JPH0624874B2 - インクジェットプリンタ用ノズル - Google Patents

インクジェットプリンタ用ノズル

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JPH0624874B2
JPH0624874B2 JP63232732A JP23273288A JPH0624874B2 JP H0624874 B2 JPH0624874 B2 JP H0624874B2 JP 63232732 A JP63232732 A JP 63232732A JP 23273288 A JP23273288 A JP 23273288A JP H0624874 B2 JPH0624874 B2 JP H0624874B2
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Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はインクジエツトプリンタ用ノズル及びその製法
に関し、特に多くの独立ノズルをもつノズル板に関す
る。
（従来の技術とその課題） ある種のプラスチツク、特にポリチレン、ポリプロピレ
ン又はフツ素化ポリマー等の低表面エネルギーのプラス
チツクをインクジエツトプリンタ用ノズルの製造に用い
ることは知られている。たとえば１９８３．１，８付の
ＩＢＭテクニカル・デイスクロージヤー・ブレチン２
５．８、４３７１頁参照。かかるプラスチツクを用いる
利点はこれらの表面が比較的低い表面エネルギーをもち
特に水性インクの拡がりを示すことによる。しかしこれ
はインクの接触角が悪くノズル孔の表面を湿らさないと
いう欠点をもつ。プリンタの操作中ノズルの外表面にイ
ンクを吸引することができない。この吸引は滴出要求
（ドロツプ−オン−デマンド）プリンタのインク滴の噴
射の間インク滴下を促進しまた印刷后ノズルにインクを
再充填するインク置換プロセスを補助する。これらの理
由から低エネルギーのポリマーでつくつたノズルは滴出
要求プリンタでの使用には適していない。
しかし、ここに、この目的のために従来提案されたこと
のない他のプラスチツクがインクジエツトプリンタ、特
に「滴出要求」（ドロツプ−オン−デマンド）インクジ
エツトプリンタ用ノズルの製造に顕著に適していること
を見出した。適した材料の選択に加えて、その材料のノ
ズルをつくるに適した技術も開発する必要がある。この
技術はインク射出プリンタのプリントヘツドのインク射
出チャンネルと正確に合つた複数ノズルをノズル板等の
中に同時につくることができるものが好ましい。この目
的に特に適しているのはレーザーによる切除である。パ
ルスＵレーザーを用いる固体材料の制御された切除は周
知である。たとえば特開昭５９−１５４８２６ではレー
ザー等の高エネルギービームを用いて樹脂フイルムにノ
ズルをつくることが開示されている。この開示にもかか
わらず、プリントヘツドノズルの形成にはレーザーは未
だほとんど用いられていない。これは適切な構造のイン
クジエツトノズルをつくる技術が従来例では開示されて
いないことに少くとも１部の原因があるものと思う。
また滴出要求インクジエツトプリンタのノズルを通し、
印刷中に、連続した正のインク流を与えることは極めて
好ましいことである。出願人はかかる正の流水系を開示
した従来例は知らない。
（発明の課題） 本発明の目的は改良されたインクジエツトプリンタノズ
ル及びその製法の提供にある。
本発明の更なる目的は改良されたインクジエツトプリン
タノズルアセンブリとその製法、特にプリンタの操作特
性に悪影響を及ぼさない材料、好ましくはプラスチツク
を用いたノズルを用いてなるアセンブリとその製法の提
供にある。
本発明の更なる目的はインクジエツトプリンタ、特に滴
出要求プリンタのプリントヘツドに用いるに適するテー
パー状構造をもつノズルからなる特規ノズルアセンブリ
とその製法の提供にある。
本発明の更なる目的はインクジエツトプリントヘツドの
インク噴射流路と正しく適合する複数の独立のノズルを
もつノズル板の製法提供にある。
