JP3285041B2 - インクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェットヘッドの製造方法Info
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- JP3285041B2 JP3285041B2 JP14032992A JP14032992A JP3285041B2 JP 3285041 B2 JP3285041 B2 JP 3285041B2 JP 14032992 A JP14032992 A JP 14032992A JP 14032992 A JP14032992 A JP 14032992A JP 3285041 B2 JP3285041 B2 JP 3285041B2
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- Laser Beam Processing (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インク滴を飛翔させ、
紙等に印字記録を行なうインクジェットヘッドの製造方
法に関する。
紙等に印字記録を行なうインクジェットヘッドの製造方
法に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、インクジェットプリンターのノ
ズルオリフィスは、ノズル開口部即ち、インク液滴吐出
面の直径が３０μから８０μの範囲である。このような
微細な穴加工を行う為、従来採用されている方法は、材
料として金属のプレートを用いる場合、電鋳法、プレス
加工、エッチング、放電加工等が知られている。
ズルオリフィスは、ノズル開口部即ち、インク液滴吐出
面の直径が３０μから８０μの範囲である。このような
微細な穴加工を行う為、従来採用されている方法は、材
料として金属のプレートを用いる場合、電鋳法、プレス
加工、エッチング、放電加工等が知られている。
【０００３】また、合成樹脂を用いる場合は、射出成
形、エッチング、あるいは、感光性樹脂を用いて形成す
る方法が公知である。また、特開平１−１０８０５６で
は、エキシマレーザーによる加工方法が開示されてい
る。
形、エッチング、あるいは、感光性樹脂を用いて形成す
る方法が公知である。また、特開平１−１０８０５６で
は、エキシマレーザーによる加工方法が開示されてい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前述の従来技
術では、高密度なノズル列配置を実現し、かつインク液
滴飛翔特性を満足せしめるノズルプロフィールを得られ
なかった。これらについて説明する。
術では、高密度なノズル列配置を実現し、かつインク液
滴飛翔特性を満足せしめるノズルプロフィールを得られ
なかった。これらについて説明する。
【０００５】インクジェットプリンターは、高印字速
度、優れた印字品質、静粛性などから広く使用されてい
る。これに伴い、更なる印字品質の改善が求められてい
る。印字品質の改善を実現するためには、インク液滴の
吐出密度を上げることが必須である。その場合、最善の
手段は、ノズル及び液滴発生手段の配置密度を上げるこ
とである。
度、優れた印字品質、静粛性などから広く使用されてい
る。これに伴い、更なる印字品質の改善が求められてい
る。印字品質の改善を実現するためには、インク液滴の
吐出密度を上げることが必須である。その場合、最善の
手段は、ノズル及び液滴発生手段の配置密度を上げるこ
とである。
【０００６】ノズル開口部の配置密度を上げることは、
従来の技術でもある程度可能である。しかしながら、従
来の方法では高密度配置とインク液滴飛翔安定性は、相
反する特性となる。これは、ノズル配置密度を上げるた
めに、ノズルプロフィールに囲まれる体積（以下、ノズ
ル体積と略する）が減少するためである。図６を用いて
説明する。
