JPS62135377A - インクジエツトヘツドおよびその製造方法 - Google Patents
インクジエツトヘツドおよびその製造方法Info
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- JPS62135377A JPS62135377A JP27724385A JP27724385A JPS62135377A JP S62135377 A JPS62135377 A JP S62135377A JP 27724385 A JP27724385 A JP 27724385A JP 27724385 A JP27724385 A JP 27724385A JP S62135377 A JPS62135377 A JP S62135377A
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- C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
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- H04R17/08—Gramophone pick-ups using a stylus; Recorders using a stylus signals being recorded or played back by vibration of a stylus in two orthogonal directions simultaneously
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はインクジェットヘッドに関するものである。
（従来の技術）
従来、微細なノズル孔よりインクを噴射し、７祇等の記
録媒体上に付着させ記録を行なう・［ンクジェット記録
が知られてわる。インクジェット記録の中でもオンティ
マント型インクジェットヘッドは構造が単純なため小型
で安・１曲であり、またｉ音が小さく普通、低が［車用
できるという特徴を持つ。
録媒体上に付着させ記録を行なう・［ンクジェット記録
が知られてわる。インクジェット記録の中でもオンティ
マント型インクジェットヘッドは構造が単純なため小型
で安・１曲であり、またｉ音が小さく普通、低が［車用
できるという特徴を持つ。
従来このようなオンディマント型インクジェットヘッド
は第５図ｆａ）、 （ｂ）に示すようにステンレス等か
らなる基板５０にノズル５１、インク通路５２、圧力室
５３、インク供給部５４等の溝をエツチング等により形
成し、その上に蓋板５５を重ね接着や拡散接合等により
固着させインク流路を形成している。
は第５図ｆａ）、 （ｂ）に示すようにステンレス等か
らなる基板５０にノズル５１、インク通路５２、圧力室
５３、インク供給部５４等の溝をエツチング等により形
成し、その上に蓋板５５を重ね接着や拡散接合等により
固着させインク流路を形成している。
さらに圧力室５３を形成する蓋板の外部に圧電材料中電
歪材料からなる電気−機械変換緊ｂ６が接着されている
。
歪材料からなる電気−機械変換緊ｂ６が接着されている
。
この圧電材料等力さらなる電気−機械変換素子の上面お
よび下面には電極が形成されており、この電極に駆動電
圧を印加して電気機械変換素子を変形させ、圧力室内の
インクに圧力を加え、ノズル力）らインク滴を噴射させ
て記録を行なっていた。
よび下面には電極が形成されており、この電極に駆動電
圧を印加して電気機械変換素子を変形させ、圧力室内の
インクに圧力を加え、ノズル力）らインク滴を噴射させ
て記録を行なっていた。
（発明が解決しようとする問題点）
し７：ｌ）Ｌ、％従来のヘッドでは、インク流通路の精
度が出なかったり、ノズル端部の状態が悪くインク滴の
飛翔方向が曲げられたジした。例えば、第５図（ａ）、
（ｂ）の斜視図に示した従来レリにおいて、インク流
通路の溝をエツチングで形成する場合、エツチングの精
度に限界がｆ／）り、インク噴射特性に大きく影響する
ノズル径のバラツキが大きくなる等の問題点があった。
度が出なかったり、ノズル端部の状態が悪くインク滴の
飛翔方向が曲げられたジした。例えば、第５図（ａ）、
（ｂ）の斜視図に示した従来レリにおいて、インク流
通路の溝をエツチングで形成する場合、エツチングの精
度に限界がｆ／）り、インク噴射特性に大きく影響する
ノズル径のバラツキが大きくなる等の問題点があった。
さらに平板と蓋板が重ね合わされてノズル孔が形成され
るが、ノズル端面においてこれらの板の端がそろわない
とインク滴噴射時に、先に出ている板の方にインク滴が
曲げられてしまう。そこで一般には、平板に蓋材を接合
した後、ノズル先端を切断したり、研摩したりして段差
が生じないようにしていた。しかしこの場合も材料が金
属であると、加工時にノズル内にパリが生じてしまい良
好なノズルを形成するには多くの問題がある。
るが、ノズル端面においてこれらの板の端がそろわない
とインク滴噴射時に、先に出ている板の方にインク滴が
曲げられてしまう。そこで一般には、平板に蓋材を接合
した後、ノズル先端を切断したり、研摩したりして段差
が生じないようにしていた。しかしこの場合も材料が金
属であると、加工時にノズル内にパリが生じてしまい良
好なノズルを形成するには多くの問題がある。