本発明の更なる目的はプリンタノズル中に正のインク流
が維持される滴出要求インクジエツトプリンタ用のイン
ク供給系の提供にある。
（好ましい態様の開示） 第１図において、番号１６は滴出要求インクジエツトプ
リントヘツド（その具体例は出願人の同日出願に例示さ
れている）等のインクジエツトプリントヘツドを示す。
本発明はかかるプリントヘツドに関し特に有効だが、勿
論他の構造や操作を伴なうプリントヘツドにとつても本
発明は有効である。プリントヘツド１６は複数の長い動
作壁１８で分離された複数の長いインク流路２０からな
る。動作壁１８は流路２０中のインクに圧力パルスを付
与するために印加された電気信号に応答して剪断モード
で動作し、それぞれが各インク流路２０と連絡している
複数のノズルを通してインク液滴の射出をする。
本発明によれば、ノズル１３はプリントヘツド１６に接
合している固体ノズル板１４中に形成される。ノズルの
形成はノズル板１４をプリントヘツドに接合する前又は
接合した後に行なわれる。いづれの場合も複数の開口１
５をもつ接触マスク１２をノズル板１４の外表面に固着
する。開口１５のそれぞれはノズル板１４の外表面上の
各ノズル出口の周囲を定めており、源１０からの紫外線
（ＵＶ）照射をノズル板１４上に導びきノズル１３を形
成するように配される。より具体的には源１０は好まし
くはパルス当り適切なエルギー密度をもつＵＶ光の均一
平行ビーム１１を生ずるエキシマーレーザーからなる。
接触マスク１２の開口はノズル板１４をＵＶ照射にさら
してノズル板の開口下にある領域を除去しノズル板１４
を通してノズル１３を形成する。このように接触マスク
１２は暴露とノズル線列の形成を同時に可能とする。ノ
ズル１３の形成により、ノズル板１４をプリントヘツド
１６に接合後、各ノズル１３とプリントヘツド１６の各
インク流路２０との並びを適正に制御しうる。
ノズル板１４用の材料は除去後の表面エネルギーが高い
接触角をもつていてインク射出流路２０から供給される
インク溶媒でぬれるようなプラスチツク（即ちポリマ
ー）が好ましい。特に、ノズル板１４の材料は除去后の
表面エネルギーがインク溶媒のそれをこえるものが好ま
しい。これによりノズル１３の孔中にインク流路２０か
らインク溶媒が効果的に移動する。またプラスチツクの
除去に要する限界エネルギー密度は比較的小さいのでプ
ラスチツクからノズル板１４をつくることが容易である
という利点ももつ。インク溶媒に影響されない好ましい
プラスチツク材料はたとえばポリアルキレン（たとえば
エチレン）テレフタレート、ポリイミド、ポリエーテル
イミド、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、
ポリカーボネート、酢酸セルロース等から選ばれる。ノ
ズル板は要求される除去（ablation）エネルギー密度が
より大きいガラスや金属等のかたい材料からなる。ここ
でプラスチツクの除去は真空で行なうことが好ましい。
前記したように、第１図に示すノズル板１４はインクジ
エツトプリントヘツド１６、特に好ましくは滴出要求プ
リントヘツドに接合している。図に示したノズル板１４
を組立ててプリントヘツド１６に接合した後マルチノズ
ル１３を形成する方法は多くの利点をもつ。まず、各イ
ンクジエツトの相対的な方向を制御する各ノズル１３の
軸１７が極めて正確に制御され、マスク１２の配置と光
学ビームの強度の均一性と人射軸方向を正確に制御す
る。本発明によれば、ノズル板１４は組立て前に別の部
品として形成しうるが、これを配置してプリントヘツド
１６に接合するその後のプロセスでノズル１３によつて
生ずるジエツト間の軸方向に幾分の幾何学的バリエーシ
ヨンが生じうる。またノズル板の接合中にノズル破壊を
起こす危険をノズル板の組立てと接合の後にノズル１３
を切除することによつて実質上排除される。プラスチツ
クをエキシマーレーザーで除去（切除）することによ
り、プラスチツク中での除去される構造の壁部が入射光
ビームに平行ではなくむしろ向側に向けたテーパー状で
あるという特徴を示す。典型的には、プラスチツクノズ
ル板１４を切除するに適するエネルギー濃度で処理する
