JP2000177123A - インクジェットヘッド及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 より高速でかつ高画質印字が可能なフルライ
ンのインクジェットプリンタヘッドを提供する。 【解決手段】 液室２２の一部に振動板２１を有すると
ともに該液室２２の外側でかつ前記振動板に対向する位
置に電極３１を有し、前記振動板２１と電極３１との間
に電圧を印加したときの静電引力によって前記振動板２
１を駆動することにより前記液室２２に連通するノズル
５１からインク液滴を吐出して記録する。インクジェッ
トヘッド１００にはノズル５１が記録媒体１の幅全体に
わたって形成されており、前記振動板２１を駆動するた
めのすべての電極３１が１つの共通の基板３３上に形成
されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、振動板を静電引力
によって駆動することによりインク液滴を吐出する静電
駆動型のインクジェットヘッドに関する。

【０００２】

【従来の技術】インク液滴をノズルから直接記録媒体上
に噴射し記録するインクジェットヘッドプリンタにおい
て、必要な時のみインクを吐出するオンデマンド方式
は、インクを回収するための機構が不要なため、低価格
化，小型化が可能であり、カラー化にも容易に対応でき
る特徴を有する。このなかでもパーソナルプリンタとし
ての主流は、ピエゾ素子の変位によりインク室に圧力波
を発生させ、ノズルよりインクを吐出させる電気機械変
換方式と、短時間で高温まで加熱されるヒータによりイ
ンク室に気泡を発生させ、気泡の体積膨張によりインク
を吐出させる電気熱変換式の２種である。一方、静電駆
動方式のインクジェットヘッドについては、ウエハプロ
セスでの作製が可能であることから、高密度化が容易
で、かつ、大量に特性の安定した素子を作製でき、ま
た、平面構造を基本とすることから小型化が容易である
長所を持つことから、特開平２−２８９３５１号公報，
特開平５−５０６０１号公報，特開平６−７１８８２号
公報等多くの構造が開示されている。これらの静電駆動
方式のヘッドでは、液室の一部を構成している振動板に
対向しかつ該液室の外側の位置に、一定距離のギャップ
を隔てて電極板を有し、前記振動板と該電極板との間に
働く静電引力と、該振動板自体の剛性により振動板を駆
動し、液室のインクを吸引，吐出するようにしている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】インクジェットプリン
タで高速，高画質印字するためにはノズルの高密度化，
多ノズル化，ヘッドの応答周波数のアップが必要である
と同時に、ヘッド本体を移動するキャリッジの高速，高
精度移動が必要である。ノズルの高密度化については２
４本／ｍｍ、多ノズル化については１０００本以上のヘ
ッドが実用化されている。一方、キャリッジの移動速度
については、高画質化のためにはインク滴の吐出速度と
の兼ね合いから決まってくるインク滴の紙上での位置精
度が要求されることから、移動速度としてはヘッド応答
速度，インク滴速度からくる制限下での最適速度を選択
せざるを得ず、さらなる印字の高速化の妨げとなってい
た。

【０００４】本発明は、上述のごとき問題点を解決し、
より高速でかつ高画質印字が可能なインクジェットプリ
ンタヘッドを提案することを目的としてなされたもので
ある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、液室
の一部に振動板を有するとともに該液室の外側でかつ前
記振動板に対向する位置に電極を有し、前記振動板と電
極との間に電圧を印加したときの静電引力によって前記
振動板を駆動することにより前記液室に連通するノズル
からインク液滴を吐出するインクジェットヘッドにおい
て、前記ノズルが記録媒体の幅全体にわたって形成され
ていることを特徴としたものである。

【０００６】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、記録媒体の幅全体にわたって形成されているノズル
を複数列有し、各列のノズルが記録媒体の送り方向に対
し同一直線上にこないように配列されていることを特徴
としたものである。

【０００７】請求項３の発明は、請求項１又は２の発明
において、前記振動板を駆動するためのすべての電極が
１つの共通の基板上に形成されており、前記振動板また
は液室が複数の基板から形成されていることを特徴とし
たものである。