本発明の目的は、これらの問題点を解決し、精度の高い
インク流通路を持ち、ノズル端面が良好で、さらに駆ｋ
ｌ電圧が低い調性ＷＥなインクジェットヘッドおよびそ
の製造方法を提供することにある。
インク流通路を持ち、ノズル端面が良好で、さらに駆ｋ
ｌ電圧が低い調性ＷＥなインクジェットヘッドおよびそ
の製造方法を提供することにある。
（問題を解決するための手段）
本発明！−１電気機械変換特性を有するセラミック板が
一体化された平板構造を持ち、その内部にノズル孔イン
ク通路、圧力室およびインク通路等のインク流路が形成
されており、力Ｓつインクに圧力を与える手段として前
記セラミック内の前記圧力室近傍の該圧力室に対応する
部分に電極を形成しこれと所定の間１４をおいて他方の
４極を前記−竺ラミック内は表面に形成し、当該他方の
電極の形状外周面に相当するセラミック表面の少なくと
も一部に溝を形成してなること特徴とするインクジェッ
トヘッドである。
一体化された平板構造を持ち、その内部にノズル孔イン
ク通路、圧力室およびインク通路等のインク流路が形成
されており、力Ｓつインクに圧力を与える手段として前
記セラミック内の前記圧力室近傍の該圧力室に対応する
部分に電極を形成しこれと所定の間１４をおいて他方の
４極を前記−竺ラミック内は表面に形成し、当該他方の
電極の形状外周面に相当するセラミック表面の少なくと
も一部に溝を形成してなること特徴とするインクジェッ
トヘッドである。
さらに本発明は、感光性樹脂によりノズル孔、インク流
通路、圧力室およびインク供給部等のインク流路パター
ンを形成する工程と、樹脂により溝パターンを形成する
工程と、電気機械ｆ換特性を有するセラミック材料から
なる第１のグリーンシート上に第１の電極パターンを形
成する工程と同一セラミック材料からなる第２のグリー
ンシート上に第２の電極パターンを形成する工程と、前
記溝パターン、前記インク流路パターンおよび前記第１
および第２のグリーンシートを含むグリーンシートを積
層する工程と、前記槓ノーシたものを圧着しグリーンシ
ートを一体化する工程と、溝パターン、インク流路パタ
ーンおよびグリーンシートを圧着した積層体を焼成する
工程とを含むことを特徴とするインクジェットヘッドの
製造方法である。
通路、圧力室およびインク供給部等のインク流路パター
ンを形成する工程と、樹脂により溝パターンを形成する
工程と、電気機械ｆ換特性を有するセラミック材料から
なる第１のグリーンシート上に第１の電極パターンを形
成する工程と同一セラミック材料からなる第２のグリー
ンシート上に第２の電極パターンを形成する工程と、前
記溝パターン、前記インク流路パターンおよび前記第１
および第２のグリーンシートを含むグリーンシートを積
層する工程と、前記槓ノーシたものを圧着しグリーンシ
ートを一体化する工程と、溝パターン、インク流路パタ
ーンおよびグリーンシートを圧着した積層体を焼成する
工程とを含むことを特徴とするインクジェットヘッドの
製造方法である。
さらに本発明は圧力室壁の゛電極パターンの周囲の溝に
対応する凸部を有する平板金型を用いこの金型の上）こ
第１および第２のグリーンシートを含むグリーンシート
とインク流路パターンを所定の立体的配置となるように
７順次積層して圧着する工程により溝を形成し、その後
・実績する工程を行なうことを特徴とするインクジェッ
トヘッドの製造方法である。
対応する凸部を有する平板金型を用いこの金型の上）こ
第１および第２のグリーンシートを含むグリーンシート
とインク流路パターンを所定の立体的配置となるように
７順次積層して圧着する工程により溝を形成し、その後
・実績する工程を行なうことを特徴とするインクジェッ
トヘッドの製造方法である。
さらに本発明は、感光性樹脂によジノスル孔、インク流
通路、圧力室およびインク供給部等のインク流路パター
ンを形成する工程と、電気機緘変換特性を有するセラミ
ック材料力１らなる第１のグリーンシート上１こ第１の
電極パターンを形成する工程と、同一セラミック材料か
らなる第２のグリーンシート上に第２の電極パターンを
形成する工程と、前記インク流路パターンと前記第１お
よび第２のグリーンシー）％含むグリーンシートを積層
する工程と、前記積層したものを圧着しグリーンシート
を一体化する工程と、前記積層体を焼成する工程と、前
記一体化する工程と前記焼成する工程の間 は、前記焼
成する工程の後において前記積層体の表面に前記゛電極
の周囲に沿ったガを削ジ出す工程とを含むことを特徴と
するインクジェットヘッドの製造方法である。
通路、圧力室およびインク供給部等のインク流路パター
ンを形成する工程と、電気機緘変換特性を有するセラミ
ック材料力１らなる第１のグリーンシート上１こ第１の
電極パターンを形成する工程と、同一セラミック材料か
らなる第２のグリーンシート上に第２の電極パターンを
形成する工程と、前記インク流路パターンと前記第１お
よび第２のグリーンシー）％含むグリーンシートを積層
する工程と、前記積層したものを圧着しグリーンシート
を一体化する工程と、前記積層体を焼成する工程と、前
記一体化する工程と前記焼成する工程の間 は、前記焼
成する工程の後において前記積層体の表面に前記゛電極
の周囲に沿ったガを削ジ出す工程とを含むことを特徴と
するインクジェットヘッドの製造方法である。
この製造方法は、感光性樹脂を用いることで精度の良い