と約５度のテーパーが得られる。作用面から徐々に切除
された断面が減少した構造となる。しかし、反対方向に
テーパー化し入口端より出口における面積が小さいとい
うことはインクジエツトノズルにとつて好ましいことで
ある。レーザー切除によつて自然に生じたような外表面
に向かつてその面積が増加しているテーパー状のノズル
は望ましくない。この欠点は本発明に従つて、プリント
ヘツド１６、それに接合し隣接した接触マスク１２（又
はノズル板１４と接触マスク１２を保持する適当な固定
材）からなるアセンブリーを切除操作中揺り動かすこと
によつて解消する。かくして拡大したインク入口と拡大
しないノズル出口とを同時にもたせたノズル１３が形成
される。
ノズルをアンダーカツトするためにアセンブリー（組立
体）を揺り動かす方法を第２図に示す。図示するよう
に、プリントヘツド６とノズル板１４と接触マスク１２
からなるアセンブリーを相互に直角なＸ又はＹ軸のいづ
れかを通して揺り動かす又は両軸のまわりを同時に揺り
動かす。特に、板１４の面にビーム１１に向いて配した
各軸のまわりを単一調和運動でピホツト状にアセンブリ
ーを動かすことが好ましい。本発明の一態様において、
アセンブリーをＸ及びＹ軸のまわりに不均一に揺り動か
して、マスクの環状開口１７によつて暴露された実質上
環状の出口孔２５（第３図）が、主軸がプリントヘツド
１６の動作壁１８と並んだ関係にある、楕円形、扁円形
又は四角形の入口形状２７が得られる。一列のノズル１
３をつくる時は、ノズル１３の列と合つたＸ軸のまわり
にナノー約３０〜４０度といつた大きな角度でアセンブ
リーを回転させ、ノズル１３の列に直角のＹ軸のまわり
をナノー約−０〜２０といつた小さな角度でアセンブリ
ーを回転させることが好ましい。これによりノズル出口
２５よりも面積が実質上大きな入口形状２７をもつノズ
ル１３が得られまたノズル入口形状２７をプリントヘツ
ド１６の流路プロフイルに合わせることにより隣接ノズ
ル１３の間隙をより接近させることができるという利点
を示す。
ノズル１３（縛に滴出要求プリンタ用の）を揺り動かし
て出口面方向にテーパー状にアンダーカツトする他の利
点として、製造中揺り動かしてテーパー状にしなかつた
ノズル又は平行な孔をもつノズルに比しノズル容積が増
大することを挙げることができる。比較的薄いノズル板
をもつ滴出要求プリンタによつてつくられる液滴サイズ
の１つの滴の容積より大きなノズル容積をつくることに
より、ノズル板の外からノズル板のうしろにあるインク
キヤビテイ２０に空気を吸引する可能性がプリンタの操
作中かなり低下する。
出口方向にテーパー化したノズルをつくる更なる利点と
して、圧力パルスに応答してインクジエツト速度の上昇
時間を制御する因子であるノズル中の流体マスのイナー
タンスを減少することがあげられる。インク流速を減少
する傾のあるノズルの粘性インピーダンス又はリアクタ
ンスが入口面積の増加によつて同様に減少する。その結
果、より粘性のあるインクを過剰のノズルインピーダン
スなしに用いうる。
上記したように、Ｙのノズル軸よりＸ軸のまわりをより
大きな角度でプリントヘツドアセンブリーを揺動する利
点の一つはプリントヘツド流路を、ノズルのうしろの隣
接するインク流路間の動作壁８を薄くしたままで、より
密に配置することができることである。適当な振動数で
各軸を揺動することによつてリサジユー封筒から誘導さ
れる長方形の入口プロフイルが生ずる。扁円形の入口プ
ロフイルはノズル出口方向へインクを移動させるより高
い表面張力をもたらしインクの再充填を促進する。
上記したようにつくられたアンダカツトノズル１３のア
センブリーを第３図に示す。ノズル孔の表面、特にプラ
スチツク材料、上にレーザービームを当てる切削プロセ
スの作用は孔の表面により高い表面エネルギーを付与し
またはノズル１３中のインクに対しよりぬれやすくする
ことである。高い表面エネルギーはノズル出口面２５方
向へのインクメニスカスを促進しもつてインク滴下とイ
ンク再充填を促進する。ノズル板１４はその出口面を、
切除の前に、フルオロポリマー等の低表面エネルギーの
