JP2001322281A - インクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェットヘッドの製造方法Info
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- JP2001322281A JP2001322281A JP2000142812A JP2000142812A JP2001322281A JP 2001322281 A JP2001322281 A JP 2001322281A JP 2000142812 A JP2000142812 A JP 2000142812A JP 2000142812 A JP2000142812 A JP 2000142812A JP 2001322281 A JP2001322281 A JP 2001322281A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】同時に複数のノズルを効率、かつ精度よく加工
することが可能である。 【解決手段】レーザー光を用いて、ノズルプレート２０
にノズルを同時に複数個加工するインクジェットヘッド
の製造方法であり、１枚のノズルプレート２０にノズル
の加工がなされるノズル数の総数を、必要なノズル数≦
総加工ノズル数の加工条件を満たすように加工する。
することが可能である。 【解決手段】レーザー光を用いて、ノズルプレート２０
にノズルを同時に複数個加工するインクジェットヘッド
の製造方法であり、１枚のノズルプレート２０にノズル
の加工がなされるノズル数の総数を、必要なノズル数≦
総加工ノズル数の加工条件を満たすように加工する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、レーザー光を用
いて、ノズルプレートにノズルを同時に複数個加工する
インクジェットヘッドの製造方法に関する。
いて、ノズルプレートにノズルを同時に複数個加工する
インクジェットヘッドの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、普通紙に特別の定着処理を必要
とせずに記録が可能ないわゆるインクジェット記録法
は、極めて有用な記録方法であり、このようなインクジ
ェット記録方法に用いられるインクジェットヘッドのノ
ズルを加工する際には、例えば、エキシマレーザーのよ
うな紫外光を発振することのできるレーザー光が用いら
れつつある。
とせずに記録が可能ないわゆるインクジェット記録法
は、極めて有用な記録方法であり、このようなインクジ
ェット記録方法に用いられるインクジェットヘッドのノ
ズルを加工する際には、例えば、エキシマレーザーのよ
うな紫外光を発振することのできるレーザー光が用いら
れつつある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ノズルプレ
ートのノズル加工をより効率的に行うために、例えばエ
キシマレーザーを利用しノズル加工を同時に複数孔行う
ことが考えられる。１インクジェットヘッド分のノズル
加工が全て１回の加工でできることが最も望ましいが、
インクジェットヘッドのノズルの高密度化や総吐出チャ
ネル数の増大で何回かに分けて加工を行う必要がある。
ートのノズル加工をより効率的に行うために、例えばエ
キシマレーザーを利用しノズル加工を同時に複数孔行う
ことが考えられる。１インクジェットヘッド分のノズル
加工が全て１回の加工でできることが最も望ましいが、
インクジェットヘッドのノズルの高密度化や総吐出チャ
ネル数の増大で何回かに分けて加工を行う必要がある。
【０００４】しかしながら、同時に複数のノズルを加工
する場合、ノズルの精度のばらつきを許容範囲内に納め
ることが重要で、許容範囲内にあるノズル数が加工日に
よって異なる（ばらつく）ことがある。
する場合、ノズルの精度のばらつきを許容範囲内に納め
ることが重要で、許容範囲内にあるノズル数が加工日に
よって異なる（ばらつく）ことがある。
【０００５】そのために、同時加工のノズル数を決めて
しまうには、安全を見込んで、加工機能力よりもかなり
低い値で同時加工のノズル数を決めていた。
しまうには、安全を見込んで、加工機能力よりもかなり
低い値で同時加工のノズル数を決めていた。
【０００６】この発明は、かかる実情に鑑みてなされた
もので、その目的を、同時に複数のノズルを効率、かつ
精度よく加工することが可能なインクジェットヘッドの
製造方法を提供することである。
もので、その目的を、同時に複数のノズルを効率、かつ
精度よく加工することが可能なインクジェットヘッドの
製造方法を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決し、かつ
