JPH068432A - 圧電インクジェット方式プリントヘッド及びその製法 - Google Patents
圧電インクジェット方式プリントヘッド及びその製法Info
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- JPH068432A JPH068432A JP5094389A JP9438993A JPH068432A JP H068432 A JPH068432 A JP H068432A JP 5094389 A JP5094389 A JP 5094389A JP 9438993 A JP9438993 A JP 9438993A JP H068432 A JPH068432 A JP H068432A
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、圧電インクジェット方式プリント
ヘッド及びその製造方法を提供するものである。 【構成】 圧電インクジェット方式プリントヘッド１０
は圧電体１２を含み、この圧電体１２は対峙する面に電
極２２を有する上部が開口している複数の並列溝１６を
形成する。導体２６を電極２２にリフローはんだ付けす
ることによって、並列溝１６の開口している上部と合同
の並列導体のパターンを有するトップカバー２４は圧電
体１２に固定される。得られたはんだ接着は非常に硬
く、よってプリントヘッド性能を向上させ、またこの導
体によって都合のよい電気接触が電極に提供される。
ヘッド及びその製造方法を提供するものである。 【構成】 圧電インクジェット方式プリントヘッド１０
は圧電体１２を含み、この圧電体１２は対峙する面に電
極２２を有する上部が開口している複数の並列溝１６を
形成する。導体２６を電極２２にリフローはんだ付けす
ることによって、並列溝１６の開口している上部と合同
の並列導体のパターンを有するトップカバー２４は圧電
体１２に固定される。得られたはんだ接着は非常に硬
く、よってプリントヘッド性能を向上させ、またこの導
体によって都合のよい電気接触が電極に提供される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ドロップ・オン・デマ
ンド型インクジェット方式印刷装置に関し、より詳細に
は、並列溝のアレイよりなる圧電体を有する圧電インク
ジェット方式プリントヘッドを採用したタイプのインク
ジェット方式印刷装置に関する。
ンド型インクジェット方式印刷装置に関し、より詳細に
は、並列溝のアレイよりなる圧電体を有する圧電インク
ジェット方式プリントヘッドを採用したタイプのインク
ジェット方式印刷装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】高密度のマルチ溝インクジェット方式プ
リントヘッドが米国特許第５、０１６、０２８号に開示
されており、同特許はテンプル(Temple)に対して１９９
１年５月１４日に発行されたものである。このプリント
ヘッドは、シートに対して正の方向に極性化（poled ）
されていて溝の長さに対して正のアレイ方向に互いに間
隔をあけて配置された複数の並列溝を有するシート状圧
電体を含む。各溝はそれぞれ、対向する側壁とこれら側
壁間に設けられた底面よりなる。ニッケルクロミウムす
なわちニクロムなどの適切な金属から形成された電極が
２つの側壁の対峙する面に設置されて、剪断モードアク
チュエータを形成してその剪断モードアクチュエータに
関連する溝から小滴を放出する。各電極は、それぞれに
対応する側壁の長さにほぼ沿って設けられている。トッ
プシートが溝の底面に平行に配置されて、そして側壁上
部に接着されて溝を封する。
リントヘッドが米国特許第５、０１６、０２８号に開示
されており、同特許はテンプル(Temple)に対して１９９
１年５月１４日に発行されたものである。このプリント
ヘッドは、シートに対して正の方向に極性化（poled ）
されていて溝の長さに対して正のアレイ方向に互いに間
隔をあけて配置された複数の並列溝を有するシート状圧
電体を含む。各溝はそれぞれ、対向する側壁とこれら側
壁間に設けられた底面よりなる。ニッケルクロミウムす
なわちニクロムなどの適切な金属から形成された電極が
２つの側壁の対峙する面に設置されて、剪断モードアク
チュエータを形成してその剪断モードアクチュエータに
関連する溝から小滴を放出する。各電極は、それぞれに
対応する側壁の長さにほぼ沿って設けられている。トッ
プシートが溝の底面に平行に配置されて、そして側壁上
部に接着されて溝を封する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ＰＺＴなど多孔性圧電