し力）も微細な流路パターンを形成できる。
し力）も微細な流路パターンを形成できる。
さらにこの流路パターンを一度セラミックグリーンシー
ト中に加圧により全体を埋め込むのではなく、他のセラ
ミックグリーンシートと同時に積層圧着することが重要
な点である。
ト中に加圧により全体を埋め込むのではなく、他のセラ
ミックグリーンシートと同時に積層圧着することが重要
な点である。
感光性の樹脂としては、一般にレジスト用に使用される
アクリル系の光硬化型樹脂をはじめとして、ナイロン系
、エポキシ系、ポリウレタン系、ポリブタジェン系など
で種々の感光性の樹脂を使用することができる。
アクリル系の光硬化型樹脂をはじめとして、ナイロン系
、エポキシ系、ポリウレタン系、ポリブタジェン系など
で種々の感光性の樹脂を使用することができる。
また圧着の温度は、グリーンシートに使用しているバイ
ンダー樹脂のガラス転移点以上であればよい。さらに圧
着時に少量の溶媒をグリーンシート上に粉精して圧着し
てもよい。
ンダー樹脂のガラス転移点以上であればよい。さらに圧
着時に少量の溶媒をグリーンシート上に粉精して圧着し
てもよい。
（作用）
不発明は、圧ｔＷ材料等の電気慢械変換特性を有する材
料を用い１こ板状のセラミック板を積層した構造を持つ
。この中に、ノズル孔や圧力室等のインク流路を形成し
である。
料を用い１こ板状のセラミック板を積層した構造を持つ
。この中に、ノズル孔や圧力室等のインク流路を形成し
である。
この積層するセラミック板（こりらかじめ′電極や目己
線のパターンを銀ペースト等の導電性材料を用いて印刷
技術等により形成しておくことにより、積層した時にセ
ラミック材料の表面だけでなく内部にまで立体的な配置
が可能となる。またセラミック板は積層圧着ｆこよジ容
易に一体化され、インクのもれ等が生じなくなる。
線のパターンを銀ペースト等の導電性材料を用いて印刷
技術等により形成しておくことにより、積層した時にセ
ラミック材料の表面だけでなく内部にまで立体的な配置
が可能となる。またセラミック板は積層圧着ｆこよジ容
易に一体化され、インクのもれ等が生じなくなる。
また、ヘッド全体を同一材料で形成できるため、焼成に
よる材料の収縮が均一となり湾曲やひび割れ等が生じに
く−。さら（こノズル端面も焼成後、切断しただけでも
パリや段差のない端面が祷られる。さらに研摩すること
により、パリの無いなりら力）な端面となり、安定な＋
＋Ｎ噴射が行なえる本発明では圧力室内のインクに圧力
を作用させるため、圧力室の壁に磁界を印加するための
電極を形成している。ここでは、−例として１つのに極
を外面に、もう１つの電極を壁の内部、壁の厚さのほぼ
十の位置に配置しである。この電極に、電極にはさまれ
た部分の圧電材料が収縮するような避圧を印カロするこ
とイこより、壁の′屯がが印〃口されない残りの層とで
バイモルフを形成し、壁が湾曲し、圧力室内′ｃｉｂの
インクを押し出す。このときこの′成極の周囲に深さと
してほぼ内部の成極の位ｔｆｆｉまでの溝を形成してお
くことにより、成極に′４界が印加された時に′成極の
周囲のｋＪ！、から溝により分離しであるため電極間の
圧電材料の収縮が妨げられず自由な変形が得られる。よ
って駆動電圧の低下や、内部歪の軽減が得られる。
よる材料の収縮が均一となり湾曲やひび割れ等が生じに
く−。さら（こノズル端面も焼成後、切断しただけでも
パリや段差のない端面が祷られる。さらに研摩すること
により、パリの無いなりら力）な端面となり、安定な＋
＋Ｎ噴射が行なえる本発明では圧力室内のインクに圧力
を作用させるため、圧力室の壁に磁界を印加するための
電極を形成している。ここでは、−例として１つのに極
を外面に、もう１つの電極を壁の内部、壁の厚さのほぼ
十の位置に配置しである。この電極に、電極にはさまれ
た部分の圧電材料が収縮するような避圧を印カロするこ
とイこより、壁の′屯がが印〃口されない残りの層とで
バイモルフを形成し、壁が湾曲し、圧力室内′ｃｉｂの
インクを押し出す。このときこの′成極の周囲に深さと
してほぼ内部の成極の位ｔｆｆｉまでの溝を形成してお
くことにより、成極に′４界が印加された時に′成極の
周囲のｋＪ！、から溝により分離しであるため電極間の
圧電材料の収縮が妨げられず自由な変形が得られる。よ
って駆動電圧の低下や、内部歪の軽減が得られる。
（実施例）
以下図面を用いて実施例を説明する。
第１図は本発明１こよるインクジェットヘッドの一実施
例を説明するための図で（ａ）は斜視図、（ｂｌは同図
（ａｌのＡ−Ａ’における断面図である。
例を説明するための図で（ａ）は斜視図、（ｂｌは同図
（ａｌのＡ−Ａ’における断面図である。
本実飛列に示したヘッドは、圧電材料や砥歪材料からな
るセラミック板を積層した平板構造となっている。その
内部には従来のオンディ４マント型ヘツドと同様インク
噴射時にインクに圧力を作用する圧力室があり、圧力室
１６はインク流通路を介して、ノズル孔１１に連通して
いる、また圧力室へはインクを供給するための供給口が
あり外部インクタンクに連通した共通インク室ｉこつな
がっている。
るセラミック板を積層した平板構造となっている。その
内部には従来のオンディ４マント型ヘツドと同様インク
噴射時にインクに圧力を作用する圧力室があり、圧力室
１６はインク流通路を介して、ノズル孔１１に連通して