材料からなるフイルム又は層３１で被覆してもよい。低
表面エネルギーのフイルムはノズル板の外面にインクが
拡がるのを防ぎ、異なる液滴形成速度と周波数において
インク滴のサイズを一定に保つ。
ノズル１３の線列を単一の操作で光学ビームに暴露し、
プリントヘツド１６中に平均につくることができる。ま
た一群のアレイプリントヘツド１６を通常のノズル板１
６に接合してもよい。ノズル１３はマスク１２によつて
マスクの正確性に依存しそれぞぞれの一群のアレイプリ
ントヘツド１６のアセンブリーの正確性には依存しない
位置に形成される。１のアレイ中のノズル板１４中に形
成されたノズル１３は必ずしも共線的ではない。たとえ
ばノズル１３Ｘを−Ｘ軸の上と下に交互にして液滴噴射
時間の遅れを補償することができる。これは剪断動作ア
レイプリントヘツドの隣接インク流路２０から液滴を交
互に噴射する場合に有効である。
レーザービームによつて、ノズル板１４の外面上にイン
クを保持する切除動を設ける更なる例を第４〜６図に示
す。浅いトラフ（溝）２２をノズル板１４の外表面２６
のノズル２４を覆う領域にレーザービームを当てて切除
してつくる。接触マスク３１（第４図に分解図として示
す）がレーザー切除プロセスで好ましく用いられる。こ
れは揺動は用いないが、他はノズル１３の形成に用いる
プロセスと同様である。またノズル板１４の外表面２６
は非親水性フイルム、２８で被覆することが好ましい。
しかし出口表面２６を切除した后のトラフ２２内のノズ
ル板材料はインクと親和してノズル２４を覆うトラフ領
域上にメニスカス３０を形成するよう親水性であること
が好ましい。インクはインク供給部３２からトラフに供
給される。供給されるインクの圧力がトラフ２２中のイ
ンクメニスカス３０のレベルを制御する。好ましくは、
メニスカスはトラフ２２中のインクの深さがノズル直径
の１〜２倍になるように制御される。
ノズル２４の外にインクメニスカス３０を形成すること
により多くの利点がもたらされる。第一に、ノズル２４
の外にインクを保持することによりノズルの下にあるイ
ンク流路２０に空気泡が入ることが防止される。第二
に、トラフ２２の構造がノズル２４の外のインクフイル
ムの厚さを制御する。かかるフイルムはノズル２４から
フイルムを通つて噴射されるインク滴の加速度を最高に
するために薄いことが好ましい。インク供給部３２は連
続したインク滴がプリントヘツド２６によつて噴射され
るときトラフ２２中のインク量を一定に保つことを可能
とする。一の態様（第４図）において、インクはノズル
板１４の前の供給源３２からのみ与えられ、ノズル２４
を通しての又はうしろのインク再充填源からノズルのあ
とのインク流路２０へのインクの流れは起こらない。
更なる態様（第５及び６図）において、インクはインク
供給部４２に接続するポンプ４０によりライン４４によ
つてノズル２４のうしろのインク流路２０に徐々に供給
される。インクはノズルをとおり、ノズル板の前表面に
つくられたトラフ２２中へゆるやかな速度、好ましくは
２．５〜４．０ｍ／秒で流れる。次いでインクはトラフ
と共通のインク収集室４６に導びかれライン４８によつ
て供給部にもどされる。ノズル２４を通つてカンのイン
クの確かな流れは多くの利点をもたらす。第１にインク
がより容易に噴射される。この型のインク流をもつプリ
ンタは滴の噴射を伴なうのに比較的低い電力で操作され
る励振（excitation）源５０を用いることができる。ま
たインクがノズル２４の前で常に新になりその結果乾い
たフイルムがつくられる可能性が小さくなる。
上記した型のノズル板はレーザー切除によつてプラスチ
ツク材料中に容易に形成しうる。かかる構造をつくるに
は二重マスクが用いられる。第１のマスクは各ノズルの
外のトラフを暴露するために設計され、ここではノズル
直径の約０．２〜２倍の深さがレーザービームで除去さ
れる。次に第２のマスクが挿入され、次いで前記したよ
うにノズルが切除される。ノズルプロフイルをアンダー
カツトするのにも組立体の揺動は有効である。
トラフの切除された表面の親水特性とトラフの外の切除
されない領域の非親水特性はインクをノズルの外に制御