【０００８】請求項４の発明は、請求項１の発明におい
て、前記振動板を駆動するためのすべての電極が１つの
共通の基板上に形成されており、前記振動板が多結晶シ
リコーン薄膜から、前記液室が複数のシリコーン基板か
ら形成されていることを特徴としたものである。

【０００９】請求項５の発明は、請求項１の発明におい
て、前記液室を構成する基板が（１１０）配向の単結晶
シリコーン基板であることを特徴としたものである。

【００１０】請求項６の発明は、液室の一部に振動板を
有するとともに該液室の外側でかつ前記振動板に対向す
る位置に電極を有し、前記振動板と電極との間に電圧を
印加したときの静電引力によって前記振動板を駆動する
ことにより前記液室に連通するノズルからインク液滴を
吐出するインクジェットヘッドの製造方法において、前
記ノズルが記録媒体の幅全体にわたって形成され、前記
振動板を駆動するためのすべての電極が１つの共通の基
板上に形成されており、前記振動板または液室が複数の
基板から形成され、前記１つの共通の基板上に、複数の
基板から形成されている振動板または液室を接合するこ
とを特徴としたものである。

【００１１】請求項７の発明は、液室の一部に振動板を
有するとともに該液室の外側でかつ前記振動板に対向す
る位置に電極を有し、前記振動板と電極との間に電圧を
印加したときの静電引力によって前記振動板を駆動する
ことにより前記液室に連通するノズルからインク液滴を
吐出するインクジェットヘッドの製造方法において、前
記ノズルが記録媒体の幅全体にわたって形成され、前記
振動板を駆動するためのすべての電極が１つの共通のガ
ラス基板上に形成されており、前記振動板が多結晶シリ
コーン薄膜から、前記液室が複数のシリコーン基板から
形成され、前記１つの共通のガラス基板上に、多結晶シ
リコーン薄膜からなる振動板と複数のシリコーン基板か
らなる液室を形成することを特徴としたものである。

【００１２】

【発明の実施の形態】図１は、本発明によるフルライン
型のインクジェットヘッドの全体構成を示す概念図（図
１（Ａ））とその一部の内部構造を示す断面図（図１
（Ｂ））で、図１（Ａ）に示すように、フルラインの静
電駆動式のヘッド１００が紙面１の送り方向（矢印Ａ方
向）に対して直交方向に紙幅全体にわたって設けられて
いる。したがって、紙送りの方向に対して直交方向にヘ
ッドを移動することなく印字することができる。図１
（Ｂ）は上記フルラインヘッド１００の構造の詳細を、
図１（Ａ）に示したＢ部分を拡大して示す拡大図で、図
中、２０は液室基板、３０は電極基板、４０は流路基
板、５０はノズル基板で、該フルライン型のインクジェ
ットヘッド１００は、大きく分けて、振動板２１，液室
２２，電極３１の３つの部分から構成されており、振動
板２１を駆動する駆動手段として静電引力を用いている
ところに特徴がある。液室２２と厚さ１μｍの振動板２
１は、厚さ２００μｍの同一の単結晶シリコーン基板２
０から形成されており、液室２２の外側でかつ振動板２
１に対向する位置には０.３μｍのギャップ３２を隔て
て金属電極３１が形成されており、これらのギャップ３
２及び金属電極３１はガラス基板３３に形成されてい
る。また、液室２２の振動板２１と反対側の面には流路
４１を有する金属板からなる流路板４０とノズル５１を
有するノズル板５０が接着されている。このようなイン
クジェットヘッドにおいて、シリコーン振動板２１と金
属電極３１との間に電圧を印加し、一定周波数で駆動し
た。なお、このときシリコーン振動板２１を共通のグラ
ンドとし、金属電極３１に個別に８０Ｖの電圧を印加し
た。電圧を印加することにより振動板２１と電極３１と
の間に静電引力が働き、振動板２１は電極３１の方向に
引かれ、液室２２は陰圧となり該液室２２にインクが供
給された。その後、電圧を切ると振動板２１はシリコー
ンの剛性によりもとの位置へと戻り、このとき液室２２
中に発生する圧力波により流路４１，ノズル５１を経て
記録紙上へとインクが吐出された。