目的を達成するために、本発明は、以下のように構成し
た。
目的を達成するために、本発明は、以下のように構成し
た。
【０００８】請求項１に記載の発明は、『レーザー光を
用いて、ノズルプレートにノズルを同時に複数個加工す
るインクジェットヘッドの製造方法であり、１枚のノズ
ルプレートにノズルの加工がなされるノズル数の総数
を、必要なノズル数≦総加工ノズル数の加工条件を満た
すように加工することを特徴とするインクジェットヘッ
ドの製造方法。』である。
用いて、ノズルプレートにノズルを同時に複数個加工す
るインクジェットヘッドの製造方法であり、１枚のノズ
ルプレートにノズルの加工がなされるノズル数の総数
を、必要なノズル数≦総加工ノズル数の加工条件を満た
すように加工することを特徴とするインクジェットヘッ
ドの製造方法。』である。
【０００９】請求項１に記載の発明によれば、レーザー
光を用いて、ノズルプレートにノズルを同時に効率、か
つ精度よく複数個加工することができる。
光を用いて、ノズルプレートにノズルを同時に効率、か
つ精度よく複数個加工することができる。
【００１０】請求項２に記載の発明は、『一度に加工を
行なう最適加工数を特定基準で判定した後、前記加工条
件を満たすように加工することを特徴とする請求項１に
記載のインクジェットヘッドの製造方法。』である。
行なう最適加工数を特定基準で判定した後、前記加工条
件を満たすように加工することを特徴とする請求項１に
記載のインクジェットヘッドの製造方法。』である。
【００１１】請求項２に記載の発明によれば、一度に加
工を行なう最適加工数を特定基準で判定した後、加工条
件を満たすように加工し、例えばノズル側のノズル径と
コーン角度のそれぞれのばらつき範囲以内で、ノズルプ
レートにノズルを同時により効率、かつ精度よく複数個
加工することができる。
工を行なう最適加工数を特定基準で判定した後、加工条
件を満たすように加工し、例えばノズル側のノズル径と
コーン角度のそれぞれのばらつき範囲以内で、ノズルプ
レートにノズルを同時により効率、かつ精度よく複数個
加工することができる。
【００１２】請求項３に記載の発明は、『前記特定基準
は、インク吐出口径ばらつきがレンジで１０％以内、計
算上のコーン角度ばらつきが１０％以内であることを特
徴とする請求項２に記載のインクジェットヘッドの製造
方法。』である。
は、インク吐出口径ばらつきがレンジで１０％以内、計
算上のコーン角度ばらつきが１０％以内であることを特
徴とする請求項２に記載のインクジェットヘッドの製造
方法。』である。
【００１３】請求項３に記載の発明によれば、特定基準
は、インク吐出口径ばらつきがレンジで１０％以内、計
算上のコーン角度ばらつきが１０％以内であり、ノズル
径が小さくなるほど相対的にばらつきが大きくなって吐
出インク滴体積のばらつきも大きくなるが、そのような
中で安定して高品質のノズルプレートを作ることができ
る。
は、インク吐出口径ばらつきがレンジで１０％以内、計
算上のコーン角度ばらつきが１０％以内であり、ノズル
径が小さくなるほど相対的にばらつきが大きくなって吐
出インク滴体積のばらつきも大きくなるが、そのような
中で安定して高品質のノズルプレートを作ることができ
る。
【００１４】請求項４に記載の発明は、『前記ノズル数
の総数は、前記加工条件で、かつ同時に加工を行うノズ
ル数の倍数であることを特徴とする請求項１乃至請求項
３のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造
方法。』である。
の総数は、前記加工条件で、かつ同時に加工を行うノズ
ル数の倍数であることを特徴とする請求項１乃至請求項
３のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造
方法。』である。
【００１５】請求項４に記載の発明によれば、ノズル数
の総数は、加工条件で、かつ同時に加工を行うノズル数
の倍数であり、サイクル駆動の場合に効率的にノズルを
加工することができる。総加工ノズル数は、その時々の
加工条件により異なる場合があるが、同時に加工を行な
うノズル数の倍数とすることで、効率的にノズルプレー
トを作ることができる。
の総数は、加工条件で、かつ同時に加工を行うノズル数
の倍数であり、サイクル駆動の場合に効率的にノズルを
加工することができる。総加工ノズル数は、その時々の
加工条件により異なる場合があるが、同時に加工を行な
うノズル数の倍数とすることで、効率的にノズルプレー
トを作ることができる。
【００１６】請求項５に記載の発明は、『１回の加工ノ
ズル数が３の倍数であることを特徴とする請求項１乃至
請求項４のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド
