JPH11240159A

JPH11240159A - ノズルプレートの製造方法

Info

Publication number: JPH11240159A
Application number: JP10045572A
Authority: JP
Inventors: Kiyokore Ikeda; 潔是池田; Mitsuru Kishimoto; 充岸本; Noboru Oishi; 登大石; Shunichi Shigematsu; 俊一重松
Original assignee: Oki Data Corp
Current assignee: Oki Electric Industry Co Ltd
Priority date: 1998-02-26
Filing date: 1998-02-26
Publication date: 1999-09-07

Abstract

(57)【要約】【課題】インクの吐出不良が生じるのを防止することが
でき、画像品位を向上させることができるようにする。【解決手段】レーザー発振器４１によってレーザー光を
発生させ、前記レーザー発振器４１とワーク４９との間
において、開口部を備えたマスクを移動させ、前記開口
部を通過したレーザー光をワーク４９上に照射してテー
パ面を形成する。ノズルプレートにノズルを形成するに
当たり、ノズルにテーパ面が形成されるので、ノズルか
らインク滴を吐出する際に、インク加圧室内のインクは
前記各テーパ面に沿って良好に流れる。ノズルプレート
の裏面における平坦（たん）部分にエアバブルが溜
（た）まることがなくなる。前記インク加圧室を十分に
加圧することができるので、インクの吐出不良が生じる
のを防止することができ、画像品位を向上させることが
できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ノズルプレートの
製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、インクジェットプリンタにおいて
は、圧電体ブロックを使用したインクジェットヘッドが
配設され、前記圧電体ブロックに溝が形成され、溝の壁
を剪（せん）断モードで変形させることによってインク
を加圧し、ノズルプレートのノズルからインク滴を吐出
させて印刷を行うようにしている。

【０００３】ところで、前記インクジェットヘッドのイ
ンク滴吐出面を有するノズルプレートを製造するために
レーザー加工機が用いられ、該レーザー加工機として
は、熱だれが生じることがなく、しかも、微細な加工を
行うことができることから、前記レーザー光として紫外
線レーザー光を使用するエキシマレーザー加工機が用い
られる。

【０００４】図２は従来のノズルプレートの製造方法を
示す概念図である。図において、１１は紫外線レーザー
光を発生させるレーザー発振器、１３はマスク、１８は
ターンミラー、２２は結像レンズ、２３はテーブル、２
４は該テーブル２３の上にセットされたワークである。
該ワーク２４は、図示されないポリイミド部、及び該ポ
リイミド部の上に形成された接着剤層から成る。

【０００５】前記レーザー発振器１１によって発生させ
られた紫外線レーザー光は、マスク１３に形成された互
いに異なる形状の第１、第２の開口部１５、１６を通過
し、前記ターンミラー１８によって水平方向から垂直方
向に曲げられ、結像レンズ２２を通過してワーク２４を
照射する。このように、前記ワーク２４にレーザー加工
を施すことによって孔開けを行い、前記ノズルが形成さ
れる。

【０００６】そのために、前記紫外線レーザー光は、最
初に第１の開口部１５を通過してワーク２４に照射され
る。このとき、該ワーク２４の所定箇所において、前記
接着剤層を除去することによって図示されない座ぐり部
が形成される。続いて、前記紫外線レーザー光は、第２
の開口部１６を通過して前記座ぐり部の底に照射され
て、該底に図示されない貫通孔が形成される。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来のノズルプレートにおいては、図示されないインク加
圧室側の面、すなわち、裏面には、接着剤層が除去され
ていない部分、座ぐり部の底面等のような平坦（たん）
部分が形成されるが、該平坦部分においては図示されな
いインクの流れが少ないので、図示されないエアバブル
が溜（た）まりやすい。

【０００８】図３は従来のノズルプレートの要部斜視図
である。図において、１１０はノズルプレート、１１１
はポリイミド部、１１２は接着剤層であり、前記ポリイ
ミド部１１１及び接着剤層１１２によってワーク２４が
形成される。また、１１５は前記ノズルプレート１１０
の裏面Ｓ１における所定箇所に形成された座ぐり部、１
１６は該座ぐり部１１５の底面１１５ａからノブルプレ
ート１１０の表面Ｓ２まで延在させて形成される貫通孔
である。

