KR100438714B1 - 잉크젯 프린트헤드의 제조방법 - Google Patents

잉크젯 프린트헤드의 제조방법 Download PDF

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Abstract

잉크젯 프린트헤드의 제조방법이 개시된다. 개시된 잉크젯 프린트헤드의 제조방법은, 토출될 잉크가 채워지는 복수의 잉크 챔버를 기판의 표면에 형성하는 단계; 잉크 챔버로 잉크를 공급하는 적어도 하나의 매니폴드를 기판의 배면에 형성하는 단계; 및 잉크 챔버와 매니폴드를 연결하는 잉크 채널을 형성하는 단계;를 포함하며, 상기 잉크 채널은 레이저를 이용한 가공방법에 의하여 매니폴드측의 단면적이 잉크 챔버측의 단면적보다 크게 형성된다. 따라서, 본 발명에 따라 제조된 잉크젯 프린트헤드는 잉크의 토출 특성 및 주파수 특성을 향상시킬 수 있다.

Description

잉크젯 프린트헤드의 제조방법{Method for manufacturing Ink jet printhead}
본 발명은 잉크젯 프린트헤드의 제조방법에 관한 것으로, 특히 레이저를 이용한 가공방법에 의하여 잉크 채널의 구조를 개선함으로써 잉크의 토출 특성 및 주파수 특성이 향상된 잉크젯 프린트헤드를 제조하는 방법에 관한 것이다.
일반적으로 잉크젯 프린트헤드는, 인쇄용 잉크의 미세한 액적(droplet)을 기록용지 상의 원하는 위치에 토출시켜서 소정 색상의 화상으로 인쇄하는 장치이다.
이러한 잉크젯 프린터의 잉크 토출 방식으로는 열원을 이용하여 잉크에 버블(bubble)을 발생시켜 이 힘으로 잉크를 토출시키는 전기-열 변환 방식(electro-thermal transducer, 버블젯 방식)과, 압전체를 이용하여 압전체의 변형으로 인해 생기는 잉크의 체적 변화에 의해 잉크를 토출시키는 전기-기계 변환 방식(electro-mechanical transducer)이 있다.
상기 버블젯 방식의 잉크 토출 메카니즘을 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다. 저항 발열체로 이루어진 히터에 전류를 인가하면, 히터에 인접한 잉크는 대략 300℃로 순간 가열된다. 이때 잉크 내부에 버블이 생성되고, 생성된 버블은 성장하여 그 부피 팽창으로 인해 잉크가 충만된 잉크 챔버 내부에 압력을 가하게 된다. 이로 인해 노즐 부근에 있던 잉크가 노즐을 통해 잉크 챔버 밖으로 토출된다.
한편, 이와 같은 버블젯 방식의 잉크젯 프린트헤드는 다음과 같은 요건들을만족하여야 한다.
첫째, 가능한 한 그 제조가 간단하고 제조비용이 저렴하며, 대량 생산이 가능하여야 한다.
둘째, 선명한 화질을 얻기 위해서는, 토출되는 주 액적(main droplet)에 뒤따르는 주 액적보다 작은 미세한 부 액적(satellite droplet)의 생성이 가능한 한 억제되어야 한다.
셋째, 하나의 노즐에서 잉크를 토출하거나 잉크의 토출후 잉크 챔버로 잉크가 다시 채워질 때, 잉크를 토출하지 않는 인접한 다른 노즐과의 간섭(cross talk)이 가능한 한 억제되어야 한다. 이를 위해서는 잉크 토출시 노즐 반대방향으로 잉크가 역류(back flow)되는 현상을 억제하여야 한다.
넷째, 고속 프린트를 위해서는, 가능한 한 잉크 토출후 리필되는 주기가 짧아야 한다. 즉, 구동주파수가 높아야 한다.
이러한 요건들을 고려하여 볼 때, 잉크젯 프린트헤드의 성능은 결국 잉크 챔버, 잉크 유로 및 히터의 구조, 그에 따른 버블의 생성 및 팽창 형태 또는 각 요소의 상대적인 크기와 밀접한 관련이 있다.
도 1은 종래 잉크젯 프린트헤드들 중에서 하나를 개략적으로 보인 단면도이다.