された様式で保持するのに役立つ。
本発明により極めて効率よく且つ正確にインクジエツト
プリンタ用ノズルがつくられる。
上記した本発明の態様の多くの変形が本発明の技術思想
内で可能である。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明によるインクジエツトプリントヘツド用
ノズル板の製造法を示す。第２図は第１図の部分拡大図
であり、特に第１図の板中に形成されたノズルを本発明
に従つてアンダーカツトする方法を示す。第３図は第２
図に類似の拡大図でありノズル板中に形成されたノズル
のアンダーカツトの方法を示す。第４図は外表面にイン
クトラフをもつノズル板の斜視図を示す。第５図は第４
図に示した外面インクトラフをもつノズル板を有する滴
出要求インクジエツトプリンタの操作を示す図である。
第６図は第５図の部分拡大図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 アラン ジヨン マイケルズ アメリカ合衆国イリノイ州60143 アイタ スカ ブルニング ドライブ ウエスト 1800 (56)参考文献 特開 昭56−157375（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−32761（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−130782（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−213390（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−131251（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−142370（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−259891（ＪＰ，Ａ)

Claims (35)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】高エネルギービームを板に向け、該板と該
    ビームの間に相対的な揺れ運動を行ないそれによって該
    板に該ビームと反対方向に先細りのノズルを形成するこ
    とを特徴とするインクジェットプリントヘッド用ノズル
    板の製造法。
  2. 【請求項２】該揺れ工程が、より大きな断面の一端と予
    め定めた形状をもつノズルを形成するように２つの互に
    傾斜した軸のまわりで相対的な揺れ運動を行なうことか
    らなる請求項１の方法。
  3. 【請求項３】該軸が互に直角に配されている請求項２の
    方法。
  4. 【請求項４】該揺れ工程が該ビームを静置状態に保持
    し、該ビームに向かって面している該板の平らな表面に
    配したそれぞれの軸のまわりで該板をピボット状に単純
    調和運動させる請求項３の方法。
  5. 【請求項５】該板をポリマー材料でつくることを含む請
    求項４の方法。
  6. 【請求項６】該高エネルギービームとしてエキシマーレ
    ーザーを用いることを含む請求項５の方法。
  7. 【請求項７】該板上該ノズルが形成される位置に該ビー
    ムの入射角を制限するよう該板と接してその上にマスク
    部材を固着することを含む請求項４の方法。
  8. 【請求項８】ポリマー材料からなる該板を用意し、該ノ
    ズルを形成する前に、インクジェットプリントヘッド体
    上に該板を該プリントヘッド体中のインク流路の端を止
    じるように置き、該ノズルを該流路を連絡するように形
    成することを含む請求項１の方法。
  9. 【請求項９】該インク流路が直線状流路であり、該流路
    の軸に沿って該ビームを該板に向けて該ノズルを形成す
    ることを含む請求項８の方法。
  10. 【請求項１０】それぞれの位置にそれぞれのノズルが形
    成されるように該板の複数の位置に該ビームの入射角を
