JP2009241508A - 液滴吐出ヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】アクチュエータ駆動端子とシート状配線基材の給電端子とをハンダを介して接合する液滴吐出ヘッドにおいて、シート状配線基材上に硬化に伴い収縮する接着剤を用いて剛性板を接合しようとする場合に、シート状配線基材の反り上がりを防いでアクチュエータから剥離しないようにする。
【解決手段】配線ユニット１２が具備するシート状配線基材３０の剛性板１３と接合された側の面において、複数の給電端子６０，６１のうち最も外縁側に配置された給電端子６０，６１に固着されたハンダバンプ６３と積層方向に重複する位置に起伏部３２を形成した。起伏部３２には、シート状配線基材３０の剛性板１３との接合面を被覆しているカバー層３５の厚みを部分的に厚くして形成した凸部３３を設けた。
【選択図】図４

Description

本発明は、流路ユニットにアクチュエータ、配線ユニット及び剛性板が順次積層された構造の液滴吐出ヘッドに関する。

例えば、インクジェット記録装置に搭載されるインク吐出ヘッドなどの液滴吐出ヘッドは、液滴を吐出する複数のノズルと共通液体室からノズルに至る複数の個別液体流路が形成された流路ユニットと、個別液体流路内の液体に吐出エネルギーを付与する吐出エネルギー付与部と、吐出エネルギー付与部に駆動信号を供給する信号回路や電源配線が設けられた配線ユニットとを備えている。このような吐出エネルギー付与部としては、例えば、個別液体流路に備えた圧力室の容積を変化させることにより圧力室内の液体に吐出エネルギーとしての圧力を付加する圧電式のアクチュエータが知られている。

特許文献１に記載のインクジェットヘッドは、圧電式のアクチュエータを備え、各圧力室に対向する位置に設けられた個別電極と、複数の圧力室に跨る共通電極と、複数の個別電極と共通電極とによって挟まれた圧電シートを備えている。このアクチュエータ上には、各個別電極と電気的に接続された外部電極と、共通電極と電気的に接続された外部電極とが配置されている。また、シート状配線基材の一平面上には、駆動ＩＣにより生成された駆動信号を出力する複数の駆動信号用の端子電極と、駆動信号の基準となる定電位信号用の端子電極とが配置されている。そして、シート状配線基材の端子電極がハンダバンプを介して対応するアクチュエータの外部電極と接合されることにより、アクチュエータとシート状配線基材とが電気的に接続されている。

上記のようなインクジェットヘッドでは、アクチュエータの駆動により、駆動ＩＣの発熱やアクチュエータ自体の発熱などの局所的な発熱が起こり、この熱が圧電ユニットや流路ユニットに伝達して、熱分布が不均一となることがある。この結果、アクチュエータの駆動にバラツキが生じたり、流路ユニット内のインクの粘性が不均一になったりするので、ノズル孔からの液滴の吐出特性にばらつきが生じる。そこで、特許文献１に記載のインクジェットヘッドにおいては、シート状配線基材の背面（上面）におけるアクチュエータと対応する位置には、剛性板が粘着テープ等の接着剤で粘着されている。前記剛性板は熱伝導性に優れた金属素材で構成されており、液滴吐出ヘッド全体の剛性を高めるとともに、熱分布を均一化させる機能を有している。
特開２００７−２７６３３０号公報

上述のように剛性板を供えたインクジェットヘッドを製造する際に、図２０に示すように、まず、アクチュエータ１１に設けられた外部電極(図示略)と配線ユニット１２が備えるシート状配線基材３０に設けられた端子電極(図示略)とをハンダバンプ６３を介して接合することによって、アクチュエータ１１とシート状配線基材３０とを接合する。続いて、シート状配線基材３０のアクチュエータ１１と接合された面とは反対側の面に剛性板１３を接着剤６４を用いて接合する。ここで、接着剤として、流動性のある接着剤（液状接着剤とする）を使われることがある。液状接着剤としては、例えば、エポキシ接着剤、シリコン接着剤や瞬間接着剤などの市場に流通している汎用性のある液状接着剤があげられる。このような液状接着剤は、被接合材への塗布時または塗布した初期は流体状であり、その体積が収縮して硬化することで被接合材同士を接着する。特に、瞬間接着剤などの比較的揮発しやすい溶媒（瞬間接着剤の場合は水）を含む接着剤は、硬化時に溶媒が蒸発するため、硬化すると体積が減損して収縮が著しい。

図２１及び図２２に示すように、このような接着剤６４を用いて、シート状配線基材３０と剛性板１３とを接着すると、接着剤６４が収縮（図２１の矢印方向に収縮）して、シート状配線基材３０の剛性板１３との接合面の接着剤６４が接触している範囲に、接着剤の収縮応力に起因する収縮方向(図２２の内側方向)への引っ張り力が作用する。このような引っ張り力が生じると、接着剤６４と接触しているシート状配線基材３０を伴って矢印方向へ引っ張られて剛性板１３側へ撓むなどして、特に図２０〜２２に示すようなシート状配線基材３０の自由端となる外周縁部においては、自由端が剛性板１３側へ反り上がろうとする。

また、図２２に示すように、シート状配線基材３０の外周縁部に配置された複数の端子電極は、アクチュエータ１１の対応する外部電極とハンダバンプ６３によって接合されて固定されているため、接着剤の収縮応力によりシート状配線基材３０の外周縁部に内側に向かう引っ張り力が作用したときに、隣接する端子電極同士間にも互いに向き合う引っ張り力が作用する。ここで、シート状配線基材３０の上側に配置された剛性板１３によりシート状配線基材３０の撓みや反りが抑制されているにもかかわらず、引っ張り力がハンダバンプ６３による接合力に勝ると、図２１に示すように、シート状配線基材３０の外周縁部がアクチュエータ１１から剥離して電気的な接続不良を引き起こすことがあった。

また、特許文献１に記載されているように、剛性板１３のシート状配線基材３０が引き出されている側の端縁に、剥がれ防止用の切欠１３ａが設けられることがある。しかし、このような切欠１３ａが設けられた剛性板１３を備える液滴吐出ヘッドでは、図２３に示すように、接着剤６４が収縮してシート状配線基材３０に撓みや反りが生じたときに、切欠１３ａと重なるシート状配線基材３０の上面に剛性板１３が存在しないため、シート状配線基材３０の切欠１３ａと重なる部分は反り上がり易く、剥離し易くなってしまう。

本発明は上記のような課題を解決するためになされたものであって、アクチュエータの表面電極と配線ユニットの端子とがハンダにて接合された液滴吐出ヘッドにおいて、配線ユニットの外周縁の撓みや反りを抑制し、特に、配線ユニット上に剛性板を接合する際に用いる接着剤の収縮に起因する配線ユニットとアクチュエータとの剥がれを防止することを目的とするものである。