セラミクスから圧電体が形成されている場合、トップシ
ートと圧電体との間を適切に接着することに関して問題
が生じる。最も効果的なプリントヘッド動作を得るため
には、トップシートと圧電体によって定義された側壁上
部との接着は可能な限り高い剛性を有する（剪断モード
で変形しない）ことが必要である。剪断モードにおいて
変形しない接着を行なうためには、熱硬化性プラスティ
ックなどの接着剤が非常に薄い層で施されることが必要
である。しかしながら、所望の薄さを有する層は、ＰＺ
Ｔなど多孔性面においては達成することが困難である。
セラミクスから圧電体が形成されている場合、トップシ
ートと圧電体との間を適切に接着することに関して問題
が生じる。最も効果的なプリントヘッド動作を得るため
には、トップシートと圧電体によって定義された側壁上
部との接着は可能な限り高い剛性を有する（剪断モード
で変形しない）ことが必要である。剪断モードにおいて
変形しない接着を行なうためには、熱硬化性プラスティ
ックなどの接着剤が非常に薄い層で施されることが必要
である。しかしながら、所望の薄さを有する層は、ＰＺ
Ｔなど多孔性面においては達成することが困難である。
【０００４】
【課題を解決するための手段および作用】本発明の目的
は、従来の技術に関連して上述された問題を解決する圧
電プリントヘッドを提供することである。この目的は、
壁によって分割され上部が開口している複数の並列溝を
形成する圧電体を有する圧電インクジェット方式プリン
トヘッドを提供することによって本発明により達成され
る。これらの壁はその対峙する位置に金属電極を有して
おり剪断モードアクチュエータを形成して溝から小滴を
放出する。溝の開口している上部と位置合わせされた並
列金属導体のパターンを有し、また溝に平行な方向に圧
電体からはみ出して設けられた絶縁素材からなるトップ
カバーは、トップカバーの導体と側壁の電極との間のは
んだ継手により圧電体に接着される。圧電体からトップ
カバーと導体がはみ出すことにより、都合のよい電気接
触が電極に提供される。圧電インクジェット方式プリン
トヘッドの好ましい製造方法において、低温はんだが導
体及び電極に施され、トップカバーが圧電体の上に設置
され、そしてプリントヘッドが熱せられてはんだをリフ
ロー（reflow）して接着する。
は、従来の技術に関連して上述された問題を解決する圧
電プリントヘッドを提供することである。この目的は、
壁によって分割され上部が開口している複数の並列溝を
形成する圧電体を有する圧電インクジェット方式プリン
トヘッドを提供することによって本発明により達成され
る。これらの壁はその対峙する位置に金属電極を有して
おり剪断モードアクチュエータを形成して溝から小滴を
放出する。溝の開口している上部と位置合わせされた並
列金属導体のパターンを有し、また溝に平行な方向に圧
電体からはみ出して設けられた絶縁素材からなるトップ
カバーは、トップカバーの導体と側壁の電極との間のは
んだ継手により圧電体に接着される。圧電体からトップ
カバーと導体がはみ出すことにより、都合のよい電気接
触が電極に提供される。圧電インクジェット方式プリン
トヘッドの好ましい製造方法において、低温はんだが導
体及び電極に施され、トップカバーが圧電体の上に設置
され、そしてプリントヘッドが熱せられてはんだをリフ
ロー（reflow）して接着する。
【０００５】本発明によるプリントヘッドは、アクチュ
エータの側壁とトップカバーとの間のはんだ接着が剪断
モードにおいて非常に硬く、よってアクチュエータの性
能を向上させるという利点を有する。本発明のプリント
ヘッドはさらに、圧電体からはみ出したトップカバーの
金属導体によりプリントヘッド電極と電気接触するため
の便利な手段が提供され、その結果簡便なプリントヘッ
ド構成が得られるという利点を有する。
エータの側壁とトップカバーとの間のはんだ接着が剪断
モードにおいて非常に硬く、よってアクチュエータの性
能を向上させるという利点を有する。本発明のプリント
ヘッドはさらに、圧電体からはみ出したトップカバーの
金属導体によりプリントヘッド電極と電気接触するため
の便利な手段が提供され、その結果簡便なプリントヘッ
ド構成が得られるという利点を有する。
【０００６】
【実施例】図１を参照すると、インクジェット方式プリ
ントヘッド１０は、圧電素材、好ましくはＰＺＴからな
る圧電体１２を含み、圧電体１２は矢印１４の方向に極
性化されている。圧電体１２は複数のインク溝１６を形
成しており、これらインク溝１６はインク溝１６の長さ
方向に直行するアレイ方向に互いに間隔をあけて配置さ
