JPH09131866A - インクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 各インク室の噴射制御のための電気配線の接
続を容易にすることで、低コストなインクジェットヘッ
ドを製造する。 【解決手段】 分割前の電極に電気配線１５を接続し、
しかる後に接続した位置を参考にしてレーザ加工等によ
って電極上に絶縁部１４を形成させ、各インク室の噴射
制御のための電気配線の接続を独立させる。これによ
り、従来電気配線の接続工程において不可欠であった画
像処理等が不要となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットヘ
ッドの製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、これまでのインパクト方式の記録
装置にとってかわり、その市場を大きく拡大しつつある
ノンインパクト方式の記録装置の中で、原理が最も単純
で、かつ多階調化やカラー化が容易であるものとして、
インクジェット方式の記録装置が挙げられる。インクジ
ェットプリンタは高速印字、低騒音、高印字品質であ
り、且つ比較的簡易な構成で製造コストが低くできるな
どの利点があることから注目されている。

【０００３】インクジェットプリンタに用いられるイン
クジェットヘッドには複数の方式が提案されており、中
でも記録に使用するインク滴のみを噴射するドロップ・
オン・デマンド型が、噴射効率の良さ、ランニングコス
トの安さなどから急速に普及している。

【０００４】その一例としては、圧電式インクジェット
ヘッドが提案されている。これは、圧電体に複数のイン
ク室の溝が形成されており、圧電体に電圧パルスを印加
した際の圧電体の寸法変位によってインク室の容積を変
化させることができる。これにより、その容積減少時に
インク室内のインクをインク室に接続されたノズル部か
ら噴射し、容積増大時にインク室内にインクを導入する
ようにしたものである。そして、所定の位置のインク室
からインクを噴射させることにより、所望する文字や画
像を形成することが出来る。

【０００５】このような圧電式インクジェットヘッドの
１例について、図５乃至図６を用いて説明する。尚、こ
こで説明するヘッドはせん断モード型のものをあげる。

【０００６】前記インクジェットヘッドは、圧電体であ
る圧電セラミックス基板５１に、ダイシング加工等によ
って互いに平行な溝加工がなされ、溝加工された圧電セ
ラミックス基板５１の上部に、インク供給口５５を有す
る上部蓋５６が接合されて、溝が蓋されてインク室５２
が多数形成される。インク室５２は、インク供給口５５
を経て、図示しないインク貯蔵タンクに接続している。
このような構成によって、インク室５２の断面形状は、
圧電側壁５７と上部蓋５６に囲まれた長方形を呈するこ
とになる。インク室５２を構成する圧電側壁５７は分極
方向５８が異なる２個の圧電側壁により形成されてお
り、圧電側壁５７の表面には電極５９が形成されてい
る。また、インク室５２の一方の端には、ノズルプレー
ト５３が接続され、前記ノズルプレート５３にはノズル
５４が形成されている。

【０００７】このような構成を有する従来のインクジェ
ットヘッドは、前記電極５９に電圧パルスを印加する
と、図６（ｂ）に示すように、圧電側壁５７が内側へせ
ん断変形し、インク室５２の内部を正圧として、インク
室５２の一端に接続されたノズルプレート５３上のノズ
ル５４からインク液滴が噴射される。

【０００８】電極５９への電圧パルスの印加を断ち切る
と、圧電側壁５７が、図６（ａ）に示す状態に復帰し、
その際の負圧にてインク室５２にインク供給口５５より
インクが供給される。

【０００９】このような構成のインクジェットヘッドに
おいては、インク室５２が多数存在すると共に、インク
液滴を各々のインク室５２先端のノズル５４から選択的
に噴射する必要がある。このため、各インク室５２の圧
電側壁５７の表面に形成する電極５９は互いに電気的に
独立している必要がある。

【００１０】電極５９を形成するための方法としては、
真空蒸着、スパッタリング、或いはメッキ等の金属薄膜
形成手段を用いるのが一般的である。しかしながら、上
述のような手段によって、電気的に独立な電極を、効率
良く且つ安定的に形成するのは困難である。そこで、一
旦上述のような手段によって、圧電体の全表面に対して
電極を形成し、しかる後に電極の一部を選択的に除去す
ることにより、電気的に不連続な箇所を任意に形成する
方法が考えられている。

