JP5741101B2 - 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射装置の製造方法 - Google Patents

液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射装置の製造方法 Download PDF

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Description

本発明は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特
に、液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録
装置に関する。
液滴を噴射する液体噴射ヘッドの代表例であるインクジェット式記録ヘッドとしては、
例えば、長手方向に沿い多数の圧力発生室が形成された流路形成基板と、流路形成基板の
一方面側に前記各圧力発生室に対応させて設けられた圧電アクチュエーターとを具備し、
各圧電アクチュエーターの変位によって圧力発生室内に圧力を付与することで、各ノズル
開口からインク滴を噴射させるものがある。ここで、各ノズル開口は、各圧力発生室に対
応させるとともに、その厚さ方向に貫通させて設けてある（例えば、特許文献１、特許文
献２参照）。かかるノズルプレートは前記圧力発生室の他方面側の開口部を閉塞するよう
に前記流路形成基板の他方面側に貼り付けてある。すなわち、流路形成基板の他方面側に
はノズルプレートが直接貼着されている。
特開２００６−２１２４７８号公報 特開２００９−２３３８７０号公報
しかしながら、ノズルプレートは比較的高価な部材であり当該インクジェット式記録ヘ
ッドのコストの高騰の一因となっている。また、ノズルプレートの中には絶縁性の撥水膜
を塗布したものがあるが、この場合には、より顕著にコストの高騰要因となる。
また、流路形成基板は、シリコン単結晶基板である流路形成基板用ウェハーに多数個を
一度に形成した後、それぞれを切り出すことにより形成している。このため、当該インク
ジェット式記録ヘッドのコストの低減を図るためには、流路形成基板の取り数を増やすこ
とが肝要である。したがって、流路形成基板の可及的な小型化が望まれる。
しかしながら、上述の如き従来技術に係るインクジェット式記録ヘッドにおいては、各
圧力発生室に供給するインクを貯留しておく液体貯留部も流路形成基板に設けているので
小型化にも限界があり、コスト低減の阻害要因となってしまうという問題がある。
なお、このような問題はインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドだけではなく、
インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
本発明は、このような事情に鑑み、ノズルプレートの小型化や圧力発生室を備えた部材
の小型化を図ることにより全体的なコストの低減化を図ることができる液体噴射ヘッド及
びこれを有する液体噴射装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決する本発明の態様は、液体を噴射するノズル開口が設けられたノズルプレートと、前記ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、前記ノズルプレートと前記流路形成基板との間に設けられ、前記圧力発生室と前記ノズル開口とを連通させる連通路が設けられた連通板と、前記圧力発生室に対して前記流路形成基板の側端面の側に設けられ、前記圧力発生室に供給する液体を貯留する液体貯留部と、前記流路形成基板および前記液体貯留部を内部に配設する第１のケース部材と、を有し、前記第１のケース部材は、前記連通板に固着されることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、液体貯留部のノズルプレート側の面を連通板で画成しているので、ノズルプレートを幅狭に形成することができる。この結果、ノズルプレート２０の面積を狭くすることができ、ノズルプレート２０のコストを低減することができる。特に、ノズルプレートの表面に撥水性を有する撥水膜が設けられている場合には、高価な撥水膜の面積を低減させることができるので、顕著なコスト低減効果が得られる。また、ノズルプレートの材料である比較的高価な金属板やセラミックス板の面積を単純に小さくすることでも、勿論コストの低減に寄与させることができる。
さらに、本態様では、枠体の内周面とアクチュエーターユニットの端面との間に前記液体貯留部が形成されるようにしたので、アクチュエーターユニットの小型化も実現でき、この点からもコストの低減に寄与させることができる。すなわち、シリコンウェハー等の大判の基板に、複数の流路形成基板等を一体的に形成する際に、流路形成基板等が小型化されることで、取り数を増やすことができ、この結果コストの低減を図り得る。
