JP2000318161A - 液体噴射記録ヘッドの吐出ノズル加工装置および液体噴射記録ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 吐出口形成プレートの液吐出側からのレーザ
加工により、液吐出側に先細りのテーパ形状で面積が均
一な吐出ノズルを形成することができる液体噴射記録ヘ
ッドの吐出ノズル加工装置、液体噴射記録ヘッドの製造
方法を提供する。 【解決手段】 レーザ発振器１０１から発振されたレー
ザ光を複数方向に出射させて吐出口形状パターンを有す
るフォトマスク１に照射する光束変換光学系１０２〜１
０５とフォトマスク１を通過した進行方向の異なる複数
のレーザ光を吐出口形成プレート２の表面に重ねて結像
するマスク結像光学系１０６とを有する光学系によっ
て、軸対称方向から、各光束の外接によるＮＡが０．１
以上の紫外線レーザ光を吐出口形成プレート２に同時照
射することで吐出ノズルを昇華加工する。加工された吐
出ノズルは、吐出口面積が均一で液吐出方向に先細りな
テーパ形状であり、複数の吐出ノズルを同時に一括加工
することも可能である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、記録液等の液滴を
飛翔させて記録媒体上に液滴を付着させる液体噴射記録
ヘッドにおける吐出ノズルを紫外線レーザにより昇華加
工する吐出ノズル加工装置に関するものであり、さら
に、該吐出ノズル加工装置を用いた液体噴射記録ヘッド
の製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】インク等の記録液の液滴を飛翔させて記
録媒体上に液滴を付着させる液体噴射記録装置（インク
ジェットプリンタ）において、印刷品質は記録液が吐出
する部分であるノズル部分の特性に大きく依存してお
り、この吐出ノズル部分の特性は、ノズル径のばらつき
やノズルの形状によってほぼ決定される。このノズルを
形成する方法としては、大きく２つの方法が用いられて
おり、金属プレートを用いる電鋳法もしくは放電加工法
により形成する方法と、有機高分子樹脂材料をエキシマ
レーザに代表される紫外線レーザ等の高エネルギーレー
ザで昇華（アブレーション）加工する方法が提案されて
いるが、現在では、後者の紫外線レーザ加工方法を用い
て微細加工する方法が一般的となっている。

【０００３】この紫外線レーザ加工方法において、有機
高分子樹脂材料を昇華加工する好適なレーザのエネルギ
ー密度で加工を行なうと、レーザの入射側からレーザの
出射側にかけて加工面積が徐々に減少するいわゆるテー
パ形状の加工特性となる。また、液体噴射記録ヘッドの
印刷品質を上げるために要求されるノズル形状が記録液
の吐出側に先細りのテーパ形状であるため、従来、レー
ザの加工方法としては、記録液の供給側からのレーザ照
射によって行なわれることが必須であり、このことによ
って、第１の問題点は、液供給側からの加工となるため
吐出ノズルの面積がレーザの加工エネルギーの変動また
は空間均一性に依存してしまい、吐出ノズルの面積のば
らつきによって、記録液の吐出量がばらつき、印刷むら
となってしまうことである。また、第２の問題点とし
て、吐出口形成プレートは、吐出ノズルを加工形成した
後に、記録液を供給する部材に結合する工程が取られる
ため、液吐出ノズル長は、印刷品質上、約数１０μｍか
ら約１００μｍの長さが要求され、この吐出口形成プレ
ートの厚みも当然のことながら同様の厚みを有するた
め、吐出口形成プレートは非常に薄く変形しやすい部材
であり、また、吐出口形成プレートに対し液供給側から
レーザ加工しなければならず、さらに、吐出ノズルを加
工形成した後に記録液を供給する部材に結合しなければ
ならないために、結合後、吐出口形成プレートがストレ
ス変形を起こし、同一方向に整列した複数の吐出ノズル
が形成できず、記録液の吐出方向がばらばらになってし
まい、印刷品質を劣化させてしまうという問題点があっ
た。

【０００４】そこで、このような問題を解決するため
に、液体噴射記録ヘッドを組み立てた後に、記録液を吐
出する側から、吐出ノズルを加工する方法が提案されて
いる。

【０００５】その一つは、特表平６−５１０９５８号公
報（コンパック・コンピュータ・コーポレイション）に
提案されている方法で、吐出口形成プレートに対して、
マスクパターンで制限された光ビームを２つの方向から
斜入射させる方法であり、光ビームを斜入射させること
によって光ビームの進行方向に吐出口形成プレートが加
工され、結果的に、吐出口形成プレートが外側より内側
の加工幅の広いテーパ形状が形成される。