いる、また圧力室へはインクを供給するための供給口が
あり外部インクタンクに連通した共通インク室ｉこつな
がっている。
第１図（ｂｌに示すように圧力室１６を形成している壁
には、電離が形成されてお９１つは壁の外面にもう１つ
は壁の内部に形成しである。
には、電離が形成されてお９１つは壁の外面にもう１つ
は壁の内部に形成しである。
その形状は、概略圧力型と同一形状を持ち、ここでは長
方形の場合を示している。円部の電極１８は壁の厚みの
ほぼ中央に位ｔＵ ｃせている。
方形の場合を示している。円部の電極１８は壁の厚みの
ほぼ中央に位ｔＵ ｃせている。
内部電極１８は、向じく埋め込゛まれた配線パターンと
壁にあけられたスルーホール１７により外部に導び力）
れ端子１４に接続されている。一方外壁上の電極１２は
配線パターンにより他の繻子１３に接続されている。こ
の成極１２の周囲には、鴬１５が形成されている。
壁にあけられたスルーホール１７により外部に導び力）
れ端子１４に接続されている。一方外壁上の電極１２は
配線パターンにより他の繻子１３に接続されている。こ
の成極１２の周囲には、鴬１５が形成されている。
溝は、はぼ成極１８の位謹に相当する深さあるいはそれ
以上にする。溝の巾は、特に制限は無い。第１図に示し
た実施例では、複数の圧力室に対応する個々の電極の両
側に溝を形成した場合を示しているが、隣接する電極間
の溝を１つにまとめても同様の効果が得られる。本実施
例において端子１３゜１４に駆動電圧を印加する。
以上にする。溝の巾は、特に制限は無い。第１図に示し
た実施例では、複数の圧力室に対応する個々の電極の両
側に溝を形成した場合を示しているが、隣接する電極間
の溝を１つにまとめても同様の効果が得られる。本実施
例において端子１３゜１４に駆動電圧を印加する。
この場合電圧の極性としては％電極１２および１８では
さまれた層が電界により収縮するようｌこ選ぶ。
さまれた層が電界により収縮するようｌこ選ぶ。
このような駆動電圧が印加されると、上述のよりに成極
１２および１８にはさまれた層の巾が収縮するような応
力が発生する。この部分はａ極１２の両側にある溝１５
により他の壁材と分離しであるため、収縮を妨げるよう
な外力を受けることなく、バイモルフとして効率よく変
形するようになる。ざらζこ従来に比べ少ない電圧印加
で、同等の変形が得られるため、壁の内部応力も小さく
なり壁の弾性限界を越えた応力による扱壊や、疲労によ
る破壊が生じなくなった。
１２および１８にはさまれた層の巾が収縮するような応
力が発生する。この部分はａ極１２の両側にある溝１５
により他の壁材と分離しであるため、収縮を妨げるよう
な外力を受けることなく、バイモルフとして効率よく変
形するようになる。ざらζこ従来に比べ少ない電圧印加
で、同等の変形が得られるため、壁の内部応力も小さく
なり壁の弾性限界を越えた応力による扱壊や、疲労によ
る破壊が生じなくなった。
次に本発明によるインクジェットヘッドの製造方法の第
１の実施ｔｌｌを示す。ベット本体を画成するためのセ
ラミック制科としてＰｂＴ＋Ｏ：＋ ＰｂＺｒＯ３系
のセラミックグリーンシートを用いた。グリーンシート
の厚みはポク１００μｍとした。Ｃ粍他材料としては、
銀ペーストを用いた。
１の実施ｔｌｌを示す。ベット本体を画成するためのセ
ラミック制科としてＰｂＴ＋Ｏ：＋ ＰｂＺｒＯ３系
のセラミックグリーンシートを用いた。グリーンシート
の厚みはポク１００μｍとした。Ｃ粍他材料としては、
銀ペーストを用いた。
グリ−シートは所定の形状に切断しておく。
第２図（ａ）〜（ｆ）に流路パターンの形成７１）ら焼
結までの工程を説明する断面構造図を示す。まず、ポリ
エステルフィルム等からなるキャリアフィルム２１上に
感光性樹脂２２を所定の厚さにコーティングする。この
上に流路パターンのｉｍを持つフォトマスク２０を重ね
元を照射して露光する。第２図（ａＪ。その後現像処理
を行って所定の流路パターン２３を序成する。（第２図
（ｂ）） 次にグリーンシート上に冠王を印加するための成極パタ
ーンや配線パターンをスクリーン印刷等を用いて形成す
る。ここでは−例として第１のグリーンシート２４（こ
外部の電極パターン２５を形成し第２のグリーンシート
２６に内部の成極パターン２７を形成した場合を示す。
結までの工程を説明する断面構造図を示す。まず、ポリ
エステルフィルム等からなるキャリアフィルム２１上に
感光性樹脂２２を所定の厚さにコーティングする。この
上に流路パターンのｉｍを持つフォトマスク２０を重ね
元を照射して露光する。第２図（ａＪ。その後現像処理
を行って所定の流路パターン２３を序成する。（第２図
（ｂ）） 次にグリーンシート上に冠王を印加するための成極パタ
ーンや配線パターンをスクリーン印刷等を用いて形成す
る。ここでは−例として第１のグリーンシート２４（こ
外部の電極パターン２５を形成し第２のグリーンシート
２６に内部の成極パターン２７を形成した場合を示す。
この内部成極パターン力１ら外部へ配線を引き出す部分
には積層した時に内部配線に重なるように第１のグリー
ンシートにスルーホールを形成しておく。このように成
極パターンやスルーホールを形成したグリーンシート２
４や２６さらに他のグリーンシート２８とキャリアフイ
ルムカ）ら剥離した流路パターン２３を金型を用い、空
孔、電極その他の印刷されたパターンが所定の三次元的