【０００９】前記裏面Ｓ１における接着剤層１１２が除
去されていない部分、前記座ぐり部１１５の底面１１５
ａ等の平坦部分にエアバブルが溜まると、図示されない
インク加圧室を十分に加圧することができなくなるの
で、インクの吐出不良が生じ、画像品位を低下させてし
まう。本発明は、前記従来のノズルプレートの問題点を
解決して、インクの吐出不良が生じるのを防止すること
ができ、画像品位を向上させることができるノズルプレ
ートの製造方法を提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】そのために、本発明のノ
ズルプレートの製造方法においては、レーザー発振器に
よってレーザー光を発生させ、前記レーザー発振器とワ
ークとの間において、開口部を備えたマスクを移動さ
せ、前記開口部を通過したレーザー光をワーク上に照射
してテーパ面を形成する。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しながら詳細に説明する。図４は本発明の
第１の実施の形態におけるインクジェットヘッドの側面
図、図５は本発明の第１の実施の形態におけるインクジ
ェットヘッドの断面図である。図において、１２は矢印
Ｐ方向に分極された圧電体ベース、１４は矢印Ｐ方向に
分極された上部圧電体であり、前記圧電体ベース１２と
上部圧電体１４とが異方性接着材１９を介して接合さ
れ、インク加圧室２４ａ、２４ｂ、…が形成される。な
お、圧電体ベース１２及び上部圧電体１４によって圧電
体ブロックが形成される。

【００１２】また、２５は前記圧電体ベース１２及び上
部圧電体１４の一方の端面に接着されたノズルプレー
ト、２６は封止材である。この場合、前記インク加圧室
２４ａ、２４ｂ、…は、ノズルプレート２５に形成され
たノズル２８ａ、２８ｂ、…、及び前記上部圧電体１４
の端部に形成された共通インク室２９以外の部分におい
て、密封される。

【００１３】なお、３１、３１ａ、３１ｂ、…は前記圧
電体ベース１２側に形成された電極、２０、２０ａ、２
０ｂ、…は前記上部圧電体１４側に形成された電極であ
る。また、３２ａ、３２ｂ、…は前記圧電体ベース１２
側において前記インク加圧室２４ａ、２４ｂ、…を区画
する壁部、３３ａ、３３ｂ、…は前記上部圧電体１４側
において前記インク加圧室２４ａ、２４ｂ、…を区画す
る壁部である。

【００１４】次に、前記構成のインクジェットヘッドに
おいて、図示されない駆動回路によって、電極３１ａに
正の電圧＋Ｖを、電極３１ｂに負の電圧−Ｖをそれぞれ
印加すると、圧電体ベース１２及び上部圧電体１４にそ
れぞれ矢印Ｅ方向に電界が形成され、壁部３２ａ、３３
ａと壁部３２ｂ、３３ｂとが図４の破線で示すような互
いに逆の剪断モードで変形させられ、インク加圧室２４
ａ内の図示されないインクを加圧する。その結果、ノズ
ル２８ａからインク滴が吐出させられて印刷が行われ
る。

【００１５】ところで、前記インクとしては一般に水溶
性のものが使用されるが、水溶性のインクは、油性のイ
ンクに比べて電気抵抗が小さいので、電極３１ａ、３１
ｂ間にリーク電流が流れると、所期の剪断モードで変形
させることができなくなり、前記駆動回路に損傷を与え
てしまうことがある。そこで、前記電極２０、２０ａ、
２０ｂ、…の幅が壁部３３ａ、３３ｂ、…の幅より、前
記電極３１、３１ａ、３１ｂ、…の幅が壁部３２ａ、３
２ｂ、…の幅よりそれぞれ狭くされ、前記インクと各電
極２０、２０ａ、２０ｂ、…、３１、３１ａ、３１ｂ、
…との間が異方性接着材１９によって分離させられる。
該異方性接着材１９は加圧される方向において電気的に
導通し、加圧される方向に対して直角な方向において電
気的に導通しない特性を有するので、インクと各電極２
０、２０ａ、２０ｂ、…、３１、３１ａ、３１ｂ、…と
の間が異方性接着材１９によって絶縁される。