【００１１】ここで、このような工程を含んだ従来のイ
ンクジェットヘッドの製造方法として、特開平６−８４
５０号公報に示される方法が知られている。

【００１２】この製造方法によれば、まず、上部蓋５６
が接続する圧電側壁５７の上部の電極５９を、例えば特
開平６−６４１７７号公報に示されるリフトオフ法のよ
うな化学的な除去方法や機械的ま研削や研磨等により除
去する。次に、図７に示されるように、インク室５２で
ある溝の底面に形成された電極５９を、ダイシング加工
等の切削手段で除去する。即ち、インク室５２である溝
の幅以下の厚みであるダイヤモンドブレード６０を溝内
に挿入して、電極５９の厚み以上の深さの切り込みを形
成し、電気的に不連続な絶縁部６１を任意に形成するも
のである。

【００１３】次に、上述のような工程で電気的に独立し
た電極５９に対し、駆動制御パルスを印加する為の独立
した電気配線をそれぞれ接続する必要がある。しかしな
がら、インク室５２の溝を有する面に対して直接に電気
配線を接続させるのは困難である。従って、図８に示す
ように、一旦、溝内の電極５９と導通する導電層を圧電
セラミックス基板５１の別の表面６３及び６４に形成
し、その後、インク室５２の溝を有する面６２の絶縁部
６１及び圧電側壁５７の上端部から、前記表面６３及び
６４に連続する絶縁部６５を形成する。表面６３及び表
面６４に絶縁部６５を形成する方法としては、前述のダ
イシング加工等の切削加工によって電極５９の除去を行
なう。これにより、電気的に独立し且つ溝内の電極５９
に各々つながる電極引出し部６７が分離形成される。

【００１４】しかる後に、圧電セラミックス基板５１の
表面６４に形成された電極引出し部６７に、ドライバよ
りの複数の電気配線６６を各々独立させてハンダ付け等
で接続する。このようにして各インク室５２に形成され
た電極５９に各々独立した電圧パルスを印加することが
でき、所望のインク噴射制御を施すことができる。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のインクジェットヘッドの製造方法においては、下記
のような問題点がある。

【００１６】即ち、上述したような従来の製造方法で
は、圧電セラミックス基板５１の表面６４に形成された
電極引出し部６７に、ドライバからの複数の電気配線６
６を各々独立させてハンダ付け等で接続する際、電極引
出し部６７と電気配線６６を精度良く位置決めして接続
する必要がある。

【００１７】ここで、インク室５２の溝間隔は印字の密
度に関係するため、高品位の印字品質を得るためにイン
ク室５２の溝間隔を狭くするなどの集積化の要求があ
る。インク室５２の溝間隔を狭くすると、これに伴って
電極引出し部６７の間隔も狭くなることは明らかであ
る。そして電極引出し部６７の間隔が狭くなると、複数
の電気配線６６の接続には、さらに高精度が要求され
る。

【００１８】これらの接続の際には、すでに形成されて
いる電極引出し部６７をＣＣＤカメラ等で観察し、その
画像を処理することにより、電気配線６６の接続位置を
補正する方法が一般的である。

【００１９】さらに上述したような従来の製造方法にお
いては、電極引出し部６７を形成する際に、以下の工程
を要する。即ち、図８に示すように、一旦溝内の電極５
９と導通する導電層を圧電セラミックス基板５１の別の
表面６３及び６４に形成し、その後、インク室５２の溝
を有する面６２の絶縁部６１及び圧電側壁５７の上端部
から、前記表面６３及び６４に連続する絶縁部６５を形
成する。表面６３及び表面６４に絶縁部６５を形成する
方法としては、前述のダイシング加工等の切削加工によ
って電極５９の除去を行なう。これにより、電気的に独
立し且つ溝内の電極５９に各々つながる電極引出し部６
７が分離形成される。これらのダイシング加工等におい
ても、画像処理を用いた高精度な位置決めを必要とす
る。

【００２０】従って、上述したような従来の製造方法に
おいては、少なくとも２工程で画像処理を必要とする。
従って、画像処理装置を搭載した加工または組立装置が
複数必要となる。

