揺夛動かすことに
よって解消する。かくして拡大したインク入口と拡大し
ないノズル出口とを同時にもたせたノズル１３が形成さ
れる。

ノズルをアンダーカットするためにアセンブリー（組立
体）を揺り動かす方法を第２図に示す。図示するように
、プリントヘッド１６とノズル板１４と接触マスク１２
からなるアセンブリーを相互に直角なＸ又はＹ軸のいづ
れかを通して揺シ動かすか又は両軸のまわりを同時に揺
シ動かす。

特に、板１４０面にビーム１１を向いて配した各軸のま
わりを単一調和運動でピホット状にアセンブリーを動か
すことが好ましい。本発明の一態様において、アセンブ
リーをＸ及びＹ軸のまわりに不均一に揺り動かして、マ
スクの環状開口１７によって暴露された実質上環状の出
口孔２５（第３図）が、主軸がプリントヘッド１６の動
作壁１８と並んだ関係にある、楕円形、扁平形又は四角
形の入口形状２７が得られる。−列のノズル１３をつく
る時は、ノズル１３の列と合ったＸ軸のまわりにナノ−
約３０〜４０度といつ九大きな角度でアセンブリーを回
転させ、ノズル１３の列に直角のＹ軸のまわりをナノー
約−０〜２０といった小さな角度でアセンブリーを回転
させることが好ましい。

これｋよりノズル出口２５よりも面積が実質上大きな入
口形状２７をもつノズル１３が得られまたノズル入口形
状２７をプリントヘッド１６の流路プロフィルに合わせ
ることにより隣接ノズル１３０間隙をより接近させるこ
とができるという利膚を示す。、・ ノズル１３（特に滴出要求プリンタ用の）を揺り動かし
て出口面方向にテーパー状にアンダーカットする他の利
点として、製造中揺シ動かしてテーパー状にしなかった
ノズル又は平行な孔をもつノズルに比しノズル容積が増
大することを挙けることができる。比較的薄いノズル板
をもつ滴出要求プリンタによってつくられる液滴サイズ
の１つの滴の容積より大きなノズル容積をつくることに
より、ノズル板の外からノズル板のうしろにあるインク
キャビティ２０に空気を吸引する可能性がプリンタの操
作中かなり低下する。

出口方向にテーパー化したノズルをつくる更なる利点と
して、圧力パルスに応答してインクジェット速度の上昇
時間を制御する因子であるノズル中の流体マスのイナー
タンスを減少することがあけられる。インク流速を減少
する傾のあるノズルの粘性インピーダンス又はリアクタ
ンスが入口面積の増加によって同様に減少す名。その結
果、より粘性のあるインクを過剰のノズルインピーダン
スなしに用いうる。

上記したように、Ｙのノズル軸よりＸ軸のまわりをより
大きな角度でプリントヘッドアセンブリーを揺動する利
点の一つはノズルとプリントヘッド流路を、ノズルのう
しろの隣接するインク流路間の動作壁１８を薄くシ次ま
まで、より密に配置することができることである。適当
な振動数で各軸を揺動することによってリサジュー封筒
から誘導される長方形の入口プロフィルが生ずる。扁円
形の入口プロフィルはノズル出口方向へインクを移動さ
せるより高い表面張力をも次らしインクの再充填を促進
する。

上記したようにつくられ次アンダーカットノズル１３の
アセンブリを第３図に示す。ノズル孔の表面、特にプラ
スチック材料、上にレーザービームを当てる切削プロセ
スの作用は孔の表面によυ高い表面エネルギーを付与し
１＊はノズル１３中のインクに対しよりぬれやすくする
ことである。高い表面エネルギーはノズル出口面２５方
向へのインクメニスカスを促進しもってインク滴下とイ
ンク再充填を促進する。ノズル板１４はその出口面を、
切除の前に、フルオ鴛ポリマー等の低表面エネルギーの
材料からなるフィルム又は層３１で被覆してもよい。低
表面エネルギーのフィルムはノズル板の外面にインクが
拡がるのを防ぎ、異なる液滴形成速度と周波数において
インク滴のサイズを一定に保つ。