도면을 참조하면, 실리콘 등으로 된 기판(10)의 상부에는 반구형의 잉크 챔버(15)가 형성되어 있고, 그 하부에는 잉크 챔버(15)로 잉크를 공급하는 매니폴드(16)가 형성되어 있으며, 상기 잉크 챔버(15)의 바닥 중앙에는 잉크챔버(15)와 매니폴드(16)를 연결하는 원통형의 잉크 채널(13)이 형성되어 있다.
기판(10)의 표면에는 잉크 액적(18)이 토출되는 노즐(11)이 형성된 노즐판(20)이 위치하여, 잉크 챔버(15)의 상부벽을 이룬다. 한편, 상기 노즐판(20) 상에는 노즐(11)에 인접하여 이를 감싸는 환상의 히터(12)가 형성되어 있으며, 펄스상 전류를 인가하기 위한 전극(14)이 상기 히터(12)와 연결되어 있다.
상기의 구성에서, 매니폴드(16) 및 잉크 채널(13)을 통해 공급된 잉크가 잉크 챔버(15)에 채워진 상태에서, 전극(14)을 통하여 환상의 히터(12)에 펄스상 전류를 인가하면 히터(12)에서 발생된 열이 히터(12) 아래의 잉크에 전달되고, 이 잉크는 비등하여 버블(B)이 생성된다. 그 후, 히터(12)로부터의 발열이 지속됨에 따라 버블(B)이 팽창하게 되면, 잉크 챔버(15) 내에 채워진 잉크에 압력이 가해져 노즐(11) 부근에 있던 잉크가 노즐(11)을 통해 외부로 잉크 액적(18)의 형태로 토출된다. 그 다음에, 잉크 채널(13)을 통해 잉크가 흡입되면서, 잉크 챔버(15) 내에 잉크가 다시 채워진다.
여기서, 잉크 채널(13)의 직경이 크면 잉크가 리필되는 시간은 다소 빨라지나 잉크의 토출 속도는 느려지게 되며, 반대로 잉크 채널(13)의 직경이 작으면 잉크의 토출 속도는 빨라지나 잉크가 리필되는 시간은 느려져서 주파수 특성이 나빠진다.
따라서, 잉크 채널(13)은 적절한 유로저항을 가짐으로써 잉크 토출시 에너지 손실을 최소화하고, 잉크 토출 후 잉크의 리필을 원활히 할 수 있는 구조로 가공, 제작되어야 한다.
그러나, 상기와 같은 잉크젯 프린트헤드에서는, 잉크 채널(13)이 식각공정에 의하여 형성되기 때문에 잉크 채널(13)의 형상을 전술한 잉크의 토출 및 리필 요건을 동시에 만족하도록 제작하기에는 공정상 어려운 문제점이 있다.
그리고, 상기 잉크 채널(13)은 등방성 식각 공정에 의하여 잉크 챔버(15)와 매니폴드(16)가 형성된 후, 식각공정에 의하여 형성되기 때문에 상기 잉크 채널(13)의 길이 및 직경을 제어하는 것이 공정상 용이하지 않다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 고안된 것으로, 레이저를 이용한 가공방법에 의하여 잉크 채널의 구조를 개선함으로써 잉크의 토출 특성 및 주파수 특성이 향상된 잉크젯 프린트헤드를 제조하는 방법을 제공함에 그 목적이 있다.
도 1은 종래 잉크젯 프린트헤드의 개략적 단면도.
도 2는 본 발명에 따라 제조된 잉크젯 프린트헤드의 평면도.
도 3는 도 2의 Ⅲ-Ⅲ선을 따라 본 잉크젯 프린트헤드의 단면도.
도 4는 레이저 가공에 의하여 도 3의 잉크 채널을 형성하는 과정을 설명하기 위한 도면.