【００１３】図２は、本発明によるインクジェットヘッ
ドの他の実施例を示す全体概念図で、この実施例におい
ては、紙面１の送り方向（矢印Ａ方向）に対して直交方
向に紙幅全体にわたりノズルが形成されている２本のフ
ルラインヘッド１００と１００′が設けられている。こ
の２本のヘッドは、互いのノズル５１，５１′が紙送り
方向に対し同一直線上にこないように交互に配置されて
おり、ここでは、ヘッド１００のノズルピッチ４００μ
ｍと同ピッチのヘッド１００′が、ヘッド１００におけ
る隣接するノズル位置の中央にくるようにヘッド１０
０′のノズルが配置されている。従って、２本のヘッド
を一体化してみたときに、ノズルのピッチは実効的には
２００μｍとして印字される。なお、各ヘッドの構造の
詳細は図１に示したヘッドと同様で、いずれも、大きく
分けて振動板，液室，電極基板の３つの部分から構成さ
れており、駆動手段としては静電引力を用いている。

【００１４】図３は、本発明によるフルライン型のイン
クジェットヘッドの他の実施例を説明するための図で、
図３（Ａ）は要部全体概念図、図３（Ｂ）は断面図で、
このインクジェットヘッドも大きく分けて振動板，液
室，電極基板の３つの部分から構成されているが、その
うち電極基板３０は紙幅全体にわたって一体で構成され
ており、振動板及び液室が形成されたシリコーン基板
は、例えば２０₁〜２０₇に分割され、この分割されたも
のが、紙幅全体にわたって複数個配置されている。液室
２２と厚さ１μｍの振動板２１は厚さ２００μｍの同一
の単結晶シリコーン基板２０から形成されており、図３
では、４つの液室，振動板を１つのシリコーン基板で構
成し、それら複数個を紙幅にわたって配置したようにし
た例を示したが、実際は４００μｍピッチで５０個の液
室，振動板を１つのシリコーン基板とし、それらを１０
個隣接して配置した。液室２２の外側でかつ振動板２１
に対向する側には０.３μｍのギャップ３２を隔てて金
属電極３１が形成されており、これらのギャップ，金属
電極は、紙幅全体にわたって一体で構成されたガラス電
極基板３３上に形成されている。また、液室２２の振動
板２１と反対側の面には、紙幅全体にわたって一体で構
成された金属板からなる流路板４０とノズル板５０が接
着されている。

【００１５】上述のごときインクジェットヘッドにおい
て、シリコーン振動板２１と金属電極３１との間に電圧
を印加し一定周波数で駆動した。このとき、シリコーン
振動板２１を共通のグランドとし、金属電極３１に個別
に８０Ｖの電圧を印加した。電圧を印加したとき、振動
板２１と電極３１との間に静電引力が働き、振動板２１
は電極３１の方向に引かれ、液室２２は陰圧となってイ
ンクが供給され、電圧を切ると振動板２１はシリコーン
の剛性によりもとの位置へと戻り、このとき、液室２２
内に発生する圧力波により流路４１，ノズル５１を経て
記録紙上へとインクが吐出された。

【００１６】図４は、本発明のインクジェットヘッドの
製造方法の一例を説明するための要部工程図で、まず、
両面が研磨された２００μｍ厚の（１００）配向単結晶
シリコーン基板２０にＬＰ−ＣＶＤ法で１μｍの厚さで
窒化シリコーン膜２０ａを両面に形成し（図４
（Ａ））、この単結晶シリコーン基板上の片面の窒化シ
リコーン膜２０ａをドライエッチングにより除去した
（図４（Ｂ））。次に、この窒化シリコーン膜を除去し
たシリコーン基板表面に固体拡散源を用いて高濃度のボ
ロン２０ｂ（このボロン拡散層が振動板２１となるの
で、以下、２１で示す）を拡散した。このとき拡散深さ
１μｍでのボロン濃度を３×１０^１９ｃｍとした（図４
（Ｃ））。次に、窒化シリコーン膜２０ａをドライエッ
チングでパターニングすることにより、液室を形成する
部分のシリコーン表面を露出させた（図４（Ｄ））。