【００１６】次に、前記ノズルプレート２５について説
明する。図６は本発明の第１の実施の形態におけるノズ
ルプレートの要部斜視図である。図において、２５はノ
ズルプレート、２８ａはノズル、６１はポリイミド部、
６２は接着剤層であり、前記ポリイミド部６１及び接着
剤層６２によってワーク４９が形成される。前記ノズル
２８ａは、ノズルプレート２５の裏面Ｓ１１における所
定箇所に形成された座ぐり部６３、及び該座ぐり部６３
の底面６３ａからノズルプレート２５の表面Ｓ１２まで
延在させて形成される貫通孔６４から成る。前記座ぐり
部６３は、台形形状を有する凹部から成り、互いに対向
させて、かつ、裏面Ｓ１１に対して直角の方向に形成さ
れた一対の垂直面Ｓ１３、及び互いに対向させて、か
つ、裏面Ｓ１１に対して傾斜させて形成された一対のテ
ーパ面Ｓ１４を備える。なお、前記接着剤層６２の更に
上に接着材保護層を形成することもできる。

【００１７】次に、該テーパ面Ｓ１４を形成するための
レーザー加工機について説明する。図１は本発明の第１
の実施の形態におけるレーザー加工機の概念図である。
図において、４１は図示されないレーザー光を発生させ
るレーザー発振器、４２はレーザー光を整形するレーザ
ー整形器、４３はマスク装置、４４は誘電体から成る第
１のマスク、４５は該第１のマスク４４と隣接させて配
設された誘電体から成る第２のマスクである。前記第１
のマスク４４と第２のマスク４５とは相対的に移動自在
に配設される。前記第１、第２のマスク４４、４５に代
えて、ベリリウム銅板等の金属製のマスクを使用するこ
ともできる。なお、本実施の形態においては、熱だれが
生じることがなく、しかも、微細な加工を行うことがで
きることから、前記レーザー光として紫外線レーザー光
が使用される。また、本実施の形態においては、第１、
第２のマスク４４、４５は誘電体によって形成されるの
で、第１、第２のマスク４４、４５の各図示されないコ
ート面を互いに対向する側に置くことによって第１、第
２のマスク４４、４５をできる限り近接させて、結像レ
ンズ４７の結像性を確保するようにしている。

【００１８】なお、４６はターンミラー、４８はテーブ
ル、４９は該テーブル４８の上にセットされたワークで
ある。前記構成のレーザー加工機において、前記レーザ
ー発振器４１によって発生させられたレーザー光は、レ
ーザー整形器４２によって整形された後、第１、第２の
マスク４４、４５にそれぞれ形成された図示されない開
口部を通過し、ターンミラー４６によって水平方向から
垂直方向に曲げられ、結像レンズ４７を通過し、ワーク
４９を照射する。このとき、前記第１、第２のマスク４
４、４５によって形成された所定のマスクパターンがワ
ーク４９上に結像される。

【００１９】このように、前記ワーク４９にレーザー加
工を施すことによって孔開けを行い、前記ノズル２８ａ
が形成される。次に、マスク装置４３について説明す
る。図７は本発明の第１の実施の形態におけるマスク装
置の部分構造を示す図である。

【００２０】図において、４４は第１のマスク、５１は
第１のマスクユニット、５２は前記第１のマスク４４を
保持するマスクホルダであり、該マスクホルダ５２は、
マスク台５３の上に形成されたガイドレール５４に沿っ
て走行自在に配設される。そのために、前記マスク台５
３の上にサーボモータ５５、ギヤボックス５６及びエン
コーダ５７が取り付けられ、前記マスクホルダ５２にギ
ヤボックス５６と対向させてラックギヤ５８が形成され
る。

【００２１】そして、前記サーボモータ５５を駆動し、
エンコーダ５７によってサーボモータ５５の回転を読み
取り、フィードバック制御を行うとともに、マスクホル
ダ５２をガイドレール５４に沿って走行させ、第１のマ
スク４４を、所定の速度で移動させ、所定の位置に置く
ことができる。また、前記第１のマスクユニット５１に
隣接させて、図示されない第２のマスクユニットが配設
される。該第２のマスクユニットは、第１のマスクユニ
ット５１と同じ構造を有し、同様に、第２のマスク４５
（図１）を、所定の速度で移動させ、所定の位置に置く
ことができる。