도 5는 본 발명에 따라 제조된 다른 잉크젯 프린트헤드를 도시한 단면도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100... 기판 101... 본딩 패드
102... 매니폴드 103... 잉크 토출부
104... 노즐 105... 잉크 채널
106... 잉크 챔버 108... 히터
112... 전극 114... 노즐판
116... 히터보호층 118... 전극보호층
125... 노즐 가이드 200... 레이저 발생기
210... 광 균질기 220... 마스크 박스
230... 프로젝션 렌즈
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따르면,
토출될 잉크가 채워지는 복수의 잉크 챔버를 기판의 표면에 형성하는 단계; 상기 잉크 챔버로 잉크를 공급하는 적어도 하나의 매니폴드를 상기 기판의 배면에 형성하는 단계; 및 상기 잉크 챔버와 상기 매니폴드를 연결하는 잉크 채널을 형성하는 단계;를 포함하는 잉크젯 프린트헤드의 제조방법에 있어서,
상기 잉크 채널은, 레이저를 이용한 가공방법에 의하여 상기 매니폴드측의 단면적이 상기 잉크 챔버측의 단면적보다 크게 형성된다.
여기서, 상기 잉크 채널은 상기 잉크 챔버의 각각에 대응하여 개별적으로 형성되는 것이 바람직하다.
상기 레이저를 이용한 가공방법은, 레이저 발생기로부터 발생된 레이저 광을 적어도 하나의 마스크를 구비하는 마스크 박스를 통하여 상기 매니폴드가 형성된 상기 기판의 배면에 조사시켜 상기 기판을 상기 매니폴드측으로부터 상기 잉크 챔버측으로 가공하는 방법인 것이 바람직하다.
또한, 상기 레이저를 이용한 가공방법은, 레이저 발생기로부터 발생된 레이저 광의 포커스 스폿 사이즈 및 플루언스 변화를 이용하거나, 레이저 광을 회전시키거나 경사지게 조사하는 장치를 이용하여 상기 기판을 상기 매니폴드측으로부터 상기 잉크 챔버측으로 가공하는 방법일 수 있다.
상기 잉크 채널의 형상은 잉크 챔버 쪽으로 가면서 점차 가늘어지는 테이퍼 형상이거나 적어도 하나의 원통 형상과 적어도 하나의 상기 테이퍼 형상의 조합으로 이루어진 형상이 될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 아래에 예시되는 실시예는 본 발명의 범위를 한정하는 것은 아니며, 본 발명을 이 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 충분히 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 도면에서 동일한 참조부호는 동일한 요소를 지칭하며, 도면 상에서 각 요소의 크기나 두께는 설명의 명료성을 위하여 편의상 과장되어 있을 수 있다. 또한, 한 층이 기판이나 다른 층의 위에 존재한다고 설명될 때, 그 층은 기판이나 다른 층에 직접 접하면서 위에 존재할 수도 있고, 그 사이에 제 3의 층이 존재할 수도 있다.
먼저, 도 2는 본 발명에 따라 제조된 잉크젯 프린트헤드의 개략적인 평면도이다.
도면을 참조하면, 잉크젯 프린트헤드는 점선으로 도시된 잉크 공급을 위한 매니폴드(102) 상에 잉크 토출부(103)들이 2 열로 배치되고, 각 잉크 토출부(103)와 전기적으로 연결되고 와이어가 본딩될 본딩 패드(101)들이 배치되어 있다. 매니폴드(102)는 잉크를 담고 있는 잉크 컨테이너(미도시)와 연결된다. 도면에서는 잉크 토출부(103)들이 2열로 배치되어 있지만, 1열로 배치될 수도 있고, 해상도를 더욱 높이기 위해 3열 이상으로 배치될 수도 있다. 매니폴드(102)는 잉크 토출부(103)의 각 열마다 하나씩 형성될 수도 있다. 또한, 도면에는 한가지 색상의 잉크만을 사용하는 잉크젯 프린트헤드가 도시되어 있지만, 컬러 인쇄를 위해 각 색상별로 3 또는 4군의 잉크 토출부군이 배치될 수도 있다.
도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ선을 따라 본 잉크젯 프린트헤드의 수직구조를 도시한 단면도이다.
