DE3805279A1 - Piezoelektrischer tintendruckkopf und verfahren zu seiner herstellung - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft einen piezoelektrischen Tintendruckkopf mit einem monolithischen Piezokeramikkörper, der parallel neben­ einander angeordnete Wandler aufweist, wobei jeder Wandler ein planares, piezoelektrisches Antriebselement, eine Druckkammer, einen Tintenkanal und eine Düse aufweist, die Druckkammern, die Tintenkanäle und die Düsen als Hohlräume im Piezokeramikkörper ausgebildet sind und jedes Antriebselement eine äußere Elektro­ de, eine innere Elektrode und eine zwischen den Elektroden an­ geordnete aktive Piezokeramikschicht aufweist. Die Erfindung betrifft außerdem ein Verfahren zur Herstellung des piezoelek­ trischen Tintendruckkopfes.

Piezoelektrische Tintendruckköpfe mit planaren Antriebselemen­ ten sind in verschiedenen Ausführungsformen bekannt.

Ein piezoelektrischer Tintendruckkopf mit planaren Antriebsele­ menten ist in der deutschen Patentanmeldung P 37 10 654.6 offen­ bart. Der Tintendruckkopf ist aus mehreren Metallplatten zusam­ mengesetzt, wobei die Druckkammern, die Tintenkanäle und die Düsen aus Durchgangsöffnungen der Einzelplatten gebildet wer­ den. Die Antriebselemente enthalten Piezokeramikplättchen und sind auf einer Membranplatte voneinander separiert angebracht, die benachbart zur Druckkammerplatte angeordnet ist. Der Tin­ tendruckkopf wird nach dem Herstellen der Antriebselemente und der einzelnen Platten sandwichartig zusammengesetzt.

Bei den allgemein bekannten elektrischen Tintendruckköpfen sind die Düsenabstände recht groß, so daß die Druckpunktdichte, das heißt die Anzahl der Druckpunkte pro Länge, beschränkt ist.

Aufgabe der Erfindung ist es, einen piezoelektrischen Tinten­ druckkopf anzugeben, mit dem eine besonders hohe Druckpunktdich­ te erreicht werden kann und bei dem das Übersprechen zwischen den einzelnen Antriebselementen vermieden ist. Ein Teil der Auf­ gabe ist es, ein Verfahren zur Herstellung eines solchen piezo­ elektrischen Tintendruckkopfs anzugeben.

Diese Aufgabe wird bei einem piezoelektrischen Tintendruckkopf der eingangs genannten Art dadurch gelöst, daß die Antriebsele­ mente durch Einschnitte in der aktiven Piezokeramikschicht pie­ zoelektrisch voneinander separiert sind.

Ein Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Tinten­ druckkopfs ist gekennzeichnet durch die Verfahrensschritte

• a) Herstellung des monolithischen Piezokeramikkörpers,
• b) Aufbringen von Metallstrukturen auf den Piezokeramikkörper zur Herstellung der äußeren Elektroden,
• c) Polarisieren der aktiven Piezokeramikschicht,
• d) Separieren der Antriebselemente durch Erzeugen von Ein­ schnitten in der aktiven Piezokeramikschicht durch Laser­ ätzen, und
• e) Erzeugen der Düsen im Piezokeramikkörper durch Laserätzen, so daß jeweils eine Düse auf den Ausgang einer Druckkammer trifft.

Weitere Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung gehen aus den Unteransprüchen sowie der anhand von Ausführungsbei­ spielen gegebenen Beschreibung hervor.

