JP3423708B2 - インクジェットプリンター用ノズル - Google Patents

インクジェットプリンター用ノズル

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はインクジェットプリ
ントヘッドとりわけドロップ・オン・デマンド型インク
ジェットプリントヘッドのノズルに関する。特には本方
法はノズルプレートをプリントヘッドに取り付けた後
で、ノズル流れ方向にテーパー（先細り）をもつ一般に
は円錐形状のノズルを形成することを含む。その製造に
は高エネルギービーム、好ましくはノズルの出口面に入
射するＵＶアブレーション（切削）パルス化エキシマレ
ーザーを用いる。
【０００２】
【従来の技術】ドロップ・オン・デマンド型インクジェ
ットプリンターに対する初期の提案例えばＵＳ−Ａ−
３，９４６，３９８（Ｋｙｓｅｒ ＆ Ｓｅａｒｓ）以
来、ノズル出口に向かってテーパーをもつ一般的には円
錐台形状のノズルを用いることは周知である。射出され
たインク滴による印刷を均質にするためにはノズルの幾
何形状が精密に作製されるべきである。
【０００３】インク滴の形成及び射出においては滴はか
なりの時間、液体の帯状体によってノズルの残留メニス
カスに付着し続けることはよく知られる。これが前方に
たれて、最後は滴破断として知られるよう破断する。特
別な予防策のないときのようにインクメニスカスが滴破
断時にノズルへ引き込まれるならば滴の尾部はノズル壁
上へ凹メイスカス表面をはね上げる。破断時、滴尾部の
ノズル壁へのそうした付着の効果は射出された滴に横向
きのキック（けり）を与え、結果として滴の付着位置に
誤差を生む危険性がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明はこれらの従来
技術の問題点を解決したインクジェットプリンター用ノ
ズルを提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、ノズル本体；
ノズル本体を通って伸びるノズル内腔、及び内腔の中の
構造物を含み、該構造物が、先端がノズル出口より後退
して位置する先細り形状の起伏を軸に垂直な方向の断面
の中央位置に軸方向に含むインクジェットプリンター用
ノズルである。また本発明は、好ましくは、起伏の先端
が、実質的にノズル出口の最大直径の２倍以下の距離だ
けインク滴射出の軸線方向にノズル出口から後退して位
置する上記のノズルである。また本発明は、好ましく
は、起伏の先端が、実質的にノズル出口の最大寸法以下
の距離だけインク滴射出の軸方向にノズル出口から後退
して位置する上記のノズルである。また本発明は、好ま
しくは、該構造物がさらにノズル内腔内の該起伏から放
射状に外向きに伸びる支持体を含み、該支持体がインク
滴射出の軸方向に起伏から全体に、後退して位置する上
記のノズルである。また本発明は、好ましくは、該支持
体が１又はそれ以上の放射状に伸びる支持板からなる上
記のノズルである。また本発明は、好ましくは、ノズル
入口の面積がノズル出口より大きく、該構造物がノズル
入口を分離した入口部分に分割し、それぞれの入口部分
の面積の合計がノズル出口の面積より小さい上記のノズ
ルである。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明のノズルは、高エネルギー
ビームをノズルプレートに照射して切削してノズル内腔
を形成する際のマスクを選択することによって得ること
ができる。
【０００７】具体的には、ノズルプレートに向けて高エ
ネルギービームを向け、それらがノズルプレート上に達
する前に、ビーム収束手段（レンズ）にビームを通過さ
せることを含むインクジェットプリンターのノズルプレ
ートにノズルを形成する方法であって、該収束手段より
前の該ビームが第１及び第２の離れた開口マスクを順次
通過させる方式、好ましくは該ビームをノズル出口を含
むノズルプレートの面に向け、入口から出口へ向けて直
径の減少したテーパー形状をもつノズルをもつノズルプ
レートを形成する際の開口マスクとして第１のマスクの
開口を円形とし、第２のマスク２００の開口２０２を図
１に示すようにすることがあげられる。つまりマスク２
００は３つの放射状翼２０４及び中央板２０６をもつ円
型の開口２０２である。光がこの形態のマスクを通過し
て放射エネルギーの円錐を生じせしめると図２及び３に
示されるような構造をもつノズルが生じる。ノズル内腔
２０８は先細り形状の起伏を構成するピン２１２を支持
する３つの放射状の支持板２１０をもつ。支持板２１０
とピン２１２は横ディメンジョンに、一般にはノズル内
腔でノズル入口２１４からノズル出口２１６へ向けて直
径が減少したテーパー形状をもつ。
【０００８】テーパー状のピン２１２及び支持板２１０
はノズル出口の平面まで全体に及んではいない。図２に
示されるようにピン２１２はノズル出口２１６に足りず
に終点をもち、ノズル出口平面から離れたノズル出口直
径より小さい中央起伏を形成する。支持板２１０は同様
に短く摘み込まれており、重要なことは起伏２１８は矢
印２２０の液滴射出方向の形成に最も主要な部分であ
る。
【０００９】起伏２１８はインク滴がノズルから発射さ
れるときのインク滴の尾部を制御する重要な機能をな
す。前記した従来技術の破断時の射出された滴に横向き
のキックの問題を図４（ｅ）に示す。
【００１０】本発明に従えば起伏２１８は滴尾部を破断
時にノズルの中央に位置するようにしてインクメニスカ
スを制御する。図４の（ａ）から（ｄ）を参照すればイ
ンクメニスカスはノズルに残っているインク体が尾部に
よって滴に接続し完全な滴が形成されるまで伸びること
がわかる。インクメニスカスの周辺部がノズル内腔へ引
き込まれると、尾部は起伏２１８上に捕獲される。連続
する伸び及び滴の究極の破断により、ノズルプレートと
の接触による横のキックを滴が受ける危険性が減少す
る。
【００１１】本発明の別の利点は射出された滴の尾部制
御にある。すなわちインクの小さな小滴がノズルプレー