れている。各インク溝１６は、１対の側壁１８と底面２
０とによって定められている。側壁１８は金属電極２２
を担持しており、この電極２２は好ましくは側壁１８の
上部端部からインク溝の底面２０に達しないある位置ま
で延びている。インク溝１６は、絶縁素材からなるシー
トを有するトップカバー２４によって覆われており、こ
のトップカバー上には導体のパターンが形成されてい
る。好ましくは、トップカバー２４は、熱を利用してプ
リントヘッド圧電体１２に整合される。トップカバー２
４の導体２６は、図１で示されるように、各インク溝１
６の全長に沿って電極２２の上部端部の間にきれいには
め込まれるようにある大きさに形成されて互いに間隔を
あけて配置されている。
ントヘッド１０は、圧電素材、好ましくはＰＺＴからな
る圧電体１２を含み、圧電体１２は矢印１４の方向に極
性化されている。圧電体１２は複数のインク溝１６を形
成しており、これらインク溝１６はインク溝１６の長さ
方向に直行するアレイ方向に互いに間隔をあけて配置さ
れている。各インク溝１６は、１対の側壁１８と底面２
０とによって定められている。側壁１８は金属電極２２
を担持しており、この電極２２は好ましくは側壁１８の
上部端部からインク溝の底面２０に達しないある位置ま
で延びている。インク溝１６は、絶縁素材からなるシー
トを有するトップカバー２４によって覆われており、こ
のトップカバー上には導体のパターンが形成されてい
る。好ましくは、トップカバー２４は、熱を利用してプ
リントヘッド圧電体１２に整合される。トップカバー２
４の導体２６は、図１で示されるように、各インク溝１
６の全長に沿って電極２２の上部端部の間にきれいには
め込まれるようにある大きさに形成されて互いに間隔を
あけて配置されている。
【０００７】図２において示されるように、各インク溝
毎に１つのオリフィスがあるように１列のオリフィス３
２を形成しているオリフィス板３０が、プリントヘッド
１０の正面に接着されている。図解のため、オリフィス
板３０は図１では省略されていた。導体２６を有するト
ップカバー２４は、プリントヘッド圧電体１２の裏面か
ら延長されはみ出している。
毎に１つのオリフィスがあるように１列のオリフィス３
２を形成しているオリフィス板３０が、プリントヘッド
１０の正面に接着されている。図解のため、オリフィス
板３０は図１では省略されていた。導体２６を有するト
ップカバー２４は、プリントヘッド圧電体１２の裏面か
ら延長されはみ出している。
【０００８】インクマニフォルド３４はインク溝１６の
後部にインク溝を横断するように設けられ、図示されて
いないが、各インク溝をインクサプライに連結してい
る。図３は、トップカバーが取り外された状態のプリン
トヘッド圧電体１２の平面図を示すもので、インク溝１
６の後部と連通しているインクマニフォルド３４を示
す。
後部にインク溝を横断するように設けられ、図示されて
いないが、各インク溝をインクサプライに連結してい
る。図３は、トップカバーが取り外された状態のプリン
トヘッド圧電体１２の平面図を示すもので、インク溝１
６の後部と連通しているインクマニフォルド３４を示
す。
【０００９】図４はトップカバー２４の底面を示してお
り、導体２６のパターンを示すものである。好ましく
は、導体２６は電気接触パッド３８のパターンで終わっ
て図２において示されるようにトップカバー２４のはみ
出し部分の下側へプリントヘッドの外側から接近可能で
ある。図１を参照して、トップカバー２４は、インク溝
１６の上部端部に沿って導体２６と電極２２との間のは
んだ継手２８によってプリントヘッド圧電体１２に固定
される。
り、導体２６のパターンを示すものである。好ましく
は、導体２６は電気接触パッド３８のパターンで終わっ
て図２において示されるようにトップカバー２４のはみ
出し部分の下側へプリントヘッドの外側から接近可能で
ある。図１を参照して、トップカバー２４は、インク溝
１６の上部端部に沿って導体２６と電極２２との間のは
んだ継手２８によってプリントヘッド圧電体１２に固定
される。
【００１０】図１において示されるように、熱硬化性エ
ポキシなど接着剤３６を小滴用いてトップカバー２４と
プリントヘッド本体１２との間の側部ジョイントを密封
する。同様に、図２において示されているように、接着
剤３６を小滴用いてトップカバー２４とプリントヘッド
圧電体１２との裏面ジョイントを密封する。オリフィス
板３０は効果的に正面ジョイントを密封する。このよう
に、インクがトップカバー２４とプリントヘッド圧電体
１２との間でプリントヘッドから漏れることを防ぐ。
ポキシなど接着剤３６を小滴用いてトップカバー２４と