配置となるように積層する（第２図（Ｃ））。
には積層した時に内部配線に重なるように第１のグリー
ンシートにスルーホールを形成しておく。このように成
極パターンやスルーホールを形成したグリーンシート２
４や２６さらに他のグリーンシート２８とキャリアフイ
ルムカ）ら剥離した流路パターン２３を金型を用い、空
孔、電極その他の印刷されたパターンが所定の三次元的
配置となるように積層する（第２図（Ｃ））。
これを圧力を加え一体化する。すると同図ｆｄｌのよう
に圧力により分離していたグリーンシートは、流路パタ
ーン２３を包み込むように流動し互いに接触して一体化
する。
に圧力により分離していたグリーンシートは、流路パタ
ーン２３を包み込むように流動し互いに接触して一体化
する。
次ｔこ積層一体化されたグリーンシート３０の電極パタ
ーン２５の間にカッター等を用いて溝２９を削り出す（
第２図（ｅ））。溝の深さは第１のグリーンシート２４
の厚さを目安とする。即ち内Ｗ＜極２７の深さまで溝を
掘る。
ーン２５の間にカッター等を用いて溝２９を削り出す（
第２図（ｅ））。溝の深さは第１のグリーンシート２４
の厚さを目安とする。即ち内Ｗ＜極２７の深さまで溝を
掘る。
その後積層体は、必要に応じて所定の寸法に切断した後
、ます流路パターン樹脂ｎや、グリーンシート中の有機
物を脱バインダ一工程で酸化雰囲気中でゆっくり加熱し
、分解消失させる。この時急敏な温度上昇を行なうと積
層体が破損するため２５℃／時間以下のゆつくりとした
速度で５００〜６００’Ｃに昇温し充分長い時間保持し
て有機物を完全に消失させる。この脱バインダ一工程を
行つた後は、積層体３０の中には樹力旨が７ハ失し、流
路パターンに相当する空孔３１が形成されている。さら
に積層体の外部や内部に゛４極パターン２５．２７がノ
ｅ成される。
、ます流路パターン樹脂ｎや、グリーンシート中の有機
物を脱バインダ一工程で酸化雰囲気中でゆっくり加熱し
、分解消失させる。この時急敏な温度上昇を行なうと積
層体が破損するため２５℃／時間以下のゆつくりとした
速度で５００〜６００’Ｃに昇温し充分長い時間保持し
て有機物を完全に消失させる。この脱バインダ一工程を
行つた後は、積層体３０の中には樹力旨が７ハ失し、流
路パターンに相当する空孔３１が形成されている。さら
に積層体の外部や内部に゛４極パターン２５．２７がノ
ｅ成される。
この積層体は、空気中にて約１１５０℃で２時間焼結し
て磁器化した。（第２図（ｆ））最後にノズル端面に相
当する部分で積層体を切断してノズル端面を形成する。
て磁器化した。（第２図（ｆ））最後にノズル端面に相
当する部分で積層体を切断してノズル端面を形成する。
この端面ば、研摩することζこより、さらに安定な滴噴
射が得られた。
射が得られた。
本実施例では、積層し加圧による一体化をした抜溝をカ
ッティングする例を示したが、これζこ限定されること
はなく、焼結により磁器化した後で溝をカッテングして
も同様のインクジェットヘッドが得られる。
ッティングする例を示したが、これζこ限定されること
はなく、焼結により磁器化した後で溝をカッテングして
も同様のインクジェットヘッドが得られる。
第３図（ａ）〜（ｅ）にインクジ′エツトヘッド製造方
法の第２の界施例の工程を断面構造図で示す。本実施例
は、溝を形成する工程を積層、三層工程において同時に
得られるもので、工程の簡略化が行なえる。
法の第２の界施例の工程を断面構造図で示す。本実施例
は、溝を形成する工程を積層、三層工程において同時に
得られるもので、工程の簡略化が行なえる。
本実施例において感光性樹脂による流路パターン２３や
グリーンシー）２４．２６上への電極２５−２７および
配線パターンの形成は、第１の実施例と同様の工程によ
って形成する。（第３図（ａ）〜第３図（ｂ））次に積
層工程において押し付けるための金型３２として１極あ
の間に形成すべき溝に対応する位置に溝の押しＵを作る
ための凸部３３を形成したものを使用する。
グリーンシー）２４．２６上への電極２５−２７および
配線パターンの形成は、第１の実施例と同様の工程によ
って形成する。（第３図（ａ）〜第３図（ｂ））次に積
層工程において押し付けるための金型３２として１極あ
の間に形成すべき溝に対応する位置に溝の押しＵを作る
ための凸部３３を形成したものを使用する。
このような金型を使用し、この上に第１のグリーンシー
ト２４、第２のグリーンシート２６、流路パターンｎ個
のグリーンシー）２８等を空孔、電極等が所定の三次元
的な配置となるように順次積層する。
ト２４、第２のグリーンシート２６、流路パターンｎ個
のグリーンシー）２８等を空孔、電極等が所定の三次元
的な配置となるように順次積層する。
（第３図（Ｃ））槓ノー後圧力を加えて一体化する。
（第３図（ｄ）） この工程によりグリーンシートは
流路パターン２３や金型の凸部あの形状に応じ、そのす
き間を埋めるように流動し、互いに接触して一体化され
る。ここで必要に応じて圧力とともに加熱してもよい。
流路パターン２３や金型の凸部あの形状に応じ、そのす
き間を埋めるように流動し、互いに接触して一体化され
る。ここで必要に応じて圧力とともに加熱してもよい。
これによりグリーンシートの積層一体化と溝の形成が同
時に行なえる。
時に行なえる。
その後積層体３５は８女に応じて切断し、第１の製造法
の実施例と同様の脱バインダ一工程により樹脂や有機物