【００１７】その後、シリコーン基板２０をＫＯＨ溶液
により異方性エッチングし、液室２２を形成した（図４
（Ｅ））。この際、ＥＰＷ（Ethylene Diamine Pilocat
ecohl Water）を用いた異方性エッチングの性質から、
ボロン濃度が３×１０^１９ｃｍ^−３よりも大きくなると
ころでエッチング速度が急激に低下したので、１μｍの
厚さのシリコーンを残してエッチングを終了させた。な
お、シリコーン基板２０のエッチング液としてここでは
ＥＰＷを用いたが、ボロンの濃度によりエッチング濃度
の著しい変化が生じ、かつ、シリコーンの（１１１）面
のエッチング速度が選択的に遅くなるような他のエッチ
ング液、例えば、ＫＯＨ等を使用してもよい。なお、本
エッチングではウエハのボロン拡散面側がエッチング液
にさらされないように保持できるような治具を使用し
た。最後に、シリコーン窒化膜をドライエッチングで除
去し、液室２２と振動板２１を形成した（図４
（Ｆ））。

【００１８】上述のようにして、シリコーンウエハ上に
４００μｍピッチ５０個単位で形成した液室と振動板
を、幅２０ｍｍでカットした。ガラス基板３３と金属電
極３１から構成される電極基板３０において、ガラス基
板３３としては厚さ１ｍｍ，長さ２００ｍｍ，幅１０ｍ
ｍのパイレックスガラスを用いた。ガラス基板３３にお
ける振動板２１との間に静電引力を働かせるためのギャ
ップ３２を形成するための凹部はフッ酸とフッ化アンモ
ニウムの混合液のウエットエッチングにより形成した。
なお、このギャップの形成にはドライエッチングを用い
ても良い。ギャップの間隔は狭いほど静電引力が強く働
き、振動板の駆動電圧を低く設定できることから、ここ
では０.３μｍとした。振動板２１とギャップを介して
対向する凹部には金属電極３１として、厚さ１００ｎｍ
のＰｔ薄膜をスパッタ法で成膜し、パターニングした。
この際、ガラスとの密着性を高めるために下地に３０ｎ
ｍのＴｉ薄膜をあらかじめスパッタ法で成膜しておい
た。なお、この金属薄膜の形成には、真空蒸着等等を用
いても良い。

【００１９】上述のようにして作製した、紙幅全体にわ
たる長さの電極基板３０上に、液室，振動板が形成され
た２０ｍｍ単位のシリコーン基板を隣り合う位置に１０
個接続した。接合方法としては間に接着剤等を介するこ
となく、精度の良いギャップ形成が可能な陽極接合を用
いた。次に、紙幅全体にわたる長さで厚さ１５０μｍの
ステンレス製の流路板４０とノズル板５０をシリコーン
液室上に接着することによりインクジェットヘッドを完
成した。流路４１，ノズル５１の穴開けは、エッチング
で行った。

【００２０】図５は、本発明によるフルライン型のイン
クジェットヘッドの他の実施例を説明するための図で、
図５（Ａ）はインクジェットヘッド全体の要部概念構成
図、図５（Ｂ）は断面図で、本フルライン型のインクジ
ェットヘッドは、大きく分けて振動板２１′，液室２
２，ガラス電極基板３３の３つの部分から構成されてい
るが、そのうち電極基板３０は紙幅全体にわたって一体
で構成されており、振動板２１′及び液室２２が形成さ
れたシリコーン基板２０は、例えば２０₁〜２０₇に分割
され、この分割されたものが、紙幅全体にわたって複数
個配置されている。液室２２は厚さ２００μｍの単結晶
シリコーン基板２０から形成されており、厚さ１μｍの
振動板２１′は多結晶シリコーン薄膜から形成されてい
る。この液室２２と振動板２１′はシリコーン酸化膜２
３を介して接合している。なお、図４では、４つの液
室，振動板を一体で構成し、それら複数個を紙幅にわた
って配置したように示したが、実際は４００μｍピッチ
で５０個の液室，振動板を一体とし、それら１０個を隣
り合わせて配置した。