【０００６】他の一つは、特公平６−２４８７４号公報
（ザールリミテッド）に提案されている方法で、ノズル
パターンが形成されたマスクプレートを吐出口形成プレ
ートに密着させた形で光ビームを照射し、密着させたマ
スクプレートと吐出口形成プレートに光ビームが斜入射
するように、揺動またはピボット回転運動をさせて、光
ビームの入射方向に加工が進行することによって、吐出
口形成プレートの液吐出側に先細りのテーパ形状のノズ
ルを形成するものである。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た特表平６−５１０９５８号公報に記載された方法にお
いては、２つの方向のみの光ビーム加工のため、光ビー
ムの斜入射方向に対しては、吐出口形成プレートの液吐
出側に先細りのテーパ形状が形成されるが、これと直角
方向では、液吐出側に口広がりのテーパ形状が形成さ
れ、記録液の吐出方向に対して対称なコーン形状のテー
パが形成されないため、液吐出側に口広がりのテーパ形
状の方向では、記録液の吐出流体抵抗となって、液吐出
の周期が遅くなり、高速な印刷ができなくなり、さら
に、口広がりなノズル形状の場合、液吐出時にミストが
発生してしまうという問題点が生じる。

【０００８】さらに、マスクパターンの投影結像系とな
っていないため、吐出ノズルの加工は一つずつ個別に加
工しなければならないため、非常に多くの吐出ノズル配
列を形成しなければならない場合には、加工時間が長く
なり、生産性として非常に不利となるという問題点があ
り、さらに、光ビームのエネルギー強度の振れに対して
敏感にノズルの加工サイズが変化してしまうため、加工
精度の安定性の面で困難という問題点もある。

【０００９】また、前述した特公平６−２４８７４号公
報に記載された方法においては、マスクプレートと吐出
口形成プレートを経時的に光ビームに対して傾ける運動
をさせるため、加工開始状態と加工終了状態によって、
つまり、加工の経時的動作過程によって、液吐出方向軸
に対して対称なテーパ形状を加工することが困難とな
り、結果的に、個々の液体噴射記録ヘッドにおいて、記
録液の吐出が安定して一定均一な方向に飛翔させること
が難しいという問題点がある。

【００１０】そこで、本発明は、上記の従来技術の有す
る未解決の課題に鑑みてなされたものであって、液体噴
射記録ヘッド全体を構成する各部材の内、少なくとも吐
出口形成プレートと該吐出口形成プレートを保持する部
材が結合された後に、吐出口形成プレートの液吐出側か
らのレーザ加工によって、吐出ノズルの面積が均一でか
つ液吐出方向軸に対して対称な形状であって、液吐出側
に全体が先細りのテーパ形状が形成でき、かつ、短時間
で多数の吐出ノズルを一括加工することができる液体噴
射記録ヘッドの吐出ノズル加工装置を提供するととも
に、該吐出ノズル加工装置を用いた液体噴射記録ヘッド
の製造方法を提供することを目的とするものである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の液体噴射記録ヘッドの吐出ノズル加工装置
は、紫外線レーザ光を出力するレーザ発振器と、形成し
ようとする吐出口形状がパターニングされたフォトマス
クと、前記レーザ発振器から発振されたレーザ光を複数
方向に出射させて前記フォトマスクに照射する光束変換
光学系と、前記フォトマスクを通過した進行方向の異な
る複数の光を吐出口形成プレートの表面に重ねて結像す
るマスク結像光学系とを具備した液体噴射記録ヘッドの
吐出ノズル加工装置において、前記光束変換光学系は、
前記レーザ発振器から放射された光束を必要に応じて所
定エネルギー密度の平行光束に変換するビーム整形レン
ズと、平行光束を２つに分割し、該２つの平行光束の間
隔を調整する所定頂角の三角プリズムの対称対と、分割
された２つの平行光束をさらにそれぞれ２つの光束に分
割し、分割した合計４つの平行光束を、前記フォトマス
クに重ねて導光するよう出射方向を変えるピラミッド形
状の面を有するプリズムによって構成され、前記マスク
結像光学系を介して前記フォトマスクのマスクパターン
を投影する光束の吐出口形成プレート側のＮＡ（開口
数）は０．１以上であることを特徴とする。