を分解消失させ、その後焼結して磁器化する。（第３図
（ｅ）） 第４図（ａ）、［ｂ）＃ζ本発明によるインクジェット
製造法の第３の実施例の積層、圧着工性を断面（Ｎ逍図
で示す。本実施例は、前記第２の実施例に２いて金型に
よる凹状の溝形成では、圧着よ金型からはずす時に溝が
変形することがある。不実施例はこれを改善したもので
ある。
の実施例と同様の脱バインダ一工程により樹脂や有機物
を分解消失させ、その後焼結して磁器化する。（第３図
（ｅ）） 第４図（ａ）、［ｂ）＃ζ本発明によるインクジェット
製造法の第３の実施例の積層、圧着工性を断面（Ｎ逍図
で示す。本実施例は、前記第２の実施例に２いて金型に
よる凹状の溝形成では、圧着よ金型からはずす時に溝が
変形することがある。不実施例はこれを改善したもので
ある。
本実施例では、流路パターンを形成するための感光性樹
脂を用すて、電極間に形成すべき溝に対応する溝パター
ン４０を形成する。第４図（ａｌの積層工程において金
型４１の甲に、この藺パターン４０、′≦極や配線パタ
ーンを形成したグリーンシート２４゜２５、流路パター
ンおさらに仙のグリーン７−）２８を溝、空孔、成極等
が、所定の三次元的配置となるように積層する。次に同
図（ｂｌの圧７Ｊ工程で、卯圧し一体化する。
脂を用すて、電極間に形成すべき溝に対応する溝パター
ン４０を形成する。第４図（ａｌの積層工程において金
型４１の甲に、この藺パターン４０、′≦極や配線パタ
ーンを形成したグリーンシート２４゜２５、流路パター
ンおさらに仙のグリーン７−）２８を溝、空孔、成極等
が、所定の三次元的配置となるように積層する。次に同
図（ｂｌの圧７Ｊ工程で、卯圧し一体化する。
このとき溝パターン４０はグリーンンートノ’ｉコｌｃ
埋め込まれる。
埋め込まれる。
この積層体４２を脱バインダ一工程で酸化逐囲気中で加
熱し、樹脂等の有機物を分解消失妊せる。これにより流
路パターン−Ｖ′溝が形成される。
熱し、樹脂等の有機物を分解消失妊せる。これにより流
路パターン−Ｖ′溝が形成される。
本実施例では溝のパターンを感光性樹脂を用いて形成し
たが、これに限定きれることなく例えばプラスチックフ
ィルムを溝パターン形状に打ち抜く等により形成したも
のも使用できる。
たが、これに限定きれることなく例えばプラスチックフ
ィルムを溝パターン形状に打ち抜く等により形成したも
のも使用できる。
このように本実施例では、聞脂による溝パターンをグリ
ーンシートに埋め込んだまま脱バインダ一工程を行なう
ため溝の形状が変形することなく各ノズル間の特性のバ
シツキの少なめヘッドが得られる。
ーンシートに埋め込んだまま脱バインダ一工程を行なう
ため溝の形状が変形することなく各ノズル間の特性のバ
シツキの少なめヘッドが得られる。
（発明の効果）
このように本発明によりセラミック積Ｎ構造のインクジ
ェットへ、ドにおいて圧力室壁の電極の周囲に溝を形成
することにより電圧印加時の壁の変形が妨げられること
なく低い駆ｉｔ圧でインク噴射が行なえるようになった
。
ェットへ、ドにおいて圧力室壁の電極の周囲に溝を形成
することにより電圧印加時の壁の変形が妨げられること
なく低い駆ｉｔ圧でインク噴射が行なえるようになった
。
また電極周囲が固定されている時に比べ壁の内部応力も
小さくなり壁のひび割れが生じなくなりヘッドの耐久性
が改善された。
小さくなり壁のひび割れが生じなくなりヘッドの耐久性
が改善された。
また本発明の製造法により従来とほとんで同一工程にて
電極の周囲に溝を形成することが可能できわめて容易に
単一構成ｙ料で、ノズル孔、圧力室等の流路孔や溝など
の構造や、その表面や内部等に電極、配線パターン等が
形成されたインクジェットヘッドを提供することができ
る。
電極の周囲に溝を形成することが可能できわめて容易に
単一構成ｙ料で、ノズル孔、圧力室等の流路孔や溝など
の構造や、その表面や内部等に電極、配線パターン等が
形成されたインクジェットヘッドを提供することができ
る。
第１図ｆａ）は本発明によるインクジェットヘッドの一
実施例を説明するための斜視図、同図（ｂｌは同図（ａ
）のＡ−Ａ’断面図、第２図（ａ） 〜（ｆ）、第３図
（ａ）〜（ｅ）および第４図（ａ）、 （’）ｌはそれ
ぞれ本発明によるインクジェットヘッドの製造方法の第
１．第２および第３の実施例の工程を示す断面図、第５
図（ａ）ｆｂ）は従来のインクジェットヘッドの斜視図
である。 なお図中において、 １０はヘッド本体、 １１はノズル孔、 １２は電極、
１３および１４は端子、 １５は溝、 １６は圧力
室、１７はスルーホール、１８は′電極、 ２０はフ
ォトマスク、２１はキャリアフィルム、 ２２は感光性
樹脂、 ２３は流路パターン、、２４は第１のグリーン
シート、 ２５は電極パターン、 ２６は第２のグリー
ンシート、２７は電極パターン、２８はグリーンシート
、 ２９は溝、 ３０は積層一体化されたグリーンシー
ト、 ３１は空孔、 ３２は金型、 ３３は凸部、
３４は金型、 ３６は空孔、 ３７および３８は′（極
パターン、 ３９は溝、 ４０は溝パターン。 ４１１−を金型、 ４２は積層一体化されたグリーンシ
ート、５０は基板、 ５１はノズル孔、５２はインク流
通路、５３は圧力室、 ５・１はインク供給、５５は蓋
板、 ５６ｒｒｉ圧電素子、 ５７はインク導入口であ
る。 第１図 （ａ） （ｂ） オ ２ 図 第３図 第４図 第５図