の製造方法。』である。
ズル数が３の倍数であることを特徴とする請求項１乃至
請求項４のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド
の製造方法。』である。
【００１７】請求項５に記載の発明によれば、１回の加
工ノズル数が３の倍数であり、３サイクル駆動の場合、
ノズルプレートにスタッガード構造が３孔単位で取られ
ているので効率的である。
工ノズル数が３の倍数であり、３サイクル駆動の場合、
ノズルプレートにスタッガード構造が３孔単位で取られ
ているので効率的である。
【００１８】請求項６に記載の発明は、『ノズルが直線
に１列に並ぶ構成のインクジェットヘッドであり、必要
なノズル数よりもノズルプレートに加工されるノズル数
が多くなる場合、余ったノズルを片側だけにダミーノズ
ルとして残すことを特徴とする請求項１乃至請求項５の
いずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方
法。』である。
に１列に並ぶ構成のインクジェットヘッドであり、必要
なノズル数よりもノズルプレートに加工されるノズル数
が多くなる場合、余ったノズルを片側だけにダミーノズ
ルとして残すことを特徴とする請求項１乃至請求項５の
いずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方
法。』である。
【００１９】請求項６に記載の発明によれば、ノズルが
直線に１列に並ぶ構成のインクジェットヘッドで、必要
なノズル数よりもノズルプレートに加工されるノズル数
が多くなる場合、余ったノズルを片側だけにダミーノズ
ルとして残し、ノズルを片側にのみ余らせることで、ノ
ズルプレートの貼付位置がわかりやすく、ミスを減らす
ことができる。
直線に１列に並ぶ構成のインクジェットヘッドで、必要
なノズル数よりもノズルプレートに加工されるノズル数
が多くなる場合、余ったノズルを片側だけにダミーノズ
ルとして残し、ノズルを片側にのみ余らせることで、ノ
ズルプレートの貼付位置がわかりやすく、ミスを減らす
ことができる。
【００２０】請求項７に記載の発明は、『ノズルが直線
上に２列並ぶ構成のインクジェットヘッドであり、必要
なノズル数よりもノズルプレートに加工されるノズル数
が多くなる場合、１列について余ったノズルを片側だけ
にダミーノズルとして残し、もう１列については反対側
の片側だけにダミーノズルとして残すことを特徴とする
請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載のインクジ
ェットヘッドの製造方法。』である。
上に２列並ぶ構成のインクジェットヘッドであり、必要
なノズル数よりもノズルプレートに加工されるノズル数
が多くなる場合、１列について余ったノズルを片側だけ
にダミーノズルとして残し、もう１列については反対側
の片側だけにダミーノズルとして残すことを特徴とする
請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載のインクジ
ェットヘッドの製造方法。』である。
【００２１】請求項７に記載の発明によれば、ノズルが
直線上に２列並ぶ構成のインクジェットヘッドで、必要
なノズル数よりもノズルプレートに加工されるノズル数
が多くなる場合、１列について余ったノズルを片側だけ
にダミーノズルとして残し、もう１列については反対側
の片側だけにダミーノズルとして残すことで、ノズルプ
レートの貼付位置がわかりやすく、ミスを減らすことが
できる。
直線上に２列並ぶ構成のインクジェットヘッドで、必要
なノズル数よりもノズルプレートに加工されるノズル数
が多くなる場合、１列について余ったノズルを片側だけ
にダミーノズルとして残し、もう１列については反対側
の片側だけにダミーノズルとして残すことで、ノズルプ
レートの貼付位置がわかりやすく、ミスを減らすことが
できる。
【００２２】請求項８に記載の発明は、『ノズルが直線
上に２列以上並ぶ構成のインクジェットヘッドであり、
１枚のノズルプレートのノズルの加工形態がノズル面上
で点対称な形状の位置に加工されることを特徴とする請
求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載のインクジェ
ットヘッドの製造方法。』である。
上に２列以上並ぶ構成のインクジェットヘッドであり、
１枚のノズルプレートのノズルの加工形態がノズル面上
で点対称な形状の位置に加工されることを特徴とする請
求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載のインクジェ
ットヘッドの製造方法。』である。
【００２３】請求項８に記載の発明によれば、ノズルが