本発明の液滴吐出ヘッドは、共通液体室からノズルに至る複数の個別液体流路を有する流路ユニットと、前記個別液体流路の各々に対応して設けられた複数の液体吐出エネルギー付与部と前記複数の液体吐出エネルギー付与部に駆動信号を入力する複数の駆動信号用端子とを有するアクチュエータと、前記アクチュエータにその一部分が重ねられたシート状配線基材と、前記アクチュエータと重ねられた範囲に設けられて前記複数の駆動信号用端子とハンダを介して接合された複数の給電端子とを有する配線ユニットと、前記配線ユニットを介して前記アクチュエータに積層され、前記シート状配線基材と硬化に伴って収縮する接着剤にて接合された剛性板とを備え、前記シート状配線基材は、前記剛性板と接合された側の面の、前記複数の給電端子のうち外縁側に配置された前記給電端子と積層方向に対応する位置に、起伏部を有しているものである。

上記構成の液滴吐出ヘッドでは、流路ユニット上のアクチュエータとシート状配線基材とを重ねて、対応する駆動信号用端子と給電端子とをハンダを介して接合したうえ、さらにシート状配線基材の上に、硬化に伴い収縮する接着剤を用いて剛性板を接合しようとする場合に、起伏部上の接着剤の厚みは、起伏部の高くなっている部分では薄くなることから、接着剤の収縮によりシート状配線基材に作用する引っ張り応力は起伏部の高くなっている部分において他の部分と比べて小さい。また、シート状配線基材のハンダ上に該当する部分において、起伏部の高くなっている部分を境界にその内側と外側のシート状配線基材に作用する引っ張り力の大きさや方向が分断される。よって、シート状配線基材の起伏部の高くなっている部分より外側でのシート状配線基材への引っ張り力は、他の部分と比較して小さくなっているため、シート状配線基材の自由端である外周縁に作用する引っ張り力が緩和させることができ、撓みや反りを防止し、アクチュエータからのシート状配線基材の剥離を防止することができる。なお、起伏部は、シート状配線基材配線基材の剛性板と接合される部分の外周縁においてハンダ上に該当する位置に沿って連続して設けられていても、断続的または一部分のみに設けられてあっても、その効果を得ることができる。

前記シート状配線基材の前記剛性板と接合された側の面は被覆材で被覆され、前記起伏部には、前記被覆材の厚みを異なえることにより形成された凸部を含むことができる。このようにしてシート状配線基材に起伏部が形成されていることで、起伏部をシート状配線基材上に容易に設けることができる。

また、前記剛性板は、プレス加工により成形されているものであるとよい。プレス加工により成形された剛性板は、プレス加工の性質上、その外周縁において上方に撓んでいる。そのため、シート状配線基材と剛性板とを接合するときに、シート状配線基材が平面状であると、剛性基板の外周縁とシート状配線基材との間に出来る空間が広くなり、これらの間を接合する接着剤がその空間を十分に埋めることができず、両者の接着が不十分となり、十分な剛性が得られない。これに対し、シート状配線基材の剛性板と接合される面に、起伏部を形成している凸部が設けられているため、この凸部によりシート状配線基材と剛性板との接合面間の距離を埋めることができる。よって、剛性板にプレス加工による反りが生じていても、シート状配線基材との接着を確実に行うことができる。

さらに、前記シート状配線基材の前記アクチュエータと重ねられた範囲の外周縁に、前記給電端子と接続されないダミー配線が設けられていることが好ましい。このように構成された液滴吐出ヘッドでは、シート状配線基材の外周縁にダミー配線による剛性を備えることができる。よって、シート状配線基材の外周縁に作用する引っ張り力や圧縮力が生じた場合に、シート状配線基材の撓みや反りを緩和することができる。

また、前記液滴吐出ヘッドは、前記アクチュエータ、前記配線ユニット、及び前記剛性板の積層体を間隙を有して囲むように設けられ、前記流路ユニットに接合された枠状の補強フレームを、さらに備え、前記積層体と前記補強フレームとの間隙に封止材を充填してもよい。

さらに、前記剛性板は、その外周縁に切欠を有し、前記剛性板の前記切欠と対応する前記シート状配線基材の外周縁に、前記起伏部を有することが好ましい。このように剛性板に設けられた切欠は、シート状配線基材との摩擦防止効果を有し、また、封止材を注入するために利用することができる。剛性板の切欠と重複するシート状配線基材の部分では、両者を接合している接着剤の硬化時に引っ張り力が作用したときに、反りを抑制する剛性板で被覆されないために反りやすいが、この部分に起伏部が形成されて効果的に反りが防止されている。また、剛性板の切欠が、補強フレームとの間の間隙に封止材を注入するために利用される場合には、切欠に封止材を注入する注入管が差し込まれる。剛性板の切欠が設けられた部分と補強フレームとの間隙を、封止材注入用の注入管が挿入できる大きさとすれば、他の部分の間隙はそれよりも幅狭とできる。よって、液滴吐出ヘッドの小型化を図ることができる。

本発明は、以下に示すような効果を奏する。

本発明によれば、アクチュエータの駆動信号用端子とシート状配線基材の給電端子とをハンダを介して接合し、硬化に伴い収縮する接着剤を用いてシート状配線基材に剛性板を接合しようとする場合に、接着剤の収縮によりシート状配線基材のハンダ上の部分に作用する引っ張り応力を緩和させることができ、シート状配線基材とアクチュエータとの剥離を防止できる。

以下、本発明の好ましい実施の形態を図面を参照しながら説明する。なお、以下では全ての図を通じて同一又は相当する要素には同一の参照符号を付して、その重複説明を省略する。また、以下の説明ではノズルから液滴を吐出する方向を下方向とし、その反対側を上方向とする。

［実施の形態１］
まず、本発明の実施の形態１に係る液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置の一例としてインクジェット記録装置１００の構成の概要を、図１〜３を用いて説明する。図１は本発明の実施の形態に係る液滴吐出ヘッドを備えたインクジェット記録装置の平面図、図２はキャリッジをＹ方向に沿って切断した断面図、図３はヘッドアセンブリの分解斜視図である。

インクジェット記録装置１００は、例えば、単独のプリンタ装置としてだけでなく、コピー機能、スキャナ機能、ファクシミリ機能等を備えた多機能装置（ＭＦＤ：Multi Function Device）のプリンタ機能としても適用することができるものである。図１に示すように、インクジェット記録装置１００は、本体フレーム２の内部に、主走査方向（以下、「Ｙ方向」という。）に沿って往復走査するキャリッジ３と、このキャリッジ３に搭載された液滴吐出ヘッド１を備えている。

キャリッジ３は、本体フレーム２内にＹ方向に沿って平行状に設けられた後ガイド軸６と前ガイド軸７とに摺動自在に支持されるとともに、キャリッジ駆動モータ１７と無端帯であるタイミングベルト１８とにより、Ｙ方向へ往復移動するように構成されている。被記録媒体である記録用紙Ｐａは、図示しない公知の記録用紙搬送機構により、Ｙ方向と直交する方向（以下、「Ｘ方向」という。）に沿って、液滴吐出ヘッド１の下面側を水平状に搬送される。この記録用紙Ｐａに対して、Ｙ方向に移動する液滴吐出ヘッド１のノズルから下向きに有色液体（インク）の液滴が吐出されて、記録用紙Ｐａに印字される。