プリントヘッド本体１２との間の側部ジョイントを密封
する。同様に、図２において示されているように、接着
剤３６を小滴用いてトップカバー２４とプリントヘッド
圧電体１２との裏面ジョイントを密封する。オリフィス
板３０は効果的に正面ジョイントを密封する。このよう
に、インクがトップカバー２４とプリントヘッド圧電体
１２との間でプリントヘッドから漏れることを防ぐ。
【００１１】側壁１８の対峙する面に設けられた電極２
２にわたって導体を介して電位差がかかると、側壁１８
はポールされた方向１４に直交する方向に電界を形成
し、その結果側壁１８の剪断モードゆがみが得られる。
インク溝１６の隣接する側壁がこのように内側にゆがむ
と、インク溝１６のインクなどの液体はその圧力が急激
に、また制御されたやり方で増加されてオリフィス３２
から小滴を放出する。
２にわたって導体を介して電位差がかかると、側壁１８
はポールされた方向１４に直交する方向に電界を形成
し、その結果側壁１８の剪断モードゆがみが得られる。
インク溝１６の隣接する側壁がこのように内側にゆがむ
と、インク溝１６のインクなどの液体はその圧力が急激
に、また制御されたやり方で増加されてオリフィス３２
から小滴を放出する。
【００１２】インク溝１６は、奇数個または偶数個のイ
ンク溝のグループとして配されることが可能で、従来の
技術において開示されているように各グループの選択さ
れたインク溝は他のグループのインク溝と同時に、また
は代替的に作動させることが可能である。
ンク溝のグループとして配されることが可能で、従来の
技術において開示されているように各グループの選択さ
れたインク溝は他のグループのインク溝と同時に、また
は代替的に作動させることが可能である。
【００１３】トップカバー２４をプリントヘッド本体１
２にはんだで固定するという特徴は、はんだ接着が剪断
モードにおいて非常に硬く、そのため側壁１８のゆがみ
の有効性が改良されるという点で利点がある。また、ト
ップカバー２４に設けられた導体２６によって、電極２
２に対して都合のよい電気接触が提供される。
２にはんだで固定するという特徴は、はんだ接着が剪断
モードにおいて非常に硬く、そのため側壁１８のゆがみ
の有効性が改良されるという点で利点がある。また、ト
ップカバー２４に設けられた導体２６によって、電極２
２に対して都合のよい電気接触が提供される。
【００１４】本発明によりプリントヘッドを製造するに
あたって、導体２６のパターンを有するトップカバー２
４は標準プリント回路板過程及び素材を用いて製造され
る。導体２６は、インジウム／ビスマスはんだなど低温
はんだの塗装によりスズめっきされる。
あたって、導体２６のパターンを有するトップカバー２
４は標準プリント回路板過程及び素材を用いて製造され
る。導体２６は、インジウム／ビスマスはんだなど低温
はんだの塗装によりスズめっきされる。
【００１５】圧電体１２は従来の技術において開示され
ているように、ダイアモンドソーを用いて極性化された
（poled ）圧電セラミック素材のシートからインク溝１
６及びインクマニフォルド３４を切り取って形成され
る。金属電極２２は米国特許第５、０１６、０２８号に
開示されているように側壁に金属をシャドー蒸着するこ
とによって側壁１８に形成されており、好ましくはニッ
ケルから形成されている。この金属電極が蒸着された
後、低温はんだ層が好ましくはフラッシュ蒸着によって
この金属電極の上に施される。従来の技術において開示
されているようにラッピングによって側壁１８の上面か
ら余分なはんだ及び／または電極の金属を取り除くこと
が可能である。
ているように、ダイアモンドソーを用いて極性化された
（poled ）圧電セラミック素材のシートからインク溝１
６及びインクマニフォルド３４を切り取って形成され
る。金属電極２２は米国特許第５、０１６、０２８号に
開示されているように側壁に金属をシャドー蒸着するこ
とによって側壁１８に形成されており、好ましくはニッ
ケルから形成されている。この金属電極が蒸着された
後、低温はんだ層が好ましくはフラッシュ蒸着によって
この金属電極の上に施される。従来の技術において開示
されているようにラッピングによって側壁１８の上面か
ら余分なはんだ及び／または電極の金属を取り除くこと
が可能である。
【００１６】次に、トップカバー２４はプリントヘッド
圧電体１２に対して適切な位置に設置されてそこで支持
され、そしてプリントヘッドは好ましくははんだの酸化
を避けるためある不活性の気体の中で約１２０℃の温度
まで熱せられて、はんだが再び溶かされ（reflow）、プ
リントヘッド圧電体１２にトップカバー２４を接着す