トの前表面に残される可能性を小さくする。滴尾部が破
断時にノズルと接触しているならば少量のインクが射出
滴に尾部によりはね上げられずにノズルプレートの前表
面に残り、そして乾燥するかもしれない。そうした乾燥
したインクがノズルプレート上に蓄積することは滴の配
置誤差及び結果としてノズルの詰まりを起こしうる。
【００１２】本発明によれば滴尾部は破断時に中央に寄
せられるので、尾部によりはね上げられない少量のイン
クは中央起伏上にとどまって次のインクメニスカス前進
運動時にノズル内のインク体と再結合するだろう。別の
効果は、ウェブ２１０は放射方向のインクの動きを阻止
する有用な機能を提供する。ノズル内でインクメニスカ
スが不要の横振動することはある操作条件下に観察され
ている。ノズルを超えて移動するこれらの波は空気溜り
を捕捉してインク内に気泡の問題を起こす。放射又は横
のインクの動きを阻止することによって本発明は気泡に
よる問題の可能性を小さくする。
【００１３】ノズル出口からノズル出口の直径以下の距
離を後退させた中央起伏となるピン及び３つの角度をも
って間をあけた支持板について上記した配置は勿論、ノ
ズルのインクメニスカスを制御しうるノズル内腔の構成
の１つの例である。比較的小さな改良では、ウェブの
数、厚み及び角度配置を変えて特定のノズル又はノズル
アレイの性能を最大限にすることができる。投射のジオ
メトリーを変えることにより中央起伏がノズルから後退
する距離を調節してもよい。後退の距離はノズル直径の
約２倍を超えないことが好ましいと考えられる。
【００１４】ノズル内腔にかなり異なる構造を得るさら
に別のノズル製造例を図５及び６を参照しながら記述す
る。適当な方法例えばレーザー切削又はイオンビーム穿
孔を用いて６つの傾斜内腔３００をノズルプレート３０
２に形成させる。ノズルプレートの入口面３０４で内腔
３００は共通半径上に等間隔である。出口面３０６で内
腔は癒合してノズル出口３０８を形成する。これは６つ
のだ円の包絡線である。ノズルプレート本体内で中央起
伏３１０は支持板の複合体により画定される。こうして
形成されたノズルの操作時、起伏３１０及び支持板３１
２は前記態様の起伏２１８及び支持板２１０と同様に機
能する。
【００１５】組み合わさったノズル入口の面積はノズル
入口面へ投射された内腔３００の合計面積であり、ノズ
ル出口の面積より大きく、テーパーをもつノズルの機能
的必要条件を満たす。しかしそれぞれの内腔は共通出口
よりも小さい入口をもつ。これによりノズル出口を詰ま
らせる程の大きさのインク中の粒子はノズルに入ること
ができない。こうしてこのノズル構造はテーパーをもつ
ノズルと粒子フィルターの特性を合わせもつ。事実、ノ
ズル出口を詰まらせるようなインク中粒子を濾過する特
性を適当なマスク寸法の選択による図２及び３に示され
るようなノズルに付与することもできる。
【００１６】上記した多腔ノズルはノズルプレートの角
度と位置を経路間で増加させて、６つの経路に高エネル
ギービームを用いて製造することが可能である。代替法
としては図１の投射マスクの代わりに一連の、例えば共
通半径上に等角度で間をおいた６つの穴をもつ投射マス
クを用いる。当業者にはさらに別の代替法が見つけられ
よう。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のノズルを製造する際に用いるマスクの
一例を示す斜視図。
【図２】ノズルの一例を示す断面図。
【図３】図２のノズルを示す平面図。
【図４】ノズルからの液滴射出時の状態を示す説明図。
【図５】ノズルの一例を示す平面図。
【図６】図５のノズルの断面図。
【図７】図５のノズルの一例を示す底面図。
【符号の説明】
２００ マスク ２０２ 開口 ２０４ 放射状翼 ２０６ 中央板 ２０８ ノズル内腔 ２１０ 放射状支持板 ２１２ ピン ２１４ ノズル入口 ２１６ ノズル出口 ２１８ 起伏 ３００ ノズル内腔 ３０２ ノズルプレート ３０４ 入口面 ３０６ 出口面 ３０８ ノズル出口 ３１０ 中央起伏 ３１２ 支持板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−222970（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B41J 2/04 - 2/062 B41J 2/135

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ノズル本体；ノズル本体を通って伸びる
    ノズル内腔、及び内腔の中の構造物を含み、該構造物
    が、先端がノズル出口より後退して位置する先細り形状
    の起伏を軸に垂直な方向の断面の中央位置に軸方向に含
    むインクジェットプリンター用ノズル。
  2. 【請求項２】 該起伏の先端が、実質的にノズル出口の
    直径の２倍以下の距離だけインク滴射出の軸線方向にノ
    ズル出口から後退して位置する請求項１記載のノズル。
  3. 【請求項３】 該起伏の先端が、実質的にノズル出口の
    直径以下の距離だけインク滴射出の軸方向にノズル出口
    から後退して位置する請求項２記載のノズル。
  4. 【請求項４】 該構造物がさらにノズル内腔内の該起伏
    から放射状に外向きに伸びる支持体を含み、該支持体が
    インク滴射出の軸方向に起伏から全体に、後退して位置
    する請求項１〜３のいずれか１項記載のノズル。
  5. 【請求項５】 該支持体が１又はそれ以上の放射状に伸
    びる支持板からなる請求項４記載のノズル。
  6. 【請求項６】 該構造物がノズル入口を分離した入口部
    分に分割し、それぞれの入口部分の合計面積がノズル出
    口の面積より大きい請求項５記載のノズル。
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Families Citing this family (59)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3211525B2 (ja) * 1993-04-22 2001-09-25 オムロン株式会社 薄材メッシュ、その製造方法及びその製造装置