従来の技術でもある程度可能である。しかしながら、従
来の方法では高密度配置とインク液滴飛翔安定性は、相
反する特性となる。これは、ノズル配置密度を上げるた
めに、ノズルプロフィールに囲まれる体積（以下、ノズ
ル体積と略する）が減少するためである。図６を用いて
説明する。
【０００７】図６に従来のノズル形成部材を用いた、イ
ンクジェットヘッドの主要断面図を示す。従来のノズル
形成部材１０１は、複数のノズル開口部１１１を持つ。
ノズル開口部１１１には、圧力室２０５が対応する。圧
力室２０５は、圧力発生素子２０８が連接されている。
ンクジェットヘッドの主要断面図を示す。従来のノズル
形成部材１０１は、複数のノズル開口部１１１を持つ。
ノズル開口部１１１には、圧力室２０５が対応する。圧
力室２０５は、圧力発生素子２０８が連接されている。
【０００８】図６（ａ）は待機状態である。図６（ｂ）
において、圧力発生素子２０８が、駆動信号により変位
し、インク滴３０１がノズル開口部１１１より吐出す
る。図６（ｃ）は、インク滴３０１吐出後、圧力発生素
子２０１が待機状態に復帰した状態である。圧力室２０
５のインク圧力が減少するため、ノズル開口部１１１よ
り気泡４０１を吸入し、メニスカスを形成する。この
後、徐々にインクが供給され、図６（ａ）の状態に復帰
する。
において、圧力発生素子２０８が、駆動信号により変位
し、インク滴３０１がノズル開口部１１１より吐出す
る。図６（ｃ）は、インク滴３０１吐出後、圧力発生素
子２０１が待機状態に復帰した状態である。圧力室２０
５のインク圧力が減少するため、ノズル開口部１１１よ
り気泡４０１を吸入し、メニスカスを形成する。この
後、徐々にインクが供給され、図６（ａ）の状態に復帰
する。
【０００９】図６（ｃ）に示した、ノズルプロフィール
の外部にまで拡大したメニスカスは極めて不安定であ
る。このようなメニスカスは、圧力室内に独立した気泡
の発生を起こしたり、飛翔液滴量の減少という不具合を
引き起こす。
の外部にまで拡大したメニスカスは極めて不安定であ
る。このようなメニスカスは、圧力室内に独立した気泡
の発生を起こしたり、飛翔液滴量の減少という不具合を
引き起こす。
【００１０】メニスカスを安定させる為には、一般に飛
翔するインク液滴量の３倍以上のノズル体積が必要とさ
れている。配置密度を上げつつ、ノズル体積を十分取る
ためには、ピッチ方向に短径を持つ楕円断面のノズルプ
ロフィールが最も適する。
翔するインク液滴量の３倍以上のノズル体積が必要とさ
れている。配置密度を上げつつ、ノズル体積を十分取る
ためには、ピッチ方向に短径を持つ楕円断面のノズルプ
ロフィールが最も適する。
【００１１】他方、ノズル開口部は、インク液滴の飛翔
方向を安定させるため真円であることが好ましい。これ
は、ノズル開口部円周から受ける表面張力を全方向につ
いて均一にするためである。
方向を安定させるため真円であることが好ましい。これ
は、ノズル開口部円周から受ける表面張力を全方向につ
いて均一にするためである。
【００１２】以上のことから、ノズル開口部は真円で、
プロフィールは楕円であるノズルオリフィスが、優良な
印字品質を得るための最良の手段であることが言える。
プロフィールは楕円であるノズルオリフィスが、優良な
印字品質を得るための最良の手段であることが言える。
【００１３】前述の従来技術で上記のノズルオリフィス
を実現できるのは、金属材料に関しては、放電加工、樹
脂材料に対しては、射出成形、及び特開平１−１０８０
５６で開示されているエキシマレーザーを使う方法であ
る。
を実現できるのは、金属材料に関しては、放電加工、樹
脂材料に対しては、射出成形、及び特開平１−１０８０
５６で開示されているエキシマレーザーを使う方法であ
る。
【００１４】ところが、放電加工においては、加工寸法
が微細であり使用する刃具の消耗が激しい。射出成形も
同様に、精密な型精度を長期にわたり確保することがで
きない。
が微細であり使用する刃具の消耗が激しい。射出成形も