【００１２】本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法
は、記録液を吐出する吐出ノズルと該吐出ノズルを形成
するための吐出口形成プレートを具備する液体噴射記録
ヘッドの製造方法において、液体噴射記録ヘッド全体を
構成する各部材の内、少なくとも吐出口形成プレートと
該吐出口形成プレートを保持する部材が結合された後
に、紫外線レーザ光を出力するレーザ発振器と、形成し
ようとする吐出口形状がパターニングされたフォトマス
クと、前記レーザ発振器から発振されたレーザ光を複数
方向に出射させて前記フォトマスクに照射するための前
記レーザ発振器から放射された光束を必要に応じて所定
エネルギー密度の平行光束に変換するビーム整形レンズ
と、平行光束を２つに分割し、該２つの平行光束の間隔
を調整する所定頂角の三角プリズムの対称対と、分割さ
れた２つの平行光束をさらにそれぞれ２つの光束に分割
し、分割した合計４つの平行光束を、前記フォトマスク
に重ねて導光するよう出射方向を変えるピラミッド形状
の面を有するプリズムによって構成された光束変換光学
系と、前記フォトマスクを通過した進行方向の異なる複
数の光を吐出口形成プレートの表面に重ねて結像し、前
記フォトマスクのマスクパターンを投影する光束の吐出
口形成プレート側のＮＡ（開口数）が０．１以上である
マスク結像光学系とを具備した液体噴射記録ヘッドの吐
出ノズル加工装置によって、前記吐出口形成プレートの
液吐出面に前記レーザ光を照射して、吐出ノズルを昇華
加工形成することを特徴とする。

【００１３】

【作用】本発明の液体噴射記録ヘッドの吐出ノズル加工
装置を用いて、液体噴射記録ヘッド全体を構成する各部
材の内、少なくとも吐出口形成プレートと該プレートを
保持する部材が結合された後に、吐出口形成プレートの
液吐出側からレーザ光を照射することにより吐出ノズル
を昇華加工形成することによって、その吐出ノズルは、
吐出口面積が均一でかつ液吐出方向軸に対して対称な形
状であって、吐出口形成プレートの液吐出側に全体が先
細りのテーパ形状が形成でき、かつ、短時間で多数配列
される吐出口を一括加工することができる。

【００１４】このように吐出ノズルを加工形成すること
により、吐出口形成プレートの組立て結合による変形に
起因する液吐出方向の非等方向性が解消され、かつ、吐
出口形成プレートの液吐出側に全体が先細りのテーパ形
状が形成できることによって、液滴の吐出方向が一定方
向に安定し、吐出する記録液の飛翔スピードを向上させ
ることができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。

【００１６】図１は、本発明の液体噴射記録ヘッドの吐
出ノズル加工装置の光学系を示す概略図であり、（ａ）
はその光学系の側面図であり、（ｂ）はその光学系の上
面図である。

【００１７】本発明の液体噴射記録ヘッドの吐出ノズル
加工装置は、図１に図示するように、紫外線レーザ光を
出力するレーザ発振器１０１と、形成しようとする吐出
口形状がパターニングされたフォトマスク１と、レーザ
発振器１０１から発振されたレーザ光を複数方向に出射
させてフォトマスク１に照射する光束変換光学系１０２
〜１０５と、フォトマスク１を通過した進行方向の異な
る複数の光を吐出口形成プレート２の表面に重ねて結像
するマスク結像光学系１０６とを具備し、光束変換光学
系１０２〜１０５は、レーザ発振器１０１から放射され
た光束を必要に応じて所定エネルギー密度の平行光束に
変換するビーム整形レンズ１０２と、平行光束を２つに
分割し、該２つの平行光束の間隔を調整する所定頂角の
三角プリズムの対称対１０３，１０４と、分割された２
つの平行光束をさらにそれぞれ２つの光束に分割して合
計４つの平行光束をフォトマスク１に重ねて導光するよ
う出射方向を変えるピラミッド形状の面を有するプリズ
ム１０５によって構成されている。また、フォトマスク
１は、図２に図示するように、石英からなる基盤１１
に、クロム膜１２を蒸着法によって形成し、フォトリソ
グラフィープロセスで吐出口パターンに対応するマスク
パターン１３を形成してある。なお、図１において、２
は吐出ノズルが形成される吐出口形成プレート（以下、
オリフィスプレートともいう。）、３は天板、４は基板
（ベースプレート）であって、これらの部材２，３，４
が液体噴射記録ヘッドを構成し、その詳細は後述する。