図２に示すように、キャリッジ３は、上側が開口された略箱状のヘッドホルダ８を備えている。このヘッドホルダ８の底板部８ａの上面側には、ダンパー装置９が搭載されていて、ダンパー装置９には、本体フレーム２内に静置された有色液体（例えば、ブラックＢＫ、イエローＹ、マゼンタＭ、及びシアンＣのインク）の液体供給源５ａ〜５ｄから有色液体が液体供給管１４ａ〜１４ｄを介して供給され、ダンパー装置９はこれらの有色液体を色毎に貯留する複数の液体貯留室を備えている。さらに、ダンパー装置９は、液体貯留室中の有色液体に滞留する気泡を除去するための排気弁機構９ｂも備えている。

図２及び図３に示すように、ヘッドホルダ８の底板部８ａには開口部（図示略）が貫通形成されており、この開口部の内側では、ダンパー装置９の液体流出口（図示略）と、液滴吐出ヘッド１の液体取入口３７とが、補強フレーム１５の接続穴１５ｂと弾性シール部材（図示略）を介して接続され、ダンパー装置９から液滴吐出ヘッド１に有色液体が色毎に独立して供給される。また、ヘッドホルダ８の底板部８ａには、後述するシート状配線基材３０の延設部３０ｂを挿通させるスリット孔５５と、底板部８ａの下面側に液滴吐出ヘッド１を固着させるための接着剤１９を流し込むための貫通孔５６が設けられている。

そして、ヘッドホルダ８の下面側に下向きに開口形成された凹部８ｂには、全体として略扁平形状を有する液滴吐出ヘッド１が、ノズル４が開口している面を下向きに露出させて収容されて、さらに、凹部８ｂの天井面となる底板部８ａとほぼ平行になるように所定の間隔をおいて接着剤１９で固着されている。

〔液滴吐出ヘッド１〕
次に、液滴吐出ヘッド１の構成について、図３〜１４を用いて説明する。図３はヘッドアセンブリの分解斜視図、図４は液滴吐出ヘッドの分解斜視図、図５は流路ユニットとアクチュエータの積層体の一部断面図、図６は流路ユニットとアクチュエータと配線ユニットとの積層体の平面図、図７は配線ユニットの平面図、図８は図７におけるVIII−VIII断面図、図９は流路ユニットとアクチュエータと別態様の配線ユニットとの積層体の平面図、図１０はシート状配線基材に設けた切欠形状部の一部拡大平面図、図１１は切欠形状部の変形例１を示すシート状配線基材の一部拡大図、図１２はシート状配線基材に設けたダミー配線の位置を説明する図、図１３はヘッドアセンブリの平面図、図１４は図１３におけるXIV−XIV矢視断面の一部分を示す図である。

図３〜５に示すように、液滴吐出ヘッド１は、共通液体室であるマニホールド８１から複数のノズル４に至る複数の個別液体流路８５が形成されている流路ユニット１０と、複数のノズル４のうち所定のノズル４から選択的に液滴を吐出するように個別液体流路８５の各々に対応して設けられた複数の吐出エネルギー付与部４５を有するアクチュエータ１１と、このアクチュエータ１１の吐出エネルギー付与部４５に駆動信号を供給する信号回路や電源配線が設けられた配線ユニット１２と、剛性板１３とを、下方から順に積層して備えている。この液滴吐出ヘッド１は、流路ユニット１０の上面にアクチュエータ１１との間に間隙を有してアクチュエータ１１を囲むように枠状の補強フレーム１５が設けられ、さらに、流路ユニット１０の下面側にノズル４を露出するようにしてフロントフレーム１６が設けられて、ヘッドアセンブリ２０となる。液滴吐出ヘッド１は、ヘッドアセンブリ２０の状態で接着剤１９によりヘッドホルダ８の底板部８ａの下側に組み付けられる。

なお、本実施の形態では、アクチュエータ１１として積層型圧電素子を備えた圧電アクチュエータを採用している。但し、アクチュエータ１１はこれに限定されるものではなく、ヒーターで液体を加熱することによって気泡を発生させて液滴を飛ばし印字するサーマル方式、振動板を静電気力により変形させてノズルから液滴を吐出し印字する静電アクチュエータ方式、ピエゾ素子（圧電素子）に電圧を加え変形させてその力を利用してノズルから液滴を吐出し印字する圧電アクチュエータ方式などのうちいずれの方式で個別液体流路８５の液体に吐出エネルギーを付与するものであってもかまわない。

〔流路ユニット１０〕
まず、流路ユニット１０について説明する。流路ユニット１０は、有色液体を吐出する複数のノズル４と、ダンパー装置９から供給される有色液体を貯留する共通液体室であるマニホールド８１と、マニホールド８１からノズル４に至る複数の個別液体流路(チャンネル)８５とが内部に設けられていて、その下面には複数のノズル４が下向きに開口している。各個別液体流路８５は、個別貯留室である圧力室８３と、マニホールド８１と圧力室８３とを連通する絞り部８２、及びノズル４と圧力室８３とを連通するディセンダ孔８４で形成され、マニホールド８１にある有色液体は、絞り部８２、圧力室８３、及びディセンダ孔８４を通じてノズル４から吐出される。

複数のノズル４は、Ｘ方向に列状に延び、Ｙ方向に一又は複数の列を成している。１つのノズル列に並ぶ複数のノズル４は、互いに所定間隔をおいて配置されて同色の液滴が吐出されるようになっている。

流路ユニット１０の上面には各ノズル４に対応して複数の空間が開口しており、この開口が積層されたアクチュエータ１１により閉じられることで、複数の圧力室８３が流路ユニット１０内に形成されている。複数のノズル４と同様に、複数の圧力室８３は、Ｘ方向に列状に延び、Ｙ方向に一又は複数の列を成している。そして、マニホールド８１は、複数の圧力室８３の列が配置された範囲に対応して、流路ユニット１０の内部にＸ方向に長く延びるように形成されている。

また、流路ユニット１０には、Ｘ方向の一端側に液体供給源５ａ〜５ｄ（図２）に接続されている液体取入口３７が液体の色別に設けられている。液体取入口３７は、マニホールド８１のＸ方向の一端部と連通されていて、液体供給源５ａ〜５ｄからフィルタ（図示略）を介して各液体取入口３７に供給された有色液体は、マニホールド８１に流入し、絞り部８２を介して圧力室８３に至る。圧力室８３内の液体は、該圧力室８３内が後述するアクチュエータの駆動によって吐出圧を受けることによってディセンダ孔８４を通じてノズル４から吐出される。なお、流路ユニット１０は、複数枚のプレート部材の積層体であっても、一体的に形成されたブロック体であってもよい。