US5378137A (en) * 1993-05-10 1995-01-03 Hewlett-Packard Company Mask design for forming tapered inkjet nozzles
GB9311428D0 (en) * 1993-06-03 1993-07-21 Zed Instr Ltd Laser engraving apparatus
US5585017A (en) * 1993-09-13 1996-12-17 James; William A. Defocused laser drilling process for forming a support member of a fabric forming device
GB9400036D0 (en) * 1994-01-04 1994-03-02 Xaar Ltd Manufacture of ink jet printheads
JP3239661B2 (ja) * 1994-12-27 2001-12-17 キヤノン株式会社 ノズルプレートの製造方法及び照明光学系
JP3082652B2 (ja) * 1994-12-27 2000-08-28 キヤノン株式会社 照明装置及びそれを用いたデバイスの製造方法
GB9601049D0 (en) * 1996-01-18 1996-03-20 Xaar Ltd Methods of and apparatus for forming nozzles
JPH09267494A (ja) * 1996-01-31 1997-10-14 Sony Corp プリンタ装置及びその製造方法
JP3689490B2 (ja) * 1996-06-07 2005-08-31 キヤノン株式会社 ノズル部材の製造方法及びそれを用いた加工装置
JP3292058B2 (ja) * 1996-10-01 2002-06-17 三菱電機株式会社 レーザ光による配線基板の加工方法及びその装置
GB9622177D0 (en) 1996-10-24 1996-12-18 Xaar Ltd Passivation of ink jet print heads
JP3094933B2 (ja) * 1997-01-17 2000-10-03 キヤノン株式会社 光加工機及びそれを用いたオリフィスプレートの製造方法
US6158843A (en) * 1997-03-28 2000-12-12 Lexmark International, Inc. Ink jet printer nozzle plates with ink filtering projections
JP3530744B2 (ja) * 1997-07-04 2004-05-24 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッドの製造方法
AU8869298A (en) 1997-08-22 1999-03-16 Xaar Technology Limited Method of manufacture of printing apparatus
JP3880242B2 (ja) * 1998-05-20 2007-02-14 キヤノン株式会社 スルーホールの形成方法
US20020062563A1 (en) * 1998-06-29 2002-05-30 Jun Koide Method for processing discharge port of ink jet head, and method for manufacturing ink jet head
FR2781707B1 (fr) * 1998-07-30 2000-09-08 Snecma Procede d'usinage par laser excimere de trous ou de formes a profil variable
GB9823833D0 (en) 1998-10-31 1998-12-23 Xaar Technology Ltd Droplet ejection apparatus
JP4658324B2 (ja) 1998-11-14 2011-03-23 ザール テクノロジー リミテッド 小滴付着装置
US6120976A (en) * 1998-11-20 2000-09-19 3M Innovative Properties Company Laser ablated feature formation method
US6261742B1 (en) * 1999-02-01 2001-07-17 Hewlett-Packard Company Method for manufacturing a printhead with re-entrant nozzles
EP1065058A3 (en) * 1999-06-30 2003-04-09 Canon Kabushiki Kaisha Method for manufacturing ink jet recording head, ink jet recording head manufactured by such method, and laser working method
KR100795212B1 (ko) 1999-08-14 2008-01-16 자아 테크날러쥐 리미티드 미세방울 침전 장치
JP2001322281A (ja) * 2000-05-16 2001-11-20 Konica Corp インクジェットヘッドの製造方法
US6491376B2 (en) 2001-02-22 2002-12-10 Eastman Kodak Company Continuous ink jet printhead with thin membrane nozzle plate