同様に、精密な型精度を長期にわたり確保することがで
きない。
【００１５】特開平１−１０８０５６で開示されている
エキシマレーザーを使う方法は、レーザー照射中に、レ
ーザーのパルスと連動した精密な揺れ運動を被加工材料
に与える必要がある。これは、エキシマレーザー照射面
が常に傾斜していることを示し、絶対的な照射エネルギ
ーが不均一になる。このため均一な加工が困難である。
このような複雑な工程は、安価かつ容易にノズル形成部
材を製造する方法とは言い難い。
エキシマレーザーを使う方法は、レーザー照射中に、レ
ーザーのパルスと連動した精密な揺れ運動を被加工材料
に与える必要がある。これは、エキシマレーザー照射面
が常に傾斜していることを示し、絶対的な照射エネルギ
ーが不均一になる。このため均一な加工が困難である。
このような複雑な工程は、安価かつ容易にノズル形成部
材を製造する方法とは言い難い。
【００１６】
【課題を解決するための手段】このような課題を達成す
るために本発明においては、複数のノズルオリフィスを
持つノズル形成部材と、前記ノズルオリフィスと連通す
る圧力室と、前記圧力室に対応して配置されたインク液
滴発生手段とを備えたインクジェットヘッドの製造方法
において、レーザー光源の発光面からのレーザー光を平
凹円筒レンズにより一軸方向にのみ拡散させ、マスクに
より所定領域に絞ったレーザー光を集光用レンズにより
収光し、その非焦点領域を前記ノズル形成部材の前記圧
力室と連通する側の表面に照射し、前記レーザー光の焦
点面により前記ノズル形成部材のインク吐出側の面に真
円部を、また前記レーザー光の非焦点面により前記真円
部から前記圧力室側に連続的に変化する楕円部を同時に
形成するようにした。
るために本発明においては、複数のノズルオリフィスを
持つノズル形成部材と、前記ノズルオリフィスと連通す
る圧力室と、前記圧力室に対応して配置されたインク液
滴発生手段とを備えたインクジェットヘッドの製造方法
において、レーザー光源の発光面からのレーザー光を平
凹円筒レンズにより一軸方向にのみ拡散させ、マスクに
より所定領域に絞ったレーザー光を集光用レンズにより
収光し、その非焦点領域を前記ノズル形成部材の前記圧
力室と連通する側の表面に照射し、前記レーザー光の焦
点面により前記ノズル形成部材のインク吐出側の面に真
円部を、また前記レーザー光の非焦点面により前記真円
部から前記圧力室側に連続的に変化する楕円部を同時に
形成するようにした。
【００１７】
【実施例】図１に本発明を用いたノズル形成部材の製造
方法の一例の概念図を示す。図１に基づき、本発明につ
いて説明する。
方法の一例の概念図を示す。図１に基づき、本発明につ
いて説明する。
【００１８】本実施例で製造したノズル形成部材１１０
は、材質がポリイミドで、厚み０．１ｍｍのフィルムを
使用した。ノズルプロフィールは、ノズル開口部１００
が直径０．０４ｍｍの真円で、入口が短径０．０４ｍｍ
×長径０．１ｍｍの楕円である。
は、材質がポリイミドで、厚み０．１ｍｍのフィルムを
使用した。ノズルプロフィールは、ノズル開口部１００
が直径０．０４ｍｍの真円で、入口が短径０．０４ｍｍ
×長径０．１ｍｍの楕円である。
【００１９】レーザー光発振装置１は、エキシマレーザ
ー装置である。本実施例で使用した装置は、ラムダ・フ
ィジック社製ＬＰＸ−１１０ｉである。この装置で、Ｋ
ｒＦガスを用い、波長２４８ｎｍを５０Ｈｚで発光させ
た。レーザー光の出力部分１１は、１２×２３ｍｍの長
方形で、面発光で平行光を出力する。発光面１１の大き
さは、高さ１２ｍｍ×幅２３ｍｍである。
ー装置である。本実施例で使用した装置は、ラムダ・フ
ィジック社製ＬＰＸ−１１０ｉである。この装置で、Ｋ
ｒＦガスを用い、波長２４８ｎｍを５０Ｈｚで発光させ
た。レーザー光の出力部分１１は、１２×２３ｍｍの長
方形で、面発光で平行光を出力する。発光面１１の大き
さは、高さ１２ｍｍ×幅２３ｍｍである。
