JPH06114550A

JPH06114550A - 精密ろう付け方法

Info

Publication number: JPH06114550A
Application number: JP4286855A
Authority: JP
Inventors: Yukihisa Takeuchi; 幸久武内; Natsuki Shimokawa; 夏己下河; Nobuo Takahashi; 伸夫高橋
Original assignee: NGK Insulators Ltd
Current assignee: NGK Insulators Ltd
Priority date: 1992-10-01
Filing date: 1992-10-01
Publication date: 1994-04-26
Anticipated expiration: 2016-09-25
Also published as: US5402926A; HK26097A; EP0590989B1; DE69304478D1; SG48712A1; DE69304478T2; JP3212382B2; EP0590989A1

Abstract

(57)【要約】【目的】ろう付け部からのろう材のはみ出しと、接合
面間における接合不良とを、防止して、それらに起因す
る問題を可及的に軽減乃至は解消せしめると共に、その
ようなろう付けを、容易に、且つ安価に行ない得る精密
ろう付け方法を提供する。【構成】ろう材として、接合対象部材の少なくとも一
方に対して濡れ性の低いろう材を用いる一方、該ろう材
を前記複数の接合対象部材の重ね合わせ面間におけるろ
う付け部に介在せしめるに先立って、該ろう材に対して
濡れ性の高い金属の薄膜により、前記一方の接合対象部
材においてろう付けされるべき面のパターンを、該一方
の接合対象部材のろう付け部に形成せしめ、更に、必要
に応じて、他方の接合対象部材にも同様な処理を施し
て、前記ろう材による接合対象部材のろう付けを行なう
ようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【技術分野】本発明は、インクジェットプリンタや各種
オーディオ製品等の精密機器に組み込まれる、小型部品
の精密ろう付方法に関するものである。

【０００２】

【背景技術】近年、ＯＡ機器やＡＶ機器等においては、
小型・軽量化が、急速に進んできており、それに伴い、
それらに組み込まれる個々の部品に対して、より一層の
小型化や寸法精度等の高精度化が、要求されている。例
えば、コンピュータの出力デバイス等として多用されて
いるインクジェットプリンタに用いられる、インクジェ
ットプリントヘッドにあっては、直径３０〜５０μｍの
微細孔を有するインクノズルや、数十〜数百μｍ幅の断
面を有するインク流路やインク溜等が、配置されてなる
構造とされている。

【０００３】そして、そのようなインクジェットプリン
トヘッドにあっては、それらインクノズルやインク流路
等を寸法精度良く設けるために、フォトリソグラフィ技
術によるエッチング、プレスやパンチング成形、或いは
レーザー加工等が施されることにより、それぞれ、種々
の通孔や窓部が形成せしめられた、薄肉の金属からな
る、複数の平板状プレートが、接合一体化せしめられて
構成されており、そのような通孔や窓部によって、その
内部にインク流路やインク溜が、また外部に向かって開
口するインクノズル等が、形成されているのである。

【０００４】ところで、かくの如く構成されたインクジ
ェットプリントヘッドにおいて、それら平板状プレート
の接合一体化に際しては、インクに対するシール性確保
の面から、有機系及び無機系の接着材が主に使用されて
いる。しかるに、その場合、それら接着材が、平板状プ
レートの接着部からはみ出し易いために、そのはみ出し
た接着材によって、インク流路等が変形し、製品の品質
が劣化してしまうことがあり、特に、有機系の接着材が
使用される場合にあっては、平板状プレートに設けられ
た通孔等を閉塞する等して、製品歩留りが著しく低下し
てしまうのである。なお、そのような接着材のはみ出し
を防止するために、接着材の使用量を抑えると、部分的
に接着不良の箇所が生じ易くなって、シール性が低下せ
しめられることとなる。