Fig. 1 zeigt in schematischer Darstellung einen piezoelektri­ schen Wandler eines monolithischen Piezokeramikkörpers mit geöffneter Druckkammer,

Fig. 2 zeigt in schematischer Darstellung einen Schnitt durch einen monolithischen Piezokeramikkörper eines piezoelek­ trischen Tintendruckkopfs bei Anlegen eines Spannungs­ impulses,

die Fig. 3 bis 5 zeigen schematisch einen monolithischen Piezokeramikkörper, der mehrere Wandler aufweist, als Schnittdarstellungen,

Fig. 6 zeigt in schematischer Darstellung die Schichtenfolge von Piezokeramikrohfolien bei der Herstellung eines mo­ nolithischen Piezokeramikkörpers,

in Fig. 7 ist anhand von vier aufeinanderfolgenden Bearbeitungs­ stadien a), b), c), d) die Herstellung eines monolithi­ schen Piezokeramikkörpers schematisch dargestellt,

Fig. 8 zeigt in schematischer Darstellung die Schichtenfolge von Piezokeramikrohfolien bei der Herstellung eines monolithischen Piezokeramikkörpers, der ein Tintensieb aufweist,

Fig. 9 zeigt in schematischer Darstellung das voneinander Se­ parieren der Antriebselemente durch Laserätzen,

Fig. 10 zeigt in schematischer Darstellung das Laserätzen der Düsen,

Fig. 11 zeigt in schematischer Darstellung einen piezoelektri­ schen Tintendruckkopf mit einem monolithischen Piezo­ keramikkörper,

Fig. 12 zeigt in schematischer Darstellung den piezoelektri­ schen Tintendruckkopf aus Fig. 11 mit einem Halte­ rahmen,

Fig. 13 zeigt in schematischer Darstellung ein Gehäuse zur Aufnahme eines piezoelektrischen Tintendruckkopfs.

Fig. 1: Ein piezokeramischer Wandler aus monolithischer Piezo­ keramik weist eine Druckkammer 8, einen Tintenkanal 10 (Fig. 2), eine Düse 9 und ein Antriebselement 11 auf. Das Antriebselement 11 besteht aus einer aktiven Piezokeramikschicht 5, einer inne­ ren Elektrode 4 und einer äußeren Elektrode 6. Die Druckkammer­ wand 14, die aktive Piezokeramikschicht 5 sowie die Elektroden 4 und 6 sind in dieser Darstellung nur zum Teil eingezeichnet. Die mit den Elektroden 4 und 6 versehene aktive Piezokeramik­ schicht 5 und die darunter liegende Druckkammerwand 14 bilden einen Biegewandler. Das Antriebselement 11 ist durch keilförmi­ ge Trennfurchen 21 von benachbarten (in der Figur nicht darge­ stellten) weiteren Antriebselementen separiert. Diese Einschnit­ te verhindern das Übersprechen zwischen den einzelnen Antriebs­ elementen. Damit kann das unerwünschte Nebensprechen, das heißt eine piezoelektrische Anregung benachbarter Antriebselemente, vermieden werden.

Fig. 2: Beim Anlegen eines Spannungsimpulses 15 zwischen den elektrischen Anschlüssen 12 der Elektroden 4 und 6 entstehen in­ folge des piezoelektrischen Effekts Kräfte (mit Pfeilen ange­ deutet) in der aktiven Piezokeramikschicht 5, die ein Durchbie­ gen der aktiven Piezoekeramikschicht 5 und der darunter liegen­ den Druckkammerwand 14 bewirken. Dabei wird aus der Düse 9 ein Tintentropfen 13 ausgestoßen.

Fig. 3: In einer Draufsicht eines monolithischen Piezokeramik­ körpers sind die äußeren Elektroden 6 und die darunter liegen­ den Druckkammern 8 der piezoelektrischen Wandler 19 dargestellt. Die äußeren Elektroden 6 sind etwas schmaler als die Druckkam­ mern 8, damit beim Anlegen eines Spannungsimpulses nur der Be­ reich der aktiven Piezokeramikschicht angeregt wird, der sich direkt über der Druckkammer 8 befindet. Die elektrischen An­ schlüsse 7 müssen so breit sein, daß sie gut kontaktierbar sind. Unter den elektrischen Anschlüssen 7 liegen die Tintenkanäle 10. Die keilförmigen Trennfurchen 21 verlaufen parallel zu den Druckkammern 8.