ノズル１３の線列を単一の操作で光学ビームに暴露し、
プリントヘッド１６中に平均につくることができる。ま
た−群のアレイプリントヘッド１６を通常のノズル板１
６に接合してもよい。ノズル１３はマスク１２によって
マスクの正確性に依存しそれぞれの一群のアレイプリン
トヘッド１６のアセンブリーの正確性には依存しない位
置に形成される。１のプレイ中のノズル板１４中に形成
されたノズル１３は必ずしも共線的ではない。たとえば
ノズル１３をＸ−Ｘ軸の上と下に交互にして液滴噴射時
間の遅れを補償することができる。これは剪断動作プレ
イプリントヘッドの隣接インク流路２０から液滴を交互
に噴射する場合に有効である。

レーザービームによって、ノズル板１４の外面上にイン
クを保持する切除動を設ける更なる例を第４〜６図に示
す。

浅いトラフ（溝）２２をノズル板１４の外表面２６のノ
ズル２４を覆う領域にレーザービームを当てて切除して
つくる。接触マスク３１（第４図に分解図として示す）
がレーザー切除プロセスで好ましく用いられる。これは
揺動は用いないが、他はノズル１３の形成に用いるプロ
セスと同様である。またノズル板１４の外表面２６は非
親水性フィルム２８で被覆することが好ましい。しかし
出口表面２６を切除した后のトラフ２２内のノズル板材
料はインクと親和してノズル２４を覆うトラフ領域上に
メニスカス３０を形成するよう親水性であることが好ま
しい。インクはインク供給部３２からトップに供給され
る。供給されるインクの圧力がトラフ２２中のインクメ
ニスカス３０のレベルを制御する。好ましくは、メニス
カスはトラフ２２中のインクの深さがノズル直径の１〜
２倍になるよう制御される。

ノズル２４の外にインクメニスカス３０を形成すること
により多くの利点がもたらされる。第一に、ノズル２４
の外にインクを保持することによりノズルの下にあるイ
ンク流路２０に空気泡が入ることが防止される。第二に
、トラフ２２の構造がノズル２４の外のインクフィルム
の厚さを制御する。かかるフィルムはノズル２４からフ
ィルムを通って噴射されるインク滴の加速度を最高にす
る九め薄いことが好ましい。インク供給部３２は連続し
たインク滴がプリントヘッド２６によって噴射されると
きトラフ２２中のインク量を一定に保つことを可能とす
る。−の態様（第４図）において、インクはノズル板１
４の前の供給源３２からのみ与えられ、ノズル２４全通
しての又はうしろのインク再充填源からノズルのあとの
インク流路２０へのインクの流れは起こらない。

更なる態様（第５及び６図）において、インクはインク
供給部４２に接続するポンプ４０によりライン４４によ
ってノズル２４のうしろのインク流路２０に徐々に供給
される。インクはノズルをとおシ、ノズル板の前表面に
つくられ次トラフ２２中へゆるやかな速度、好ましくは
２５〜４０ｍ／秒で流れる。次いでインクはトラフと共
通のインク収集室４６に導びかれライン４８によって供
給部にもどされる。ノズル２４を通ってカンのインクの
確かな流れは多くの利点をもたらす。第１にインクがよ
り容易に噴射される。

この型のインク流をもつプリンタは滴の噴射を伴なうの
に比較的低い電力で操作される励振（ｅｘｃｉｔａｔｉ
ｏｎ）源５０を用いることができる。またインクがノズ
ル２４の前で常に新になシその結果乾いたフィルムがつ
くられる可能性が小さくなる。

上記し穴型のノズル板はレーザー切除によってプラスチ
・・ツク材料中に容易に形成しうる。かかる構造をつく
るには二重マスクが用いられる。第１のマスクは各ノズ
ルの外のトラフを曇露するために設計され、ここではノ
ズル直径の約０．２〜２倍の深さがレーザービームで除
去される。次に第２のマスクが挿入され、次いで前記し
たようにノズルが切除される。ノズルプロフィルをアン
ダーカットするのにも組立体の揺動は有効である。