【０００５】このため、上記の如き問題を解決するため
に、例えば、（１）平板状プレートを、磁気を有する材
料にて作製して、その磁力で接合せしめる、（２）かか
る平板状プレートにおいて、その接合面に磁性流体を介
在させて、シール性を高める、（３）プラスチックの射
出成形で、流路プレートを製造する際に、予め、金型内
に、接合される金属プレートを配設せしめ、射出成形と
同時に、それらを一体化させる、（４）全べての平板状
プレートをプラスチック材料にて作製し、その接合面
に、プラスチックを溶かす有機溶剤を塗布した後、それ
らを圧着して、接合する等、様々な試みが為されてい
る。しかしながら、それらの方法は、何れにおいても、
材料や製造設備のコストアップ、或いはプラスチック材
料の使用による寸法精度や強度の低下等の別の問題を内
在するものであって、安価で高性能なインクジェットプ
リントヘッドを得る上では、到底、実用に供し得るもの
ではなかったのである。

【０００６】また、一般的なろう付けによって、金属か
らなる平板状プレートを接合一体化せしめる試みも為さ
れてはいるが、その場合においても、それらの接合性を
高めるために、通常、かかる平板状プレートに対して濡
れ性の高いろう材が、選択、使用されることから、ろう
材が、ろう付け部から、その周囲へ濡れ広がってしま
い、ろう付け部周囲へのろう材のはみ出しを回避するこ
とができず、そしてそのはみ出したろう材によって、イ
ンクノズルが閉塞されてしまうといった、不具合が発生
しているのである。更に、そこにおいて、平板状プレー
トに対して濡れ性の低いろう材が用いられる場合にあっ
ては、ろう付け部全体を、かかるろう材にて、均一に被
覆することが難しく、部分的に接合不良の箇所が生じ
て、例えば、インク加圧室のシール性が不完全となっ
て、圧力漏れが発生したり、ろう付け面間にギャップが
残って、エア残留とそれによる加圧圧力損失が生じ、イ
ンク吐出特性が低下したりするといった問題が惹起され
る恐れがあるのである。

【０００７】一方、最近では、ろう付け手法において、
所謂真空ろう付け法が確立され、小型精密部品の接合に
対して、種々適用されてきている。そして、この真空ろ
う付け法によれば、使用される平板状プレートに対し
て、濡れ性の高いろう材を用いても、上記の如き構造の
インクジェットプリントヘッドが、インクノズルの閉塞
等の問題が惹起せしめられることなく、高精度に製造さ
れ得ることが知られている。

【０００８】しかしながら、この真空ろう付法にあって
は、ろう材を加熱溶融せしめるに際して、大がかりな真
空熱処理炉が必要とされるため、その設置に多大な費用
が費やされることとなり、その結果、一般的なろう付け
手法に比して、高コストとなることが、避けられないの
である。

【０００９】

【解決課題】ここにおいて、本発明は、上述の如き事情
を背景として為されたものであって、その解決課題とす
るところは、接合対象部材に対して濡れ性の低いろう材
を用いて、ろう付け部からのろう材のはみ出しを防止
し、更には接合面間における接合不良をも防止して、そ
れらに起因する問題を、可及的に軽減乃至は解消せしめ
得ると共に、そのようなろう付けを、容易に、且つ低コ
ストに行なうことのできる精密ろう付け方法を提供する
ことにある。

【００１０】

【解決手段】そして、かかる課題を解決するために、本
発明の特徴とするところは、複数の接合対象部材の重ね
合わせ面間におけるろう付け部に所定のろう材を介在せ
しめた後、加熱処理して、それら接合対象部材をろう付
けするに際して、前記ろう材として、前記接合対象部材
の少なくとも一方に対して濡れ性の低いろう材を用いる
一方、該ろう材を前記複数の接合対象部材の重ね合わせ
面間におけるろう付け部に介在せしめるに先立って、該
ろう材に対して濡れ性の高い金属の薄膜により、前記一
方の接合対象部材においてろう付けされるべき面のパタ
ーンを該一方の接合対象部材のろう付け部に形成せし
め、更に必要に応じて他方の接合対象部材にも同様な処
理を施して、前記ろう材による接合対象部材のろう付け
を行なうようにしたことにある。

【００１１】また、本発明は、有利には、前記一方の接
合対象部材が、ステンレススチールからなるものとされ
ると共に、前記ろう材として、銀ろうが用いられ、更に
は、前記ろう材に対して濡れ性の高い金属の薄膜とし
て、ニッケルメッキ膜が、パターニングされることとな
る。