【００２２】次に、第１、第２のマスク４４、４５につ
いて説明する。図８は本発明の第１の実施の形態におけ
る第１のマスクを示す図、図９は本発明の第１の実施の
形態における第２のマスクを示す図である。図におい
て、４４は第１のマスクであり、該第１のマスク４４に
は、座ぐり部６３（図６）を形成するための矩（く）形
の複数の第１の開口部６５、及び貫通孔６４を形成する
ための円形の複数の第２の開口部６６から成る第１のマ
スクパターンが形成される。また、４５は第２のマスク
であり、該第２のマスク４５には、前記座ぐり部６３を
形成するための矩形の複数の第１の開口部６７、及び前
記貫通孔６４を形成するための第２の開口部６８から成
る第２のマスクパターンが形成される。なお、前記第２
の開口部６８は、第２のマスク４５のほぼ半分の領域に
わたって形成される。また、前記第１、第２のマスク４
４、４５を重ねたとき、各第１の開口部６５と各第１の
開口部６７とが重なるように、前記各第１の開口部６
５、６７の位置が設定される。

【００２３】次に、レーザー加工方法について説明す
る。図１０は本発明の第１の実施の形態におけるレーザ
ー加工方法を示す図、図１１は本発明の第１の実施の形
態におけるレーザー加工の開始時の合成マスクパターン
を示す図、図１２は本発明の第１の実施の形態における
レーザー加工の終了時の合成マスクパターンを示す図で
ある。

【００２４】まず、第１の工程において、図１０の
（ａ）に示されるように、ポリイミド部６１の上に接着
剤層６２を形成し、ワーク４９を形成する。次に、第２
の工程において、図１０の（ｂ）に示されるように、前
記ワーク４９上に第１、第２のマスク４４、４５が重ね
られ、第１、第２のマスク４４、４５介してレーザー光
がワーク４９に照射され、レーザー加工が開始される。
このとき、図１１に示されるように、前記第１、第２の
マスク４４、４５は変位量δだけずらされ、合成マスク
パターンが形成される。この場合、前記第１、第２のマ
スク４４、４５がずらされた分だけ各第１の開口部６
５、６７もずらされ、合成マスクパターンに座ぐり部６
３の底面６３ａの寸法と同じ寸法の開口部７１が形成さ
れる。したがって、該開口部７１を通過するレーザー光
によって、ワーク４９のポリイミド部６１及び接着剤層
６２を幅ｗの分だけ削り、底面６３ａを形成することが
できる。なお、このとき、各第２の開口部６６、６８に
よって合成マスクパターンに開口部７２が形成される。

【００２５】続いて、レーザー光の照射を続けたまま、
サーボモータ５５（図７）が駆動され、前記第１の、第
２のマスク４４、４５は変位量δが小さくなる方向に所
定の速度で移動させられ、変位量δが０になると、図１
２に示されるような合成マスクパターンが形成される。
この場合、第１の開口部６５と第１の開口部６７とが一
致して、開口部７１の幅ｗは大きくなり、該開口部７１
の幅ｗと第１の開口部６５及び第１の開口部６７の幅と
が等しくなる。

【００２６】このように、前記サーボモータ５５を駆動
することによって、レーザー発振器４１（図１）とワー
ク４９との間において前記第１のマスク４４及び第２の
マスク４５を移動させ、開口部７１の寸法を一つの方向
において変化させることができる。したがって、前記合
成マスクパターンが図１１に示される状態から図１２に
示される状態に変化する間に、開口部７１を通過するレ
ーザー光によって、ワーク４９のポリイミド部６１及び
接着剤層６２を次第に大きくなる幅ｗの分だけ削り、図
１０の（ｃ）に示されるように、テーパ面Ｓ１４を形成
することができる。

【００２７】ここで、合成マスクパターンが図１１に示
される状態から図１２に示される状態に変化するまでの
走査時間をＴとし、最深加工部の深さ、すなわち、底面
６３ａを形成するのに必要なレーザー光のショット数を
Ｎとし、レーザー光の繰返周波数をＲとすると、走査時
間Ｔは、Ｔ＝Ｎ／Ｒ ……（１）になる。そこで、該走査時間Ｔ及び前記変位量δに基づ
いて第１、第２のマスク４４、４５を移動させる走査速
度ｖｖ＝δ／Ｔ ……（２）を算出することができる。そして、前記サーボモータ５
５を駆動して第１、第２のマスク４４、４５を走査速度
ｖで移動させると、ノズルプレート２５の裏面Ｓ１１に
おける加工深さが０であり、必要な加工深さで底面６３
ａに接続されるテーパ面Ｓ１４を形成することができ
る。