直線上に２列以上並ぶ構成のインクジェットヘッドで、
１枚のノズルプレートのノズルの加工形態がノズル面上
で点対称な形状の位置に加工され、点対称構造はノズル
プレートの左右をなくし、ノズルプレートの貼付間違い
をなくすことができる。
直線上に２列以上並ぶ構成のインクジェットヘッドで、
１枚のノズルプレートのノズルの加工形態がノズル面上
で点対称な形状の位置に加工され、点対称構造はノズル
プレートの左右をなくし、ノズルプレートの貼付間違い
をなくすことができる。
【００２４】請求項９に記載の発明は、『前記ノズルプ
レートのノズル総数が２００孔以上で、かつノズル径が
３０μｍ以下であることを特徴とする請求項１乃至請求
項８のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製
造方法。』である。
レートのノズル総数が２００孔以上で、かつノズル径が
３０μｍ以下であることを特徴とする請求項１乃至請求
項８のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製
造方法。』である。
【００２５】請求項９に記載の発明によれば、ノズルプ
レートのノズル総数が２００孔以上で、かつノズル径が
３０μｍ以下であり、ノズル総数が多いほど多孔加工の
効果が大きい。
レートのノズル総数が２００孔以上で、かつノズル径が
３０μｍ以下であり、ノズル総数が多いほど多孔加工の
効果が大きい。
【００２６】
【発明の実施の形態】以下、この発明のインクジェット
ヘッドの製造方法の実施の形態を図面に基づいて説明す
るが、この発明はこの実施の形態に限定されない。
ヘッドの製造方法の実施の形態を図面に基づいて説明す
るが、この発明はこの実施の形態に限定されない。
【００２７】図１はノズルプレートにレーザー光を照射
しノズルを形成する加工装置の概略構成図、図２はノズ
ルプレートのノズルを示す図である。
しノズルを形成する加工装置の概略構成図、図２はノズ
ルプレートのノズルを示す図である。
【００２８】この実施の形態の加工装置１は、レーザー
光を発振するレーザー発振装置２が備えられ、レーザー
光としてはエキシマレーザー光が用いられる。
光を発振するレーザー発振装置２が備えられ、レーザー
光としてはエキシマレーザー光が用いられる。
【００２９】レーザー発振装置２から発振されたレーザ
ービーム３は、レンズ４、ノズルのパターンのすべて、
あるいは一部を有するマスク５、レンズ６を介してノズ
ルプレート７に照射し、図２に示すようにノズル８を形
成する。
ービーム３は、レンズ４、ノズルのパターンのすべて、
あるいは一部を有するマスク５、レンズ６を介してノズ
ルプレート７に照射し、図２に示すようにノズル８を形
成する。
【００３０】図３はインクジェットヘッドの概略構成を
示す図である。インクジェットヘッド１０は、インク入
口路１１ａが形成されている天板１１と、インク室１２
が形成され吐出エネルギー発生手段の電極を有する基板
１３、樹脂フィルムよりなるノズルプレート７から構成
されている。ノズルプレート７は、図１及び図２で示す
加工装置で形成されたものが貼付けて設けられる。
示す図である。インクジェットヘッド１０は、インク入
口路１１ａが形成されている天板１１と、インク室１２
が形成され吐出エネルギー発生手段の電極を有する基板
１３、樹脂フィルムよりなるノズルプレート７から構成
されている。ノズルプレート７は、図１及び図２で示す
加工装置で形成されたものが貼付けて設けられる。
【００３１】次に、インクジェットヘッドの製造につい
て、図４乃至図７に基づいて説明する。
て、図４乃至図７に基づいて説明する。
【００３２】図１及び図２に示すようにインクジェット
ヘッドのノズルは、エキシマレーザー光を利用した加工
が行なわれるが、このノズル加工を同時に複数個行う。
ヘッドのノズルは、エキシマレーザー光を利用した加工
が行なわれるが、このノズル加工を同時に複数個行う。
【００３３】このノズル加工は、一度に加工を行う最適
加工ノズル数を特定基準で判定した後、１枚のノズルプ
レートに加工がなされるノズル数の総数を、必要なノズ
ル数≦総加工ノズル数の加工条件を満たしつつ、同時に
加工を行うノズル数の倍数である。
加工ノズル数を特定基準で判定した後、１枚のノズルプ
レートに加工がなされるノズル数の総数を、必要なノズ
ル数≦総加工ノズル数の加工条件を満たしつつ、同時に
加工を行うノズル数の倍数である。
【００３４】このように、ノズル数の総数は、加工条件
で、かつ同時に加工を行うノズル数の倍数であり、サイ
クル駆動の場合に効率的にノズルを加工することができ
る。
で、かつ同時に加工を行うノズル数の倍数であり、サイ
クル駆動の場合に効率的にノズルを加工することができ
る。
【００３５】判定基準は、インク射出口径ばらつきがレ