実施例を説明するための斜視図、同図（ｂｌは同図（ａ
）のＡ−Ａ’断面図、第２図（ａ） 〜（ｆ）、第３図
（ａ）〜（ｅ）および第４図（ａ）、 （’）ｌはそれ
ぞれ本発明によるインクジェットヘッドの製造方法の第
１．第２および第３の実施例の工程を示す断面図、第５
図（ａ）ｆｂ）は従来のインクジェットヘッドの斜視図
である。 なお図中において、 １０はヘッド本体、 １１はノズル孔、 １２は電極、
１３および１４は端子、 １５は溝、 １６は圧力
室、１７はスルーホール、１８は′電極、 ２０はフ
ォトマスク、２１はキャリアフィルム、 ２２は感光性
樹脂、 ２３は流路パターン、、２４は第１のグリーン
シート、 ２５は電極パターン、 ２６は第２のグリー
ンシート、２７は電極パターン、２８はグリーンシート
、 ２９は溝、 ３０は積層一体化されたグリーンシー
ト、 ３１は空孔、 ３２は金型、 ３３は凸部、
３４は金型、 ３６は空孔、 ３７および３８は′（極
パターン、 ３９は溝、 ４０は溝パターン。 ４１１−を金型、 ４２は積層一体化されたグリーンシ
ート、５０は基板、 ５１はノズル孔、５２はインク流
通路、５３は圧力室、 ５・１はインク供給、５５は蓋
板、 ５６ｒｒｉ圧電素子、 ５７はインク導入口であ
る。 第１図 （ａ） （ｂ） オ ２ 図 第３図 第４図 第５図
Claims (4)
- （１）電気機械変換特性を有するセラミックが一体化さ
れた平板構造を持ち、その内部にノズル孔、インク通路
、圧力室およびインク通路等のインク流路となる空間部
が形成されており、かつ、前記セラミック内の前記圧力
室近傍の該圧力室に対応する位置に電極が形成されてお
り、該電極と所定の間隔をおいて前記セラミック内又は
その表面に他の電極が形成され、前記他の電極の形状の
外周面に相当するセラミック表面の少なくとも一部に溝
が形成されている特徴とするインクジェットヘッド。 - （２）感光性樹脂によりノズル孔、インク流通路、圧力
室およびインク供給部等のインク流路パターンを形成す
る工程と、樹脂により溝パターンを形成する工程と、電
気機械変換特性を有するセラミック材料を含む第１のグ
リーンシート上に第１の電極パターンを形成する工程と
、同一セラミック材料を含む第２のグリーンシート上に
第２の電極パターンを形成する工程と、前記溝パターン
、前記インク流路パターン、および前記第１および第２
のグリーンシートを含む複数のグリーンシートを積層す
る工程と、前記積層したものを圧着しグリーンシートを
一体化する工程と、溝パターン、インク流路パターンお
よびグリーンシートを圧着した積層体を焼成する工程と
を含むことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方
法。 - （３）感光性樹脂によりノズル孔、インク流通路圧力室
およびインク供給部等のインク流路パターンを形成する
工程と、電気機械変換特性を有するセラミックス材料を
含む第１のグリーンシート上に第１の電極パターンを形
成する工程と、同一セラミック材料からなる第２のグリ
ーンシート上に第２の電極パターンを形成する工程と、
前記圧力空壁の電極パターンの周囲の溝に対応する凸部
を有する平板金型上に前記第１および第２のグリーンシ
ートを含む複数のグリーンシートと前記インク流路パタ
ーンをそれぞれ所定の立体的配置となるように順次積層
し圧着しグリーンシートを一体化する工程と、圧着した
積層体を焼結する工程とを含むことを特徴とするインク
ジェットヘッドの製造方法。 - （４）感光性樹脂によりノズル孔、インク流通路、圧力
室およびインク供給部等のインク流路パターンを形成す
る工程と、電気機械変換特性を有するセラミック材料を
含む第１のグリーンシート上に第１の電極パターンを形
成する工程と、同一セラミック材料を含む第２のグリー
ンシート上に第２の電極パターンを形成する工程と、前
記インク流路パターンと前記第１および第２のグリーン
シートを含むグリーンシートを積層する工程と、前記積
層したものを圧着しグリーンシートを一体化する工程と
、前記積層体を焼成する工程と、前記一体化する工程と
前記焼成する工程の間又は前記焼成する工程の後におい
て前記積層体の表面に前記電極の周囲に沿って溝を形成
する工程とを含むことを特徴とするインクジェットヘッ
ドの製造方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27724385A JPS62135377A (ja) | 1985-12-09 | 1985-12-09 | インクジエツトヘツドおよびその製造方法 |
| US06/923,105 US4766671A (en) | 1985-10-29 | 1986-10-24 | Method of manufacturing ceramic electronic device |
| EP86308344A EP0220959B1 (en) | 1985-10-29 | 1986-10-27 | Ceramic electronic device and method of manufacturing the same |