【００１２】

【具体的構成・実施例】以下、本発明を更に具体的に明
らかにするために、本発明の代表的な実施例について、
図面を参照しつつ、詳細に説明することとする。

【００１３】先ず、図１には、本発明方法を適用して製
造されたインクジェットプリントヘッドの概略構成図
が、示されている。そこにおいて、インクジェットプリ
ントヘッド１０は、インクノズル部材１２とインクポン
プ部材１４とが接合一体化されることによって、形成さ
れている。そして、供給口１６からインク供給流路１８
に供給されたインクが、第一の連通孔２０を通じて、イ
ンク加圧室２２内に流通せしめられ、更にインクポンプ
部材１４の、インクノズル部材１２が接合せしめられる
側とは反対側の面上に設けられた圧電／電歪素子２４の
作動に基づいて、インク加圧室２２内のインクが、第二
の連通孔２６を通じて、ノズル孔２８から噴出されるよ
うになっているのである。

【００１４】ところで、このような構造とされたインク
ジェットプリントヘッド１０を製造するに際しては、先
ず、グリーンシートを用いて、閉塞プレート３０、スペ
ーサプレート３２及び接続プレート３４が形成され、そ
れらが一体化せしめられて、インクポンプ部材１４が作
製されることとなる。

【００１５】より詳細には、図２に示されているよう
に、略薄肉の平板形状を呈するグリーンシートに対し
て、その板厚方向の一方の面上に、従来から公知の膜形
成法等によって、３個の圧電／電歪素子２４を設けて、
閉塞プレート３０を形成する。また、別のグリーンシー
トに対して、板厚方向に貫通する、長手矩形状の窓部３
６を、常法に従って、３個設けることにより、スペーサ
プレート３２を形成し、更にまた、別のグリーンシート
に対して、板厚方向に貫通し、前記第一の連通孔２０及
び第二の連通孔２６を構成する、第一の開口部３８及び
第二の開口部４０を、それぞれ、３個ずつ、常法に従い
穿設して、接続プレート３４を形成せしめる。

【００１６】次いで、かくして形成されたスペーサプレ
ート３２が、同じく上記のようにして、それぞれ、形成
された閉塞プレート３０及び接続プレート３４にて挟ま
れるように、それら３枚のプレート（３０，３２，３
４）を配置せしめ、更に接続プレート３４の各第一の開
口部３８と各第二の開口部４０とが、また閉塞プレート
３０を介して、各圧電／電歪素子２４が、それぞれ、ス
ペーサプレート３２の各窓部３６に対応して位置せしめ
られるように、積層せしめる。そして、その後、かくし
て得られた積層体を焼成して、一体化せしめることによ
って、インクポンプ部材１４を作製するのである。ま
た、そこにおいて、スペーサプレート３２の各窓部３６
が、閉塞プレート３０にて覆蓋せしめられることによ
り、かかるインクポンプ部材１４の内部に、前記インク
加圧室２２が形成されることとなる。なお、閉塞プレー
ト３０上に設けられる圧電／電歪素子２４にあっては、
かかる焼成操作の後に、形成せしめることも可能であ
る。

【００１７】一方、インクノズル部材１２は、インクポ
ンプ部材１４の作製の後に、或いはそれに先立って、Ｓ
ＵＳ３０４を用いて、オリフィスプレート４２、流路プ
レート４４及びノズルプレート４６が形成され、それら
が、ＳＵＳ３０４に対して濡れ性の低い銀ろうによって
ろう付けされ、一体化せしめられて、形成されることと
なる。

【００１８】具体的には、先ず、ＳＵＳ３０４からな
る、略薄肉の平板に対して、レーザ加工技術、機械加工
技術、フォトリソグラフィ技術等の公知の技術により、
第一の連通孔２０を構成する、３個の第一のオリフィス
孔４８と、第二の連通孔２６を構成する、３個の第二の
オリフィス孔５０と、図示しないインクタンクからイン
クを供給する、前記供給口１６とを、それぞれ、設け
て、オリフィスプレート４２を形成する。更に、別のＳ
ＵＳ３０４からなる、略薄肉の平板に対して、前記と同
様な技術により、３個の通孔５２と、１個の窓部５４と
を設けて、流路プレート４４を形成し、更にまた、別の
ＳＵＳ３０４からなる、略薄肉の平板に対して、前記と
同様にして、前記ノズル孔２８を３個設けて、ノズルプ
レート４６を形成する。