第１及び第２のケース部材をはじめ、各部品を積層して全体を組み立てることができるので、位置決めの容易性とも相俟って製造工程も合理化することが可能になる。
さらに本態様では、前記液体貯留部を封止する封止膜を有する第２のケース部材を備え、前記第２のケース部材は、前記封止膜が前記第１のケース部材と前記第２のケース部材との間で挟持されることが好ましい。この場合には、封止膜を第２のケース部材のケース本体と第１のケース部材の枠体との間に挟持することで封止膜を固定しているので、封止膜と枠体との間のシール性を良好に確保することができる。また、第１及び第２のケース部材をはじめ、各部品を積層して全体を組み立てることができるので、位置決めの容易性とも相俟って製造工程も合理化することが可能になる。
さらに本態様では、前記圧力発生手段が、保護部材で覆われるとともに、前記保護部材が前記液体貯留部に臨むとともに前記封止膜に相対向する切欠部を有するものであることが望ましい。これによれば、圧力発生手段を保護することができるとともに、切欠部に対応する領域まで可撓部の面積を広げることができるので、この部分に大きなコンプライアンスを持たせることができる。
さらに、本態様では、前記連通板が、前記流路形成基板よりも大きな面積を有することが望ましい。これによれば、アクチュエーターユニットの小型化も実現でき、この点からもコストの低減に寄与させることができる。すなわち、シリコンウェハー等の大判の基板に、複数の流路形成基板等を一体的に形成する際に、流路形成基板等が小型化されることで、取り数を増やすことができ、この結果コストの低減を図り得る。
さらに、前記ノズルプレートが、前記連通板よりも小さい面積を有することが望ましい。これによれば、液体貯留部のノズルプレート側の面を連通板で画成しているので、ノズルプレートを幅狭に形成することができる。この結果、ノズルプレート２０の面積を狭くすることができ、ノズルプレート２０のコストを低減することができる。特に、ノズルプレートの表面に撥水性を有する撥水膜が設けられている場合には、高価な撥水膜の面積を低減させることができるので、顕著なコスト低減効果が得られる。また、ノズルプレートの材料である比較的高価な金属板やセラミックス板の面積を単純に小さくすることでも、勿論コストの低減に寄与させることができる。
さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする
液体噴射装置にある。
かかる態様では、液体の噴射品質を向上した液体噴射装置を実現できる。
実施形態に係る記録ヘッドの分解斜視図である。 実施形態に係る記録ヘッドの平面図である。 図２のＡ−Ａ線拡大断面図及びその一部を拡大して示す断面図である。 実施形態に係る記録装置の概略構成を示す図である。
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
図１は本発明の実施形態に係る液体噴射ヘッドの一例を示すインクジェット式記録ヘッ
ドの分解斜視図、図２はその平面図、図３は図２のＡ−Ａ線拡大断面図及びそのアクチュ
エーターユニット部分を抽出して示す拡大断面図である。
図示するように、流路形成基板１０は、本実施形態では面方位（１１０）のシリコン単
結晶基板からなり、その一方の面には二酸化シリコンからなる弾性膜５０が形成されてい
る。流路形成基板１０には、複数の圧力発生室１２がほぼ直線上に並設された列が２列形
成されている。なお、圧力発生室１２が略直線上に並設された２列は、一方の圧力発生室
１２の列に対して、他方の圧力発生室１２の列が、並設方向で圧力発生室１２の隣り合う
間隔の半分だけずれた位置に配置されている。これにより、詳しくは後述するノズル開口
２１も同様に、ノズル開口２１の２列が半分の間隔だけずれて配置されて、解像度を２倍
にしている。
また、流路形成基板１０の圧力発生室１２の長手方向の一端部側には、インク供給路１
４が設けられており、複数の圧力発生室１２に共通する液体貯留部であるマニホールド１
００からのインクがインク供給路１４を介して圧力発生室１２に供給される。なお、イン
ク供給路１４は、圧力発生室１２よりも狭い幅で形成されており、マニホールド１００か
ら圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。ちなみに、本実施
形態では、共通流路であるマニホールド１００に連通する複数の個別流路を圧力発生室１
２とインク供給路１４とで構成している。
また、流路形成基板１０の開口面側（弾性膜５０とは反対側）には、連通板１５が接着
剤や熱溶着フィルム等を介して設けられている。連通板１５には、各圧力発生室１２に連
通する厚さ方向に貫通した連通路１６が設けられている。連通路１６は、圧力発生室１２
の長手方向において、インク供給路１４と連通する端部とは反対側の端部に連通して設け
られている。また、連通路１６は、各圧力発生室１２毎に独立して設けられている。この
ため、連通路１６も、圧力発生室１２が成す列と同様に略直線上に並設されている。この
ような連通路１６を介して圧力発生室１２は詳しくは後述するノズル開口２１と連通して