도 3을 참조하면, 기판(100)에는, 그 표면쪽에 잉크가 채워지는 복수의 잉크 챔버(106)가 대략 반구형으로 형성되어 있고, 그 배면쪽에는 각 잉크 챔버(106)로 잉크를 공급하는 매니폴드(102)가 형성되어 있다. 상기 기판(100)은 집적회로의 제조에 널리 사용되는 실리콘으로 이루어지는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 잉크 챔버(106)는 노즐에 의하여 노출된 기판(100)을 등방성 식각함으로써 형성하며, 상기 매니폴드(102)는 실리콘 기판(100)의 배면에 식각마스크(미도시)를 형성한 다음 상기 식각마스크에 의해 노출된 실리콘 기판(100)을소정의 깊이로 식각하여 형성한다.
기판(100)의 표면에는 노즐판(114)이 적층되어, 잉크 챔버(106)의 상부벽을 이루며, 상기 노즐판(114)에는 잉크 챔버(106)의 중앙부에 대응하는 위치에 노즐이 형성되어 있다. 노즐판(114)은, 기판(100)이 실리콘으로 이루어진 경우, 실리콘 기판을 산화시켜 형성된 실리콘 산화막으로 이루어질 수 있고, 기판 상에 증착된 실리콘 질화막 등의 절연막으로 이루어질 수도 있다. 한편, 노즐의 가장자리로부터 잉크 챔버(106)쪽으로 노즐가이드(125)가 연장 형성되어 있으며, 이는 버블성장시 액적의 토출 방향을 가이드함으로써 액적이 정확히 기판(100)에 수직한 방향으로 토출되게 한다.
상기 노즐판(114) 위에는 노즐을 둘러싸는 환상의 버블 생성용 히터(108)가 형성되어 있다. 이 히터(108)는 불순물이 도핑된 다결정 실리콘이나 탄탈륨-알루미늄 합금과 같은 저항 발열체로 이루어지고, 히터(108)에는 펄스상 전류를 인가하기 위한 전극(112)이 접속된다. 이 전극(112)은 통상 본딩 패드(도 2의 101) 및 필요한 배선(미도시)와 동일한 물질, 예컨대 알루미늄이나 알루미늄 합금과 같은 금속으로 이루어진다. 한편, 히터(108) 및 전극(112)을 보호하기 위하여 히터(108) 및 전극(112) 위에는 각각 히터보호층(116) 및 전극보호층(118)이 형성되어 있다.
다음으로, 상기 잉크 챔버(106)와 매니폴드(102) 사이에는 잉크 챔버(106)와 매니폴드(102)를 연결하는 잉크 채널(105)이 상기 잉크 챔버(106)의 각각에 대응하여 개별적으로 형성되어 있다. 여기서, 상기 잉크 채널(105)의 형상은 잉크 챔버(106) 쪽으로 가면서 점차 가늘어지는 테이퍼 형상으로서 매니폴드측의 단면적이 잉크 챔버측의 단면적보다 크게 되어 있다. 이는 잉크의 토출시에는 유로저항을 증가시킴으로써 에너지의 손실을 줄이고, 토출이 완료된 후에는 잉크의 리필을 용이하게 한다.
이러한 형상의 잉크 채널(105)을 형성하기 위해서 본 발명에서는 레이저를 이용한 가공방법을 이용하고 있으며, 그 가공과정이 도 4에 도시되어 있다.
도 4를 참조하면, 먼저 레이저 발생기(200)로부터 레이저 광이 발생된다. 여기에서 사용되는 레이저로는 엑시머(Excimer)레이저가 사용되며, 이외에 DPSS(Diode-Pumped Solid State)레이저, FS(Femto-Second)레이저 등과 같은 레이저 MEMS(Micro Electro Mechanical System)에 사용되는 모든 레이저가 사용될 수 있다.
엑시머레이저의 경우, 광 균질기(Beam Homogenizer,210)를 이용하여 상기 레이저 발생기(200)로부터 발생된 레이저 광의 세기(Intensity)를 균일하게 한다.
다음으로, 광 균질기(210)를 통과한 레이저 광은 마스크 박스(220)를 통과한다. 이때, 상기 마스크 박스(220) 내부에는 하나 이상의 다양한 직경을 가진 포토마스크(미도시)가 소정의 형태로 배치되어 있으며, 잉크 채널(105)을 원하는 형상으로 가공하기 위하여 이들을 순차적으로(예를 들면, 직경이 큰 것부터 작은 것으로) 또는 동시에 이용하게 된다.