【００１９】引き続いて、かくして形成された各プレー
ト（４２，４４，４６）の全面をエチルアルコールにて
超音波洗浄した後、図３に示されるように、オリフィス
プレート４２の第一のオリフィス孔４８及び第二のオリ
フィス孔５０と、流路プレート４４の通孔５２と、ノズ
ルプレート４６のノズル孔２８の、各プレートの上、下
面における開口部に対して、それらが、それぞれ、覆蓋
されるように、従来から公知のスクリーン印刷技術等の
パターニング技術等によって、所定の樹脂膜５６を形成
する。そして、その後、それら３枚のプレートをオーブ
ン中に収容せしめて、各樹脂膜５６を加熱、硬化せしめ
る。

【００２０】次いで、それら３枚のプレート（４２，４
４，４６）において、前記樹脂膜５６にて被覆せしめら
れていない部位に対して、後述するろう付けに際して、
ろう材として使用される銀ろうに対して濡れ性の高いニ
ッケル（Ｎｉ）の薄膜（層）を、一般的な電解メッキ手
法により、約１μｍの厚さにて、形成せしめる。

【００２１】その後、かくしてＮｉの薄膜が外表面に形
成せしめられた、３枚のプレートを、公知の樹脂膜剥離
液に、所定時間浸漬して、かかる樹脂膜５６を除去せし
める。そして、それより、図４に示されるように、オリ
フィスプレート４２、流路プレート４４、及びノズルプ
レート４６において、第一のオリフィス孔４８，第二の
オリフィス孔５０、通孔５２、及びノズル孔２８等の微
細孔の内部及びその周囲のみが、プレート表面が剥き出
しの状態とされる一方、その他の部位、即ち、それら３
枚のプレート（４２，４４，４６）のろう付け部におけ
る、ろう付けされるべき面に対して、それぞれ、かかる
面に対応するＮｉメッキ膜パターン５８が形成せしめら
れることとなるのである。なお、樹脂膜５６やこれを除
去せしめる樹脂膜剥離液は、それら３枚のプレート（４
２，４４，４６）を変形若しくは変質せしめるものでな
ければ、印刷用ペースト、レジスト、フィルム等の従来
から公知のものの、何れもが、使用され得る。

【００２２】一方、オリフィスプレート４２、流路プレ
ート４４及びノズルプレート４６をろう付けせしめる、
ろう材たる銀ろうとしては、図５に示されているよう
に、それら３枚のプレートと略同一寸法を有する、厚さ
約１５μｍの銀ろう材箔６０が、２枚用いられる。ま
た、この銀ろう材箔６０にあっては、その略中央部に、
流路プレート４４の窓部５４と略同一形状の窓部６２
が、更に該窓部６２の長手方向に対向する位置に、略矩
形状を呈する３個の透孔６４が、設けられることとな
る。

【００２３】そして、それら２枚の銀ろう材箔６０，６
０と、前記３枚のプレート（４２，４４，４６）を、そ
れぞれ、図５に示される如き順に配置して、積層せしめ
る。なお、その際、それらは、第二のオリフィス孔５０
と、通孔５２と、ノズル孔２８と、各銀ろう材箔６０の
透孔６４とが、対応して位置するように、また流路プレ
ート４４の窓部５４と、各銀ろう材箔６０の窓部６２と
が、対応して位置し、且つオリフィスプレート４２の第
一のオリフィス孔４８と、供給口１６とが、該窓部５４
に対して、開口して位置せしめられるように、重ね合わ
されることとなる。

【００２４】その後、かかる積層体の上面に、モリブデ
ン製の重しを載荷せしめた後、それら積層体をベルト炉
中に収容せしめて、加熱し、前記３枚のプレート（４
２，４４，４６）の重ね合わせ面間に介在せしめられ
た、２枚の銀ろう材箔６０，６０を、溶融せしめる。そ
うして、かかる積層体がろう付けされ、一体化せしめら
れて、インクノズル部材１２が作製されるのである。