【００２１】しかしながら、このような画像処理には一
定時間以上を要求される上、画像処理装置なども高価で
ある。

【００２２】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、従来の製造方法で画像処理を必
要とする加工または組立工程を削減することで、画像処
理に要する時間や費用を削減し、低コストなインクジェ
ットヘッドの製造方法を提示することを目的とする。

【００２３】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の請求項１では、インクを噴射する複数の噴射
チャンネル内のインクにエネルギーを発生する複数のエ
ネルギー発生手段と、前記エネルギー発生手段に接続さ
れた複数の電極と、一端を前記電極の各々に接続され、
他端を電気信号を発信する制御手段に接続された複数の
導電性パターンとを有し、前記制御手段からの前記電気
信号を前記導電性パターン及び前記電極を介して前記エ
ネルギー発生手段に送信し、エネルギー発生手段を駆動
して前記噴射チャンネルよりインク滴を吐出するインク
ジェットヘッドの製造方法であって、前記エネルギー発
生手段の全てに導通する導電層を形成する第一工程と、
前記導電層に前記複数の導電性パターンを電気的に接続
する第二工程と、前記導電層の一部を除去して各エネル
ギー発生手段毎に独立した複数の前記電極を形成する第
三工程とからなることによって、前記電極と前記導電層
パターンとの位置合わせが必要なくなる。

【００２４】請求項２のインクジェットヘッドの製造方
法では、前記エネルギー発生手段は、前記噴射チャンネ
ルを構成し、且つ少なくとも一部が分極された圧電材料
よりなる隔壁と、前記各隔壁の側表面に設けられ、且つ
前記圧電材料に駆動電界を発生させるための第二電極と
からなり、前記第一工程で形成される前記導電層は前記
第二電極に電気的に接続されることによって、前記制御
手段からの前記電気信号が前記導電性パターン及び前記
電極を介して前記第二電極に送信され、前記隔壁が変形
して前記噴射チャンネルの容積が変化してインク滴が吐
出される。

【００２５】請求項３のインクジェットヘッドの製造方
法では、前記第三工程における前記導電層の一部の除去
を高エネルギービームにより行なうことによって、高速
で加工される。

【００２６】請求項４のインクジェットヘッドの製造方
法では、ＹＡＧレーザ光により前記導電層の一部が除去
される。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。

【００２８】最初に、図１及び図２を参照して、本発明
のインクジェットヘッドの構成ならびに製造方法の一例
を説明する。

【００２９】図２に示すように、圧電体である圧電セラ
ミックス基板１には、互いに平行なインク室２となる溝
が多数形成されて、溝の側壁であり、且つ各溝を隔てる
圧電側壁７が形成されている。圧電セラミックス基板１
の溝加工側の面（図３では上面）に、インク供給口５を
有する蓋６が接着されて、前記溝がインク室２となる。
そのインク室２の一方の端にノズル４が対応するよう
に、ノズルプレート３が圧電セラミックス基板１及び蓋
６の一端面に接着されている。また、インク室２は、イ
ンク供給口５を経て、図示しないインク貯蔵タンクに接
続されている。

【００３０】このような構成によって、インク室２の断
面形状は、圧電側壁７と上部蓋６に囲まれた長方形を呈
することになる。また、圧電側壁７は分極方向８（図
４）が互いに反対方向である２個の圧電部により構成さ
れており、圧電側壁７の表面には電極９が形成されてい
る。電極９は圧電側壁７の側面毎に独立して設けられて
おり、また、図１に示すように、圧電アクチュエータの
表面１１及び表面１３に亙って設けられた電極引出し部
２５に１対１に電気的に導通している。電極引出し部２
５は表面１３に形成されており、その端部である電気接
続端１６にて、ヘッドの駆動制御信号を送るドライバか
らの電気配線１５が各々接続される。

【００３１】上述の構成は、以下の製造方法によって形
成される。

【００３２】まず、互いに分極方向が反対方向である圧
電層を接着した圧電セラミックス基板１に、互いに平行
なインク室２となる溝を多数形成する。溝を形成する手
段として、所望のインク室溝幅を形成できる厚みを有す
るダイヤモンドブレードを使用し、ダイシング加工を施
す。