다음으로, 마스크 박스(220)를 통과한 레이저 광은 프로젝션 렌즈(230)를 거쳐서 매니폴드(102)가 형성된 기판(100)의 배면에 조사된다.
이에 따라, 기판(100)의 배면이 레이저 광에 의하여 매니폴드(102)측으로부터 잉크 챔버(106)측으로 가공되기 시작한다. 여기서, 가공되는 면이 녹아 내리는 것을 최소화하기 위하여 레이저의 펄스를 변화시켜 가공하게 되며, 또한 펄스의 주기를 바꾸거나 펄스의 시간 간격을 조절하는 등의 단속적인 방식을 이용하여 가공의 상태를 좋게 만든다.
이러한 레이저 가공을 이용하게 되면 가공의 각도 조절이 가능하며, 이에 따라 다양한 경사각을 가지는 테이퍼 형상의 잉크 채널(105)을 형성할 수 있게 된다.
한편, 위에 언급한 엑시머레이저 이외의 레이저의 경우에는, 레이저 광의 초점을 맞추기가 용이하므로 상기 마스크를 사용하지 않고 서로 다른 크기의 포커스 스폿 사이즈(focus spot size)와 레이저 광의 플루언스(fluence, 단위면적당 에너지의 양) 변화를 이용하여 잉크 채널을 각기 다른 크기의 홀(hole) 이나 테이퍼 형상으로 가공할 수 있으며, 이외에 레이저 광을 회전시키는 장치나 레이저 광을 경사지게 조사하는 장치 등의 보조장치를 이용하여 잉크 채널을 테이퍼 형상으로 가공할 수도 있다.
상기의 구조에서, 먼저 모세관 현상에 의하여 매니폴드(102)로부터 잉크 채널(105)을 통해 공급된 잉크가 잉크 챔버(106)에 채워진 상태에서, 환상의 히터(108)에 펄스상 전류를 인가하면 히터(108)에서 발생된 열이 아래의 노즐판(114)을 통해 전달되고 히터(108) 아래의 잉크가 비등하여 버블이 생성된다. 이때, 버블의 형상은 대략 도우넛 형상이 된다.
시간이 지남에 따라 버블이 팽창하면, 팽창하는 버블의 압력에 의해서 잉크 챔버(106) 내의 잉크는 노즐을 통하여 토출되며, 이때, 팽창하는 버블은 잉크챔버(106)로 잉크가 유입되는 잉크 채널(105) 쪽으로도 압력을 가하게 된다. 그러나, 잉크 채널(105)이 잉크 챔버(106) 쪽으로는 좁게 형성되어 있으므로 유로저항이 커서 에너지의 손실을 줄일 수 있다.
다음으로 인가했던 전류를 차단하면 냉각이 되면서 버블은 축소되거나, 아니면 그 전에 터뜨려지고, 잉크 챔버(106) 내에는 다시 잉크가 채워진다. 이때, 매니폴드(102)쪽의 잉크 채널(105)은 넓게 형성되어 있으므로 잉크 챔버(106)로 잉크의 리필이 원활하게 이루어진다.
한편, 전술한 레이저 가공에 있어서, 마스크 박스(220) 내부에 배치되는 복수의 포토마스크를 조절하게 되면 상기한 형상 이외에도 다양한 형상(예를 들면, 원통형상과 테이퍼 형상이 조합된 형상, 서로 다른 테이퍼 각을 가지는 테이퍼 형상들의 조합된 형상 등)의 잉크 채널을 형성할 수 있으며, 그 단면의 형태도 원형 이외에 다른 형태로 형성할 수 있다.
이는 레이저를 이용한 가공이 잉크 채널의 형상 변화에 대한 대응성이 좋다는 것을 의미하며, 이에 따라 주파수 특성 뿐만아니라 잉크의 토출시 잉크 채널의 유로저항을 증가시킴으로써 잉크의 토출 특성이 향상된 잉크 채널의 구조를 구현할 수 있다.
도 5는 본 발명에 따라 제조된 다른 잉크젯 프린트헤드의 단면도로서, 잉크 채널(205)이 레이저 가공에 의하여 원통형상과 서로 다른 경사각을 가지는 2개의 테이퍼 형상이 조합된 형상으로 형성된 것을 보여주고 있다.