【００２５】而して、かくの如く形成せしめられたイン
クノズル部材１２を、インクポンプ部材１４の、圧電／
電歪素子２４が設けられた側とは反対側に、配置せし
め、更に、インクノズル部材１２の第一のオリフィス孔
４８及び第二のオリフィス孔５０と、インクポンプ部材
１４の第一の開口部３８及び第二の開口部４０とが、そ
れぞれ、対向して位置し、且つそれらにより、前記第一
の連通孔２０及び第二の連通孔２６が形成されるよう
に、それらを重ね合わせる。そうして、かかる状態にお
いて、それらインクノズル部材１２とインクポンプ部材
１４とを、適当な接着剤、例えばエポキシ樹脂等を用い
て、接合一体化せしめることによって、目的とするイン
クジェットプリントヘッド１０が作製されることとなる
のである（図１参照）。なお、かかる接着剤としては、
ステンレススチールとセラミックスとを、良好に接着し
得るものであれば、如何なるものも、採用され得る。

【００２６】ここにおいて、銀ろうは、前記したよう
に、Ｎｉに対しては濡れ性が高く、ＳＵＳ３０４（ステ
ンレススチール）に対しては、逆に濡れ性が低いもので
ある。このため、かかるインクジェットプリントヘッド
１０のインクノズル部材１２を構成する３枚のプレート
（４２，４４，４６）をろう付けするに際して、加熱さ
れ、溶融せしめられた銀ろう材箔６０，６０は、それら
３枚のプレートの重ね合わせ面間において、Ｎｉメッキ
膜パターン５８上には、良好に濡れ広がるのであるが、
Ｎｉメッキが施されていない、ＳＵＳ３０４製のプレー
ト表面が剥き出しの状態とされた第一のオリフィス孔４
８、第二のオリフィス孔５０、通孔５２、及びノズル孔
２８の周囲に対しては、殆ど濡れ広がることはない。

【００２７】それ故、かくの如くして、オリフィスプレ
ート４２と流路プレート４４とノズルプレート４６とを
ろう付けせしめる場合にあっては、それら３枚のプレー
ト（４２，４４，４６）を十分に接合し得る量のろう材
を使用しても、ろう付け部のろう付けされるべき面か
ら、ろう材がはみ出すことが、良好に防止され得るので
ある。

【００２８】従って、かかるインクジェットプリントヘ
ッド１０のインクノズル部材１２にあっては、ろう材の
はみ出しによるインク流路の変形やノズル孔等の微細孔
の閉塞等の問題、更には、用いられるろう材の使用量不
足による接合不良に伴う、シール性の低下やギャップの
残存等の問題が、効果的に解消乃至は軽減せしめられ得
るのである。

【００２９】しかも、かかるインクノズル部材１２を構
成する、３枚のプレート（４２，４４，４６）を、上記
の如くろう付けするに際しては、それら３枚のプレート
に対して、一般的な電解メッキ手法により、Ｎｉメッキ
を施す前処理が実施される以外、通常のろう付け手法と
同様な操作が実施されるものであって、特別な操作や設
備等が、何等必要とされるものではないため、上記の如
き優れた特徴を有するインクノズル部材１２が、容易
に、且つ安価に製造され得るのである。

【００３０】因みに、本実施例に係るインクジェットプ
リントヘッド１０のインクノズル部材１２に設けられ
た、第一のオリフィス孔４８、第二のオリフィス孔５
０、通孔５２、ノズル孔２８を顕微鏡を用いて観察した
ところ、それらの全べてにおいて、ろう材のはみ出しに
よる変形や閉塞は、何等認められなかった。また、この
インクノズル部材１２を、図１に示されるような状態に
切断して、その断面を研磨し、顕微鏡を用いて観察した
ところ、３枚のプレート（４２，４４，４６）が、それ
らの重ね合わせ面間における、各ろう付け部に形成され
たＮｉメッキ膜パターン５８間において、銀ろう材によ
り、均一に接合されていることが確認され、接合不良箇
所等は、認められなかった。