【００２８】この場合、前記走査速度ｖ及び繰返周波数
Ｒが一定にされるので、ワーク４９がレーザー光によっ
て照射される時間が連続的に変化する。したがって、一
定の傾きを有する滑らかなテーパ面Ｓ１４を形成するこ
とができる。なお、前記走査速度ｖで第１、第２のマス
ク４４、４５を移動させ、かつ、式（１）によって算出
される走査時間Ｔより長い走査時間だけレーザー光を照
射すると、裏面Ｓ１１における加工深さを０より大きく
することができる。また、前記走査速度ｖで第１、第２
のマスク４４、４５を移動させ、かつ、式（１）によっ
て算出される走査時間Ｔより短い走査時間だけレーザー
光を照射すると、裏面Ｓ１１の近傍に垂直面を形成する
ことができる。さらに、前記式（２）によって算出され
る走査速度ｖと異なる走査速度で第１、第２のマスク４
４、４５を移動させることによって、テーパ面Ｓ１４の
角度を変更することができる。

【００２９】続いて、第３の工程において、前記第１、
第２のマスク４４、４５が、変位量δを０にしたまま同
時に移動させられ、前記底面６３ａの中央に対応させ
て、開口部７２が形成される。このとき、図１０の
（ｄ）に示されるように、第２の開口部６６が底面６３
ａの中央に対応する位置に置かれる。したがって、開口
部７２を通過するレーザー光によって、ワーク４９のポ
リイミド部６１を削り、貫通孔６４を形成することがで
きる。

【００３０】このように、前記ノズル２８ａにテーパ面
Ｓ１４が形成されるので、ノズル２８ａからインク滴を
吐出する際に、インク加圧室２４ａ（図５）、２４ｂ、
…内の図示されないインクは前記各テーパ面Ｓ１４に沿
って良好に流れる。したがって、ノズルプレート２５の
裏面Ｓ１１（図６）における接着剤層６２が除去されて
いない部分、底面６３ａ等の平坦部分にエアバブルが溜
まることがなくなる。その結果、前記インク加圧室２４
ａ、２４ｂ、…を十分に加圧することができるので、イ
ンクの吐出不良が生じるのを防止することができ、画像
品位を向上させることができる。

【００３１】また、第１、第２のマスク４４、４５を相
対的に移動させるだけでよく、ワーク４９を段階的に移
動させたり、第１、第２のマスク４４、４５を取り替え
たりする必要がない。したがって、ノズルプレート２５
を製造するのに必要な時間を短くすることができるだけ
でなく、作業効率を向上させることができる。次に、本
発明の第２の実施の形態について説明する。なお、第１
の実施の形態と同じ構造を有するものについては、同じ
符号を付与することによってその説明を省略する。

【００３２】図１３は本発明の第２の実施の形態におけ
るノズルプレートの要部斜視図である。図において、２
５はノズルプレート、２８ａはノズル、６１はポリイミ
ド部、６２は接着剤層であり、前記ポリイミド部６１及
び接着剤層６２によってワーク４９が形成される。前記
ノズル２８ａは、ノズルプレート２５の裏面Ｓ１１にお
ける所定箇所に形成された座ぐり部１６３、及び該座ぐ
り部１６３の底面１６３ａからノズルプレート２５の表
面Ｓ１２まで延在させて形成される貫通孔１６４から成
る。前記座ぐり部１６３は、台形形状を有する凹部から
成り、互いに対向させて、かつ、裏面Ｓ１１に対して傾
斜させて形成された二対のテーパ面Ｓ２３、Ｓ２４を備
える。

【００３３】この場合、図８及び９に示される第１、第
２のマスク４４、４５を移動させることによって前記二
対のテーパ面Ｓ２３、Ｓ２４を形成することができる。
次に、レーザー加工方法について説明する。図１４は本
発明の第２の実施の形態におけるレーザー加工の開始時
の合成マスクパターンを示す図、図１５は本発明の第２
の実施の形態におけるレーザー加工の終了時の合成マス
クパターンを示す図である。