トラフの切除され九表面の親水特性とトラフの外の切除
されない領域の非親水特性はインクをノズルの外に制御
され危機式で保持するのに役立つ。

本発明により極めて効率よく且つ正確にインクジェット
プリンタ用ノズルがつくられる。

上記した本発明の態様の多くの変形が本発明の技術思想
内で可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるインクジェットプリントヘッド用
ノズル板の製造法を示す。第２図は第１図の部分拡大図
であり、特に第１図の板中に形成され次ノズルを本発明
に従ってアンダーカットする方法を示す。第３図は第２
図に類似の拡大図でありノズル板中に形成されたノズル
のアンダーカットの方法を示す。第４図は外表面にイン
クトップをもつノズル板の斜視図を示す。第５図は第４
図に示した外面インクトラフをもつノズル板を有する滴
出要求インクジェットプリンタの操作を示す図である。 第６図は第５図の部分拡大図である。 図面の浄？（内容に変更な乙） 手続補正書 昭和６３年１０月２４日 特許庁長官　吉　１）文　毅　殿 １、事件の表示 昭和６３年特許願第２３２７３２号 ２、発明の名称 インクジェットプリンタ用ノズル ３補正をする者 事件との関係　　　特許出願人 名称エイエムインターナショナルインコーホレーテッド
４、代理人 ６、補正の内容 り、”、ｉｆ　］、　／ム