〔アクチュエータ１１〕
次に、アクチュエータ１１について説明する。積層型圧電素子で成るアクチュエータ１１は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等のセラミック材料から成る複数の圧電シート２３，２４の表面に、導電ペースト等の導電材料で個別電極４２又は共通電極４４をスクリーン印刷法等により形成し、複数の圧力室８３（又はノズル４）の各々に１対１で対応して設けられた複数の個別電極４２を有する圧電シートと、複数の圧力室８３（又はノズル４）に共通となるように設けられた共通電極４４を有する圧電シートとを交互に複数積層して構成されている。このように構成されたアクチュエータ１１は、最下層の圧電シート２４上に圧電シート２３を積層方向に挟むように形成された個別電極４２と共通電極４４を備え、積層方向に対向する両電極４２，４４間の圧電シート２３を吐出エネルギー付与部（液体吐出エネルギー付与部）４５としている。なお、吐出エネルギー付与部４５は公知のように個別電極４２と共通電極４４との間に高電圧を印加して、その電極間の圧電シート２３を分極することで活性化される。そして、任意の吐出エネルギー付与部４５では、対応する個別電極４２と共通電極４４との間に、分極方向と平行に電圧を印加することにより、その印加された個別電極４２に対応した圧電シート２３に、当該積層方向の歪みを発生させて、圧力室８３内の液体に吐出圧（吐出エネルギー）を付与する。

アクチュエータ１１上には、各個別電極４２と電気的に接続された駆動信号用端子４１と、圧電シート２３を積層方向に貫通した電気的なスルーホールを介して共通電極４４と電気的に接続された定電位信号用端子４３とが配置されている。複数の駆動信号用端子４１は、圧力室８３(ノズル４)に対応してＸ方向に列を成して配置され、この駆動信号用端子４１の列はＹ方向に一又は複数が並べられて群を成している。また、複数の定電位信号用端子４３は、駆動信号用端子４１の群のＸ方向の両端側に配置されている。

上記構成のアクチュエータ１１の外形状は、流路ユニット１０の外形状よりも一回り小さく形成されている。そして、流路ユニット１０の上面に開口している圧力室８３を閉塞するとともに、流路ユニット１０のＸ方向の一端部に形成された液体取入口３７を露出するように、アクチュエータ１１の下面と流路ユニット１０の上面とが接合されている。

〔配線ユニット１２〕
続いて、配線ユニット１２について説明する。図６に示すように、配線ユニット１２は、全体として帯状を有するシート状配線基材３０と、印字データに基づいてアクチュエータを選択的に駆動させる駆動信号を出力する駆動ＩＣ３１とを備えている。このシート状配線基材３０の長手方向（Ｙ方向）の一端部において、アクチュエータ１１の外形形状とほぼ等しい平面視略矩形状の範囲は、アクチュエータ１１の上面に重ねられて固着される接合部３０ａとなる。この接合部３０ａＹ方向の一側の辺から他端部まで延びる延設部３０ｂがＹ方向に引き出されている。そして、延設部３０ｂの接合部３０ａ寄りには、駆動ＩＣ３１が実装されている。なお、この駆動ＩＣ３１は、図３に示すように、ヘッドホルダ８の側板寄りの部分において、ヒートシンク５７と弾性部材５８とにより挟持され、駆動ＩＣ３１の発熱は接触しているヒートシンク５７に伝わって外部に放熱される。

図７及び図８に示すように、シート状配線基材３０は、電気絶縁性を有する可撓性の合成樹脂材（例えば、ポリイミド樹脂）であるベース材３４の片面に、銅箔層３６が積層され、この銅箔層３６に複数の個別電極給電端子６０および複数の共通電極給電端子６１、そして複数の配線パターン（入力側配線７１，駆動信号出力配線７２，共通電位付与線７３など）がフォトレジスト等により形成され、さらに、銅箔層３６の表面が電気絶縁性を有する可撓性の合成樹脂（例えば、ポリイミド樹脂）からなるカバー層３５で被覆されて、構成されている。ベース材３４の個別電極給電端子６０及び共通電極給電端子６１と重複する部位には孔があけられて、この孔内に露出する個別電極給電端子６０及び共通電極給電端子６１には、ハンダバンプ６３が固着されている。

複数の個別電極給電端子６０は、シート状配線基材３０の接合部３０ａにおいて、アクチュエータ１１の複数の駆動信号用端子４１と対応するようにＸ方向に延びる列を成すように配置され、この個別電極給電端子６０の一又は複数の列がＹ方向に並設されている。複数の個別電極給電端子６０は、ハンダバンプ６３を介してアクチュエータ１１の複数の駆動信号用端子４１と１対１で対応して接続されている。また、各個別電極給電端子６０は、シート状配線基材３０上の駆動信号出力配線７２により駆動ＩＣ３１の出力側と接続されている。複数の個別電極給電端子６０が設けられた接合部３０ａに対して、駆動ＩＣ３１はシート状配線基材３０の延びる方向（Ｙ方向）に配置されているため、複数の駆動信号出力配線７２は複数の個別電極給電端子６０からシート状配線基材３０の延びる方向に引き出されて駆動ＩＣ３１の出力側に接続されている。駆動ＩＣ３１の入力側には、駆動ＩＣ３１に駆動データを入力するための複数の入力側配線７１が接続されている。

また、複数の共通電極給電端子６１は、シート状配線基材３０の接合部３０ａであって個別電極給電端子６０の群のＸ方向両側に設けられ、各共通電極給電端子６１は、ハンダバンプ６３を介してアクチュエータ１１の定電位信号用端子４３の端子と接続されている。各共通電極給電端子６１は、シート状配線基材３０上で共通電極４４に定電位を付与するための共通電位付与線７３と接続され、接地されている。

なお、本実施の形態において、シート状配線基材３０の延設部３０ｂの長手方向の中途部にチップ状の駆動ＩＣ３１が搭載されたＣＯＦ（チップ・オン・フィルム）が用いられている。また、シート状配線基材３０は、駆動ＩＣ３１が実装された第一の配線板としてのＣＯＦと、ＣＯＦに設けられた複数の入力側配線７１の数と対応する配線数を有する平行な配線パターンが形成された第二の配線板としての汎用のＦＦＣ（フレキシブル・フラット・ケーブル）とから構成してもよい。

続いて、上記構成のシート状配線基材３０が備える特徴的構造について説明する。

図４、及び図６〜９に示すように、シート状配線基材３０は、接合部３０ａの剛性板１３と接合された側の面に起伏部３２を有している。起伏部３２は、接合部３０ａに配置された複数の給電端子６０，６１群のうち最も外縁側に配置された給電端子６０，６１と積層方向に対応する位置に設けられ、他の給電端子６０、６１群を囲うようにＹ方向に長い略矩形枠状に形成されている。ここで、「積層方向」とは、アクチュエータ１１、シート状配線基材３０、及び剛性板１３が順に積み重ねられている方向を言う。