| DE8686308344T DE3688356T2 (de) | 1985-10-29 | 1986-10-27 | Elektronische keramische vorrichtung und zugehoeriges herstellungsverfahren. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27724385A JPS62135377A (ja) | 1985-12-09 | 1985-12-09 | インクジエツトヘツドおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62135377A true JPS62135377A (ja) | 1987-06-18 |
Family
ID=17580811
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27724385A Pending JPS62135377A (ja) | 1985-10-29 | 1985-12-09 | インクジエツトヘツドおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62135377A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3805279A1 (de) * | 1988-02-19 | 1989-08-31 | Siemens Ag | Piezoelektrischer tintendruckkopf und verfahren zu seiner herstellung |
| JPH0247066A (ja) * | 1988-08-09 | 1990-02-16 | Nec Corp | セラミック電子部品の製造方法 |
| EP0600743A2 (en) * | 1992-12-04 | 1994-06-08 | Ngk Insulators, Ltd. | Actuator having ceramic substrate and ink jet print head using the actuator |
| EP1046505A1 (en) * | 1999-04-19 | 2000-10-25 | Océ-Technologies B.V. | Inkjet printhead |
| EP1046506A1 (en) * | 1999-04-19 | 2000-10-25 | Océ-Technologies B.V. | Inkjet printhead |
| JP2006035545A (ja) * | 2004-07-26 | 2006-02-09 | Brother Ind Ltd | インクジェットヘッド |
-
1985
- 1985-12-09 JP JP27724385A patent/JPS62135377A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3805279A1 (de) * | 1988-02-19 | 1989-08-31 | Siemens Ag | Piezoelektrischer tintendruckkopf und verfahren zu seiner herstellung |
| JPH0247066A (ja) * | 1988-08-09 | 1990-02-16 | Nec Corp | セラミック電子部品の製造方法 |
| EP0600743A2 (en) * | 1992-12-04 | 1994-06-08 | Ngk Insulators, Ltd. | Actuator having ceramic substrate and ink jet print head using the actuator |
| EP0600743A3 (ja) * | 1992-12-04 | 1994-08-31 | Ngk Insulators Ltd | |
| US5617127A (en) * | 1992-12-04 | 1997-04-01 | Ngk Insulators, Ltd. | Actuator having ceramic substrate with slit(s) and ink jet print head using the actuator |
| EP1046505A1 (en) * | 1999-04-19 | 2000-10-25 | Océ-Technologies B.V. | Inkjet printhead |
| EP1046506A1 (en) * | 1999-04-19 | 2000-10-25 | Océ-Technologies B.V. | Inkjet printhead |
| US6517196B1 (en) | 1999-04-19 | 2003-02-11 | Océ-Technologies B.V. | Inkjet printhead |
| JP2006035545A (ja) * | 2004-07-26 | 2006-02-09 | Brother Ind Ltd | インクジェットヘッド |
| JP4622362B2 (ja) * | 2004-07-26 | 2011-02-02 | ブラザー工業株式会社 | インクジェットヘッド |
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