いる。
また、連通板１５の流路形成基板１０とは反対側には、ノズルプレート２０が接着剤や
熱溶着フィルム等を介して設けられている。ノズルプレート２０には、各連通路１６を介
して各圧力発生室１２と連通するノズル開口２１が設けられている。なお、ノズルプレー
ト２０は、ステンレス鋼等の金属や、ガラスセラミックス、シリコン単結晶基板などから
なる。
このようなノズルプレート２０は、本実施形態では、連通板１５よりも小さい。ノズル
プレート２０は、少なくとも２列の連通路１６のノズルプレート２０側の開口を共通して
覆う大きさを有する。このように、ノズルプレート２０の吐出方向からの平面視の面積を
連通板１５の吐出方向からの平面視の面積よりも小さくすることで、コストを低減するこ
とができる。ちなみに、図示していないが、ノズルプレート２０の液体噴射面（連通板１
５とは反対側の面）には、撥水性（撥液性）を有する撥水膜が設けられている。このよう
な撥水膜は高価であり、撥水膜を成膜する面積に応じてノズルプレート２０のコストは高
くなる。本実施形態では、ノズルプレート２０の面積を小さくすることで、撥水膜を成膜
する面積を狭めてノズルプレート２０のコストを低減することができる。もちろん、ノズ
ルプレート２０の材料である金属板やセラミックス板の面積を単純に小さくすることでコ
ストを低減することができる。
一方、このような流路形成基板１０の開口面とは反対側には、上述したように弾性膜５
０が形成され、この弾性膜５０上には、例えば、酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５５
が形成されている。さらに、この絶縁体膜５５上には、第１電極６０と圧電体層７０と第
２電極８０とが、成膜及びリソグラフィー法によって順次積層されて圧電アクチュエータ
ー３００を構成している。ここで、圧電アクチュエーター３００は、第１電極６０、圧電
体層７０及び第２電極８０を含む部分をいう。一般的には、圧電アクチュエーター３００
の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を各圧力発生室１２毎
にパターニングして構成する。本実施形態では、第１電極６０は圧電アクチュエーター３
００の共通電極とし、第２電極８０を圧電アクチュエーター３００の個別電極としている
が、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。なお、上述した例では、弾性
膜５０、絶縁体膜５５及び第１電極６０が振動板として作用するが、勿論これに限定され
るものではなく、例えば、弾性膜５０及び絶縁体膜５５を設けずに、第１電極６０のみが
振動板として作用するようにしてもよい。また、圧電アクチュエーター３００自体が実質
的に振動板を兼ねるようにしてもよい。
各圧電アクチュエーター３００の個別電極である第２電極８０には、例えば、金（Ａｕ
）等からなるリード電極９０がそれぞれ接続されている。このリード電極９０には、駆動
ＩＣ等の駆動回路１２０が設けられたフレキシブル配線であるＣＯＦ等の配線基板１２１
が接続されており、駆動回路１２０からの信号は、配線基板１２１及びリード電極９０を
介して各圧電アクチュエーター３００に供給される。
本実施形態では、上述の流路形成基板１０及び圧電アクチュエーター３００がアクチュ
エーターユニット２００を構成している。
流路形成基板１０上の圧電アクチュエーター３００側の面には、圧電アクチュエーター
３００に対向する領域にその運動を阻害しない程度の空間を確保可能な保持部３１を有す
る保護基板３０が接着剤や熱溶着フィルム等を介して接合されている。本実施形態におけ
る保護基板３０には、マニホールド１００に臨むとともに封止膜４１Ｂに相対向する切欠
部３０Ａが形成されている（切欠部３０Ａの機能に関しては後に詳述する）。
また、圧電アクチュエーター３００は、保持部３１内に形成されているため、外部環境
の影響を殆ど受けない状態で保護されている。本実施形態では、圧力発生室１２が幅方向
に並設された２列に対応して圧電アクチュエーター３００が幅方向に並設された列が２列
設けられているため、保持部３１を圧電アクチュエーター３００の幅方向に並設された列
に亘って共通して設けると共に、保持部３１を各圧電アクチュエーター３００の列毎に独
立して設けた。
また、保護基板３０には、２つの保持部３１の間に、保護基板３０を厚さ方向に貫通し
て設けられた貫通孔３２が設けられている。流路形成基板１０の圧電アクチュエーター３
００から引き出されたリード電極９０の端部は、貫通孔３２内に露出するように延設され
ており、リード電極９０と配線基板１２１とは貫通孔３２内で電気的に接続されている。
このような保護基板３０は、本実施形態では、流路形成基板１０と略同じ大きさ（接合
面側の面積）で形成されている。また、保護基板３０の材料としては、例えば、ガラス、
セラミックス材料、金属、樹脂等が挙げられるが、流路形成基板１０の熱膨張率と略同一
の材料で形成されていることがより好ましく、本実施形態では、流路形成基板１０と同一