【００２１】液室２２の外側でかつ振動板２１′に対向
する面には０.３μｍのギャップ３２を隔てて金属電極
３１が形成されており、これらのギャップ，金属電極は
紙幅全体にわたって一体で構成されたガラス電極基板３
３上に形成されている。また、液室の振動板と反対側の
面には、紙幅全体にわたって一体で構成された金属板か
らなる流路板４０とノズル板５０が接着されている。こ
のようなインクジェットヘッドにおいて、シリコーン振
動板２１′と金属電極３１の間に電圧を印加し一定周波
数で駆動した。このとき、シリコーン振動板を共通のグ
ランドとし、金属電極に個別に８０Ｖの電圧を印加し
た。電圧を引加したとき振動板２１′と電極３１との間
に静電引力が働き、振動板２１′は電極方向に引かれ、
液室は陰圧となりインクが供給され、電圧を切ると振動
板はＳｉの剛性によりもとの位置へと戻り、このとき液
室中に発生する圧力波により流路４１，ノズル５１を経
て記録紙上へとインクが吐出された。

【００２２】図６は、図５に示したインクジェットヘッ
ドの製造方法を説明するための要部工程図で、本実施例
では最初の工程でシリコーン基板２０上の多結晶シリコ
ーン薄膜を熱酸化膜２３を介して単結晶化しているが、
それ以降の工程は、図４に示した製造方法と同様の工程
で作製したので、ここではシリコーン基板上の多結晶シ
リコーン薄膜を単結晶化する工程のみを説明する。ま
ず、１μｍの厚さで熱酸化膜２３を形成した厚さ２００
μｍの単結晶シリコーン基板２０（図６（Ａ））上に多
結晶シリコーン薄膜２１′をＬＰ−ＣＶＤ法で１μｍの
厚さで形成した（図６（Ｂ））。次に、片側表面の多結
晶シリコーン薄膜をエッチング除去し、酸化膜を液室の
形状に対応してパターニングした（図６（Ｃ））。その
後、単結晶シリコーン基板をＫＯＨ溶液により異方性エ
ッチングし、液室２２を形成した（図６（Ｄ））。な
お、異方性エッチング液としてここではＫＯＨ溶液を用
いたが、シリコーンの（１１１）面のエッチング速度が
選択的に遅くなるような他のエッチング液、例えば、Ｅ
ＰＷ，ＴＭＡＨ，ヒドラジン等を使用してもよい。この
際、ＫＯＨ溶液はシリコーンと比較してＳｉＯ_２はほと
んどエッチングしないため、液室２２は多結晶シリコー
ンとの間に形成された酸化膜２３が露出したところでエ
ッチングが停止した。なお、本エッチングではウエハの
多結晶シリコーン薄膜側がエッチング液にさらされない
ように保持できるような治具を使用した。

【００２３】その後、振動板表面に露出した酸化膜２３
をエッチング除去し、多結晶シリコーン薄膜からなる振
動板２１′を形成した（図６（Ｅ））。このように、振
動板２１′となる液室２２の底面は、酸化膜２３による
エッチングの停止と、その酸化膜２３の除去によって形
成されるため、酸化膜２３を介して形成した多結晶シリ
コーン薄膜２１′の厚さ１μｍが振動板の厚さとなる。
この後、図４に示した実施例と同様の工程に従い、多結
晶シリコーン薄膜側を別工程で作製した電極基板３０と
接合しインクジェットヘッドを作製した。