【００３３】次に、真空蒸着、スパッタリング、或いは
メッキ等の金属薄膜形成手段によって、圧電セラミック
ス基板１の前記溝が形成された面（含む溝内面）及びイ
ンク室２の一端面にあたる表面１１、前記溝が形成され
た面と反対側にあたる表面１３に金属薄膜による導電層
が形成される。このうち、電極の形成が不要な部分（例
えば、上部蓋６が接続する圧電側壁７の上部や圧電セラ
ミックス基板１の側面部等）においては、金属薄膜を形
成する前にレジスト膜を形成しておき、導電層を前述の
ような手段で形成し、しかる後にリフトオフ法によって
不要な部分の導電層を化学的に除去する。

【００３４】次に、インク室２である溝の底面に形成さ
れた導電層を、従来例と同様にダイシング加工等の切削
手段で除去する。即ち、インク室２である溝の幅以下の
厚みであるダイヤモンドブレードを溝内に挿入して、導
電層の厚み以上の深さの切り込みを形成し、電気的に不
連続な絶縁部１０を形成するものである。この絶縁部１
０により、導電層の一部が圧電側壁７の側面毎に分割さ
れて電極９となる。

【００３５】次に、インク室２である溝の形成された面
と連続する圧電セラミックス基板１の表面１１に、上述
と同様のダイシング加工等によって、前記上部蓋６が接
続する圧電側壁７の上部と連続する、若しくは前記絶縁
部１０と連続する絶縁部１２を形成する。

【００３６】次に、表面１３の導電層に対してＦＰＣな
どの複数の電気配線１５を導電体であるハンダ２７で接
続する。この際、表面１３上の導電層は未加工であり、
電気的に連続している。従って、電気配線１５の接続時
には、接続位置を概ね定めるものの、特に画像処理等を
必要とするような精密な位置決めは必要としない。

【００３７】次に、前記表面１３に対してレーザ光を照
射する。レーザ光は、前述の表面１１に形成された絶縁
部１２と、前記電気配線１５の絶縁部２６とを結ぶ直線
上を走査する。高エネルギービームであるレーザ光によ
り、前記表面１３上に形成された導電層と、前記電気配
線１５を表面１３に対して接続している導電体のハンダ
２７を除去し、絶縁部１４を形成する。この結果、絶縁
部１４は、前述の表面１１に形成された絶縁部１２と、
前記電気配線１５の絶縁部２６の間に連続して形成され
る。

【００３８】尚、このＦＰＣの電気配線１５を介して、
各インク室２に形成された電極９に各々独立した電圧パ
ルスを印加することができ、所望のインク噴射制御を施
すことができる。

【００３９】以下、図３を参照して、上記レーザ加工に
よる電極除去の一例を詳述する。

【００４０】ＹＡＧ（イットリウム・アルミニウム・ガ
ーネット）レーザ発振器１７から出射された、波長１．
０６μｍ（マイクロ・メートル）のＹＡＧレーザ光１８
は、その光路上に配置された２組のスキャニングミラー
１９及び２０に入射した後、方向転換されて、スキャニ
ングミラー２０の下方に配置されたｆ・θレンズ２１に
入射する。ＹＡＧレーザ光１８は、ｆ・θレンズ２１に
よって集光され、ｆ・θレンズ２１から所定の焦点距離
の位置において焦点２２を形成する。

【００４１】スキャニングミラー１９及び２０の一端に
はガルバノメータ２３及びその制御装置２４が接続され
ており、これらの構成によって、２組のスキャニングミ
ラー１９及び２０を互いに独立に高速で揺動することが
できる。

【００４２】上記の構成を有するレーザ加工装置におい
ては、上記２組のスキャニングミラー１９及び２０の揺
動を制御する制御装置２４に、予め所定の設定をしてお
くことで所望の除去パターンを容易に得ることが可能で
あり、この作業は特に煩雑ではない。また、照射位置の
ソフトウエア上での補正も容易である。