    制限し且つテーパー状の複数のノズルを同時に形成する
    ように該板と該ビームの間に相対的な揺れ運動を行なう
    請求項８の方法。
  11. 【請求項１１】該位置を一列に間隔をおいて配し、ノズ
    ルがより大きな断面積をもつノズル板の側部において該
    ノズルが該ノズル軸の空間方向に第１のディメンション
    をもち第１のディメンションと直角方向に第１のディメ
    ンションより大きな第２のディメンションを持つように
    該相対的揺れ運動を行なう請求項１０の方法。
  12. 【請求項１２】該ノズルがより大きな断面積の実質上長
    方形の端部をもつように該板を揺動する請求項１１の方
    法。
  13. 【請求項１３】高エネルギービームを板に向けて該板に
    トラフを形成し、次いで該トラフ内の位置に該高エネル
    ギービームを向け、そして該板と該ビームの間に相互的
    揺れ運動を行ない、それにより該トラフ内に該ビームと
    反対方向に先細りのノズルを形成し、該トラフ中の該ノ
    ズルの開口端がノズルの他端より小さい断面積をもつよ
    うにしてなるインクジェットプリントヘッド用ノズル板
    の製造法。
  14. 【請求項１４】該トラフを形成する際に該板上に該ビー
    ムの入射角を制限するための第１マスクを用い、そして
    該ノズルを形成する際に該ビームの入射角を制限する第
    ２マスクを用いる請求項１３の方法。
  15. 【請求項１５】該揺れ工程が該ビームを静置状態に保持
    し、該ビームに向かって面している該板の平らな表面に
    配したそれぞれの軸のまわりで該板をピボット状に単純
    調和運動させる請求項１４の方法。
  16. 【請求項１６】ポリマー材料からなる該板を用意し、該
    ノズルを形成する前に、インクジェットプリントヘッド
    体上に該板を該プリントヘッド体中のインク流路の端を
    止じるように置き、該ノズルを該流路と連絡するように
    形成することを含む請求項１５の方法。
  17. 【請求項１７】インクジェットプリントヘッド体の一群
    のインク流路の端に固着したポリマー材料からなる板に
    高エネルギービームを向け、該流路のそれぞれと連絡し
    た各ノズルを同時に形成するように該板上の複数の位置
    に該ビームの入射角を制限し、該ノズルの各々が該ビー
    ムの方向と反対方向に内側に先細りになるよう該ビーム
    と該プリントヘッドとの間に相対的な揺れ運動を行なう
    ことを特徴とするインクジェットプリントヘッド用ノズ
    ル板の製造法。
  18. 【請求項１８】入口とそれより小さい断面積の出口とを
    もつテーパー状ノズルをもつ板、および該板の出口配置
    面に高エネルギービームを向け該板と該ビームとの間に
    相対的な揺れ運動を行なって形成した該入口と該出口の
    間にあるノズル孔を有することを特徴とするインクジェ
    ットプリントヘッド用ノズル板。
  19. 【請求項１９】該ノズル入口が、実質上長方形の断面を
    有し、且つ２つの互いに直角な軸のまわりを該ビームに
    対し該板を単純調和揺れ運動させて形成したものである
    請求項１８のノズル板。
  20. 【請求項２０】該板が該ノズル孔の出口端に、該ノズル
    孔がその中に開放していて、且つ該ノズル孔の形成前
    に、該板に該高エネルギービームを向けることによって
    形成されたトラフを有する請求項１８のノズル板。
  21. 【請求項２１】インク流路をもつプリントヘッド体と、
    該プリントヘッド体に固着し且つ該流路と連絡したノズ
    ルをもつポリマー製ノズル板とからなり、該ノズルが該
    流路と連絡した入口と、該プリントヘッド体からはなれ
    該板の表面にあり該入口より小さい断面積をもつ出口
    と、該入口と該出口の間にあるノズル孔をもち、これら
    が該板に高エネルギービームを向け該プリントヘッドと
    該ビームの間に相体的揺れ運動を行なって形成されたも