この起伏部３２には、シート状配線基材３０の剛性板１３との接合面を被覆している被覆材（カバー層３５）の厚みを部分的に大きくすることにより形成された凸部３３が含まれている。つまり、シート状配線基材３０の接合面において設けられた凸部３３が高部に、凸部３３の周囲がこれに対応する低部となって、起伏部３２の起伏が形成されている。この凸部３３は、シート状配線基材３０の接合部３０ａに配置された複数の給電端子６０，６１のうち最も外縁側に配置された給電端子６０，６１に固着されたハンダバンプ６３と積層方向に重複する位置のシート状配線基材３０の表面に設けられている。凸部３３は、カバー層３５となる被覆材料を複数回以上重ね塗りすることで、容易に部分的に厚みを大きくなるように形成されていて、厚みや幅、形状等は液滴吐出ヘッド１の態様に応じて適宜変更することが望ましい。また、カバー層３５となる被覆材料にエッチング等の方法で凹みを形成することによって起伏部としてもよい。この場合、シート状配線基材３０の接合面が高部に、凹部が低部となる。なお、被覆材の厚みを大きくすることにより形成された凸部３３が、シート状配線基材３０の外周縁に沿って連続的または断続的もしくは一部分に設けられることで、シート状配線基材３０の外周縁の剛性を高める効果も期待できる。

図９に示すように、起伏部３２の凸部３３は、シート状配線基材３０の接合部３０ａに配置された複数の給電端子６０，６１のうち最も外縁側に配置された給電端子６０，６１に固着されたハンダバンプ６３上を通過するように、平面視で連続した帯状に形成されている。但し、凸部３３の形状はこれに限定されるものではなく、例えば、図１０に示すように、起伏部３２の凸部３３は、シート状配線基材３０の接合部３０ａに配置された複数の給電端子６０，６１のうち最も外縁側に配置された給電端子６０，６１に固着されたハンダバンプ６３上を覆う円形状を有し、最も外縁側の給電端子６０,６１に対応して、断続的に設けたものとできる。また、起伏部３２の凸部３３は、シート状配線基材３０の接合部３０ａに配置された複数の給電端子６０，６１のうち最も外縁側に配置された給電端子６０，６１に固着されたハンダバンプ６３上であれば、一部分のみであってもよい。起伏部３２および凸部３３については後で詳しく説明する。

なお、図１１に示すように、シート状配線基材３０の接合部３０ａの外周縁において、何れの給電端子６０，６１とも接続されないダミー配線パターン７８を設けてもよい。図１１では、ダミー配線パターン７８が形成される範囲を斜線で示しており、ダミー配線パターン７８の配線パターンについては限定されない。このように、シート状配線基材３０にダミー配線パターン７８を設けることによって、シート状配線基材３０の剛性を高めることができる。シート状配線基材３０の接合部３０ａの外周縁の剛性が高まって変形しにくくなれば、剛性板１３とシート状配線基材３０との接合部分、並びに、アクチュエータ１１とシート状配線基材３０との接合部分において、シート状配線基材３０の剥離を防止することができる。

〔剛性板１３〕
続いて、剛性板１３について説明する。図４及び図１２に示すように、剛性板１３は、シート状配線基材３０を介してアクチュエータ１１上に積層するように、シート状配線基材３０の上面においてアクチュエータ１１と対応する位置（アクチュエータ１１と積層方向に重なる位置）に接着剤で固定されている。剛性板１３は、アクチュエータ１１及びシート状配線基材３０の接合部３０ａのほぼ全面を覆う大きさを有する平面視長方形状の扁平な板材である。剛性板１３は、金属製の板材をプレス加工することで形成され、シート状配線基材３０よりも剛性が高く、且つ、アクチュエータ１１及びシート状配線基材３０よりも熱伝導性に優れた素材からなっており、例えば、アルミニウム、銅、ＳＵＳなどの金属板が用いられている。

この剛性板１３は、シート状配線基材３０を介してアクチュエータ１１に密着することで、液滴吐出ヘッド１全体の剛性を高めるとともに、駆動ＩＣ３１の発熱やアクチュエータ１１自体の発熱などの局所的な発熱により不均一となり得るアクチュエータ１１や流路ユニット１０の熱分布を均一化させる機能を有している。

平面視略矩形状の剛性板１３には、その４辺の外周縁において、内側方向に凸形状となるような切欠１３ａが設けられている。この切欠１３ａは、詳しくは後述するが、液滴吐出ヘッド１と補強フレーム１５とを接着固定したときに、補強フレーム１５の開口部１５ｃの内周と、剛性板１３、シート状配線基材３０、及びアクチュエータ１１の積層体の外周との間隙を封止する封止材５３を注入する際に、注入管を挿入するために利用される。このため、切欠１３ａは、剛性板１３の外周縁の少なくとも一箇所には設けられるのが好ましい。

剛性板１３に設けられた切欠１３ａの奥行き寸法（内側への切り込み量）は、補強フレーム１５の開口部１５ｃとの間隙５０に、封止材５３の注入管を挿入できるように、注入管の径や大きさに合わせて設定されている。なお、切欠１３ａは、上記形状に限られることはなく、例えば、平面視略矩形状の剛性板１３の４つの角部を切り落としたような形状であってもよいし、切欠１３ａの幅や本数、配置位置など適宜変形可能である。

〔補強フレーム１５〕
次に、補強フレーム１５について説明する。図２、図３、及び図１３に示すように、補強フレーム１５は、流路ユニット１０よりも剛性に優れた素材（例えば、ＳＵＳなどの金属板）からなり、アクチュエータ１１に対応した開口部１５ｃを貫通形成した矩形枠形状を有する。平面視において補強フレーム１５の外形状は、流路ユニット１０の外形状よりもひと回り大きく形成されており、また、補強フレーム１５の開口部１５ｃの内周は、流路ユニット１０の外形状よりも小さく且つアクチュエータ１１の外形状よりも大きい。この補強フレーム１５は、アクチュエータ１１、配線ユニット１２及び剛性板１３の積層体の周囲を間隔をおいて囲むようにして設けられ、流路ユニット１０の上面に積層された状態で流路ユニット１０に接着固定されている。そして、流路ユニット１０の上面と、アクチュエータ１１、配線ユニット１２及び剛性板１３の積層体と補強フレーム１５の内周との間隙５０は、封止材５３で封止される。このように、液滴吐出ヘッド１に補強フレーム１５を設けることで、薄い扁平形状の流路ユニット１０の変形や歪みを防止している。

〔フロントフレーム１６〕
次に、フロントフレーム１６について説明する。図２及び図３に示すように、フロントフレーム１６は、平面視略Ｕ字状の扁平な板材で、流路ユニット１０の周囲を囲むように配置され、補強フレーム１５の下面に固着されている。このフロントフレーム１６によって、流路ユニット１０の複数のノズル４が開口している面とヘッドホルダ８の周囲との段差を解消し、払拭部材等で流路ユニット１０のノズル面をクリーニングする際の引っ掛かりを防止している。