【００３４】まず、第１の工程において、図１０の
（ａ）に示されるように、ポリイミド部６１の上に接着
剤層６２を形成し、ワーク４９を形成する。次に、第２
の工程において、前記ワーク４９上に第１、第２のマス
ク４４、４５が重ねられ、第１、第２のマスク４４、４
５介してレーザー光がワーク４９に照射され、レーザー
加工が開始される。このとき、図１４に示されるよう
に、前記第１、第２のマスク、４４、４５は、第１の方
向に変位量δ１だけ、第１の方向に対して直角の第２の
方向に変位量δ２だけずらされ、合成マスクパターンが
形成される。この場合、前記第１、第２のマスク４４、
４５がずらされた分だけ各第１の開口部６５、６７もず
らされ、底面１６３ａ（図１３）の寸法と同じ寸法の合
成マスクパターンに開口部１７１が形成される。

【００３５】したがって、該開口部１７１を通過するレ
ーザー光によって、ワーク４９のポリイミド部６１及び
接着剤層６２を削り、底面１６３ａを形成することがで
きる。なお、このとき、第２の開口部６６及び第２の開
口部６８によって合成マスクパターンに開口部１７２が
形成される。続いて、図１５に示されるように、レーザ
ー光の照射を続けたまま、サーボモータ５５（図７）が
駆動され、前記第１の第２のマスク４４、４５は変位量
δ１、δ２が小さくなる方向に所定の速度で矢印Ａ、Ｂ
方向に移動させられ、変位量δ１、δ２が０になると、
合成マスクパターンが形成される。この場合、第１の開
口部６５と第１の開口部６７とが一致して、開口部１７
１の寸法と第１の開口部６５及び第１の開口部６７の寸
法とが等しくなる。

【００３６】このように、前記サーボモータ５５を駆動
することによって、前記レーザー発振器４１（図１）と
ワーク４９との間において前記第１のマスク４４及び第
２のマスク４５を移動させ、開口部１７１の寸法を二つ
の方向において変化させることができる。前記合成マス
クパターンが図１４に示される状態から図１５に示され
る状態に変化する間に、開口部１７１を通過するレーザ
ー光によって、ワーク４９のポリイミド部６１及び接着
剤層６２を削り、テーパ面Ｓ２３、Ｓ２４を形成するこ
とができる。

【００３７】このように、前記ノズル２８ａに二対のテ
ーパ面Ｓ２３、Ｓ２４が形成されるので、ノズル２８ａ
からインク滴を吐出する際に、インク加圧室２４ａ（図
５）、２４ｂ、…内の図示されないインクは前記各テー
パ面Ｓ２３、Ｓ２４に沿って一層良好に流れる。したが
って、前記インク加圧室２４ａ、２４ｂ、…を十分に加
圧することができるので、インクの吐出不良が生じるの
を防止することができ、画像品位を向上させることがで
きる。

【００３８】ところで、前記各実施の形態においては、
第１、第２のマスク４４、４５を相対的に移動させるこ
とによって合成マスクパターンの開口部７１、７２、１
７１、１７２を形成するようにしている。したがって、
第１、第２のマスク４４、４５を相対的に移動させるた
めの機構が必要になるので、レーザー加工機の構造が複
雑になってしまう。そこで、レーザー加工機の構造を簡
素化することができるようにした第３の実施の形態につ
いて説明する。

【００３９】図１６は本発明の第３の実施の形態におけ
るレーザー加工機の概念図、図１７は本発明の第３の実
施の形態におけるノズルプレートの要部平面図、図１８
は本発明の第３の実施の形態におけるノズルプレートの
要部断面図である。この場合、マスク２４４には、互い
に寸法の異なる矩形の第１〜第３の開口部２７１〜２７
３及び円形の第４の開口部２７４が形成される。

【００４０】まず、レーザー発振器４１によって発生さ
せられたレーザー光は、前記第１の開口部２７１を通過
し、ターンミラー４６によって水平方向から垂直方向に
曲げられ、結像レンズ４７を通過し、ポリイミド部６１
及び接着剤層６２から成るワーク４９を照射する。この
とき、該ワーク４９に第１の加工部２８１が形成され
る。

【００４１】次に、前記レーザー発振器４１とワーク４
９との間において前記マスク２４４が移動させられ、レ
ーザー発振器４１によって発生させられたレーザー光
は、第２の開口部２７２を通過し、ワーク４９を照射す
る。このとき、該ワーク４９に第２の加工部２８２が形
成される。同様に、前記マスク２４４が移動させられ、
レーザー発振器４１によって発生させられたレーザー光
は、第３の開口部２７３を通過し、ワーク４９を照射す
る。このとき、該ワーク４９に第３の加工部２８３が形
成される。したがって、前記第１〜第３の加工部２８１
〜２８３によって座ぐり部２８５が構成される。