る。
圧電体１２に対して適切な位置に設置されてそこで支持
され、そしてプリントヘッドは好ましくははんだの酸化
を避けるためある不活性の気体の中で約１２０℃の温度
まで熱せられて、はんだが再び溶かされ（reflow）、プ
リントヘッド圧電体１２にトップカバー２４を接着す
る。
【００１７】トップカバー２４がプリントヘッド本体１
２にはんだ付けされた後、オリフィス板３０がプリント
ヘッドの正面に接着され、そして接着剤３６が小滴トッ
プカバー２４とプリントヘッド圧電体１２の間の接点に
流し込まれて硬化している。
２にはんだ付けされた後、オリフィス板３０がプリント
ヘッドの正面に接着され、そして接着剤３６が小滴トッ
プカバー２４とプリントヘッド圧電体１２の間の接点に
流し込まれて硬化している。
【００１８】ここで図５を参照して、本発明によるイン
クジェット方式プリントヘッドの別の構成が示されてい
る。この構成では、電極２２の一部が側壁１８の上部に
かぶさるように延びており、またトップカバー２４の導
体２６はわずかにインクチャネル１６よりも大きくなっ
ている。トップカバー２４は上述のようにリフローはん
だ付けによってプリントヘッド圧電体１２に固定され
て、その結果わずかに広い接着面が得られる。前述の例
と同様、接着剤３６を小滴用いてトップカバー２４とプ
リントヘッド圧電体１２のとの間のジョイントを密封す
る。部分的に側壁上部に重なる電極を形成する方法は、
１４／１１／９０に発行された欧州特許第０３９７４４
１Ａ２、表面パターン形成方法（Method of Forming a
Pattern ona Surface）において示されている。
クジェット方式プリントヘッドの別の構成が示されてい
る。この構成では、電極２２の一部が側壁１８の上部に
かぶさるように延びており、またトップカバー２４の導
体２６はわずかにインクチャネル１６よりも大きくなっ
ている。トップカバー２４は上述のようにリフローはん
だ付けによってプリントヘッド圧電体１２に固定され
て、その結果わずかに広い接着面が得られる。前述の例
と同様、接着剤３６を小滴用いてトップカバー２４とプ
リントヘッド圧電体１２のとの間のジョイントを密封す
る。部分的に側壁上部に重なる電極を形成する方法は、
１４／１１／９０に発行された欧州特許第０３９７４４
１Ａ２、表面パターン形成方法（Method of Forming a
Pattern ona Surface）において示されている。
【００１９】
【発明の効果】本発明によるプリントヘッドは、剪断モ
ードアクチュエータの側壁とトップカバーとの間のはん
だ接着が剪断モードにおいて非常に硬く、よってアクチ
ュエータの性能を向上させる。
ードアクチュエータの側壁とトップカバーとの間のはん
だ接着が剪断モードにおいて非常に硬く、よってアクチ
ュエータの性能を向上させる。
【００２０】さらに、本発明のプリントヘッドは、圧電
体からはみ出したトップカバーの金属導体によりプリン
トヘッド電極と電気接触するための便利な手段が提供さ
れ、その結果簡便なプリントヘッド構成が得られる。
体からはみ出したトップカバーの金属導体によりプリン
トヘッド電極と電気接触するための便利な手段が提供さ
れ、その結果簡便なプリントヘッド構成が得られる。
【図１】本発明によるインクジェット方式プリントヘッ
ドの正面から見た拡大された略図である。
ドの正面から見た拡大された略図である。
【図２】図１のインクジェット方式プリントヘッドの側
面から見た断面図である。
面から見た断面図である。
【図３】本発明によるプリントヘッドの圧電体部分の部
分平面図である。
分平面図である。
【図４】本発明によるプリントヘッドのトップカバー底
部の部分図である。
部の部分図である。
【図５】本発明によるインクジェット方式プリントヘッ
ドの別の実施例の正面から見た略図である。
ドの別の実施例の正面から見た略図である。
１０ インクジェット方式プリントヘッド １２ 本体 １４ 矢印 １６ インク溝 １８ 側壁 ２０ 底面 ２２ 電極 ２４ トップカバー ２６ 導体 ２８ はんだ継手 ３０ オリフィス板 ３２ オリフィス ３４ インクマニフォルド
Claims (13)
- 【請求項１】 圧電インクジェットプリントヘッドであ
って、 ａ）壁の対峙する面に剪断モードアクチュエータを形成
してチャネルから小滴を放出する金属電極を有する壁に
よって分割され上部が開口している複数の並列溝を有す
る圧電体と、 ｂ）前記溝の開口している上部と位置合わせされた並列
金属導体のパターンを有し、前記チャネルに対して平行
方向に前記圧電体からはみ出すように設けられた絶縁素