材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。
本実施形態における第１のケース部材４０は矩形の枠体４０Ａと、枠体４０Ａの外周部
分を取り囲むように形成された壁面部４０Ｂとを有している。すなわち、第１のケース部
材４０は断面がＬ字状の箱状枠体となっている。ここで、枠体４０Ａの一方面側の開口部
には連通板１５の流路形成基板１０側の面が固着されている。また、枠体４０Ａはその高
さがアクチュエーターユニット２００の高さとはほぼ同一になるように形成してあり、そ
の内部にはアクチュエーターユニット２００が配設してある。すなわち、枠体４０Ａの内
部空間の中央部でアクチュエーターユニット２００の流路形成基板１０が連通板１５に固
着されている。かくして、圧力発生室１２に供給するためのインクを貯留しておくマニホ
ールド１００は、枠体４０Ａの内周面とアクチュエーターユニット２００の端面との間で
、アクチュエーターユニット２００の両側にそれぞれ画成されている。また、連通板１５
は、流路形成基板１０よりも大きな面積（流路形成基板１０との接合面）を有しており、
液滴の吐出方向からの平面視において、第１のケース部材４０と略同じ外縁形状となって
いる。
第２のケース部材４１は、ケース本体４１Ａと可撓性部材からなる封止膜４１Ｂとを有
しており、第１のケース部材４０の壁面部４０Ｂが形成する内部の空間に、ケース本体４
１Ａが封止膜４１Ｂとともに嵌めこまれることにより第１のケース部材４０に積層された
構造となっている。すなわち、封止膜４１Ｂは、第１のケース部材４０の枠体４０Ａの第
２のケース部材４１側の面とケース本体４１Ａとの間に挟持されてマニホールド１００側
の面がマニホールド１００に臨んでいる。ここで、ケース本体４１Ａのマニホールド１０
０及び切欠部３０Ａに相対向する領域は凹形状を有する空間部４６となっている。かかる
領域で封止膜４１Ｂによりマニホールド１００が封止されるとともに、封止膜４１Ｂが撓
み変形可能な構造となっている。この結果、マニホールド１００の第２のケース部材４１
側（連通板１５とは反対側）の一部は、封止膜４１Ｂのみで封止された撓み変形可能な可
撓部４７となっている。このように、本実施形態では可撓部４７を、切欠部３０Ａに対応
する領域も含めた広い面積とすることができるので、その分大きなコンプライアンスを確
保し得る。ここで、封止膜４１Ｂは、剛性が低く可撓性を有する材料、例えば、ポリフェ
ニレンサルファイド（ＰＰＳ）等からなる。
また、第２のケース部材４１には外部から両側のマニホールド１００にそれぞれ至る貫
通流路である２本の導入路４２が形成してあり、各導入路４２を介してインクがマニホー
ルド１００に供給される。
さらに、第２のケース部材４１には、厚さ方向に貫通して、保護基板３０の貫通孔３２
に連通する接続口４８が設けられている。この接続口４８に挿通された配線基板１２１が
、保護基板３０の貫通孔３２を挿通されてリード電極９０と接続される。配線基板１２１
は接続基板のコネクター（図示せず）を介して外部配線に接続されており、該外部配線か
ら所定の印刷信号が各リード電極に供給される。
なお、特に図１に明示する通り、ノズルプレート２０、連通板１５、第１のケース部材
４０、封止膜４５、第２のケース部材４１にはそれぞれの長手方向の両端部に位置決め孔
９１，９２，９３，９４，９５が設けてあり、各部を組み立てる際には位置決めピンに各
位置決め孔９１〜９５を挿入することで位置決めを行いつつ積層することにより組み立て
る。
本実施形態では、上述の如く、第１のケース部材４０を用いてマニホールド１００を形
成することで、流路形成基板１０及び保護基板３０を小型化することができる。ここで例
えば、流路形成基板や保護基板にマニホールドを設ける場合、流路形成基板及び保護基板
がマニホールドの周壁を画成することになり、流路形成基板と保護基板とが圧力発生室の
長手方向に大きくなってしまう。これに対して、本実施形態では、流路形成基板１０及び
保護基板３０の端面がマニホールド１００の一方面（圧力発生室１２の長手方向）を画成
し、マニホールド１００の他方の面を第１のケース部材４０の枠体４０Ａの内周面で画成
するようにしたため、流路形成基板１０及び保護基板３０を小型化することができる。こ
れにより、シリコンウェハー等の大判の基板に、複数の流路形成基板１０や保護基板３０
を一体的に形成する際に、流路形成基板１０及び保護基板３０を小型化することで、大判
の基板からの取り数を増やすことができ、コストを低減することができる。なお、シリコ
ンウェハー等の大判の基板に複数の流路形成基板１０や保護基板３０を一体的に形成する
ことで、複数の流路形成基板１０や保護基板３０を同時に形成することが可能となり、コ
ストを低減することができる。
また、本実施形態では、マニホールド１００のノズルプレート２０側の面を連通板１５
で画成するようにしたため、ノズルプレート２０が積層方向（厚さ方向）でマニホールド
１００に重なる大きさは不要になる。これにより、ノズルプレート２０の面積を狭くする