ンジで１０％以内、計算上のコーン角度ばらつきが１０
％以内であり、ノズル径が小さくなるほど相対的にばら
つきが大きくなって吐出インク滴体積のばらつきも大き
くなるが、そのような中で安定して高品質のノズルプレ
ートを作ることができる。
ンジで１０％以内、計算上のコーン角度ばらつきが１０
％以内であり、ノズル径が小さくなるほど相対的にばら
つきが大きくなって吐出インク滴体積のばらつきも大き
くなるが、そのような中で安定して高品質のノズルプレ
ートを作ることができる。
【００３６】計算上のコーン角度の算出方法は、式
（１）から求めることができる。
（１）から求めることができる。
【００３７】図２において、 コーン角度：θ ノズルプレート厚さ：ｔ ノズルプレート出口径：ａ 貼り付け面側ノズル径：ｂ とすると、 でコーン角度を算出することができる。
【００３８】また、一度に加工を行なう最適加工数を特
定基準で判定した後、加工条件を満たすように加工し、
例えばノズル側のノズル径とコーン角度のそれぞれのば
らつき範囲以内で、ズルプレートにノズルを同時により
効率、かつ精度よく複数個加工することができる。
定基準で判定した後、加工条件を満たすように加工し、
例えばノズル側のノズル径とコーン角度のそれぞれのば
らつき範囲以内で、ズルプレートにノズルを同時により
効率、かつ精度よく複数個加工することができる。
【００３９】ノズルプレート７のノズル総数が２００孔
以上でかつノズル径が３０μｍ以下であり、ノズル総数
が多いほど多孔加工の効果が大きい。
以上でかつノズル径が３０μｍ以下であり、ノズル総数
が多いほど多孔加工の効果が大きい。
【００４０】図４の実施例では、１枚のノズルプレート
２０に、同時加工ノズル数（ｎ１）４、総加工ノズル数
（ｎｔ）１６、ｎｔ／ｎ１＝整数の加工条件でノズル２
０ａを加工した。
２０に、同時加工ノズル数（ｎ１）４、総加工ノズル数
（ｎｔ）１６、ｎｔ／ｎ１＝整数の加工条件でノズル２
０ａを加工した。
【００４１】図５の実施例では、ノズルが直線に１列並
ぶ構成のインクジェットヘッドにおいて、必要なノズル
数よりもノズルプレート２１に加工されるノズル数が多
くなる場合、余ったノズルを片側だけにダミーノズルと
して残した。この実施例では、使用ノズル２１ａを黒色
とし、ダミーノズル２１ｂを白色として示した。
ぶ構成のインクジェットヘッドにおいて、必要なノズル
数よりもノズルプレート２１に加工されるノズル数が多
くなる場合、余ったノズルを片側だけにダミーノズルと
して残した。この実施例では、使用ノズル２１ａを黒色
とし、ダミーノズル２１ｂを白色として示した。
【００４２】このように、余ったノズルを片側だけにダ
ミーノズルとして残し、ノズルを片側にのみ余らせるこ
とで、ノズルプレート２１の貼付位置がわかりやすく、
ミスを減らすことができる。
ミーノズルとして残し、ノズルを片側にのみ余らせるこ
とで、ノズルプレート２１の貼付位置がわかりやすく、
ミスを減らすことができる。
【００４３】図６の実施例では、ノズルが直線上に２列
並ぶ構成のインクジェットヘッドにおいて、必要なノズ
ル数よりもノズルプレート２２に加工されるノズル数が
多くなる場合、１列について余ったノズルを片側だけに
ダミーノズルとして残し、もう１列については反対側の
片側だけにダミーノズルとして残した。この実施例で
は、使用ノズル２２ａを黒色とし、ダミーノズル２２ｂ
を白色として示した。
並ぶ構成のインクジェットヘッドにおいて、必要なノズ
ル数よりもノズルプレート２２に加工されるノズル数が
多くなる場合、１列について余ったノズルを片側だけに
ダミーノズルとして残し、もう１列については反対側の
片側だけにダミーノズルとして残した。この実施例で
は、使用ノズル２２ａを黒色とし、ダミーノズル２２ｂ
を白色として示した。
【００４４】このように、１列について余ったノズルを
片側だけにダミーノズルとして残し、もう１列について
は反対側の片側だけにダミーノズルとして残すことで、
ノズルプレート２２の貼付位置がわかりやすく、ミスを
減らすことができる。
片側だけにダミーノズルとして残し、もう１列について
は反対側の片側だけにダミーノズルとして残すことで、
ノズルプレート２２の貼付位置がわかりやすく、ミスを
減らすことができる。
【００４５】また、この実施例では、ノズルが直線上に
２列以上並ぶ構成のインクジェットヘッドにおいて、１
枚のノズルプレート２２のノズルの加工形態がノズル面
上で点対称な形状を持つものである。
２列以上並ぶ構成のインクジェットヘッドにおいて、１
枚のノズルプレート２２のノズルの加工形態がノズル面
上で点対称な形状を持つものである。
【００４６】このように、１枚のノズルプレート２２の
ノズルの加工形態が、ノズル面上で点対称な形状の位置