〔液滴吐出ヘッド１の組み立て方法〕
次に、上記構成の液滴吐出ヘッド１及びヘッドアセンブリ２０の組み立て方法について、図１２〜１５を用いて説明する。図１２は液滴吐出ヘッドの平面図、図１３はヘッドアセンブリの平面図、図１４は図１３におけるXIV−XIV矢視断面の一部分を示す図、図１５は補強フレームとアクチュエータとの間隙に絶縁性樹脂を充填するために注入管を差し込んだ状態の断面図である。なお、以下の説明では、アクチュエータの外周端がある側を外側とし、その反対側を内側とする。

液滴吐出ヘッド１の組み立てに際して、まず、図１２及び図１３に示すように、流路ユニット１０の圧力室孔とアクチュエータ１１の個別電極とが位置決めされて、積層固定される。次いで、アクチュエータ１１の表面端子４１，４３に対して、これに対応するシート状配線基材３０の給電端子６０，６１とが対向するように、アクチュエータ１１とシート状配線基材３０とを位置合わせして重ねたうえ、表面端子４１，４３と給電端子６０，６１のいずれか一方に予め設けられたハンダバンプ６３をバーヒーターなどで所定温度まで加熱して溶融させて、アクチュエータ１１とシート状配線基材３０とを合わせる方向へ加圧することにより接合される。このようにしてアクチュエータ１１と接合されたシート状配線基材３０の一端部が、アクチュエータ１１に重なる接合部３０ａとなる。

次に、その体積が収縮して硬化することで被接合材同士を接着する接着剤６４として、液状接着剤（例えば、瞬間接着剤）を、シート状配線基材３０の接合部３０ａの上面の複数箇所に点付けする。接着剤６４は、シート状配線基材３０へ塗布するとき、及び塗布した直後は流体状であるため、シート状配線基材３０の接合部３０ａの上に剛性板１３を配置して相互に合わさる方向に加圧すると、接着剤６４は、両者の間で外周縁に向かって広がる。なお、液状接着剤６４は、エポキシ系接着剤、シリコン系接着剤、ＵＶ接着剤や瞬間接着剤など、市場に汎用として流通しているものが含まれる。一般的には、例えば瞬間接着剤のような溶媒を含む接着剤（例えば、溶媒が水）である場合など、硬化時に溶媒が蒸発して体積が減損することから、硬化後の収縮が著しい傾向がある。

ここで、剛性板１３とシート状配線基材３０の間に介在する接着剤６４は、塗布量が過剰である場合や、加圧により塗布範囲が広がり過ぎた場合に、剛性板１３の外周縁を越えてはみ出してしまうことある。剛性板１３からはみ出した接着剤６４は、シート状配線基材３０とアクチュエータ１１との間に侵入してショートを引き起こしたり、硬化時に外周縁から最も近い表面端子４１，４３と給電端子６０，６１との接合を剥がしたりする虞がある。一方、接着剤６４の塗布量が過小である場合や、接着剤６４の塗布範囲が剛性板１３の外周縁よりも著しく内側である場合には、シート状配線基材３０と剛性板１３との接着が不十分となり、剥離が生じ易くなるだけでなく、剛性が十分に得られないことがある。このことから、硬化後の接着剤６４は、最も外縁側に位置する給電端子６０，６１と表面端子４１，４３とが接合されている位置を含めて、剛性板１３の縁まで広がっていることが望ましい。このため、図１４に示すように、剛性板１３とシート状配線基材３０とを接合する接着剤６４は、硬化後に、最も外縁側に位置する給電端子６０，６１と表面端子４１，４３とが接合されている位置を含んで剛性板１３の縁まで存在するように、剛性板１３とシート状配線基材３０との間で加圧される。

ここで、シート状配線基材３０の接合部３０ａの外周縁に設けられた起伏部３２では、ハンダバンプ６３と積層方向に重複する位置に凸部３３が形成されており、シート状配線基材３０の内側から外側に向かって広がる接着剤６４は、この凸部３３上に広がるとともに、凸部３３を超えてその外側まで広がる。このとき、起伏部３２の凸部３３上の接着剤６４の厚みは、凸部３３の内側や外側と比較して小さくなる。

そして、接着剤６４が硬化に伴って収縮すると、この収縮力により接着剤６４と接触しているシート状配線基材３０の上面が内側へ引っ張られる。ここで、シート状配線基材３０のハンダバンプ６３と積層方向に重複している部分、即ち、凸部３３に作用する引っ張り力は、接着剤６４の厚みが小さいことから、他と比較して小さくなる。さらに、凸部３３の位置を境界として、シート状配線基材３０に作用する引っ張り力の大きさおよび方向は内側と外側とで分断される。なお、凸部３３位置の外側では、接着剤６４のシート状配線基材３０との接着面積が小さい為、引っ張り力は内側よりも外側の方が小さくなり、その外側領域での引っ張り力は、凸部３３上で接着剤６４が内側と外側とを連続しているため、内側に向かう引っ張り力が大きい。しかしながら、凸部３３があることで外側に向かう引っ張り力が働き、外側領域での内側へかかる引っ張り力を小さくできる。このように、起伏部３２の凸部３３によりシート状配線基材３０に作用する引っ張り力の大きさや方向が分散されるため、ハンダバンプ６３の位置よりも外側にあるシート状配線基材３０の外周縁（自由端）に作用する引っ張り力の大きさは、起伏部３２を設けない場合と比較して小さくなる。よって、シート状配線基材３０の接合部３０ａの自由端である外周縁に作用するアクチュエータ１１から引き剥がそうとする方向の引っ張り力は低減されて、シート状配線基材３０の外周縁の撓みや反り上がりによる、アクチュエータ１１からのシート状配線基材３０の剥離が防止されている。

特に、図１０に示すような円形状の凸部３３を起伏部３２に設ける場合においては、シート状配線基材３０のハンダバンプ６３と積層方向に重複する部分を中心として四方へ引っ張り力を分散させる効果があるため、接着剤６４の硬化時に作用するシート状配線基材３０の外周縁から内側への引っ張り力に加え、隣接する給電端子６０，６１（ハンダバンプ６３）間の引っ張り力も、低減される。

また、図１２及び図１３に示すように、シート状配線基材３０の接合部３０ａにおいて、剛性板１３の切欠１３ａなどの剛性板１３で被覆されていない範囲は、接着剤６４の収縮に起因する引っ張り力が剛性板１３によって抑制されておらず、他の部分と比較して大きな引っ張り力が作用する。このように、シート状配線基材３０の接合部３０ａの剛性板１３で被覆されない範囲の表面には、シート状配線基材３０と剛性板１３とを接合する接着剤６４が広がっている。このシート状配線基材３０の上面において剛性板１３の切欠１３ａと重なる部分において接着剤６４が硬化に伴って収縮すると、剛性板１３で被覆されている部分と比較して、接着剤６４と接触しているシート状配線基材３０の上面が内側へより強く引っ張られる。ここで、剛性板１３の切欠１３ａと重複するシート状配線基材３０の部分に、起伏部３２の凸部３３が設けられていると、上述の通り引っ張り力がより強く作用しても、効果的にシート状配線基材３０の反り上がりが防止される。よって、起伏部３２の凸部３３は、少なくとも、シート状配線基材３０の上面において剛性板１３で被覆されない部分に配置されていることが望ましい。