材のトップカバーと、 ｃ）前記導体と前記電極との間のはんだ継手によって前
記圧電体に装着され、また前記導体により前記電極に電
気接触が提供される前記トップカバーとを有する圧電イ
ンクジェット方式プリントヘッド。 - 【請求項２】 請求項１記載の装置において、前記導体
及び電極はニッケルから形成され、前記はんだ継手はイ
ンジウムビスマスはんだであることを特徴とする装置。 - 【請求項３】 請求項１記載の装置であって、さらに前
記溝の一方の端部を覆いそこからインクの小滴を放出す
るオリフィス板を有することを特徴とする装置。 - 【請求項４】 請求項１記載の装置において、前記圧電
体はさらにインクマニフォルドを形成して前記溝にイン
クを供給することを特徴とする装置。 - 【請求項５】 請求項１記載の装置であって、さらにト
ップカバーと圧電体とを接合することによって形成され
た接合部に沿って小滴の接着剤を有し、この接合部に沿
ってプリントヘッドからインクが漏れることを防ぐこと
を特徴とする装置。 - 【請求項６】 圧電インクジェット方式プリントヘッド
の製造方法であって、 ａ）壁によって分割され上部が開口している複数の並列
チャネルを有する圧電体を形成するステップと、 ｂ）前記壁の対峙する面に金属電極を形成するステップ
と、 ｃ）前記チャネルの開口している上部と合同の並列金属
導体のパターンを有する絶縁素材からなるトップカバー
を形成するステップと、 ｄ）前記電極と前記導体とをはんだによって塗装するス
テップと、 ｅ）前記圧電体上に前記トップカバーを設置するステッ
プと、 ｆ）前記トップカバーと前記圧電体とを熱して前記はん
だをリフローして前記トップカバーを前記圧電体に接着
するステップとを有する圧電インクジェット方式プリン
トヘッドの製造方法。 - 【請求項７】 請求項６記載の方法であって、さらに、 トップカバーと圧電体との間の接合部に小滴の接着剤を
施すステップを有することを特徴とする方法。 - 【請求項８】 請求項６記載の方法であって、さらに、 前記圧電体において前記溝の一方の端部を覆うようにオ
リフィス板を接着するステップを有することを特徴とす
る方法。 - 【請求項９】 圧電インクジェット方式プリントヘッド
であって、 ａ）各チャネルは対向する側壁とこれら側壁の間にそれ
ぞれ設けられた底面とにより形成され、前記側壁はそれ
ぞれ対峙する面に側部電極を含み剪断モードアクチュエ
ータを形成して溝から小滴を放出し、各側部電極は対応
する側壁の長さに沿って延設されている、前記シートに
対して正の方向に極性化されて前記溝の長さに対して正
のアレイ方向に互いに間隔をあけて配置された複数の並
列溝を形成する圧電素材からなるシートと、 ｂ）前記上部電極は前記溝の上部と位置合わせされて対
向しており、またはんだにて前記側部電極に装着されて
前記トップシートを前記プリントヘッドに装着し前記溝
の上部にて溝を密封する、トップシート上に形成された
並列上部電極のパターンを有する絶縁素材からなるトッ
プシートとを有する圧電インクジェット方式プリントヘ
ッド。 - 【請求項１０】 請求項１記載の装置において、前記ト
ップシート及び前記上部電極は前記溝に平行な方向に前
記圧電素材シートからはみ出して設けられていることを
特徴とする装置。 - 【請求項１１】 請求項１記載の装置において、前記圧
電素材シートはさらに前記溝と連通するインクマニフォ
ルドを形成することを特徴とする装置。 - 【請求項１２】 圧電インクジェット方式プリントヘッ
ドを製造する方法であって、 ａ）各溝が対向する側壁とそれら側壁の間にそれぞれ延
設された底面とによって形成され、前記側壁はそれぞれ
対峙する面に側部電極を含み剪断モードアクチュエータ
を形成して溝から小滴を放出し、各側部電極は対応する
側壁の長さに沿って延設されており、前記シートに対し
て正の方向に極性化された圧電素材からなるシートを形
成して前記溝の長さに対して正のアレイ方向に互いに間
隔をあけて配置された複数の並列溝を形成するステップ
と、 ｂ）前記上部電極は前記圧電素材シートにおける前記溝
の上部と合同であり、並列上部電極のパターンを有する
絶縁素材からなるトップシートを形成するステップと、 ｃ）前記上部電極が１対の前記側部電極にそれぞれ装着
されて前記溝の上部にて溝を密封するよう、リフローは
んだ付けにより前記トップシートを前記圧電素材のシー
トに接着するステップとを有する方法。 - 【請求項１３】 請求項１２記載の方法であって、さら
にトップシートと圧電素材のシートとの接合部に小滴の
接着剤を施すステップを有することを特徴とする方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US871775 | 1986-06-09 | ||