に加工され、この点対称構造はノズルプレート２２の左
右をなくし、ノズルプレート２２の貼付間違いをなくす
ことができる。
ノズルの加工形態が、ノズル面上で点対称な形状の位置
に加工され、この点対称構造はノズルプレート２２の左
右をなくし、ノズルプレート２２の貼付間違いをなくす
ことができる。
【００４７】図７の実施例では、１枚のノズルプレート
２３のノズル数の総数は、図１に示した加工条件で、か
つ同時に加工を行うノズル数の倍数である。この実施例
では、１回の加工ノズル数が３の倍数であり、１回の加
工ノズル数が３の倍数であり、３サイクル駆動の場合、
ノズルプレート２３にノズル２３ａを設けるスタッガー
ド構造が３孔単位で取られているので効率的である。
２３のノズル数の総数は、図１に示した加工条件で、か
つ同時に加工を行うノズル数の倍数である。この実施例
では、１回の加工ノズル数が３の倍数であり、１回の加
工ノズル数が３の倍数であり、３サイクル駆動の場合、
ノズルプレート２３にノズル２３ａを設けるスタッガー
ド構造が３孔単位で取られているので効率的である。
【００４８】
【発明の効果】前記したように、請求項１に記載の発明
では、レーザー光を用いて、ノズルプレートにノズルを
同時に効率、かつ精度よく複数個加工することができ
る。
では、レーザー光を用いて、ノズルプレートにノズルを
同時に効率、かつ精度よく複数個加工することができ
る。
【００４９】請求項２に記載の発明では、一度に加工を
行なう最適加工数を特定基準で判定した後、加工条件を
満たすように加工し、例えばノズル側のノズル径とコー
ン角度のそれぞれのばらつき範囲以内で、ズルプレート
にノズルを同時により効率、かつ精度よく複数個加工す
ることができる。
行なう最適加工数を特定基準で判定した後、加工条件を
満たすように加工し、例えばノズル側のノズル径とコー
ン角度のそれぞれのばらつき範囲以内で、ズルプレート
にノズルを同時により効率、かつ精度よく複数個加工す
ることができる。
【００５０】請求項３に記載の発明では、特定基準は、
インク吐出口径ばらつきがレンジで１０％以内、計算上
のコーン角度ばらつきが１０％以内であり、ノズル径が
小さくなるほど相対的にばらつきが大きくなって吐出イ
ンク滴体積のばらつきも大きくなるが、そのような中で
安定して高品質のノズルプレートを作ることができる。
インク吐出口径ばらつきがレンジで１０％以内、計算上
のコーン角度ばらつきが１０％以内であり、ノズル径が
小さくなるほど相対的にばらつきが大きくなって吐出イ
ンク滴体積のばらつきも大きくなるが、そのような中で
安定して高品質のノズルプレートを作ることができる。
【００５１】請求項４に記載の発明では、ノズル数の総
数は、加工条件で、かつ同時に加工を行うノズル数の倍
数であり、サイクル駆動の場合に効率的にノズルを加工
することができる。総加工ノズル数は、その時々の加工
条件により異なる場合があるが、同時に加工を行なうノ
ズル数の倍数とすることで、効率的にノズルプレートを
作ることができる。
数は、加工条件で、かつ同時に加工を行うノズル数の倍
数であり、サイクル駆動の場合に効率的にノズルを加工
することができる。総加工ノズル数は、その時々の加工
条件により異なる場合があるが、同時に加工を行なうノ
ズル数の倍数とすることで、効率的にノズルプレートを
作ることができる。
【００５２】請求項５に記載の発明では、１回の加工ノ
ズル数が３の倍数であり、３サイクル駆動の場合、ノズ
ルプレートにスタッガード構造が３孔単位で取られてい
るので効率的である。
ズル数が３の倍数であり、３サイクル駆動の場合、ノズ
ルプレートにスタッガード構造が３孔単位で取られてい
るので効率的である。
【００５３】請求項６に記載の発明では、ノズルが直線
に１列に並ぶ構成のインクジェットヘッドで、必要なノ
ズル数よりもノズルプレートに加工されるノズル数が多
くなる場合、余ったノズルを片側だけにダミーノズルと
して残し、ノズルを片側にのみ余らせることで、ノズル
プレートの貼付位置がわかりやすく、ミスを減らすこと
ができる。
に１列に並ぶ構成のインクジェットヘッドで、必要なノ
ズル数よりもノズルプレートに加工されるノズル数が多
くなる場合、余ったノズルを片側だけにダミーノズルと
して残し、ノズルを片側にのみ余らせることで、ノズル
プレートの貼付位置がわかりやすく、ミスを減らすこと
ができる。
【００５４】請求項７に記載の発明では、ノズルが直線
上に２列並ぶ構成のインクジェットヘッドで、必要なノ
ズル数よりもノズルプレートに加工されるノズル数が多
くなる場合、１列について余ったノズルを片側だけにダ
ミーノズルとして残し、もう１列については反対側の片
側だけにダミーノズルとして残すことで、ノズルプレー
トの貼付位置がわかりやすく、ミスを減らすことができ
る。