【００４２】最後に、前記マスク２４４が移動させら
れ、レーザー発振器４１によって発生させられたレーザ
ー光は、第４の開口部２７４を通過し、ワーク４９を照
射する。このとき、該ワーク４９に第４の加工部２８４
が形成される。そして、該第４の加工部２８４によって
貫通孔が構成される。また、第１〜第４の加工部２８１
〜２８４によってノズル２８ａが構成される。

【００４３】このようにして、前記座ぐり部２８５に階
段状の疑似的なテーパ面Ｓ３１を形成することができる
ので、ノズル２８ａからインク滴を吐出する際に、イン
ク加圧室２４ａ（図５）、２４ｂ、…内の図示されない
インクは前記各テーパ面Ｓ３１に沿って良好に流れる。
したがって、前記インク加圧室２４ａ、２４ｂ、…を十
分に加圧することができるので、インクの吐出不良が生
じるのを防止することができ、画像品位を向上させるこ
とができる。

【００４４】また、マスク２４４を移動させるだけでよ
いので、レーザー加工機の構造を簡素化することができ
る。次に、本発明の第４の実施の形態について説明す
る。図１９は本発明の第４の実施の形態におけるレーザ
ー加工機の概念図、図２０は本発明の第４の実施の形態
におけるノズルプレートの要部平面図、図２１は本発明
の第４の実施の形態におけるノズルプレートの要部断面
図である。

【００４５】この場合、マスク３４４には、矩形の第１
の開口部３７１及び円形の第２の開口部３７２が形成さ
れる。まず、レーザー発振器４１によって発生させられ
たレーザー光は、前記第１の開口部３７１を通過し、タ
ーンミラー４６によって水平方向から垂直方向に曲げら
れ、結像レンズ４７を通過し、ワーク４９を照射する。
このとき、該ワーク４９に加工部３８１ａが形成され
る。次に、レーザー発振器４１とワーク４９との間にお
いてマスク３４４が移動させられ、レーザー発振器４１
によって発生させられたレーザー光は、開口部３７１を
通過し、ワーク４９を照射する。このとき、該ワーク４
９に加工部３８１ｂが形成される。同様に、前記マスク
３４４が移動させられ、レーザー発振器４１によって発
生させられたレーザー光は、開口部３７１を通過し、ワ
ーク４９を照射する。このとき、該ワーク４９に加工部
３８１ｃが形成される。この場合、前記加工部３８１ａ
〜３８１ｃは互いに隣接させて形成され、該加工部３８
１ａ〜３８１ｃによって第１の加工部３８１が構成され
る。

【００４６】同様に、マスク３４４が移動させられて加
工部３８２ａ、３８２ｂが互いに隣接させて形成され、
該加工部３８２ａ、３８２ｂによって第２の加工部３８
２が構成される。そして、更にマスク３４４が移動させ
られて第３の加工部３８３が形成される。したがって、
前記第１〜第３の加工部３８１〜３８３によって座ぐり
部３８５が構成される。

【００４７】最後に、前記マスク３４４が移動させら
れ、第４の加工部３８４が形成される。そして、該第４
の加工部３８４によって貫通孔が構成される。また、第
１〜第４の加工部３８１〜３８４によってノズル２８ａ
が構成される。このようにして、前記座ぐり部３８５に
階段状の疑似的なテーパ面Ｓ３２を形成することができ
るので、ノズル２８ａからインク滴を吐出する際に、イ
ンク加圧室２４ａ（図５）、２４ｂ、…内の図示されな
いインクは前記各テーパ面Ｓ３２に沿って良好に流れ
る。したがって、前記インク加圧室２４ａ、２４ｂ、…
を十分に加圧することができるので、インクの吐出不良
が生じるのを防止することができ、画像品位を向上させ
ることができる。

【００４８】また、マスク３４４を移動させるだけでよ
いので、レーザー加工機の構造を簡素化することができ
る。なお、本発明は前記実施の形態に限定されるもので
はなく、本発明の趣旨に基づいて種々変形させることが
可能であり、それらを本発明の範囲から排除するもので
はない。

【００４９】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、ノズルプレートの製造方法においては、レーザー
発振器によってレーザー光を発生させ、前記レーザー発
振器とワークとの間において、開口部を備えたマスクを
移動させ、前記開口部を通過したレーザー光をワーク上
に照射してテーパ面を形成する。