【００１８】以上のように構成された吐出ノズル加工装
置において、エキシマレーザ光等の紫外線レーザ光を出
力するレーザ発振器１０１から発振放射された平行レー
ザビームは、ビームコンプレッサ、ビームエキスパンダ
を内蔵するビーム整形レンズ１０２を介して所定断面形
状の平行ビームに変換され、図中Ａの光束となる。平行
ビーム光束Ａは、三角プリズム１０３に導光され、その
頂角部分で偏向され、２つの上下方向に発散する平行光
束Ｂ１，Ｂ２に変換され、そして、三角プリズム１０３
と同一形状で向かい合うよう配置された三角プリズム１
０４に導光され、平行に進行する２つの平行光束Ｃ１，
Ｃ２に変換される。この時、三角プリズム１０３と１０
４の配置間隔によって、２つの平行光束Ｃ１，Ｃ２の間
隔が設定される。次に、光束Ｃ１，Ｃ２はピラミッド形
状の面を有するプリズム１０５に導光され、分割された
２つの平行光束Ｃ１，Ｃ２をさらにそれぞれ２つの光束
に分割し、分割した合計４つの平行光束Ｄ１，Ｄ２，Ｄ
３，Ｄ４を生成し、フォトマスク１上で重なり合うよう
に出射方向を変える。マスクパターン１３が形成された
フォトマスク１に導光されたレーザ光束Ｄ１，Ｄ２，Ｄ
３，Ｄ４はパターン部を通過する。パターン部を通過し
た光束Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３，Ｅ４は、投影レンズ１０６を
介して液体噴射記録ヘッドのオリフィスプレート２の表
面にフォトマスク１に形成されたパターン像を投影結像
する形でレーザ光が照射される。このとき、投影レンズ
１０６は、フォトマスク１のパターン像をオリフィスプ
レート２の表面に縮小投影するものであり、かつフォト
マスク１側とオリフィスプレート２側の両側にレンズ瞳
の中心の主光線が垂直に入射また出射する両側テレセン
トリック特性を有するレンズを用いている。また、オリ
フィスプレート２側のＮＡ（開口数）が０．１以上にな
るように設計されている。

【００１９】以上説明した光学系によって高エネルギー
紫外線レーザ光をオリフィスプレート２に４つの軸対称
方向であってオリフィスプレート２に垂直な方向から、
かつ、各光束の外接によるＮＡが０．１以上で同時照射
することで、高分子有機材料からなるオリフィスプレー
ト２の厚み方向において、各レーザビームの進行方向に
昇華加工されることによって、図３および図４に図示す
るような、液吐出方向（マスクプレート側）に先細りな
テーパ形状を有した複数の吐出ノズル２１が同時に形成
される。

【００２０】こうして加工された吐出ノズル２１の形状
は、回転対称な切断円錐形状となるのではなく、投影レ
ンズ１０６の光軸に対して、４つの軸対称方向からのレ
ーザ照射加工であるため、図４に図示するように、記録
液の吐出側（図中手前側）においては円形状であって、
記録液の供給側（図中奥側）においては４つの円が放射
状に重なった略四角形の形状で、オリフィスプレート２
の厚み方向において、徐々に円形から略四角形に変化す
る形状が形成される。

【００２１】次に、上述のように吐出ノズル加工装置に
より吐出ノズルが加工される液体噴射記録ヘッドについ
て、図３を参照して説明する。

【００２２】図３において、２は吐出ノズル２１が形成
されるオリフィスプレート、３は基板（ベースプレー
ト）４と接合することで液流路３１および共通液室３２
を形成するための凹部を有する天板である。４は基板
（ベースプレート）であり、この基板４上には記録液を
吐出するための電気熱変換素子や電気機械変換素子等の
液吐出圧発生素子４１が設けられている。この液吐出圧
発生素子４１は吐出ノズル２１に連通する液流路３１内
に配されており、個々の液流路３１は共通液室３２に連
通している。この共通液室３２には液供給管（不図示）
が接続され、記録液タンクより液供給管を介して記録液
が供給される。さらに、基板４と天板３との接合体の液
流路端部側には吐出ノズル２１を備えるオリフィスプレ
ート２が設けられている。