【００２０】レーザー光は、発光面１１から平行光とし
て出力される。発光面１１から出力された光は、平凹円
筒レンズ２により、一軸方向のみ拡散される。平凹円筒
レンズ２を通過した光は、マスク３により、加工に必要
な光路のみに絞られる。その後、両凸レンズ４により縮
小、収光され、被加工物に照射される。
て出力される。発光面１１から出力された光は、平凹円
筒レンズ２により、一軸方向のみ拡散される。平凹円筒
レンズ２を通過した光は、マスク３により、加工に必要
な光路のみに絞られる。その後、両凸レンズ４により縮
小、収光され、被加工物に照射される。
【００２１】本実施例での構成を、更に詳しく述べる。
平凹円筒レンズ２は、焦点距離が−２０００ｍｍであ
る。従って、平凹円筒レンズから出力される光は、一軸
方向にのみ、角度にして０．３度拡散する。
平凹円筒レンズ２は、焦点距離が−２０００ｍｍであ
る。従って、平凹円筒レンズから出力される光は、一軸
方向にのみ、角度にして０．３度拡散する。
【００２２】マスク３はチタン−銅合金の、０．１ｍｍ
厚みの板により製作されている。材質としてチタン−銅
合金を選択したのは、熱伝導性がよく、レーザー光の長
期照射に耐えるからである。マスク３にはφ０．４ｍｍ
の真円のパターン３１があいており、ここからレーザー
光が通過する。
厚みの板により製作されている。材質としてチタン−銅
合金を選択したのは、熱伝導性がよく、レーザー光の長
期照射に耐えるからである。マスク３にはφ０．４ｍｍ
の真円のパターン３１があいており、ここからレーザー
光が通過する。
【００２３】マスク３から８４０ｍｍ離れた所に焦点距
離７５．６ｍｍの両凸レンズ４を置く。焦点面は次式に
より算出される。
離７５．６ｍｍの両凸レンズ４を置く。焦点面は次式に
より算出される。
【００２４】７５．６×８４０／（８４０−７５．６）
≒８３（単位ｍｍ） 即ち、レーザー光はレンズ４より約８３ｍｍ離れた位置
で焦点を結ぶ。また、マスク３〜レンズ４距離Ａと、レ
ンズ４〜焦点面距離Ｂの比率から縮小率が算出できる。
≒８３（単位ｍｍ） 即ち、レーザー光はレンズ４より約８３ｍｍ離れた位置
で焦点を結ぶ。また、マスク３〜レンズ４距離Ａと、レ
ンズ４〜焦点面距離Ｂの比率から縮小率が算出できる。
【００２５】８３／８４０≒０．１ 従って、結像されたマスク３の像はマスク３の穴３１の
０．１倍であり、φ０．０４ｍｍとなる。
０．１倍であり、φ０．０４ｍｍとなる。
【００２６】ここで、レーザー光は平凹レンズ２により
一軸方向のみ広がっている。このため、焦点面よりレン
ズに近付くに従い、楕円断面を持つことになる。レンズ
４の主平面上での長径は次式により計算される。
一軸方向のみ広がっている。このため、焦点面よりレン
ズに近付くに従い、楕円断面を持つことになる。レンズ
４の主平面上での長径は次式により計算される。
【００２７】０．４＋（８４０×ｔａｎ（０．３度）×
２）≒８．８（単位ｍｍ） レンズ４により収光された光路の持つ開き角度を長径側
α、短径側βとすると、 ｔａｎα＝（８．８−０．０４）／８３／２ ｔａｎβ＝（０．４−０．０４）／８３／２ であるから、α≒３度、β≒０．１度となる。これらよ
り、焦点面からレンズ４に近付いていく時の楕円直径が
算出できる。
２）≒８．８（単位ｍｍ） レンズ４により収光された光路の持つ開き角度を長径側
α、短径側βとすると、 ｔａｎα＝（８．８−０．０４）／８３／２ ｔａｎβ＝（０．４−０．０４）／８３／２ であるから、α≒３度、β≒０．１度となる。これらよ
り、焦点面からレンズ４に近付いていく時の楕円直径が
算出できる。
【００２８】本実施例では、焦点面にノズル開口部を合
わせた位置５１から、０．４７ｍｍレンズに近付いた位
置５０での光路断面が、短径０．０４ｍｍ×長径０．１
ｍｍの楕円となる。
わせた位置５１から、０．４７ｍｍレンズに近付いた位
置５０での光路断面が、短径０．０４ｍｍ×長径０．１
ｍｍの楕円となる。