ことができ、ノズルプレート２０のコストを低減することができる。
このようなインクジェット式記録ヘッド１では、外部のインク液体貯留手段（図示せず
）から導入路４２に供給されたインクはマニホールド１００から各圧力発生室１２に供給
される。そして、駆動回路１２０から供給される印刷信号により圧力発生室１２に対応す
る圧電アクチュエーター３００を駆動させてたわみ変形させる。このことで、圧力発生室
１２の容積を変化させて、ノズル開口２１からインク滴を吐出させる。
（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定さ
れるものではない。例えば、上述した実施形態では、第１のケース部材４０は断面形状が
Ｌ字状になるように枠体４０Ａと壁面部４０Ｂとが一体となった形状とし、第２のケース
部材４１は壁面部４０Ｂが形成する内部の空間に嵌め込むようにしたが、これに限るもの
ではない。枠体４０Ａである第１のケース部材４０に第２のケース部材４１を単に積層す
る構造でも基本的には構わない。ただ、上記実施形態の如く形成することにより第２のケ
ース部材４１の可撓部となりマニホールド１００に臨む封止膜４１Ｂをケース本体４１Ａ
と第１のケース部材４０の枠体４０Ａの面との間で挟持することができるのでこの部分の
シール性を良好に保持することができる。
また、保護基板３０に切欠部３０Ａを設けたが、これも必ずしも必要ではない。ただ、
切欠部３０Ａを設けた場合には、撓み変形可能な領域である可撓部４７の面積を大きく確
保することができ、この部分に大きなコンプライアンスを持たせることが可能になる。可
撓部４７はケース本体４１Ａとは別の封止膜４５で形成したが、第２のヘッド部材自体を
弾性部材で形成しても良いし、またはマニホールド１００に臨む部分を可撓性部材で形成
しても良い。要するにマニホールド１００に臨む部分が撓み変形し得るように構成されて
いれば良い。
上記実施形態では流路形成基板１０として、シリコン単結晶基板を例示したが、特にこ
れに限定されず、例えば、ＳＯＩ基板、ガラス、金属等の材料を用いるようにしてもよい
。
また、上記実施形態では圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、
薄膜型の圧電アクチュエーター３００を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例え
ば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーター
や、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電ア
クチュエーターなどを使用することができる。また、圧力発生手段として、圧力発生室内
に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を
吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を
変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用
することができる。
上記実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通する
インク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置
に搭載される。図４は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。同図
に示すように、上記実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドを有する記録ヘッドユニ
ット１Ａ、１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ、２Ｂが着脱可能に設け
られ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取
り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニッ
ト１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐
出するものとしている。
そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を
介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキ
ャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５
に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙
等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになって
いる。