【００２３】このような液体噴射記録ヘッドは以下のよ
うに作製することができる。

【００２４】すなわち、まず、液吐出圧発生用の発熱抵
抗素子であるヒータ４１と不図示のシフトレジスタ等の
集積回路、電気配線とをシリコン基板にパターニングし
て基板（ベースプレート）４を作製するとともに、液流
路３１および共通液室３２となる凹部と不図示の液供給
部をシリコンプレートにケミカルエッチングすることに
より形成して天板３を作製する。その後、液吐出側端面
および液流路３１とヒータ４１の配列が一致するように
基板４と天板３とをアライメント接合した後、吐出ノズ
ルが未形成状態のオリフィスプレート２を、接合された
天板３と基板４の液吐出側端面に接着する。この状態で
上述した吐出ノズル加工装置を用いてオリフィスプレー
ト２に吐出ノズル２１を加工形成し、以後、不図示のヒ
ータ駆動用の端子をパターニングした電気基板を結合す
るとともに、放熱用のヒータシンクを結合し、次いで、
各部材を保持するホルダおよび記録液供給のための記録
液タンクを結合することで、液体噴射記録ヘッドを組み
立てることができる。

【００２５】また、液流路３１および共通液室３２とな
る凹部と液供給部が形成される天板３と、吐出ノズルが
未形成状態のオリフィスプレート２とを樹脂の射出成形
により一体に形成した構造体を、ヒータ４１をパターニ
ングした集積回路シリコンチップをマウントした基板４
にアライメント接合した後に、上述した吐出ノズル加工
装置を用いてオリフィスプレート２に吐出ノズル２１を
形成し、以後、不図示のヒータ駆動用の端子をパターニ
ングした電気基板を結合するとともに、放熱用のヒータ
シンクを結合し、次いで、各部材を保持するホルダおよ
び記録液供給のための記録液タンクを結合することで、
液体噴射記録ヘッドを組み立てることもできる。

【００２６】すなわち、本発明における吐出ノズルの加
工は、液体噴射記録ヘッドの構成がいかなるものであっ
ても、吐出ノズルを形成するオリフィスプレートが、こ
れを保持する部材に接合された後の工程で行なうことが
望ましい。このように液体噴射記録ヘッドを製造するこ
とで、オリフィスプレートが、この保持部材と結合され
るときに生じる歪みに伴なって、吐出ノズルの配列が変
形したり、吐出ノズルの向きが不均一方向に変形するこ
とによる記録液の吐出方向位置変動が生じることを防ぐ
ことが可能となる。

【００２７】以上のように製造された液体噴射記録ヘッ
ドにおいては、天板３の不図示の記録液供給部から共通
液室３２に補給される記録液は、共通液室３２から液流
路３１および吐出ノズル２１へ供給され、基板４の表面
に成膜形成されたヒータ４１による液吐出圧によって、
吐出ノズル２１から液滴として飛翔されることにより、
印刷が行なわれる。このとき、オリフィスプレート２の
液供給側の吐出ノズル２１の形状は略四角形であって、
液流路の液流動方向の断面が四角形に形成されているこ
とから、各々の形状がフィットするように吐出ノズル２
１がレーザ加工形成されている。これにより、吐出ノズ
ル形状と液流路形状が滑らかに連続するようにできるた
め、記録液流体の流動抵抗が軽減され、記録液飛翔スピ
ードが高まり、液体噴射記録ヘッド品質として印刷スピ
ードが向上することになる。

【００２８】また、このようにして作製した液体噴射記
録ヘッドにて実際に印刷を行なったところ、優れた印刷
品位の画像が得られた。

【００２９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
液体噴射記録ヘッド全体を構成する各部材の内、少なく
とも吐出口形成プレートと該吐出口形成プレートを保持
する部材が結合された後に、吐出口形成プレートの液吐
出側からのレーザ光の照射により吐出ノズルを昇華加工
形成することができ、その吐出ノズルは、吐出口面積が
均一でかつ液吐出方向軸に対して対称な形状であって、
吐出口形成プレートの液吐出側に全体が先細りのテーパ
形状が形成でき、かつ、短時間で多数配列される吐出ノ
ズルを一括加工することができる。