【００２９】加工手順は、被加工物を、楕円光路断面と
なる位置５０に置き、エキシマレーザー光を７０パルス
照射した。被加工物は、加工速度０．７μ／パルスで加
工され、深さ５０μの楕円形状が形成された。その後、
焦点面に合わせた位置５１に被加工物を移動し、更に８
０パルス照射した。これによりφ０．４ｍｍのノズル開
口部を形成した。被加工物をピッチ送りしつつ、以上の
動作を繰り返すことで、ノズル形成部材を得た。
なる位置５０に置き、エキシマレーザー光を７０パルス
照射した。被加工物は、加工速度０．７μ／パルスで加
工され、深さ５０μの楕円形状が形成された。その後、
焦点面に合わせた位置５１に被加工物を移動し、更に８
０パルス照射した。これによりφ０．４ｍｍのノズル開
口部を形成した。被加工物をピッチ送りしつつ、以上の
動作を繰り返すことで、ノズル形成部材を得た。
【００３０】図２に本実施例により製造したノズル形成
部材１１０の断面を含む斜視図を示す。ノズル形成部材
１１０には、楕円光路断面となる位置５０で加工したプ
ロフィール１０２と、焦点面に合わせた位置５１で加工
したプロフィール１０１からなる、ノズルが加工されて
いる。また、ノズルのピッチは、１８０ｄｐｉ即ち１４
１μである。
部材１１０の断面を含む斜視図を示す。ノズル形成部材
１１０には、楕円光路断面となる位置５０で加工したプ
ロフィール１０２と、焦点面に合わせた位置５１で加工
したプロフィール１０１からなる、ノズルが加工されて
いる。また、ノズルのピッチは、１８０ｄｐｉ即ち１４
１μである。
【００３１】図３にこのノズル形成部材を用いたインク
ジェットヘッドの一例の概念図を示す。固定板２０９に
圧力発生素子２０８が固定してある。圧力発生素子は本
実施例においては、積層圧電素子を用いている。
ジェットヘッドの一例の概念図を示す。固定板２０９に
圧力発生素子２０８が固定してある。圧力発生素子は本
実施例においては、積層圧電素子を用いている。
【００３２】圧力発生素子２０８の先端は、流路基板２
０２の振動板２０４に接合されている。流路基板２０２
の厚肉部２１２にノズル形成部材１１０が接合されてい
る。インクは、インクタンクより、パイプ２５５を通じ
流路基板２０２の流路２０７に導かれ、供給口２０６を
通り、振動板２０４とノズル形成部材１１０の間に充填
される。
０２の振動板２０４に接合されている。流路基板２０２
の厚肉部２１２にノズル形成部材１１０が接合されてい
る。インクは、インクタンクより、パイプ２５５を通じ
流路基板２０２の流路２０７に導かれ、供給口２０６を
通り、振動板２０４とノズル形成部材１１０の間に充填
される。
【００３３】駆動回路２２０により駆動信号が与えられ
ると、圧力発生素子２０８は、振動板２０４を振動さ
せ、インク圧力を高める。これにより、ノズル開口部１
００よりインク滴が吐出される。
ると、圧力発生素子２０８は、振動板２０４を振動さ
せ、インク圧力を高める。これにより、ノズル開口部１
００よりインク滴が吐出される。
【００３４】吐出されるインク液滴は、０．０８μｃｃ
である。また、図２のノズル形成部材のノズル体積を算
出すると、約０．３μｃｃである。
である。また、図２のノズル形成部材のノズル体積を算
出すると、約０．３μｃｃである。
【００３５】本発明のノズル形成部材を用いたこのイン
クジェットヘッドは、ノズル体積が大きいため、インク
吐出後のインク液のメニスカスが安定し、気泡を引き込
むことがない。このため、従来より安定した飛翔特性を
得られるようになった。
クジェットヘッドは、ノズル体積が大きいため、インク
吐出後のインク液のメニスカスが安定し、気泡を引き込
むことがない。このため、従来より安定した飛翔特性を
得られるようになった。
【００３６】図４に本発明を用いた他の実施例を示す。
基本的な構成は、前記の実施例と同様である。マスク３
は、φ０．４ｍｍのパターン３１を持つ。また、レンズ
４１として、焦点距離２５．４ｍｍの両凸レンズを用い
ている。