【００５０】この場合、ノズルプレートにノズルを形成
するに当たり、該ノズルにテーパ面が形成されるので、
ノズルからインク滴を吐出する際に、インク加圧室内の
インクは前記各テーパ面に沿って良好に流れる。したが
って、ノズルプレートの裏面における平坦部分にエアバ
ブルが溜まることがなくなる。その結果、前記インク加
圧室を十分に加圧することができるので、インクの吐出
不良が生じるのを防止することができ、画像品位を向上
させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態におけるレーザー加
工機の概念図である。

【図２】従来のノズルプレートの製造方法を示す概念図
である。

【図３】従来のノズルプレートの要部斜視図である。

【図４】本発明の第１の実施の形態におけるインクジェ
ットヘッドの側面図である。

【図５】本発明の第１の実施の形態におけるインクジェ
ットヘッドの断面図である。

【図６】本発明の第１の実施の形態におけるノズルプレ
ートの要部斜視図である。

【図７】本発明の第１の実施の形態におけるマスク装置
の部分構造を示す図である。

【図８】本発明の第１の実施の形態における第１のマス
クを示す図である。

【図９】本発明の第１の実施の形態における第２のマス
クを示す図である。

【図１０】本発明の第１の実施の形態におけるレーザー
加工方法を示す図である。

【図１１】本発明の第１の実施の形態におけるレーザー
加工の開始時の合成マスクパターンを示す図である。

【図１２】本発明の第１の実施の形態におけるレーザー
加工の終了時の合成マスクパターンを示す図である。

【図１３】本発明の第２の実施の形態におけるノズルプ
レートの要部斜視図である。

【図１４】本発明の第２の実施の形態におけるレーザー
加工の開始時の合成マスクパターンを示す図である。

【図１５】本発明の第２の実施の形態におけるレーザー
加工の終了時の合成マスクパターンを示す図である。

【図１６】本発明の第３の実施の形態におけるレーザー
加工機の概念図である。

【図１７】本発明の第３の実施の形態におけるノズルプ
レートの要部平面図である。

【図１８】本発明の第３の実施の形態におけるノズルプ
レートの要部断面図である。

【図１９】本発明の第４の実施の形態におけるレーザー
加工機の概念図である。

【図２０】本発明の第４の実施の形態におけるノズルプ
レートの要部平面図である。

【図２１】本発明の第４の実施の形態におけるノズルプ
レートの要部断面図である。

【符号の説明】

２５ノズルプレート４１レーザー発振器４４第１のマスク４５第２のマスク４９ワーク６５、６７、２７１、３７１、３８１第１の開口部６６、６８、２７２、３７２、３８２第２の開口部７１、７２、１７１、１７２開口部２４４、３４４マスク２７３、３８３第３の開口部２７４、３８４第４の開口部Ｓ１４、Ｓ２３、Ｓ２４、Ｓ３１、Ｓ３２テーパ面

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者重松俊一東京都港区芝浦四丁目11番地22号株式会社沖データ内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】（ａ）レーザー発振器によってレーザー
光を発生させ、（ｂ）前記レーザー発振器とワークとの
間において、開口部を備えたマスクを移動させ、（ｃ）
前記開口部を通過したレーザー光をワークに照射してテ
ーパ面を形成することを特徴とするノズルプレートの製
造方法。
【請求項２】（ａ）前記マスクは第１、第２のマスク
から成り、（ｂ）前記第１、第２のマスクを相対的に移
動させることによって前記開口部の寸法が変化させられ
る請求項１に記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項３】前記開口部の寸法は一つの方向において
変化させられる請求項２に記載のノズルプレートの製造
方法。
【請求項４】前記開口部の寸法は二つの方向において
変化させられる請求項２に記載のノズルプレートの製造
方法。
【請求項５】（ａ）前記レーザー光は、前記マスクを
移動させるのに伴って、互いに寸法の異なる複数の開口
部を順次通過させられ、（ｂ）前記テーパ面は階段状に
形成される請求項１に記載のノズルプレートの製造方
法。
【請求項６】（ａ）前記レーザー光は、前記マスクを
移動させるのに伴って、ワーク上の異なる箇所に順次照
射され、（ｂ）前記テーパ面は階段状に形成される請求
項１に記載のノズルプレートの製造方法。