【００２４】図７は、本発明によるインクジェットヘッ
ドの他の構成例を示す断面図で、ガラス基板３３の窪み
に形成された個別の電極３１への電圧印加によりシリコ
ーン振動板２１を駆動し、液室２２のインクを流路４１
を経てノズル５１から吐出する。ここで、液室２２及び
振動板２１はシリコーン基板２０の異方性エッチングに
よって形成するが、シリコーン基板として（１１０）基
板を用いることで液室２２の壁を振動板２１の面に対し
て９０度で形成した。このときノズルピッチは振動板短
辺長５０μｍと液室の壁の厚さ５０μｍを合わせた１０
０μｍとなった。

【００２５】

【発明の効果】請求項１に記載の静電駆動のインクジェ
ットヘッドでは、記録媒体の幅全体にわたってノズルが
形成されているので、キャリッジを移動することなくフ
ルラインにわたり同時に印字が可能であるため印字速度
が早い。そればかりでなく、フルラインにわたり配置さ
れている個々の液室からの液滴吐出を、静電引力すなわ
ち電流を流さず電圧で駆動するアクチュエータにより液
室内で発生する圧力波で行っているため、エネルギー消
費量が少なく、また、液室のキャビテーションダメー
ジ、液滴のサテライトの生成が少なく、従って、消費電
力が小さく、高耐久性のヘッドで高品質の画像が得られ
る。

【００２６】請求項２の発明は、記録媒体の幅全体にわ
たって形成されているノズルが複数列あり、各列のノズ
ルが記録媒体の送り方向に対し同一直線上にこないよう
に配列されているので、記録媒体の送り方向に対して直
交する方向でのノズル密度が高くなるため、高品質の画
像が得られる。

【００２７】請求項３の発明は、振動板を駆動するため
のすべての電極が単一の共通の基板上に形成されてお
り、振動板または液室が複数の基板から形成されおり、
単一の電極基板をフルラインヘッドの支持体として用い
ているため、個別のヘッドの共通の支持体として別の部
材を用いるよりも構造が簡単になり、小型のヘッドの構
成が可能である。

【００２８】請求項４の発明は、振動板を駆動するため
のすべての電極が１つの共通の基板上に形成されてお
り、振動板が多結晶シリコーン薄膜から、液室が複数の
シリコーン基板から形成されているので、一体の電極基
板をフルラインヘッドの支持体として用いているため、
個別のヘッドの共通の支持体としての別の部材を用いる
よりも構造が簡単になり、小型のヘッドの構成が可能で
あるばかりでなく、多結晶シリコーン薄膜を振動板とし
て用いているので、振動板の厚さが均一で個別のノズル
の特性の安定したヘッドが得られる。

【００２９】請求項５の発明は、単結晶シリコーン基板
が（１１０）配向基板であるインクジェットヘッドにお
いて、液室の壁が垂直に形成されるため、隣接するノズ
ル間の距離を狭くして高密度のインクジェットヘッドを
作製することができ、高速，高画質の印字が可能とな
る。

【００３０】請求項６の発明は、振動板を駆動するため
のすべての電極が形成されている単一の共通の基板上
に、複数の基板から形成されている振動板または液室を
接合するようにしたので、インクジェットヘッドの製造
において、フルラインヘッドの支持体としての一体の電
極基板上に個々の振動板，液室を接合していくので、構
造が簡単で小型のヘッドを低コストで製造することが可
能である。

【００３１】請求項７の発明は、振動板を駆動するため
のすべての電極が形成されている１つの共通の基板上
に、多結晶シリコーン薄膜からなる振動板と複数のシリ
コーン基板からなる液室を形成するインクジェットヘッ
ドの製造方法において、一体の電極基板をフルラインヘ
ッドの支持体として用いているため、個別のヘッドの共
通の支持体として別の部材を用いるよりも構造が簡単に
なり、小型のヘッドの構成が可能であるばかりでなく、
多結晶シリコーン薄膜を振動板として用いているので、
振動板の厚さが均一で個別のノズルの特性の安定したヘ
ッドを簡単な方法で形成できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明によるインクジェットヘッドの全体構
成を示す概念図（図１（Ａ））とその一部の内部構造を
示す断面図（図１（Ｂ））である。