| US07/871,775 US5598196A (en) | 1992-04-21 | 1992-04-21 | Piezoelectric ink jet print head and method of making |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH068432A true JPH068432A (ja) | 1994-01-18 |
Family
ID=25358093
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5094389A Pending JPH068432A (ja) | 1992-04-21 | 1993-04-21 | 圧電インクジェット方式プリントヘッド及びその製法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5598196A (ja) |
| EP (1) | EP0566875B1 (ja) |
| JP (1) | JPH068432A (ja) |
| DE (1) | DE69307178T2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6095641A (en) * | 1996-11-19 | 2000-08-01 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Simplified ink jet recording head and a manufacturing method thereof |
| JP2002103614A (ja) * | 2000-10-03 | 2002-04-09 | Konica Corp | インクジェットヘッド |
Families Citing this family (36)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB9113023D0 (en) | 1991-06-17 | 1991-08-07 | Xaar Ltd | Multi-channel arrary droplet deposition apparatus and method of manufacture thereof |
| GB9318985D0 (en) * | 1993-09-14 | 1993-10-27 | Xaar Ltd | Passivation of ceramic piezoelectric ink jet print heads |
| JPH0825625A (ja) * | 1994-07-12 | 1996-01-30 | Nec Corp | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 |
| JP3257960B2 (ja) * | 1996-12-17 | 2002-02-18 | 富士通株式会社 | インクジェットヘッド |
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1993
- 1993-03-19 DE DE69307178T patent/DE69307178T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1993-03-19 EP EP93104581A patent/EP0566875B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1993-04-21 JP JP5094389A patent/JPH068432A/ja active Pending
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Also Published As
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|---|---|
| EP0566875B1 (en) | 1997-01-08 |
| EP0566875A2 (en) | 1993-10-27 |
| EP0566875A3 (ja) | 1994-03-09 |
| DE69307178D1 (de) | 1997-02-20 |
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