基本的な構成は、前記の実施例と同様である。マスク３
は、φ０．４ｍｍのパターン３１を持つ。また、レンズ
４１として、焦点距離２５．４ｍｍの両凸レンズを用い
ている。
【００３７】マスク３〜レンズ４１までの距離ＡＡは１
３００ｍｍ、レンズ４〜焦点面までの距離ＢＢは１２．
８ｍｍである。この光学系の縮小率は１／１００であ
り、前述の角度α、βはそれぞれ１７度、５度となる。
３００ｍｍ、レンズ４〜焦点面までの距離ＢＢは１２．
８ｍｍである。この光学系の縮小率は１／１００であ
り、前述の角度α、βはそれぞれ１７度、５度となる。
【００３８】前実施例と同じく、被加工物として厚み
０．１ｍｍのポリイミドフィルムを用いた。被加工物を
ノズル開口部１００を焦点面に一致させた位置６１に置
いたとき、被加工物内部での光路は、入口が、短径０．
０６ｍｍ×長径０．１ｍｍの楕円で、出口がφ０．４ｍ
ｍの真円となる。
０．１ｍｍのポリイミドフィルムを用いた。被加工物を
ノズル開口部１００を焦点面に一致させた位置６１に置
いたとき、被加工物内部での光路は、入口が、短径０．
０６ｍｍ×長径０．１ｍｍの楕円で、出口がφ０．４ｍ
ｍの真円となる。
【００３９】加工手順は、焦点面に合わせた位置６１に
置いた被加工物に対し、レーザー光を１５０パルス照射
する。これにより、楕円から真円に連続的に変化する断
面を持つノズルオリフィスが加工できた。これを、被加
工物をピッチ送りしつつ繰り返すことで、ノズル形成部
材を得た。
置いた被加工物に対し、レーザー光を１５０パルス照射
する。これにより、楕円から真円に連続的に変化する断
面を持つノズルオリフィスが加工できた。これを、被加
工物をピッチ送りしつつ繰り返すことで、ノズル形成部
材を得た。
【００４０】図５に本実施例によるノズル形成部材の断
面を含む斜視図を示す。ノズル体積は約０．３μｃｃで
ある。このノズル形成部材を、やはり、図３で示したイ
ンクジェットヘッドに使用した。このインクジェットヘ
ッドも前記実施例と同様に、安定したインク滴の飛翔を
得ることができた。
面を含む斜視図を示す。ノズル体積は約０．３μｃｃで
ある。このノズル形成部材を、やはり、図３で示したイ
ンクジェットヘッドに使用した。このインクジェットヘ
ッドも前記実施例と同様に、安定したインク滴の飛翔を
得ることができた。
【００４１】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、高
密度配列に適した圧力室側が楕円で、インク滴吐出側が
真円のノズルオリフィスを同時に形成することができ、
コストの低減を図ることができる。
密度配列に適した圧力室側が楕円で、インク滴吐出側が
真円のノズルオリフィスを同時に形成することができ、
コストの低減を図ることができる。
【図１】本発明のノズル形成部材の製造方法の一例の概
念図。
念図。
【図２】本発明の実施例により製造されたノズル形成部
材の断面を含む斜視図。
材の断面を含む斜視図。
【図３】本発明により製造されたノズル形成部材を用い
たインクジェットヘッドの構成を示す概念図。
たインクジェットヘッドの構成を示す概念図。
【図４】本発明の他の実施例を示す概念図。
【図５】本発明の他の実施例により製造されたノズル形
成部材の断面を含む斜視図。
成部材の断面を含む斜視図。
【図６】従来の方法で製造されたノズル形成部材を使用
した、インクジェットヘッドの主要断面図。
した、インクジェットヘッドの主要断面図。
１ エキシマレーザー装置 １１ レーザー光出力面 ２ 平凹円筒レンズ ３ マスク ３１ マスクのパターン ４ 両凸レンズ ５１、６１ 焦点面にノズル開口部を合わせた被加工
物の位置 １００ ノズル開口部 １１０ 本発明の製造方法によるノズル形成部材 １０１ 従来の製造方法によるノズル形成部材 ２０２ 流路基板 ２０４ 振動板 ２０５ 圧力室 ２０６ インク供給口 ２０７ インク流路 ２０８ 圧力発生素子 ２０９ 固定板 ２１０ ケース ２１２ 流路基板厚肉部分 ２２０ 圧力発生素子駆動回路 ２５５ インク供給パイプ ３０１ インク液滴 ４０１ 気泡