【００４３】被加工物である圧電セラミックス基板１
は、ｆ・θレンズ２１の下方に配置されている。ここ
で、上述のＹＡＧレーザ光１８の焦点２２が、加工部位
である圧電セラミックス基板１の表面１３上の近傍に形
成されるように圧電セラミックス基板１は配置される。
本実施例のＹＡＧレーザ光１８の焦点２２においては、
一般にレーザ光のスポット径が０．１ｍｍ以下となり、
高いパワー密度を得ることができる。この高いパワー密
度のＹＡＧレーザ光１８の照射を受けた電極９は、極め
て短時間で加熱され、蒸発に至る。その結果、表面１３
から導電層が局部的に除去され、絶縁部１４が形成され
る。

【００４４】尚、蒸発する導電膜の金属薄膜成分は、蒸
発の際の蒸気圧によって、上方へ飛散する。この金属薄
膜成分は、図示されない集塵機に接続され、加工部近傍
に配置された集塵ノズル２３によって吸引される。

【００４５】上記の加工を、スキャニングミラー１９、
２０の揺動によって、長手方向へ高速に走査しながら、
ＹＡＧレーザ光１８を照射させることにより、１本の絶
縁部１４を形成する導電層除去加工が完了する。その
後、ＹＡＧレーザ光１８と圧電セラミックス基板１との
相対位置を変更して次の絶縁部１４の加工へ移行し、レ
ーザ加工を継続する。

【００４６】以上の加工により、導電層が圧電セラミッ
クス基板１の表面１３より除去され、圧電セラミックス
基板１の表面１３において電気的に不連続な箇所である
絶縁部１４を形成することができる。

【００４７】なお、レーザ加工に際し、ＣＣＤカメラ２
８を用いた画像処理により、前記表面１１の絶縁部１２
の端部の位置と、前記電気配線１５の絶縁部２６の位置
を検出し、この間を直線状に加工するようにレーザ加工
装置を制御する。絶縁部１２の間隔と、前記配線１５の
絶縁部２６の間隔は同一であり、上記画像処理は、１部
品毎に１回実施すればよい。

【００４８】レーザ加工は、前述のダイシング加工等と
比較して加工角度や加工形状に関する制限が極めて少な
く、細密で複雑な形状やパターンを高速に加工すること
が出来る。従って、ＦＰＣ等の電気配線１５の接続位置
のばらつきは、上記画像処理によってソフトウエア上で
補正可能であり、このような加工には好適である。

【００４９】次に、図４に示す圧電式インクジェットヘ
ッドの断面図を用いて、該インクジェットヘッドのイン
ク噴射の動作を説明する。

【００５０】インクジェットヘッドにおいて、与えられ
た印字データに従って、例えばインク室２ｂが選択され
ると、金属電極９ａ，９ｄに正の駆動電圧が印加され、
金属電極９ｂ，９ｃ及びその他のインク室に対応する金
属電極は接地される。これにより圧電側壁７ａには図中
右方向へ向かう駆動電界が、側壁７ｂには図中左方向へ
向かう駆動電界が発生する。このとき各々の駆動電界方
向と圧電セラミックスプレートの分極方向８とが直交し
ているため、側壁７ａ及び７ｂは圧電厚みすべり効果に
よって、圧電セラミックスプレートの接合部で屈曲する
ようにインク室２ｂの内部方向に急速に変形する（図４
（ｂ）参照）。

【００５１】これらの変形によりインク室２ｂの容積が
減少してインク室２ｂのインク圧力が急速に増大し、圧
力波が発生して、インク室２ｂに連通するノズル（図示
しない）からインク液滴が噴射される。

【００５２】また、駆動電圧の印加を停止すると、側壁
７ａ及び７ｂが変形前の位置（図４（ａ）参照）に戻る
ため、インク室２ｂ内のインク圧力が低下し、インク供
給口５からマニホールドを通してインク室２ｂ内にイン
クが供給される。

【００５３】但し、上記の動作は基本動作に過ぎず、製
品として具体化される場合には、まず駆動電圧を容積が
増加する方向に印加し、先にインク室２ｂにインクを供
給させた後に駆動電圧の印加を停止して、側壁７ａ，７
ｂを変形前の位置（図４（ａ）参照）に戻してインク液
滴を噴射させることもある。さらにインク液滴噴射後に
インク室２内の圧力波を減衰させるためにキャンセルパ
ルスと呼ばれる駆動電圧パターンをしかるべき時間の後
に付随させることもある。