EP1295647A1 (en) * 2001-09-24 2003-03-26 The Technology Partnership Public Limited Company Nozzles in perforate membranes and their manufacture
US6627844B2 (en) * 2001-11-30 2003-09-30 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method of laser milling
CN100358724C (zh) 2002-01-16 2008-01-02 Xaar技术有限公司 微滴沉积装置
KR100438714B1 (ko) * 2002-02-08 2004-07-05 삼성전자주식회사 잉크젯 프린트헤드의 제조방법
US7275812B2 (en) * 2003-01-29 2007-10-02 Fujifilm Corporation Ink jet head and recording apparatus using the same
US20050206679A1 (en) * 2003-07-03 2005-09-22 Rio Rivas Fluid ejection assembly
US8251471B2 (en) * 2003-08-18 2012-08-28 Fujifilm Dimatix, Inc. Individual jet voltage trimming circuitry
US20050223986A1 (en) * 2004-04-12 2005-10-13 Choi Soo Y Gas diffusion shower head design for large area plasma enhanced chemical vapor deposition
US7484836B2 (en) * 2004-09-20 2009-02-03 Fujifilm Dimatix, Inc. System and methods for fluid drop ejection
US7637592B2 (en) 2006-05-26 2009-12-29 Fujifilm Dimatix, Inc. System and methods for fluid drop ejection
US7907298B2 (en) * 2004-10-15 2011-03-15 Fujifilm Dimatix, Inc. Data pump for printing
US8068245B2 (en) * 2004-10-15 2011-11-29 Fujifilm Dimatix, Inc. Printing device communication protocol
US7911625B2 (en) * 2004-10-15 2011-03-22 Fujifilm Dimatrix, Inc. Printing system software architecture
US8085428B2 (en) 2004-10-15 2011-12-27 Fujifilm Dimatix, Inc. Print systems and techniques
US7722147B2 (en) * 2004-10-15 2010-05-25 Fujifilm Dimatix, Inc. Printing system architecture
US8199342B2 (en) * 2004-10-29 2012-06-12 Fujifilm Dimatix, Inc. Tailoring image data packets to properties of print heads
US7234788B2 (en) * 2004-11-03 2007-06-26 Dimatix, Inc. Individual voltage trimming with waveforms
US7556327B2 (en) * 2004-11-05 2009-07-07 Fujifilm Dimatix, Inc. Charge leakage prevention for inkjet printing
JP4362629B2 (ja) * 2005-01-31 2009-11-11 独立行政法人産業技術総合研究所 一括転写型インクジェット用ノズルプレートの製造方法
JP4770413B2 (ja) * 2005-03-04 2011-09-14 リコープリンティングシステムズ株式会社 インクジェット式記録ヘッド
TWI290485B (en) * 2005-12-30 2007-12-01 Ind Tech Res Inst Spraying device
CN101791904A (zh) * 2006-04-28 2010-08-04 富士胶卷迪马蒂克斯股份有限公司 柔性电路
JP4407686B2 (ja) * 2006-10-16 2010-02-03 セイコーエプソン株式会社 液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法、および液滴吐出装置
TWI338592B (en) * 2008-03-25 2011-03-11 Ind Tech Res Inst Nozzle plate of a spray apparatus and fabrication method thereof
US8083333B2 (en) * 2008-11-17 2011-12-27 Xerox Corporation Ink umbilical interface to a printhead in a printer
US7959277B2 (en) * 2008-11-18 2011-06-14 Xerox Corporation Air filter for use with a liquid ink umbilical interface in a printer
WO2013182393A1 (en) * 2012-06-08 2013-12-12 Oce-Technologies B.V. Droplet ejection device