【００３１】また、比較のために、前記と同様にして得
たオリフィスプレート、流路プレート及びノズルプレー
トに対して、Ｎｉメッキを施さずに、即ち、それら３枚
のプレートのろう付け部のろう付けされるべき面に対し
て、Ｎｉメッキ膜パターン５８を形成せしめることな
く、前記と同様にして、積層し、加熱、ろう付けせしめ
た。そして、かくして得られた積層体を切断、研磨し
て、その断面を顕微鏡を用いて観察したところ、それら
３枚のプレートの重ね合わせ面間において、随所に空隙
が認められ、特に、ノズル孔の近傍には、ギャップの存
在が観察された。

【００３２】さらに、上記と同様に、Ｎｉメッキ膜パタ
ーン５８が形成されていない、３枚のプレートを、銀ろ
う材ではなく、Ｎｉろうを用いて、ろう付けせしめた。
なお、かかるろう付けに際しては、それら３枚のプレー
トのろう付けされるべき面に対して、Ｎｉろうのペース
トを印刷した後、上記と同様にして、それら３枚のプレ
ートを積層し、加熱せしめた。そして、かくして得られ
た積層体の第一のオリフィス孔、第二のオリフィス孔、
通孔、及びノズル孔を、顕微鏡を用いて観察したとこ
ろ、ろう材のはみ出しによって、それらの微細孔が閉塞
してしまっていることが確認された。

【００３３】以上、本発明の実施例について、詳述して
きたが、これは文字通りの例示であって、本発明は、か
かる具体例にのみ限定して解釈されものではない。

【００３４】例えば、前記実施例では、オリフィスプレ
ート４２、流路プレート４４及びノズルプレート４６を
ろう付けするろう材として、所定形状に加工せしめられ
た銀ろう材箔６０を使用したが、ペースト状の銀ろうを
用いて、Ｎｉメッキ膜パターン５８上に、所定厚さをも
って印刷せしめ、これを加熱溶融せしめて、それら３枚
のプレートをろう付けすることも可能である。また、そ
うすることによって、コストをより低減せしめ得る利点
が、得られることとなる。

【００３５】また、Ｎｉメッキ膜パターン５８の形成方
法としては、前記実施例における如き手法に限定される
ものではなく、例えば、インクノズル部材１２を構成す
る、３枚のプレート（４２，４４，４６）の全面にＮｉ
メッキを施した後、化学エッチング等のフォトリソグラ
フィ技術により、ノズル孔２８等の微細孔の内部及び周
囲のＮｉメッキを、それぞれ、剥離せしめて、ろう付け
されるべき面に対応するＮｉメッキ膜パターン５８を形
成することも可能であり、更に、そのような薄膜パター
ンの形成においても、前記実施例の如き電解メッキだけ
でなく、スパッタリングや、その他、従来から公知の薄
膜形成技術が、何れも、採用され得る。

【００３６】加えて、前記実施例では、本発明を、イン
クジェットプリントヘッドのインクノズル部材を構成す
る、３枚のプレートの接合に対して適用したものの具体
例を示したが、その他、高い寸法精度等が要求される、
小型精密部品のろう付けによる接合に対しても、同様
に、適用され得ることは、勿論であり、その際には、接
合される小型精密部品の材質に応じて、ろう材の種類
が、また、ろう付けされるべき面に薄膜形成される金属
の種類が、それぞれ、適宜に選定されることとなる。

【００３７】なお、本発明に従って製造されるインクジ
ェットプリントヘッド１０において、ノズル孔２８、第
一及び第二の開口部３８，４０、第一及び第二のオリフ
ィス孔４８，５０、通孔５２等は、極めて微細なもので
あり、また銀ろう材箔６０も極薄のものであるが、添付
の図面においては、理解を容易にするために、それら
が、他の部分に対して誇張されて示されており、実際の
寸法に対応していないことが、理解されるべきである。

【００３８】その他、一々列挙はしないが、本発明は、
当業者の知識に基づいて、種々なる変更、修正、改良等
を加えた態様において実施され得るものであり、また、
そのような実施態様が、本発明の趣旨を逸脱しない限
り、何れも、本発明の範囲内に含まれるものであること
は、言うまでもないところである。