【図２】 本発明によるインクジェットヘッドの他の実
施例を示す全体構成の概念図である。

【図３】 本発明によるインクジェットヘッドの他の実
施例を説明するための図である。

【図４】 本発明のインクジェットヘッドの製造方法の
一例を説明するための要部工程図である。

【図５】 本発明によるインクジェットヘッドの他の実
施例を説明するための図である。

【図６】 図５に示したインクジェットヘッドの製造方
法を説明するための要部工程図である。

【図７】 本発明によるインクジェットヘッドの他の構
成例を示す断面図である。

【符号の説明】

２０…液室基板、２１…振動板、２２…液室、３０…電
極基板、３１…電極、３２…ギャップ、３３…ガラス基
板、４０…流路基板、４１…流路、５０…ノズル基板、
５１…ノズル、１００，１００′…フルラインヘッド。

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液室の一部に振動板を有するとともに該
   液室の外側でかつ前記振動板に対向する位置に電極を有
   し、前記振動板と電極との間に電圧を印加したときの静
   電引力によって前記振動板を駆動することにより前記液
   室に連通するノズルからインク液滴を吐出するインクジ
   ェットヘッドにおいて、前記ノズルが記録媒体の幅全体
   にわたって形成されていることを特徴とするンクジェッ
   トヘッド。
2. 【請求項２】 記録媒体の幅全体にわたって形成されて
   いるノズルを複数列有し、各列のノズルが記録媒体の送
   り方向に対し同一直線上にこないように配列されている
   ことを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッ
   ド。
3. 【請求項３】 前記振動板を駆動するためのすべての電
   極が１つの共通の基板上に形成されており、前記振動板
   または液室が複数の基板から形成されていることを特徴
   とする請求項１又は２記載のインクジェットヘッド。
4. 【請求項４】 前記振動板を駆動するためのすべての電
   極が１つの共通の基板上に形成されており、前記振動板
   が多結晶シリコーン薄膜から、前記液室が複数のシリコ
   ーン基板から形成されていることを特徴とする請求項１
   記載のインクジェットヘッド。
5. 【請求項５】 前記液室を構成する基板が（１１０）配
   向の単結晶シリコーン基板であることを特徴とする請求
   項１記載のインクジェットヘッド。
6. 【請求項６】 液室の一部に振動板を有するとともに該
   液室の外側でかつ前記振動板に対向する位置に電極を有
   し、前記振動板と電極との間に電圧を印加したときの静
   電引力によって前記振動板を駆動することにより前記液
   室に連通するノズルからインク液滴を吐出するインクジ
   ェットヘッドの製造方法において、前記ノズルが記録媒
   体の幅全体にわたって形成され、前記振動板を駆動する
   ためのすべての電極が１つの共通の基板上に形成されて
   おり、前記振動板または液室が複数の基板から形成さ
   れ、前記１つの共通の基板上に、複数の基板から形成さ
   れている振動板または液室を接合することを特徴とする
   インクジェットヘッドの製造方法。
7. 【請求項７】 液室の一部に振動板を有するとともに該
   液室の外側でかつ前記振動板に対向する位置に電極を有
   し、前記振動板と電極との間に電圧を印加したときの静
   電引力によって前記振動板を駆動することにより前記液
   室に連通するノズルからインク液滴を吐出するインクジ
   ェットヘッドの製造方法において、前記ノズルが記録媒
   体の幅全体にわたって形成され、前記振動板を駆動する
   ためのすべての電極が１つの共通のガラス基板上に形成
   されており、前記振動板が多結晶シリコーン薄膜から、
   前記液室が複数のシリコーン基板から形成され、前記１
   つの共通のガラス基板上に、多結晶シリコーン薄膜から
   なる振動板と複数のシリコーン基板からなる液室を形成
   することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方
   法。