JPH0825625A - インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents

インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法

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JPH0825625A
JPH0825625A JP6159976A JP15997694A JPH0825625A JP H0825625 A JPH0825625 A JP H0825625A JP 6159976 A JP6159976 A JP 6159976A JP 15997694 A JP15997694 A JP 15997694A JP H0825625 A JPH0825625 A JP H0825625A
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cavity
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Yoshio Shida
善男 志田
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 寸法精度を向上させ、かつ良好なインクの供
給を行い得るようにする。 【構成】 Ｓ１において、空孔パターン部材１を形成す
る。Ｓ３において、空孔パターン部材１を電極４が印刷
された圧電シート３で挟み込むようにして積層する。Ｓ
４において、圧電シート３を空孔パターン部材１に圧着
し、脱バインダ工程により、空孔パターン部材１を取除
き、インクキャビティ６を形成する。Ｓ５において、焼
結を行う。そして、圧着工程Ｓ４および焼結工程Ｓ５の
前に、あらかじめ、空孔パターン部材１の表面に金属箔
膜を塗布する工程Ｓ２を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェットプリン
タ用プリンタヘッドに関し、特に積層型圧電素子のイン
クジェット記録ヘッドおよびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】周知のように、この種のインクジェット
記録ヘッドは、圧電効果を利用してインクキャビティを
構成する圧力室および流路内のインクをインクノズルか
ら液滴状に噴射させている。図４は従来のインクジェッ
ト記録ヘッドの製造方法を示す図で、（ａ）は製造工程
図、（ｂ）は製造工程によって形成されるインクジェッ
ト記録ヘッドの形成過程図である。同図に基づいて従来
のインクジェット記録ヘッドの製造方法を説明する。
【０００３】Ｓ１０において、感光性樹脂からなる空孔
パターン部材１０を形成し、Ｓ１１において、空孔パタ
ーン部材１０を圧電材シート１１に熱圧着して塗布し、
Ｓ１２において、電極１２ａが印刷された圧電シート１
２を積層後、圧着し、Ｓ１３において、脱バインダ工程
で形成バインダおよび空孔パターン部材５を取り除き、
インクキャビティ１３を形成し、Ｓ１４において焼結を
行う。また、空孔パターン部材１０を炭素で形成した場
合には、Ｓ１４の焼結工程において、空孔パターン部材
１０を取り除きインクキャビティ１３を形成する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の積層型圧電素子のインクジェット記録ヘッドの
製造方法においては、脱バインダ工程で形成したインク
キャビティ１３の内面に圧電材１１が露出しているた
め、焼結工程において、圧電材１１が欠損したり、イン
クキャビティ１３の寸法が変化して、寸法精度が低下す
るといった問題があった。また、インクキャビティ１３
の内面に圧電材１１が露出しているため、インクキャビ
ティ１３内にインクを充填した際にインクが圧電材１１
に浸透したり、インクの圧電材１１に対する親水性が悪
く、このためインクキャビティ１３内におけるインクの
流れが悪いといった問題もあった。
【０００５】したがって、本発明は上記した従来の問題
に鑑みてなされたものであり、その目的とするところ
は、寸法精度を向上させ、かつ良好なインクの供給を行
い得るインクジェット記録ヘッドおよびその製造方法を
提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明に係るインクジェット記録ヘッドは、インク
キャビティと、電極が印刷され前記インクキャビティを
挟み込むようにして積層した圧電材シートとからなり、
前記インクキャビティの内面に金属箔膜が塗布されたも
のである。また、本発明に係るインクジェット記録ヘッ
ドの製造方法は、インクキャビティを形成する感光性樹
脂または炭素からなる空孔パターン部材の表面に金属箔
膜を施し、しかるのち空孔パターン部材に電極が印刷し
てある圧電材シートを積層後、圧着し、脱バインダ工程
および焼結工程を行うものである。
【０００７】
【作用】本発明によれば、インクキャビティの内面に塗
布された金属箔膜により、インクキャビティ内にインク
を充填した際にインクが圧電材に浸透することなく、ま
たインクの金属箔膜に対する親水性が良く、このためイ
ンクキャビティ内におけるインクの流れが良好となる。
また、本発明によれば、空孔パターン部材の表面に金属
箔膜を施しているので、焼結工程において、圧電材が欠
損したり、インクキャビティの寸法が変化することがな
い。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図に基づいて説明
する。図１は本発明に係るインクジェット記録ヘッドの