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、高エネルギービームを板に向け、該板と該ビームの
   間に相対的な揺れ運動を行ないそれによつて該板にテー
   パー状ノズルを形成することを特徴とするインクジェッ
   トプリントヘッド用ノズル板の製造法。 ２、該揺れ工程が、より大きな断面の一端と予め定めた
   形状をもつノズルを形成するように２つの互に傾斜した
   軸のまわりで相対的な揺れ運動を行なうことからなる請
   求項１の方法。 ３、該軸が互に直角に配されている請求項２の方法。 ４、該揺れ工程が該ビームを静置状態に保持し、該ビー
   ムに向かつて面している該板の平らな表面に配したそれ
   ぞれの軸のまわりで該板をピボット状に単純調和運動さ
   せる請求項３の方法。 ５、該板をポリマー材料でつくることを含む請求項４の
   方法。 ６、該高エネルギービームとしてエキシマーレーザーを
   用いることを含む請求項５の方法。 ７、該板上該ノズルが形成される位置に該ビームの入射
   角を制限するよう該板と接してその上にマスク部材を固
   着することを含む請求項４の方法。 ８、ポリマー材料からなる該板を用意し、該ノズルを形
   成する前に、インクジェットプリントヘッド体上に該板
   を該プリントヘッド体中のインク流路の端を止じるよう
   に置き、該ノズルを該流路と連絡するように形成するこ
   とを含む請求項４の方法。 ９、該インク流路が直線状流路であり、該流路の軸に沿
   つて該ビームを該板に向けて該ノズルを形成することを
   含む請求項８の方法。 １０、それぞれの位置にそれぞれのノズルが形成される
   ように該板の複数の位置に該ビームの入射角を制限し且
   つテーパー状の複数のノズルを同時に形成するように該
   板と該ビームの間に相対的な揺れ運動を行なう請求項８
   の方法。 １１、該位置を一列に間隔をおいて配し、ノズルがより
   大きな断面積をもつノズル板の側部において該ノズルが
   該ノズル軸の空間方向に第１のディメンションをもち第
   １のディメンションと直角方向に第１のディメンション
   より大きな第２のディメンションを持つように該相対的
   揺れ運動を行なう請求項１０の方法。 １２、該ノズルがより大きな断面積の実質上長方形の端
   部をもつように該板を揺動する請求項１１の方法。 １３、高エネルギービームを板に向けて該板にトラフを
   形成し、次いで該トラフ内の位置に該高エネルギービー
   ムを向け、そして該板と該ビームの間に相互的揺れ運動
   を行ない、それにより該トラフ内にテーパー状のノズル
   を形成し、該トラフ中の該ノズルの開口端がノズルの他
   端より小さい断面積をもつようにしてなるインクジェッ
   トプリントヘッド用ノズル板の製造法。 １４、該トラフを形成する際に該板上に該ビームの入射
   角を制限するための第１マスクを用い、そして該ノズル
   を形成する際に該ビームの入射角を制限する第２マスク
   を用いる請求項１３の方法。 １５、該揺れ工程が該ビームを静置状態に保持し、該ビ
   ームに向かつて面している該板の平らな表面に配したそ
   れぞれの軸のまわりで該板をピボット状に単純調和運動
   させる請求項１４の方法。 １６、ポリマー材料からなる該板を用意し、該ノズルを
   形成する前に、インクジェットプリントヘッド体上に該
   板を該プリントヘッド体中のインク流路の端を止じるよ
   うに置き、該ノズルを該流路と連絡するように形成する
   ことを含む請求項１５の方法。 １７、インクジェットプリントヘッド体の一群のインク
   流路の端に固着したポリマー材料からなる板に高エネル
   ギービームを向け、該流路のそれぞれと連絡した各ノズ
   ルを同時に形成するように該板上の複数の位置に該ビー
   ムの入射角を制限し、該ノズルの各々が該プリントヘッ
   ドから該板の方向に内側方向にテーパー状になるよう該
   ビームと該プリントヘッドとの間に相対的な揺れ運動を
   行なうことを特徴とするインクジェットプリントヘッド
   用ノズル板の製造法。 １８、入口とそれより小さい断面積の出口とをもつテー
   パー状ノズルをもつ板と該板に高エネルギービームを向
   け該板と該ビームとの間に相対的な揺れ運動を行なつて
   形成した該入口と該出口の間にあるノズル孔とを有する
   インクジェットプリントヘッド用ノズル板。 １９、該ノズル入口が、実質上長方形の断面を有し、且
   つ２つの互いに直角な軸のまわりを該ビームに対し該板
   を単純調和揺れ運動させて形成したものである請求項１
   ８のノズル板。 ２０、該板が該ノズル孔の出口端に、該ノズル孔がその
   中に開放していて、且つ該ノズル孔の形成前に、該板に
   該高エネルギービームを向けることによつて形成された
   トラフを有する請求項１８のノズル板。 ２１、インク流路をもつプリントヘッド体と該プリント
   ヘッド体に固着し且つ該流路と連絡したノズルをもつノ
   ズル板からなり、該ノズルが該流路と連絡した入口と、
   該プリントヘッド体からはなれ該板の表面にあり該入口