Fig. 4: Die Darstellung zeigt den monolithischen Piezokeramik­ körper aus Fig. 3 als Schnitt längs einer Druckkammer im Tin­ tenausstoßrichtung entlang der Linie IV-IV. Die aktive Piezo­ keramikschicht 5, die innere Elektrode 4 und die äußere Elek­ trode 6 bilden das Antriebselement 11, das über der Druckkam­ merwand 14 der Druckkammer 8 angeordnet ist.

Fig. 5: Die Darstellung zeigt den monolithischen Piezokeramik­ körper aus Fig. 3 als Schnitt durch die Düsenfront entlang der Linie V-V. Der quaderförmige monolithische Piezokeramikkörper weist parallel nebeneinander liegende Druckkammern 8 auf, die jeweils mit einer Düse 9 verbunden sind. Die Antriebselemente 11 sind über den Druckkammern 8 angeordnet und durch keilförmi­ ge Trennfurchen 21 voneinander separiert. Dabei ist jeder Druck­ kammer 8 ein Antriebselement 11 zugeordnet, das auf der Druck­ kammerwand 14 mittig über der Druckkammer 8 angeordnet ist. Durch das Vorhandensein von jeweils zwei keilförmigen Trennfur­ chen 21 zwischen benachbarten Antriebselementen 11 ist die Se­ parierung der Antriebselemente im Vergleich zu einer Anordnung mit einer keilförmigen Trennfurche zwischen zwei benachbarten Antriebselementen verbessert. Eine Ausführungsform eines mono­ lithischen Piezokeramikkörpers, der eine quaderförmige äußere Form aufweist, ermöglicht ein Übereinanderstapeln mehrerer Pie­ zokeramikkörper zum Aufbau eines piezoelektrischen Tintendruck­ kopfes, der für Mehrfarbendruck geeignet ist.

Fig. 6: Zur Herstellung eines monolithischen Piezokeramikkör­ pers für einen piezoelektrischen Tintendruckkopf werden Piezo­ keramikrohfolien (1, 2, 3, 61) übereinander gestapelt, unter Vakuum gepreßt und gesintert. In der strukturierten Piezokera­ mikrohfolie 2 sind durch Ätzen Hohlräume geschaffen, die die Form der Druckkammern 8 mit Druckkammerausgängen 15 und der Tin­ tenkanäle 10 aufweisen. Die strukturierte Piezokeramikrohfolie 2 weist am Rande angeordnete kleine Paßlöcher 63 auf. Das Ätzen der Hohlräume zur Herstellung der strukturierten Piezokeramikroh­ folien 2 kann zum Beispiel durch Sprühätzen oder Laserätzen er­ folgen. Auf der strukturierten Piezokeramikrohfolie 2 ist eine metallisierte Zwischenrohfolie 3 aus Piezokeramik angeordnet. Die Piezokeramik der Zwischenrohfolie 3 bildet nach dem Sintern die Druckkammerwände 14. Die Zwischenrohfolie 3 wird so auf der strukturierten Piezokeramikrohfolie 2 angeordnet, daß deren Me­ tallisierung 62 den Druckkammern 8 abgewandt ist. Die Metalli­ sierung 62 kann durch Bedrucken der Zwischenrohfolie 3 mit einer Metallpaste hergestellt sein. Sie bildet nach dem Sintern die miteinander verbundenen inneren Elektroden 4. Auf der Zwischen­ rohfolie 3 ist eine obere Piezokeramikrohfolie 61 angeordnet, aus der nach dem Sintern die aktiven Piezokeramikschichten 5 entstehen. Die Trägerrohfolien 1 aus Piezokeramik schließen die Druckkammern 8 auf der den Antriebselementen abgewandten Seite ab. Die Verwendung mehrerer Trägerrohfolien 1 dient der mecha­ nischen Stabilisierung des monolithischen Piezokeramikkörpers. In die Piezokeramikrohfolien 61, 3 und 1 sind größere Paßlö­ cher 64 durch Ätzen oder durch Stanzen hergestellt. Bei einem quaderförmigen Piezokeramikkörper sind die Paßlöcher 63, 64 zweckmäßigerweise in allen vier Ecken der Piezokeramikrohfolien hergestellt. Die Piezokeramikrohfolien 61, 3, 2, 1 werden so übereinander gestapelt, daß die Paßlöcher 63, 64 übereinander liegen. Nach dem Sintern der gestapelten und gepreßten Piezo­ keramikrohfolien 1, 2, 3, 61 werden die Öffnungen der Tinten­ kanäle 10 durch Materialabtrag bei mechanischer Bearbeitung freigelegt. Der so entstandene Piezokeramikkörper kann nach dem Aufbringen der äußeren Elektroden 6 zum Beispiel durch Sputtern unter Verwendung einer Maske oder durch Siebdrucken, dem Pola­ risieren der Wandler und dem Separieren der Antriebselemente 11 in ein Gehäuse eingebaut werden, das zugleich die Tintenvor­ ratskammer bildet.