製造方法を示し、（ａ）は製造工程図、（ｂ）は製造工
程によって形成される形成過程図、図２は同じく空孔パ
ターンの斜視図、図３は本発明に係るインクジェット記
録ヘッドの斜視図である。これらの図において、まずＳ
１において、空孔パターン部材１を形成する。空孔パタ
ーン部材１は全体が平板状に形成された感光性樹脂から
なり、中央に圧力室形成部１ａが、両端に流路形成部１
ｂが、また隣接する空孔パターン部材１を連設するイン
ク供給路形成部１ｃがそれぞれ形成されている。
【０００９】次にＳ２において、この空孔パターン部材
１の表面にニッケル等の金属メッキを施し、金属箔膜層
２を形成する。さらに、Ｓ３において、表面に金属箔膜
層２を形成した空孔パターン１に、電極４が印刷されて
いる圧電材シート３を挟み込むようにして積層する。そ
して、Ｓ４において、圧電材シート３を空孔パターン１
に圧着して、本体５を形成するとともに、約５００℃の
比較的長時間の加熱を行う脱バインダ工程で、感光性樹
脂を溶融して本体５から空孔パターン１を取り除き、イ
ンクキャビティ６を形成する。このとき、インクキャビ
ティ６の内面に金属箔膜２が塗布された状態となる。
【００１０】形成されたインクキャビティ６は、図３に
示すように、圧力室６ａ、流路６ｂおよびインク供給路
６ｃで構成されている。最後にＳ５において、約１２０
０℃の加熱による焼結工程を行う。
【００１１】このように、圧電材、電極積層工程Ｓ３お
よび圧着工程Ｓ４の前に、空孔パターン部材１の表面に
金属箔膜層２を形成しているので、金属箔膜層２が補強
機能を有して、焼結工程において、圧電材３の欠損や、
インクキャビティ６の寸法の変化を防止することがで
き、寸法精度を向上させることが可能となる。
【００１２】また、インクキャビティ６の内面に塗布し
た金属箔膜２により、インクキャビティ６内にインクを
充填した際にインクが圧電材３に浸透することなく、ま
たインクの金属箔膜２に対する親水性が良いため、イン
クキャビティ６内におけるインクの流れが良好となる。
【００１３】なお、本実施例では、空孔パターン部材１
を感光性樹脂で形成したが、これに限定されず、炭素で
形成してもよく、この場合空孔パターン部材１を取り除
く工程は、焼結工程Ｓ５で行われる。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、イ
ンクキャビティと、電極が印刷され前記インクキャビテ
ィを挟み込むようにして積層した圧電材シートとからな
り、前記インクキャビティの内面に金属箔膜が塗布され
たことにより、インクキャビティ内にインクを充填した
際にインクの圧電材への浸透を防止するとともに、金属
箔膜よりインクキャビティ壁面に対するインクの親水性
を向上させることができるので、インクキャビティ内に
おけるインクの流れが良好となる。
【００１５】また、本発明によれば、インクキャビティ
を形成する感光性樹脂または炭素からなる空孔パターン
部材の表面に金属箔膜を施し、しかるのち空孔パターン
部材に電極が印刷してある圧電材シートを積層後、圧着
し、脱バインダ工程および焼結工程を行うことにより、
圧電材シート積層工程および圧着工程の前に、空孔パタ
ーン部材１の表面に表面補強用の金属箔膜層を形成する
ことができるので、焼結工程において、圧電材シートの
欠損を防止するとともに、インクキャビティの寸法の変
化を防止することができ、寸法精度を向上させることが
可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 （ａ）は、本発明に係るインクジェット記録
ヘッドの製造工程図、（ｂ）は、製造工程図に対応した
インクジェット記録ヘッドの形成過程図である。
【図２】 本発明に係るインクジェット記録ヘッドの空
孔パターン部材の斜視図である。
【図３】 本発明に係るインクジェット記録ヘッドの斜
視図である。
【図４】 （ａ）は、従来のインクジェット記録ヘッド
の製造工程図、（ｂ）、は製造工程図に対応したインク
ジェット記録ヘッドの形成過程図である。
【符号の説明】
１…空孔パターン部材、１ａ…圧力室形成部、１ｂ…流
路形成部、１ｂ…インク供給路形成部、２…金属箔膜
層、３…圧電材シート、４…電極、６…インクキャビテ
ィ。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 インクキャビティと、電極が印刷され前
    記インクキャビティを挟み込むようにして積層した圧電
    材シートとからなり、前記インクキャビティの内面に金
    属箔膜が塗布されたことを特徴とするインクジェット記
    録ヘッド。
  2. 【請求項２】 インクキャビティを形成する感光性樹脂
    または炭素からなる空孔パターン部材の表面に金属箔膜
    を施し、しかるのち空孔パターン部材に電極が印刷して
    ある圧電材シートを積層後、圧着し、脱バインダ工程お
    よび焼結工程を行うことを特徴とするインクジェット記
    録ヘッドの製造方法。
  3. 【請求項３】 請求項２記載のインクジェット記録ヘッ
    ドの製造方法において、前記金属薄膜を金属メッキで施
    したことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造
    方法。
JP6159976A 1994-07-12 1994-07-12 インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 Pending JPH0825625A (ja)

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