【００５４】このような構成のインクジェットヘッドで
は、隣接する２つのインク室２に連通する２つのノズル
から同時にインク液滴を噴射することができないため、
例えば、左端から奇数番目のインク室２ａ，２ｃに連通
するノズルからインク液滴を噴射した後、偶数番目のイ
ンク室２ｂに連通するノズルからインク液滴を噴射し、
次に再び奇数番目からインク液滴を噴射するというよう
に、インク室２及びノズルを２つのグループに分割して
インク液滴の噴射を行う。さらに、インク室２及びノズ
ルを３つ以上のグループに分割してインク液滴の噴射を
行うこともある。

【００５５】このように、本発明を具体化した圧電式イ
ンクジェットヘッド及びその製造方法においては、イン
クジェットヘッドにおける電極９に対し、ドライバから
の電気配線１５の接続を簡便に出来る。特に従来は、こ
の工程において画像処理を用いた精密な位置決めを必要
としていたが、本発明では上述のとおり、電気配線の接
続位置は概ね定まっていればよく、画像処理等は不要で
あり、この工程における画像処理装置が不要になる他、
画像処理に要していた時間も不要となる。

【００５６】以上の結果、安価なインクジェットヘッド
を製造することができるといった、産業上著しい効果を
奏する。

【００５７】尚、本発明は、上述した実施例に限定され
るものでなく、その主旨を逸脱しない範囲に於て種々の
変更を加えることが出来る。

【００５８】例えば、インク室２内の電極９を絶縁部１
０により圧電側壁７の側面毎に分割していたが、駆動方
式を選択すれば必ずしも電極を分割する必要はない。そ
の場合、当然絶縁部１０に連続する絶縁部１２、１４を
形成する必要もない。その一例としては、溝の内の電極
を導通とし、他の溝の電極と非導通としたものが挙げら
れ、各溝の電極を分離する必要がある。

【００５９】また、レーザ加工でなくても、上述のよう
な絶縁部の加工が可能である。従来のダイシング加工に
おいても、圧電セラミックス基板を回転可能なテーブル
上に配置すれば、電気配線１５の接続位置のばらつきに
伴う加工角度の補正にも対応可能である。この場合は、
他の部位の絶縁部形成と同一の加工機を使用することが
できるといった利点がある。

【００６０】逆に、インク室２となる溝内の絶縁部１０
の形成、表面１１の絶縁部１２の形成、更には、上部蓋
６が接続する圧電側壁７の上部の導電層の除去を、レー
ザ加工によって行なってもよい。

【００６１】また、レーザ加工においては、レーザ光等
の高エネルギービームの種類や、光学系等のビーム集束
条件などは、除去加工を施す部位の寸法に応じて、適宜
選択すれば良い。例えば、ＹＡＧレーザの標準波である
波長１．０６μｍ（マイクロ・メートル）のレーザ光以
外にも、ＹＡＧレーザの第２高調波である波長５３２ｎ
ｍ（ナノ・メートル）のＹＡＧレーザ光を用いることも
可能であり、除去する物質の反射率等の波長依存性など
に応じて適宜選択すればよい。

【００６２】また、本実施例のインクジェットヘッドで
は、インク室２が圧電側壁７を挟んで隣接していたが、
各インク室２の両側にインクが供給されない非噴射領域
を設けてもよい。例えば、インク室２の内表面に形成さ
れる電極が両側面で分離されていなくて電気的に接続さ
れており、非噴射領域の内表面に形成される電極のみを
側面毎に分離するようなものでもよい。この場合、イン
ク室２内の電極は常に接地され、非噴射領域の噴射駆動
させるインク室２を構成する圧電側壁７に対応する電極
に駆動パルスを印加するようにする。

【００６３】また、本実施例では、圧電側壁７は、分極
方向が互いに反対方向である２層の圧電層から構成され
ていたが、非圧電層と圧電層とからなる圧電側壁であっ
てもよい。