표 1은 각각 원통형상, 테이퍼 형상(A형), 원통형상과 테이퍼 형상이 조합된형상(B형)의 잉크 채널을 가지는 잉크젯 프린트헤드의 성능을 시뮬레이션(Simulation)을 통하여 비교하여 본 결과이다.
노즐의 직경(㎛) 잉크 채널의형상 잉크 액적의속도(㎧) 잉크 액적의부피(pℓ) 잉크의 리필주기(㎲)
28 원통형 7.98 12.29 60
28 A 형 7.30 11.58 33
28 B 형 7.58 11.87 45
표 1에 나타난 바와 같이, 기존의 원통형상의 잉크 채널을 가지는 경우에 비하여 본 발명에 따라 각각 형성된 테이퍼 형상과, 원통형상 및 테이퍼 형상이 조합된 형상의 잉크 채널을 가지는 경우에 잉크의 리필 주기가 각각 약 50% 및 25% 정도 빨라짐을 알 수 있으며, 이에 따라 고 주파수의 잉크젯 프린트헤드의 구현이 가능하다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따라 제조된 잉크젯 프린트 헤드는 레이저를 이용한 가공방법에 의하여 다양한 형상의 잉크 채널을 형성함으로써 잉크의 토출시 잉크 채널의 유로저항을 증가시켜 토출 성능을 향상시킬 수 있으며, 잉크의 토출이 완료된 후에는 잉크의 리필을 원활하게 하여 주파수 성능을 향상시킬 수 있다. 또한 레이저를 사용함으로써 가공시간을 단축시킬 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.

Claims (7)

  1. 토출될 잉크가 채워지는 복수의 잉크 챔버를 기판의 표면에 형성하는 단계; 상기 잉크 챔버로 잉크를 공급하는 적어도 하나의 매니폴드를 상기 기판의 배면에 형성하는 단계; 및 상기 잉크 챔버와 상기 매니폴드를 연결하는 잉크 채널을 형성하는 단계;를 포함하는 잉크젯 프린트헤드의 제조방법에 있어서,
    상기 잉크 채널은, 레이저를 이용한 가공방법에 의하여 상기 매니폴드측의 단면적이 상기 잉크 챔버측의 단면적보다 크게 형성되며,
    상기 레이저를 이용한 가공방법은, 레이저 발생기로부터 발생된 레이저 광의 포커스 스폿 사이즈 및 플루언스 변화를 이용하여, 상기 기판을 상기 매니폴드측으로부터 상기 잉크 챔버측으로 가공하는 방법인 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트헤드의 제조방법.
  2. 토출될 잉크가 채워지는 복수의 잉크 챔버를 기판의 표면에 형성하는 단계; 상기 잉크 챔버로 잉크를 공급하는 적어도 하나의 매니폴드를 상기 기판의 배면에 형성하는 단계; 및 상기 잉크 챔버와 상기 매니폴드를 연결하는 잉크 채널을 형성하는 단계;를 포함하는 잉크젯 프린트헤드의 제조방법에 있어서,
    상기 잉크 채널은, 레이저를 이용한 가공방법에 의하여 상기 매니폴드측의 단면적이 상기 잉크 챔버측의 단면적보다 크게 형성되며,
    상기 레이저를 이용한 가공방법은, 레이저 발생기로부터 발생된 레이저 광을 회전시키거나 경사지게 조사하는 장치를 이용하여, 상기 기판을 상기 매니폴드측으로부터 상기 잉크 챔버측으로 가공하는 방법인 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트헤드의 제조방법.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 잉크 채널은 상기 잉크 챔버의 각각에 대응하여 개별적으로 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트헤드의 제조방법.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 잉크 채널의 형상은 상기 잉크 챔버 쪽으로 가면서 점차 가늘어지는 테이퍼 형상인 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트헤드의 제조방법.
  7. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 잉크 채널의 형상은 적어도 하나의 원통 형상과 적어도 하나의 상기 테이퍼 형상의 조합으로 이루어진 형상인 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트헤드의 제조방법.
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