また、図１４に示すように、剛性板１３はプレス成形品であることから、その外周縁が上方へ微量に反っている傾向がある。そのため、剛性板１３とシート状配線基材３０とを接着剤６４を用いて接合するときに、剛性板１３の外周縁においては、シート状配線基材３０との間の接合面間の距離が大きくなってしまう。これに対し、シート状配線基材３０の接合部３０ａの外周縁に沿って設けられた起伏部３２では、凸部３３によりシート状配線基材３０と剛性板１３との接合面間の距離が補われて、この接合面間の距離が縮まる。よって、シート状配線基材３０と剛性板１３との接合面間に空隙が生じないように接着剤６４が塗布されて、剛性板１３の外周縁まで確実にシート状配線基材３０に接合できるようになる。

次に、組立工程に戻って、剛性板１３がアクチュエータ１１に接着された流路ユニット１０の上面に、補強フレーム１５を接着剤で固定する。ここで、シート状配線基材３０の延設部３０ｂを、補強フレーム１５の開口部１５ｃから上面側を通るように持ち上げて、開口部１５ｃの内周にアクチュエータ１１を収容させたうえで、流路ユニット１０と補強フレーム１５とを接着する。

流路ユニット１０と接合された補強フレーム１５の開口部１５ｃの内周には、流路ユニット１０の上面と、アクチュエータ１１、配線ユニット１２及び剛性板１３の積層体の外周との間に間隙５０が形成されている。この間隙５０は、アクチュエータ及び流路ユニットの積層体と補強フレームとを組立てたときの位置ズレ差を吸収するための幅狭な空隙である。間隙５０は、アクチュエータ１１の全周囲に亘って略同一幅寸法Ｗ１を有する溝状に形成されている。但し、図１２及び図１３に示すように、剛性板１３の切欠１３ａが設けられた位置においては、剛性板１３の周囲の間隙５０は、他の部分の幅寸法Ｗ１よりも大きい幅寸法Ｗ２を有する（Ｈ２＞Ｈ１）。例えば、幅寸法Ｗ１は、約０.１ｍｍ〜０．９mm程度で、幅寸法Ｗ２は、約０．６ｍｍ〜１．２mm程度とすることができる。

続いて、間隙５０に、液状の封止材５３が充填される。ここで、図１５に示すように、シリコーン樹脂等の液状の封止材５３が充填された注入管５４の先端を、剛性板１３の切欠１３ａによって間隙５０の広くなった空間に差し込んで、液状の封止材５３を注入する。液状の封止材５３は、剛性板１３の切欠１３ａが設けられた位置から、これに連通している溝状の間隙５０内に順次充填される。このように、剛性板１３の切欠１３ａを利用して封止材５３を注入することによれば、間隙５０の幅寸法Ｗ１を、液状の封止材５３を注入するための注入管５４の管径（例えば、０．６〜０．８ｍｍ程度）よりも小さくすることができる。よって、補強フレーム１５の開口部１５ｃの内周を必要以上に大きくしなくともよいので、補強フレーム１５の小型化を図ることができる。

このように組立てられた補強フレーム１５と流路ユニット１０とは、図２に示すように、シート状配線基材３０の延設部３０ｂを、ヘッドホルダ８の底板部８ａに穿設したスリット孔５５に挿通させて、補強フレーム１５の上面が、ヘッドホルダ８の底板部８ａの下面と隙間を空けて平行状になるように位置合わせする。そして、底板部８ａの貫通孔５６から、接着剤１９を流し込んで、液滴吐出ヘッド１をヘッドホルダ８に固着する。次いで、液滴吐出ヘッド１のノズル面を囲むようにフロントフレーム１６を補強フレーム１５の下面に接着剤で固着される。以上のようにして、液滴吐出ヘッド１の組み立てと、この液滴吐出ヘッド１のヘッドホルダ８への組み付けが行われる。

［実施の形態２］
続いて、本発明の実施の形態２に係る液滴吐出ヘッドについて説明する。実施の形態２に係る液滴吐出ヘッドでは、実施の形態１に係る液滴吐出ヘッドと比較して、配線ユニット１２のシート状配線基材３０に設けられた起伏部３２の態様が異なり、他の部分は同一の構成である。そこで、以下では、配線ユニット１２のシート状配線基材３０に設けられた起伏部３２について図１６〜１９を用いて詳細に説明し、実施の形態１と共通する液滴吐出ヘッド１の他の部分の説明は省略する。図１６は実施の形態２に係る液滴吐出ヘッドの一部断面図、図１７は起伏部を示すシート状配線基材の周縁部の平面図、図１８は起伏部の変形例１を示すシート状配線基材の外周縁の平面図、図１９は起伏部の変形例２を示すシート状配線基材の外周縁の平面図である。

液滴吐出ヘッド１を構成する配線ユニット１２が具備するシート状配線基材３０は、接合部３０ａの剛性板１３と接合された側の面において、接合部３０ａに配置された複数の給電端子６０，６１のうち最も外縁側に配置された給電端子６０，６１と、積層方向に対応する位置に起伏部３２を有している。この起伏部３２は、図１６に示すように、シート状配線基材３０のハンダバンプ６３の周囲と積層方向に重複する位置に形成された凸部３３を有している。これにより、シート状配線基材３０のハンダバンプ６３と積層方向に重複する位置が起伏部３２の低部となり、ハンダバンプ６３の周囲と積層方向に重複する位置が起伏部３２の高部となる。ここで、「積層方向」とは、アクチュエータ１１、シート状配線基材３０、及び剛性板１３が順に積み重ねられている方向を言う。

図１７に示す起伏部３２の凸部３３は、シート状配線基材３０の接合部３０ａに配置された複数の給電端子６０，６１のうち最も外縁側に配置された給電端子６０，６１に固着されたハンダバンプ６３と積層方向に重複する部分を挟むように略平行に配置された二本の帯形状を有している。そのため、実施の形態１と同様にシート状配線基材３０にかかる引っ張り力は、内側の凸部３３、外側の凸部３３、および両者の凸部３３,３３によって区画された領域によって分断されている。また凸部３３があることで内側へ向かう引っ張り力とは反対側に働く引張り力が生ずるため、内側へ向かう引っ張り力を小さくすることができる。また、起伏部３２の凸部３３の形状はこれに限定されるものではなく、例えば、図１８に示すように、起伏部３２の凸部３３は、シート状配線基材３０の接合部３０ａに配置された複数の給電端子６０，６１のうち最も外縁側に配置された給電端子６０，６１に固着されたハンダバンプ６３と積層方向に重複する部分を囲う環形状を有したものであってもよい。この場合、シート状配線基材３０のハンダバンプ６３と重複する部分を中心に囲うように凸部３３が形成されているため、四方の引っ張り力を分散させる効果がある。よって、シート状配線基材３０と剛性板１３とを接合する接着剤６４の硬化時にシート状配線基材３０の接合部３０ａの外周縁に作用する、外周縁から内側へ引っ張る力に加え、隣接する給電端子６０，６１（ハンダバンプ６３）間を引っ張り合う力も低減することができる。