なお、上述した例では、記録シートＳの搬送方向と交差する方向（主走査方向）に移動
するキャリッジ３に記録ヘッドユニット１Ａ，１Ｂを搭載し、記録ヘッドユニット１Ａ，
１Ｂを主走査方向に移動させながら印刷を行う、いわゆるシリアル型のインクジェット式
記録装置であるがこれに限るものではない。記録ヘッドが固定されて記録シートＳを搬送
するだけで印刷を行う、いわゆるライン式のインクジェット記録装置であっても、勿論構
わない。
さらに上記実施形態では、液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置を挙げ
て説明したが、本発明は広く液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置全般を対象としたも
のであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置にも勿論
適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像
記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造
に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）
等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有
機物噴射ヘッド等が挙げられる。
Ｉ インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、 １、１Ａ、１Ｂ インクジェット
式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、 ２ インクジェット式記録ヘッドユニット（液体噴
射ヘッドユニット）、 １０ 流路形成基板、 １２ 圧力発生室、 １４ インク供給
路、 １５ 連通板、 １６ 連通路、 ２０ ノズルプレート、 ２１ ノズル開口、
３０ 保護基板、 ３０Ａ 切欠部、 ４０ 第１のケース部材、 ４０Ａ 枠体、 ４
０Ｂ 壁面部、 ４１ 第２のケース部材、 ４１Ｂ 封止膜、 ４２ 導入路、 ６０
第１電極、 ７０ 圧電体層、 ８０ 第２電極、 ９０ リード電極、 １００ マ
ニホールド、 １２０ 駆動回路、 １２１ 配線基板、 ２００ アクチュエーターユ
ニット、 ３００ 圧電アクチュエーター

Claims (7)

  1. 液体を噴射するノズル開口が設けられたノズルプレートと、
    前記ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、
    前記ノズルプレートと前記流路形成基板との間に設けられ、前記圧力発生室と前記ノズル開口とを連通させる連通路が設けられた連通板と、
    前記圧力発生室に対して前記流路形成基板の側端面の側に設けられ、前記圧力発生室に供給する液体を貯留する液体貯留部と、
    前記流路形成基板および前記液体貯留部を内部に配設する第１のケース部材と、を有し、
    前記第１のケース部材は、前記連通板に固着される
    ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
  2. 請求項１に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
    前記液体貯留部を封止する封止膜を有する第２のケース部材を備え、
    前記封止膜が、前記第１のケース部材と前記第２のケース部材との間で挟持されることを特徴とする液体噴射ヘッド。
  3. 請求項２に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
    前記圧力発生手段が、保護部材で覆われるとともに、前記保護部材が前記液体貯留部に臨むとともに前記封止膜に相対向する切欠部を有するものであることを特徴とする液体噴射ヘッド。
  4. 請求項１〜請求項３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
    前記連通板が、前記流路形成基板よりも大きな面積を有することを特徴とする液体噴射ヘッド。
  5. 請求項１〜請求項４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
    前記ノズルプレートが、前記連通板よりも小さい面積を有することを特徴とする液体噴射ヘッド。
  6. 請求項１〜請求項５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを有する液体噴射装置。
  7. 請求項１〜請求項５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを液体噴射装置に設ける工程を少なくとも含むことを特徴とする液体噴射装置の製造方法。
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