上に２列並ぶ構成のインクジェットヘッドで、必要なノ
ズル数よりもノズルプレートに加工されるノズル数が多
くなる場合、１列について余ったノズルを片側だけにダ
ミーノズルとして残し、もう１列については反対側の片
側だけにダミーノズルとして残すことで、ノズルプレー
トの貼付位置がわかりやすく、ミスを減らすことができ
る。
【００５５】請求項８に記載の発明では、ノズルが直線
上に２列以上並ぶ構成のインクジェットヘッドで、１枚
のノズルプレートのノズルの加工形態がノズル面上で点
対称な形状の位置に加工され、点対称構造はノズルプレ
ートの左右をなくし、ノズルプレートの貼付間違いをな
くすことができる。
上に２列以上並ぶ構成のインクジェットヘッドで、１枚
のノズルプレートのノズルの加工形態がノズル面上で点
対称な形状の位置に加工され、点対称構造はノズルプレ
ートの左右をなくし、ノズルプレートの貼付間違いをな
くすことができる。
【００５６】請求項９に記載の発明では、ノズルプレー
トのノズル総数が２００孔以上で、かつノズル径が３０
μｍ以下であり、ノズル総数が多いほど多孔加工の効果
が大きい。
トのノズル総数が２００孔以上で、かつノズル径が３０
μｍ以下であり、ノズル総数が多いほど多孔加工の効果
が大きい。
【図１】ノズルプレートにレーザー光を照射しノズルを
形成する加工装置の概略構成図である。
形成する加工装置の概略構成図である。
【図２】ノズルプレートのノズルを示す図である。
【図３】インクジェットヘッドの概略構成を示す図であ
る。
る。
【図４】１枚のノズルプレートに同時の加工条件でノズ
ルを加工する実施例を示す図である。
ルを加工する実施例を示す図である。
【図５】ノズルが直線に１列並ぶ構成のインクジェット
ヘッドのノズルを加工する実施例を示す図である。
ヘッドのノズルを加工する実施例を示す図である。
【図６】ノズルが直線上に２列並ぶ構成のインクジェッ
トヘッドのノズルを加工する実施例を示す図である。
トヘッドのノズルを加工する実施例を示す図である。
【図７】１回の加工ノズル数が３の倍数である実施例を
示す図である。
示す図である。
１ 加工装置 ２ レーザー発振装置 ３ レーザービーム ７ ノズルプレート １０ インクジェットヘッド ２１，２２，２３ ノズルプレート ２１ａ，２２ａ 使用ノズル ２１ｂ，２２ｂ ダミーノズル ２３ａ ノズル
Claims (9)
- 【請求項１】レーザー光を用いて、ノズルプレートにノ
ズルを同時に複数個加工するインクジェットヘッドの製
造方法であり、 １枚のノズルプレートにノズルの加工がなされるノズル
数の総数を、必要なノズル数≦総加工ノズル数の加工条
件を満たすように加工することを特徴とするインクジェ
ットヘッドの製造方法。 - 【請求項２】一度に加工を行なう最適加工数を特定基準
で判定した後、前記加工条件を満たすように加工するこ
とを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド
の製造方法。 - 【請求項３】前記特定基準は、インク吐出口径ばらつき
がレンジで１０％以内、計算上のコーン角度ばらつきが
１０％以内であることを特徴とする請求項２に記載のイ
ンクジェットヘッドの製造方法。 - 【請求項４】前記ノズル数の総数は、前記加工条件で、
かつ同時に加工を行うノズル数の倍数であることを特徴
とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載のイ
ンクジェットヘッドの製造方法。 - 【請求項５】１回の加工ノズル数が３の倍数であること
を特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記
載のインクジェットヘッドの製造方法。 - 【請求項６】ノズルが直線に１列に並ぶ構成のインクジ
ェットヘッドであり、 必要なノズル数よりもノズルプレートに加工されるノズ
ル数が多くなる場合、余ったノズルを片側だけにダミー
ノズルとして残すことを特徴とする請求項１乃至請求項
５のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造
方法。 - 【請求項７】ノズルが直線上に２列並ぶ構成のインクジ
ェットヘッドであり、 必要なノズル数よりもノズルプレートに加工されるノズ
ル数が多くなる場合、１列について余ったノズルを片側
だけにダミーノズルとして残し、もう１列については反
対側の片側だけにダミーノズルとして残すことを特徴と
する請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載のイン
クジェットヘッドの製造方法。 - 【請求項８】ノズルが直線上に２列以上並ぶ構成のイン
クジェットヘッドであり、 １枚のノズルプレートのノズルの加工形態がノズル面上