Fig. 7:

7a: Zur Herstellung der strukturierten Piezokeramikrohfolie 2 wird eine Piezokeramikrohfolie 18 mit einer photostrukturierba­ ren Folie 16 versehen, die mit einer Maske 17 bedeckt wird. Durch Belichten der photostrukturierbaren Folie 18 in den nicht durch die Maske 17 bedeckten Bereichen und anschließenden Entwickeln entstehen Löcher in der photostrukturierbaren Folie 16, die die Form der in der Piezokeramikrohfolie 18 herzustellenden Hohlräu­ me aufweisen.

7b: Das nächste Bearbeitungsstadium zeigt das Sprühätzen der Hohlräume in die Piezokeramikrohfolie 18, so daß daraus die strukturierte Piezokeramikrohfolie 2 entsteht.

7c: Die strukturierte Piezokeramikrohfolie 2 wird mit Träger­ rohfolien 1, einer metallisierten Zwischenrohfolie 3 und einer oberen Piezokeramikrohfolie 61 gestapelt und gepreßt.

7d: Durch das Zusammensintern der Piezokeramikrohfolien ist ein monolithischer Piezokeramikkörper entstanden. Dabei sind die inneren Elektroden 4 aus der Metallisierung 62 und Hohl­ räume für Druckkammern 8 entstanden.

Fig. 8: Zur Herstellung eines monolithischen Piezokeramikkör­ pers mit einem Tintensieb 81 und einem Tintenzufuhrkanal 82 müs­ sen beim Übereinanderstapeln der Piezokeramikrohfolien 1, 2, 3 und 61 zwei zusätzliche Piezokeramikrohfolien 83, 84 eingebracht werden. Die Trägerrohfolie 1 weist eine Öffnung für die Tinten­ zufuhr 85 auf. Auf der Trägerrohfolie 1 wird die zusätzliche Piezokeramikrohfolie 83 angeordnet, in der ein Hohlraum als Tin­ tenzufuhrkanal 82 hergestellt ist. Über der zusätzlichen Piezo­ keramikrohfolie 83 ist die zusätzliche Piezokeramikrohfolie 84 angeordnet, die als Tintensieb 81 dienende lasergeätzte Perfora­ tionen aufweist. Die lasergeätzten Perforationen sind so ange­ ordnet, daß sie beim Übereinanderstapeln mit der strukturierten Piezokeramikrohfolie 2 zwischen die Tintenkanäle 10 und den Tin­ tenzufuhrkanal 82 zu liegen kommen. Die Löcher des Tintensiebs 81 müssen dabei kleiner sein als der Düsendurchmesser, damit eine Verstopfung der Düsen vermieden wird. Über der struktur­ ierten Piezokeramikrohfolie 2 ist eine Zwischenrohfolie 3 mit einer Metallisierung 62 und eine obere Piezokeramikrohfolie 61 angeordnet.

Nach dem Sintern dienen die Paßlöcher zur Justierung des Pie­ zokeramikkörpers auf einem Träger für die weitere Bearbeitung.