【００３９】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に従う精密ろう付け方法にあっては、ろう材として、接
合対象部材の少なくとも一方に対して、濡れ性の低いろ
う材が用いられる一方、かかる接合対象部材に対する前
処理として、該ろう材に対して濡れ性の高い金属の薄膜
により、前記一方又は両方の接合対象部材のろう付けさ
れるべき面のパターンが、それら接合対象部材のろう付
け部に形成せしめられるところから、加熱溶融せしめら
れたろう材が、接合対象部材の重ね合わせ面間におい
て、実質的に、ろう付けされるべき面にのみ濡れ広がっ
て、そうでない部位、即ち、ろう材の介在が不要とされ
る部位に対しては、濡れ広がることはないのである。

【００４０】従って、本発明に係る精密ろう付け方法に
よれば、接合対象部材を十分に接合し得る量のろう材を
使用しつつ、ろう付け部において、ろう材により、実際
にろう付けされる面の範囲を精密に管理し得て、ろう付
け部からのろう材のはみ出しが、良好に防止され得、そ
れと同時に、それら接合対象部材間における接合不良を
も、有効に防止され得のであり、それによって、ろう材
のはみ出しや接合不良に起因する問題が、悉く解消乃至
は軽減され得ることとなったのである。

【００４１】しかも、かかる精密ろう付け方法において
は、その前処理として、比較的簡便な手法をもって、接
合対象部材に対して、ろう付けされるべき面のパターン
が、金属の薄膜により形成せしめられる以外、一般的な
ろう付け手法と同様な操作が実施されるものであり、更
には、その工程中において、真空ろう付け法にみられる
如き、真空熱処理炉を用いた加熱処理といった、特別な
操作や設備は全く不要であることから、かかる方法よれ
ば、小型精密部品のろう付けが、従来に比して、容易に
且つ安価に行ない得ることとなったのである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明方法に従って作製されたインクノズル部
材を有する、インクジェットプリントヘッドの具体例を
示す縦断面説明図である。

【図２】図１に示されたインクジェットプリントヘッド
の構造を説明するための分解斜視図である。

【図３】本発明方法に従ってインクノズル部材を作製す
るための一工程例を示す説明図である。

【図４】本発明方法に従ってインクノズル部材を作製す
るための、別の一工程例を示す説明図である。

【図５】本発明方法に従ってインクノズル部材を作製す
るための、更に別の一工程例を示す説明図である。

【符号の説明】

１０インクジェットプリントヘッド１２インクノズル部材２０第一の連通孔２６第二の連通孔２８ノズル孔３８第一の開口部４０第二の開口部４２オリフィスプレート４４流路プレート４６ノズルプレート４８第一のオリフィス孔５０第二のオリフィス孔５２通孔５６樹脂膜５８Ｎｉメッキ膜パターン６０銀ろう材箔

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の接合対象部材の重ね合わせ面間に
おけるろう付け部に所定のろう材を介在せしめた後、加
熱処理して、それら接合対象部材をろう付けするに際し
て、前記ろう材として、前記接合対象部材の少なくとも一方
に対して濡れ性の低いろう材を用いる一方、該ろう材を
前記複数の接合対象部材の重ね合わせ面間におけるろう
付け部に介在せしめるに先立って、該ろう材に対して濡
れ性の高い金属の薄膜により、前記一方の接合対象部材
においてろう付けされるべき面のパターンを該一方の接
合対象部材のろう付け部に形成せしめ、更に必要に応じ
て他方の接合対象部材にも同様な処理を施して、前記ろ
う材による接合対象部材のろう付けを行なうようにした
ことを特徴とする精密ろう付け方法。
【請求項２】前記一方の接合対象部材がステンレスス
チールからなるものであり、且つ前記ろう材が銀ろうで
あることを特徴とする請求項１に記載の精密ろう付け方
法。
【請求項３】前記ろう材に対して濡れ性の高い金属の
薄膜パターンが、ニッケルメッキ膜パターンであること
を特徴とする請求項２に記載の精密ろう付け方法。