【００６４】

【発明の効果】以上説明したことから明かなように本発
明のインクジェットヘッドの製造方法によれば、前記エ
ネルギー発生手段の全てに導通する導電層を形成する第
一工程と、前記導電層に前記複数の導電性パターンを電
気的に接続する第二工程と、前記導電層の一部を除去し
て各エネルギー発生手段毎に独立した複数の前記電極を
形成する第三工程とからなるので、前記電極と前記導電
層パターンとの位置合わせが必要なくなって、接続が著
しく容易となり、従来この工程において不可欠であった
画像処理等が不要となる。従って、安価なインクジェッ
トヘッドを製造することができるといった、産業上著し
い効果を奏する。

【００６５】請求項２のインクジェットヘッドの製造方
法によれば、前記エネルギー発生手段は、前記噴射チャ
ンネルを構成し、且つ少なくとも一部が分極された圧電
材料よりなる隔壁と、前記各隔壁の側表面に設けられ、
且つ前記圧電材料に駆動電界を発生させるための第二電
極とからなり、前記第一工程で形成される前記導電層は
前記第二電極に電気的に接続されることによって、前記
制御手段からの前記電気信号を前記導電性パターン及び
前記電極を介して前記第二電極に送信することができ、
所望する隔壁のみを変形して前記噴射チャンネルの容積
を変化させてインク滴を吐出することができる。

【００６６】請求項３のインクジェットヘッドの製造方
法によれば、前記導電層の一部の除去を高エネルギービ
ームにより行なうので、高速で加工することができ、生
産性が向上する。

【００６７】請求項４のインクジェットヘッドの製造方
法によれば、ＹＡＧレーザ光により前記導電層の一部を
除去するので、容易に、且つ高速で加工することがで
き、生産性が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例であるインクジェットヘッド
を示す概略図である。

【図２】前記実施例であるインクジェットヘッドを示す
斜視図である。

【図３】前記実施例のインクジェットヘッドの製造方法
を示す説明図である。

【図４】前記実施例のインクジェットヘッドの動作を示
す断面図である。

【図５】従来のインクジェットヘッドを示す斜視図であ
る。

【図６】従来のインクジェットヘッドの動作示す断面図
である。

【図７】従来のインクジェットヘッドの製造方法を示す
説明図である。

【図８】従来のインクジェットヘッドを示す概略図であ
る。

【符号の説明】

１ 圧電セラミックス基板 ２ インク室 ３ ノズルプレート ７ 圧電側壁 ９ 電極 １２ 絶縁部 １３ 表面 １４ 絶縁部 １５ 電気配線 １８ ＹＡＧレーザ光 ２６ 絶縁部 ２７ ハンダ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 インクを噴射する複数の噴射チャンネル
   内のインクにエネルギーを発生する複数のエネルギー発
   生手段と、前記エネルギー発生手段に接続された複数の
   電極と、一端を前記電極の各々に接続され、他端を電気
   信号を発信する制御手段に接続された複数の導電性パタ
   ーンとを有し、前記制御手段からの前記電気信号を前記
   導電性パターン及び前記電極を介して前記エネルギー発
   生手段に送信し、エネルギー発生手段を駆動して前記噴
   射チャンネルよりインク滴を吐出するインクジェットヘ
   ッドの製造方法であって、 前記エネルギー発生手段の全てに導通する導電層を形成
   する第一工程と、 前記導電層に前記複数の導電性パターンを電気的に接続
   する第二工程と、 前記導電層の一部を除去して各エネルギー発生手段毎に
   独立した複数の前記電極を形成する第三工程とからなる
   ことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
2. 【請求項２】 前記エネルギー発生手段は、前記噴射チ
   ャンネルを構成し、且つ少なくとも一部が分極された圧
   電材料よりなる隔壁と、前記各隔壁の側表面に設けら
   れ、且つ前記圧電材料に駆動電界を発生させるための第
   二電極とからなり、前記第一工程で形成される前記導電
   層は前記第二電極に電気的に接続されることを特徴とす
   る請求項１に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
3. 【請求項３】 前記第三工程における前記導電層の一部
   の除去は、高エネルギービームによって除去されること
   を特徴とする請求項１乃至２のいずれかに記載のインク
   ジェットヘッドの製造方法。
4. 【請求項４】 前記高エネルギービームは、ＹＡＧレー
   ザ光であることを特徴とする請求項３に記載のインクジ
   ェットヘッドの製造方法。