Fig. 9: Mit einem Excimerlaser 91 und einem Fokussierungs­ system 92 werden die keilförmigen Trennfurchen 21 in den Piezo­ keramikkörper 31 geätzt. Der Piezokeramikkörper 31 ist dabei auf einem Träger 93 montiert. Die durch die größeren Paßlöcher 64 sichtbaren kleineren Paßlöcher 63 dienen als Justiermarken zur Positionierung der Trennfurchen 21 bezüglich der Druckkam­ mern 8. Es wird eine gepulste Laserstrahlung mit einer Wellen­ länge, die kleiner als 250 nm ist, eingesetzt. Die Pulswiederho­ lungsrate, die Pulsenergie und die Pulsdauer müssen so aufein­ ander abgestimmt werden, daß in dem bearbeiteten Piezokeramik­ körper 31 ein wesentlicher Wärmestau vermieden wird. Dadurch kann das Entstehen von Damageschichten vermieden werden. Durch das Separieren der Antriebselemente werden die Antriebselemente (11) piezoelektrisch entkoppelt, da die aktive Piezokeramik­ schicht (5) zwischen den einzelnen Wandlern fast ganz durch­ trennt wird.

Verfahren zur Bearbeitung von Keramikwerkstoffen mit Hilfe von Laserstrahlung sind zum Beispiel in der deutschen Patentanmel­ dung P 37 18 323 beschrieben.

Fig. 10: Beim Laserätzen der Düsen 9 wird eine Maske 94 verwen­ det, die auf dem Piezokeramikkörper 31 angeordnet ist. Der Pie­ zokeramikkörper 31 kann auf dem Träger 93 durch Kleben befestigt sein. Beim Befestigen des Piezokeramikkörpers 31 auf dem Träger 93 dienen die Paßlöcher 63, 64 zur Justierung. Das anhand von Fig. 9 beschriebene Laserverfahren ist zur Erzeugung besonders feiner Strukturen, wie zum Beispiel der Düsen, besonders vor­ teilhaft.

Durch das Erzeugen der Düsen nach dem Sintern des Piezokeramik­ körpers (31) können die Abstände der Düsen (9) zueinander unab­ hängig von geringen Schwankungen der Verdichtung des Materials beim Sintern mit äußerst geringen Toleranzen erzeugt werden.

Fig. 11: Ein piezoelektrischer Tintendruckkopf, der im Innern einen Tintenzufuhrkanal für mehrere Wandler aufweist, kann über einen einzigen Tintenanschlußstutzen 95 mit Tinte versorgt wer­ den. Der elektrische Anschluß der äußeren Elektroden 6 und der miteinander verbundenen inneren Elektroden 4 (nicht eingezeich­ net) kann über ein Anschlußband 96 erfolgen. Auf den äußeren Elektroden 6 sind die Anschlüsse 7 kontaktiert.

Fig. 12: Der monolithische Piezokeramikkörper 31 ist mit sei­ ner Unterseite und der der Düsenfront gegenüberliegenden Seite auf einem Halterahmen 97 befestigt. Der Tintenanschlußstutzen 95 und das Anschlußband 96 sind durch Öffnungen im Halterahmen 98, 99 hindurchgeführt.

Fig. 13: Durch Schrägeinbau des piezoelektrischen Tintendruck­ kopfs in ein Gehäuse kann die Schreibdichte erhöht werden. Das Gehäuse weist einen Tintenanschlußstutzen 95 und elektrische Anschlüsse 99 auf. Da die Bauhöhe der erfindungsgemäßen piezo­ elektrischen Tintendruckköpfe sehr gering ist (ca. 0,4 mm), können auch mehrere Tintendruckköpfe übereinandergestapelt und gemeinsam in ein Gehäuse eingebaut werden, das die Tintenkammer bildet. Gestapelte piezoelektrische Tintendruckköpfe können zum Mehrfarbendruck eingesetzt werden.