JP2015214036A (ja) * 2014-05-08 2015-12-03 株式会社日立産機システム インクジェット記録装置
US10357848B2 (en) 2015-01-19 2019-07-23 General Electric Company Laser machining systems and methods
US11384432B2 (en) 2015-04-22 2022-07-12 Applied Materials, Inc. Atomic layer deposition chamber with funnel-shaped gas dispersion channel and gas distribution plate
JP6797133B2 (ja) * 2015-05-11 2020-12-09 ウエスチングハウス・エレクトリック・カンパニー・エルエルシー レーザーピーニングに使用できる送出装置および関連する方法
CN107187205B (zh) * 2017-06-08 2019-09-24 翁焕榕 喷嘴板及其制备方法及喷墨打印机

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3946398A (en) * 1970-06-29 1976-03-23 Silonics, Inc. Method and apparatus for recording with writing fluids and drop projection means therefor
DE3006726C2 (de) * 1980-02-22 1982-03-11 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Tintenschreibeinrichtung
JPS5794482A (en) * 1980-12-05 1982-06-11 Hitachi Ltd Pattern forming device by laser
DE3048259A1 (de) * 1980-12-20 1982-07-29 Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg "duese fuer tintenstrahldrucker"
AU5195686A (en) * 1984-10-16 1986-05-02 Advanced Laser Systems Inc. Laser drilling apparatus and method
US5189437A (en) * 1987-09-19 1993-02-23 Xaar Limited Manufacture of nozzles for ink jet printers
GB8722085D0 (en) * 1987-09-19 1987-10-28 Cambridge Consultants Ink jet nozzle manufacture
GB2227965B (en) * 1988-10-12 1993-02-10 Rolls Royce Plc Apparatus for drilling a shaped hole in a workpiece
EP0602021A2 (en) * 1988-10-31 1994-06-15 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet head and manufacturing method thereof, discharge opening plate for head and manufacturing method thereof, and ink jet apparatus with ink jet head
US5208604A (en) * 1988-10-31 1993-05-04 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet head and manufacturing method thereof, and ink jet apparatus with ink jet head
US5006900A (en) * 1989-07-03 1991-04-09 Eastman Kodak Company Transfer apparatus having vacuum holes and method of making such apparatus
JP2657957B2 (ja) * 1990-04-27 1997-09-30 キヤノン株式会社 投影装置及び光照射方法
JP2797684B2 (ja) * 1990-10-04 1998-09-17 ブラザー工業株式会社 ノズルの製造方法および製造装置
US5389954A (en) * 1990-11-21 1995-02-14 Canon Kabushiki Kaisha Laser process apparatus for forming holes in a workpiece
GB2262253A (en) * 1991-12-02 1993-06-16 British Aerospace Laser drilling of reverse tapered holes
JPH05228669A (ja) * 1991-12-27 1993-09-07 Polymer Processing Res Inst 光線による穴開きウェブの製法および装置
US5208980A (en) * 1991-12-31 1993-05-11 Compag Computer Corporation Method of forming tapered orifice arrays in fully assembled ink jet printheads

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