    のである滴出要求インクジェットプリントヘッド。
  22. 【請求項２２】ノズル入口が実質上長方形の断面をもち
    ２つの互に直交する軸のまわりを該ビームに対し該板を
    単純調和揺れ運動することによって形成される請求項２
    １のプリントヘッド。
  23. 【請求項２３】該ノズル入口が実質上長方形の断面をも
    ち且つ２つの互いに垂直な軸のまわりを該ビームに関し
    該板を単純調和揺れ動かしてつくられたものである請求
    項２２のプリントヘッド。
  24. 【請求項２４】該ノズル孔がレーザービームによって形
    成される請求項２３のプリントヘッド。
  25. 【請求項２５】該孔がエキシマーレーザービームによっ
    て形成される請求項２４のプリントヘッド。
  26. 【請求項２６】該板が、該ノズル孔の出口端にありノズ
    ル孔がその中に開放され、該ノズル孔の形成前に該高エ
    ネルギービームを該板に向けることによって形成された
    トラフを有する請求項２１のプリントヘッド。
  27. 【請求項２７】該トラフと該ノズル孔がレーザービーム
    によって形成される請求項２６のプリントヘッド。
  28. 【請求項２８】該トラフと該ノズル孔がエキシマーレー
    ザービームで形成される請求項２７のプリントヘッド。
  29. 【請求項２９】プリントヘッドのインク流路とそれぞれ
    連絡するノズル列を有するノズル板を持つと共に、該ノ
    ズルの各々が該流路の対応する１つと連絡する入口と該
    板の該入口から離れた面にある出口と該入口と該出口の
    間にあるノズル孔をもち且つ該ノズル板と該ビームの間
    に相対的な揺れ運動を行ないながら高エネルギービーム
    を該板の出口配置面に向けて形成されたものである滴出
    要求インクジェットプリントヘッド用ノズル板。
  30. 【請求項３０】該ノズルの各々の入口が実質上長方形の
    断面を有し、且つ２つの互に直角な軸のまわりを該ビー
    ムに対し該板を単純調和揺れ運動させて形成されたもの
    であり、ノズル列の方向の該断面の各々の第１ディメン
    ションが該列に直角な第２ディメンションよりも小さい
    請求項２９のプリントヘッド。
  31. 【請求項３１】該板が該ノズル孔の各々の出口端にそれ
    ぞれトラフを有し、且つ該ノズル孔の形成前に、該板に
    高エネルギービームを向けることによって形成されたも
    のある請求項２９のプリントヘッド。
  32. 【請求項３２】一列のインク流路と該流路とそれぞれ連
    絡しているノズル列を有するポリマー材料からなるノズ
    ル板からなる該ノズルの各々が該流路の対応する１つと
    連絡している入口、該入口からはなれた該板の表面にあ
    る出口及び該入口と該出口をつなぐノズル孔をもち、そ
    れが高エネルギービームを該板に向け該板と該ビームの
    間に相対的な揺れ運動を行なって形成されてなる滴出要
    求プリントヘッドであって、該ノズルの各々の入口が実
    質上長方形の断面をもち２つの互に直交する軸のまわり
    を該ビームに対し該板を単純調和揺れ運動を行なって形
    成され、ノズル列の方向の該断面の各々の第１ディメン
    ションが該列に直角な第２ディメンションより小さいプ
    リントヘッド。
  33. 【請求項３３】該ノズルの孔がレーザービームによって
    形成される請求項３２のプリントヘッド。
  34. 【請求項３４】該ノズルの孔がエキサマーレーザービー
    ムによって形成される請求項３３のプリントヘッド。
  35. 【請求項３５】該板が該ノズルの各々出口端に、ノズル
    孔がその中に開放されそして該ノズル孔の形成前に、該
    板に高エネルギービームに向けることによって形成され
    たトラフをそれぞれ有する請求項３２のプリントヘッ
    ド。
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