【００３０】さらに、このように吐出ノズルを加工形成
することにより、吐出口形成プレートの組立て結合によ
る変形に起因する液吐出方向の非等方向性が解消され、
かつ、吐出口形成プレートの外側に全体が先細りのテー
パ形状が形成できることによって、液滴の吐出方向が一
定方向に安定し、吐出する記録液の飛翔スピードが向上
する。したがって、液体噴射記録ヘッドの印刷品質が格
段に向上するとともに高速印刷が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の液体噴射記録ヘッドの吐出ノズル加工
装置の光学系を示す概略図であり、（ａ）はその光学系
の側面図であり、（ｂ）はその光学系の上面図である。

【図２】本発明の液体噴射記録ヘッドの吐出ノズル加工
装置の光学系におけるフォトマスクの構成を図示する概
略図である。

【図３】本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法により
製造される液体噴射記録ヘッドを示す概略図であり、
（ａ）は上面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は側面図であ
る。

【図４】本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法により
製造される液体噴射記録ヘッドの吐出ノズルの斜視図で
ある。

【符号の説明】

１ フォトマスク ２ オリフィスプレート（吐出口形成プレート） ３ 天板 ４ 基板 １１ フォトマスク基盤 １２ クロム蒸着膜 １３ マスクパターン ２１ 吐出ノズル ３１ 液流路 ３２ 共通液室 ４１ 液吐出圧発生素子（ヒータ） １０１ レーザ発振器 １０２ ビーム整形レンズ １０３，１０４ 三角プリズム １０５ ピラミッド形状プリズム １０６ 投影レンズ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 紫外線レーザ光を出力するレーザ発振器
   と、形成しようとする吐出口形状がパターニングされた
   フォトマスクと、前記レーザ発振器から発振されたレー
   ザ光を複数方向に出射させて前記フォトマスクに照射す
   る光束変換光学系と、前記フォトマスクを通過した進行
   方向の異なる複数の光を吐出口形成プレートの表面に重
   ねて結像するマスク結像光学系とを具備した液体噴射記
   録ヘッドの吐出ノズル加工装置において、 前記光束変換光学系は、前記レーザ発振器から放射され
   た光束を必要に応じて所定エネルギー密度の平行光束に
   変換するビーム整形レンズと、平行光束を２つに分割
   し、該２つの平行光束の間隔を調整する所定頂角の三角
   プリズムの対称対と、分割された２つの平行光束をさら
   にそれぞれ２つの光束に分割し、分割した合計４つの平
   行光束を、前記フォトマスクに重ねて導光するよう出射
   方向を変えるピラミッド形状の面を有するプリズムによ
   って構成され、前記マスク結像光学系を介して前記フォ
   トマスクのマスクパターンを投影する光束の吐出口形成
   プレート側のＮＡ（開口数）は０．１以上であることを
   特徴とする液体噴射記録ヘッドの吐出ノズル加工装置。
2. 【請求項２】 記録液を吐出する吐出ノズルと該吐出ノ
   ズルを形成するための吐出口形成プレートを具備する液
   体噴射記録ヘッドの製造方法において、液体噴射記録ヘ
   ッド全体を構成する各部材の内、少なくとも吐出口形成
   プレートと該吐出口形成プレートを保持する部材が結合
   された後に、紫外線レーザ光を出力するレーザ発振器
   と、形成しようとする吐出口形状がパターニングされた
   フォトマスクと、前記レーザ発振器から発振されたレー
   ザ光を複数方向に出射させて前記フォトマスクに照射す
   るための前記レーザ発振器から放射された光束を必要に
   応じて所定エネルギー密度の平行光束に変換するビーム
   整形レンズと、平行光束を２つに分割し、該２つの平行
   光束の間隔を調整する所定頂角の三角プリズムの対称対
   と、分割された２つの平行光束をさらにそれぞれ２つの
   光束に分割し、分割した合計４つの平行光束を、前記フ
   ォトマスクに重ねて導光するよう出射方向を変えるピラ
   ミッド形状の面を有するプリズムによって構成された光
   束変換光学系と、前記フォトマスクを通過した進行方向
   の異なる複数の光を吐出口形成プレートの表面に重ねて
   結像し、前記フォトマスクのマスクパターンを投影する
   光束の吐出口形成プレート側のＮＡ（開口数）が０．１
   以上であるマスク結像光学系とを具備した液体噴射記録
   ヘッドの吐出ノズル加工装置によって、前記吐出口形成
   プレートの液吐出面に前記レーザ光を照射して、吐出ノ
   ズルを昇華加工形成することを特徴とする液体噴射記録
   ヘッドの製造方法。