   より小さい断面積をもつ出口と、該入口と該出口の間に
   あるノズル孔をもち、これらが該板に高エネルギービー
   ムを向け該プリントヘッドと該ビームの間に相体的揺れ
   運動を行なつて形成されたものである滴出要求インクジ
   ェットプリントヘッド。 ２２、ノズル入口が実質上長方形の断面をもち２つの互
   に直交する軸のまわりを該ビームに対し該板を単純調和
   揺れ運動することによつて形成される請求項２１のプリ
   ントヘッド。 ２３、該ノズル入口が実質上長方形の断面をもち且つ２
   つの互いに垂直な軸のまわりを該ビームに関し該板を単
   純調和揺れ動かしてつくられたものである請求項２２の
   プリントヘッド。 ２４、該ノズル孔がレーザービームによつて形成される
   請求項２３のプリントヘッド。 ２５、該孔がエキシマーレーザービームによつて形成さ
   れる請求項２４のプリントヘッド。 ２６、該板が、該ノズル孔の出口端にありノズル孔がそ
   の中に開放され、該ノズル孔の形成前に該高エネルギー
   ビームを該板に向けることによつて形成されたトラフを
   有する請求項２１のプリントヘッド。 ２７、該トラフと該ノズル孔がレーザービームによつて
   形成される請求項２６のプリントヘッド。 ２８、該トラフと該ノズル孔がエキシマーレーザービー
   ムで形成される請求項２７のプリントヘッド。 ２９、プリントヘッドのインク流路とそれぞれ連絡する
   ノズル列を有するノズル板を持つと共に、該ノズルの各
   々が該流路の対応する１つと連絡する入口と該板の該入
   口から離れた面にある出口と該入口と該出口の間にある
   ノズル孔をもち且つ高エネルギービームを該ノズル板と
   該ビームの間に相対的な揺れ運動を行ないながら該板に
   向けて形成されたものである滴出要求インクジェットプ
   リントヘッド用ノズル板。 ３０、該ノズルの各々の入口が実質上長方形の断面を有
   し、且つ２つの互に直角な軸のまわりを該ビームに対し
   該板を単純調和揺れ運動させて形成されたものであり、
   ノズル列の方向の該断面の各々の第１ディメンションが
   該列に直角な第２ディメンションよりも小さい請求項２
   ９のプリントヘッド。 ３１、該板が該ノズル孔の各々の出口端にそれぞれトラ
   フを有し、且つ該ノズル孔の形成前に、該板に高エネル
   ギービームを向けることによつて形成されたものある請
   求項２９のプリントヘッド。 ３２、一列のインク流路と該流路とそれぞれ連絡してい
   るノズル列を有するポリマー材料からなるノズル板から
   なる該ノズルの各々が該流路の対応する１つと連絡して
   いる入口、該入口からはなれた該板の表面にある出口及
   び該入口と該出口をつなぐノズル孔をもち、それが高エ
   ネルギービームを該板に向け該板と該ビームの間に相対
   的な揺れ運動を行なつて形成されてなる滴出要求プリン
   トヘッド。 ３３、該ノズルの各々の入口が実質上長方形の断面をも
   ち２つの互に直交する軸のまわりを該ビームに対し該板
   を単純調和揺れ運動を行なつて形成され、ノズル列の方
   向の該断面の各々の第１ディメンションが該列に直角な
   第２ディメンションより小さい請求項３２のプリントヘ
   ッド。 ３４、該ノズルの孔がレーザービームによつて形成され
   る請求項３３のプリントヘッド。 ３５、該ノズルの孔がエキサマーレーザービームによつ
   て形成される請求項３４のプリントヘッド。 ３６、該板が該ノズル孔の各々出口端に、ノズル孔がそ
   の中に開放されそして該ノズル孔の形成前に、該板に高
   エネルギービームを向けることによつて形成されたトラ
   フをそれぞれ有する請求項３２のプリントヘッド。 ３７、インク流路と、該インク流路と接続した入口をも
   つインク噴射ノズルと、該ノズルの出口がその中に開放
   しているインクトラフと、該流路中のインクに圧力パル
   スを付与して該ノズルから印刷用の液滴を噴射するため
   の励振部材と、該流路と該ノズルと該トラフをインク源
   と接続し印刷中該流路から連続インク流を流すための供
   給部とからなる滴出要求インクジェットプリントヘッド
   。 ３８、各流路が接続している入口をもつインク噴射ノズ
   ルを有する一列のインク流路と、該ノズルの１つの出口
   がその内に開放している少なくとも１つのインクトラフ
   と、該ノズル出口からインク液滴の噴射を引きおこすた
   め該流路中のインクに電気信号に応答して圧力パルスを
   付与する励起部材、該流路、該ノズル及び該トラフに印
   刷操作中連続インク流を生じさせるために該流路をイン
   ク源と接続するインク供給部材とを有することを特徴と
   する滴出要求インクジェットプリントヘッド。 ３９、該インク供給部が該インク供給部と該流路を接続
   するポンプを有する請求項３８のプリントヘッド。 ４０、インク供給部の操作中該トラフから出るインクの
   収集用に各トラフと接続した室を有する請求項３８のプ
   リントヘッド。 ４１、該室と該源とを接続する部材を有する請求項４０
   のプリントヘッド。