また、起伏部３２の凸部３３は、図１９に示すように、シート状配線基材３０の接合部３０ａに配置された複数の給電端子６０，６１のうち最も外縁側に配置された給電端子６０，６１に固着されたハンダバンプ６３と積層方向に重複する位置の周囲を通る波線形状を有したものであってもよい。このような形態であっても、波線形状がシート状配線基材３０の隣接するハンダバンプ６３と積層方向に重複する位置の間を通過するため、隣接する給電端子６０，６１（ハンダバンプ６３）間を引っ張り合う力を低減することができる。

このように、シート状配線基材３０の剛性板１３と接合された側の面において、シート状配線基材３０の接合部３０ａに配置された複数の給電端子６０，６１のうち最も外縁側に配置された給電端子６０，６１に固着されたハンダバンプ６３と積層方向に重複する部分の周囲に、凸部３３が形成されることにより、配線ユニット１２と剛性板１３とを硬化に伴い収縮する接着剤６４を用いて接合する際に、接着剤６４の収縮によりシート状配線基材３０に引っ張り力が作用しても、この引っ張り力は接着剤６４の塗布厚が薄くなっている凸部３３の内側と外側とで分断される。これにより、シート状配線基材３０のハンダバンプ６３と積層方向に重複する部分に作用する引っ張り力は極めて小さくなって、シート状配線基材３０の接合部３０ａの外周縁に掛かる、アクチュエータ１１から引き剥がそうとする方向の引っ張り力が低減される。よって、シート状配線基材の外周縁の撓みや反りが緩和され、アクチュエータとの剥離が防止される。

特に、シート状配線基材３０の剛性板１３で被覆されない部分は、剛性板１３による引っ張り力の抑制が働かないため、少なくともこの部分に起伏部３２が設けられていることが望ましく、このように起伏部３２を設けることによれば、より効果的にシート状配線基材３０の撓みや反りを低減させることができる。

本発明に係る液滴吐出ヘッドの構造は、配線ユニットが備えるシート状配線基材を硬化に伴って収縮する接着剤を用いて被接合材と接合する際に、利用することができる。

本発明の実施の形態に係る液滴吐出ヘッドを備えたインクジェット記録装置の平面図である。 キャリッジをＹ方向に沿って切断した断面図である。 ヘッドアセンブリの分解斜視図である。 液滴吐出ヘッドの分解斜視図である。 流路ユニットとアクチュエータの積層体の一部断面図である。 流路ユニットとアクチュエータと配線ユニットとの積層体の平面図である。 配線ユニットの平面図である。 図７におけるVIII−VIII断面図である。 起伏部を示すシート状配線基材の周縁部の平面図である。 起伏部の変形例を示すシート状配線基材の外周縁の平面図である。 シート状配線基材に設けたダミー配線の位置を説明する図である。 液滴吐出ヘッドの平面図である。 ヘッドアセンブリの平面図である。 図１３におけるXIV−XIV矢視断面の一部分を示す図である。 補強フレームとアクチュエータとの間隙に絶縁性樹脂を充填するために注入管を差し込んだ状態の断面図である。 実施の形態２に係る液滴吐出ヘッドの一部断面図である。 起伏部を示すシート状配線基材の周縁部の平面図である。 起伏部の変形例１を示すシート状配線基材の外周縁の平面図である。 起伏部の変形例２を示すシート状配線基材の外周縁の平面図である。 従来の液滴吐出ヘッドの一部断面図である。 従来の液滴吐出ヘッドの一部断面図である。 従来の液滴吐出ヘッドの一部平面図である。 従来の液滴吐出ヘッドの一部断面図である。

符号の説明

１ 液滴吐出ヘッド
２ 本体フレーム
３ キャリッジ
４ ノズル
８ ヘッドホルダ
１０ 流路ユニット
１１ アクチュエータ
１２ 配線ユニット
１３ 剛性板
１５ 補強フレーム
１６ フロントフレーム
２０ ヘッドアセンブリ
２３ 圧電シート
２４ 基板
３０ シート状配線基材
３０ａ 接合部
３０ｂ 延設部
３１ 駆動ＩＣ
３２ 起伏部
３３ 凸部
３４ ベース材
３５ カバー層
３６ 銅箔層
４１ 駆動信号用端子（表面端子）
４２ 個別電極
４３ 定電位信号用端子（表面端子）
４４ 共通電極
６０ 個別電極給電端子
６１ 共通電極給電端子
６３ ハンダバンプ
７１ 入力側配線
７２ 駆動信号出力配線
７３ 共通電位付与線
８１ マニホールド
８２ 絞り部
８３ 圧力室
８４ ディセンダ孔
８５ 個別液体流路
１００ インクジェット記録装置

Claims (6)

1. 共通液体室からノズルに至る複数の個別液体流路を有する流路ユニットと、
   前記個別液体流路の各々に対応して設けられた複数の液体吐出エネルギー付与部と前記複数の液体吐出エネルギー付与部に駆動信号を入力する複数の駆動信号用端子とを有するアクチュエータと、
   前記アクチュエータにその一部分が重ねられたシート状配線基材と、前記アクチュエータと重ねられた範囲に設けられて前記複数の駆動信号用端子とハンダを介して接合された複数の給電端子とを有する配線ユニットと、
   前記配線ユニットを介して前記アクチュエータに積層され、前記シート状配線基材と硬化に伴って収縮する接着剤にて接合された剛性板とを備え、
   前記シート状配線基材は、前記剛性板と接合された側の面の、前記複数の給電端子のうち外縁側に配置された前記給電端子と積層方向に対応する位置に、起伏部を有している、
   液滴吐出ヘッド。
2. 前記シート状配線基材の前記剛性板と接合された側の面は被覆材で被覆され、
   前記起伏部には、前記被覆材の厚みを異なえることにより形成された凸部が含まれている、
   請求項１に記載の液滴吐出ヘッド。
3. 前記剛性板は、プレス加工により成形されている、
   請求項１又は請求項２に記載の液滴吐出ヘッド。
4. 前記シート状配線基材の前記アクチュエータと重ねられた範囲の外周縁に、前記給電端子と接続されないダミー配線が設けられている、
   請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド。
5. 前記アクチュエータ、前記配線ユニット、及び前記剛性板の積層体の周囲を間隔をおいて囲むように設けられ、前記流路ユニットに接合された枠状の補強フレームを、さらに備え、
   前記積層体と前記補強フレームとの間隙に封止材が充填されている、
   請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド。
6. 前記剛性板は、その外周縁に切欠を有し、前記剛性板の前記切欠と対応する前記シート状配線基材の外周縁に、前記起伏部が設けられている、
   請求項１〜請求項５のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド。

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