Das erfindungsgemäße Verfahren gestattet die Herstellung eines Tintendruckkopfes mit höchster Auflösung (größer 4 Druckpunkte pro Millimeter) sozusagen in einem Stück, ohne daß aufwendige mechanische Verarbeitungs- und Verbindungsverfahren, wie zum Beispiel Schweißen, notwendig sind. Es basiert auf fünf Erkennt­ nissen und Entwicklungen der modernen Piezokeramiktechnologie:

• 1. Durch eine genaue Steuerung des zeitlichen Temperatur- und Atmosphärenverlaufs ist es möglich, spezielle Piezokeramik­ massen mit einer definierten, eng tolerierten Enddichte (zum Beispiel 99% der theoretischen Maximaldichte) zu erhalten. Da außerdem durch moderne Schlickeraufbereitungsverfahren Rohkeramikteile mit definierter Rohdichte, zum Beispiel im Gießverfahren, hergestellt werden können, ist es möglich, eine Formgebung an den Rohkeramiken vorzunehmen und trotz des Schwundes beim Sintern eng tolerierte Abmessungen der gesinterten Teile zu erhalten.
• 2. In Keramikrohfolien können durch Sprühätzen definierte Hohl­ räume eingebracht werden.
• 3. Keramikrohfolien mit und ohne Hohlräume können so im Vakuum zusammengepreßt werden, daß sie zu einem Teil mit entspre­ chenden Hohlräumen zusammensintern.
• 4. Keramikrohfolien können vor dem Pressen mit Metallpasten, zum Beispiel aus PdAg, beschichtet werden, so daß die Kera­ mik nach dem Sintern innere Elektroden enthält (Multilayer­ technik).
• 5. Durch Laserätzverfahren ist es möglich, sehr feine Struktu­ ren, zum Beispiel Löcher und Furchen, sowohl in Rohkerami­ ken als auch in gebrannten Keramiken zu erzeugen.

Claims (11)

1. Piezoelektrischer Tintendruckkopf mit einem monolithischen Piezokeramikkörper, der parallel nebeneinander angeordnete Wand­ ler aufweist, wobei jeder Wandler ein planares, piezoelektri­ sches Antriebselement, eine Druckkammer, einen Tintenkanal und eine Düse aufweist, die Druckkammern, die Tintenkanäle und die Düsen als Hohlräume im Piezokeramikkörper ausgebildet sind und jedes Antriebselement eine äußere Elektrode, eine innere Elek­ trode und eine zwischen den Elektroden angeordnete aktive Pie­ zokeramikschicht aufweist, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Antriebselemente (11) durch Einschnit­ te (21) in der aktiven Piezokeramikschicht (5) piezoelektrisch voneinander separiert sind.

2. Piezoelektrischer Tintendruckkopf nach Anspruch 1, da­ durch gekennzeichnet, daß die inneren Elektroden (4) der Wandler (19) elektrisch miteinander verbun­ den sind.

3. Piezoelektrischer Tintendruckkopf nach Anspruch 1, da­ durch gekennzeichnet, daß das Piezo­ keramikmaterial des Piezokeramikkörpers (31) eine Dichte auf­ weist, die 98% der theoretischen Maximaldichte übersteigt.

4. Piezoelektrischer Tintendruckkopf nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß am Rand des Piezokeramikkörpers (31) außerhalb des Funktionsbereiches der Wandler (19) Paßlöcher (63, 64) zur Justierung und Befe­ stigung auf einem Träger (93) vorgesehen sind.

5. Piezoelektrischer Tintendruckkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß im Piezokeramikkörper (31) ein Tintenzufuhrkanal (82) vorgesehen ist, von dem aus die Tintenkanäle (10) in die Druckkammern (8) führen.

6. Piezoelektrischer Tintendruckkopf nach Anspruch 4, da­ durch gekennzeichnet, daß ein Tintensieb (81) aus einer perforierten Pizeokeramikschicht zwischen dem Tintenzufuhrkanal (82) und den Druckkammern (8) angeordnet ist, wobei der Lochdurchmesser der Perforationen kleiner als der Düsendurchmesser ist.

7. Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Tintendruck­ kopfes nach einem der Ansprüche 1 bis 6, gekennzeich­ net durch die Verfahrensschritte:

• a) Herstellen des monolithischen Piezokeramikkörpers (31),
• b) Aufbringen von Metallstrukturen auf den Piezokeramikkörper (31) zur Herstellung der äußeren Elektroden (6),
• c) Polarisieren der aktiven Piezokeramikschicht (5),
• d) Separieren der Antriebselemente (11) durch Erzeugen von Einschnitten in der aktiven Piezokeramikschicht (5) durch Laserätzen, und
• e) Erzeugen der Düsen (9) im Piezokeramikkörper (31) durch La­ serätzen, so daß jeweils eine Düse (9) auf den Ausgang einer Druckkammer (8) trifft.

8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekenn­ zeichnet, daß zur Herstellung des Piezokeramikkörpers (31) die folgenden Verfahrensschritte angewendet werden:

• a) Herstellen einer strukturierten Piezokeramikrohfolie (2) durch Herausätzen von Strukturen für Druckkammern (8) und Tintenkanäle (10),
• b) Herstellen einer einseitig metallisierten Piezokeramikroh­ folie (3) zur Ausbildung der inneren Elektroden (4),
• c) Übereinanderstapeln und Pressen der strukturierten Piezoke­ ramikrohfolie (2), der metallisierten Piezokeramikrohfolie (3) und mindestens zwei weiterer Piezokeramikrohfolien (1, 61), so daß die geätzten Strukturen mit Piezorohkeramik be­ deckt sind und die Metallisierung zur Ausbildung der inneren Elektroden (4) innerhalb des Piezokeramikkörpers (31) ange­ ordnet ist, und
• d) Sintern der gestapelten und gepreßten Piezokeramikrohfolien.

9. Verfahren nach einem der Ansprüche 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß ein Piezokeramikkörper (31) mit Paßlöchern (63, 64) dadurch erzeugt wird, daß

• a) beim Herstellen der strukturierten Piezokeramikrohfolie (2) eine herausgeätzte Struktur für kleine Paßlöcher (63) außerhalb der für die Druckkammern (8) und Tintenkanäle (10) strukturierten Bereiche erzeugt wird,
• b) Strukturen für größere Paßlöcher (64) in den weiteren Pie­ zokeramikrohfolien und der metallisierten Piezokeramikroh­ folien (3) erzeugt werden, wobei die Positionen der größeren Paßlöcher (64) mit denen der kleinen Paßlöcher (63) beim Übereinanderstapeln der Piezokeramikrohfolien übereinstimmen.

10. Verfahren nach einem der Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß ein Piezokeramikkörper (31) mit einem Tintenzufuhrkanal (82) dadurch erzeugt wird, daß

• a) in einer der weiteren Piezokeramikrohfolien (83) eine heraus­ geätzte Struktur für einen Tintenzufuhrkanal (82) erzeugt wird,
• b) in einer anderen der weiteren Piezokeramikrohfolien (1) eine Struktur für eine Tintenzufuhröffnung (85) erzeugt wird und
• c) die Piezokeramikrohfolien (2) so übereinandergestapelt wer­ den, daß nach dem Sintern der Tintenzufuhrkanal (82) mit der Tintenzufuhröffnung (85) und den einzelnen Tintenkanälen (10) verbunden ist.

11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekenn­ zeichnet, daß ein Piezokeramikkörper (31) mit einem Tintensieb (81) dadurch erzeugt wird, daß

• a) eine Piezokeramikrohfolie (84) mit einer herausgeätzten Struktur für ein Tintensieb (81) erzeugt wird und
• b) die Piezokeramikrohfolien (84) so übereinandergestapelt wer­ den, daß nach dem Sintern das Tintensieb (81) zwischen den Druckkammern (8) und dem Tintenzufuhrkanal (82) angeordnet ist.