物の位置 １００ ノズル開口部 １１０ 本発明の製造方法によるノズル形成部材 １０１ 従来の製造方法によるノズル形成部材 ２０２ 流路基板 ２０４ 振動板 ２０５ 圧力室 ２０６ インク供給口 ２０７ インク流路 ２０８ 圧力発生素子 ２０９ 固定板 ２１０ ケース ２１２ 流路基板厚肉部分 ２２０ 圧力発生素子駆動回路 ２５５ インク供給パイプ ３０１ インク液滴 ４０１ 気泡
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B41J 2/135 B23K 26/00
Claims (2)
- 【請求項１】 複数のノズルオリフィスを持つノズル形
成部材と、前記ノズルオリフィスと連通する圧力室と、
前記圧力室に対応して配置されたインク液滴発生手段と
を備えたインクジェットヘッドの製造方法において、 レーザー光源の発光面からのレーザー光を平凹円筒レン
ズにより一軸方向にのみ拡散させ、マスクにより所定領
域に絞ったレーザー光を集光用レンズにより収光し、そ
の非焦点領域を前記ノズル形成部材の前記圧力室と連通
する側の表面に照射し、前記レーザー光の焦点面により
前記ノズル形成部材のインク吐出側の面に真円部を、ま
た前記レーザー光の非焦点面により前記真円部から前記
圧力室側に連続的に変化する楕円部を同時に形成するこ
とを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 - 【請求項２】 前記ノズル形成部材を一定ピッチで移動
させて複数の前記ノズルオリフィスを形成する請求項１
に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14032992A JP3285041B2 (ja) | 1992-06-01 | 1992-06-01 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14032992A JP3285041B2 (ja) | 1992-06-01 | 1992-06-01 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05330059A JPH05330059A (ja) | 1993-12-14 |
| JP3285041B2 true JP3285041B2 (ja) | 2002-05-27 |
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ID=15266292
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP14032992A Expired - Fee Related JP3285041B2 (ja) | 1992-06-01 | 1992-06-01 | インクジェットヘッドの製造方法 |
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| JP (1) | JP3285041B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| CN113579387A (zh) * | 2021-07-19 | 2021-11-02 | 苏州励上自动化科技有限公司 | 一种用于激光焊锡的光斑匀化系统及方法 |
-
1992
- 1992-06-01 JP JP14032992A patent/JP3285041B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JPH05330059A (ja) | 1993-12-14 |
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