で点対称な形状の位置に加工されることを特徴とする請
求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載のインクジェ
ットヘッドの製造方法。 - 【請求項９】前記ノズルプレートのノズル総数が２００
孔以上で、かつノズル径が３０μｍ以下であることを特
徴とする請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載の
インクジェットヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000142812A JP2001322281A (ja) | 2000-05-16 | 2000-05-16 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000142812A JP2001322281A (ja) | 2000-05-16 | 2000-05-16 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001322281A true JP2001322281A (ja) | 2001-11-20 |
Family
ID=18649715
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000142812A Pending JP2001322281A (ja) | 2000-05-16 | 2000-05-16 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001322281A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7360870B2 (en) | 2004-02-24 | 2008-04-22 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Nozzle plate for high-resolution inkjet print head |
| JP2013082151A (ja) * | 2011-10-12 | 2013-05-09 | Seiren Co Ltd | インクジェット記録装置及びインクジェット記録方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07503422A (ja) * | 1992-02-05 | 1995-04-13 | ザール リミテッド | ノズル及びノズル形成の方法と装置 |
| JPH10291318A (ja) * | 1997-02-18 | 1998-11-04 | Toshiba Corp | プリントヘッドの製造方法及び孔加工装置並びにプリントヘッドの製造方法 |
| JP2000006424A (ja) * | 1998-06-29 | 2000-01-11 | Canon Inc | インクジェットヘッドの吐出口加工方法およびインクジェットヘッドの製造方法 |
-
2000
- 2000-05-16 JP JP2000142812A patent/JP2001322281A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07503422A (ja) * | 1992-02-05 | 1995-04-13 | ザール リミテッド | ノズル及びノズル形成の方法と装置 |
| JPH10291318A (ja) * | 1997-02-18 | 1998-11-04 | Toshiba Corp | プリントヘッドの製造方法及び孔加工装置並びにプリントヘッドの製造方法 |
| JP2000006424A (ja) * | 1998-06-29 | 2000-01-11 | Canon Inc | インクジェットヘッドの吐出口加工方法およびインクジェットヘッドの製造方法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7360870B2 (en) | 2004-02-24 | 2008-04-22 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Nozzle plate for high-resolution inkjet print head |
| JP2013082151A (ja) * | 2011-10-12 | 2013-05-09 | Seiren Co Ltd | インクジェット記録装置及びインクジェット記録方法 |
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